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JP2000117973A - Piezoelectric vibrator unit and ink jet recording head - Google Patents

Piezoelectric vibrator unit and ink jet recording head

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Publication number
JP2000117973A
JP2000117973A JP10294164A JP29416498A JP2000117973A JP 2000117973 A JP2000117973 A JP 2000117973A JP 10294164 A JP10294164 A JP 10294164A JP 29416498 A JP29416498 A JP 29416498A JP 2000117973 A JP2000117973 A JP 2000117973A
Authority
JP
Japan
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piezoelectric vibrator
width
conductive pattern
external electrode
piezoelectric
Prior art date
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Application number
JP10294164A
Other languages
Japanese (ja)
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Nobuaki Okazawa
宣昭 岡沢
Hiroshi Arai
弘 荒井
Toshinao Shinpo
俊尚 新保
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電振動子の幅を狭くしても、圧電振動子側
の電極とフレキシブルテープの導電パターンとの導通が
確実にとれ、かつ余剰分の半田による短絡が生じないよ
うにする。 【解決手段】 導電パターン26aのパターン幅PW
を、圧電振動子11(セグメント外部電極24の幅W)
以下にし、この導電パターンの接続部分26a´に長さ
がLで振れ幅がDである比較的長い直線的な傾斜部分3
1を含ませる。この傾斜部分の振れ幅をセグメント外部
電極の幅Wよりも広くすることにより、導通有効幅を広
げる。また、この傾斜部分により、セグメント外部電極
上に、導電パターンで覆われていない非重合領域33を
形成し、この非重合領域に、熔けた半田34の余剰部分
を逃がす。
(57) [Problem] Even if the width of a piezoelectric vibrator is reduced, conduction between an electrode on the piezoelectric vibrator side and a conductive pattern of a flexible tape is ensured, and a short circuit due to excess solder does not occur. To do. SOLUTION: A pattern width PW of a conductive pattern 26a is provided.
To the piezoelectric vibrator 11 (the width W of the segment external electrode 24).
A relatively long linear inclined portion 3 having a length L and a swing width D is provided at a connection portion 26a 'of the conductive pattern.
1 is included. By setting the swing width of the inclined portion larger than the width W of the segment external electrode, the effective conduction width is increased. Further, the non-overlapping region 33 not covered with the conductive pattern is formed on the segment external electrode by the inclined portion, and the surplus portion of the molten solder 34 escapes to the non-overlapping region.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動子の変形
によりノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェ
ット式記録ヘッド(以下、記録ヘッドという)、及び、
この記録ヘッドに使用される圧電振動子ユニットに関
し、特に、圧電振動子にフレキシブルテープを接続する
技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head (hereinafter, referred to as a recording head) for discharging ink droplets from nozzle openings by deformation of a piezoelectric vibrator.
The present invention relates to a piezoelectric vibrator unit used for the recording head, and more particularly to a technique for connecting a flexible tape to the piezoelectric vibrator.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェット式記録ヘッドに用いられ
ている圧電振動子は、例えば、一方の極となるセグメン
ト内部電極と他方の極となる共通内部電極とを圧電体を
挟んで交互に積層して構成した振動子板を櫛歯状に切り
分けることにより形成する。この櫛歯状振動子群の一方
の側面には、セグメント内部電極に導通させたセグメン
ト外部電極を圧電振動子毎に形成し、このセグメント外
部電極が含まれるようにして駆動信号供給用のフレキシ
ブルテープを接合する接合部を設けてある。
2. Description of the Related Art A piezoelectric vibrator used in an ink jet recording head is, for example, formed by alternately laminating a segment internal electrode as one pole and a common internal electrode as the other pole with a piezoelectric body interposed therebetween. It is formed by cutting the formed vibrator plate into a comb shape. On one side of this comb-shaped vibrator group, a segment external electrode electrically connected to the segment internal electrode is formed for each piezoelectric vibrator, and the segment external electrode is included so that a flexible tape for supplying a drive signal is provided. Are provided.

【0003】そして、この接合部にて、フレキシブルテ
ープの導電パターンの1本1本を、各圧電振動子の1本
1本と重ね合わさるように整合(アライメント)させ、
整合状態で半田を熔かしてフレキシブルテープの導体パ
ターンと圧電振動子に設けたセグメント外部電極とを電
気的に接続する。
At this joint, each of the conductive patterns of the flexible tape is aligned so as to overlap with each of the piezoelectric vibrators.
The solder is melted in the matching state to electrically connect the conductor pattern of the flexible tape to the segment external electrodes provided on the piezoelectric vibrator.

【0004】このセグメント外部電極と各導電パターン
との接続には、通常、クリーム半田による半田付けの手
法が用いられている。これは、圧電振動子の幅が例えば
80μm、導電パターンのパターン幅が例えば50μm
と非常に狭く、尚且つ、このような圧電振動子を高密度
で列設しているからである。
The connection between the segment external electrode and each conductive pattern is usually performed by a soldering method using cream solder. This is because the width of the piezoelectric vibrator is, for example, 80 μm, and the width of the conductive pattern is, for example, 50 μm.
This is because such piezoelectric vibrators are arranged very densely.

【0005】ところで、この種の記録ヘッドにおいては
消費電力を少なくすることが求められており、この流れ
から圧電振動子の幅を狭くする試みがなされている。
[0005] By the way, it is required to reduce the power consumption of this type of recording head, and attempts have been made to reduce the width of the piezoelectric vibrator from this flow.

【0006】例えば、圧電振動子の幅(セグメント電極
の幅に相当)を80μmから50μmに狭くすることが
できると、圧電振動子の変位量はそのままで圧電振動子
の容量を40%近く低減することができる。
For example, if the width of the piezoelectric vibrator (corresponding to the width of the segment electrode) can be reduced from 80 μm to 50 μm, the displacement of the piezoelectric vibrator is reduced and the capacity of the piezoelectric vibrator is reduced by nearly 40%. be able to.

【0007】しかし、次のような問題がある。即ち、上
記の整合作業は、通常、セグメント外部電極における一
側端の電極と他側端の電極とを、それぞれフレキシブル
テープの導電パターンにおける一側端のパターンと他側
端のパターンとに合わせることで行っている。しかも、
この作業は、フレキシブルテープの材料が透明なポリイ
ミド樹脂であることを利用し、上から透して目視により
位置合わせするという手法によっている。
However, there are the following problems. That is, the above-mentioned alignment work usually involves matching the electrodes on one side and the electrodes on the other side of the segment external electrodes with the patterns on the one side and the other side in the conductive pattern of the flexible tape, respectively. It is done in. Moreover,
This work utilizes a technique in which the material of the flexible tape is a transparent polyimide resin, and is visually aligned through the top.

【0008】このため、上記のように圧電振動子の幅を
狭くすると、フレキシブルテープの部品公差、圧電振動
子のカット位置公差等に起因して、フレキシブルテープ
と圧電振動子とを整合させた際に、多数並んでいるセグ
メント電極(圧電振動子)の幾つかに位置的誤差が生じ
る虞があり、この位置的誤差が大きくなってしまうと、
セグメント外部電極上に乗らずに非導通状態となる導電
パターンが生じてしまう場合がある。
For this reason, when the width of the piezoelectric vibrator is reduced as described above, when the flexible tape and the piezoelectric vibrator are aligned with each other due to the component tolerance of the flexible tape, the cut position tolerance of the piezoelectric vibrator, and the like. In addition, there is a possibility that a positional error may occur in some of a large number of segment electrodes (piezoelectric vibrators), and if the positional error increases,
In some cases, a conductive pattern may be formed in a non-conducting state without riding on the segment external electrode.

【0009】この点に鑑み、位置ずれを補正するため
に、図13に示すように、圧電振動子1の幅(セグメン
ト外部電極2の幅に相当)X1に対して、フレキシブル
テープの導電パターン3のパターン幅X2を十分広くす
ることを試みた。
In view of this, in order to correct the displacement, as shown in FIG. 13, the width of the piezoelectric vibrator 1 (corresponding to the width of the segment external electrode 2) X1 is changed to the conductive pattern 3 of the flexible tape. Was attempted to make the pattern width X2 sufficiently wide.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかし、このようにフ
レキシブルテープの導電パターン3のパターン幅X2
を、圧電振動子1の幅X1よりも単に広くした場合に
は、整合についての位置ずれが吸収されて確実に導通さ
せられる反面、今度は、余剰分の半田4が圧電振動子1
のセグメント外部電極2の側縁から圧電振動子1の側面
(隣り合う振動子に対向する側面)に流れ出し、圧電振
動子1のセグメント内部電極5と共通内部電極6との間
を短絡させてしまうことが判った。
However, as described above, the pattern width X2 of the conductive pattern 3 of the flexible tape is thus reduced.
Is simply made larger than the width X1 of the piezoelectric vibrator 1, the misalignment for the alignment is absorbed and the electric conduction is ensured, but on the other hand, the excess solder 4
Flows out from the side edge of the segment external electrode 2 to the side surface of the piezoelectric vibrator 1 (the side surface facing the adjacent vibrator), and short-circuits between the segment internal electrode 5 and the common internal electrode 6 of the piezoelectric vibrator 1. It turns out.

