JP2000243824A - ウエハーケース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハーを収納するケースを軽量、小型化す
る共に、環境を汚染することなく処分するこができるも
のとする。 【解決手段】 ウエハーケース１はケース本体２と蓋体
３からなり、これらは、無塵紙により形成される。した
がって、ケースを軽量、小型化にするこが可能となり、
また、ケースからの塵埃の発生を抑制することができ
る。また使用済みのケースを環境を汚染することなく処
分することができる。ウエハーケースのケース本体の蓋
体はめ合い部に空気の連通孔２ｃを形成し、蓋体を開け
る際に空気が流入し易くして蓋体を開け易くしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスの
材料となるＳｉなどの単結晶インゴットを切断して得ら
れるウエハーを収容するウエハーケースに係り、特に、
低コストで製造でき、軽量化が可能で、且つ廃棄あるい
は再利用が可能で環境に及ぼす影響をなくすことのでき
るウエハーケースに関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩ等種々の半導体デバイスは、Ｓｉ
等の単結晶インゴットを切断して得たウエハーにイオン
拡散、ホトエッチング等の工程を施して製造されるが、
これに使用されるウエハーは、育成した単結晶インゴッ
トを切断した後、ラッピング、エッジ加工、鏡面研磨、
さらに表面洗浄等の工程を経て出荷される。また、出荷
前には、抵抗率などの電気特性、厚さや平たん度などの
寸法精度や表面の傷、汚れの有無等の検査が行われる。

【０００３】半導体デバイスの性能と信頼性は製作技術
に左右されるが、その材料となるウエハー自体が高精度
に加工された状態を維持され、また、清浄に保たれなけ
ればならない。また、製造工程における室内の空気もき
わめて高い無じん化、すなわち清浄度が要求され、極め
て塵埃の少ない環境に保たれた「クーリンルーム」で製
造作業が行われる。したがって、製造工程に持ち込まれ
るウエハーは当然に、損傷のない加工された状態を保持
すると共に清浄な状態でなければならない。また、これ
を包装するケースや容器も工程内に塵埃を持ち込むよう
なものであってはならない。このような意味からも、加
工されたウエハーの出荷に際しては、輸送中のウエハー
を保護することのできる清浄なケースに入れて出荷する
ことが必要である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ウエハーの
収容するケースとして要求される条件を満たすものとし
て、従来よりプラスチックを材料としたケースが用いら
れている。プラスチックを材料としたウエハーケース
は、強度的にも優れ、また、ケースをクリーンな状態に
保つという観点からも満足するものと言えるが、製造す
るにあたり高価な型を使用し、また原料費も高く、単価
が高くなるといった問題がある。また、使用後、処分す
る場合に、プラスチックは廃棄が困難である。回収し、
洗浄して再利用することも考えられるが、洗浄のための
経費が必要となりコストが高くなり、また、輸出したも
のに対しては困難である。

【０００５】本発明は、これの問題を解決するためにな
されたもので、低い製造コストで軽量化、小型化をはか
ると共に廃棄を容易にし、さらに環境保護にも役立つウ
エハーケースを得ることを目的としてなされたものであ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、課題を解決す
ることを目的とするものであり、ウエハーケースを無塵
紙で製造したこと特徴とするものである。ケースを無塵
紙で製造することにより、製造コストを低くすることが
でき、軽量化、小型化が可能となる。また、ケース自体
から塵埃が発生することが抑制され、ウエハー自体に塵
埃が付着することが防止され、さらに、半導体製造施設
における室内への塵埃の持込みも抑制することができ
る。さらに、使用済みの処分も低コストで容易に行うこ
とができる。

【０００７】また、本発明によるウエハーケースは、無
塵紙で製造したケース本体と蓋体で構成し、ケース本体
の蓋体はめあい部にケース本体の内外を連通する連通孔
を形成している。これにより、蓋体を開ける際、ケース
内に空気が容易に流入し、蓋体の開閉が容易となる。

【０００８】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。図１は本発明の実施例に係るＳ
ｉウエハーを収容するウエハーケース１を示す。ウエハ
ーケース１は、無塵紙を材料とした厚紙により作られて
おり、断面が円形のケース本体２と蓋体３よりなる。こ
の材料として使用する無塵紙は発塵を著しく低く抑えた
もので「クリーンペーパー」とも呼ばれるものである。
この無塵紙は、例えば、紙製造工程における調合工程に
おいて、原料であるパルプに発塵防止処理用樹脂バイン
ダー及びインキ滲み防止用サイズ剤を混合調合したもの
を抄造して得ることができる。

