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JP2000153451A - Crown forming method and crown forming device for flotation type magnetic head - Google Patents

Crown forming method and crown forming device for flotation type magnetic head

Info

Publication number
JP2000153451A
JP2000153451A JP32733998A JP32733998A JP2000153451A JP 2000153451 A JP2000153451 A JP 2000153451A JP 32733998 A JP32733998 A JP 32733998A JP 32733998 A JP32733998 A JP 32733998A JP 2000153451 A JP2000153451 A JP 2000153451A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bar
jig
crown
magnetic head
lap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP32733998A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideaki Kobayashi
秀明 小林
Koichi Nakagawa
浩一 中川
Isao Nakabayashi
功 中林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd filed Critical Alps Electric Co Ltd
Priority to JP32733998A priority Critical patent/JP2000153451A/en
Priority to CNB991224000A priority patent/CN1146866C/en
Priority to US09/439,137 priority patent/US6276991B1/en
Priority to US09/439,539 priority patent/US6123608A/en
Publication of JP2000153451A publication Critical patent/JP2000153451A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/048Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces of sliders and magnetic heads of hard disc drives or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To form a crown protruded only in a length direction of a slider at high productivity and with less irregularity is crown form. SOLUTION: Using a jig 3 having a protruded and curved surface 6 and a lapping machine 2 having a recessed and curved machining surface 4, a bar roughly in the form of a rectangular parallelopiped comprising more than one magnetic head elements serially formed in a line on a side wall surface 23 is placed on the protruded and curved surface 6 to put a surface to be machined on the side of the lapping machine 2, the bar is deformed like an arc in a length direction to be affixed to the protruded and curved surface 6, an upper surface (the surface to be operated) of the bar is brought into contact with the machining surface 4, and the upper surface (the surface to be processed) and the machining surface 4 are relatively moved, so the upper surface (the surface to be processed) is lapped. A crown is thus formed in a flotation surface of a flotation type magnetic head.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、浮上式磁気ヘッド
の浮上面にクラウンを形成する方法に関し、また、浮上
式磁気ヘッドのクラウン形成装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a crown on a flying surface of a flying magnetic head, and to a crown forming apparatus for a flying magnetic head.

【0002】[0002]

【従来の技術】浮上式磁気ヘッドは、磁気記録媒体から
浮上しつつ、磁気記録媒体に対して情報の記録及び再生
を行うものである。この浮上式磁気ヘッドは、磁気記録
媒体の移動によって磁気記録媒体から浮上し、磁気記録
媒体の停止により再び磁気記録媒体上に載置するいわゆ
るCSS方式に基づいて動作する。浮上式磁気ヘッドと
磁気記録媒体は、それぞれ対向する面の平滑性が高いた
めに互いに吸着しやすく、浮上式磁気ヘッド及び磁気記
録媒体に不具合が生ずるおそれがある。そこで、浮上式
磁気ヘッドの浮上面を凸曲面とし、浮上面と磁気記録媒
体との接触面積を小さくして相互の吸着を防止すること
が行われている。浮上面に形成された凸曲面はクラウン
と称されている。このクラウンの形成には、従来から種
々の方法が採用されている。
2. Description of the Related Art A floating magnetic head performs recording and reproduction of information on and from a magnetic recording medium while floating from the magnetic recording medium. The floating magnetic head operates based on a so-called CSS system in which the magnetic recording medium floats from the magnetic recording medium by moving, and is mounted on the magnetic recording medium again when the magnetic recording medium stops. The floating magnetic head and the magnetic recording medium are easily attracted to each other due to the high smoothness of the surfaces facing each other, and there is a possibility that the floating magnetic head and the magnetic recording medium may have problems. Therefore, the floating surface of the floating magnetic head is made to have a convex curved surface, and the contact area between the floating surface and the magnetic recording medium is reduced to prevent mutual adsorption. The convex curved surface formed on the air bearing surface is called a crown. Various methods have conventionally been employed for forming the crown.

【0003】そこで、従来の浮上式磁気ヘッドのクラウ
ン形成方法を図面を参照して説明する。図10には、従
来の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方法の第1の例を
示す。図10において、浮上式磁気ヘッド素子が一列に
連なってなる略直方体状のバー61と、溝治具62を用
意する。バー61は、その一面(左側面)61aに複数
の磁気ヘッド゛素子が形成されている。バー61は、多
数の磁気ヘッド素子が形成されたウエハを略直方体状に
切り出し、他面(底面)61cを研磨して磁気ヘッド素
子のコイルとギャップの間隔を調整したものである。ま
た、溝治具62には、その一面(上面)に溝62aが形
成されている。
A conventional method for forming a crown of a floating magnetic head will be described with reference to the drawings. FIG. 10 shows a first example of a conventional crown forming method for a floating magnetic head. In FIG. 10, a substantially rectangular parallelepiped bar 61 in which floating magnetic head elements are arranged in a row and a groove jig 62 are prepared. The bar 61 has a plurality of magnetic head elements on one surface (left side surface) 61a. The bar 61 is obtained by cutting a wafer on which a large number of magnetic head elements are formed into a substantially rectangular parallelepiped shape and polishing the other surface (bottom surface) 61c to adjust the gap between the coil of the magnetic head element and the gap. The groove jig 62 has a groove 62a formed on one surface (upper surface).

【0004】次に、溶融したワックス63を溝62aに
塗布し、バー61を、他面61cを下とし、他面61c
とワックス63が触れるようにして溝治具62に載置す
る。次にワックス63を冷却固化させることによりワッ
クス63を収縮させ、バー61を弧状に変形させる。バ
ー61は、ワックス63により溝治具62に固定され
る。このとき、湾曲したバーの他面61cは凸曲面とさ
れる。次に、バー61の他面61cに対向して湾曲して
いる面61bを研磨して平面61dとする。次に、バー
61を溝治具62から取り外し、バーの長手方向に対し
て等間隔に切断して浮上式磁気ヘッドを得る。この浮上
式磁気ヘッドには、バー61の変形により凸曲面とされ
たクラウンが形成される。
Next, a molten wax 63 is applied to the groove 62a, and the bar 61 is placed on the other surface 61c with the other surface 61c facing down.
And the wax 63 is placed on the groove jig 62 so as to be in contact with the wax 63. Next, the wax 63 is contracted by cooling and solidifying the wax 63, and the bar 61 is deformed into an arc shape. The bar 61 is fixed to the groove jig 62 by the wax 63. At this time, the other surface 61c of the curved bar is a convex curved surface. Next, the curved surface 61b facing the other surface 61c of the bar 61 is polished to a flat surface 61d. Next, the bar 61 is removed from the groove jig 62 and cut at equal intervals in the longitudinal direction of the bar to obtain a floating magnetic head. The flying magnetic head has a crown formed as a convex curved surface by deformation of the bar 61.

【0005】図11には、従来の浮上式磁気ヘッドのク
ラウン形成方法の第2の例を示す。図11において、ま
ず略直方体状の磁気ヘッドスライダ71を用意する。磁
気ヘッドスライダ71には、予め磁気ヘッド素子(図示
せず)が設けられている。また、磁気ヘッドスライダ7
1の浮上面72には、一対のレール72a、72aが形
成されている。次に、磁気ヘッドスライダ71のレール
72a、72aの間にレーザー光74を照射して、磁気
ヘッドスライダ71の短手方向に沿った複数のクラック
73…を形成する。次に、磁気ヘッドスライダ71をそ
の長手方向に沿って弧状に変形し、浮上面72を凸曲面
とする。浮上面72にはクラック73…が形成されてい
るので、磁気ヘッドスライダ71は容易に変形される。
このようにして、磁気ヘッドスライダ71の浮上面72
にクラウンが形成される。
FIG. 11 shows a second example of a conventional method for forming a crown of a floating magnetic head. In FIG. 11, first, a substantially rectangular parallelepiped magnetic head slider 71 is prepared. The magnetic head slider 71 is provided with a magnetic head element (not shown) in advance. Also, the magnetic head slider 7
On one floating surface 72, a pair of rails 72a, 72a is formed. Next, a laser beam 74 is irradiated between the rails 72a, 72a of the magnetic head slider 71 to form a plurality of cracks 73 along the lateral direction of the magnetic head slider 71. Next, the magnetic head slider 71 is deformed in an arc shape along the longitudinal direction, and the flying surface 72 is formed into a convex curved surface. Since the cracks 73 are formed on the flying surface 72, the magnetic head slider 71 is easily deformed.
Thus, the flying surface 72 of the magnetic head slider 71
A crown is formed.

