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JP2000222876A - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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JP2000222876A
JP2000222876A JP11022499A JP2249999A JP2000222876A JP 2000222876 A JP2000222876 A JP 2000222876A JP 11022499 A JP11022499 A JP 11022499A JP 2249999 A JP2249999 A JP 2249999A JP 2000222876 A JP2000222876 A JP 2000222876A
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Japan
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bit line
sense amplifier
signal
precharge
bit lines
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JP11022499A
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Japanese (ja)
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Masashi Agata
政志 縣
Kazuya Takahashi
和也 高橋
Tsutomu Fujita
藤田  勉
Naoki Kuroda
直喜 黒田
Toshiro Yamada
俊郎 山田
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 一のメモリセルに2つのトランジスタ及び1
つのキャパシタを有する半導体記憶装置において、互い
に隣接するビット線同士のうち、一方のビット線で発生
する干渉ノイズが他方のビット線に混入しないようにす
る。 【解決手段】 読み出し動作Tre時において、ポートb
の第2のビット線BLb(n)を制御する第2のプリチ
ャージ信号EQbがローレベルで且つ第2のセンスアン
プ活性化信号SEbがハイレベルに保持されている期間
中に、ポートaの第1のビット線BLa(n)を制御す
る第1のプリチャージ信号EQa及び第1のセンスアン
プ活性化信号SEaが共にローレベルとし、第1のビッ
ト線BLa(n)がフローティング状態し、続いて、第
1のセンスアンプ活性信号SEaを立ち上げる。
(57) [Problem] To provide two transistors and one transistor in one memory cell
In a semiconductor memory device having two capacitors, among bit lines adjacent to each other, interference noise generated on one bit line is prevented from being mixed into the other bit line. SOLUTION: In a read operation Tre, a port b
During the period in which the second precharge signal EQb controlling the second bit line BLb (n) is at a low level and the second sense amplifier activation signal SEb is held at a high level. The first precharge signal EQa for controlling one bit line BLa (n) and the first sense amplifier activating signal SEa are both at a low level, the first bit line BLa (n) is in a floating state, and subsequently, , The first sense amplifier activation signal SEa rises.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ダイナミックラン
ダムアクセスメモリ回路等からなる半導体記憶装置に関
し、特に、一のメモリセルに2つのトランジスタと1つ
のストレージキャパシタとを有する半導体記憶装置に関
する。
The present invention relates to a semiconductor memory device comprising a dynamic random access memory circuit and the like, and more particularly to a semiconductor memory device having two transistors and one storage capacitor in one memory cell.

【0002】[0002]

【従来の技術】以下、米国特許第5856940号に開
示されている、1メモリセル当たり2つのトランジスタ
及び1つのストレージキャパシタを有し、各メモリセル
がそれぞれ2本ずつのワード線及びビット線と接続され
た、デュアルワード線及びデュアルビット線方式による
「省待ち時間(low latency)DRAMセ
ル」について図面を参照しながら説明する。
2. Description of the Related Art U.S. Pat. No. 5,856,940 discloses a memory cell having two transistors and one storage capacitor, each of which is connected to two word lines and two bit lines. The "low latency DRAM cell" using the dual word line and dual bit line method will be described with reference to the drawings.

【0003】図7は従来の省待ち時間DRAMセルを有
する半導体記憶装置のメモリセルの回路構成を示してい
る。図7に示すメモリセル100は、例えば、ゲートが
第1のワード線WL0Aと接続され、ドレインが第1の
ビット線BL0Aと接続され、ソースがストレージノー
ド101と接続された第1のスイッチトランジスタ10
2と、ゲートが第2のワード線WL0Bと接続され、ド
レインが第2のビット線BL0Bと接続され、ソースが
ストレージノード101と接続された第2のスイッチト
ランジスタ103と、一方の電極がストレージノード1
01と接続され、他方の電極がセルプレートとなるスト
レージキャパシタ104とを有している。
FIG. 7 shows a circuit configuration of a memory cell of a conventional semiconductor memory device having a DRAM with a reduced waiting time. The memory cell 100 shown in FIG. 7 has, for example, a first switch transistor 10 having a gate connected to the first word line WL0A, a drain connected to the first bit line BL0A, and a source connected to the storage node 101.
2, a second switch transistor 103 having a gate connected to the second word line WL0B, a drain connected to the second bit line BL0B, a source connected to the storage node 101, and one electrode connected to the storage node 1
01, and the other electrode has a storage capacitor 104 serving as a cell plate.

【0004】このように、メモリセル100は、一のス
トレージキャパシタ104に対して独立に制御可能な第
1のスイッチトランジスタ102と第2のスイッチトラ
ンジスタ103とを有している。従って、複数のメモリ
セル100における、第1のワード線WL0A及び第1
のビット線BL0Aと、第2のワード線WL0B及び第
2のビット線BL0Bとにインターリーブ動作を行なえ
るため、読み出し動作及び書き込み動作を高速に行なえ
る。
As described above, the memory cell 100 has the first switch transistor 102 and the second switch transistor 103 that can independently control one storage capacitor 104. Accordingly, in the plurality of memory cells 100, the first word line WL0A and the first word line WL0A
Of the bit line BL0A and the second word line WL0B and the second bit line BL0B, so that the read operation and the write operation can be performed at high speed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の省待ち時間DRAMセルを持つ半導体記憶装置は、
隣接するビット線に対してインターリーブ動作を行なう
ため、第1のビット線系BLnA及び第2のビット線系
BLnBが互いに独立に動作すると、このときのビット
線電位の変化に起因するカップリングノイズが隣接する
ビット線に混入するという問題がある。このカップリン
グノイズの混入により、メモリセル100が保持するデ
ータ値が最悪の場合には反転してしまうような事態も起
こり得る。
However, the conventional semiconductor memory device having a DRAM cell with a reduced waiting time has the following problems.
Since the first bit line system BLnA and the second bit line system BLnB operate independently of each other to perform an interleave operation on adjacent bit lines, coupling noise caused by a change in bit line potential at this time is reduced. There is a problem of mixing in adjacent bit lines. Due to the coupling noise, the data value held by the memory cell 100 may be inverted in the worst case.

【0006】本発明は、前記従来の問題を解決し、一の
メモリセルに2つのトランジスタ及び1つのキャパシタ
を有する半導体記憶装置において、互いに隣接するビッ
ト線同士のうち、一方のビット線で発生する干渉ノイズ
が他方のビット線に混入しないようにすることを目的と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned conventional problem. In a semiconductor memory device having two transistors and one capacitor in one memory cell, it occurs in one of bit lines adjacent to each other. An object is to prevent interference noise from being mixed into the other bit line.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明は、一方のビット線系におけるプリチャージ
信号が活性状態又はセンスアンプ活性化信号が活性状態
に保持されている間に、他方のビット線系におけるプリ
チャージ信号又はセンスアンプ活性化信号を非活性状態
とする構成とする。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a method for controlling a state in which a precharge signal in one bit line system is kept active or a sense amplifier activation signal is kept active. A precharge signal or a sense amplifier activating signal in the other bit line system is set to an inactive state.

【0008】具体的に、本発明に係る半導体記憶装置
は、それぞれが、ソースが互いに接続された第1のスイ
ッチトランジスタ及び第2のスイッチトランジスタと、
一方の電極がソースと接続されたデータ蓄積用のストレ
ージキャパシタとからなる複数のメモリセルと、それぞ
れが第1のスイッチトランジスタのドレインと接続され
た複数の第1のビット線と、それぞれが、第2のスイッ
チトランジスタのドレインと接続され、第1のビット線
と交互に設けられた複数の第2のビット線と、それぞれ
が複数の第1のビット線と接続された複数の第1のセン
スアンプと、それぞれ複数の第2のビット線と接続され
た複数の第2のセンスアンプとを備え、複数の第1のビ
ット線ごとにプリチャージを行なう第1のプリチャージ
信号又は複数の第1のセンスアンプを活性化する第1の
センスアンプ活性化信号が活性状態に保持されている期
間に、複数の第2のビット線ごとにプリチャージを行な
う第2のプリチャージ信号及び複数の第2のセンスアン
プを活性化する第2のセンスアンプ活性化信号が共に非
活性状態となる。
More specifically, the semiconductor memory device according to the present invention includes a first switch transistor and a second switch transistor each having a source connected to each other,
A plurality of memory cells each including a storage capacitor for data storage having one electrode connected to the source; a plurality of first bit lines each connected to the drain of the first switch transistor; And a plurality of first sense amplifiers connected to the drains of the second switch transistors and alternately provided with the first bit lines, and a plurality of first sense amplifiers each connected to the plurality of first bit lines. And a plurality of second sense amplifiers respectively connected to the plurality of second bit lines, and a first precharge signal or a plurality of first precharge signals for performing precharge for each of the plurality of first bit lines. A second precharger that performs precharge for each of the plurality of second bit lines while the first sense amplifier activating signal for activating the sense amplifier is kept active; Second sense amplifier activating signal for activating the second sense amplifier di- signals and a plurality are both inactivated.