【０００９】パルプは、一般の紙の原料として使用され
る天然パルプであり、木材等の植物の処理により得られ
るセルロース繊維である。また、バインダーとしては、
ＳＢＲ，ＮＢＲ，ＭＢＲ、ポリウレタン等のゴム系ラテ
ックス、ポリアクリルレート、ポリ酢酸ビニル等の樹脂
系ラテックスなどが使用可能である。なお、無塵紙にお
いては、通常の紙より、バインダーの含有量を多くする
（例えば、天然パルプ１００重量部に対し、５〜４０重
量部）。これにより、塵埃の発生を抑制することができ
る。

【００１０】ウエハーケースのケース本体２は上部に開
口を有する有底で、収容するウエハーの外径より若干大
きい内径の円筒状の胴部２ａからなる。この胴部２ａの
開口部に隣接する端部には蓋体３が嵌合する蓋体嵌合部
２ｂを形成するため薄肉部２ｂが形成されている。一
方、蓋体３は、円形板３ａと周囲の円筒部３ｂからな
る。円筒部３ｂの内径はケース本体の蓋体はめ合い部２
ｂの外径より僅かに大とされ、ケース本体の開口部を、
この円筒部３ｂを蓋体はめ合い部に嵌合させてケース本
体２の開口部を閉蓋するようにしている。

【００１１】ケース本体の蓋体はめ合い部２ｂには図示
のように丸い連通孔２ｃが貫通して等間隔で３箇所に形
成されている。この連通孔２ｃは、蓋体３を取り外して
ケースを開けるとき、ケース内に空気を導入し易くし、
開蓋時に生じる負圧を早い段階で解消して蓋体を開け易
くするために設けたものである。図２は、上記ウエハー
ケース１にＳｉウエハーを収容する場合のエウハーの収
納方法を示す。ケース本体２の底部には緩衝材としての
スポンジ５が置かれ、その上にウエハー４が設置され
る。そして、ウエハー４の上には表面を保護するための
薄いシート６を介して緩衝材としてのスポンジ７が載せ
られ、その状態で蓋体３を被せて閉蓋する。

【００１２】本実施例によるウエハーケース１は、無塵
紙を使用しているために、ケース自体より粉塵が発生す
ることが抑えられウエハーに塵埃が付着することがな
く、また、内部にウエハーを収容したケースが半導体デ
バイスの製造工程に搬入される場合においても、ケース
自体が塵埃を発生して工程内に持ち込むといったことも
ない。

【００１３】また、紙を材料とするものの、厚紙の有す
る強度はウエハーの収容ケースとして十分の強度を持た
せることはできる。例えば、紙厚を１．６ｍｍ程度にす
ることにより、真空梱包（ビニール袋で覆い、内部を真
空にして梱包する）した場合においても、蓋体の天部や
本体の底部に凹みが生じることはない。さらに、６面体
の梱包箱にウエハーケースを入れ、高さ１ｍのとことよ
り落下試験を行った結果、ウエハーケースの内部のウエ
ハーに割れ、キズなどが生じることもなかった。また、
ケース側面に対して垂直に荷重を加えた場合、８０ｋｇ
ｆ程度の荷重に対し、圧縮量が１０ｍｍ程度であった。

【００１４】また、海外輸送のような場合、真空梱包が
施されて輸送されるが、たとえば、外部の湿度が４０°
Ｃ，８０％の場合であっても、ウエハーケース内部の湿
度は、２週間程度は外部環境に影響されずには低く保つ
ことが実験的に確かめられている。また、ケースを低コ
ストで得られる紙を材料とするものであり、ケースを小
型にして１枚毎にケースに収容するようにしても、コス
ト高にならない。また、ケースはきわめて軽量であり、
取扱いも容易となる。また、ケースは無塵紙で作られて
いるため、ケース自体に例えば、内容物を表示する印刷
を直接施すことが可能となる。そして、無塵紙にはイン
キ滲み防止用サイズ剤を含有させてあるため、印刷した
インクが滲みだすことがなく、インクが粉塵となってウ
エハーや容器に付着して汚すことを防止することができ
る。また、使用済みのケースは、材料が紙であるため、
焼却などにより容易に処分することができ、これに伴っ
て環境を汚染するといった問題もなくなる。

【００１５】さらに、ウエハーケース１は、ケース本体
２の蓋体はめ合い部２ｂにケース本体の内外に連通する
連通孔２ｃを形成しているため、蓋体３の開蓋を容易に
行うことができ、蓋体３の取扱いも円滑に行うことがで
き、塵埃の発生も防止することができる。なお、本実施
例においては、連通孔２ｃを等間隔の３個所に形成する
ようにしているが、これは、開蓋時に蓋体３の上面が水
平の状態で上方に移動することなく、傾斜した状態で移
動させられるような場合にあっても、何れかの連通孔よ
り空気の流入が行われるようにするためである。したが
って、ケースが円筒形のものにあっては、蓋体はめ合い
部に形成する連通孔は最低３個所、等間隔に形成するこ
とが有効である。