【0006】図12には、従来の浮上式磁気ヘッドのク
ラウン形成方法の第3の例を示す。図12において、ま
ず略直方体状の磁気ヘッドスライダ81を用意する。ま
た、加工面85aが凹曲面状であるラップ定盤85を用
意する。磁気ヘッドスライダ81には、予め磁気ヘッド
素子(図示せず)が設けられている。また、磁気ヘッド
スライダ81の浮上面82には、一対のレール82a、
82aが形成されている。
FIG. 12 shows a third example of a conventional method for forming a crown of a floating magnetic head. 12, first, a substantially rectangular parallelepiped magnetic head slider 81 is prepared. Also, a lap surface plate 85 having a processing surface 85a having a concave curved surface is prepared. The magnetic head slider 81 is provided with a magnetic head element (not shown) in advance. Also, a pair of rails 82a are provided on the floating surface 82 of the magnetic head slider 81.
82a are formed.

【0007】次に、磁気ヘッドスライダ81を、浮上面
82を上にし、かつ弾性シート83を介して治具84の
平面84a上に固定する。次に、磁気ヘッドスライダ8
1が固定された治具84を、磁気ヘッドスライダ81の
浮上面82とラップ定盤85の加工面85aとが当接さ
れるように定盤85上に載置する。次に、加工面85a
上に研磨剤を散布し、磁気ヘッドスライダ81に治具8
4による荷重をかけて浮上面82を加工面85aに押し
当てる。更にラップ定盤85を回転させつつ治具84を
回転させ、磁気ヘッドスライダ81の浮上面82と加工
面85aとを互いに摺動させてラップ処理を行う。この
とき浮上面82は、加工面85aの形状が転写されて凸
曲面となり、その曲率は加工面85aの曲率と同等とな
る。このようにして得られた磁気ヘッドスライダ81に
は、その長手方向及び短手方向に沿って凸曲面とされる
クラウン87が形成される。
Next, the magnetic head slider 81 is fixed on the flat surface 84a of the jig 84 via the elastic sheet 83 with the flying surface 82 facing upward. Next, the magnetic head slider 8
The jig 84 to which 1 is fixed is placed on the surface plate 85 so that the flying surface 82 of the magnetic head slider 81 and the processing surface 85a of the lap surface plate 85 are in contact with each other. Next, the processing surface 85a
The abrasive is sprayed on the jig 8 and the jig 8
The floating surface 82 is pressed against the processing surface 85a by applying a load of 4. Further, the jig 84 is rotated while the lapping plate 85 is rotated, and the floating surface 82 of the magnetic head slider 81 and the processing surface 85a are slid with each other to perform the lapping process. At this time, the flying surface 82 is transferred to the shape of the processing surface 85a and becomes a convex curved surface, and its curvature becomes equal to the curvature of the processing surface 85a. On the magnetic head slider 81 thus obtained, a crown 87 having a convex curved surface is formed along the longitudinal direction and the lateral direction.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の浮上式
磁気ヘッドのクラウン形成方法の第1の例においては、
クラウンの形成がワックス63の収縮及び溝治具62の
溝62aによるので、クラウンの形状のばらつきが生じ
やすいという課題があった。
However, in the first example of the conventional method of forming a crown of a floating magnetic head,
Since the formation of the crown is caused by the shrinkage of the wax 63 and the groove 62a of the groove jig 62, there is a problem that the shape of the crown tends to vary.

【0009】また、従来の浮上式磁気ヘッドのクラウン
形成方法の第2の例においては、レーザー光74を複数
回照射してクラック73を形成させる必要があるので工
程が複雑となり、生産性が低いという課題があった。
In the second example of the conventional method of forming a crown of a floating magnetic head, it is necessary to irradiate a laser beam 74 a plurality of times to form a crack 73, so that the process becomes complicated and the productivity is low. There was a problem that.

【0010】更に、従来の浮上式磁気ヘッドのクラウン
形成方法の第3の他の例においては、磁気ヘッドスライ
ダ81を1個づつ取り扱うので生産性が低く、また、ク
ラウンの形状は、磁気ヘッドスライダ81の長手方向及
び短手方向に凸である凸曲面(クロスクラウン)とさ
れ、磁気ヘッドスライダ81の長手方向のみに凸である
クラウンを形成させることができないという課題があっ
た。
Further, in the third other example of the conventional method for forming a crown of a floating magnetic head, the productivity is low because the magnetic head sliders 81 are handled one by one. The magnetic head slider 81 has a convex curved surface (cross crown) that is convex in the longitudinal direction and the lateral direction, and there is a problem that a crown that is convex only in the longitudinal direction of the magnetic head slider 81 cannot be formed.

【0011】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであって、生産性が高く、クラウン形状のば
らつきが小さく、スライダの長手方向のみに凸であるク
ラウンを形成させることが可能なクラウン形成方法を提
供することを目的とする。また本発明は、生産性が高
く、クラウン形状のばらつきが小さく、スライダの長手
方向のみに凸であるクラウンを形成することが可能なク
ラウン形成装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is capable of forming a crown having high productivity, small variations in crown shape, and convex only in the longitudinal direction of the slider. It is an object of the present invention to provide a simple crown forming method. Another object of the present invention is to provide a crown forming apparatus which has high productivity, has small variations in crown shape, and can form a crown which is convex only in the longitudinal direction of the slider.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は以下の構成を採用した。本発明の浮上式
磁気ヘッドのクラウン形成方法は、側壁面に1以上の磁
気ヘッド素子が一列に連なって形成されてなる略直方体
状のバーの前記側壁面に隣接する被加工面をラップ処理
し、該バーを短手方向に沿って切断することにより、前
記被加工面が浮上面となり、かつ少なくとも1つの前記
磁気ヘッド素子を具備してなる浮上式磁気ヘッドを製造
する際に、凸曲面を有する治具と凹曲面状の加工面を有
するラップ定盤を用いて、前記バーの前記被加工面をラ
ップ定盤側にして、前記バーを前記治具の前記凸曲面に
載置し、前記バーを長手方向に沿って弧状に変形して前
記凸曲面に貼り付け、前記バーの被加工面を前記ラップ
定盤の前記加工面に当接し、前記被加工面と前記加工面
とを相対移動させて前記被加工面をラップ処理すること
により、前記浮上式磁気ヘッドの前記浮上面にクラウン
を形成させることを特徴とする。また、前記凸曲面は凸
球面であり、前記凹曲面は凹球面であることが好まし
い。
In order to achieve the above object, the present invention employs the following constitution. In the method of forming a crown of a floating magnetic head according to the present invention, a surface to be processed adjacent to the side wall surface of a substantially rectangular parallelepiped bar having one or more magnetic head elements formed in a row on the side wall surface is lapped. By cutting the bar along the transverse direction, the surface to be processed becomes a floating surface, and when manufacturing a floating magnetic head including at least one magnetic head element, a convex curved surface is formed. Using a jig having a lap surface having a concave curved processing surface, the work surface of the bar is set on the lap surface side, and the bar is placed on the convex curved surface of the jig, The bar is deformed in an arc shape along the longitudinal direction and attached to the convex curved surface, the processed surface of the bar is brought into contact with the processed surface of the lap platen, and the processed surface and the processed surface are relatively moved. To lap the work surface Ri, characterized in that to form a crown on the floating surface of the floating magnetic head. Preferably, the convex curved surface is a convex spherical surface, and the concave curved surface is a concave spherical surface.

【0013】前記の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法においては、前記ラップ定盤の前記加工面の曲率半径
と前記治具の前記凸曲面の曲率半径を、同一とすること
が好ましい。また、前記の浮上式磁気ヘッドのクラウン
形成方法においては、前記ラップ定盤を回転し、かつ前
記バーを前記ラップ定盤の回転方向と直交する方向に揺
動して、前記バーの被加工面と前記ラップ定盤の前記加
工面とを相対移動させることが好ましい。更に、前記の
浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方法においては、前記
バーと同一形状かつ同一材料からなるダミーバーを、前
記バーの長手方向に対して平行に、かつ前記バーと離間
して前記治具の前記凸曲面に貼り付けてラップ処理する
ことが好ましい。
In the method for forming a crown of a floating magnetic head, it is preferable that a radius of curvature of the processing surface of the lap surface plate and a radius of curvature of the convex curved surface of the jig are the same. In the above-mentioned method for forming a crown of a floating magnetic head, the lapping plate is rotated, and the bar is swung in a direction orthogonal to a rotation direction of the lapping plate, so that the work surface of the bar is processed. And the processing surface of the lap surface plate are preferably moved relative to each other. Further, in the method of forming a crown of a floating magnetic head, a dummy bar having the same shape and the same material as the bar is provided in parallel with a longitudinal direction of the bar and separated from the bar. It is preferable that the lapping process is performed by sticking to the convex curved surface.