【0011】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、圧電振動子の幅を例えば50μmと狭くした場合で
も、圧電振動子側の電極とフレキシブルテープの導電パ
ターンとの導通が確実にとれ、かつ余剰分の半田が圧電
振動子の側面に流れ出さず、圧電振動子の短絡が生じな
い圧電振動子ユニットを提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to ensure that the electrodes on the piezoelectric vibrator side and the conductive pattern of the flexible tape are electrically connected even when the width of the piezoelectric vibrator is reduced to, for example, 50 μm. Another object of the present invention is to provide a piezoelectric vibrator unit in which excess solder does not flow out to the side surface of the piezoelectric vibrator and short-circuit of the piezoelectric vibrator does not occur.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためのものであり、請求項1に記載のものは、一
方の極となるセグメント内部電極と他方の極となる共通
内部電極とにより圧電体を挟んで構成した圧電振動子を
櫛歯状に形成すると共に圧電振動子の一方の側面にフレ
キシブルテープとの接続部を設け、該接続部にはセグメ
ント内部電極に導通させたセグメント外部電極を配置し
て、半田付けによりフレキシブルテープの導電パターン
とセグメント外部電極とを接合するように構成した圧電
振動子ユニットにおいて、前記フレキシブルテープの接
続部分における導電パターンの導通有効幅を圧電振動子
の幅よりも広く設けると共に、圧電振動子の接続部には
導電パターンと重合しない非重合領域を設け、導電パタ
ーンの接合時に熔けた半田の余剰分を非重合領域に逃が
すように構成したことを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to achieve the above object, and the present invention is directed to a segment internal electrode serving as one pole and a common internal electrode serving as the other pole. A piezoelectric vibrator formed by interposing a piezoelectric body between the piezoelectric vibrator and the piezoelectric vibrator is formed in a comb-like shape, and a connection portion with a flexible tape is provided on one side of the piezoelectric vibrator, and the connection portion is connected to a segment internal electrode. In a piezoelectric vibrator unit configured to dispose an external electrode and join a conductive pattern of a flexible tape and a segment external electrode by soldering, the conductive effective width of the conductive pattern at a connection portion of the flexible tape is determined by a piezoelectric vibrator. And a non-polymerized area that does not overlap with the conductive pattern is provided at the connection part of the piezoelectric vibrator. Characterized in that the solder of the surplus was formed so as to release the unpolymerized areas.

【0013】ここで、「圧電振動子を櫛歯状に形成す
る」とは、一枚の圧電振動子板を基端側に切り残し部を
設けて櫛歯状に切り分けることと、基端部分を基台(例
えば、固定板)に接合した一枚の圧電振動子板を隣り合
う圧電振動子同士の縁が切れるように切り分ける等し
て、基台を含めて櫛歯状に形成することの両方を含む。
Here, "to form the piezoelectric vibrator in a comb-teeth shape" means that one piezoelectric vibrator plate is cut off in a comb-teeth shape by providing an uncut portion on the base end side. Of a single piezoelectric vibrator plate joined to a base (for example, a fixed plate) such that the edges of adjacent piezoelectric vibrators are cut off, etc., to form a comb-teeth shape including the base. Including both.

【0014】また、「導通有効幅」とは、接続部分に対
して導通し得る導電パターンの有効な幅を意味する。例
えば、接続部分において導電パターンを圧電振動子の幅
方向に蛇行させた場合には、蛇行した左右の端部の間隔
が導電パターンの導通有効幅に該当する。
The "conducting effective width" means an effective width of a conductive pattern which can be conducted to a connection portion. For example, when the conductive pattern is meandered in the width direction of the piezoelectric vibrator at the connection portion, the interval between the meandering left and right ends corresponds to the conductive effective width of the conductive pattern.

【0015】請求項2に記載のものは、前記導電パター
ンのパターン幅を圧電振動子のセグメント外部電極の幅
以下とし、その一部が圧電振動子からはみ出すように導
電パターンを幅方向に曲げることにより、導通有効幅を
圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電振動子の接続
部に非重合領域を形成するようにしたことを特徴とする
請求項1に記載の圧電振動子ユニットである。
According to a second aspect of the present invention, the pattern width of the conductive pattern is set to be equal to or less than the width of the segment external electrode of the piezoelectric vibrator, and the conductive pattern is bent in the width direction so that a part thereof protrudes from the piezoelectric vibrator. The piezoelectric vibrator unit according to claim 1, wherein the conductive effective width is made larger than the width of the piezoelectric vibrator, and a non-overlapping region is formed at a connection portion of the piezoelectric vibrator.

【0016】ここで、「導電パターンのパターン幅」と
は、導電パターンの条の幅を意味する。
Here, the "pattern width of the conductive pattern" means the width of the stripe of the conductive pattern.

【0017】請求項3に記載のものは、前記導電パター
ンのパターン幅を圧電振動子のセグメント外部電極の幅
以下とし、導電パターンの一側の縁が圧電振動子の一側
の縁に対して斜めに交差する傾斜部分を導電パターンに
含ませることにより、導通有効幅を圧電振動子の幅より
も広くすると共に圧電振動子の接続部に非重合領域を形
成するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の圧
電振動子ユニットである。
According to a third aspect of the present invention, the pattern width of the conductive pattern is set to be equal to or less than the width of the segment external electrode of the piezoelectric vibrator, and one edge of the conductive pattern is positioned with respect to one edge of the piezoelectric vibrator. Included in the conductive pattern is an inclined portion that crosses obliquely, so that the effective conduction width is wider than the width of the piezoelectric vibrator and a non-overlapping region is formed at the connection portion of the piezoelectric vibrator. A piezoelectric vibrator unit according to claim 1.

【0018】請求項4に記載のものは、前記圧電振動子
の幅よりも大きな振幅となるように導電パターンを蛇行
させることにより、導通有効幅を圧電振動子の幅よりも
広くすると共に圧電振動子の接続部に非重合領域を形成
するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の圧電
振動子ユニットである。
According to a fourth aspect of the present invention, the conductive effective width is made larger than the width of the piezoelectric vibrator by meandering the conductive pattern so as to have an amplitude larger than the width of the piezoelectric vibrator. The piezoelectric vibrator unit according to claim 1, wherein a non-overlapping region is formed at a connection portion of the element.

【0019】ここで、「蛇行」とは、左右方向に交互に
曲げることを意味する。従って、S字をつなぎ合わせて
うねらせたものの他にも、クランク状に屈曲させたもの
や、鋸歯状に屈曲させたものも含まれる。
Here, "meandering" means to bend alternately in the left-right direction. Therefore, in addition to the S-shaped joints and undulations, there are also those that are bent in a crank shape and those that are bent in a saw-tooth shape.

【0020】請求項5に記載のものは、前記圧電振動子
の幅よりも大きな振幅のうねりとなるように導電パター
ンを蛇行させたことを特徴とする請求項4に記載の圧電
振動子ユニットである。
According to a fifth aspect of the present invention, in the piezoelectric vibrator unit according to the fourth aspect, the conductive pattern is meandered so as to have a swell having an amplitude larger than the width of the piezoelectric vibrator. is there.

【0021】請求項6に記載のものは、前記圧電振動子
の幅よりも大きな振幅となるように導電パターンをクラ
ンク状に蛇行させたことを特徴とする請求項4に記載の
圧電振動子ユニットである。
The piezoelectric vibrator unit according to claim 4, wherein the conductive pattern is meandering in a crank shape so as to have an amplitude larger than the width of the piezoelectric vibrator. It is.

【0022】請求項7に記載のものは、圧電振動子の幅
よりも広幅の膨出部分と、圧電振動子の幅よりも狭い狭
幅部分とを前記導電パターンに含ませることにより、導
通有効幅を圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電振
動子の接続部に非重合領域を形成するようにしたことを
特徴とする請求項1に記載の圧電振動子ユニットであ
る。
According to a seventh aspect of the present invention, the conductive pattern includes a bulged portion wider than the width of the piezoelectric vibrator and a narrow portion narrower than the width of the piezoelectric vibrator. 2. The piezoelectric vibrator unit according to claim 1, wherein the width is wider than the width of the piezoelectric vibrator, and a non-overlapping region is formed at a connection portion of the piezoelectric vibrator.

【0023】請求項8に記載のものは、膨出部分の幅方
向中央と狭幅部分の幅方向中央とを同列上に配置した状
態で膨出部分と狭幅部分とを交互に配置したことを特徴
とする請求項7に記載の圧電振動子ユニットである。
According to another aspect of the present invention, the swollen portion and the narrow portion are alternately arranged with the center in the width direction of the swollen portion and the center in the width direction of the narrow portion arranged in the same row. The piezoelectric vibrator unit according to claim 7, wherein:

【0024】請求項9に記載のものは、隣り合う膨出部
分同士の幅方向一端部を狭幅部分で電気的に接続して櫛
歯状部分を構成したことを特徴とする請求項7に記載の
圧電振動子ユニットである。
According to a ninth aspect of the present invention, a comb-shaped portion is formed by electrically connecting one end in the width direction between adjacent bulging portions by a narrow portion. It is a piezoelectric vibrator unit of the description.

【0025】請求項10に記載のものは、狭幅部分の幅
方向他端縁から膨出部分の幅方向他端縁までの長さを圧
電振動子の幅よりも長く設定し、狭幅部分の他端縁から
膨出部分の他端縁までの範囲に存在する膨出部分の歯状
部にて圧電振動子の接続部と導電パターンとを接合可能
に構成したことを特徴とする請求項9に記載の圧電振動
子ユニットである。
According to a tenth aspect of the present invention, the length from the other end in the width direction of the narrow portion to the other end in the width direction of the bulging portion is set longer than the width of the piezoelectric vibrator. The connecting portion of the piezoelectric vibrator and the conductive pattern are configured to be connectable at the toothed portion of the swelling portion existing in the range from the other end edge of the swelling portion to the other end edge of the swelling portion. 9. The piezoelectric vibrator unit according to item 9.

【0026】請求項11に記載のものは、前記圧電振動
子を、セグメント内部電極と共通内部電極とを圧電体を
挟んで交互に積層することにより構成したことを特徴と
する請求項1から請求項10の何れかに記載の圧電振動
子ユニットである。
[0026] According to an eleventh aspect of the present invention, the piezoelectric vibrator is formed by alternately stacking segment internal electrodes and common internal electrodes with a piezoelectric body interposed therebetween. Item 11. The piezoelectric vibrator unit according to any one of Items 10.

