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JP2000285848A - Time-of-flight mass spectrometer - Google Patents

Time-of-flight mass spectrometer

Info

Publication number
JP2000285848A
JP2000285848A JP11087653A JP8765399A JP2000285848A JP 2000285848 A JP2000285848 A JP 2000285848A JP 11087653 A JP11087653 A JP 11087653A JP 8765399 A JP8765399 A JP 8765399A JP 2000285848 A JP2000285848 A JP 2000285848A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ions
lens
flight
ion
acceleration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP11087653A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takayuki Suzuki
鈴木貴之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd filed Critical Jeol Ltd
Priority to JP11087653A priority Critical patent/JP2000285848A/en
Publication of JP2000285848A publication Critical patent/JP2000285848A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】装置を大型化することなく、高分解能のマスス
ペクトルを得ることのできる飛行時間型質量分析装置を
提供する。 【解決手段】イオンが飛行する軌道上に減速電場、次い
で加速電場を設け、イオンの飛行方向を変えることな
く、イオンに減速、次いで加速を行なわせるようにし
た。
[PROBLEMS] To provide a time-of-flight mass spectrometer capable of obtaining a high-resolution mass spectrum without increasing the size of the device. A decelerating electric field and then an accelerating electric field are provided on an orbit where ions fly, so that the ions decelerate and then accelerate without changing the flight direction of the ions.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、飛行時間型質量分
析装置に関し、特に、マススペクトルの分解能を向上さ
せることのできる飛行時間型質量分析装置に関する。
The present invention relates to a time-of-flight mass spectrometer, and more particularly to a time-of-flight mass spectrometer capable of improving the resolution of a mass spectrum.

【0002】[0002]

【従来の技術】質量分析装置は、試料から生成するイオ
ンを真空中で飛行させ、飛行の過程で質量の異なるイオ
ンを分離して、スペクトルとして記録する装置である。
質量分析装置には、扇形磁場を用いてイオンの質量分散
を行なわせる磁場型質量分析装置、四重極電極を用いて
質量によるイオンの選別(フィルタリング)を行なわせ
る四重極質量分析装置(QMS)、質量によるイオンの
飛行時間の違いを利用してイオンを分離する飛行時間型
質量分析装置(TOFMS;time of flight MS)な
どが知られている。
2. Description of the Related Art A mass spectrometer is a device that causes ions generated from a sample to fly in a vacuum, separates ions having different masses during the flight, and records them as a spectrum.
The mass spectrometer includes a magnetic field type mass spectrometer that disperses ions using a sector magnetic field, and a quadrupole mass spectrometer (QMS) that selects (filters) ions by mass using a quadrupole electrode. ), A time-of-flight mass spectrometer (TOFMS) that separates ions by utilizing the difference in the flight time of ions depending on the mass, and the like are known.

【0003】これらの質量分析装置の内、磁場型質量分
析装置とQMSは、連続的にイオンを生成するタイプの
イオン源に適合しているのに対し、TOFMSは、パル
ス状にイオンを生成するタイプのイオン源に適合してい
る。従って、連続型のイオン源をTOFMSに利用しよ
うとすれば、イオン源の利用のしかたに工夫が必要であ
る。垂直加速型飛行時間型質量分析装置(OA−TOF
MS;orthogonal acceleration TOFMS)は、連続
型のイオン源からパルス状のイオンを射出することがで
きるように工夫されたTOFMSの一例である。
[0003] Of these mass spectrometers, the magnetic field type mass spectrometer and the QMS are suitable for an ion source of a type that continuously generates ions, whereas the TOFMS generates ions in a pulsed manner. Compatible with all types of ion sources. Therefore, if a continuous ion source is to be used for TOFMS, it is necessary to devise how to use the ion source. Vertical acceleration time-of-flight mass spectrometer (OA-TOF)
MS (orthogonal acceleration TOFMS) is an example of TOFMS designed so that pulsed ions can be ejected from a continuous ion source.

