JP2000268335A - Magnetic head slider and its manufacture, as well as magnetic disk apparatus - Google Patents
Magnetic head slider and its manufacture, as well as magnetic disk apparatusInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、書き込み用の磁気
ヘッド素子または読み出し用の磁気ヘッド素子の少なく
とも一方を有する磁気ヘッドスライダおよびその製造方
法並びに磁気ディスク装置に関する。The present invention relates to a magnetic head slider having at least one of a magnetic head element for writing and a magnetic head element for reading, a method for manufacturing the same, and a magnetic disk drive.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、磁気ディスク装置などの磁気記録
装置の分野においては、面記録密度を向上させるための
研究開発が活発になされている。現在、磁気ディスク装
置の記録・再生方法としては、磁気ディスク装置の非動
作時には磁気ヘッドスライダ（以下、単に磁気ヘッドあ
るいはヘッドとも記す。）と記録媒体としての磁気ディ
スク（以下、単にディスクとも記す。）とが接触してお
り、動作時にはヘッドがディスクの表面から離れて浮上
し、ディスク上を相対的に移動して情報の記録・再生を
行う方法（ＣＳＳ（Contact-Start-Stop）方式）が主流
である。2. Description of the Related Art In recent years, in the field of magnetic recording devices such as magnetic disk devices, research and development for improving areal recording density have been actively conducted. At present, as a recording / reproducing method of a magnetic disk device, a magnetic head slider (hereinafter, also simply referred to as a magnetic head) and a magnetic disk as a recording medium (hereinafter, also simply referred to as a disk) when the magnetic disk device is not operating. In operation, the head floats away from the surface of the disk and moves relatively on the disk to record and reproduce information (CSS (Contact-Start-Stop) method). Mainstream.
【０００３】この方法を用いた磁気ディスク装置の面記
録密度を向上させるためには、ヘッドとディスクとの接
触面が平滑であることと共に、ディスクからのヘッドの
浮上量、すなわち浮上時のヘッドとディスクとの隙間を
小さくすることが重要である。In order to improve the areal recording density of a magnetic disk device using this method, the contact surface between the head and the disk must be smooth and the flying height of the head from the disk, that is, the flying height of the head must be reduced. It is important to reduce the gap with the disk.
【０００４】図１０は、従来の磁気ヘッドスライダの構
成の一例を表すものである。この磁気ヘッドスライダ
は、基体１０１上に、書き込み用の誘導型磁気変換素子
と読み出し用の磁気抵抗素子を有するヘッドコア部１０
２が形成されてなる磁気ヘッドスライダ本体部１００を
備えている。磁気ヘッドスライダ本体部１００のディス
クと対向する面（以下、エアベアリング面（ＡＢＳ（Ai
r Bearing Surface ）と記す。）１００ａには、全面に
３０ｎｍ程度の厚さのダイヤモンドライクカーボン（以
下、ＤＬＣ（Diamond-like Carbon ）と記す。）よりな
る保護膜１１０が形成されている。この保護膜１１０に
は、突起部１１１が設けられている。突起部１１１は、
互いに平滑な対向面を有する磁気ヘッドスライダとディ
スクとの吸着を防止するためのものである。FIG. 10 shows an example of the configuration of a conventional magnetic head slider. This magnetic head slider has a head core portion 10 having an inductive magnetic transducer for writing and a magnetoresistive element for reading on a substrate 101.
2 is formed. The surface of the magnetic head slider body 100 facing the disk (hereinafter referred to as an air bearing surface (ABS (Ai
r Bearing Surface). On 100a), a protective film 110 made of diamond-like carbon (hereinafter referred to as DLC (Diamond-like Carbon)) having a thickness of about 30 nm is formed on the entire surface. The protection film 110 is provided with a protrusion 111. The protrusion 111
This is for preventing the magnetic head slider having smooth opposing surfaces and the disk from being attracted to each other.
【０００５】保護膜１１０は、エアベアリング面１００
ａのヘッドコア部１０２が形成された領域にも設けられ
ており、磁気ディスク装置の動作時における基体１０１
の保護の他に、ヘッドコア部１０２の磁気抵抗素子を構
成する磁気抵抗膜などが湿気などにより腐食あるいは劣
化することを防止する役割を果たしている。特に、従来
の磁気抵抗膜の構成材料には、腐食しやすいＦｅ（鉄）
−Ｍｎ（マンガン）系合金が用いられており、エアベア
リング面全部に保護膜１１０を設けることは有効であっ
た。The protective film 110 is formed on the air bearing surface 100.
a in the region where the head core portion 102 a is formed, and the base 101 during operation of the magnetic disk drive.
In addition to the protection of the head core portion 102, the magnetoresistive film and the like constituting the magnetoresistive element of the head core portion 102 play a role in preventing corrosion or deterioration due to moisture or the like. Particularly, the constituent material of the conventional magnetoresistive film includes Fe (iron) which is easily corroded.
-A Mn (manganese) based alloy was used, and it was effective to provide the protective film 110 on the entire air bearing surface.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気ディス
ク装置の面記録密度を更に向上させるためには、従来よ
りもヘッドコア部１２０とディスクとの距離を短くする
ことが必要である。しかしながら、保護膜１１０がエア
ベアリング面１００ａのヘッドコア部形成領域上に設け
られていると、浮上時におけるヘッドコア部１２０とデ
ィスクとの距離が保護膜１１０の厚さ分だけ長くなって
しまうという問題があった。In order to further improve the areal recording density of the magnetic disk drive, it is necessary to make the distance between the head core 120 and the disk shorter than before. However, if the protective film 110 is provided on the head core portion forming region of the air bearing surface 100a, there is a problem that the distance between the head core portion 120 and the disk at the time of flying becomes longer by the thickness of the protective film 110. there were.
【０００７】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、動作時に対向する記録媒体からヘッ
ドコア部までの距離を短くして、高い面記録密度を達成
しうる磁気ヘッドスライダおよびその製造方法並びにこ
の磁気ヘッドスライダを用いた磁気ディスク装置を提供
することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to reduce the distance between a facing recording medium and a head core portion during operation to achieve a high surface recording density and a magnetic head slider. It is an object of the present invention to provide a manufacturing method thereof and a magnetic disk device using the magnetic head slider.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明による磁気ヘッド
スライダは、書き込み用の磁気ヘッド素子または読み出
し用の磁気ヘッド素子の少なくとも一方を含むヘッドコ
ア部が形成された磁気ヘッドスライダ本体部と、この磁
気ヘッドスライダ本体部の記録媒体に対向することとな
る面のうち、ヘッドコア部が形成された領域以外の領域
に選択的に形成された保護膜とを備えたものである。こ
こで、「選択的に」とは、領域の全部あるいは一部を指
す。A magnetic head slider according to the present invention has a magnetic head slider main body formed with a head core portion including at least one of a write magnetic head element and a read magnetic head element, The head slider body includes a protective film selectively formed in a region of the surface of the head slider body facing the recording medium other than a region where the head core is formed. Here, “selectively” refers to all or a part of the region.