【0014】本発明のクラウン形成装置は、凹曲面状の
加工面を有するラップ定盤と、凸曲面を有する治具と、
前記治具の前記凸曲面を前記ラップ定盤の前記加工面に
対向させて、前記治具と前記加工面を相対移動させる駆
動手段とを具備してなり、1以上の浮上式磁気ヘッド素
子を側壁面に一列に連なって形成してなる略直方体状の
バーが、被加工面をラップ定盤側にして長手方向に沿っ
て弧状に変形されて前記治具の前記凸曲面に貼り付けら
れて、前記バーの前記被加工面が前記ラップ定盤の前記
加工面に当接されるように構成されたことを特徴とす
る。
[0014] The crown forming apparatus of the present invention comprises: a lap surface plate having a concave curved processing surface; a jig having a convex curved surface;
Driving means for moving the jig and the processing surface relative to each other so that the convex curved surface of the jig faces the processing surface of the lap surface plate, wherein one or more floating magnetic head elements are provided. A substantially rectangular parallelepiped bar formed in a row on the side wall surface is deformed into an arc shape along the longitudinal direction with the surface to be processed being the lap surface side and attached to the convex curved surface of the jig. The bar is configured such that the work surface of the bar comes into contact with the work surface of the lap surface plate.

【0015】前記のクラウン形成装置においては、前記
ラップ定盤の前記加工面の曲率半径と前記治具の前記凸
曲面の曲率半径とが同一であることが好ましい。また、
前記駆動手段は、前記ラップ定盤を回転させる回転機構
と、前記治具保持して前記バーの前記被加工面を前記ラ
ップ定盤の前記加工面に押し当てて、前記治具を前記ラ
ップ定盤の回転方向と直交する方向に揺動させる揺動機
構とからなり、前記バーの長手方向が前記治具の揺動方
向と一致するように、前記バーが前記治具に取り付けら
れたことを特徴とする。更に、前記のクラウン形成装置
においては、前記バーと同一形状かつ同一材料からなる
ダミーバーが、前記バーの長手方向に対して平行に、か
つ前記バーと離間して前記治具の前記凸曲面に貼り付け
られたことが好ましい。
In the crown forming apparatus, it is preferable that a radius of curvature of the processing surface of the lap plate and a radius of curvature of the convex curved surface of the jig are the same. Also,
The driving means includes a rotation mechanism for rotating the lap surface plate, and holding the jig, pressing the work surface of the bar against the processing surface of the lap surface plate to move the jig to the lap surface. A swing mechanism for swinging in a direction orthogonal to the rotation direction of the board, wherein the bar is attached to the jig such that the longitudinal direction of the bar matches the swing direction of the jig. Features. Further, in the crown forming device, a dummy bar having the same shape and the same material as the bar is attached to the convex curved surface of the jig in parallel with a longitudinal direction of the bar and apart from the bar. Preferably, it is attached.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態である
浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方法及びクラウン形成
装置を図面を参照して説明する。図1には、本発明に係
るクラウン形成装置1を示す。このクラウン形成装置1
は、テーブルTの上に設けられたラップ定盤2と、その
上に設けられた治具3と、駆動手段10と、ラップ定盤
2の背後側に立設された制御盤Sと、この制御盤Sに支
持された揺動板11と、研磨液噴出ノズル16と、修正
リング15とを主体として構成されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method and apparatus for forming a crown of a floating magnetic head according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a crown forming apparatus 1 according to the present invention. This crown forming device 1
A lap plate 2 provided on a table T, a jig 3 provided thereon, a driving means 10, a control plate S provided upright behind the lap plate 2, The oscillating plate 11 supported by the control panel S, the polishing liquid jet nozzle 16, and the correction ring 15 are mainly configured.

【0017】ラップ定盤2は、図2A及び図2Bに示す
ように、全体の形状が略円盤状とされ、その上面が凹曲
面状である加工面4とされている。加工面4は、ラップ
定盤2の中央に向けて下方に傾斜している。
As shown in FIGS. 2A and 2B, the lapping platen 2 has a substantially disk-shaped overall shape and a processed surface 4 having a concave upper surface. The processing surface 4 is inclined downward toward the center of the lap surface plate 2.

【0018】治具3は、図3に示すように円柱状であっ
てその上面が凸曲面6とされている。また、凸曲面6に
は、図4A〜図4Cに示すように、バー21が取り付け
られている。バー21は、浮上式磁気ヘッドのスライダ
の材料からなるウエハの一面に、多数の磁気ヘッド素子
を薄膜形成技術等を用いて形成した後に、ウエハーの一
部を切り出して略直方体としたものである。バー21
は、図5Aに示すように、側壁面23に複数の磁気ヘッ
ド素子29…が一列に連なって配置されるようにウエハ
ーから切り出されたものである。バー21の側壁面23
に接する上面(被加工面)24は、最終的に得られる浮
上式磁気ヘッドの浮上面となる。バー21は、図5B及
び図5Cに示すように、上面(被加工面)24を上に
し、上面24と対向する底面25を下にして、バー21
の長手方向に沿って弧状に変形されて治具3に貼り付け
られている。バー21を変形させるには、バー21を予
め加熱しておくことが好ましい。
The jig 3 has a columnar shape as shown in FIG. Further, a bar 21 is attached to the convex curved surface 6 as shown in FIGS. 4A to 4C. The bar 21 is formed by forming a large number of magnetic head elements on one surface of a wafer made of a material of a slider of a floating magnetic head by using a thin film forming technique or the like, and then cutting out a part of the wafer to form a substantially rectangular parallelepiped. . Bar 21
5A is cut out from the wafer such that a plurality of magnetic head elements 29 are arranged in a row on the side wall surface 23 as shown in FIG. 5A. Side wall surface 23 of bar 21
The upper surface (worked surface) 24 in contact with is the floating surface of the finally obtained floating magnetic head. As shown in FIG. 5B and FIG. 5C, the bar 21 has a top surface (working surface) 24 facing upward, and a bottom surface 25 facing the top surface 24 facing downward.
Are deformed in an arc along the longitudinal direction of the jig 3 and attached to the jig 3. To deform the bar 21, it is preferable to heat the bar 21 in advance.

【0019】図4Aに示すように、治具3の凸曲面6に
は、バー21と同一形状かつ同一材料からなるダミーバ
ー22が、バー21の長手方向と平行に、かつバー21
と離間されて貼り付けられる。また、図4Aに示すよう
に、バー21及びダミーバー22と凸曲面6との間に
は、弾性シート30を介在させても良い。弾性シート3
0は、例えばウレタンからなるものであり、表面が粘着
性を有していてバー21を凸曲面6に固定することが可
能となっている。また、弾性シート30は省略されても
良い。この場合には、バー21及びダミーバー22は、
接着剤、ワックス等により凸曲面6に固定される。ラッ
プ定盤2の加工面4の曲率半径と治具3の凸曲面6の曲
率半径は、同一とされている。
As shown in FIG. 4A, a dummy bar 22 having the same shape and the same material as the bar 21 is provided on the convex curved surface 6 of the jig 3 in parallel with the longitudinal direction of the bar 21.
And pasted. In addition, as shown in FIG. 4A, an elastic sheet 30 may be interposed between the bar 21 and the dummy bar 22 and the convex curved surface 6. Elastic sheet 3
Numeral 0 is made of, for example, urethane , and its surface has adhesiveness, so that the bar 21 can be fixed to the convex curved surface 6. Further, the elastic sheet 30 may be omitted. In this case, the bar 21 and the dummy bar 22
It is fixed to the convex surface 6 with an adhesive, wax, or the like. The radius of curvature of the processing surface 4 of the lap surface plate 2 and the radius of curvature of the convex curved surface 6 of the jig 3 are the same.

