JP2000191137A - 板状物の非接触搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送時の板状物の振動を抑制し、安定した非
接触搬送を可能にする。 【解決手段】 複数の流体保持部３の相互間に、板ガラ
ス１の一面１ａと所定の隙間（ダンパー隙間Ｓ２）で振
動抑制板４を配設する。流体保持部３の供給口３ａから
供給された圧縮空気Ｐは、空気室３ｂを経由して、板ガ
ラス１の一面１ａと流体保持部３の保持面３ｃとの間の
所定の隙間（保持隙間Ｓ１）に流入し、さらに、保持隙
間Ｓ１から流出した圧縮空気Ｐの一部はダンパー隙間Ｓ
２に流入し、残りは通気路６を介して外部に排出され
る。ダンパー隙間Ｓ２に流入した圧縮空気Ｐによって、
ダンパー隙間Ｓ２内に空気層が形成され、その空気層が
板ガラス１の振動に対してダンパーとして機能し、搬送
時における板ガラス１の振動を減衰する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、板ガラス、半導体
基板、セラミック板等の板状物の表面を非接触状態で支
持しながら搬送する搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、板ガラスを製造する場合、加
工、検査、梱包等のために板ガラスを搬送する工程があ
るが、搬送中に板ガラスの表面に疵や汚れが付いて製品
不良を生じる場合がある。特に、液晶ディスプレイ用や
プラズマディスプレイ用等の板ガラスのように高精度な
仕上げが要求される板ガラスでは、表面に微細な疵や汚
れがあれば不良品と判定されるので、その不良率はガラ
ス製造メーカにとって無視できないものとなっている。

【０００３】従来、板状物の表面に疵等を付けないで搬
送するために、例えば特公平１−５１４１３号に記載さ
れたような流体保持装置によって、板状物の表面を非接
触状態で支持しながら搬送する搬送装置が使用されてい
る。この種の搬送装置には、大別して、ロボットハン
ドの先端に流体保持装置を装着し、板状物を流体保持装
置によって非接触状態で支持しながら、ロボットの動作
によって搬送するもの、複数の流体保持装置を搬送方
向に沿って所定の間隔で配置し、搬送手段によって搬送
される板状物の一面を複数の流体保持装置によって順次
に非接触状態で支持しながら搬送するもの（例えば、特
開平７−２５７７１５号等）がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した搬
送装置のうち、上記の範疇に属する搬送装置を対象と
するものであるが、この種の搬送装置では、板状物の先
端部が搬送方向前方の流体保持装置に乗り移る際や、板
状物の後端部が搬送方向後方の流体保持装置から離れる
際の圧力変動によって板状物が振動を起こし、場合によ
っては、板状物の一面が流体保持装置の保持面と接触し
てしまう可能性がある。特に、特開平７−２５７７１５
号に記載された搬送装置のように、板状物の撓みや反り
等に起因する搬送上の不都合を解消するために、板状物
の一面を撓み等の方向と逆方向に押圧する流体押圧手段
（浮上具）を配置した場合は、流体押圧手段（浮上具）
の押圧力が外乱要因となって板状物の振動が大きくな
り、却って流体保持装置の保持面との接触が起こり易く
なる。

【０００５】本発明は、上記の範疇に属する搬送装置
において、搬送時の板状物の振動を抑制し、安定した非
接触搬送を可能にしようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の板状物の非接触
搬送装置は、板状物を所定方向に搬送するための搬送手
段と、搬送方向に所定の間隔を隔てて配置された複数の
流体保持部とを備え、流体保持部は、加圧流体の供給口
と、搬送手段によって搬送される板状物の一面と対向す
る保持面とを有し、供給口から供給された加圧流体を、
保持面と板状物の一面との間の保持隙間を介して流出さ
せることにより、板状物の一面を保持面に対して所定の
保持隙間を保持しつつ非接触状態で支持する板状物の非
接触搬送装置において、複数の流体保持部の相互間に、
板状物の一面と所定の隙間で振動抑制板が配設されてい
ることを特徴とするものである。

【０００７】本発明の板状物の非接触搬送装置は、上記
のように、複数の流体保持部の相互間に振動抑制板が設
けられているので、振動抑制板と板状物の一面との間の
所定の隙間に加圧流体の層が形成され、この加圧流体の
層が板状物の振動を減衰するように機能するため、板状
物の安定した非接触搬送を実現することができる。

【０００８】上記構成において、振動抑制板と板状物の
一面との間の隙間は、流体保持部の保持面と板状物の一
面との間の保持隙間よりも大きく設定することができ
る。このような構成とすることにより、板状物の搬送中
に、圧力変動等によって板状物に振動が生じた場合で
も、板状物の端部が流体保持部の保持面と接触するのを
回避することができる。