【0027】請求項12に記載のものは、一部が弾性シ
ートによって区画されると共にノズル開口に連通した圧
力室と、該弾性シートに当接した請求項1から請求項1
1の何れかに記載の圧電振動子ユニットとを備え、圧電
振動子ユニットを構成する圧電振動子の変形を弾性シー
トに伝えることにより、圧力室内に充填されたインク圧
力を変化させ、このインク圧力の変化を利用してノズル
開口からインク滴を吐出させるように構成したことを特
徴とするインクジェット式記録ヘッド。
According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided a pressure chamber which is partially defined by an elastic sheet and is in communication with a nozzle opening, and which comes into contact with the elastic sheet.
1. The pressure of the ink filled in the pressure chamber is changed by transmitting the deformation of the piezoelectric vibrator constituting the piezoelectric vibrator unit to the elastic sheet. An ink jet recording head characterized in that an ink droplet is ejected from a nozzle opening by utilizing a change in the ink jet recording head.

【0028】[0028]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して説明する。ここで、図1(a)は圧電振動
子ユニット10の斜視図であり、図2は圧電振動子ユニ
ット10の全体構成を説明する図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Here, FIG. 1A is a perspective view of the piezoelectric vibrator unit 10, and FIG. 2 is a diagram illustrating an overall configuration of the piezoelectric vibrator unit 10.

【0029】例示した圧電振動子ユニット10は、圧電
振動子11、固定板12、フレキシブルテープ13から
概略構成されている。
The illustrated piezoelectric vibrator unit 10 is generally constituted by a piezoelectric vibrator 11, a fixing plate 12, and a flexible tape 13.

【0030】圧電振動子11は、各圧電振動子11の幅
が50μm程度となるように振動子板を櫛歯状に歯割り
することにより形成されている。この圧電振動子11
は、両端に位置するダミー振動子14,14の間に多数
列設されて振動子群15を構成する。
The piezoelectric vibrators 11 are formed by dividing the vibrator plate into comb teeth so that each piezoelectric vibrator 11 has a width of about 50 μm. This piezoelectric vibrator 11
Are arranged in rows between the dummy vibrators 14 located at both ends to form a vibrator group 15.

【0031】そして、各圧電振動子11は、図1中に断
面を拡大して示すように、一方の極となるセグメント内
部電極21と他方の極となる共通内部電極22とを圧電
体23を挟んで交互に積層させて構成してある。また、
この圧電振動子11の一方の表面(拡大図における上
面)にはセグメント外部電極24を設け、他方の表面
(同じく下面)には共通外部電極25を設ける。セグメ
ント外部電極24はセグメント内部電極21に導通させ
た電極であり、共通外部電極25は共通内部電極22に
導通させた電極である。これらのセグメント外部電極2
4及び共通外部電極25は、フレキシブルテープ13の
導電パターン26からの駆動信号を、セグメント内部電
極21及び共通内部電極22に供給するために設けた電
極である。
Each piezoelectric vibrator 11 includes a segment internal electrode 21 serving as one pole and a common internal electrode 22 serving as the other pole, as shown in an enlarged cross section in FIG. It is configured so that it is sandwiched and stacked alternately. Also,
A segment external electrode 24 is provided on one surface (upper surface in an enlarged view) of the piezoelectric vibrator 11, and a common external electrode 25 is provided on the other surface (same lower surface). The segment external electrode 24 is an electrode electrically connected to the segment internal electrode 21, and the common external electrode 25 is an electrode electrically connected to the common internal electrode 22. These segment external electrodes 2
4 and the common external electrode 25 are electrodes provided to supply a drive signal from the conductive pattern 26 of the flexible tape 13 to the segment internal electrode 21 and the common internal electrode 22.

【0032】そして、本実施形態の圧電振動子11は、
電極の積層方向を圧電振動子11の伸縮方向に対して直
交させたいわゆる縦振動モードの圧電振動子11によっ
て構成してある。このような縦振動モードの圧電振動子
11をインクジェット式記録ヘッドの駆動に使用する
と、圧電振動子11と振動板との当接面積を極めて小さ
くできるため、高解像度の実現と高速駆動が可能とな
る。
The piezoelectric vibrator 11 of the present embodiment is
It is constituted by a so-called longitudinal vibration mode piezoelectric vibrator 11 in which the lamination direction of the electrodes is orthogonal to the expansion and contraction direction of the piezoelectric vibrator 11. When the piezoelectric vibrator 11 in such a longitudinal vibration mode is used for driving an ink jet recording head, the contact area between the piezoelectric vibrator 11 and the diaphragm can be extremely reduced, so that high resolution and high-speed driving can be achieved. Become.

【0033】なお、ダミー振動子14は、インク滴の吐
出に関与しない振動子であり、圧電振動子11よりも広
幅に設けられている。そして、このダミー振動子14の
表面には共通外部電極25を設けてある。この共通外部
電極25は、圧電振動子11の他方の表面に設けた共通
外部電極25と一連に設けてあり、互いに導通されてい
る。
The dummy vibrator 14 is a vibrator that does not participate in the ejection of ink droplets, and is provided wider than the piezoelectric vibrator 11. A common external electrode 25 is provided on the surface of the dummy vibrator 14. The common external electrode 25 is provided in series with the common external electrode 25 provided on the other surface of the piezoelectric vibrator 11 and is electrically connected to each other.

【0034】固定板12は、圧電振動子ユニット10を
記録ヘッドのケースに固定するための部材であり、例え
ば、板状のステンレス材によって構成されている。この
固定板12は、圧電振動子11における共通外部電極2
5の形成面側に、圧電振動子11の自由端部分を残すよ
うにして接合される。なお、この固定板12は歯割りす
る前の状態で振動子板に接合されており、固定板12に
接合された状態で振動子板は櫛歯状に切り分けられる。
The fixing plate 12 is a member for fixing the piezoelectric vibrator unit 10 to the case of the recording head, and is made of, for example, a plate-like stainless material. The fixed plate 12 is used as a common external electrode 2 in the piezoelectric vibrator 11.
5, the piezoelectric vibrator 11 is joined so as to leave a free end portion. Note that the fixed plate 12 is joined to the vibrator plate before the splitting, and the vibrator plate is cut into a comb-like shape while being joined to the fixed plate 12.

【0035】フレキシブルテープ13は、図2(b)及
び(c)に示すように、ポリイミド樹脂等の可撓性フィ
ルムをベース材13aとし、その表面に銅箔等をエッチ
ングすることにより導電パターン26を形成してある。
この導電パターン26は、図2(a)に示すように、セ
グメント電極接続用の導電パターン26aと共通電極接
続用の導電パターン26bとから構成されている。
As shown in FIGS. 2B and 2C, the flexible tape 13 is made of a flexible film such as a polyimide resin as a base material 13a, and a copper foil or the like is etched on the surface thereof to form a conductive pattern 26. Is formed.
As shown in FIG. 2A, the conductive pattern 26 includes a conductive pattern 26a for connecting a segment electrode and a conductive pattern 26b for connecting a common electrode.

【0036】セグメント電極接続用の導電パターン26
aは、圧電振動子11のセグメント外部電極24のピッ
チに略一致するピッチで形成してあり、各パターン幅
は、圧電振動子11の幅である各セグメント外部電極2
4の幅と同じか若干狭い幅に形成してある。本実施形態
では、セグメント外部電極24の幅50μmに対して5
0μmの幅に形成してある。
Conductive pattern 26 for connecting segment electrodes
a is formed at a pitch substantially corresponding to the pitch of the segment external electrodes 24 of the piezoelectric vibrator 11, and each pattern width is equal to the width of each segment external electrode 2 which is the width of the piezoelectric vibrator 11.
4 is formed to have a width that is equal to or slightly smaller than the width of 4. In this embodiment, the width of the segment external electrode 24 is set to 5
It has a width of 0 μm.

【0037】この導電パターン26aの先端部分は、半
田めっき層27を備えた接続部分26a´として形成し
てある。この導電パターン26aの接続部分26a´
は、圧電振動子11側の接続部11a、即ち、セグメン
ト外部電極24の形成面における基端部分に接続される
部分であり、導電パターン26aの接続部分26a´を
圧電振動子11側の接続部11aに重合させた状態で、
半田めっき層27をリフローすることにより、導電パタ
ーン26aとセグメント外部電極24とが導通状態で接
合される。
The tip of the conductive pattern 26a is formed as a connection portion 26a 'having a solder plating layer 27. Connection part 26a 'of this conductive pattern 26a
Is a connection portion 11a on the piezoelectric vibrator 11 side, that is, a portion connected to the base end portion on the surface on which the segment external electrode 24 is formed. The connection portion 26a 'of the conductive pattern 26a is connected to the connection portion on the piezoelectric vibrator 11 side. In the state polymerized to 11a,
By reflowing the solder plating layer 27, the conductive pattern 26a and the segment external electrode 24 are joined in a conductive state.

【0038】なお、この接続部分26a´よりも基端側
の導電パターン26aは、短絡防止用のレジスト層13
bによって被覆されている。
The conductive pattern 26a closer to the base end than the connection portion 26a 'is formed of a resist layer 13 for preventing short circuit.
b.