【0020】図1に示すように、駆動手段10は、ラッ
プ定盤2を回転させる回転機構17と、治具3をラップ
定盤2の加工面4に押し当てて、治具3をラップ定盤2
の回転方向と直交する方向に揺動させる揺動機構18と
からなる。回転機構17は、ラップ定盤2を回転させる
ものであればどのようなものであっても良い。例えば図
1に示すように、ラップ定盤2の中央に連結され、ラッ
プ定盤2を矢印A方向に回転させるモータ7であっても
良い。揺動機構18は、制御盤Sの前面側に設けられた
揺動板11と、揺動板11の前面上部に設けられた凸部
12と、凸部12から下方に突出する左右一対の荷重棒
13、13と、荷重棒13、13に吊り下げて設けられ
た荷重ブロック14とからなる。
As shown in FIG. 1, the driving means 10 presses the jig 3 against the processing surface 4 of the lap platen 2 by rotating the lapping plate 2 with a rotating mechanism 17 to rotate the jig 3. Board 2
And a swing mechanism 18 for swinging in a direction orthogonal to the rotation direction of The rotating mechanism 17 may be of any type as long as it rotates the lap platen 2. For example, as shown in FIG. 1, a motor 7 connected to the center of the lap surface plate 2 and rotating the lap surface plate 2 in the direction of arrow A may be used. The oscillating mechanism 18 includes an oscillating plate 11 provided on the front side of the control panel S, a convex portion 12 provided on an upper front portion of the oscillating plate 11, and a pair of right and left loads projecting downward from the convex portion 12. It comprises rods 13, 13 and load blocks 14 suspended from the load rods 13, 13.

【0021】揺動板11の背面側には、図1に示すよう
に、支持面19が設けられ、支持面19のラップ定盤2
側の前面には、図13に示すレール部材118、118
が取り付けられ、これらのレール部材118、118に
係合するようにレール受け部材119、119が設けら
れ、レール受け部材119、119が揺動板11の背面
に接続されていて、揺動板11はレール部材118、1
18に沿って左右往復移動できるように構成されてい
る。
As shown in FIG. 1, a support surface 19 is provided on the back side of the swing plate 11, and the lap surface plate 2 of the support surface 19 is provided.
The rail members 118, 118 shown in FIG.
And rail receiving members 119 and 119 are provided so as to engage with the rail members 118 and 118. The rail receiving members 119 and 119 are connected to the back surface of the swing plate 11, Are the rail members 118, 1
It is configured to be able to reciprocate left and right along 18.

【0022】また、支持面19の前面側には、図13に
示すようにモータ120とリンクアーム123が揺動板
11と支持盤19との間に位置して設けられ、モータ1
20の回転軸121に取り付けられたアーム板122の
端部にリンクアーム123の一端がピン125により回
動自在に連結され、このリンクアーム123の他端が駆
動板126の中央部にピン127により回動自在に連結
されると共に、駆動板126の上下部にそれぞれレール
受け部材119、119が取り付けられている。
On the front side of the support surface 19, a motor 120 and a link arm 123 are provided between the swing plate 11 and the support plate 19 as shown in FIG.
One end of a link arm 123 is rotatably connected to an end of an arm plate 122 attached to the rotation shaft 121 of the drive shaft 126 by a pin 125, and the other end of the link arm 123 is connected to a center of a drive plate 126 by a pin 127. In addition to being rotatably connected, rail receiving members 119 and 119 are attached to upper and lower portions of the driving plate 126, respectively.

【0023】以上の構成により、モータ120の回転に
伴ってアーム板122が回転され、これによりリンクア
ーム123の一端側が偏心回転すると共に、リンクアー
ム123の他端側が駆動板126をレール部材118、
118の沿って左右に往復移動させるので、揺動板11
が図1における矢印X方向に揺動可能とされている。
With the above arrangement, the arm plate 122 is rotated with the rotation of the motor 120, whereby one end of the link arm 123 rotates eccentrically, and the other end of the link arm 123 connects the drive plate 126 to the rail member 118,
Since the reciprocating movement is performed right and left along 118, the swinging plate 11
Are swingable in the direction of arrow X in FIG.

【0024】図1に示すように、凸曲面6がラップ定盤
2の加工面4と対向するように荷重ブロック14に取り
付けられて、荷重棒13、13に内蔵された図示しない
弾性材によりラップ定盤2に向けて、治具3は付勢され
ている。このようにして、バー21及びダミーバー22
は、加工面4に押し当てられる。
As shown in FIG. 1, the convex curved surface 6 is attached to the load block 14 so as to face the processing surface 4 of the lap platen 2 and is wrapped by an elastic material (not shown) built in the load rods 13, 13. The jig 3 is biased toward the surface plate 2. Thus, the bar 21 and the dummy bar 22
Is pressed against the processing surface 4.

【0025】治具3は、図6及び図7に示すように、バ
ー21の上面(被加工面)24とラップ定盤2の加工面
4とが当接するように加工面4上に配置される。また、
バー21及びダミーバー22は、バー21及びダミーバ
ー22の長手方向と、治具3の揺動方向とが一致するよ
うに、治具3に取り付けられることが好ましい。
As shown in FIGS. 6 and 7, the jig 3 is disposed on the processing surface 4 so that the upper surface (working surface) 24 of the bar 21 and the processing surface 4 of the lapping plate 2 come into contact with each other. You. Also,
The bar 21 and the dummy bar 22 are preferably attached to the jig 3 such that the longitudinal direction of the bar 21 and the dummy bar 22 coincides with the swing direction of the jig 3.

【0026】図1に示すように、研磨液噴出ノズル16
は、ラップ定盤2の加工面4に向けて研磨液を噴出する
ものである。修正リング15は、ラップ定盤2の加工面
4と当接して固定されている。ラップ定盤2の回転によ
って加工面4と修正リング15とが摺動して、研磨液を
加工面4の全体に均一に塗布させることが可能となって
いる。
As shown in FIG. 1, the polishing liquid jet nozzle 16
Is for spraying a polishing liquid toward the processing surface 4 of the lap surface plate 2. The correction ring 15 is fixed in contact with the processing surface 4 of the lap surface plate 2. The rotation of the lap surface plate 2 causes the processing surface 4 and the correction ring 15 to slide, so that the polishing liquid can be uniformly applied to the entire processing surface 4.

【0027】上述のクラウン形成装置1を用いて、バー
21の上面(被加工面)24にクラウンを形成するに
は、次のような操作を行う。まず、加工面4上に研磨液
噴出ノズル16から研磨液を散布する。次に、ラップ定
盤2を回転させ、治具3に取り付けられたバー21及び
ダミーバー22を、揺動機構18により加工面4に押し
当てながらラップ定盤2の回転方向の直交方向に揺動し
て、バー21及びダミーバー22と加工面4を相対移動
させ、バー21の上面(被加工面)24及びダミーバー
22と加工面4とを互いに摺動させて、バー21の上面
24にラップ処理を施す。このとき、ダミーバー22
は、バー21と同様にして加工面4によりラップ処理さ
れる。
In order to form a crown on the upper surface (working surface) 24 of the bar 21 by using the above-described crown forming apparatus 1, the following operation is performed. First, a polishing liquid is sprayed from the polishing liquid jet nozzle 16 onto the processing surface 4. Next, the lapping plate 2 is rotated, and the bar 21 and the dummy bar 22 attached to the jig 3 are rocked in a direction orthogonal to the rotation direction of the lapping plate 2 while being pressed against the processing surface 4 by the rocking mechanism 18. Then, the bar 21 and the dummy bar 22 and the processing surface 4 are relatively moved, and the upper surface (work surface) 24 of the bar 21 and the dummy bar 22 and the processing surface 4 are slid with each other to lap the upper surface 24 of the bar 21. Is applied. At this time, the dummy bar 22
Is wrapped by the processing surface 4 in the same manner as the bar 21.