【０００９】本発明による磁気ヘッドスライダの製造方
法は、基体上に書き込み用の磁気ヘッド素子または読み
出し用の磁気ヘッド素子の少なくとも一方を含むヘッド
コア部を形成することにより磁気ヘッドスライダ本体部
を作製する工程と、磁気ヘッドスライダ本体部の記録媒
体と対向することとなる面のうちの少なくとも前ヘッド
コア部が形成されている領域にマスクを形成する工程
と、磁気ヘッドスライダ本体部の記録媒体と対向するこ
ととなる面を覆うように保護膜を形成する工程と、マス
クとこのマスク上の保護膜とを除去する工程とを含むも
のである。In a method of manufacturing a magnetic head slider according to the present invention, a magnetic head slider main body is manufactured by forming a head core portion including at least one of a magnetic head element for writing and a magnetic head element for reading on a substrate. Forming a mask on at least a region of the surface of the magnetic head slider main body facing the recording medium where the front head core is formed; and opposing the recording medium of the magnetic head slider main body. The method includes a step of forming a protective film so as to cover a different surface, and a step of removing the mask and the protective film on the mask.
【００１０】本発明による磁気ディスク装置は、互いに
対向配置されている磁気ヘッドスライダと記録媒体とを
備えた磁気ディスク装置であって、磁気ヘッドスライダ
が、書き込み用の磁気ヘッド素子または読み出し用の磁
気ヘッド素子の少なくとも一方を含むヘッドコア部が形
成された磁気ヘッドスライダ本体部と、この磁気ヘッド
スライダ本体部の記録媒体に対向する面のうち、ヘッド
コア部が形成された領域以外の領域の全部あるいは一部
に選択的に形成された保護膜とを有するようにしたもの
である。A magnetic disk drive according to the present invention is a magnetic disk drive comprising a magnetic head slider and a recording medium which are arranged opposite to each other, wherein the magnetic head slider comprises a magnetic head element for writing or a magnetic head for reading. A magnetic head slider main body portion on which a head core portion including at least one of the head elements is formed; and all or one of a region of the surface of the magnetic head slider main body portion facing the recording medium other than a region where the head core portion is formed. And a protective film selectively formed in the portion.
【００１１】本発明の磁気ヘッドスライダ、その製造方
法、または磁気ディスク装置では、磁気ヘッドスライダ
本体部の記録媒体に対向することとなる面（エアベアリ
ング面）のうち、ヘッドコア部が形成された領域以外の
領域に、保護膜が選択的に形成されている。すなわち、
ヘッドコア部とその周辺領域には保護膜が形成されてい
ない。この保護膜は、エアベアリング面のうちの少なく
ともヘッドコア部が形成されている領域にマスクを形成
し、エアベアリング面を覆うように保護膜を形成したの
ち、マスクとマスク上の保護膜とを除去することにより
形成される。In the magnetic head slider, the method of manufacturing the same, or the magnetic disk drive of the present invention, of the surface (air bearing surface) of the magnetic head slider body which faces the recording medium, the area where the head core is formed. A protective film is selectively formed in a region other than the region. That is,
No protective film is formed on the head core portion and its peripheral region. This protective film forms a mask on at least a region of the air bearing surface where the head core portion is formed, forms a protective film so as to cover the air bearing surface, and then removes the mask and the protective film on the mask. It is formed by doing.
【００１２】本発明の磁気ヘッドスライダ、その製造方
法、または磁気ディスク装置では、保護膜は、エアベア
リング面のヘッドコア部が形成された領域以外の全面に
形成されるようにしてもよい。In the magnetic head slider, the method of manufacturing the same, or the magnetic disk drive of the present invention, the protective film may be formed on the entire surface of the air bearing surface other than the region where the head core is formed.
【００１３】また、本発明の磁気ヘッドスライダ、その
製造方法、または磁気ディスク装置では、保護膜にダイ
ヤモンドライクカーボンを含むことが望ましい。In the magnetic head slider, the method of manufacturing the same, or the magnetic disk drive of the present invention, it is desirable that the protective film contains diamond-like carbon.
【００１４】また、本発明の磁気ヘッドスライダ、その
製造方法、または磁気ディスク装置では、読み出し用の
磁気ヘッド素子が磁気抵抗素子であってもよい。その場
合には、磁気抵抗素子が少なくともニッケルおよびマン
ガンを含む磁気抵抗膜を有していることが望ましい。In the magnetic head slider, the method of manufacturing the same, or the magnetic disk drive of the present invention, the read magnetic head element may be a magneto-resistive element. In that case, it is desirable that the magnetoresistive element has a magnetoresistive film containing at least nickel and manganese.
【００１５】更に、本発明の磁気ヘッドスライダの製造
方法では、マスクは、有機材料あるいは金属材料よりな
ることが望ましい。Further, in the method of manufacturing a magnetic head slider according to the present invention, the mask is preferably made of an organic material or a metal material.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。ここでは、本発明に係る磁
気ヘッドスライダの一例として、ヘッドコア部が、書き
込み用の誘導型磁気変換素子を有する記録ヘッドと読み
出し用の磁気抵抗（以下、ＭＲ（Magneto Resistive ）
と記す。）素子を有する再生ヘッドとを積層した構造の
複合型薄膜磁気ヘッドよりなる磁気ヘッドスライダおよ
びその製造方法について説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Here, as an example of a magnetic head slider according to the present invention, a head core portion includes a recording head having an inductive magnetic transducer for writing and a magnetoresistive element for reading (hereinafter, MR (Magneto Resistive)).
It is written. A) A description will be given of a magnetic head slider composed of a composite type thin film magnetic head having a structure in which a reproducing head having an element is stacked and a method of manufacturing the same.