【0004】図1に、典型的なOA−TOFMSの構成
を示す。OA−TOFMSは、電子衝撃(EI)イオン
源、化学イオン化(CI)イオン源、電界脱離(FD)
イオン源、エレクトロスプレイ(ESI)イオン源、高
速原子衝撃(FAB)イオン源などの連続型のイオン源
1と、イオンガイド2が置かれた中間室3と、集光レン
ズ4、押し出し電極5、加速レンズ6、リフレクトロン
7、イオン検出器8などのイオン光学系を構成する構成
物が置かれた測定室9とから成っている。
FIG. 1 shows the configuration of a typical OA-TOFMS. OA-TOFMS is an electron impact (EI) ion source, a chemical ionization (CI) ion source, and a field desorption (FD).
A continuous ion source 1 such as an ion source, an electrospray (ESI) ion source, or a fast atom bombardment (FAB) ion source; an intermediate chamber 3 in which an ion guide 2 is placed; a condenser lens 4; It comprises a measuring chamber 9 in which components constituting an ion optical system such as an acceleration lens 6, a reflectron 7, and an ion detector 8 are placed.

【0005】このような構成において、イオン源1にお
いて試料から生成したイオンは、中間室3に置かれたイ
オンガイド2によって高真空な測定室9へと誘導され
る。中間室3と測定室9を仕切る隔壁には、オリフィス
10が設けられていて、イオンガイド2から誘導されて
きたイオンは、オリフィス10によって一定の径を持っ
たイオンビームに整形されて、測定室9に導入される。
In such a configuration, ions generated from the sample in the ion source 1 are guided to a high vacuum measurement chamber 9 by the ion guide 2 placed in the intermediate chamber 3. An orifice 10 is provided in a partition separating the intermediate chamber 3 and the measurement chamber 9, and ions guided from the ion guide 2 are shaped into an ion beam having a constant diameter by the orifice 10, and the measurement chamber 9 is introduced.

【0006】測定室9の入口には、集光レンズ4が設置
されている。測定室9に入ってきたイオンビームは、集
光レンズ4により収束されて、押し出し電極5と加速レ
ンズ6との間隙に沿った細長い空間に、押し出し電極5
及び加速レンズ6に対して平行に進入する。押し出し電
極5及び加速レンズ6の近傍を移動する一定の長さを持
ったイオンビームは、押し出し電極5及び加速レンズ6
にパルス状の加速電圧を印加することにより、イオンビ
ームの進入軸方向とは垂直な方向にパルス状に加速さ
れ、イオンパルスとなって、押し出し電極5及び加速レ
ンズ6と対向する位置に設けられたリフレクトロン7に
向けて飛行を開始する。
At the entrance of the measuring chamber 9, a condenser lens 4 is provided. The ion beam that has entered the measurement chamber 9 is converged by the condenser lens 4 and is placed in an elongated space along the gap between the extrusion electrode 5 and the acceleration lens 6.
And enters the acceleration lens 6 in parallel. The ion beam having a certain length moving near the pushing electrode 5 and the acceleration lens 6 is applied to the pushing electrode 5 and the acceleration lens 6.
By applying a pulsed acceleration voltage to the ion beam, it is accelerated in a pulsed manner in a direction perpendicular to the direction of the axis of entry of the ion beam, becomes an ion pulse, and is provided at a position facing the push-out electrode 5 and the acceleration lens 6. And start flying toward the reflectron 7.

【0007】垂直方向に加速されたイオンは、測定室9
に導入されたときの速度と、それとは垂直な方向に押し
出し電極5及び加速レンズ6によって与えられた速度と
が加わるため、完全に垂直な方向ではなく、わずかに斜
めを向いた垂直方向に飛行し、リフレクトロン7で反射
されて、イオン検出器8に到達する。
The ions accelerated in the vertical direction enter the measuring chamber 9
Because the velocity at the time of introduction and the velocity provided by the push-out electrode 5 and the acceleration lens 6 in the direction perpendicular thereto are added, so that the airplane flies not vertically but slightly obliquely. Then, the light is reflected by the reflectron 7 and reaches the ion detector 8.