【0028】ここで、クラウン形成装置1の要部を図
4、図6、図7に示す。図4A、図4Bに示すように、
バー21が治具3に取り付けられたときは、バー21が
長手方向に沿って容易に弧状に変形して治具3の凸曲面
6に密着するため、バー21の上面24は長手方向に沿
って曲面となり、その曲率半径は、バー21及び弾性シ
ート30の厚み分だけ凸曲面6の曲率半径よりも大きく
なっている。凸曲面6と加工面4との曲率半径は同一で
あるので、バー21の上面24の曲率半径は、加工面4
の曲率半径よりも大きくなる。次に、図6に示すよう
に、バー21が加工面4に押し当てられると、バー21
の長手方向の両端が、加工面4に押されて弾性シート3
0が変形し、上面24の曲率半径が加工面4の曲率半径
とほぼ等しくなる。また、弾性シート30を用いず、接
着剤、ワックス等によりバー21を直接凸曲面6に取り
付けた場合においては、バー21が加工面4に押し当て
られると、バー21の長手方向の両端が、加工面4に押
されて変形し、上面24の曲率半径が加工面4の曲率半
径とほぼ等しくなる。
Here, the main part of the crown forming apparatus 1 is shown in FIG. 4, FIG. 6, and FIG. As shown in FIGS. 4A and 4B,
When the bar 21 is attached to the jig 3, the bar 21 is easily deformed into an arc shape along the longitudinal direction and closely adheres to the convex curved surface 6 of the jig 3, so that the upper surface 24 of the bar 21 extends along the longitudinal direction. The curvature radius is larger than the curvature radius of the convex curved surface 6 by the thickness of the bar 21 and the elastic sheet 30. Since the radius of curvature of the convex curved surface 6 and the processing surface 4 is the same, the radius of curvature of the upper surface 24 of the bar 21 is
Larger than the radius of curvature of. Next, as shown in FIG. 6, when the bar 21 is pressed against the processing surface 4,
The both ends in the longitudinal direction of the elastic sheet 3 are pressed by the processing surface 4.
0 is deformed, and the radius of curvature of the upper surface 24 becomes substantially equal to the radius of curvature of the processing surface 4. When the bar 21 is directly attached to the convex surface 6 with an adhesive, wax, or the like without using the elastic sheet 30, when the bar 21 is pressed against the processing surface 4, both ends in the longitudinal direction of the bar 21 The work surface 4 is pressed and deformed, and the radius of curvature of the upper surface 24 becomes substantially equal to the radius of curvature of the work surface 4.

【0029】バー21の上面24は、その長さ方向に対
して上面24と加工面4の曲率半径がほぼ同等となり、
バー21は、治具3によりバー21の長手方向と平行な
方向に揺動されるので、バー21の長さ方向に対して均
一にラップ処理される。
The upper surface 24 of the bar 21 has substantially the same radius of curvature as the upper surface 24 and the processing surface 4 in the longitudinal direction.
Since the bar 21 is swung by the jig 3 in a direction parallel to the longitudinal direction of the bar 21, the bar 21 is uniformly lapped in the longitudinal direction of the bar 21.

【0030】次に、バー21の短手方向においては、図
4C及び図7に示すように、バー21が短手方向に剛性
が高く撓みにくいために、上面24は短手方向に向けて
平坦となっている。従って、図8に示すように、バー2
1の上面24の短手方向の両端(図中斜線部分)が、上
述と同様にして砥粒に研磨されてラップ処理され、上面
24が短手方向に向けて凸曲面となる。このとき、バー
21の上面24は、加工面4の凹曲面が転写されてラッ
プ処理されるので、上面24の短手方向に対する曲率半
径は、加工面の曲率半径と同一になる。
Next, in the short direction of the bar 21, as shown in FIGS. 4C and 7, the bar 21 has high rigidity in the short direction and is hard to bend, so that the upper surface 24 is flat in the short direction. It has become. Therefore, as shown in FIG.
Both ends of the upper surface 24 in the short direction (shaded portions in the figure) are polished into abrasive grains and wrapped in the same manner as described above, and the upper surface 24 becomes a convex curved surface in the short direction. At this time, since the concave curved surface of the processing surface 4 is transferred to the upper surface 24 of the bar 21 and wrapped, the radius of curvature of the upper surface 24 in the short direction becomes the same as the radius of curvature of the processing surface.

【0031】このようにして、ラップ処理後のバー21
の上面24は、図9Aに示すように、バー21の短手方
向に向けて凸の凸曲面となる。このバー21を長手方向
に対して等間隔に切断することにより、浮上式磁気ヘッ
ド26が得られる(図9B)。この浮上式磁気ヘッド2
6の浮上面27は、バー21の上面24であり、浮上面
27には加工面4と同一の曲率半径のクラウン28が形
成される。
In this manner, the bar 21 after the lapping process
As shown in FIG. 9A, the upper surface 24 is a convex curved surface that is convex in the short direction of the bar 21. By cutting the bar 21 at equal intervals in the longitudinal direction, a floating magnetic head 26 is obtained (FIG. 9B). This floating magnetic head 2
The floating surface 27 of the bar 6 is the upper surface 24 of the bar 21, and a crown 28 having the same radius of curvature as the processing surface 4 is formed on the floating surface 27.

【0032】上述の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法は、複数の磁気ヘッド素子が一列に連なってなるバー
21を治具3の凸曲面6に取り付け、バー21を凹曲面
状の加工面4に押し当ててラップ処理するので、複数の
浮上式磁気ヘッドの浮上面を同時にラップ処理すること
が可能となり、浮上式磁気ヘッドの生産性を向上するこ
とができる。
In the above-described crown forming method for a floating magnetic head, a bar 21 in which a plurality of magnetic head elements are arranged in a row is attached to the convex curved surface 6 of the jig 3 and the bar 21 is attached to the concave curved processed surface 4. Since the lapping process is performed by pressing, it is possible to lap the floating surfaces of a plurality of floating magnetic heads at the same time, thereby improving the productivity of the floating magnetic head.

【0033】上述の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法においては、ラップ定盤2の加工面4と治具3の凸曲
面6の曲率半径が同一であるので、バー21を加工面4
に押し当てたときに、バー21の両端が加工面4に常に
押されるので、バー21を常に弧状に変形したままでラ
ップ処理することができる。また、上述の浮上式磁気ヘ
ッドのクラウン形成方法においては、バー21を加工面
4に押し当てた際に、バー21を治具3の凸曲面6に沿
って弾性変形させて、バー21の上面(被加工面)24
の長さ方向に対する曲率半径を加工面4の曲率半径と同
一にすることが可能なので、バー21の上面24を、バ
ー21の長手方向に対して均一にラップ処理をすること
ができると共に、バーの短手方向に対して加工面4と同
等な曲率半径の凸曲面を形成することができる。また、
上記の凸曲面は、加工面4の形状が転写されて形成され
るので、形状の寸法精度に優れたクラウンを得ることが
できる。
In the above-described crown forming method for the floating magnetic head, since the radius of curvature of the processing surface 4 of the lap surface plate 2 and the convex curved surface 6 of the jig 3 are the same, the bar 21 is
, Since both ends of the bar 21 are constantly pressed against the processing surface 4, the lapping process can be performed while the bar 21 is always deformed in an arc shape. In the above-described crown forming method for the floating magnetic head, when the bar 21 is pressed against the processing surface 4, the bar 21 is elastically deformed along the convex curved surface 6 of the jig 3, and the upper surface of the bar 21 is formed. (Work surface) 24
Can be made the same as the radius of curvature of the processing surface 4 so that the upper surface 24 of the bar 21 can be uniformly lapped with respect to the longitudinal direction of the bar 21. A convex curved surface having the same radius of curvature as the processing surface 4 can be formed in the short side direction. Also,
Since the above-mentioned convex curved surface is formed by transferring the shape of the processing surface 4, a crown having excellent dimensional accuracy of the shape can be obtained.