【0039】そして、導電パターン26aの接続部分2
6a´における導通有効幅は、圧電振動子11の幅より
も広く設定してあり、尚且つ、圧電振動子11の接続部
に導電パターン26aと重合しない非重合領域が形成さ
れるように導電パターン26aの方向やパターン幅の寸
法を選択してある。この非重合領域は、導電パターン2
6aの接合時において熔けた半田の余剰分を逃がすため
の領域である。なお、この部分の具体的構成について
は、後で詳細に説明する。
Then, the connection portion 2 of the conductive pattern 26a
The conductive effective width in 6 a ′ is set wider than the width of the piezoelectric vibrator 11, and the conductive pattern is formed such that a non-polymerized region that does not overlap with the conductive pattern 26 a is formed at the connection portion of the piezoelectric vibrator 11. The direction of 26a and the dimension of the pattern width are selected. This non-polymerized area is the conductive pattern 2
This is an area for releasing excess solder melted at the time of joining 6a. The specific configuration of this part will be described later in detail.

【0040】一方、共通電極接続用の導電パターン26
bは、ダミー振動子14の幅と略同じ幅に形成され、そ
の先端部分には半田めっき層を設けてある。そして、ダ
ミー振動子14の共通外部電極25上に共通電極接続用
の導電パターン26bの先端部分を重合し、この重合状
態で半田めっき層をリフローすることにより、共通外部
電極25と導電パターン26bとが導通状態で接合され
る。
On the other hand, the conductive pattern 26 for connecting the common electrode
“b” is formed to have substantially the same width as the width of the dummy vibrator 14, and a solder plating layer is provided at a tip portion thereof. Then, the leading end portion of the conductive pattern 26b for connecting the common electrode is superimposed on the common external electrode 25 of the dummy vibrator 14, and the solder plating layer is reflowed in this superposed state, so that the common external electrode 25 and the conductive pattern 26b Are connected in a conductive state.

【0041】このような構成を備えた圧電振動子ユニッ
ト10では、フレキシブルテープ13のセグメント電極
接続用の導電パターン26aからは各圧電振動子11毎
の駆動信号が供給され、共通電極接続用の導電パターン
26bはグラウンド(GND)電位に設定される。従っ
て、各圧電振動子11…の内部では、駆動信号の供給に
よってセグメント内部電極21と共通内部電極22との
間で電位差が生じ、この電位差に応じて圧電振動子11
は振動子長手方向に伸縮する。そして、この振動子長手
方向の伸縮を利用してインク滴を吐出させる。
In the piezoelectric vibrator unit 10 having such a configuration, the driving signal for each piezoelectric vibrator 11 is supplied from the conductive pattern 26a for connecting the segment electrodes of the flexible tape 13, and the conductive signal for connecting the common electrode is supplied. The pattern 26b is set to a ground (GND) potential. Therefore, in each of the piezoelectric vibrators 11, a potential difference is generated between the segment internal electrode 21 and the common internal electrode 22 by the supply of the drive signal, and the piezoelectric vibrators 11
Expands and contracts in the longitudinal direction of the vibrator. Then, ink droplets are ejected by utilizing the expansion and contraction of the vibrator in the longitudinal direction.

【0042】即ち、記録ヘッドに纏められた状態では、
図1(b)に示すように、圧電振動子11は、圧力室2
8Aの一部を区画する弾性シート29に先端11bを当
接させている。そして、圧電振動子11の振動子長手方
向への伸縮に伴って弾性シート29が変形し、圧力室2
8A内に充填されたインクの圧力を変化させる。そし
て、このインク圧力の変化により、圧力室28Aに連通
したノズル開口30aからインク滴を吐出させる。
That is, in a state where the recording head is assembled,
As shown in FIG. 1B, the piezoelectric vibrator 11 is
The distal end 11b is brought into contact with the elastic sheet 29 that defines a part of 8A. The elastic sheet 29 is deformed as the piezoelectric vibrator 11 expands and contracts in the vibrator longitudinal direction, and the pressure chamber 2
The pressure of the ink filled in 8A is changed. Then, by the change in the ink pressure, an ink droplet is ejected from the nozzle opening 30a communicating with the pressure chamber 28A.

【0043】なお、この圧力室28Aは、スペーサ部材
28、弾性シート29及びノズルプレート30によって
構成される。即ち、スペーサ部材28には圧力室28A
となる開口を開設し、このスペーサ部材28の前面には
ノズル開口30aを開設したノズルプレート30を配置
し、スペーサ部材28の裏面には圧電振動子11の先端
11bが当接する島部29aを設けた弾性シート29を
配置して、これらの各部材を接着等によって一体化する
ことにより、弾性シート29及びノズルプレート30に
よって区画された圧力室28Aが構成される。
The pressure chamber 28A includes a spacer member 28, an elastic sheet 29 and a nozzle plate 30. That is, the pressure chamber 28A is
A nozzle plate 30 having a nozzle opening 30a is arranged on the front surface of the spacer member 28, and an island portion 29a with which the tip 11b of the piezoelectric vibrator 11 contacts is provided on the back surface of the spacer member 28. A pressure chamber 28A defined by the elastic sheet 29 and the nozzle plate 30 is formed by disposing the elastic sheet 29 and integrating these members by bonding or the like.

【0044】次に、本実施形態における圧電振動子11
の接続部11a、及びセグメント電極接続用の導電パタ
ーン26a(以下、単に導電パターン26aという)の
接続部分26a´についての具体的構成について詳細に
説明する。
Next, the piezoelectric vibrator 11 in the present embodiment
The specific configuration of the connection portion 11a of the first embodiment and the connection portion 26a 'of the conductive pattern 26a for connecting the segment electrodes (hereinafter simply referred to as the conductive pattern 26a) will be described in detail.

【0045】図3は圧電振動子11のセグメント外部電
極24にフレキシブルテープ13の導電パターン26a
を重ねた状態を説明する図であり、図4はその部分拡大
図であり、図5はセグメント外部電極24と導電パター
ン26aとの接合部分を説明する図である。
FIG. 3 shows the conductive pattern 26 a of the flexible tape 13 on the segment external electrode 24 of the piezoelectric vibrator 11.
FIG. 4 is a partially enlarged view of FIG. 4, and FIG. 5 is a view illustrating a joining portion between the segment external electrode 24 and the conductive pattern 26a.

【0046】本実施形態では、接続される部分において
導電パターン26a(接続部分26a´)の一部が圧電
振動子11からはみ出すように、導電パターン26aを
幅方向に曲げている。具体的には、導電パターン26a
のパターン幅PWを、圧電振動子11の幅W(即ち、セ
グメント外部電極24の幅W)と同じかそれよりも少し
小さくし、この導電パターン26aの接続部分26a´
に長さがLで振れ幅がDである比較的長い直線的な傾斜
部分31を含ませて構成している。この傾斜部分31に
より、導電パターン26aの一側の縁が圧電振動子11
の一側の縁に対して斜めに交差した状態となる。
In the present embodiment, the conductive pattern 26a is bent in the width direction so that a part of the conductive pattern 26a (connection portion 26a ') protrudes from the piezoelectric vibrator 11 in a connected portion. Specifically, the conductive pattern 26a
Is equal to or slightly smaller than the width W of the piezoelectric vibrator 11 (that is, the width W of the segment external electrode 24), and the connection portion 26a 'of the conductive pattern 26a is formed.
And a relatively long linear inclined portion 31 having a length L and a swing width D. Due to this inclined portion 31, the edge of one side of the conductive pattern 26a is
Is obliquely intersected with the edge on one side.

【0047】このような傾斜部分31を設けたことによ
り、導電パターン26a(即ち、接続部分26a´)の
振れ幅Dはセグメント外部電極24の幅Wよりも大きく
なる。このため、セグメント外部電極24の長手方向に
見て、導電パターン26aにセグメント外部電極24の
縁から幅方向にはみ出す部分が形成される。換言すれ
ば、セグメント外部電極24の長手方向に見た場合にお
ける導電パターン26aの配設領域がセグメント外部電
極24の幅方向に拡張される。そして、このはみ出した
部分により、導電パターン26aとセグメント外部電極
24とが導通し得る幅、即ち、導通有効幅(振れ幅Dに
相当)を広げることができる。
By providing such an inclined portion 31, the swing width D of the conductive pattern 26a (that is, the connection portion 26a ') is larger than the width W of the segment external electrode 24. Therefore, when viewed in the longitudinal direction of the segment external electrode 24, a portion that protrudes from the edge of the segment external electrode 24 in the width direction is formed in the conductive pattern 26a. In other words, the arrangement area of the conductive pattern 26a as viewed in the longitudinal direction of the segment external electrode 24 is expanded in the width direction of the segment external electrode 24. The protruding portion can increase the width in which the conductive pattern 26a and the segment external electrode 24 can conduct, that is, the effective conduction width (corresponding to the swing width D).

【0048】そして、導通有効幅が拡張されたことによ
り、この構成では、両端部の導電パターン26a,26
aと両端のセグメント外部電極24,24を合わせて重
ねるだけで、その間に存在する全ての導電パターン26
a…とセグメント外部電極24…とを確実に導通させる
ことができる。換言すれば、導電パターン26aとセグ
メント外部電極24との整合の精度をラフにしても(寸
法公差をラフにしても)、導電パターン26aとセグメ
ント外部電極24とを確実に導通させることができる。
Since the effective conduction width is expanded, in this configuration, the conductive patterns 26a, 26a at both ends are formed.
a and the segment external electrodes 24, 24 at both ends are merely overlapped, and all the conductive patterns 26
and the segment external electrodes 24 can be reliably conducted. In other words, even if the accuracy of matching between the conductive pattern 26a and the segment external electrode 24 is roughened (the dimensional tolerance is roughened), the conductive pattern 26a and the segment external electrode 24 can be reliably conducted.

【0049】さらに、不透明なフレキシブルテープ13
を用いた場合であっても、図2に鎖線で示すように、フ
レキシブルテープ13の両端に視認窓部32,32を設
け、これらの視認窓部32,32を通じて両端の導電パ
ターン26a,26aとセグメント外部電極24,24
とを位置合わせするだけで、簡単にその間の全てのセグ
メント導電パターン26a…とセグメント外部電極24
…とを確実に導通させることができる。
Further, the opaque flexible tape 13
2, visible windows 32, 32 are provided at both ends of the flexible tape 13 as shown by the dashed lines in FIG. 2, and the conductive patterns 26 a, 26 a at both ends are provided through these visible windows 32, 32. Segment external electrodes 24, 24
, And all of the segment conductive patterns 26a.
Can be reliably conducted.