【0009】本発明の半導体記憶装置によると、例え
ば、メモリセルに保持されているデータが第2のビット
線から読み出される場合には、第2のビット線に印加さ
れている第2のプリチャージ信号がオフにされた後、第
2のスイッチトランジスタが活性化されることにより、
第2のビット線にストレージキャパシタに蓄積されてい
る電荷が流入する。通常、この時点では第2のセンスア
ンプ活性化信号は非活性状態であるため第2のセンスア
ンプは駆動されない。このとき、第2のビット線に隣接
する第1のビット線に印加される第1のプリチャージ信
号又は第1のセンスアンプ活性化信号が活性状態に保持
されている。
According to the semiconductor memory device of the present invention, for example, when the data held in the memory cell is read from the second bit line, the second precharge applied to the second bit line After the signal is turned off, the second switch transistor is activated,
The charge stored in the storage capacitor flows into the second bit line. Usually, at this time, the second sense amplifier activation signal is in an inactive state, so that the second sense amplifier is not driven. At this time, the first precharge signal or the first sense amplifier activating signal applied to the first bit line adjacent to the second bit line is kept active.

【0010】従って、まず、第1のプリチャージ信号が
ハイレベルに保持され且つ第1のセンスアンプ活性化信
号がローレベルに保持されている場合は、第1のビット
線がプリチャージされてローインピーダンス状態である
ため、この後、第2のセンスアンプ活性化信号がハイレ
ベルとなり第2のセンスアンプが活性化されたとして
も、ローインピーダンス状態である第1のビット線がシ
ールド線として機能する。
Therefore, first, when the first precharge signal is held at a high level and the first sense amplifier activating signal is held at a low level, the first bit line is precharged to a low level. Since the state is in the impedance state, the first bit line in the low impedance state functions as a shield line even if the second sense amplifier activation signal goes high to activate the second sense amplifier thereafter. .

【0011】また、第1のプリチャージ信号がローレベ
ルに保持され且つ第1のセンスアンプ活性化信号がハイ
レベルに保持されている場合は、第1のビット線の電位
がハイレベル又はローレベルに電位が確定されてローイ
ンピーダンス状態であるため、この後、第2のセンスア
ンプ活性化信号がハイレベルとなり第2のセンスアンプ
が活性化されたとしても、ローインピーダンス状態であ
る第1のビット線がシールド線として機能する。
When the first precharge signal is held at a low level and the first sense amplifier activating signal is held at a high level, the potential of the first bit line becomes high or low. Is in a low-impedance state and the second sense amplifier activating signal subsequently goes high to activate the first bit in a low-impedance state even if the second sense amplifier is activated. The wire functions as a shield wire.

【0012】本発明の半導体記憶装置において、第1の
プリチャージ信号及び第2のセンスアンプ活性化信号の
信号レベルが、同期用クロック信号の一の動作タイミン
グで変化することが好ましい。ここで、例えば、第1の
プリチャージ信号及び第1のセンスアンプ活性化信号を
同期用クロック信号の一の動作タイミングで変化し、且
つ、第2のプリチャージ信号及び第2のセンスアンプ活
性化信号を同期用クロック信号の他の動作タイミングで
変化するような構成の場合には、同期用クロック信号の
周期が変更されると、第1のプリチャージ信号及び第2
のセンスアンプ活性化信号の変化の相対的なタイミング
がずれるため、第2のプリチャージ信号及び第2のセン
スアンプ活性化信号が非活性状態のときに、第1のプリ
チャージ信号が変化してしまう事態が起こり得る。しか
しながら、第1のプリチャージ信号及び第2のセンスア
ンプ活性化信号が、同期用クロック信号の一の動作タイ
ミングで変化する構成とすると、クロック周期が変更さ
れたとしても、第1のプリチャージ信号及び第2のセン
スアンプ活性化信号の相対的なタイミングがずれなくな
るため、第2のプリチャージ信号及び第2のセンスアン
プ活性化信号が非活性状態のときに、第1のプリチャー
ジ信号が変化してしまうことがない。
In the semiconductor memory device of the present invention, it is preferable that the signal levels of the first precharge signal and the second sense amplifier activating signal change at one operation timing of the synchronization clock signal. Here, for example, the first precharge signal and the first sense amplifier activation signal are changed at one operation timing of the synchronization clock signal, and the second precharge signal and the second sense amplifier activation are changed. In a configuration in which the signal changes at another operation timing of the synchronization clock signal, when the period of the synchronization clock signal is changed, the first precharge signal and the second precharge signal are changed.
Since the relative timing of the change of the sense amplifier activation signal is shifted, the first precharge signal changes when the second precharge signal and the second sense amplifier activation signal are inactive. That can happen. However, if the first precharge signal and the second sense amplifier activating signal are configured to change at one operation timing of the synchronization clock signal, the first precharge signal and the second sense amplifier activation signal are changed even if the clock cycle is changed. And the relative timing of the second sense amplifier activating signal does not shift, so that the first precharge signal changes when the second precharge signal and the second sense amplifier activating signal are inactive. I won't.

【0013】本発明の半導体記憶装置において、ストレ
ージキャパシタに蓄積されているデータが、第2のプリ
チャージ信号及び第2のセンスアンプ活性化信号が共に
非活性状態のときに第2のビット線に読み出されること
が好ましい。このようにすると、外部から選択された第
2のビット線へのデータ読み出し時に該第2のビット線
から生じる干渉ノイズが隣接する第1のビット線にシー
ルドされる。
In the semiconductor memory device of the present invention, data stored in the storage capacitor is transferred to the second bit line when both the second precharge signal and the second sense amplifier activation signal are inactive. Preferably, it is read. With this configuration, at the time of reading data to the second bit line selected from the outside, interference noise generated from the second bit line is shielded by the adjacent first bit line.

【0014】本発明の半導体記憶装置において、ストレ
ージキャパシタに蓄積されるデータが、第2のプリチャ
ージ信号及び第2のセンスアンプ活性化信号が共に非活
性状態のときに書き込まれることが好ましい。このよう
にすると、外部から選択された第2のビット線へのデー
タ書き込み時に該第2のビット線から生じる干渉ノイズ
が隣接する第1のビット線にシールドされる。
In the semiconductor memory device of the present invention, it is preferable that data stored in the storage capacitor is written when both the second precharge signal and the second sense amplifier activation signal are in an inactive state. With this configuration, at the time of writing data to the second bit line selected from the outside, the interference noise generated from the second bit line is shielded by the adjacent first bit line.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態について図面
を参照しながら説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0016】図1は本発明の一実施形態に係る半導体記
憶装置におけるメモリセルアレイの模式的な平面構成を
示している。図1に示すように、本発明に係る記憶装置
は、一のセンスアンプSAa又はSAbに対して互いに
隣接してなる相補なビット線対を持たないオープンビッ
ト線構成を採る。従って、それぞれがロウ(行)方向に
延びる第1のビット線BLa(n)及び第2のビット線
形BLb(n)(但し、n=0,1,2,…)は交互に
設けられている。
FIG. 1 shows a schematic plan configuration of a memory cell array in a semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the memory device according to the present invention employs an open bit line configuration that does not have a complementary bit line pair adjacent to one sense amplifier SAa or SAb. Therefore, the first bit lines BLa (n) and the second bit linear BLb (n) (where n = 0, 1, 2,...) Each extending in the row (row) direction are provided alternately. .

【0017】第1のビット線BLa(n)の一端部には
第1のセンスアンプ系回路10Aがそれぞれ設けられ
第2のビット線BLb(n)における第1のセンスアン
プ10Aと反対側の端部には第2のセンスアンプ系回路
10Bがそれぞれ設けられている。
A first sense amplifier system circuit 10A is provided at one end of the first bit line BLa (n).
A second sense amplifier circuit 10B is provided at an end of the second bit line BLb (n) opposite to the first sense amplifier 10A.

【0018】また、それぞれが第1のビット線BLa
(n)及び第2のビット線BLb(n)と交差する第1
のワード線WLa(m)及び第2のワード線WLb
(m)(但し、m=0,1,2,3,…)は、カラム
(列)方向に交互に延びるように設けられている。
Each of the first bit lines BLa
(N) and a first bit line crossing the second bit line BLb (n).
Word line WLa (m) and second word line WLb
(M) (where m = 0, 1, 2, 3,...) Are provided so as to extend alternately in the column (row) direction.

【0019】図1に示すように、第1のワード線WLa
(m)及び第2のワード線WLb(m)と、第1のビッ
ト線BLa(n)及び第2のビット線BLb(n)とに
より囲まれてなる領域にはそれぞれメモリセル20が設
けられている。ここでは、メモリセル20を2T1Cセ
ルと呼ぶ。
As shown in FIG. 1, the first word line WLa
Memory cells 20 are provided in regions surrounded by (m) and the second word line WLb (m) and the first bit line BLa (n) and the second bit line BLb (n), respectively. ing. Here, the memory cell 20 is referred to as a 2T1C cell.