【０００９】さらに、流体保持部と振動抑制板との間
に、上記保持隙間から流出した加圧流体の一部を、振動
抑制板と板状物の一面との間の隙間以外の部分に逃がす
ための通気路を設けることができる。このような構成と
することにより、加圧流体に流れが生じ、流体保持部の
支持機能を確保することができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の板状物の非接触搬
送装置の実施形態を図面に従って説明する。

【００１１】図１は、この実施形態の板状物の非接触搬
送装置の主要部を概念的に示している。図１（ａ）は上
方から見た図（平面図）、図１（ｂ）は正面図である。

【００１２】この実施形態の板状物の非接触搬送装置
は、例えば板ガラス１を所定方向（図１に矢印で示す方
向：搬送方向）に搬送するための搬送手段２と、搬送手
段２によって搬送される板ガラス１の一面１ａを非接触
状態で支持する複数の流体保持部３と、搬送時における
板ガラス１の振動を減衰するための振動抑制板４とを主
要な構成要素とする。

【００１３】板ガラス１は、例えば液晶ディスプレイや
プラズマディスプレイに使用されるものである。

【００１４】搬送手段２は、板ガラス１を所定方向に搬
送できるものであれば良く、その構成は特に限定されな
いが、この実施形態では、板ガラス１を鉛直方向に起立
姿勢にして、その下端をコロコンベア２ａによって転が
り接触支持しながら、搬送アタッチメント２ｂによって
板ガラス１の後端を押圧して、板ガラス１を図１に示す
矢印方向に搬送する構成にしてある。搬送アタッチメン
ト２ｂは、図示されていない駆動手段によって駆動され
る。コロコンベア２ａは、搬送される板ガラス１の下端
との接触によって従動回転する。尚、板ガラス１の搬送
姿勢は、傾斜起立姿勢としても良く、あるいは、水平方
向の横伏姿勢としても良い。後者の場合、板ガラス１の
上面又は下面を流体保持部によって非接触支持すること
になる。

【００１５】複数の流体保持部３は取付板５に装着され
る。複数の流体保持部３は、搬送方向に所定の間隔を隔
てて配置され、さらに、この実施形態では、搬送対象と
なる板ガラス１の上方部分と下方部分にそれぞれ対向す
るように上下２列で配列されている。

【００１６】図２に拡大して示すように、各流体保持部
３は、加圧流体、例えば圧縮空気Ｐが供給される供給口
３ａと、一端が供給口３ａに連通し、他端が開口した空
気室３ｂと、空気室３ｂの開口の周縁に形成された保持
面３ｃとを備えている。この実施形態において、流体保
持部３の横断面形状は円形であり、空気室３ｂの直径は
供給口３ａの直径よりも十分大きく、また、保持面３ｃ
は平坦環状である。

【００１７】図示されていない空気配管を介して供給口
３ａから圧縮空気Ｐを供給すると、圧縮空気Ｐは一旦空
気室３ｂに流入し、空気室３ｂの開口から外部に向けて
噴出される。流体保持部３の配置位置に板ガラス１が搬
送されてくると、空気室３ｂの開口から噴出した圧縮空
気Ｐは、保持面３ｃと板ガラス１の一面１ａとの間に形
成される隙間Ｓ１に流入する。隙間Ｓ１が大きい時は、
エゼクター効果により空気室３ｂ内の圧力が低下し、同
時にベルヌーイ効果により隙間Ｓ１内の静圧が低下する
ことにより、板ガラス１に対して吸引力が生じる。一
方、隙間Ｓ１が小さくなると、圧力室型エアクッション
効果により空気室３ｂ内の圧力が上がり、同時に隙間Ｓ
１を流れる空気にもクッション効果が発生することによ
り、板ガラス１に対して反発力が生じる。このように、
吸引力と反発力とがバランスすることによって、板ガラ
ス１の一面１ａと流体保持部３の保持面３ｃとの間の隙
間Ｓ１が所定の大きさδ１に保持され、板ガラス１の一
面１ａが流体保持部３の保持面３ｃに対して非接触状態
で支持される。以下、このようにして所定の大きさδ１
に保持された隙間Ｓ１を「保持隙間Ｓ１」という。保持
隙間Ｓ１の大きさδ１は、例えば０．３ｍｍ、あるい
は、０．３ｍｍより若干大きい値若しくは若干小さい値
に設定することができる。

【００１８】この実施形態では、振動抑制板４は１枚の
板状部材によって構成され、取付板５に装着固定され
る。また、振動抑制板４には、各流体保持部３の配置位
置に対応する部位にそれぞれ貫通穴４ａが設けられてお
り、各貫通穴４ａに各流体保持部３がそれぞれ突出状態
で収容される。