【0034】上述の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法においては、ラップ定盤2を回転し、かつ治具3をラ
ップ定盤2の回転方向と直交する方向に揺動してバー2
1と加工面4とが相対移動するので、効率よくラップ処
理を行うことができる。また、バー21を、ラップ定盤
2の回転方向と直交する方向に揺動するので、バー21
の上面(被加工面)24にラップ定盤2の回転方向に沿
った傷が残ることがない。また、治具3をラップ定盤2
の回転方向と直交する方向に揺動することにより、バー
21が加工面4の全面に均等に接触してラップ処理され
るので、加工面4の一部分が偏って磨耗されることがな
く、加工面4の全面が均等に磨耗されて加工面4の変形
を防ぐことができる。更に、上述の浮上式磁気ヘッドの
クラウン形成方法においては、バー21とダミーバー2
2を、それぞれの長手方向に対して相互に平行となるよ
うに治具3に取り付けて、バー21とダミーバー22が
常に加工面4に押し付けられるので、バー21は、バー
21の短手方向に対して安定して加工面4と接触してラ
ップ処理されることが可能となり、形状の寸法精度に優
れたクラウンを形成することができる。
In the above-described method of forming a crown of a floating magnetic head, the bar 2 is rotated by rotating the lap plate 2 and swinging the jig 3 in a direction perpendicular to the rotation direction of the lap plate 2.
Since the workpiece 1 and the processing surface 4 move relative to each other, the lapping process can be performed efficiently. Further, since the bar 21 swings in a direction orthogonal to the rotation direction of the lap surface plate 2, the bar 21
No scratches along the rotation direction of the lapping plate 2 remain on the upper surface (working surface) 24 of the lapping plate 2. Also, the jig 3 is placed on the lapping plate 2
By oscillating in the direction orthogonal to the rotation direction, the bar 21 is uniformly contacted with the entire surface of the processing surface 4 and the lapping process is performed. The entire surface 4 is evenly worn to prevent deformation of the processed surface 4. Further, in the above-described method for forming a crown of a floating magnetic head, the bar 21 and the dummy bar 2
2 are attached to the jig 3 so that they are parallel to each other in the longitudinal direction, and the bar 21 and the dummy bar 22 are constantly pressed against the processing surface 4. On the other hand, the lapping process can be stably performed in contact with the processing surface 4, and a crown having excellent dimensional accuracy of the shape can be formed.

【0035】上述のクラウン形成装置1は、複数の磁気
ヘッド素子が一列に連なってなるバー21が取り付けら
れた治具3と、凹曲面状である加工面4を有するラップ
定盤2と、駆動手段10とを具備してなるので、複数の
浮上式磁気ヘッドの浮上面を同時にラップ処理すること
ができる。また、治具3は、凸曲面6を有しているの
で、バー21を長手方向に弧状に変形させたまま保持す
ることが可能であり、バー21の上面24に、バー21
の短手方向に沿って凸であるクラウンを形成させること
ができる。更に、上述のクラウン形成装置1は、ラップ
定盤2の加工面4の曲率半径と、治具3の凸曲面6の曲
率半径が同一であり、バー21が加工面4に押し当てら
れたときに、バー21の両端が加工面4に常に押される
ので、バー21を常に弧状に変形させたままでバー21
にラップ処理を施すことができると共に、バー21の上
面24の短手方向に対して加工面4の形状が転写されて
凸曲面が形成されるので、形状の寸法精度に優れたクラ
ウンを形成させることができる。
The above-described crown forming apparatus 1 includes a jig 3 on which a bar 21 in which a plurality of magnetic head elements are arranged in a row is mounted, a lap surface plate 2 having a processing surface 4 having a concave curved surface, and a drive. With the provision of the means 10, the floating surfaces of the plurality of floating magnetic heads can be simultaneously lapped. Further, since the jig 3 has the convex curved surface 6, it is possible to hold the bar 21 while deforming the bar 21 in an arc shape in the longitudinal direction.
A convex crown can be formed along the short side direction of. Further, in the crown forming apparatus 1 described above, when the radius of curvature of the processing surface 4 of the lap surface plate 2 is the same as the radius of curvature of the convex curved surface 6 of the jig 3, and the bar 21 is pressed against the processing surface 4. In addition, since both ends of the bar 21 are always pressed against the processing surface 4, the bar 21 is always deformed in an arc shape.
And a convex curved surface is formed by transferring the shape of the processed surface 4 in the short direction of the upper surface 24 of the bar 21, thereby forming a crown having excellent shape dimensional accuracy. be able to.

【0036】上述のクラウン形成装置1は、ラップ定盤
2を回転させ、かつ治具3をラップ定盤2の回転方向と
直交する方向に揺動させる駆動手段10が具備されてい
るので、効率よくラップ処理を行うことができる。ま
た、バー21は、バー21の長手方向に揺動されるの
で、バー21の長手方向に対して均一にラップ処理する
ことができる。また、バー21が、ラップ定盤2の回転
方向と直交する方向に揺動されるので、バー21の上面
(被加工面)24にラップ定盤2の回転方向に沿った傷
が残ることがない。更に、治具3がラップ定盤2の回転
方向と直交する方向に揺動されることにより、バー21
が加工面4の全面に均等に接触してラップ処理されるの
で、加工面4の一部分が偏って磨耗されることがなく、
加工面4の全面が均等に磨耗されて加工面4の変形を防
ぐことができる。更にまた、上述のクラウン形成装置1
は、バー21とダミーバー22が、それぞれの長手方向
に対して相互に平行となるように治具3に取り付けられ
ているので、バー21は、バー21の短手方向に対して
揺れることなく安定して加工面4と接触することによ
り、形状の寸法精度に優れたクラウンを形成させること
ができる。
The above-described crown forming apparatus 1 is provided with the driving means 10 for rotating the lapping plate 2 and swinging the jig 3 in a direction orthogonal to the rotation direction of the lapping plate 2, so that the efficiency is improved. Wrap processing can be performed well. Further, since the bar 21 is swung in the longitudinal direction of the bar 21, the lapping process can be performed uniformly in the longitudinal direction of the bar 21. Further, since the bar 21 is swung in a direction orthogonal to the rotation direction of the lap surface plate 2, scratches along the rotation direction of the lap surface plate 2 may remain on the upper surface (work surface) 24 of the bar 21. Absent. Further, the jig 3 is swung in a direction orthogonal to the rotation direction of the lapping platen 2 so that the bar 21 is rotated.
Is uniformly contacted with the entire surface of the processing surface 4 and lapping is performed, so that a part of the processing surface 4 is not unevenly worn.
The entire surface of the processing surface 4 is evenly worn, so that the deformation of the processing surface 4 can be prevented. Furthermore, the above-described crown forming device 1
Since the bar 21 and the dummy bar 22 are attached to the jig 3 so as to be parallel to each other in the longitudinal direction, the bar 21 is stable without swinging in the short direction of the bar 21. As a result, the crown having excellent dimensional accuracy can be formed.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方法は、複数の磁気ヘ
ッド素子が一列に連なってなるバーを治具の凸曲面に取
り付け、凹曲面状の加工面に当接してラップ処理するの
で、複数の浮上式磁気ヘッドの浮上面を同時にラップ処
理することが可能となり、浮上式磁気ヘッドの生産性を
向上することができる。
As described above in detail, according to the method for forming a crown of a floating magnetic head of the present invention, a bar in which a plurality of magnetic head elements are arranged in a row is attached to a convex curved surface of a jig, and a concave curved surface is formed. Since the lapping process is performed in contact with the processing surface, the lapping process of the floating surfaces of the plurality of floating magnetic heads can be performed at the same time, and the productivity of the floating magnetic head can be improved.

【0038】本発明の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成
方法においては、ラップ定盤の前記加工面と治具の凸曲
面の曲率半径が同一であるので、バーを加工面に押し当
てたときに、バーの両端が加工面に常に押されるので、
バーを常に弧状に変形したままでラップ処理することが
できる。また、本発明の浮上式磁気ヘッドのクラウン形
成方法においては、バーを加工面に押し当てた際に、バ
ーが治具の凸曲面に沿って弾性変形されて、バーの被加
工面の長さ方向に対する曲率半径が加工面の曲率半径と
同一になるので、バーの被加工面を、バーの長手方向に
対して均一にラップ処理をすることができると共に、バ
ーの短手方向に対して加工面と同等な曲率半径の凸曲面
を形成することができる。また、上記の凸曲面は、加工
面の形状が転写されて形成されるので、形状の寸法精度
に優れたクラウンを得ることができる。
In the method for forming a crown of a floating magnetic head according to the present invention, since the radius of curvature of the processing surface of the lap surface plate and the convex curved surface of the jig are the same, when the bar is pressed against the processing surface, Since both ends of the bar are always pressed against the processing surface,
Wrapping can be performed while the bar is always deformed in an arc shape. In the method for forming a crown of a floating magnetic head according to the present invention, when the bar is pressed against the processing surface, the bar is elastically deformed along the convex curved surface of the jig, and the length of the processing surface of the bar is reduced. Since the radius of curvature in the direction is the same as the radius of curvature of the processing surface, the processing surface of the bar can be uniformly lapped in the longitudinal direction of the bar and processed in the short direction of the bar. A convex curved surface having the same radius of curvature as the surface can be formed. Further, since the above-mentioned convex curved surface is formed by transferring the shape of the processed surface, a crown having excellent dimensional accuracy of the shape can be obtained.