【0020】図2は本実施形態に係る2T1Cセル20
の回路構成を示している。図2に示すように、2T1C
セル20は、ゲートが第1のワード線WLaと接続さ
れ、ドレインが第1のビット線BLaと接続され、ソー
スがストレージノード21と接続された第1のスイッチ
トランジスタ22と、ゲートが第2のワード線WLbと
接続され、ドレインが第2のビット線BLbと接続さ
れ、ソースがストレージノード21と接続された第2の
スイッチトランジスタ23と、一方の電極がストレージ
ノード21と接続され、他方の電極がセルプレートとな
るストレージキャパシタ24とを有している。
FIG. 2 shows a 2T1C cell 20 according to this embodiment.
The circuit configuration of FIG. As shown in FIG. 2, 2T1C
The cell 20 has a first switch transistor 22 having a gate connected to the first word line WLa, a drain connected to the first bit line BLa, a source connected to the storage node 21, and a gate connected to the second switch transistor 22. A second switch transistor 23 connected to the word line WLb, the drain connected to the second bit line BLb, the source connected to the storage node 21, one electrode connected to the storage node 21, and the other electrode connected Have a storage capacitor 24 serving as a cell plate.

【0021】ここでは、便宜上、2T1Cセル20が、
第1のワード線WLa(m)及び第1のビット線BLa
(n)によりアクセスされる一の系をポートaと呼び、
第2のワード線WLb(m)及び第2のビット線BLb
(n)によりアクセスされる他の系をポートbと呼ぶ。
Here, for convenience, the 2T1C cell 20
First word line WLa (m) and first bit line BLa
One system accessed by (n) is called port a,
Second word line WLb (m) and second bit line BLb
The other system accessed by (n) is called port b.

【0022】図3は図1に示す第1のセンスアンプ系回
路10Aの詳細な回路構成の一例を示している。図3に
示すように、第1のセンスアンプ系回路10Aは、ポー
トaのセンスアンプ系回路であって、一方の第1のビッ
ト線BLaと接続された第1のメモリセルアレイ31
と、第1のセンスアンプ系回路10Aに対して一方の第
1のビット線BLaと反対側に延びる他方の第1のビッ
ト線BLXaと接続された第2のメモリセルアレイ32
とが設けられている。
FIG. 3 shows an example of a detailed circuit configuration of the first sense amplifier circuit 10A shown in FIG. As shown in FIG. 3, the first sense amplifier circuit 10A is a sense amplifier circuit of a port a, and a first memory cell array 31 connected to one of the first bit lines BLa.
And a second memory cell array 32 connected to the other first bit line BLXa extending on the opposite side of one first bit line BLa with respect to first sense amplifier circuit 10A.
Are provided.

【0023】第1のセンスアンプ系回路10Aは、選択
された2T1Cセル20から読み出され、第1のビット
線BLa及びBLXa間に生じた微小な電位差を増幅す
るセンスアンプ本体40と、該センスアンプ本体40と
第1のメモリセルアレイ31との間に設けられ、第1の
ビット線BLa及びBLXa同士をイコライズするプリ
チャージ・イコライズ回路50と、センスアンプ本体4
0と第2のメモリセルアレイ32との間に設けられ、セ
ンスアンプ本体40により増幅された電位差を読み出し
データとして出力するダイレクトセンスリードアンプ6
0と、センスアンプ本体40とダイレクトセンスリード
アンプ60との間に設けられ、第1のビット線BLa及
びBLXaに外部から入力されたデータを書き込むライ
トスイッチ回路70とから構成されている。
The first sense amplifier system circuit 10A includes a sense amplifier main body 40 which reads out from the selected 2T1C cell 20 and amplifies a small potential difference generated between the first bit lines BLa and BLXa, and the sense amplifier main circuit 40A. A precharge / equalize circuit 50 provided between the amplifier main body 40 and the first memory cell array 31 for equalizing the first bit lines BLa and BLXa with each other;
0, which is provided between the first memory cell array 32 and the second memory cell array 32 and outputs the potential difference amplified by the sense amplifier body 40 as read data.
0 and a write switch circuit 70 that is provided between the sense amplifier main body 40 and the direct sense read amplifier 60 and writes externally input data to the first bit lines BLa and BLXa.

【0024】また、センスアンプ本体40は、ゲートが
第1のセンスアンプ活性化信号SEaを受け、ドレイン
がセンスアンプ本体40と接続され、ソースが接地さ
れ、センスアンプ本体40に接地電位を供給するn型ス
イッチトランジスタ81と、第1のセンスアンプ活性化
信号SEaの極性を反転して出力するインバータ82
と、ゲートがインバータ82の出力を受け、ドレインが
センスアンプ本体40と接続され、ソースに電源電位が
印加され、センスアンプ本体40に電源電位を供給する
p型スイッチトランジスタ83とを有するセンスアンプ
駆動回路80と接続されている。
The sense amplifier body 40 has a gate receiving the first sense amplifier activation signal SEa, a drain connected to the sense amplifier body 40, a source grounded, and a ground potential supplied to the sense amplifier body 40. n-type switch transistor 81 and inverter 82 for inverting and outputting the polarity of first sense amplifier activation signal SEa
And a p-type switch transistor 83 having a gate receiving the output of the inverter 82, a drain connected to the sense amplifier main body 40, a power supply potential applied to the source, and supplying the power supply potential to the sense amplifier main body 40. It is connected to the circuit 80.

【0025】センスアンプ本体40は、ゲートが一方の
第1のビット線BLaと接続され、ソースがセンスアン
プ駆動回路80からの接地線と接続され、ドレインが他
方の第1のビット線BLXaと接続された第1のn型ト
ランジスタ41と、ゲートが他方の第1のビット線BL
Xaと接続され、ソースがセンスアンプ駆動回路80か
らの接地線と接続され、ドレインが一方の第1のビット
線BLaと接続された第2のn型トランジスタ42と、
ゲートが一方の第1のビット線BLaと接続され、ソー
スがセンスアンプ駆動回路80からの電源線と接続さ
れ、ドレインが他方の第1のビット線BLXaと接続さ
れた第1のp型トランジスタ43と、ゲートが他方の第
1のビット線BLXaと接続され、ソースがセンスアン
プ駆動回路80からの電源線と接続され、ドレインが一
方の第1のビット線BLaと接続された第2のp型トラ
ンジスタ44とからなる。
The sense amplifier body 40 has a gate connected to one first bit line BLa, a source connected to a ground line from the sense amplifier drive circuit 80, and a drain connected to the other first bit line BLXa. The first n-type transistor 41 and the gate of the other first bit line BL
Xa, a second n-type transistor 42 having a source connected to the ground line from the sense amplifier driving circuit 80 and a drain connected to one first bit line BLa,
First p-type transistor 43 having a gate connected to one first bit line BLa, a source connected to a power supply line from sense amplifier drive circuit 80, and a drain connected to the other first bit line BLXa. And a second p-type having a gate connected to the other first bit line BLXa, a source connected to a power supply line from the sense amplifier driving circuit 80, and a drain connected to the first bit line BLa. And a transistor 44.

【0026】ここで、センスアンプ本体40は、例え
ば、一方の第1のビット線BLaが他方の第1のビット
線BLXaよりもやや電位が高い状態で活性化されたと
すると、第1のn型トランジスタ41及び第2のp型ト
ランジスタ44が駆動し始めることにより、第1のn型
トランジスタ41が他方の第1のビット線BLXaの電
位をローレベルとし、且つ、第2のp型トランジスタ4
4が一方の第1のビット線BLaを電源電位であるハイ
レベルにまで昇圧する。これにより、第1のビット線B
La,BLXaに読み出された電位がそれぞれハイレベ
ル又はローレベルに確定される。
Here, assuming that one of the first bit lines BLa is activated with a potential slightly higher than that of the other first bit line BLXa, for example, the sense amplifier body 40 has a first n-type. When the transistor 41 and the second p-type transistor 44 start driving, the first n-type transistor 41 sets the potential of the other first bit line BLXa to low level, and the second p-type transistor 4
4 boosts one of the first bit lines BLa to a high level which is a power supply potential. Thereby, the first bit line B
The potentials read out to La and BLXa are fixed to the high level or the low level, respectively.

【0027】プリチャージ・イコライズ回路50は、ゲ
ートが第1のプリチャージ信号EQaを受け、ソース・
ドレインがそれぞれ第1のビット線BLa,BLXaと
接続され、第1のビット線BLa,BLXa同士の電位
を等価とするイコライズトランジスタ51と、ゲートが
第1のプリチャージ信号EQaを受け、ソースが一方の
第1のビット線BLaと接続され、ドレインにプリチャ
ージ電源VBLPが印加される第1のプリチャージトラ
ンジスタ52と、ゲートが第1のプリチャージ信号EQ
aを受け、ソースが他方の第1のビット線BLXaと接
続され、ドレインにプリチャージ電源VBLPが印加さ
れる第2のプリチャージトランジスタ53とからなる。
The precharge equalizing circuit 50 has a gate receiving the first precharge signal EQa,
The drains are respectively connected to the first bit lines BLa and BLXa, the equalizing transistor 51 for equalizing the potentials of the first bit lines BLa and BLXa, the gate receives the first precharge signal EQa, and the source is connected to one side. A first precharge transistor 52 connected to the first bit line BLa, and having a drain to which the precharge power supply VBLP is applied, and a gate connected to the first precharge signal EQ.
and a second precharge transistor 53 whose source is connected to the other first bit line BLXa and whose drain is applied with the precharge power supply VBLP.