【0050】また、図4及び図5に示すように、セグメ
ント外部電極24の幅方向の一側からはみ出す部分が導
電パターン26aに形成されることで、同時に、セグメ
ント外部電極24の幅方向の他側には導電パターン26
aで覆われていない非重合領域33が形成される。
Further, as shown in FIGS. 4 and 5, a portion protruding from one side in the width direction of the segment external electrode 24 is formed in the conductive pattern 26a. Conductive pattern 26 on the side
A non-polymerized area 33 not covered with a is formed.

【0051】この非重合領域33は、導電パターン26
a(接続部分26a´)の溶けた半田34の余剰分が逃
げて行く領域として機能する。そして、この非重合領域
33上に溶けた半田34の余剰分が逃げて行く結果、表
面張力の作用により、非重合領域33上に逃げた半田3
4の余剰分は、この非重合領域33上、即ち、セグメン
ト外部電極24上に留まる。
The non-polymerized area 33 is formed by the conductive pattern 26
a (the connecting portion 26a ') functions as a region where the excess of the melted solder 34 escapes. Then, as a result of the surplus amount of the solder 34 melted on the non-polymerized region 33 escaping, the solder 3 escaping on the non-polymerized region 33 by the action of surface tension.
The surplus of 4 remains on the non-polymerized region 33, that is, on the segment external electrode 24.

【0052】よって、導電パターン26aとセグメント
外部電極24との間から流出した半田により、圧電振動
子11のセグメント内部電極21と共通内部電極22が
短絡されてしまう事故を確実に防止することができ、生
産歩留りの向上を図ることができる。
Accordingly, it is possible to reliably prevent an accident that the segment internal electrode 21 and the common internal electrode 22 of the piezoelectric vibrator 11 are short-circuited by the solder flowing out between the conductive pattern 26a and the segment external electrode 24. Thus, the production yield can be improved.

【0053】なお、上記した傾斜部分31に関し、更に
傾斜を大きくして、導電パターン26aの両側の縁が斜
めにセグメント外部電極24の一側の縁と交差するよう
に設けてもよい。
It is to be noted that the above-mentioned inclined portion 31 may be provided such that the edges on both sides of the conductive pattern 26a obliquely intersect with the edges on one side of the segment external electrode 24 by further increasing the inclination.

【0054】ところで、上記した実施形態は、その一部
が圧電振動子11からはみ出すように曲げた傾斜部分3
1を、導電パターン26aの接続部分26a´に含ませ
て構成したものを例示したが、本発明は、この構成に限
定されるものではない。
In the above-described embodiment, the inclined portion 3 is bent so that a part thereof protrudes from the piezoelectric vibrator 11.
1 is included in the connection portion 26a 'of the conductive pattern 26a, but the present invention is not limited to this configuration.

【0055】例えば、導電パターン26aの接続部分2
6a´を、圧電振動子11の幅Wよりも大きな振幅とな
るように蛇行させ、この蛇行によって導通有効幅を圧電
振動子11の幅Wよりも広くし、また、非重合領域33
を形成することもできる。
For example, the connection portion 2 of the conductive pattern 26a
6a 'is meandered so as to have an amplitude larger than the width W of the piezoelectric vibrator 11, and the meandering makes the effective conduction width larger than the width W of the piezoelectric vibrator 11;
Can also be formed.

【0056】以下、導電パターン26aを蛇行させた実
施形態について説明する。
Hereinafter, an embodiment in which the conductive pattern 26a is meandered will be described.

【0057】ここで、図6はこの実施形態において、セ
グメント外部電極24にフレキシブルテープ13の導電
パターン26aを重ねた状態を説明する図であり、図7
はその部分拡大図である。
FIG. 6 is a view for explaining a state in which the conductive pattern 26a of the flexible tape 13 is overlaid on the segment external electrode 24 in this embodiment.
Is a partially enlarged view of FIG.

【0058】これらの図に示すように、本実施形態で
は、導電パターン26aのパターン幅PWを、圧電振動
子11のセグメント外部電極24の幅と同じかそれより
も小さくし、そのセグメント接続用導電パターン26a
の一部、即ち、接続部分26a´の先端側部分35を、
セグメント外部電極24の幅Wよりも大きな振れ幅Dの
うねりとなるように略S字状に蛇行させている。
As shown in these figures, in the present embodiment, the pattern width PW of the conductive pattern 26a is set to be equal to or smaller than the width of the segment external electrode 24 of the piezoelectric vibrator 11, and the conductor for connecting the segment is formed. Pattern 26a
, That is, the tip side portion 35 of the connection portion 26a '
The segment external electrode 24 is meandering in a substantially S-shape so as to have a swell having a swing width D larger than the width W of the segment external electrode 24.

【0059】より具体的には、圧電振動子11のセグメ
ント外部電極24の一側縁と他側縁から導電パターン2
6aが部分的に交互に且つセグメント外部電極24の縁
と平行にはみ出すように、導電パターン26aの先端側
部分35を幅方向に蛇行させている。
More specifically, the conductive pattern 2 is formed from one side edge and the other side edge of the segment external electrode 24 of the piezoelectric vibrator 11.
The leading end portion 35 of the conductive pattern 26a is meandering in the width direction so that 6a partially protrudes alternately and in parallel with the edge of the segment external electrode 24.

【0060】この実施形態でも、先に説明した第1実施
形態と同様に、導電パターン26aにおける蛇行した左
右の端部の間隔である振れ幅(導通有効幅)Dが、セグ
メント外部電極24の幅Wよりも広くなる。これによ
り、導通に使用できる幅が広くなるので、整合の精度を
ラフにしても、導電パターン26aとセグメント外部電
極24とを確実に導通させることができる。
In this embodiment, as in the first embodiment described above, the swing width (effective conduction width) D, which is the distance between the meandering left and right ends of the conductive pattern 26a, is equal to the width of the segment external electrode 24. Wider than W. As a result, the width that can be used for conduction is widened, so that the conduction between the conductive pattern 26a and the segment external electrodes 24 can be ensured even if the accuracy of the matching is roughened.

【0061】また、導電パターン26aの振れ幅D内で
導電パターン26aとセグメント外部電極24と接合さ
せると、セグメント外部電極24上には、導電パターン
26aで覆われている領域(重合領域)36と、導電パ
ターン26aで覆われていない領域(非重合領域)33
とが形成される。このため、導電パターン26aで覆わ
れていない非重合領域33には、導電パターン26aを
接合する際に熔けた半田34の余剰分が逃げる。そし
て、この逃げた余剰の半田34は、表面張力により非重
合領域33上(即ち、セグメント外部電極24上)に留
まる。従って、圧電振動子11の側面(隣り合う振動子
に対向する側面)への半田34の流出が防止でき、セグ
メント内部電極21と共通内部電極22との短絡を確実
に防止することができる。
When the conductive pattern 26a and the segment external electrode 24 are joined within the swing width D of the conductive pattern 26a, a region (overlapping region) 36 covered with the conductive pattern 26a is formed on the segment external electrode 24. Area (non-polymerized area) 33 not covered with conductive pattern 26a
Is formed. For this reason, the surplus amount of the solder 34 that has melted when the conductive pattern 26a is joined escapes to the non-overlapping region 33 that is not covered with the conductive pattern 26a. Then, the escaped surplus solder 34 remains on the non-polymerized region 33 (that is, on the segment external electrode 24) due to surface tension. Therefore, it is possible to prevent the solder 34 from flowing out to the side surface of the piezoelectric vibrator 11 (the side surface facing the adjacent vibrator), and it is possible to reliably prevent a short circuit between the segment internal electrode 21 and the common internal electrode 22.

【0062】なお、導電パターン26aの蛇行は、この
S字状にうねらせるものに限定されるものではなく、例
えば、クランク状に蛇行させてもよいし、鋸歯状に蛇行
させてもよい。以下、クランク状に蛇行させた実施形態
について説明する。
The meandering of the conductive pattern 26a is not limited to the S-shaped undulation, and may be, for example, a crank-shaped meandering or a serrated meandering. Hereinafter, an embodiment that is meandering in a crank shape will be described.

【0063】図8は、クランク状に蛇行させた実施形態
を説明する図である。同図に示すように、例示した導電
パターン26a(接続部分26a´)のクランク部37
は、その幅方向の端部が、セグメント外部電極24の幅
Wの一側縁と他側縁から交互に、且つ、セグメント外部
電極24の縁とほぼ平行にはみ出すように屈曲させてい
る。
FIG. 8 is a view for explaining an embodiment in which the crankshaft is meandered. As shown in the figure, the crank portion 37 of the illustrated conductive pattern 26a (connection portion 26a ')
Are bent so that the ends in the width direction alternately protrude from one side edge and the other side edge of the width W of the segment external electrode 24 and substantially parallel to the edge of the segment external electrode 24.

【0064】具体的には、このクランク部37は、セグ
メント外部電極24を幅方向に横断する横断部分37a
と長手方向に沿った平行部分37bとを備えており、平
行部分37bをセグメント外部電極24の幅方向の一側
部と他側部とに交互に配置すると共に、平行部分37b
の端部同士を横断部分37aで接続した一条のパターン
である。
More specifically, the crank portion 37 has a crossing portion 37 a crossing the segment external electrode 24 in the width direction.
And parallel portions 37b along the longitudinal direction. The parallel portions 37b are alternately arranged on one side and the other side in the width direction of the segment external electrode 24, and the parallel portions 37b
Are connected by crossing portions 37a.