【００１９】図２に示すように、振動抑制板４の一面４
ｂは、流体保持部３の保持面３ｃよりも取付板５側に所
定寸法だけ後退しており、そのため、振動抑制板４の一
面４ｂと、流体保持部３によって支持された板ガラス１
の一面１ａとの間に形成される隙間Ｓ２（大きさδ２）
は、保持隙間Ｓ１よりも所定寸法だけ大きくなる（δ２
＞δ１）。δ２とδ１との差は、例えば１ｍｍ、あるい
は、１ｍｍより若干大きい値あるいは若干小さい値に設
定することができる。以下、このようにして所定の大き
さδ２に設定された隙間Ｓ２を「ダンパー隙間Ｓ２」と
いう。また、振動抑制板４の貫通穴４ａの内径は流体保
持部３の外径よりも大きく、そのため、流体保持部３と
振動抑制板４との間に所定の通路幅ｔをもった環状の通
気路６が形成される。尚、図２は、振動抑制板４の一面
４ｂを、流体保持部３の保持面３ｃよりも取付板５側に
後退させて、ダンパー隙間Ｓ２を保持隙間Ｓ１よりも大
きく設定した例を示しているが（δ２＞δ１）、板ガラ
ス１の振動の程度によっては、ダンパー隙間Ｓ２と保持
隙間Ｓ１とを等しく設定しても良い（δ２＝δ１）。

【００２０】上述のように、流体保持部３の供給口３ａ
から供給された圧縮空気Ｐは、空気室３ｂを経由して保
持隙間Ｓ１に流入し、さらに、保持隙間Ｓ１から流出し
た圧縮空気Ｐの一部はダンパー隙間Ｓ２に流入し、残り
は通気路６を介して外部に排出される。ダンパー隙間Ｓ
２に流入した圧縮空気Ｐによって、ダンパー隙間Ｓ２内
に空気層が形成され、その空気層が板ガラス１の振動に
対してダンパーとして機能し、搬送時における板ガラス
１の振動を減衰する。ダンパー隙間Ｓ２の大きさδ２
は、そのような振動抑制板４による振動減衰機能を効果
的に達成し得る値に設定される。また、保持隙間Ｓ１に
流入した圧縮空気Ｐの一部が通気路６を介して外部に排
出されるので、流体保持部３による板ガラス１の支持機
能も充分に確保される。

【００２１】尚、この実施形態では、振動抑制板４を流
体保持部３とは別体で構成しているが、振動抑制板４は
流体保持部３と一体に形成しても良い。その場合、通気
路６は１つの環状形状のものではなく、複数の孔状のも
のとして、流体保持部３の近傍の周囲に配列形成すると
良い。また、通気路６を設けない構成とすることも可能
である。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の板状物の
非接触搬送装置によれば、複数の流体保持部の相互間に
振動抑制板を設けたので、搬送時の板状物の振動が振動
抑制板によって減衰され、板状物の安定した非接触搬送
を実現することができる。その結果、板状物の表面に搬
送時の疵や汚れが付きにくく、製品不良率が大幅に低減
する。

【００２３】また、振動抑制板と板状物との間の隙間
を、流体保持部と板状物との間の保持隙間よりも大きく
設定することにより、搬送時に板状物に振動が生じた場
合でも、板状物が流体保持部に接触するのを回避し、板
状物の破損を防止することができる。

【００２４】さらに、流体保持部と振動抑制板との間に
通気路を設けることにより、流体保持部の支持機能を充
分に確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係わる板状物の非接触搬送
装置の主要部を概念的に示す平面図（一部断面）（図
ａ）、正面図（図ｂ）である。

【図２】流体保持部の周辺部を示す拡大断面図（図
ａ）、流体保持部を図ａのｂ方向から見た図（図ｂ）で
ある。

【符号の説明】

１ 板ガラス ２ 搬送手段 ３ 流体保持部 ３ａ 供給口 ３ｃ 保持面 ４ 振動抑制板 ６ 通気路 Ｓ１ 保持隙間 Ｓ２ ダンパー隙間

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状物を所定方向に搬送するための搬送
   手段と、搬送方向に所定の間隔を隔てて配置された複数
   の流体保持部とを備え、 前記流体保持部は、加圧流体の供給口と、前記搬送手段
   によって搬送される板状物の一面と対向する保持面とを
   有し、前記供給口から供給された加圧流体を、前記保持
   面と板状物の一面との間の保持隙間を介して流出させる
   ことにより、板状物の一面を前記保持面に対して所定の
   保持隙間を保持しつつ非接触状態で支持する板状物の非
   接触搬送装置において、 前記複数の流体保持部の相互間に、板状物の一面と所定
   の隙間で振動抑制板が配設されていることを特徴とする
   板状物の非接触搬送装置。
2. 【請求項２】 前記振動抑制板と板状物の一面との間の
   隙間が前記保持隙間よりも大きく設定されたことを特徴
   とする請求項１記載の板状物の非接触搬送装置。
3. 【請求項３】 前記流体保持部と前記振動抑制板との間
   に、前記保持隙間から流出した加圧流体の一部を、前記
   振動抑制板と板状物の一面との間の隙間以外の部分に逃
   がすための通気路を有することを特徴とする請求項１又
   は２記載の板状物の非接触搬送装置。