【００１７】まず、図１ないし図７を参照して、本発明
の一実施の形態に係る磁気ヘッドスライダ１の製造方法
について説明する。本実施の形態に係る磁気ヘッドスラ
イダ１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの製
造方法によって具現化されるので、以下併せて説明す
る。なお、図１ないし図３は、エアベアリング面に垂直
な断面を示した図である。また、図４ないし図７は、エ
アベアリング面の側から見た斜視図である。First, a method for manufacturing a magnetic head slider 1 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Since the magnetic head slider 1 according to the present embodiment is embodied by the method of manufacturing a magnetic head slider according to the present embodiment, it will be described below together. 1 to 3 are views showing a cross section perpendicular to the air bearing surface. 4 to 7 are perspective views as viewed from the air bearing surface side.
【００１８】本実施の形態に係る製造方法では、まず、
図１に示したように、例えばアルティック（Ａｌ2 Ｏ3
・ＴｉＣ）からなる基体１１上に、例えばアルミナより
なる絶縁層２１を堆積する。次に、絶縁層２１上に、再
生ヘッド用の下部シールド層２２を形成する。次に、下
部シールド層２２上に、例えばアルミナを１００〜２０
０ｎｍの厚みでスパッタ堆積し、シールドギャップ膜２
３を形成する。次に、シールドギャップ膜２３上に、再
生用のＭＲ素子を構成するための例えばＮｉ（ニッケ
ル）−Ｍｎ（マンガン）系合金よりなるＭＲ膜２４を、
数１０ｎｍの厚みに形成し、高精度のフォトリソグラフ
ィで所望の形状にパターニングする。次に、ＭＲ膜２４
の両側に、このＭＲ膜２４と電気的に接続する引き出し
電極層としてのリード層（図示せず）を形成したのち、
このリード層、シールドギャップ膜２３およびＭＲ膜２
４上に、シールドギャップ膜２５を形成し、ＭＲ膜２４
をシールドギャップ膜２３，２５内に埋設する。次に、
シールドギャップ膜２５上に、再生ヘッドと記録ヘッド
の双方に用いる磁気材料、例えばパーマロイ（ＮｉＦ
ｅ）からなる上部シールド兼下部磁極（以下、下部磁極
と記す。）２６を形成する。ここで、ＭＲ膜２４からな
るＭＲ素子が、本発明における「読み出し用の磁気ヘッ
ド素子」の一具体例に対応している。In the manufacturing method according to the present embodiment, first,
As shown in FIG. 1, for example, Altic (Al 2 O 3
An insulating layer 21 made of, for example, alumina is deposited on the base 11 made of (TiC). Next, a lower shield layer 22 for a read head is formed on the insulating layer 21. Next, for example, alumina is coated on the lower shield layer 22 by 100 to 20 μm.
Sputter-deposited with a thickness of 0 nm, shield gap film 2
Form 3 Next, on the shield gap film 23, an MR film 24 made of, for example, a Ni (nickel) -Mn (manganese) -based alloy for constituting an MR element for reproduction is formed.
It is formed to a thickness of several tens of nm, and is patterned into a desired shape by high-precision photolithography. Next, the MR film 24
After forming lead layers (not shown) as lead electrode layers electrically connected to the MR film 24 on both sides of the
This lead layer, shield gap film 23 and MR film 2
4, a shield gap film 25 is formed, and the MR film 24 is formed.
Is embedded in the shield gap films 23 and 25. next,
On the shield gap film 25, a magnetic material such as permalloy (NiF
e) An upper shield / lower magnetic pole (hereinafter, referred to as a lower magnetic pole) 26 is formed. Here, the MR element composed of the MR film 24 corresponds to a specific example of “magnetic head element for reading” in the present invention.
【００１９】なお、ＭＲ素子としては、本実施の形態に
示したような異方性磁気抵抗（以下、ＡＭＲ（Anisotro
pic Magneto Resistive ）と記す。）効果を用いたＡＭ
Ｒ素子の他に、巨大磁気抵抗（以下、ＧＭＲ（Giant Ma
gneto Resistive ）と記す。）効果を用いたＧＭＲ素子
などを用いることもできる。As the MR element, an anisotropic magnetoresistance (hereinafter referred to as AMR (Anisotro
pic Magneto Resistive). ) AM using effects
In addition to the R element, a giant magnetoresistance (hereinafter, GMR (Giant Ma
gneto Resistive). ) A GMR element using the effect can also be used.
【００２０】次に、図２に示したように、下部磁極２６
上に、絶縁膜、例えばアルミナ膜よりなる記録ギャップ
層２７を形成し、この記録ギャップ層２７上に、フォト
レジスト層２８を、高精度のフォトリソグラフィで所定
のパターンに形成する。次に、フォトレジスト層２８上
に、例えばめっき法により、例えば銅（Ｃｕ）よりなる
誘導型の記録ヘッド用の第１層目の薄膜のコイル２９を
形成する。次に、フォトレジスト層２８およびコイル２
９を覆うようにして、フォトレジスト層３０を、高精度
のフォトリソグラフィで所定のパターンに形成する。次
に、コイル２９の平坦化およびコイル２９間の絶縁化の
ために、例えば２５０℃の温度で熱処理する。次に、フ
ォトレジスト層３０上に、例えばめっき法により、例え
ば銅よりなる第２層目の薄膜のコイル３１を形成する。
次に、フォトレジスト層３０およびコイル３１の上に、
フォトレジスト層３２を、高精度のフォトリソグラフィ
で所定のパターンに形成し、コイル３１の平坦化および
コイル３１間の絶縁化のために、例えば２５０℃の温度
で熱処理する。Next, as shown in FIG.
A recording gap layer 27 made of an insulating film, for example, an alumina film is formed thereon, and a photoresist layer 28 is formed on the recording gap layer 27 in a predetermined pattern by high-precision photolithography. Next, a first-layer thin-film coil 29 made of, for example, copper (Cu) for an inductive recording head is formed on the photoresist layer 28 by, for example, a plating method. Next, the photoresist layer 28 and the coil 2
9, a photoresist layer 30 is formed in a predetermined pattern by high-precision photolithography. Next, heat treatment is performed, for example, at a temperature of 250 ° C. for flattening the coils 29 and insulating the coils 29 from each other. Next, a second-layer thin-film coil 31 made of, for example, copper is formed on the photoresist layer 30 by, for example, a plating method.
Next, on the photoresist layer 30 and the coil 31,
The photoresist layer 32 is formed into a predetermined pattern by high-precision photolithography, and is heat-treated at a temperature of, for example, 250 ° C. for planarizing the coil 31 and insulating the coil 31 from each other.