【0065】この実施形態でも、上記した実施形態と同
様に、振れ幅(導通有効幅)Dが、セグメント外部電極
24の幅Wよりも広くなるので、セグメント外部電極2
4と導電パターン26aの導通が確実に行える。また、
セグメント外部電極24の幅Wの領域内に、導電パター
ン26aで覆われている重合領域36と、導電パターン
26aで覆われていない非重合領域33とが形成される
ため、非重合領域33に余剰な半田34が逃げ、半田3
4の振動子側面への流出が防止でき、セグメント内部電
極21と共通内部電極22との短絡を確実に防止でき
る。
Also in this embodiment, the swing width (effective conduction width) D is larger than the width W of the segment external electrode 24, similarly to the above-described embodiment.
4 and the conductive pattern 26a can be reliably conducted. Also,
Since the overlap region 36 covered with the conductive pattern 26a and the non-overlap region 33 not covered with the conductive pattern 26a are formed in the region of the width W of the segment external electrode 24, the surplus portion in the non-overlap region 33 is formed. Solder 34 escaped, Solder 3
4 can be prevented from flowing to the side face of the vibrator, and a short circuit between the segment internal electrode 21 and the common internal electrode 22 can be reliably prevented.

【0066】ところで、上記した各実施形態では、一条
の導電パターン26aを斜め方向に曲げたり、蛇行させ
ることにより、導通有効幅を広げると共に非重合領域3
3を設けるようにしたものを例示したが、本発明は、こ
れらの構成に限定されるものではない。
In each of the above embodiments, the conductive effective width is increased and the non-overlapping region 3 is formed by bending or winding the conductive pattern 26a in an oblique direction.
3, the present invention is not limited to these configurations.

【0067】例えば、セグメント外部電極24の幅(即
ち、圧電振動子11の幅)よりも広幅の膨出部分と、セ
グメント外部電極24の幅よりも狭い狭幅部分とを導電
パターン26aの接続部分26a´に含ませることによ
り、導通有効幅を広げると共に非重合領域33を設ける
ようにしてもよい。
For example, a protruding portion wider than the width of the segment external electrode 24 (ie, the width of the piezoelectric vibrator 11) and a narrow portion narrower than the width of the segment external electrode 24 are connected to the connecting portion of the conductive pattern 26a. 26a ', the effective conduction width may be increased, and the non-overlapping region 33 may be provided.

【0068】以下、膨出部分と狭幅部分とを設けた実施
形態について説明する。
Hereinafter, an embodiment in which a bulging portion and a narrow portion are provided will be described.

【0069】最初に、膨出部分の幅方向中央と狭幅部分
の幅方向中央とを同列上に配置した状態で膨出部分と狭
幅部分とを交互に配置した実施形態について説明する。
ここで、図9はセグメント外部電極24にフレキシブル
テープ13の導電パターン26aを重ねた状態を説明す
る図、図10はその部分拡大図である。
First, a description will be given of an embodiment in which the swollen portions and the narrow portions are alternately arranged in a state where the center in the width direction of the swollen portion and the center in the width direction of the narrow portion are arranged on the same row.
Here, FIG. 9 is a view for explaining a state in which the conductive pattern 26a of the flexible tape 13 is overlaid on the segment external electrodes 24, and FIG. 10 is a partially enlarged view thereof.

【0070】これらの図に示すように、本実施形態の導
電パターン26aは、接続部分26a´の先端側部分
に、圧電振動子11の幅Wよりも広い幅DWに形成した
膨出部分40と圧電振動子11の幅よりも狭い幅Tに形
成した狭幅部分41とを含ませている。
As shown in these figures, the conductive pattern 26a of this embodiment has a bulging portion 40 formed at a tip end portion of a connecting portion 26a 'and having a width DW larger than the width W of the piezoelectric vibrator 11. A narrow portion 41 formed to have a width T smaller than the width of the piezoelectric vibrator 11 is included.

【0071】そして、膨出部分40の幅方向中心DW/
2と狭幅部分41の幅方向中心T/2とを同列上に配置
した状態、より詳しくは、幅方向中心同士をほぼ一致さ
せた状態で、これらの膨出部分40と狭幅部分41とを
セグメント外部電極24の長手方向に沿って交互に配置
してある。換言すれば、これらの膨出部分40と狭幅部
分41は、幅方向中心を通る中心線CLを境にして線対
称の関係となるように、導電パターン26aの長手方向
に沿って交互に配置してある。
The center DW /
2 and the center T / 2 in the width direction of the narrow portion 41 are arranged in the same row, more specifically, in a state where the centers in the width direction are substantially aligned with each other, the bulging portion 40 and the narrow portion 41 are Are alternately arranged along the longitudinal direction of the segment external electrodes 24. In other words, the bulging portions 40 and the narrow portions 41 are alternately arranged along the longitudinal direction of the conductive pattern 26a so as to have a line-symmetric relationship with respect to the center line CL passing through the center in the width direction. I have.

【0072】この実施形態では、膨出部分40の幅DW
が導通有効幅となり、この導通有効幅をセグメント外部
電極24(圧電振動子11)の幅Wよりも広く設けてあ
るので、セグメント外部電極24と導電パターン26a
の導通が確実に行える。
In this embodiment, the width DW of the bulging portion 40 is
Is the effective conduction width, and since the effective conduction width is set to be wider than the width W of the segment external electrode 24 (piezoelectric vibrator 11), the segment external electrode 24 and the conductive pattern 26a
Can be reliably conducted.

【0073】また、狭幅部分41の幅Tをセグメント外
部電極24の幅Wよりも狭く設けてあるので、この狭幅
部分41の側部には導電パターン26aで覆われていな
い非重合領域33が形成される。このため、非重合領域
33に余剰な半田34が逃げ、半田34の振動子側面へ
の流出が防止でき、セグメント内部電極21と共通内部
電極22との短絡を確実に防止できる。
Since the width T of the narrow portion 41 is smaller than the width W of the segment external electrode 24, the non-overlapping region 33 not covered with the conductive pattern 26a is formed on the side of the narrow portion 41. Is formed. For this reason, the surplus solder 34 escapes to the non-overlapping area 33, and the outflow of the solder 34 to the side surface of the vibrator can be prevented, and the short circuit between the segment internal electrode 21 and the common internal electrode 22 can be reliably prevented.

【0074】次に、膨出部分と狭幅部分とにより櫛歯状
部分を構成するようにした実施形態について説明する。
Next, a description will be given of an embodiment in which a bulge portion and a narrow portion constitute a comb-like portion.

【0075】図11に示すように、この実施形態では、
隣り合う膨出部分40,40同士の幅方向一端部、例え
ば、膨出部分40,40の左半部分同士を狭幅部分41
によって接合して、膨出部分40と狭幅部分41とを導
電パターン26aの長手方向に沿って交互に配置し、櫛
歯状部分を構成する。
As shown in FIG. 11, in this embodiment,
One end in the width direction between the adjacent bulging portions 40, 40, for example, the left half portions of the bulging portions 40, 40 are connected to the narrow width portion 41.
The bulging portions 40 and the narrow portions 41 are alternately arranged along the longitudinal direction of the conductive pattern 26a to form a comb-like portion.

【0076】この実施形態でも、膨出部分40の幅DW
が導通有効幅となり、セグメント外部電極24と導電パ
ターン26aの導通が確実に行える。
Also in this embodiment, the width DW of the bulging portion 40 is
Is the effective conduction width, and conduction between the segment external electrode 24 and the conductive pattern 26a can be reliably performed.

【0077】また、狭幅部分41の幅Tをセグメント外
部電極24の幅Wよりも狭く設けてあるので、この狭幅
部分41の側部には導電パターン26aで覆われていな
い非重合領域33が形成され、この非重合領域33に半
田34を逃がすことができ、半田34の振動子側面への
流出を防止できる。
Since the width T of the narrow portion 41 is smaller than the width W of the segment external electrode 24, the non-overlapping region 33 not covered with the conductive pattern 26a is formed on the side of the narrow portion 41. Is formed, the solder 34 can escape to the non-overlapping region 33, and the outflow of the solder 34 to the side face of the vibrator can be prevented.

【0078】さらに、膨出部分40,40の左半部分同
士を接合するように狭幅部分41を設けているので、形
成される非重合領域33の1つあたりの面積を広げるこ
とができ、非重合領域33に半田34を確実に逃がすこ
とができる。
Further, since the narrow portion 41 is provided so as to join the left half portions of the bulging portions 40, 40, the area per one of the non-polymerized regions 33 to be formed can be increased. The solder 34 can surely escape to the non-overlapping area 33.

【0079】また、図12に示す実施形態は、隣り合う
膨出部分40,40同士の幅方向一端部を狭幅部分41
で電気的に接続して櫛歯状部分を構成したものにおい
て、狭幅部分41の幅方向他端縁から膨出部分40の幅
方向他端縁までの距離を圧電振動子の幅よりも長く設定
したものである。
In the embodiment shown in FIG. 12, one end in the width direction of the adjacent bulging portions 40, 40 is connected to the narrow portion 41.
In this configuration, the distance from the other end in the width direction of the narrow portion 41 to the other end in the width direction of the bulging portion 40 is longer than the width of the piezoelectric vibrator. It is set.