【0028】ダイレクトセンスリードアンプ60は、ゲ
ートが一方の第1のビット線BLaの電位を受け、ソー
スが接地された第1のn型スイッチトランジスタ61
と、ゲートが第1の読み出し制御信号REa受け、ソー
スが第1のn型スイッチトランジスタ61のドレインと
接続され、ドレインが一方の第1のデータ線DLaと接
続された第2のn型スイッチトランジスタ62と、ゲー
トが他方の第1のビット線BLXaの電位を受け、ソー
スが接地された第3のn型スイッチトランジスタ63
と、ゲートが第1の読み出し制御信号REa受け、ソー
スが第3のn型スイッチトランジスタ63のドレインと
接続され、ドレインが他方の第1のデータ線DLXaと
接続された第4のn型スイッチトランジスタ64とから
なる。
The direct sense read amplifier 60 has a gate receiving the potential of one first bit line BLa and a first n-type switch transistor 61 whose source is grounded.
And a second n-type switch transistor having a gate receiving the first read control signal REa, a source connected to the drain of the first n-type switch transistor 61, and a drain connected to one first data line DLa. And a third n-type switch transistor 63 whose gate receives the potential of the other first bit line BLXa and whose source is grounded.
And a fourth n-type switch transistor whose gate receives the first read control signal REa, whose source is connected to the drain of the third n-type switch transistor 63, and whose drain is connected to the other first data line DLXa 64.

【0029】ライトスイッチ回路70は、ゲートがデコ
ード機能を有する第1の書き込み制御信号WTaを受
け、ソース・ドレインが一方の第1のビット線BLa及
び一方の第1のデータ線DLaとそれぞれ接続された第
1のn型スイッチトランジスタ71と、ゲートが第1の
書き込み制御信号WTaを受け、ソース・ドレインが他
方の第1のビット線BLXa及び他方の第1のデータ線
DLXaとそれぞれ接続された第2のn型スイッチトラ
ンジスタ72とからなる。
The write switch circuit 70 has a gate receiving a first write control signal WTa having a decoding function, and has a source and a drain connected to one first bit line BLa and one first data line DLa, respectively. The first n-type switch transistor 71, the gate of which receives the first write control signal WTa, and the source and drain of which are connected to the other first bit line BLXa and the other first data line DLXa, respectively. And two n-type switch transistors 72.

【0030】なお、ここでは、第1のセンスアンプ系回
路10Aのみの詳細構成を説明したが、第2のビット線
BLb及びBLXbの微小電位差を増幅する第2のセン
スアンプ系回路10Bの構成も第1のセンスアンプ系回
路10Aと同等とする。
Although the detailed configuration of only the first sense amplifier system circuit 10A has been described here, the configuration of the second sense amplifier system circuit 10B for amplifying a minute potential difference between the second bit lines BLb and BLXb is also described. Assume that it is equivalent to the first sense amplifier circuit 10A.

【0031】以下、前記のように構成された半導体記憶
装置の動作について図面を参照しながら説明する。
Hereinafter, the operation of the semiconductor memory device configured as described above will be described with reference to the drawings.

【0032】図4は本実施形態に係る半導体記憶装置に
おける読み出し動作及び書き込み動作の動作タイミング
を表わしている。
FIG. 4 shows operation timings of a read operation and a write operation in the semiconductor memory device according to the present embodiment.

【0033】最初に、図4に示す読み出し動作期間Tre
を説明する。
First, the read operation period Tre shown in FIG.
Will be described.

【0034】まず、図4に示すように、外部から連続し
て入力された4つの読み出し命令RD0〜RD3をコマ
ンドCmdとして受け、同時に入力されたアドレス信号
を順次、アドレス信号add0〜add3として受け
る。本装置においては、装置全体の同期信号となるシス
テムクロック信号CLKから、その2倍の周期を持つポ
ートa用の第1のクロック信号CLKaと該第1のクロ
ック信号CLKaと相補の動作を行なうポートb用の第
2のクロック信号CLKbとを備えている。
First, as shown in FIG. 4, four read commands RD0 to RD3 continuously inputted from the outside are received as a command Cmd, and simultaneously inputted address signals are sequentially received as address signals add0 to add3. In the present apparatus, a first clock signal CLKa for a port a having a cycle twice as long as a system clock signal CLK serving as a synchronization signal of the entire apparatus and a port performing an operation complementary to the first clock signal CLKa. b for the second clock signal CLKb.

【0035】ここでは、例えば、アドレス信号add0
及びadd2がポートaをアクセスし、アドレス信号a
dd1及びadd3がポートbをアクセスする場合を説
明する。さらに、図1に示すメモリセルアレイにおい
て、例えば、アドレス信号add0によって第1のワー
ド線WLa(0)が選択され、アドレス信号add1に
よって第2のワード線WLb(0)が選択され、アドレ
ス信号add2によって第1のワード線WLa(0)が
選択され、アドレス信号add3によって第2のワード
線WLb(0)選択されるとする。
Here, for example, the address signal add0
And add2 access port a, and address signal a
The case where dd1 and add3 access port b will be described. Further, in the memory cell array shown in FIG. 1, for example, a first word line WLa (0) is selected by an address signal add0, a second word line WLb (0) is selected by an address signal add1, and an address signal add2. It is assumed that the first word line WLa (0) is selected and the second word line WLb (0) is selected by the address signal add3.

【0036】従って、次に、図4に示す、読み出し動作
期間Treにおけるポートaの第1のクロック信号CLK
aの最初の立ち上がりをトリガにして、第1のプリチャ
ージ信号EQaが活性状態から非活性状態に遷移し且つ
第1のワード線信号WLaが非活性状態から活性状態に
遷移する。このとき、第1のセンスアンプ活性化信号S
Eaは非活性状態であるため、第1のビット線BLa
(n)(但し、n=0,1,2,3,…)がフローティ
ング状態となり、選択された第1のワード線WLaと接
続された2T1Cセル20との間で電荷が移動すること
により、第1のビット線BLa(n)の電位がわずかに
変動する。
Accordingly, next, the first clock signal CLK of the port a during the read operation period Tre shown in FIG.
Triggered by the first rising edge of a, the first precharge signal EQa changes from the active state to the inactive state, and the first word line signal WLa changes from the inactive state to the active state. At this time, the first sense amplifier activation signal S
Since Ea is inactive, the first bit line BLa
(N) (where n = 0, 1, 2, 3,...) Is in a floating state, and the charge moves between the selected first word line WLa and the 2T1C cell 20 connected to the selected first word line WLa. The potential of the first bit line BLa (n) slightly changes.

【0037】次に、図4に示すように、第1のセンスア
ンプ活性化信号SEaが非活性状態から活性状態に遷移
することにより、図3に示すセンスアンプ駆動回路80
が活性化され、前述したセンスアンプ本体40の動作に
より第1のビット線BLa(n)の電位が確定する。
Next, as shown in FIG. 4, when the first sense amplifier activating signal SEa transitions from the inactive state to the active state, the sense amplifier driving circuit 80 shown in FIG.
Is activated, and the potential of the first bit line BLa (n) is determined by the operation of the sense amplifier body 40 described above.

【0038】次に、第1の読み出し制御信号REaが活
性化されることにより、図3に示すダイレクトセンスリ
ードアンプ60が活性化され、第1のデータ線DLa又
はDLXaに対してビット線電位が反転してなる読み出
しデータが出力される。
Next, when the first read control signal REa is activated, the direct sense read amplifier 60 shown in FIG. 3 is activated, and the bit line potential is applied to the first data line DLa or DLXa. The inverted read data is output.

【0039】次に、第1のクロック信号CLKaの最初
の立ち下がりをトリガにして、第1のワード線信号WL
aが非活性状態に遷移するのに続いて、第1のセンスア
ンプ活性化信号SEa及び第1の読み出し制御信号RE
aが非活性状態となり、第1のビット線BLa(n)に
対するアクセスを終了する。
Next, the first falling edge of the first clock signal CLKa is used as a trigger to trigger the first word line signal WL.
a transitions to the inactive state, the first sense amplifier activation signal SEa and the first read control signal REa.
a becomes inactive, and the access to the first bit line BLa (n) ends.

【0040】一方、図4に示すように、ポートbにおい
ても、第2のクロック信号CLKbの最初の立ち上がり
をトリガにして、第2のプリチャージ信号EQbが活性
状態から非活性状態に遷移し且つ第2のワード線信号W
Lbが非活性状態から活性状態に遷移する。このとき、
第2のセンスアンプ活性化信号SEaは非活性状態であ
るため、第2のビット線BLb(n)がフローティング
状態となり、選択された第2のワード線WLbと接続さ
れた2T1Cセル20との間で電荷が移動することによ
り、第2のビット線BLb(n)の電位がわずかに変動
する。
On the other hand, as shown in FIG. 4, the second precharge signal EQb also transitions from the active state to the inactive state at the port b, triggered by the first rise of the second clock signal CLKb. Second word line signal W
Lb transitions from the inactive state to the active state. At this time,
Since the second sense amplifier activating signal SEa is in an inactive state, the second bit line BLb (n) is in a floating state, and the second bit line BLb (n) is in a floating state between the selected second word line WLb and the 2T1C cell 20 connected thereto. , The potential of the second bit line BLb (n) slightly fluctuates.