【００２１】次に、図３に示したように、コイル２９，
３１よりも後方（図３における右側）の位置において、
磁路形成のために、記録ギャップ層２７を部分的にエッ
チングして開口部２７ａを形成する。次に、記録ギャッ
プ層２７およびフォトレジスト層２８，３０，３２上
に、記録ヘッド用の磁気材料、例えばパーマロイからな
る上部ヨーク兼上部磁極（以下、上部磁極と記す。）３
３を選択的に形成する。この上部磁極３３は、上記した
開口部２７ａにおいて下部磁極２６と接触し、磁気的に
連結している。次に、上部磁極３３をマスクとして、イ
オンミリングによって、記録ギャップ層２７と下部磁極
２６を、約０．５μｍ程度エッチングした後、上部磁極
３３上に、例えばアルミナよりなるオーバーコート層３
４を形成するこれにより、ヘッドコア部２０が完成す
る。ここで、下部磁極２６、記録ギャップ層２７、コイ
ル２９，３１および上部磁極３３等からなる部分が、本
発明における「書き込み用の磁気ヘッド素子」の一具体
例に対応している。Next, as shown in FIG.
At a position rearward (right side in FIG. 3) of the position 31,
In order to form a magnetic path, the recording gap layer 27 is partially etched to form an opening 27a. Next, on the recording gap layer 27 and the photoresist layers 28, 30, and 32, an upper yoke and upper magnetic pole (hereinafter, referred to as an upper magnetic pole) 3 made of a magnetic material for a recording head, for example, permalloy.
3 is selectively formed. The upper magnetic pole 33 is in contact with the lower magnetic pole 26 at the opening 27a and is magnetically connected thereto. Next, after the recording gap layer 27 and the lower magnetic pole 26 are etched by about 0.5 μm by ion milling using the upper magnetic pole 33 as a mask, the overcoat layer 3 made of, for example, alumina is formed on the upper magnetic pole 33.
Thus, the head core portion 20 is completed. Here, the portion including the lower magnetic pole 26, the recording gap layer 27, the coils 29 and 31, the upper magnetic pole 33, and the like corresponds to a specific example of the "magnetic head element for writing" in the present invention.
【００２２】次に、このようにして基体１１上にヘッド
コア部が形成されてなるウェハをダイシング加工などに
より素子ごとに分割し、図４に示したように磁気ヘッド
スライダ本体部１０を形成する。そして、例えば、磁気
ヘッドスライダ本体部１０の機械加工を行って、基体１
１の一端面とヘッドコア部２０の一端面とを含むエアベ
アリング面１０ａを形成する。そののち、エアベアリン
グ面１０ａを例えばラップ研磨してエアベアリング面１
０ａが平滑になるようにする。Next, the wafer having the head core portion formed on the substrate 11 in this manner is divided into elements by dicing or the like, and the magnetic head slider main body 10 is formed as shown in FIG. Then, for example, machining of the magnetic head slider main body 10 is performed to
1 and an air bearing surface 10a including one end surface of the head core portion 20. After that, the air bearing surface 10a is lapped and polished, for example, and the air bearing surface 1a is polished.
0a is smoothed.
【００２３】次に、エアベアリング面１０ａがヘッドコ
ア部２０の形成領域を含み、Ｕ字形状となるように、エ
アベアリング面１０ａを選択的にエッチングして磁気ヘ
ッドを記録媒体から浮上させるための負圧溝１０ｂを形
成する。この負圧溝１０ｂは、記録媒体の回転時に、磁
気ヘッドスライダとディスクとの間に空気流を生じさせ
るように形成されたものであり、その際、負圧溝内部の
圧力は、周囲の圧力よりも低くなっている。Next, the air bearing surface 10a is selectively etched so that the air bearing surface 10a includes the region where the head core portion 20 is formed and has a U-shape. A pressure groove 10b is formed. The negative pressure groove 10b is formed so as to generate an air flow between the magnetic head slider and the disk when the recording medium rotates. At this time, the pressure inside the negative pressure groove is changed to the surrounding pressure. Is lower than.
【００２４】次に、図５に示したように、エアベアリン
グ面１０ａのヘッドコア部２０が形成された領域および
その近傍の負圧溝１０ｂの底面領域上に、例えば有機材
料によりマスク４１を形成する。具体的には、例えばス
ピンコート法によりフォトレジストを塗布し、フォトリ
ソグラフィ工程を行うことにより形成する。また、マス
ク形状のレジストフィルムを貼り付けてもよい。なお、
マスク４１を金属材料により形成することも可能である
が、レジストを用いた方が容易に形成することができる
ので好ましい。このマスク形成工程は、本発明の「ヘッ
ドコア部が形成されている領域にのみマスクを形成する
工程」の一具体例に対応している。Next, as shown in FIG. 5, a mask 41 made of, for example, an organic material is formed on the region of the air bearing surface 10a where the head core portion 20 is formed and on the bottom surface region of the negative pressure groove 10b in the vicinity thereof. . Specifically, for example, it is formed by applying a photoresist by a spin coating method and performing a photolithography process. Alternatively, a mask-shaped resist film may be attached. In addition,
Although it is possible to form the mask 41 with a metal material, it is preferable to use a resist because it can be easily formed. This mask forming step corresponds to a specific example of the “step of forming a mask only in the region where the head core portion is formed” of the present invention.
【００２５】次に、図６に示したように、磁気ヘッドス
ライダ本体部１０の露出したエアベアリング面１０ａを
覆うように、例えばＣＶＤ（Chemical Vapor Depositio
n ）法により厚さ約５〜１０ｎｍ、好ましくは６〜８ｎ
ｍのＤＬＣよりなる保護膜４２を形成する。そののち、
例えばフォトリソグラフィ技術およびＣＶＤ法により、
高さが約５〜１５ｎｍ、好ましくは８〜１２ｎｍ、更に
好ましくは１０ｎｍであるＤＬＣよりなる突起部４２ａ
を形成する。なお、ＤＬＣは、合成ダイヤモンド薄膜の
一種である。Next, as shown in FIG. 6, for example, CVD (Chemical Vapor Depositio) is applied so as to cover the exposed air bearing surface 10a of the magnetic head slider main body 10.
n) The thickness is about 5 to 10 nm, preferably 6 to 8 n according to the method.
A protective film 42 of m m DLC is formed. after that,
For example, by photolithography technology and CVD method,
A protrusion 42a made of DLC having a height of about 5 to 15 nm, preferably 8 to 12 nm, and more preferably 10 nm.