【0080】この実施形態では、同図に示すように、隣
り合う膨出部分40,40同士の左端部分同士を狭幅部
分41によって接合して、膨出部分40と狭幅部分41
とを導電パターン26aの長手方向に沿って交互に配置
し、櫛歯状部分を構成する。そして、この櫛歯状部分に
おいて、狭幅部分41の右側縁41aから膨出部分40
の右側縁40aまでの長さS、即ち、膨出部分40の歯
状部40bの長さを、セグメント外部電極24の幅Wよ
りも長く設定してある。
In this embodiment, as shown in the figure, the left end portions of adjacent bulging portions 40, 40 are joined to each other by a narrow width portion 41, and the bulging portion 40 and the narrow width portion 41 are joined together.
Are alternately arranged along the longitudinal direction of the conductive pattern 26a to form a comb-like portion. In this comb-like portion, the bulging portion 40 extends from the right edge 41 a of the narrow portion 41.
Is set to be longer than the width W of the segment external electrode 24, that is, the length S to the right edge 40a of the swelling portion 40, that is, the length of the tooth portion 40b of the bulging portion 40.

【0081】従って、この実施形態では、膨出部分40
の歯状部40bにより、セグメント外部電極24と導電
パターン26aとの接合を行うことができる。即ち、狭
幅部分41をセグメント外部電極24に接合させること
なく、セグメント外部電極24と導電パターン26aと
を接合することができる。
Therefore, in this embodiment, the bulging portion 40
The joint 40 between the segment external electrode 24 and the conductive pattern 26a can be formed by the toothed portion 40b. That is, the segment external electrode 24 and the conductive pattern 26a can be joined without joining the narrow portion 41 to the segment external electrode 24.

【0082】そして、歯状部40bで接合した場合に
は、歯状部40bがセグメント外部電極24上を横断し
た状態でセグメント外部電極24と導電パターン26a
とを接合することができ、非重合領域33の面積を一層
広げることが可能になる。従って、半田34の振動子側
面への流出を一層確実に防止することができる。
When the bonding is performed at the toothed portion 40b, the segment external electrode 24 and the conductive pattern 26a are laid in a state where the toothed portion 40b crosses over the segment external electrode 24.
Can be joined, and the area of the non-polymerized region 33 can be further increased. Therefore, the outflow of the solder 34 to the side surface of the vibrator can be more reliably prevented.

【0083】なお、この構成は、非重合領域33を確実
に形成できるので、セグメント外部電極24(圧電振動
子11)の幅Wをさらに狭く設けた場合(例えば、幅W
を30μm程度に形成した場合)において有用である。
In this configuration, since the non-overlapping region 33 can be reliably formed, when the width W of the segment external electrode 24 (piezoelectric vibrator 11) is further reduced (for example, the width W
Is formed to about 30 μm).

【0084】なお、以上の説明では、セグメント内部電
極21と共通内部電極22の積層方向が、圧電振動子1
1の伸縮方向に垂直な縦振動モードの圧電振動子11を
例示したが、本発明は、セグメント内部電極と共通内部
電極の積層方向が、圧電振動子の伸縮方向に平行なたわ
み振動モードの圧電振動子にも用いることができる。
In the above description, the lamination direction of the segment internal electrode 21 and the common internal electrode 22 is
Although the piezoelectric vibrator 11 in the vertical vibration mode perpendicular to the expansion and contraction direction of the piezoelectric vibrator 1 is illustrated, the present invention relates to a piezoelectric vibrator in a flexural vibration mode in which the lamination direction of the segment internal electrode and the common internal electrode is parallel to the expansion and contraction direction of the piezoelectric vibrator. It can also be used for a vibrator.

【0085】[0085]

【発明の効果】以上説明したように本発明は以下の効果
を奏する。
As described above, the present invention has the following effects.

【0086】即ち、導電パターンの導通有効幅を圧電振
動子の幅よりも広く設けたので、圧電振動子の長手方向
に見て、圧電振動子のセグメント外部電極と導電パター
ンとが重合可能な部分が広くなる。これにより、導電パ
ターンとセグメント外部電極との整合の精度を多少ラフ
にしても両者を確実に導通させることができる。
That is, since the effective conduction width of the conductive pattern is provided wider than the width of the piezoelectric vibrator, a portion where the segment external electrode of the piezoelectric vibrator and the conductive pattern can be overlapped when viewed in the longitudinal direction of the piezoelectric vibrator. Becomes wider. Thus, even if the accuracy of matching between the conductive pattern and the segment external electrode is somewhat roughened, both can be reliably conducted.

【0087】これにより、両端部の導電パターンとセグ
メント外部電極とを位置合わせするだけで、その間に存
在する全ての導電パターンとセグメント外部電極とを導
通させることができ、圧電振動子のセグメント外部電極
とフレキシブルテープの導電パターンとの接合作業が非
常にやり易くなる。さらに、接合作業に熟練度を要さず
に済むので、生産歩留まりの向上が図れる。
Thus, by simply aligning the conductive patterns at both ends and the segment external electrodes, all the conductive patterns existing therebetween and the segment external electrodes can be electrically connected, and the segment external electrodes of the piezoelectric vibrator can be electrically connected. Joining work with the conductive pattern of the flexible tape becomes very easy. Furthermore, since the joining operation does not require skill, the production yield can be improved.

【0088】また、寸法公差を今までよりもラフにする
ことができるので、この点においても生産歩留まりの向
上が図れる。
Since the dimensional tolerance can be made rougher than before, the production yield can be improved also in this respect.

【0089】また、圧電振動子の接続部には導電パター
ンと重合しない非重合領域を設けたので、導電パターン
とセグメント外部電極とを接合させる際に、溶けた半田
の余剰部分がこの非重合領域内に逃げる。そして、この
非重合領域内に逃げた余剰の半田には表面張力が働くの
で、この半田はセグメント外部電極上に留まる。従っ
て、圧電振動子のセグメント内部電極と共通内部電極と
が流出した半田によって短絡されてしまう事故が防止さ
れ、生産歩留りの向上が図れる。
Further, since a non-polymerized region which does not overlap with the conductive pattern is provided at the connection portion of the piezoelectric vibrator, an excess portion of the melted solder is removed when joining the conductive pattern and the segment external electrode. Flee inside. The surplus solder that escapes into the non-polymerized region is subjected to surface tension, so that the solder remains on the segment external electrodes. Therefore, it is possible to prevent an accident that the segment internal electrode and the common internal electrode of the piezoelectric vibrator are short-circuited by the leaked solder, thereby improving the production yield.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)は圧電振動子ユニットの斜視図、(b)
は記録ヘッドにおける圧力室付近の拡大図である。
FIG. 1A is a perspective view of a piezoelectric vibrator unit, and FIG.
FIG. 3 is an enlarged view of the vicinity of a pressure chamber in the recording head.

【図2】(a)は圧電振動子ユニットの平面図、(b)
及び(c)はフレキシブルテープの部分拡大図である。
FIG. 2A is a plan view of a piezoelectric vibrator unit, and FIG.
(C) is a partially enlarged view of the flexible tape.

【図3】導電パターンを幅方向に曲げた実施形態におけ
る圧電振動子とフレキシブルテープとの電気的接続部分
を示す図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating an electrical connection portion between a piezoelectric vibrator and a flexible tape in an embodiment in which a conductive pattern is bent in a width direction.

【図4】図3の部分拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view of FIG. 3;

【図5】(a)は圧電振動子とフレキシブルテープとの
電気的接続部分を示す部分拡大断面図であり、(b)は
非重合領域を説明する部分拡大図である。
FIG. 5A is a partially enlarged cross-sectional view illustrating an electrical connection portion between a piezoelectric vibrator and a flexible tape, and FIG. 5B is a partially enlarged view illustrating a non-polymerized region.

【図6】導電パターンをS字状に蛇行させた実施形態に
おける圧電振動子とフレキシブルテープとの電気的接続
部分を示す図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating an electrical connection portion between a piezoelectric vibrator and a flexible tape in an embodiment in which a conductive pattern meanders in an S shape.

【図7】図6の部分拡大図である。FIG. 7 is a partially enlarged view of FIG. 6;

【図8】導電パターンをクランク状に蛇行させた実施形
態の部分拡大図である。
FIG. 8 is a partially enlarged view of the embodiment in which the conductive pattern is meandering in a crank shape.

【図9】膨出部分と狭幅部分とを設けた実施形態におけ
る圧電振動子とフレキシブルテープとの電気的接続部分
を示す図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating an electrical connection portion between a piezoelectric vibrator and a flexible tape in an embodiment in which a bulging portion and a narrow portion are provided.

【図10】図9の部分拡大図である。FIG. 10 is a partially enlarged view of FIG. 9;

【図11】膨出部分と狭幅部分とにより櫛歯状部分を形
成した実施形態の部分拡大図である。
FIG. 11 is a partially enlarged view of an embodiment in which a comb-shaped portion is formed by a bulging portion and a narrow portion.

【図12】櫛歯状部分を形成した他の実施形態の部分拡
大図である。
FIG. 12 is a partially enlarged view of another embodiment in which comb-shaped portions are formed.