【００１６】図３は、図１に示した実施例のウエハーケ
ース１の変形例を示す。この変形例に係るウエハーケー
ス１０は、ケース本体１２の蓋体はめ合い部１２ｂに形
成する連通孔１２ｃの形状を三角形とした点を除いてウ
エハーケース１と同じである。連通孔１２ｃの形状は、
これらの他、楕円形や四角形としてもよい。このよう
に、連通孔の形状を変えることにより、容器に識別性を
与えることができ、収容するウエハーの種類や製造ロッ
トに応じて使い分けるようにすることもできる。

【００１７】図４は、本発明の他の実施例に係るウエハ
ーケース２０を示す。ウエハーケース２０は無塵紙の厚
紙によって作られ、断面正方形の形状をなし、ケース本
体２２と蓋体２３からなる。そして、前述の例と同様
に、ケース本体の蓋体はめ合い部２２ｂには連通孔２２
ｃが各辺毎に形成されている。ケース本体２２の深さ
は、図１乃至図３に示した例のものより深くしており、
これにより、複数枚のウエハーを夫々スポンジを介在さ
せて収納することが可能となる。

【００１８】ウエハーケース２０は、収納するウエハー
は円形であるものの、ケースが立方体の形状をなすもの
であるため、複数のケースを四角のダンボール箱に充填
して収納するような場合、円形のものより整列して収納
することができ、スペース効率を良くすることができる
とともに、ガタツキを少なくすることができる。上述に
ように、本発明によるウエハーケースは無塵紙の厚紙に
より形成してものであり、ウエハーケースとして必要な
強度を備えたものであが、強度的にはプラスチックのケ
ースに比較すれば劣るが、通常のウエハーの保管、搬送
用に使用するケースとしては特に支障はない。また、多
数のケースを搬送する場合には、所定の個数を収容する
ことのできる強度のあるコンテナ、あるいはプラスチッ
ク容器に収容して搬送するようにすればよい。

【００１９】

【発明の効果】上述の如く本発明によれば、次に述べる
種々の効果を実現することができる。本発明によれば、
ウエハーケースを紙である無塵紙で形成するため、製造
コストを低くすることができる。また、ケース自体から
の塵埃の発生が抑制されるため、ウエーに塵埃が付着す
るといった問題もなく、また、ケースを半導体施設に持
ち込む場合に、施設内に塵埃を持ち込むといったことも
ない。また、紙を材料とするため、ケースを軽量化、小
型化することが可能となる。また、使用済みのケースの
廃棄処分も環境を汚染することなく容易に行うことがで
きる。

【００２０】また、ウエハーケースのケース本体の蓋体
はめあい部に連通孔を形成することにより、蓋体を開け
る際、ケース内に空気が容易に流入し、蓋体の開閉が容
易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係るウエハーケースを示す図
である。

【図２】ウエハーケースを使用してウエハーを収納する
状態を説明する図である。

【図３】本発明の変形例を示す図である。

【図４】本発明の他の実施例を示す図である。

【符号の説明】

１、１０、２０ ウエハーケース ２、１２、２２ ケース本体 ２ｂ，１２ｂ，２２ｂ 蓋体はめ合い部３ ２ｃ １２ｃ ２２ｃ 連通孔 ３、２３ 蓋体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大内田 豊 神奈川県厚木市酒井1601 ミツミ電機株式 会社厚木事業所内 (72)発明者 金山 和太郎 東京都台東区東上野１−９−６ 桜井株式 会社内 (72)発明者 小島 将哉 東京都台東区東上野１−９−６ 桜井株式 会社内 Ｆターム(参考） 3E068 AA33 AB04 AB05 CC03 DD40 DE02 EE22 3E096 BA16 CA02 CA05 CB01 CB03 FA03 FA22 GA07 5F031 CA02 DA12 EA01 EA12 MA22 MA23 MA24 PA26

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハーを収容するウエハーケースであ
   って、該ウエハーケースは、無塵紙により形成したウエ
   ハーを収容するケース本体及びケース本体の開口部を閉
   じる蓋体からなることを特徴とするウエハーケース。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のウエハーケースにおい
   て、前記ケース本体は蓋体が嵌合する蓋体はめ合い部を
   有し、該蓋体はめ合い部には複数の連通孔が等間隔に形
   成されていることを特徴とするウエハーケース。