To form DLC is a type of synthetic diamond thin film.
【００２６】次に、図７に示したように、例えばアセト
ンなどの有機溶剤よりなるレジスト剥離用の混合液を用
いてマスク４１を溶解除去し、これによりマスク４１上
の保護膜４２を剥離する。これにより、本実施の形態の
磁気ヘッドスライダ１が完成する。Next, as shown in FIG. 7, the mask 41 is dissolved and removed using a resist stripping mixed solution composed of an organic solvent such as acetone, and thereby the protective film 42 on the mask 41 is stripped. . Thereby, the magnetic head slider 1 of the present embodiment is completed.
【００２７】このようにして製造される磁気ヘッドスラ
イダ１は、例えば図８に示したようなランプロード方式
（または、ロード・アンロード方式）の磁気ディスク装
置に適用可能である。The magnetic head slider 1 manufactured as described above is applicable to, for example, a ramp-load (or load / unload) magnetic disk device as shown in FIG.
【００２８】図８に示したように、この磁気ディスク装
置では、本実施の形態に係る磁気ヘッドスライダ１が、
記録媒体としての磁気ディスク５０の表面に対向配置さ
れている。なお、通常、磁気ディスク装置は複数の磁気
ディスクを備え、それらの磁気ディスクの表面および裏
面にそれぞれ１個ずつ磁気ヘッドスライダが設けられる
が、図８では、１個の磁気ヘッドスライダと、１枚の磁
気ディスクのみを図示して他は省略している。磁気ディ
スク５０は、スピンドルモータ５１により回転するよう
になっている。磁気ヘッドスライダは、一端側６２ｐが
駆動アーム６１に取り付けられたサスペンション６２の
他端側６２ｑの先端部によって担持されている。また、
この磁気ディスク装置は、駆動アーム６１の基部側に磁
気ディスク５０のトラック上における磁気ヘッドスライ
ダ１の位置決めを行うためのキャリッジ部７０を備えて
いる。キャリッジ部７０は、回転軸７１と、回転軸７１
を中心として回動可能に設けられたキャリッジ７２と、
ボイスコイルモータ等からなるアクチュエータ７３とを
含んで構成されている。アクチュエータ７３は、キャリ
ッジ７２を回転軸７１を中心として回動させるように駆
動し、これにより、磁気ヘッドスライダは磁気ディスク
５０の半径方向（図８の矢印Ａの方向）に移動可能にな
っている。更に、この磁気ディスク装置には、磁気ディ
スク装置の非動作時にサスペンション６２を磁気ディス
ク５０の外側に保持しておくサスペンション載置部８０
が設けられている。As shown in FIG. 8, in this magnetic disk drive, the magnetic head slider 1 according to the present embodiment
It is arranged to face the surface of a magnetic disk 50 as a recording medium. Normally, the magnetic disk drive includes a plurality of magnetic disks, and one magnetic head slider is provided on each of the front and back surfaces of the magnetic disks. In FIG. 8, one magnetic head slider and one magnetic head slider are provided. Only the magnetic disk is shown and the others are omitted. The magnetic disk 50 is rotated by a spindle motor 51. The magnetic head slider is carried by the tip of the other end 62q of the suspension 62 in which one end 62p is attached to the drive arm 61. Also,
This magnetic disk device includes a carriage 70 for positioning the magnetic head slider 1 on the track of the magnetic disk 50 on the base side of the drive arm 61. The carriage 70 includes a rotating shaft 71 and a rotating shaft 71.
A carriage 72 rotatably provided about
And an actuator 73 composed of a voice coil motor or the like. The actuator 73 drives the carriage 72 to rotate about the rotation shaft 71, whereby the magnetic head slider is movable in the radial direction of the magnetic disk 50 (the direction of arrow A in FIG. 8). . Further, this magnetic disk device has a suspension mounting portion 80 for holding the suspension 62 outside the magnetic disk 50 when the magnetic disk device is not operating.
Is provided.
【００２９】このような構成を有する磁気ディスク装置
では、一般に、以下のようにして情報の記録・再生が行
われる。すなわち、磁気ディスク装置が動作していない
時には、サスペンション６２がサスペンション載置部８
０に載置されており、磁気ヘッドスライダ１は磁気ディ
スク５０の外側領域に位置している。磁気ディスク装置
の動作時には、ディスク５０が回転すると共に、アクチ
ュエータ７３が駆動して磁気ヘッドスライダ１がディス
ク５０上に移動する。なお、このような駆動方式をラン
プロード方式と称する。また、磁気ヘッドスライダ１と
ディスク５０との間には、磁気ヘッドスライダ本体部１
０のヘッドコア部２０が形成されている端面と対向する
端面側からヘッドコア部２０が形成されている端面側に
向かって空気流が生じ、それに伴い揚力が生じる。これ
により、磁気ヘッドスライダ１は、揚力とサスペンショ
ン７２による押圧力との釣り合いによって微少間隔を保
持しながらディスク５０上を相対的に移動する。このと
き、ヘッドコア部２０のコイル２９，３１に電流を流す
ことにより、書き込み用の磁束を発生させ、磁気ディス
ク５０に情報を記録する。また、ＭＲ膜２４にセンス電
流を流し、磁気ディスク５０から洩れる磁束を検出する
ことにより、磁気ディスク５０に記録されている情報を
読み出す。In a magnetic disk drive having such a configuration, information is generally recorded and reproduced as follows. That is, when the magnetic disk drive is not operating, the suspension 62 is
0, and the magnetic head slider 1 is located outside the magnetic disk 50. During operation of the magnetic disk drive, the disk 50 rotates, and the actuator 73 is driven to move the magnetic head slider 1 onto the disk 50. Note that such a driving method is referred to as a ramp load method. A magnetic head slider main body 1 is provided between the magnetic head slider 1 and the disk 50.
An airflow is generated from the end face side opposite to the end face where the 0 head core section 20 is formed toward the end face side where the head core section 20 is formed, and a lift is generated accordingly. As a result, the magnetic head slider 1 relatively moves on the disk 50 while maintaining a very small interval by the balance between the lift and the pressing force of the suspension 72. At this time, a current is caused to flow through the coils 29 and 31 of the head core unit 20 to generate a magnetic flux for writing, and information is recorded on the magnetic disk 50. The information recorded on the magnetic disk 50 is read by passing a sense current through the MR film 24 and detecting a magnetic flux leaking from the magnetic disk 50.