【0041】次に、図4に示すように、第2のセンスア
ンプ活性化信号SEbが非活性状態から活性状態に遷移
することにより、第2のビット線BLb(n)の電位が
確定し、さらに、第2の読み出し制御信号REbが活性
化されることにより、第2のデータ線DLbに読み出し
データが出力される。
Next, as shown in FIG. 4, when the second sense amplifier activating signal SEb transitions from the inactive state to the active state, the potential of the second bit line BLb (n) is determined, Further, when the second read control signal REb is activated, read data is output to the second data line DLb.

【0042】次に、第2のワード線信号WLbが非活性
状態に遷移するのに続いて、第2のセンスアンプ活性化
信号SEb及び第2の読み出し制御信号REbが非活性
状態となり、第2のビット線BLb(n)に対するアク
セスを終了する。
Next, following the transition of the second word line signal WLb to the inactive state, the second sense amplifier activating signal SEb and the second read control signal REb enter the inactive state. Of the bit line BLb (n) is terminated.

【0043】次に、図4に示す、第1のクロック信号C
LKaの次の立ち上がりをトリガにして、再度、第1の
プリチャージ信号EQaが活性状態から非活性状態に遷
移し且つ第1のワード線信号WLaが非活性状態から活
性状態に遷移する。このとき、第1のセンスアンプ活性
化信号SEaは非活性状態であるため、第1のビット線
BLa(n)がフローティング状態となり、選択された
第1のワード線WLaと接続された2T1Cセル20と
の間で電荷が移動することにより、第1のビット線BL
a(n)の電位がわずかに変動し、続いて、第1のセン
スアンプ活性化信号SEaが非活性状態から活性状態に
遷移することにより、第1のビット線BLb(n)の電
位が確定する。このとき、ポートbの第2のビット線B
Lb(n)においては、第2のプリチャージ信号EQb
がローレベルの非活性状態であり、第2のセンスアンプ
活性化信号SEbがハイレベルの活性状態で保持されて
いるため、第2のビット線BLb(n)はローインピー
ダンス(Lo−Z)状態にある。
Next, the first clock signal C shown in FIG.
With the next rise of LKa as a trigger, the first precharge signal EQa transitions from the active state to the inactive state again, and the first word line signal WLa transitions from the inactive state to the active state. At this time, since the first sense amplifier activation signal SEa is in an inactive state, the first bit line BLa (n) is in a floating state, and the 2T1C cell 20 connected to the selected first word line WLa. Between the first bit line BL and the first bit line BL.
The potential of a (n) slightly fluctuates, and subsequently, the first sense amplifier activation signal SEa transitions from the inactive state to the active state, whereby the potential of the first bit line BLb (n) is determined. I do. At this time, the second bit line B of the port b
In Lb (n), the second precharge signal EQb
Is in a low level inactive state, and the second sense amplifier activating signal SEb is held in a high level active state, so that the second bit line BLb (n) is in a low impedance (Lo-Z) state. It is in.

【0044】このように、本実施形態の特徴として、読
み出し動作期間Treにおいて、ポートaが選択状態であ
り、第1のビット線BLa(n)が第1のプリチャージ
信号EQa及び第1のセンスアンプ活性化信号SEaが
共に非活性状態であるフローティング状態の期間、さら
に、このフローティング状態からセンスアンプ本体40
が活性化される期間中に、ポートbにおいては、第2の
プリチャージ信号EQbがハイレベルの活性状態が保持
され、且つ、第2のセンスアンプ活性化信号SEbがロ
ーレベルの非活性状態に保持されている。これにより、
図1に示すポートbの第2のビット線BLb(n)はプ
リチャージ電位VBLPに保持されてローインピーダン
ス状態であり、フローティング状態の第1のビット線B
Laに対して隣接する第2のビット線BLbの電位がプ
リチャージ電位VBLPに固定されているため、第2の
ビット線BLbから第1のビット線BLaへの干渉を防
止できる。
As described above, as a feature of the present embodiment, in the read operation period Tre, the port a is in the selected state, and the first bit line BLa (n) is connected to the first precharge signal EQa and the first sense line. During the floating state in which the amplifier activation signals SEa are both inactive, the sense amplifier body 40
Is activated, the port b retains the active state of the second precharge signal EQb at the high level and the second sense amplifier activation signal SEb at the inactive state of the low level. Is held. This allows
The second bit line BLb (n) of the port b shown in FIG. 1 is held at the precharge potential VBLP, is in a low impedance state, and is in a floating state.
Since the potential of the second bit line BLb adjacent to La is fixed at the precharge potential VBLP, interference from the second bit line BLb to the first bit line BLa can be prevented.

【0045】また、読み出し動作期間Treにおける第2
のクロック信号CLKbの次の立ち上がりにおいてポー
トaが選択されている場合には、第1のビット線BLa
(n)が第1のプリチャージ信号EQa及び第1のセン
スアンプ活性化信号SEaが共に非活性状態であるフロ
ーティング状態の期間、さらに、このフローティング状
態からセンスアンプ本体が活性化される期間中に、ポー
トbにおいて、第2のプリチャージ信号EQbがローレ
ベルの非活性状態が保持され、且つ、第2のセンスアン
プ活性化信号SEbがハイレベルの活性状態に保持され
ている。これにより、図1に示す第2のビット線BLb
(n)は活性状態のセンスアンプ本体によりローインピ
ーダンス状態となっており、フローティング状態の第1
のビット線BLaに対して隣接する第2のビット線BL
bの電位がハイレベル又はローレベルに固定されている
ため、第2のビット線BLbから第1のビット線BLa
への干渉を防止できる。
The second operation in the read operation period Tre
When port a is selected at the next rising of clock signal CLKb, first bit line BLa
(N) is during a floating state in which both the first precharge signal EQa and the first sense amplifier activating signal SEa are inactive, and during a period during which the sense amplifier body is activated from this floating state. , Port b, the second precharge signal EQb is held in a low-level inactive state, and the second sense amplifier activation signal SEb is held in a high-level active state. Thereby, the second bit line BLb shown in FIG.
(N) is a low-impedance state by the active sense amplifier main body, and the first state in the floating state.
Bit line BLa adjacent to the second bit line BLa
b is fixed at a high level or a low level, the second bit line BLb to the first bit line BLa
Interference can be prevented.

【0046】なお、ポートaとポートbとの読み出す順
序を変えれば、ポートaの第1のビット線BLaからポ
ートbの第2のビット線BLbへの干渉を防止できるこ
とはいうまでもない。
It is needless to say that interference between the first bit line BLa of the port a and the second bit line BLb of the port b can be prevented by changing the reading order of the port a and the port b.

【0047】次に、図4に示す書き込み動作期間Twtを
説明する。
Next, the write operation period Twt shown in FIG. 4 will be described.

【0048】まず、図4に示すように、外部から連続し
て入力された4つの書き込み命令WT0〜WT3をコマ
ンドCmdとして受け、同時に入力されたアドレス信号
を順次、アドレス信号add0〜add3として受け
る。
First, as shown in FIG. 4, four write commands WT0 to WT3 successively input from the outside are received as commands Cmd, and simultaneously input address signals are sequentially received as address signals add0 to add3.

【0049】ここでは、例えば、アドレス信号add0
及びadd2がポートaをアクセスし、アドレス信号a
dd1及びadd3がポートbをアクセスする場合を説
明する。さらに、図1に示すメモリセルアレイにおい
て、例えば、アドレス信号add0によって第1のワー
ド線WLa(0)が選択され、アドレス信号add1に
よって第2のワード線WLb(0)が選択され、アドレ
ス信号add2によって第1のワード線WLa(0)が
選択され、アドレス信号add3によって第2のワード
線WLb(0)選択されるとする。
Here, for example, the address signal add0
And add2 access port a, and address signal a
The case where dd1 and add3 access port b will be described. Further, in the memory cell array shown in FIG. 1, for example, a first word line WLa (0) is selected by an address signal add0, a second word line WLb (0) is selected by an address signal add1, and an address signal add2. It is assumed that the first word line WLa (0) is selected and the second word line WLb (0) is selected by the address signal add3.