【0039】本発明の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成
方法においては、ラップ定盤を回転し、かつ治具をラッ
プ定盤の回転方向と直交する方向に揺動してバーと加工
面とが相対移動するので、効率よくラップ処理を行うこ
とができる。また、バーを、ラップ定盤の回転方向と直
交する方向に揺動するので、バーの被加工面にラップ定
盤の回転方向に沿った傷が残ることがない。また、治具
をラップ定盤の回転方向と直交する方向に揺動すること
により、バーが加工面の全面に均等に接触してラップ処
理されるので、加工面の一部分が偏って磨耗されること
がなく、加工面の全面が均等に磨耗されて加工面の変形
を防ぐことができる。また、本発明の浮上式磁気ヘッド
のクラウン形成方法においては、バーとダミーバーを、
それぞれの長手方向に対して相互に平行となるように治
具に取り付けて、バーとダミーバーが常に加工面に押し
付けられるので、バーは、バーの短手方向に対して安定
して加工面と接触してラップ処理されることが可能とな
り、形状の寸法精度に優れたクラウンを形成することが
できる。
In the method for forming a crown of a floating magnetic head according to the present invention, the lap plate is rotated, and the jig is swung in a direction perpendicular to the rotation direction of the lap plate so that the bar and the processing surface are relatively opposed to each other. Since it moves, the lapping process can be performed efficiently. Further, since the bar is swung in a direction orthogonal to the rotation direction of the lap surface plate, no scratch is left on the surface to be processed of the bar along the rotation direction of the lap surface plate. In addition, by swinging the jig in a direction orthogonal to the rotation direction of the lap surface plate, the bar is uniformly contacted with the entire surface of the processing surface and the lapping process is performed, so that a part of the processing surface is unevenly worn. Therefore, the entire surface of the processing surface is evenly worn, so that the deformation of the processing surface can be prevented. In the method for forming a crown of a floating magnetic head according to the present invention, the bar and the dummy bar are
The bar and the dummy bar are always pressed against the processing surface by attaching them to the jig so that they are parallel to each other in the longitudinal direction, so that the bar contacts the processing surface stably in the short direction of the bar Then, the lapping process can be performed, and a crown having excellent shape dimensional accuracy can be formed.

【0040】本発明のクラウン形成装置は、複数の磁気
ヘッド素子が一列に連なってなるバーが取り付けられた
治具と、凹曲面状である加工面を有するラップ定盤と、
駆動手段とを具備してなるので、複数の浮上式磁気ヘッ
ドの浮上面を同時にラップ処理することができる。ま
た、本発明のクラウン形成装置の治具は、凸曲面を有し
ているので、バーを長手方向に弧状に変形させたまま保
持することが可能であり、バーの被加工面に、バーの短
手方向に沿って凸であるクラウンを形成させることがで
きる。更に、本発明のクラウン形成装置は、ラップ定盤
の加工面の曲率半径と治具の凸曲面の曲率半径が同一で
あり、バーが加工面に押し当てられたときに、バーの両
端が加工面に常に押されるので、バーを常に弧状に変形
させたままでバーにラップ処理を施すことができると共
に、バーの被加工面の短手方向に対して加工面の形状が
転写されて凸曲面が形成されるので、形状の寸法精度に
優れたクラウンを形成させることができる。
A crown forming apparatus according to the present invention includes a jig to which a bar in which a plurality of magnetic head elements are arranged in a row is attached, a lap surface plate having a concave curved processing surface,
Since the driving means is provided, the floating surfaces of the plurality of floating magnetic heads can be simultaneously lapped. Further, since the jig of the crown forming device of the present invention has a convex curved surface, it is possible to hold the bar while deforming the bar in an arc shape in the longitudinal direction, and to apply the bar to the surface to be processed of the bar. A crown that is convex along the short direction can be formed. Further, in the crown forming apparatus of the present invention, when the radius of curvature of the processing surface of the lap platen and the radius of curvature of the convex curved surface of the jig are the same, when the bar is pressed against the processing surface, both ends of the bar are processed. Since the bar is always pressed, the bar can be wrapped while the bar is always deformed in an arc shape, and the shape of the processed surface is transferred to the short side direction of the processed surface of the bar, and the convex curved surface is formed. Since it is formed, a crown having excellent shape dimensional accuracy can be formed.

【0041】本発明のクラウン形成装置において、前記
駆動手段は、ラップ定盤を回転させ、かつ治具をラップ
定盤の回転方向と直交する方向に揺動させるので、効率
よくラップ処理を行うことができる。また、前記バー
は、前記バーの長手方向に揺動されるので、前記バーの
長手方向に対して均一にラップ処理することができる。
また、バーが、ラップ定盤の回転方向と直交する方向に
揺動されるので、バーの被加工面にラップ定盤の回転方
向に沿った傷が残ることがない。更に、治具がラップ定
盤の回転方向と直交する方向に揺動されることにより、
バーが加工面の全面に均等に接触してラップ処理される
ので、加工面の一部分が偏って磨耗されることがなく、
加工面の全面が均等に磨耗されて加工面4の変形を防ぐ
ことができる。更にまた、本発明のクラウン形成装置
は、バーとダミーバーが、それぞれの長手方向に対して
相互に平行となるように治具に取り付けられているの
で、バーは、バーの短手方向に対して揺れることなく安
定して加工面と接触することにより、形状の寸法精度に
優れたクラウンを形成させることができる。
In the crown forming apparatus of the present invention, the driving means rotates the lapping plate and swings the jig in a direction perpendicular to the rotation direction of the lapping plate, so that the lapping process can be performed efficiently. Can be. Further, since the bar is swung in the longitudinal direction of the bar, the bar can be uniformly lapped in the longitudinal direction of the bar.
In addition, since the bar is swung in a direction orthogonal to the rotation direction of the lap surface plate, no scratch is left on the work surface of the bar along the rotation direction of the lap surface plate. Furthermore, by the jig being swung in a direction orthogonal to the rotation direction of the lap plate,
Since the bar is evenly contacted with the entire surface of the processing surface and wrapped, a part of the processing surface is not unevenly worn.
The entire surface of the processing surface is evenly worn, so that the deformation of the processing surface 4 can be prevented. Furthermore, in the crown forming device of the present invention, the bar and the dummy bar are attached to the jig so as to be parallel to each other in the longitudinal direction. By stably contacting the processed surface without shaking, a crown having excellent dimensional accuracy of the shape can be formed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施形態であるクラウン形成装置を
示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a crown forming device according to an embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の実施形態であるラップ定盤を示す図
であって、Aは斜視図であり、Bは側面断面図である。
FIG. 2 is a diagram showing a lap surface plate according to an embodiment of the present invention, wherein A is a perspective view and B is a side sectional view.

【図3】 本発明の実施形態であるクラウン形成装置の
治具を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a jig of the crown forming apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図4】 本発明の実施形態であるクラウン形成装置の
治具を示す図であって、Aは斜視図であり、Bは正面断
面図であり、Cは側面断面図である。
FIG. 4 is a view showing a jig of the crown forming apparatus according to the embodiment of the present invention, wherein A is a perspective view, B is a front sectional view, and C is a side sectional view.

【図5】 治具にバーを取り付ける工程を説明する説明
図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram illustrating a process of attaching a bar to a jig.

【図6】 本発明の実施形態であるクラウン形成装置の
要部を示す正面断面図である。
FIG. 6 is a front sectional view showing a main part of the crown forming apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図7】 本発明の実施形態であるクラウン形成装置の
要部を示す側面断面図である。
FIG. 7 is a side sectional view showing a main part of the crown forming apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図8】 バーがラップ処理される過程を示す説明図で
ある。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a process in which a bar is wrapped.

【図9】 バーから浮上式磁気ヘッドを得るための工程
を説明する説明図である。
FIG. 9 is an explanatory view illustrating a process for obtaining a floating magnetic head from a bar.

【図10】 従来の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法の第1の例を説明する工程図である。
FIG. 10 is a process diagram illustrating a first example of a conventional method for forming a crown of a floating magnetic head.

【図11】 従来の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法の第2の例を説明する工程図である。
FIG. 11 is a process diagram illustrating a second example of a conventional method for forming a crown of a floating magnetic head.

【図12】 従来の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法の第3の例を説明する工程図である。
FIG. 12 is a process diagram illustrating a third example of a conventional method for forming a crown of a floating magnetic head.