【0008】イオンの加速の過程では、軽いイオンほど
速度が速くなり、重いイオンほど速度が遅くなるため、
イオンの質量の違いがイオン検出器8に到達するまでの
到達時間の違いとなって現れ、イオンの質量の違いをイ
オンの飛行時間の違いとして分離することができる。
In the process of accelerating ions, the lighter the ions, the faster the speed becomes, and the heavier the ions, the slower the speed becomes.
The difference in ion mass appears as a difference in arrival time until reaching the ion detector 8, and the difference in ion mass can be separated as a difference in ion flight time.

【0009】このように、連続型のイオン源1から生成
したイオンビームを、押し出し電極5及び加速レンズ6
によってパルス状に加速することにより、パルス状に生
成するイオン源に対して適合性を持つTOFMSに、連
続型のイオン源を適用することができる。
As described above, the ion beam generated from the continuous ion source 1 is applied to the pushing electrode 5 and the acceleration lens 6.
By accelerating in a pulsed manner, a continuous ion source can be applied to TOFMS having compatibility with an ion source generated in a pulsed manner.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】このような構成におい
て、TOFMSでは、イオンの質量差が、所定の空間を
飛行する際のイオンの飛行時間の差となって現れるた
め、マススペクトルの高分解能を得ようとすれば、最も
簡単には、イオンの自由飛行空間を長く取らなければな
らなかった。
In such a configuration, in TOFMS, a mass difference between ions appears as a difference in flight time of ions when flying in a predetermined space, so that a high resolution of a mass spectrum is obtained. The easiest way to get it was to have a long free flight space for ions.

【0011】そして、イオンの自由飛行空間を長く取る
ためには、装置を大型化しなければならないという問題
があった。
In order to increase the free flight space of ions, there is a problem that the size of the apparatus must be increased.

【0012】本発明の目的は、上述した点に鑑み、装置
を大型化することなく、高分解能のマススペクトルを得
ることのできるTOFMSを提供することにある。
An object of the present invention is to provide a TOFMS capable of obtaining a high-resolution mass spectrum without increasing the size of the apparatus in view of the above points.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明にかかるTOFMSは、イオンが飛行する軌
道上に減速電場、次いで加速電場を設け、イオンの飛行
方向を変えることなく、イオンに減速、次いで加速を行
なわせるようにしたことを特徴としている。
In order to achieve this object, the TOFMS according to the present invention provides a deceleration electric field and then an acceleration electric field on the orbit where the ions fly, so that the ions can be applied without changing the flight direction of the ions. It is characterized in that deceleration and then acceleration are performed.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を説明する。図2は、本発明にかかるOA−
TOFMSの一実施例を表わしたものである。本実施例
は、電子衝撃(EI)イオン源、化学イオン化(CI)
イオン源、電界脱離(FD)イオン源、エレクトロスプ
レイ(ESI)イオン源、高速原子衝撃(FAB)イオ
ン源などの連続型のイオン源1と、イオンガイド2が置
かれた中間室3と、集光レンズ4、押し出し電極5、加
速レンズ6、リフレクトロン7、イオン検出器8などの
イオン光学系を構成する構成物が置かれた測定室9とか
ら成っている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 shows OA- according to the present invention.
1 illustrates an embodiment of TOFMS. In this embodiment, an electron impact (EI) ion source, a chemical ionization (CI)
A continuous ion source 1 such as an ion source, a field desorption (FD) ion source, an electrospray (ESI) ion source, a fast atom bombardment (FAB) ion source, and an intermediate chamber 3 in which an ion guide 2 is placed; It comprises a condensing lens 4, an extrusion electrode 5, an acceleration lens 6, a reflectron 7, and a measurement chamber 9 in which components constituting an ion optical system such as an ion detector 8 are placed.

【0015】このような構成において、イオン源1にお
いて試料から生成したイオンは、中間室3に置かれたイ
オンガイド2によって高真空な測定室9へと誘導され
る。中間室3と測定室9を仕切る隔壁には、オリフィス
10が設けられていて、イオンガイド2から誘導されて
きたイオンは、オリフィス10によって一定の径を持っ
たイオンビームに整形されて、測定室9に導入される。
In such a configuration, ions generated from the sample in the ion source 1 are guided to a high vacuum measurement chamber 9 by the ion guide 2 placed in the intermediate chamber 3. An orifice 10 is provided in a partition separating the intermediate chamber 3 and the measurement chamber 9, and ions guided from the ion guide 2 are shaped into an ion beam having a constant diameter by the orifice 10, and the measurement chamber 9 is introduced.