【００３０】図９（Ａ）は、本実施の形態の磁気ヘッド
スライダ１を用いた磁気ディスク装置の動作時における
ヘッドコア部２０とディスク５０との関係を模式的に表
したものである。また、図９（Ｂ）は、従来の磁気ヘッ
ドスライダ（図１０参照）を用いた磁気ディスク装置の
動作時におけるヘッドコア部１０２とディスク５０との
関係を模式的に表したものである。図９（Ａ），（Ｂ）
からも分かるように、本実施の形態の磁気ヘッドスライ
ダ１を用いた場合には、エアベアリング面１０ａのう
ち、ヘッドコア部２０が形成された領域には保護膜４２
が形成されていないので、従来の磁気ヘッドスライダを
用いた場合よりも、ヘッドコア部２０とディスク５０と
の距離Ｌ1 が保護膜の厚さＬ2 分だけ短くなる。それに
伴って、ヘッドコア部２０から発生する磁界の広がりが
狭くなると共に、ディスク面に到達する磁束密度が大き
くなる。この結果、ディスク５０に高密度に記録するこ
とが可能となる。また、ディスク面から出て、ヘッドコ
ア部２０に達する磁界の広がりが狭くなり、かつ、その
強度が大きくなる。このため、再生出力が大きくなると
共に、ディスク上の微細な磁気記録パターンの読み取り
が可能になる。FIG. 9A schematically shows the relationship between the head core unit 20 and the disk 50 during operation of the magnetic disk drive using the magnetic head slider 1 according to the present embodiment. FIG. 9B schematically shows the relationship between the head core unit 102 and the disk 50 during the operation of the magnetic disk device using the conventional magnetic head slider (see FIG. 10). FIG. 9 (A), (B)
As can be understood from FIG. 7, when the magnetic head slider 1 of the present embodiment is used, the protective film 42 is formed in the region of the air bearing surface 10a where the head core portion 20 is formed.
Since but not formed, than with the conventional magnetic head slider, the distance L 1 between the head core 20 and the disk 50 is shortened by a thickness L 2 minutes of the protective film. As a result, the spread of the magnetic field generated from the head core section 20 becomes narrower, and the magnetic flux density reaching the disk surface increases. As a result, high-density recording on the disk 50 becomes possible. In addition, the spread of the magnetic field coming out of the disk surface and reaching the head core portion 20 is reduced, and the strength is increased. For this reason, the reproduction output is increased, and a fine magnetic recording pattern on the disk can be read.
【００３１】このように本実施の形態によれば、マスク
４２を使用して、エアベアリング面１０ａのうち、ヘッ
ドコア部２０が形成された領域以外の全面に保護膜４２
を形成するようにしたので、ヘッドコア部２０が形成さ
れた領域を含むエアベアリング面全体に保護膜が形成さ
れている従来の磁気ヘッドスライダよりもヘッドコア部
２０とディスク５０との距離Ｌ1 を短くすることができ
る。従って、本実施の形態の磁気ヘッドスライダ１を適
用した磁気ディスク装置においては、ヘッドコア部２０
を磁気ディスク５０に近づけることができるので、微細
な磁界で磁気ディスク５０に情報を記録することができ
ると共に、ディスク５０上の微細な磁気記録パターンの
再生が可能になる。すなわち、磁気ディスク装置の面記
録密度が向上する。As described above, according to the present embodiment, the mask 42 is used to cover the entire surface of the air bearing surface 10a other than the region where the head core portion 20 is formed.
Since so as to form a short distance L 1 between the head core 20 and the disk 50 than the conventional magnetic head slider protective film is formed on the entire air bearing surface including a region head core portion 20 is formed can do. Therefore, in the magnetic disk drive to which the magnetic head slider 1 of the present embodiment is applied, the head core 20
Can be made closer to the magnetic disk 50, so that information can be recorded on the magnetic disk 50 with a fine magnetic field and a fine magnetic recording pattern on the disk 50 can be reproduced. That is, the areal recording density of the magnetic disk device is improved.
【００３２】また、ＭＲ膜２４を耐食性に優れたＮｉ−
Ｍｎ系合金により構成するようにしたので、エアベアリ
ング面１０ａのヘッドコア部形成領域に保護膜４２が設
けられていなくても、ＭＲ膜２４が腐食する可能性は少
なくなる。The MR film 24 is made of Ni-
Since the Mn-based alloy is used, the possibility that the MR film 24 is corroded is reduced even if the protective film 42 is not provided in the head core portion forming region of the air bearing surface 10a.
【００３３】以上、実施の形態を挙げて本発明を説明し
たが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではな
く、種々変形可能である。例えば、上記実施の形態で
は、保護膜４２をヘッドコア部２０の近傍まで形成し、
エアベアリング面１０ａの９割程度の領域が保護される
ようにしたが、保護膜４２は、エアベアリング面１０ａ
のヘッドコア部形成領域に設けられていなければよい。
例えば、エアベアリング面１０ａのヘッドコア部２０が
形成されている側と反対側の端部から中央部付近までの
領域にのみ形成されるようにしてもよい。また、保護膜
を設けなくてもよい。As described above, the present invention has been described with reference to the embodiments. However, the present invention is not limited to the above embodiments, and can be variously modified. For example, in the above embodiment, the protective film 42 is formed up to the vicinity of the head core portion 20,
Approximately 90% of the area of the air bearing surface 10a is protected.
It is not necessary to be provided in the head core portion forming region of the above.
For example, the air bearing surface 10a may be formed only in the region from the end opposite to the side where the head core portion 20 is formed to the vicinity of the center. Further, the protective film need not be provided.
【００３４】更に、上記実施の形態では、保護膜４２が
突起部４２ａを有する場合について説明したが、保護膜
４２には突起部が設けられていなくてもよい。これは、
ランプロード方式の磁気ディスク装置では、非動作時に
磁気ヘッドスライダ１がディスク５０に接触していない
ため、突起部４２ａにより磁気ヘッドスライダ１とディ
スク５０との吸着を防止する必要がないためである。Further, in the above embodiment, the case where the protective film 42 has the protrusion 42a has been described, but the protective film 42 may not be provided with the protrusion. this is,
This is because, in the ramp-load type magnetic disk device, the magnetic head slider 1 does not contact the disk 50 during non-operation, and therefore it is not necessary to prevent the magnetic head slider 1 and the disk 50 from being attracted to each other by the protrusion 42a.