【図13】本発明の課題を説明する図であり、(a)は
半田が流出した状態を説明する図、(b)は圧電振動子
の幅と導電パターンの幅との関係を説明する図である。
13A and 13B are diagrams illustrating the problem of the present invention, in which FIG. 13A illustrates a state in which solder has flowed out, and FIG. 13B illustrates a relationship between the width of the piezoelectric vibrator and the width of the conductive pattern. It is.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 圧電振動子ユニット 11 圧電振動子 11a 接続部 12 固定板 13 フレキシブルテープ 14 ダミー振動子 15 振動子群 21 セグメント内部電極 22 共通内部電極 23 圧電体 24 セグメント外部電極 25 共通外部電極 26 導電パターン 26a セグメント電極接続用の導電パターン 26a´ 接続部分 27 半田めっき層 28 スペーサ部材 28A 圧力室 29 弾性シート 30 ノズルプレート 30a ノズル開口 31 傾斜部分 32 視認窓部 33 非重合領域 34 余剰な半田 35 導電パターンにおけるS字状に蛇行させた部分 36 重合領域 37 クランク部 40 膨出部分 41 狭幅部分 W 圧電振動子(セグメント外部電極)の幅 D,DW 導通有効幅(導電パターンの振れ幅,膨出部
分の幅)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Piezoelectric vibrator unit 11 Piezoelectric vibrator 11a Connection part 12 Fixing plate 13 Flexible tape 14 Dummy vibrator 15 Vibrator group 21 Segment internal electrode 22 Common internal electrode 23 Piezoelectric body 24 Segment external electrode 25 Common external electrode 26 Conductive pattern 26a Segment Conductive pattern for electrode connection 26a 'Connection part 27 Solder plating layer 28 Spacer member 28A Pressure chamber 29 Elastic sheet 30 Nozzle plate 30a Nozzle opening 31 Inclined part 32 Viewing window part 33 Non-polymerized area 34 Excess solder 35 S-shaped in conductive pattern Meandering portion 36 overlapping region 37 crank portion 40 bulging portion 41 narrow width portion W width of piezoelectric vibrator (segment external electrode) D, DW Effective conduction width (fluctuation width of conductive pattern, width of bulging portion)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 新保 俊尚 長野県諏訪市大和3丁目3番5号 セイコ ーエプソン株式会社内 Fターム(参考) 2C057 AF93 AG12 AG44 AG48 AG82 AG90 AG92 AG93 AG94 AP02 AP16 AP24 AP77 BA14  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Toshihisa Shinbo 3-3-5 Yamato, Suwa-shi, Nagano F-term in Seiko Epson Corporation (reference) 2C057 AF93 AG12 AG44 AG48 AG82 AG90 AG92 AG93 AG94 AP02 AP16 AP24 AP77 BA14

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一方の極となるセグメント内部電極と他
方の極となる共通内部電極とにより圧電体を挟んで構成
した圧電振動子を櫛歯状に形成すると共に圧電振動子の
一方の側面にフレキシブルテープとの接続部を設け、該
接続部にはセグメント内部電極に導通させたセグメント
外部電極を配置して、半田付けによりフレキシブルテー
プの導電パターンとセグメント外部電極とを接合するよ
うに構成した圧電振動子ユニットにおいて、 前記フレキシブルテープの接続部分における導電パター
ンの導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広く設けると共
に、圧電振動子の接続部には導電パターンと重合しない
非重合領域を設け、 導電パターンの接合時に熔けた半田の余剰分を非重合領
域に逃がすように構成したことを特徴とする圧電振動子
ユニット。
1. A piezoelectric vibrator having a piezoelectric body sandwiched between a segment internal electrode serving as one pole and a common internal electrode serving as the other pole is formed in a comb-like shape, and is provided on one side surface of the piezoelectric vibrator. The piezoelectric tape is provided with a connection portion with a flexible tape, a segment external electrode electrically connected to the segment internal electrode is arranged at the connection portion, and the conductive pattern of the flexible tape and the segment external electrode are joined by soldering. In the vibrator unit, the conductive effective width of the conductive pattern at the connection portion of the flexible tape is provided to be wider than the width of the piezoelectric vibrator, and a non-polymerized region that does not overlap with the conductive pattern is provided at the connection portion of the piezoelectric vibrator. A piezoelectric vibrator unit characterized in that a surplus amount of solder melted at the time of pattern joining is released to a non-polymerized area.
【請求項2】 前記導電パターンのパターン幅を圧電振
動子のセグメント外部電極の幅以下とし、その一部が圧
電振動子からはみ出すように導電パターンを幅方向に曲
げることにより、 導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電
振動子の接続部に非重合領域を形成するようにしたこと
を特徴とする請求項1に記載の圧電振動子ユニット。
2. The conductive effective width is set to be smaller than the width of the segment external electrode of the piezoelectric vibrator by bending the conductive pattern in the width direction so that a part thereof protrudes from the piezoelectric vibrator. 2. The piezoelectric vibrator unit according to claim 1, wherein a width of the vibrator is larger than a width of the vibrator and a non-overlapping region is formed at a connecting portion of the piezoelectric vibrator.
【請求項3】 前記導電パターンのパターン幅を圧電振
動子のセグメント外部電極の幅以下とし、導電パターン
の一側の縁が圧電振動子の一側の縁に対して斜めに交差
する傾斜部分を導電パターンに含ませることにより、 導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電
振動子の接続部に非重合領域を形成するようにしたこと
を特徴とする請求項1に記載の圧電振動子ユニット。
3. The pattern width of the conductive pattern is set to be equal to or less than the width of the segment external electrode of the piezoelectric vibrator, and an inclined portion where one edge of the conductive pattern obliquely intersects one edge of the piezoelectric vibrator is provided. 2. The piezoelectric device according to claim 1, wherein the effective width of conduction is made larger than the width of the piezoelectric vibrator and a non-overlapping region is formed at a connection portion of the piezoelectric vibrator by being included in the conductive pattern. Transducer unit.
【請求項4】 前記圧電振動子の幅よりも大きな振幅と
なるように導電パターンを蛇行させることにより、 導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電
振動子の接続部に非重合領域を形成するようにしたこと
を特徴とする請求項1に記載の圧電振動子ユニット。
4. The conductive pattern is meandered so as to have an amplitude larger than the width of the piezoelectric vibrator, so that the effective conduction width is larger than the width of the piezoelectric vibrator, and the connection portion of the piezoelectric vibrator is non-polymerized. The piezoelectric vibrator unit according to claim 1, wherein the region is formed.
【請求項5】 前記圧電振動子の幅よりも大きな振幅の
うねりとなるように導電パターンを蛇行させたことを特
徴とする請求項4に記載の圧電振動子ユニット。
5. The piezoelectric vibrator unit according to claim 4, wherein the conductive pattern is meandered so as to have undulation having an amplitude larger than the width of the piezoelectric vibrator.
【請求項6】 前記圧電振動子の幅よりも大きな振幅と
なるように導電パターンをクランク状に蛇行させたこと
を特徴とする請求項4に記載の圧電振動子ユニット。
6. The piezoelectric vibrator unit according to claim 4, wherein the conductive pattern is meandering in a crank shape so as to have an amplitude larger than the width of the piezoelectric vibrator.
【請求項7】 圧電振動子の幅よりも広幅の膨出部分
と、圧電振動子の幅よりも狭い狭幅部分とを前記導電パ
ターンに含ませることにより、 導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電
振動子の接続部に非重合領域を形成するようにしたこと
を特徴とする請求項1に記載の圧電振動子ユニット。
7. A conductive effective width is reduced by including a bulged portion wider than the width of the piezoelectric vibrator and a narrow portion narrower than the width of the piezoelectric vibrator in the conductive pattern. 2. The piezoelectric vibrator unit according to claim 1, wherein the non-overlapping region is formed at a connection portion of the piezoelectric vibrator.
【請求項8】 膨出部分の幅方向中央と狭幅部分の幅方
向中央とを同列上に配置した状態で膨出部分と狭幅部分
とを交互に配置したことを特徴とする請求項7に記載の
圧電振動子ユニット。
8. The swelling portion and the narrow portion are alternately arranged in a state where the center in the width direction of the swelling portion and the center in the width direction of the narrow portion are arranged on the same row. 4. The piezoelectric vibrator unit according to item 1.
【請求項9】 隣り合う膨出部分同士の幅方向一端部を
狭幅部分で電気的に接続して櫛歯状部分を構成したこと
を特徴とする請求項7に記載の圧電振動子ユニット。
9. The piezoelectric vibrator unit according to claim 7, wherein one end in the width direction between adjacent bulging portions is electrically connected to each other at a narrow width portion to form a comb-like portion.
【請求項10】 狭幅部分の幅方向他端縁から膨出部分
の幅方向他端縁までの長さを圧電振動子の幅よりも長く
設定し、 狭幅部分の他端縁から膨出部分の他端縁までの範囲に存
在する膨出部分の歯状部にて圧電振動子の接続部と導電
パターンとを接合可能に構成したことを特徴とする請求
項9に記載の圧電振動子ユニット。
10. The length from the other end in the width direction of the narrow portion to the other end in the width direction of the bulging portion is set to be longer than the width of the piezoelectric vibrator, and bulging from the other end edge of the narrow portion. The piezoelectric vibrator according to claim 9, wherein the connection portion of the piezoelectric vibrator and the conductive pattern are configured to be connectable at the tooth portion of the bulging portion existing in a range up to the other end edge of the portion. unit.
【請求項11】 前記圧電振動子を、セグメント内部電
極と共通内部電極とを圧電体を挟んで交互に積層するこ
とにより構成したことを特徴とする請求項1から請求項
10の何れかに記載の圧電振動子ユニット。
11. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the segmented internal electrodes and the common internal electrodes are alternately laminated with a piezoelectric body interposed therebetween. Piezoelectric vibrator unit.
【請求項12】 一部が弾性シートによって区画される
と共にノズル開口に連通した圧力室と、 該弾性シートに当接した請求項1から請求項11の何れ
かに記載の圧電振動子ユニットとを備え、 圧電振動子ユニットを構成する圧電振動子の変形を弾性
シートに伝えることにより、圧力室内に充填されたイン
ク圧力を変化させ、 このインク圧力の変化を利用してノズル開口からインク
滴を吐出させるように構成したことを特徴とするインク
ジェット式記録ヘッド。
12. A pressure chamber partly partitioned by an elastic sheet and communicating with a nozzle opening, and the piezoelectric vibrator unit according to claim 1 contacting the elastic sheet. By transmitting the deformation of the piezoelectric vibrator constituting the piezoelectric vibrator unit to the elastic sheet, the pressure of the ink filled in the pressure chamber is changed, and the ink droplet is ejected from the nozzle opening by utilizing the change of the ink pressure. An ink jet recording head, characterized in that the ink jet recording head is configured to be driven.
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