【0016】測定室9の入口には、集光レンズ4が設置
されている。測定室9に入ってきたイオンビームは、集
光レンズ4により収束されて、押し出し電極5と加速レ
ンズ6との間隙に沿った細長い空間に、押し出し電極5
及び加速レンズ6に対して平行に進入する。押し出し電
極5及び加速レンズ6の近傍を移動する一定の長さを持
ったイオンビームは、押し出し電極5及び加速レンズ6
にパルス状の加速電圧を印加することにより、イオンビ
ームの進入軸方向とは垂直な方向にパルス状に加速さ
れ、イオンパルスとなって、押し出し電極5及び加速レ
ンズ6と対向する位置に設けられたリフレクトロン7に
向けて飛行を開始する。
At the entrance of the measuring chamber 9, a condenser lens 4 is provided. The ion beam that has entered the measurement chamber 9 is converged by the condenser lens 4 and is placed in an elongated space along the gap between the extrusion electrode 5 and the acceleration lens 6.
And enters the acceleration lens 6 in parallel. The ion beam having a certain length moving near the pushing electrode 5 and the acceleration lens 6 is applied to the pushing electrode 5 and the acceleration lens 6.
By applying a pulsed acceleration voltage to the ion beam, it is accelerated in a pulsed manner in a direction perpendicular to the direction of the axis of entry of the ion beam, becomes an ion pulse, and is provided at a position facing the push-out electrode 5 and the acceleration lens 6. And start flying toward the reflectron 7.

【0017】垂直方向に加速されたイオンは、測定室9
に導入されたときの速度と、それとは垂直な方向に押し
出し電極5及び加速レンズ6によって与えられた速度と
が加わるため、完全に垂直な方向ではなく、わずかに斜
めを向いた垂直方向に飛行し、リフレクトロン7で反射
されて、イオン検出器8に到達する。
The ions accelerated in the vertical direction are supplied to the measuring chamber 9
Because the velocity at the time of introduction and the velocity provided by the push-out electrode 5 and the acceleration lens 6 in the direction perpendicular thereto are added, so that the airplane flies not vertically but slightly obliquely. Then, the light is reflected by the reflectron 7 and reaches the ion detector 8.

【0018】本実施例では、このリフレクトロン7の後
段、すなわちリフレクトロン7とイオン検出器8との間
のイオン飛行空間に、減速レンズ11と加速レンズ12
を設けている。このように構成することにより、直線状
の飛行空間を飛行中のイオンは、飛行方向を何ら変える
ことなく、減速レンズ11によって作られる減速電場で
いったん減速された後、加速レンズ12によって作られ
る加速電場で再び元の速度まで加速される。その結果、
イオンは何も場を受けなかった状態になり、その上、飛
行時間を増やすことができるので、実効飛行時間が長く
なる。
In this embodiment, a deceleration lens 11 and an acceleration lens 12 are provided at a stage subsequent to the reflectron 7, that is, in an ion flight space between the reflectron 7 and the ion detector 8.
Is provided. With this configuration, ions flying in the linear flight space are once decelerated by the deceleration electric field generated by the deceleration lens 11 without changing the flight direction, and then accelerated by the acceleration lens 12. It is accelerated again to the original speed by the electric field. as a result,
The ions are left without any field, and moreover, the flight time can be increased, thus increasing the effective flight time.

【0019】図3は、イオンの飛行軌道上における電位
の配置図である。図の縦軸はイオンに印加される電位を
表わし、図の横軸はイオンの飛行距離を表わしている。
FIG. 3 is an arrangement diagram of potentials on the flight trajectory of ions. The vertical axis of the figure represents the potential applied to the ions, and the horizontal axis of the figure represents the flight distance of the ions.