【００３５】また、上記実施の形態では、磁気ヘッドス
ライダ１をランプロード方式により記録・再生を行う磁
気ディスク装置に用いた場合を例に挙げて説明したが、
磁気ヘッドスライダ１は、ＣＳＳ方式により記録・再生
を行う磁気ディスク装置に用いることもできる。In the above-described embodiment, the case where the magnetic head slider 1 is used in a magnetic disk drive for recording / reproducing by a ramp load method has been described as an example.
The magnetic head slider 1 can also be used for a magnetic disk device that performs recording / reproduction by the CSS method.
【００３６】また、上記実施の形態では、ヘッドコア部
２０がＵ字形状のエアベアリング面１０ａの片方の端部
のみに形成されているが、ヘッドコア部２０は両方の端
部に形成されていてもよい。更に、負圧溝１０ｂの中央
領域に、溝の深さ分程度の高さを有するパッドを選択的
に設けて、このパッド上にヘッドコア部２０を形成する
ようにしてもよい。Further, in the above embodiment, the head core portion 20 is formed only at one end of the U-shaped air bearing surface 10a, but the head core portion 20 may be formed at both ends. Good. Further, a pad having a height corresponding to the depth of the groove may be selectively provided in the central region of the negative pressure groove 10b, and the head core portion 20 may be formed on the pad.
【００３７】また、上記実施の形態では、複合型薄膜磁
気ヘッド素子を有する磁気ヘッドスライダ１およびその
製造方法について説明したが、本発明は、書き込み専用
の誘導型磁気変換素子を有する磁気ヘッドや記録・再生
兼用の誘導型磁気変換素子を有する磁気ヘッドにも適用
することができる。更に、本発明は、書き込み用の素子
と読み出し用の素子の積層順序を図３の場合と逆転させ
た構造の磁気ヘッドにも適用することができる。In the above embodiments, the magnetic head slider 1 having the composite type thin film magnetic head element and the method of manufacturing the same have been described. -The present invention can be applied to a magnetic head having an inductive magnetic transducer for both reading and writing. Further, the present invention can also be applied to a magnetic head having a structure in which the stacking order of the elements for writing and the elements for reading is reversed from that in FIG.
【００３８】[0038]
【発明の効果】以上説明したように請求項１ないし５の
いずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ、請求項６な
いし１２のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダの
製造方法あるいは請求項１３ないし１７のいずれか１項
に記載の磁気ディスク装置によれば、磁気ヘッドスライ
ダ本体部の記録媒体に対向することとなる面のうち、ヘ
ッドコア部が形成された領域以外の領域に保護膜を選択
的に形成するようにしたので、磁気ヘッドスライダ本体
部の記録媒体に対向することとなる面の全体に保護膜が
形成されている従来の磁気ヘッドスライダよりもヘッド
コア部と記録媒体との距離が短くなる。よって、磁気記
録・再生における面記録密度を向上させることができる
という効果を奏する。As described above, the magnetic head slider according to any one of claims 1 to 5, the method for manufacturing the magnetic head slider according to any one of claims 6 to 12, or the thirteenth aspect. According to the magnetic disk drive of any one of the items (1) to (17), the protective film is selected in a region other than the region where the head core portion is formed, of the surface of the magnetic head slider body facing the recording medium. The distance between the head core portion and the recording medium is smaller than that of a conventional magnetic head slider in which a protective film is formed on the entire surface of the magnetic head slider body that faces the recording medium. Be shorter. Therefore, there is an effect that the surface recording density in magnetic recording / reproduction can be improved.
【００３９】特に、請求項５記載の磁気ヘッドスライダ
あるいは請求項１７記載の磁気ディスク装置によれば、
磁気抵抗素子が少なくともニッケルおよびマンガンを含
む磁気抵抗膜を有するように構成したので、磁気ヘッド
スライダ本体部の記録媒体に対向することとなる面のう
ち、ヘッドコア部が形成された領域に保護膜が形成され
ていなくても、磁気抵抗膜が腐食する可能性は少なくな
る。In particular, according to the magnetic head slider according to the fifth aspect or the magnetic disk device according to the seventeenth aspect,
Since the magnetoresistive element is configured to have a magnetoresistive film containing at least nickel and manganese, a protective film is formed on a region of the magnetic head slider body that faces the recording medium, in a region where the head core is formed. Even if it is not formed, the possibility of corrosion of the magnetoresistive film is reduced.
【図１】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドスライ
ダの製造方法における一工程を説明するための断面図で
ある。FIG. 1 is a cross-sectional view for explaining one step in a method of manufacturing a magnetic head slider according to one embodiment of the present invention.
【図２】図１に続く工程を説明するための断面図であ
る。FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining a step following the step shown in FIG.
【図３】図２に続く工程を説明するための断面図であ
る。FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining a step following the step shown in FIG. 2;
【図４】図３に続く工程を説明するための斜視図であ
る。FIG. 4 is a perspective view for explaining a step following the step shown in FIG. 3;
【図５】図４に続く工程を説明するための斜視図であ
る。FIG. 5 is a perspective view for explaining a step following the step shown in FIG. 4;
【図６】図５に続く工程を説明するための斜視図であ
る。FIG. 6 is a perspective view for explaining a step following the step shown in FIG. 5;
【図７】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドスライ
ダの外観構成を表す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view illustrating an external configuration of a magnetic head slider according to an embodiment of the present invention.
【図８】図７に示した磁気ヘッドスライダを用いた磁気
ディスク装置の構成を表す斜視図である。8 is a perspective view showing a configuration of a magnetic disk drive using the magnetic head slider shown in FIG.
【図９】磁気ディスク装置の動作時におけるヘッドコア
部と磁気ディスクとの位置関係を表す模式図であり、
（Ａ）は図８に示した本発明の一実施の形態に係る磁気
ディスク装置、（Ｂ）は従来の磁気ディスク装置に関す
るものである。FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a positional relationship between a head core unit and a magnetic disk during operation of the magnetic disk device;
(A) relates to a magnetic disk drive according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 8, and (B) relates to a conventional magnetic disk drive.
【図１０】従来の磁気ヘッドスライダの外観構成を表す
斜視図である。FIG. 10 is a perspective view illustrating an external configuration of a conventional magnetic head slider.