【図13】 本発明の実施形態であるクラウン形成装置
の駆動機構の要部を示す模式図である。
FIG. 13 is a schematic view showing a main part of a drive mechanism of the crown forming device according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 クラウン形成装置 2 ラップ定盤 3 治具 4、加工面 5 中心軸 6 凸曲面 7 モータ 10 駆動手段 17 回転機構 18 揺動機構 21 バー 22 ダミーバー 23 側壁面 24 上面(被加工面) 26 浮上式磁気ヘッド 27 浮上面 28 クラウン 29 磁気ヘッド素子 REFERENCE SIGNS LIST 1 crown forming device 2 lap surface plate 3 jig 4, processing surface 5 center axis 6 convex curved surface 7 motor 10 drive means 17 rotation mechanism 18 swing mechanism 21 bar 22 dummy bar 23 side wall surface 24 top surface (work surface) 26 floating type Magnetic head 27 Air bearing surface 28 Crown 29 Magnetic head element

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中林 功 東京都大田区雪谷大塚町1番7号 アルプ ス電気株式会社内 Fターム(参考) 3C049 AA07 AB04 AB08 AB09 CA01 CB01 3C058 AA07 AA09 AA11 AA12 AA16 AA19 AB08 AB09 AC04 BA02 BA09 BC02 CA02 CB01 CB03 DA16  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Isao Nakabayashi 1-7 Yukitani Otsuka-cho, Ota-ku, Tokyo Alps Electric Co., Ltd. F-term (reference) 3C049 AA07 AB04 AB08 AB09 CA01 CB01 3C058 AA07 AA09 AA11 AA12 AA16 AA19 AB08 AB09 AC04 BA02 BA09 BC02 CA02 CB01 CB03 DA16

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 側壁面に1以上の磁気ヘッド素子が一列
に連なって形成されてなる略直方体状のバーの前記側壁
面に隣接する被加工面をラップ処理し、該バーを短手方
向に沿って切断することにより、前記被加工面が浮上面
となり、かつ少なくとも1つの前記磁気ヘッド素子を具
備してなる浮上式磁気ヘッドを製造する際に、 凸曲面を有する治具と凹曲面状の加工面を有するラップ
定盤を用いて、前記バーの前記被加工面をラップ定盤側
にして、前記バーを前記治具の前記凸球面に載置し、前
記バーを長手方向に沿って弧状に変形して前記凸曲面に
貼り付け、前記バーの被加工面を前記ラップ定盤の前記
加工面に当接し、前記被加工面と前記加工面とを相対移
動させて前記被加工面をラップ処理することにより、前
記浮上式磁気ヘッドの前記浮上面にクラウンを形成させ
ることを特徴とする浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方
法。
A lapping process is performed on a surface of a substantially rectangular parallelepiped bar having at least one magnetic head element formed in a row on a side wall surface, the surface being processed adjacent to the side wall surface, and the bar is moved in a transverse direction. By cutting along the surface, the surface to be processed becomes an air bearing surface, and when manufacturing a floating magnetic head including at least one magnetic head element, a jig having a convex curved surface and a concave Using a lap surface having a processing surface, the bar is placed on the convex spherical surface of the jig with the work surface of the bar facing the lap surface, and the bar is formed in an arc shape along the longitudinal direction. And affixes the processed surface of the bar to the processed surface of the lap platen, and relatively moves the processed surface and the processed surface to wrap the processed surface. By processing, the floating magnetic head Crown forming method of a floating magnetic head, characterized in that to form a crown on the top surface.
【請求項2】 前記ラップ定盤の前記加工面の曲率半径
と前記治具の前記凸曲面の曲率半径を同一とすることを
特徴とする請求項1記載の浮上式磁気ヘッドのクラウン
形成方法。
2. The method for forming a crown of a floating magnetic head according to claim 1, wherein the radius of curvature of the processing surface of the lap surface plate is equal to the radius of curvature of the convex curved surface of the jig.
【請求項3】 前記ラップ定盤を回転し、かつ前記バー
を前記ラップ定盤の回転方向と直交する方向に揺動し
て、前記バーの被加工面と前記ラップ定盤の前記加工面
とを相対移動させることを特徴とする請求項1または請
求項2記載の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方法。
3. The lap plate is rotated, and the bar is swung in a direction orthogonal to the rotation direction of the lap plate, so that the processed surface of the bar and the processed surface of the lap plate are rotated. 3. The method for forming a crown of a flying magnetic head according to claim 1, wherein the relative movement of the crown is performed.
【請求項4】 前記バーと同一形状かつ同一材料からな
るダミーバーを、前記バーの長手方向に対して平行に、
かつ前記バーと離間して前記治具の前記凸曲面に貼り付
けてラップ処理することを特徴とする請求項1〜3のい
ずれかに記載の浮上式磁気ヘッドのクラウン形成方法。
4. A dummy bar having the same shape and the same material as that of the bar is provided in parallel with the longitudinal direction of the bar.
The method for forming a crown of a floating magnetic head according to any one of claims 1 to 3, wherein the lap processing is performed by attaching the jig to the convex curved surface of the jig separately from the bar.
【請求項5】 凹曲面状の加工面を有するラップ定盤
と、凸曲面を有する治具と、前記治具の前記凸曲面を前
記ラップ定盤の前記加工面に対向させて、前記治具と前
記加工面とを相対移動させる駆動手段とを具備してな
り、 1以上の浮上式磁気ヘッド素子を側壁面に一列に連なっ
て形成してなる略直方体状のバーが、被加工面をラップ
定盤側にして長手方向に沿って弧状に変形されて前記治
具の前記凸曲面に貼り付けられて、前記バーの前記被加
工面が前記ラップ定盤の前記加工面に当接されるように
構成されたことを特徴とするクラウン形成装置。
5. A lap surface plate having a concave curved surface, a jig having a convex surface, and the jig with the convex surface of the jig facing the processing surface of the lap surface. And a driving means for relatively moving the processing surface, and a substantially rectangular parallelepiped bar formed by forming at least one floating magnetic head element in a row on the side wall surface wraps the processing surface. It is deformed into an arc shape along the longitudinal direction on the side of the platen and attached to the convex curved surface of the jig so that the processed surface of the bar comes into contact with the processed surface of the lap surface plate. A crown forming apparatus characterized in that:
【請求項6】 前記ラップ定盤の前記加工面の曲率半径
と前記治具の前記凸曲面の曲率半径とが同一とされたこ
とを特徴とする請求項5記載のクラウン形成装置。
6. The crown forming apparatus according to claim 5, wherein a radius of curvature of the processing surface of the lap platen is equal to a radius of curvature of the convex curved surface of the jig.
【請求項7】 前記駆動手段は、前記ラップ定盤を回転
させる回転機構と、 前記治具を保持して前記バーの前記被加工面を前記ラッ
プ定盤の前記加工面に押し当てて、前記治具を前記ラッ
プ定盤の回転方向と直交する方向に揺動させる揺動機構
とからなり、 前記バーの長手方向が前記治具の揺動方向と一致するよ
うに、前記バーが前記治具に取り付けられたことを特徴
とする請求項5または請求項6記載のクラウン形成装
置。
7. A driving mechanism, comprising: a rotating mechanism for rotating the lap plate; holding the jig and pressing the processed surface of the bar against the processed surface of the lap plate; A swinging mechanism for swinging the jig in a direction orthogonal to the rotation direction of the lap platen, wherein the bar is provided with the jig such that a longitudinal direction of the bar coincides with a swinging direction of the jig. The crown forming device according to claim 5, wherein the crown forming device is attached to a crown.
【請求項8】 前記バーと同一形状かつ同一材料からな
るダミーバーが、前記バーの長手方向に対して平行に、
かつ前記バーと離間して前記治具の前記凸曲面に貼り付
けられたことを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記
載のクラウン形成装置。
8. A dummy bar having the same shape and the same material as the bar is provided in parallel with a longitudinal direction of the bar.
The crown forming device according to any one of claims 5 to 7, further comprising affixed to the convex curved surface of the jig at a distance from the bar.
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US09/439,539 US6123608A (en) 1998-11-17 1999-11-12 Crown forming apparatus for forming crown floating type magnetic head

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7326102B2 (en) 2003-10-29 2008-02-05 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Apparatus for lapping thin film magnetic heads
JP2012121108A (en) * 2010-12-09 2012-06-28 Ud Trucks Corp Conveying table of air blast device

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