【0020】試料イオンが正イオンの場合を例にとって
説明すると、押し出し電極5には、+数百ボルトの加速
電位が印加される。また、押し出し電極5から加速レン
ズ6の終端部にかけては、下りの電位差が設けられる。
従って、押し出し電極5から加速レンズの終端部にかけ
ては下り方向に電場勾配が形成され、イオンは加速され
る。加速レンズ6の終端部では、−数キロボルトの電位
になっている。イオンが加速レンズ6を離れると、電位
は−数キロボルトで平坦になるため、イオンは一定の速
度で飛行を続ける。
To explain the case where the sample ions are positive ions, an acceleration potential of + several hundred volts is applied to the push-out electrode 5. Further, a downward potential difference is provided from the pushing electrode 5 to the terminal end of the acceleration lens 6.
Accordingly, an electric field gradient is formed in the downward direction from the push-out electrode 5 to the end of the acceleration lens, and the ions are accelerated. At the terminal end of the accelerating lens 6, the potential is −several kilovolts. When the ions leave the accelerating lens 6, the potential flattens at a few kilovolts, so that the ions continue to fly at a constant speed.

【0021】このイオンがリフレクトロン7に突入する
と、リフレクトロン7の登り勾配の電場が作用して、イ
オンは飛行速度を落とし、+数百ボルト以上になったと
ころで飛行の方向を反転させ、リフレクトロン7の外部
へと押し戻される。リフレクトロン7を出たイオンは、
リフレクトロン7に入る前の飛行速度と同じ飛行速度で
飛行を続けるが、飛行方向はほぼ反対方向になってい
る。
When these ions enter the reflectron 7, the electric field of the ascending gradient of the reflectron 7 acts, and the ions slow down the flight speed. When the ions reach + several hundred volts or more, the direction of flight is reversed. It is pushed back out of Ron 7. The ions that exited reflectron 7
The flight continues at the same flight speed as before entering the reflectron 7, but the flight direction is substantially opposite.

【0022】リフレクトロン7とイオン検出器8の間に
は減速レンズ11と加速レンズ12が設置されているた
め、イオンに印加される電位は、減速レンズ11を通過
する際にいったん上昇した後、加速レンズ12を通過す
る際に再び元の電位に低下する。このときの最高電位
は、減速レンズ11から加速レンズ12へ向けてイオン
を通過させる必要上、接地電位を超えてはならない。そ
して、イオンが両レンズを通過するのに伴って、イオン
の飛行速度もいったん減速した後、再び加速されて元の
速度に戻る。
Since the deceleration lens 11 and the acceleration lens 12 are provided between the reflectron 7 and the ion detector 8, the potential applied to the ions once rises when passing through the deceleration lens 11, When passing through the acceleration lens 12, the potential drops again to the original potential. The highest potential at this time must not exceed the ground potential because ions must pass from the deceleration lens 11 to the acceleration lens 12. Then, as the ions pass through both lenses, the flight speed of the ions is once reduced and then accelerated again to return to the original speed.

【0023】このような減速レンズ11と加速レンズ1
2の作用により、イオンの実効飛行距離は事実上延長さ
れ、TOFMSの装置を大型化することなく、マススペ
クトルの分解能を向上させることができる。
Such a deceleration lens 11 and an acceleration lens 1
By the action of 2, the effective flight distance of the ions is effectively extended, and the resolution of the mass spectrum can be improved without increasing the size of the TOFMS device.

【0024】一方、試料イオンが負イオンの場合は、こ
れまで述べてきたイオンの飛行経路に印加される電位の
極性は、すべて反転して用いられる。
On the other hand, when the sample ions are negative ions, the polarities of the potentials applied to the flight paths of the ions described above are all inverted.