【0050】次に、図4に示す、書き込み動作期間Twt
におけるポートbの第2のクロック信号CLKbの最初
の立ち上がりをトリガにして、第2のプリチャージ信号
EQbが活性状態から非活性状態に遷移し且つ第2のワ
ード線信号WLb及び第2の書き込み制御信号WTbが
非活性状態から活性状態に遷移する。このとき、第2の
センスアンプ活性化信号SEbは非活性状態であるた
め、第2のビット線BLb(n)がフローティング状態
となる。このとき、本実施形態においては、通常のDR
AMの書き込み動作と異なり、ビット線電位が確定する
前のフローティング状態中に、外部から入力されたデー
タDin0が第2のデータ線DLbを介して第2の書き込
み制御信号WTbにより選択された第2のビット線BL
b(0)に入力される。従って、通常、読み出されたデ
ータが確定するまでの時間及びデータ確定後の、特に読
み出されたデータ値と異なるデータ値を書き込む、いわ
ゆる反転書き込みに要する時間を削減できるため、書き
込み動作の高速化が容易となる。さらに、反転書き込み
を行なわないため、書き込み用回路の駆動能力を低減で
きるので、該書き込み用回路の回路規模の縮小化及び低
消費電力化を図れる。
Next, the write operation period Twt shown in FIG.
Triggered by the first rising edge of the second clock signal CLKb of the port b at the port b, the second precharge signal EQb transitions from the active state to the inactive state, and the second word line signal WLb and the second write control Signal WTb transitions from the inactive state to the active state. At this time, since the second sense amplifier activation signal SEb is in an inactive state, the second bit line BLb (n) is in a floating state. At this time, in the present embodiment, the normal DR
Unlike the write operation of AM, during the floating state before the bit line potential is determined, the externally input data Din0 is selected via the second data line DLb by the second write control signal WTb. Bit line BL
b (0). Therefore, usually, the time required until the read data is determined and the time required to write a data value different from the read data value after the data determination, that is, the time required for so-called inversion writing, can be reduced. It becomes easy. Further, since the inversion writing is not performed, the driving capability of the writing circuit can be reduced, so that the circuit scale and the power consumption of the writing circuit can be reduced.

【0051】続いて、第2のセンスアンプ活性化信号S
Ebが活性化されて第2のビット線BLb(n)の電位
が確定し、第2のワード線WLbが非活性状態となるこ
とにより、2T1Cセル20のストレージキャパシタ2
1の入力データ値が確定する。
Subsequently, the second sense amplifier activating signal S
Eb is activated, the potential of the second bit line BLb (n) is determined, and the second word line WLb is deactivated, so that the storage capacitor 2 of the 2T1C cell 20
The input data value of 1 is determined.

【0052】次に、第2のワード線信号WLbが非活性
状態に遷移するのに続いて、第2のセンスアンプ活性化
信号SEbが非活性状態となり、第2のビット線BLb
(0)に対するアクセスが終了する。
Next, following the transition of the second word line signal WLb to the inactive state, the second sense amplifier activating signal SEb becomes inactive and the second bit line BLb
Access to (0) ends.

【0053】一方、書き込み動作期間Twtにおけるポー
トaの第1のクロック信号CLKaの最初の立ち上がり
をトリガにして、第1のプリチャージ信号EQaが活性
状態から非活性状態に遷移し且つ第1のワード線信号W
La及び第1の書き込み制御信号WTaが非活性状態か
ら活性状態に遷移する。このとき、第1のセンスアンプ
活性化信号SEaは非活性状態であるため、第1のビッ
ト線BLa(n)がフローティング状態となり、外部か
ら入力されたデータDin1が第1のデータ線DLaを介
して第1の書き込み制御信号WTaにより選択された第
1のビット線BLa(1)に入力される。続いて、第1
のセンスアンプ活性化信号SEaが活性化されて第1の
ビット線BLa(n)の電位が確定する。
On the other hand, triggered by the first rising edge of the first clock signal CLKa of the port a in the write operation period Twt, the first precharge signal EQa transitions from the active state to the inactive state and the first word Line signal W
La and the first write control signal WTa transition from the inactive state to the active state. At this time, since the first sense amplifier activation signal SEa is in an inactive state, the first bit line BLa (n) is in a floating state, and data Din1 input from the outside is transmitted via the first data line DLa. Input to the first bit line BLa (1) selected by the first write control signal WTa. Then, the first
Is activated, and the potential of the first bit line BLa (n) is determined.

【0054】このとき、ポートbの第2のビット線BL
b(n)においては、第2のプリチャージ信号EQbが
ローレベルの非活性状態であり、第2のセンスアンプ活
性化信号SEbがハイレベルの活性状態で保持されてい
るため、第2のビット線BLb(n)はローインピーダ
ンス状態であって、ポートbのプリチャージ動作は未だ
始まっていない。
At this time, the second bit line BL of the port b
In b (n), the second precharge signal EQb is in a low-level inactive state, and the second sense amplifier activating signal SEb is held in a high-level active state. The line BLb (n) is in a low impedance state, and the precharge operation of the port b has not started yet.

【0055】このように、本実施形態の特徴として、書
き込み動作期間Twtにおいて、ポートbが選択状態であ
り、第2のビット線BLb(n)が第2のプリチャージ
信号EQb及び第2のセンスアンプ活性化信号SEbが
共に非活性状態であるフローティング状態の期間、さら
に、このフローティング状態からセンスアンプ本体が活
性化される期間中に、ポートaにおいては、第1のプリ
チャージ信号EQaがハイレベルの活性状態が保持さ
れ、且つ、第1のセンスアンプ活性化信号SEaがロー
レベルの非活性状態に保持されている。これにより、図
1に示すポートaの第1のビット線BLa(n)はプリ
チャージ電位VBLPに保持されてローインピーダンス
状態であるため、該第1のビット線BLa(n)がシー
ルド線の役割を果たすので、ポートbの第2の書き込み
制御信号WTbにより選択された第2のビット線BLb
(0)に書き込み動作による大きな電位変化が生じて
も、隣接するポートbの他の非選択状態の第2のビット
線BLb(1)への干渉を防止できる。
As described above, as a feature of the present embodiment, in the write operation period Twt, the port b is in the selected state, and the second bit line BLb (n) is set to the second precharge signal EQb and the second sense. During the floating state in which the amplifier activation signals SEb are both inactive, and during the period when the sense amplifier body is activated from this floating state, the first precharge signal EQa is at the high level at the port a. Is held, and the first sense amplifier activating signal SEa is held in a low-level inactive state. As a result, the first bit line BLa (n) of the port a shown in FIG. 1 is held in the precharge potential VBLP and is in a low impedance state, so that the first bit line BLa (n) serves as a shield line. Therefore, the second bit line BLb selected by the second write control signal WTb of the port b
Even if a large potential change due to the write operation occurs in (0), it is possible to prevent the adjacent port b from interfering with another unselected second bit line BLb (1).

【0056】また、書き込み動作期間Twtにおける第1
のクロック信号CLKaの最初の立ち上がりにおいてポ
ートaが選択されている場合には、第1のビット線BL
a(n)が第1のプリチャージ信号EQa及び第1のセ
ンスアンプ活性化信号SEaが共に非活性状態であるフ
ローティング状態の期間、さらに、このフローティング
状態からセンスアンプ本体が活性化される期間中に、ポ
ートbにおいて、第2のプリチャージ信号EQbがロー
レベルの非活性状態が保持され、且つ、第2のセンスア
ンプ活性化信号SEbがハイレベルの活性状態に保持さ
れている。これにより、図1に示す第2のビット線BL
b(n)は活性状態のセンスアンプ本体によりローイン
ピーダンス状態となっているため、該第2のビット線B
Lb(n)がシールド線の役割を果たすので、ポートa
の第1の書き込み制御信号WTaにより選択された第1
のビット線BLa(1)に書き込み動作による大きな電
位変化が生じても、隣接するポートaの他の非選択状態
の第1のビット線BLa(0)への干渉を防止できる。
The first operation during the writing operation period Twt is performed.
When port a is selected at the first rise of the clock signal CLKa, the first bit line BL
a (n) is in a floating state in which the first precharge signal EQa and the first sense amplifier activating signal SEa are both inactive, and during a period in which the sense amplifier body is activated from this floating state. In the port b, the second precharge signal EQb is kept in a low-level inactive state, and the second sense amplifier activation signal SEb is kept in a high-level active state. Thereby, the second bit line BL shown in FIG.
Since b (n) is in a low impedance state by the active sense amplifier main body, the second bit line B
Since Lb (n) plays the role of a shield wire, port a
Of the first write control signal WTa selected by the first write control signal WTa.
Even if a large potential change occurs due to the write operation to the bit line BLa (1), it is possible to prevent the adjacent port a from interfering with another unselected first bit line BLa (0).

【0057】以上、説明したように、本実施形態に係る
2T1Cセルを有する半導体記憶装置によると、図5の
ポートa及びポートbのそれぞれのビット線電位BLa
及びBLbの電位変化のタイミングチャートに示すよう
に、例えば、ポートaに着目すると、ポートaの第1の
プリチャージ信号EQa及び第1のセンスアンプ活性化
信号SEaが共に非活性状態であるフローティング状態
(=ハイインピーダンス状態)とこれに続く第1のセン
スアンプ活性化信号SEaが活性化される期間中に、ポ
ートbにおいて、第2のプリチャージ信号EQbの活性
状態及び第2のセンスアンプ活性化信号SEbの非活性
状態が保持されるか、又は第2のプリチャージ信号EQ
bの非活性状態及び第2のセンスアンプ活性化信号SE
bの活性状態が保持されている。
As described above, according to the semiconductor memory device having the 2T1C cell according to the present embodiment, the bit line potential BLa of each of the ports a and b in FIG.
For example, as shown in the timing chart of the potential change of BLb and BLb, when attention is paid to port a, the floating state in which the first precharge signal EQa and the first sense amplifier activation signal SEa of port a are both inactive is shown. (= High impedance state) and the subsequent period during which the first sense amplifier activating signal SEa is activated, at the port b, the active state of the second precharge signal EQb and the activation of the second sense amplifier The inactive state of the signal SEb is maintained, or the second precharge signal EQ
b and the second sense amplifier activation signal SE
The active state of b is maintained.