１…磁気ヘッドスライダ、１０…磁気ヘッドスライダ本
体部、１０ａ…エアベアリング面（ＡＢＳ）、１０ｂ…
負圧溝、１１…基体、２０…ヘッドコア部、２１…絶縁
層、２２…下部シールド層、２３，２５…シールドギャ
ップ膜、２４…ＭＲ膜、２６…下部磁極、２７…記録ギ
ャップ層、２８，３０，３２…フォトレジスト層、２
９，３１…コイル、３３…上部磁極、３４…オーバーコ
ート層、４１…マスク、４２…保護膜、５０…磁気ディ
スクDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic head slider, 10 ... Magnetic head slider main body part, 10a ... Air bearing surface (ABS), 10b ...
Negative pressure groove, 11: base, 20: head core, 21: insulating layer, 22: lower shield layer, 23, 25: shield gap film, 24: MR film, 26: lower magnetic pole, 27: recording gap layer, 28, 30, 32 ... photoresist layer, 2
9, 31: coil, 33: upper magnetic pole, 34: overcoat layer, 41: mask, 42: protective film, 50: magnetic disk
Claims (17)
出し用の磁気ヘッド素子の少なくとも一方を含むヘッド
コア部が形成された磁気ヘッドスライダ本体部と、 この磁気ヘッドスライダ本体部の記録媒体に対向するこ
ととなる面のうち、前記ヘッドコア部が形成された領域
以外の領域に選択的に形成された保護膜とを備えたこと
を特徴とする磁気ヘッドスライダ。A magnetic head slider main body having a head core portion including at least one of a write magnetic head element and a read magnetic head element; and a magnetic head slider main body facing a recording medium. And a protection film selectively formed in a region other than the region where the head core portion is formed.
された領域以外の全面に形成されていることを特徴とす
る請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。2. The magnetic head slider according to claim 1, wherein the protective film is formed on an entire surface other than a region where the head core portion is formed.
ボンを含むことを特徴とする請求項１または２記載の磁
気ヘッドスライダ。3. The magnetic head slider according to claim 1, wherein the protective film contains diamond-like carbon.
気抵抗素子であることを特徴とする請求項１ないし３の
いずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ。4. The magnetic head slider according to claim 1, wherein the read magnetic head element is a magnetoresistive element.
ル（Ｎｉ）およびマンガン（Ｍｎ）を含む磁気抵抗膜を
有することを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッドスラ
イダ。5. The magnetic head slider according to claim 4, wherein said magnetoresistive element has a magnetoresistive film containing at least nickel (Ni) and manganese (Mn).
たは読み出し用の磁気ヘッド素子の少なくとも一方を含
むヘッドコア部を形成することにより磁気ヘッドスライ
ダ本体部を作製する工程と、 前記磁気ヘッドスライダ本体部の記録媒体と対向するこ
ととなる面のうちの少なくとも前記ヘッドコア部が形成
されている領域にマスクを形成する工程と、 前記磁気ヘッドスライダ本体部の記録媒体と対向するこ
ととなる面を覆うように保護膜を形成する工程と、 前記マスクとこのマスク上の保護膜とを除去する工程と
を含むことを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方
法。6. A step of forming a magnetic head slider main body by forming a head core portion including at least one of a magnetic head element for writing and a magnetic head element for reading on a base; Forming a mask on at least a region of the surface facing the recording medium where the head core portion is formed; and covering the surface of the magnetic head slider main body portion facing the recording medium. Forming a protective film on the mask, and removing the mask and the protective film on the mask.
こととなる面の前記ヘッドコア部が形成されている領域
にのみ形成することを特徴とする請求項６記載の磁気ヘ
ッドスライダの製造方法。7. The method of manufacturing a magnetic head slider according to claim 6, wherein the mask is formed only in a region of the surface facing the recording medium where the head core portion is formed.
ボンを含むことを特徴とする請求項６または７記載の磁
気ヘッドスライダの製造方法。8. The method of manufacturing a magnetic head slider according to claim 6, wherein said protective film contains diamond-like carbon.
気抵抗素子であることを特徴とする請求項６ないし８の
いずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。9. The method according to claim 6, wherein the read magnetic head element is a magnetoresistive element.
ケル（Ｎｉ）およびマンガン（Ｍｎ）を含む磁気抵抗膜
を有することを特徴とする請求項９記載の磁気ヘッドス
ライダの製造方法。10. The method according to claim 9, wherein the magnetoresistive element has a magnetoresistive film containing at least nickel (Ni) and manganese (Mn).
を特徴とする請求項６ないし１０のいずれか１項に記載
の磁気ヘッドスライダの製造方法。11. The method according to claim 6, wherein said mask is made of an organic material.
を特徴とする請求項６ないし１０のいずれか１項に記載
の磁気ヘッドスライダの製造方法。12. The method according to claim 6, wherein said mask is made of a metal material.
スライダと記録媒体とを備えた磁気ディスク装置であっ
て、 前記磁気ヘッドスライダは、 書き込み用の磁気ヘッド素子または読み出し用の磁気ヘ
ッド素子の少なくとも一方を含むヘッドコア部が形成さ
れた磁気ヘッドスライダ本体部と、 この磁気ヘッドスライダ本体部の前記記録媒体に対向す
る面のうち、前記ヘッドコア部が形成された領域以外の
領域に選択的に形成された保護膜とを有することを特徴
とする磁気ディスク装置。13. A magnetic disk drive comprising a magnetic head slider and a recording medium which are arranged to face each other, wherein said magnetic head slider is at least one of a magnetic head element for writing and a magnetic head element for reading. A magnetic head slider main body portion having a head core portion including: a magnetic head slider main body portion selectively formed in a region of the surface of the magnetic head slider main body portion facing the recording medium other than a region where the head core portion is formed; A magnetic disk drive comprising a protective film.
成された領域以外の全面に形成されていることを特徴と
する請求項１３記載の磁気ディスク装置。14. The magnetic disk drive according to claim 13, wherein the protective film is formed on an entire surface other than a region where the head core portion is formed.
ーボンを含むことを特徴とする請求項１３または１４記
載の磁気ディスク装置。15. The magnetic disk drive according to claim 13, wherein said protective film contains diamond-like carbon.
磁気抵抗素子であることを特徴とする請求項１３ないし
１５のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。16. The read magnetic head element,
The magnetic disk drive according to any one of claims 13 to 15, wherein the magnetic disk drive is a magnetoresistive element.
ケル（Ｎｉ）およびマンガン（Ｍｎ）を含む磁気抵抗膜
を有することを特徴とする請求項１６記載の磁気ディス
ク装置。17. The magnetic disk drive according to claim 16, wherein said magnetoresistive element has a magnetoresistive film containing at least nickel (Ni) and manganese (Mn).
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