【0025】なお、本実施例では、リフレクトロン7の
後段、すなわちリフレクトロン7とイオン検出器8の間
に、減速レンズ11及び加速レンズ12を設置したが、
これらの設置場所は、必ずしもリフレクトロン7の後段
に限定されるものではない。例えば、リフレクトロン7
の前段、すなわち加速レンズ6とリフレクトロン7の間
に設置されていても良く、あるいは、リフレクトロン7
の前段と後段の両方に設置されていても良い。
In the present embodiment, the deceleration lens 11 and the acceleration lens 12 are provided after the reflectron 7, that is, between the reflectron 7 and the ion detector 8.
These installation locations are not necessarily limited to the latter stage of the reflectron 7. For example, Reflectron 7
, Ie, between the accelerating lens 6 and the reflectron 7 or the reflectron 7
May be installed in both the former stage and the latter stage.

【0026】また、本実施例では、減速レンズと加速レ
ンズを並べて設置しているが、両レンズを引き離して設
置することも可能である。ただ、その場合には、イオン
の収束性が悪くなる可能性があるので、マススペクトル
の分解能が低下する懸念があって、必ずしも好ましいこ
とではない。
In this embodiment, the deceleration lens and the acceleration lens are installed side by side. However, it is also possible to install the two lenses separated from each other. However, in that case, the convergence of ions may be deteriorated, and there is a concern that the resolution of the mass spectrum may be reduced, which is not always preferable.

【0027】また、本実施例では、リフレクトロン型の
OA−TOFMSを取り扱ったが、本発明の適用範囲
は、リフレクトロン型のOA−TOFMSに限定される
ものではなく、リニア型のOA−TOFMSやOA−T
OFMS以外のTOFMSにも適用できることは言うま
でもない。
Although the present embodiment deals with the reflectron type OA-TOFMS, the scope of the present invention is not limited to the reflectron type OA-TOFMS, but is applied to the linear type OA-TOFMS. And OA-T
It goes without saying that the present invention can be applied to TOFMS other than OFMS.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上述べたごとく、本発明のTOFMS
によれば、イオンの飛行速度が減速レンズでいったん減
速された後に、加速レンズで元の速度まで加速されるた
め、イオンの実効飛行距離が増え、TOFMSの装置を
大型化することなく、マススペクトルの分解能を向上さ
せることができる。
As described above, the TOFMS of the present invention
According to the method described above, after the flight speed of ions is once decelerated by the deceleration lens and then accelerated to the original speed by the acceleration lens, the effective flight distance of ions increases, and the mass spectrum of the TOFMS can be increased without increasing the size of the TOFMS device. Resolution can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来の垂直加速型飛行時間型質量分析装置を示
す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a conventional vertical acceleration time-of-flight mass spectrometer.

【図2】本発明にかかる垂直加速型飛行時間型質量分析
装置の一実施例を示す図である。
FIG. 2 is a view showing one embodiment of a vertical acceleration time-of-flight mass spectrometer according to the present invention.

【図3】本発明にかかる垂直加速型飛行時間型質量分析
装置のイオン飛行軌道上における電位配置の一実施例を
示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing an embodiment of a potential arrangement on an ion flight trajectory of the vertical acceleration time-of-flight mass spectrometer according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・イオン源、2・・・イオンガイド、3・・・中間室、4・
・・集光レンズ、5・・・押し出し電極、6・・・加速レンズ、
7・・・リフレクトロン、8・・・イオン検出器、9・・・測定
室、10・・・オリフィス、11・・・減速レンズ、12・・・
加速レンズ。
1 ... Ion source, 2 ... Ion guide, 3 ... Intermediate chamber, 4 ...
..Condenser lens, 5 ... Extrusion electrode, 6 ... Acceleration lens,
7 ... reflectron, 8 ... ion detector, 9 ... measurement room, 10 ... orifice, 11 ... deceleration lens, 12 ...
Acceleration lens.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】イオンが飛行する軌道上に減速電場、次い
で加速電場を設け、イオンの飛行方向を変えることな
く、イオンに減速、次いで加速を行なわせるようにした
ことを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
A time-of-flight type wherein a decelerating electric field and then an accelerating electric field are provided on an orbit where ions fly, so that the ions decelerate and then accelerate without changing the flight direction of the ions. Mass spectrometer.
JP11087653A 1999-03-30 1999-03-30 Time-of-flight mass spectrometer Withdrawn JP2000285848A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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