【0058】従って、ポートaの第1のビット線BLa
及びポートbの第2のビット線BLbが交互に配置され
るレイアウト構成を採ることにより、第1のビット線B
Laがハイインピーダンス状態の際には、隣接する第2
のビット線BLbが常にローインピーダンス状態であ
り、該第2のビット線BLbの電位が固定されているた
め、隣接する第1のビット線BLaへの干渉を防止する
ことができる。さらに、書き込み動作時には、第2のビ
ット線BLbが、書き込み動作によって電位が大きく変
動する第1のビット線BLaのシールド線となり、第1
のビット線BLa同士の干渉を防止することができる。
Therefore, the first bit line BLa of port a
And the second bit lines BLb of the port b are arranged alternately, so that the first bit lines B
When La is in a high-impedance state, the adjacent second
Bit line BLb is always in a low impedance state, and the potential of the second bit line BLb is fixed, so that interference with the adjacent first bit line BLa can be prevented. Further, at the time of the write operation, the second bit line BLb serves as a shield line of the first bit line BLa whose potential greatly changes due to the write operation,
Can be prevented from interfering with each other.

【0059】さらに、本実施形態に係る半導体記憶装置
は、図6の各クロック信号と各ポート用ビット線電位の
変化のタイミングチャートに示すように、システムクロ
ック信号CLKから、ポートa用の第1のクロック信号
CLKaと、該第1のクロック信号CLKaを反転させ
てなるポートb用の第2のクロック信号CLKbとを有
しており、第1のクロック信号CLKaの立ち下がりエ
ッジをトリガにした第1のプリチャージ信号EQaの活
性状態への遷移に基づいてプリチャージ動作を開始する
と共に、該第1のクロック信号CLKaの立ち下がりエ
ッジと同一タイミングである第2のクロック信号CLK
bの立ち上がりエッジをトリガにした第2のセンスアン
プ活性化信号SEbの活性状態への遷移に基づいてセン
ス動作を開始する。
Further, as shown in the timing chart of each clock signal and the change of the bit line potential for each port in the semiconductor memory device according to the present embodiment, the first clock signal for the port a is obtained from the system clock signal CLK. And a second clock signal CLKb for the port b obtained by inverting the first clock signal CLKa, and the second clock signal CLKa triggered by the falling edge of the first clock signal CLKa. The precharge operation is started based on the transition of the first precharge signal EQa to the active state, and the second clock signal CLK has the same timing as the falling edge of the first clock signal CLKa.
The sensing operation is started based on the transition of the second sense amplifier activation signal SEb to the active state triggered by the rising edge of b.

【0060】例えば、ポートaが、第1のプリチャージ
信号及び第1のセンスアンプ活性化信号SEaのトリガ
として第1のクロック信号CLKaの立ち上がりエッジ
のみを用い、且つ、ポートbが、第2のプリチャージ信
号及び第2のセンスアンプ活性化信号SEbのトリガと
して第2のクロック信号CLKbの立ち上がりエッジの
みを用いるような場合には、システムクロック信号CL
Kの動作周期が変更されると、図6に示す、ポートbの
第2のビット線BLbのフローティング動作とポートa
の第1のビット線BLaのプリチャージ動作とが重なる
場合も起こり得る。
For example, the port a uses only the rising edge of the first clock signal CLKa as a trigger of the first precharge signal and the first sense amplifier activating signal SEa, and the port b uses the second rising edge of the second clock signal CLKa. When only the rising edge of the second clock signal CLKb is used as a trigger for the precharge signal and the second sense amplifier activation signal SEb, the system clock signal CL is used.
When the operation cycle of K is changed, the floating operation of the second bit line BLb of port b and port a shown in FIG.
May overlap with the precharge operation of the first bit line BLa.

【0061】しかしながら、本実施形態においては、ポ
ートaの第1のプリチャージ信号EQaとポートbの第
2のセンスアンプ活性化信号SEbとを、また、ポート
bの第2のプリチャージ信号EQbとポートaの第1の
センスアンプ活性化信号SEaとを、システムクロック
信号CLKの一のエッジをトリガにして変化させるた
め、システムクロック信号CLKの動作周期が変更され
たとしても、例えば、ポートbの第2のビット線BLb
のフローティング動作と、ポートaの第1のビット線B
Laのプリチャージ動作とが重なるような事態を防ぐこ
とができる。
However, in the present embodiment, the first precharge signal EQa of the port a and the second sense amplifier activating signal SEb of the port b, and the second precharge signal EQb of the port b are Since the first sense amplifier activation signal SEa of the port a is changed by using one edge of the system clock signal CLK as a trigger, even if the operation cycle of the system clock signal CLK is changed, for example, Second bit line BLb
Operation of the first bit line B of the port a.
It is possible to prevent a situation in which the La precharge operation overlaps.

【0062】なお、本実施形態に係る第1のセンスアン
プ系回路10Aを構成する、センスアンプ本体40、プ
リチャージ・イコライズ回路50、ダイレクトセンスリ
ードアンプ60、ライトスイッチ回路70及びセンスア
ンプ駆動回路80の各回路構成は、図3に示した構成に
限らず、同等の機能を有する他の回路構成であってもよ
い。
The first sense amplifier system circuit 10A according to the present embodiment comprises a sense amplifier body 40, a precharge / equalize circuit 50, a direct sense read amplifier 60, a write switch circuit 70, and a sense amplifier drive circuit 80. Are not limited to the configuration shown in FIG. 3 and may be other circuit configurations having equivalent functions.

【0063】[0063]

【発明の効果】本発明の半導体記憶装置によると、複数
の第1のビット線ごとにプリチャージを行なう第1のプ
リチャージ信号又は複数の第1のセンスアンプを活性化
する第1のセンスアンプ活性化信号が活性状態に保持さ
れている期間に、複数の第2のビット線ごとにプリチャ
ージを行なう第2のプリチャージ信号及び複数の第2の
センスアンプを活性化する第2のセンスアンプ活性化信
号が非活性状態であるため、この非活性状態において、
ビット線はフローティング状態であり、第1のプリチャ
ージ信号又は第1のセンスアンプ活性化信号が活性状態
に保持されているので、第1のビット線がローインピー
ダンス状態となる。その結果、フローティング状態の第
1のビット線に対して、隣接する第2のビット線の電位
が固定されているため、第2のビット線から第1のビッ
ト線への干渉を防止できる。さらに、第1のビット線が
シールド線として機能するため、書き込み動作によって
電位変動が生じた第2のビット線からこれに隣接する他
の第2のビット線にノイズが混入することがなくなるの
で、記憶装置の動作が安定する。
According to the semiconductor memory device of the present invention, a first precharge signal for precharging a plurality of first bit lines or a first sense amplifier for activating a plurality of first sense amplifiers is provided. A second precharge signal for precharging the plurality of second bit lines for each of the plurality of second bit lines and a second sense amplifier for activating the plurality of second sense amplifiers while the activation signal is held in the active state; Since the activation signal is in an inactive state, in this inactive state,
Since the bit line is in a floating state and the first precharge signal or the first sense amplifier activating signal is kept active, the first bit line is in a low impedance state. As a result, the potential of the second bit line adjacent to the first bit line in the floating state is fixed, so that interference from the second bit line to the first bit line can be prevented. Further, since the first bit line functions as a shield line, noise does not enter the second bit line adjacent to the second bit line in which the potential change has occurred due to the write operation, The operation of the storage device is stabilized.

【0064】本発明の半導体記憶装置において、第1の
プリチャージ信号及び第2のセンスアンプ活性化信号の
信号レベルが、同期用クロック信号の一の動作タイミン
グで変化すると、クロック周期が変更されたとしても、
第1のプリチャージ信号及び第2のセンスアンプ活性化
信号の相対的なタイミングがずれなくなるため、第2の
プリチャージ信号及び第2のセンスアンプ活性化信号が
非活性状態のときに、第1のプリチャージ信号が変化し
てしまうことがないので、第1のビット線のシールド線
としての機能を確実に維持できる。
In the semiconductor memory device of the present invention, when the signal levels of the first precharge signal and the second sense amplifier activating signal change at one operation timing of the synchronization clock signal, the clock cycle is changed. As
Since the relative timings of the first precharge signal and the second sense amplifier activation signal do not shift, the first precharge signal and the second sense amplifier activation signal are inactive when the first precharge signal and the second sense amplifier activation signal are inactive. Does not change, so that the function of the first bit line as a shield line can be reliably maintained.

【0065】本発明の半導体記憶装置において、ストレ
ージキャパシタに蓄積されているデータが、第2のプリ
チャージ信号及び第2のセンスアンプ活性化信号が共に
非活性状態のときに第2のビット線に読み出されると、
互いに隣接する第1のビット線同士の電位が固定されて
いるため、第1のビット線から第2のビット線に対して
ノイズが混入することがなくなるので、記憶装置の動作
が安定する。
In the semiconductor memory device of the present invention, data stored in the storage capacitor is transferred to the second bit line when both the second precharge signal and the second sense amplifier activation signal are inactive. When read,
Since the potentials of the first bit lines adjacent to each other are fixed, noise does not mix from the first bit line to the second bit line, so that the operation of the storage device is stabilized.

【0066】本発明の半導体記憶装置において、ストレ
ージキャパシタに蓄積されるデータが、第2のプリチャ
ージ信号及び第2のセンスアンプ活性化信号が共に非活
性状態のときに書き込まれると、外部から選択された第
2のビット線へのデータ書き込み時に該第2のビット線
から生じる干渉ノイズが隣接する第1のビット線にシー
ルドされるため、書き込み動作により電位変動が生じた
第2のビット線からこれに隣接する他のビット線にノイ
ズが混入することがなくなるので、記憶装置の動作が安
定する。また、ビット線電位が確定する前のフローティ
ング状態中に、書き込み動作を行なうため、読み出され
たデータが確定するまでの時間及びデータ確定後の、特
に読み出されたデータ値と異なるデータ値を書き込む時
間を削減できるので、動作の高速化を一層図ることがで
きる。
In the semiconductor memory device of the present invention, when data stored in the storage capacitor is written when both the second precharge signal and the second sense amplifier activating signal are inactive, the data is externally selected. When data is written to the second bit line, the interference noise generated from the second bit line is shielded by the adjacent first bit line. Since noise is not mixed into another bit line adjacent to the bit line, the operation of the storage device is stabilized. In addition, since the write operation is performed during the floating state before the bit line potential is determined, a time until the read data is determined and a data value different from the read data value after the data determination is determined. Since the writing time can be reduced, the operation can be further speeded up.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置のメ
モリセルアレイを示す模式的な平面図である。
FIG. 1 is a schematic plan view showing a memory cell array of a semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置のメ
モリセルの回路図である。
FIG. 2 is a circuit diagram of a memory cell of the semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置にお
けるセンスアンプ系回路の回路図である。
FIG. 3 is a circuit diagram of a sense amplifier circuit in the semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention;

【図4】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置の読
み出し動作及び書き込み動作を示すタイミングチャート
図である。
FIG. 4 is a timing chart showing a read operation and a write operation of the semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention.

【図5】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置にお
けるビット線電位の変化の様子を模式的に表わしたタイ
ミングチャート図である。
FIG. 5 is a timing chart schematically showing how a bit line potential changes in a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention.

【図6】本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置にお
けるクロック信号とビット線電位の変化の様子を模式的
に表わしたタイミングチャート図である。
FIG. 6 is a timing chart schematically showing how a clock signal and a bit line potential change in a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention.

【図7】従来の省待ち時間DRAMセルを有する半導体
記憶装置におけるメモリセルの回路図である。
FIG. 7 is a circuit diagram of a memory cell in a conventional semiconductor memory device having a DRAM with a reduced waiting time.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10A 第1のセンスアンプ系回路 10B 第2のセンスアンプ系回路 20 2T1Cセル(メモリセル) 21 ストレージノード 22 第1のスイッチトランジスタ 23 第2のスイッチトランジスタ 24 ストレージキャパシタ 31 第1のメモリセルアレイ 32 第2のメモリセルアレイ 40 センスアンプ本体 41 第1のn型トランジスタ 42 第2のn型トランジスタ 43 第1のp型トランジスタ 44 第2のp型トランジスタ 50 プリチャージ・イコライズ回路 51 イコライズトランジスタ 52 第1のプリチャージトランジスタ 53 第2のプリチャージトランジスタ 60 ダイレクトセンスリードアンプ 61 第1のn型スイッチトランジスタ 62 第2のn型スイッチトランジスタ 63 第3のn型スイッチトランジスタ 64 第4のn型スイッチトランジスタ 70 ライトスイッチ回路 71 第1のn型スイッチトランジスタ 72 第2のn型スイッチトランジスタ 80 センスアンプ駆動回路 81 n型スイッチトランジスタ 82 インバータ 83 p型スイッチトランジスタ BLa 第1のビット線 BLb 第2のビット線 EQa 第1のプリチャージ信号 EQb 第2のプリチャージ信号 SEa 第1のセンスアンプ活性化信号 SEb 第2のセンスアンプ活性化信号 Reference Signs List 10A First sense amplifier circuit 10B Second sense amplifier circuit 20 2T1C cell (memory cell) 21 Storage node 22 First switch transistor 23 Second switch transistor 24 Storage capacitor 31 First memory cell array 32 Second Memory cell array 40 sense amplifier main body 41 first n-type transistor 42 second n-type transistor 43 first p-type transistor 44 second p-type transistor 50 precharge / equalize circuit 51 equalize transistor 52 first precharge Transistor 53 Second precharge transistor 60 Direct sense read amplifier 61 First n-type switch transistor 62 Second n-type switch transistor 63 Third n-type switch transistor 64 N-type switch transistor 70 write switch circuit 71 first n-type switch transistor 72 second n-type switch transistor 80 sense amplifier drive circuit 81 n-type switch transistor 82 inverter 83 p-type switch transistor BLa first bit line BLb 2 bit lines EQa first precharge signal EQb second precharge signal SEa first sense amplifier activation signal SEb second sense amplifier activation signal

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤田 勉 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 黒田 直喜 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 山田 俊郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5B024 AA03 AA15 BA03 BA05 BA07 BA09 BA21 CA11 CA21  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Tsutomu Fujita 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Naoki Kuroda 1006 Odaka Kadoma, Kadoma City Osaka Pref. 72) Inventor Toshiro Yamada 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. F-term (reference) 5B024 AA03 AA15 BA03 BA05 BA07 BA09 BA21 CA11 CA21

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 それぞれが、ソースが互いに接続された
第1のスイッチトランジスタ及び第2のスイッチトラン
ジスタと、一方の電極が前記ソースと接続されたデータ
蓄積用のストレージキャパシタとからなる複数のメモリ
セルと、 それぞれが前記第1のスイッチトランジスタのドレイン
と接続された複数の第1のビット線と、 それぞれが、前記第2のスイッチトランジスタのドレイ
ンと接続され、前記第1のビット線と交互に設けられた
複数の第2のビット線と、 それぞれが前記複数の第1のビット線と接続された複数
の第1のセンスアンプと、 それぞれが前記複数の第2のビット線と接続された複数
の第2のセンスアンプとを備え、 前記複数の第1のビット線ごとにプリチャージを行なう
第1のプリチャージ信号又は前記複数の第1のセンスア
ンプを活性化する第1のセンスアンプ活性化信号が活性
化状態に保持されている期間に、前記複数の第2のビッ
ト線ごとにプリチャージを行なう第2のプリチャージ信
号及び前記複数の第2のセンスアンプを活性化する第2
のセンスアンプ活性化信号が共に非活性状態となること
を特徴とする半導体記憶装置。
1. A plurality of memory cells each comprising a first switch transistor and a second switch transistor having sources connected to each other, and a storage capacitor for data storage having one electrode connected to the source. A plurality of first bit lines each connected to the drain of the first switch transistor; and a plurality of first bit lines each connected to the drain of the second switch transistor and provided alternately with the first bit line. A plurality of second bit lines, a plurality of first sense amplifiers each connected to the plurality of first bit lines, and a plurality of first sense amplifiers each connected to the plurality of second bit lines A first precharge signal for performing a precharge for each of the plurality of first bit lines or a plurality of first sense amplifiers. A second precharge signal for precharging the plurality of second bit lines for each of the plurality of second bit lines while the first sense amplifier activating signal for activating the sense amplifier is held in an activated state; The second to activate the second sense amplifier
Wherein both of the sense amplifier activation signals are inactive.
【請求項2】 前記第1のプリチャージ信号及び第2の
センスアンプ活性化信号の信号レベルは、同期用クロッ
ク信号の一の動作タイミングで変化すること特徴とする
請求項1に記載の半導体記憶装置。
2. The semiconductor memory according to claim 1, wherein the signal levels of the first precharge signal and the second sense amplifier activation signal change at one operation timing of the synchronization clock signal. apparatus.
【請求項3】 前記ストレージキャパシタに蓄積されて
いるデータは、前記第2のプリチャージ信号及び第2の
センスアンプ活性化信号が共に非活性状態のときに前記
第2のビット線に読み出されることを特徴とする請求項
1に記載の半導体記憶装置。
3. The data stored in the storage capacitor is read out to the second bit line when both the second precharge signal and the second sense amplifier activation signal are in an inactive state. 2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein:
【請求項4】 前記ストレージキャパシタに蓄積される
データは、前記第2のプリチャージ信号及び第2のセン
スアンプ活性化信号が共に非活性状態のときに書き込ま
れることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装
置。
4. The data storage device according to claim 1, wherein the data stored in the storage capacitor is written when both the second precharge signal and the second sense amplifier activation signal are in an inactive state. 13. The semiconductor memory device according to claim 1.
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