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JP2000112109A - 露光装置の動きア―ティファクトの補正 - Google Patents

露光装置の動きア―ティファクトの補正

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JP2000112109A
JP2000112109A JP27973699A JP27973699A JP2000112109A JP 2000112109 A JP2000112109 A JP 2000112109A JP 27973699 A JP27973699 A JP 27973699A JP 27973699 A JP27973699 A JP 27973699A JP 2000112109 A JP2000112109 A JP 2000112109A
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JP
Japan
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encoder
image
substrate
drive circuit
spatial light
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JP27973699A
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English (en)
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Frank J Moizio
ジェイ.モイジオ フランク
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Texas Instruments Inc
Original Assignee
Texas Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 フォトフィニッシング装置における画像アー
ティファクトをなくす。 【解決手段】 印刷画像における空間バンディング・ア
ーティファクトを補正する装置及び方法。この装置は、
光源と、空間光変調器と、キャリア上の基板を搬送し、
空間光変調器がその基板上に画像を形成させることがで
きるようにする搬送装置と、キャリアに取付けられ、そ
の動きを検出する第1のエンコーダ(26)と、搬送装
置の駆動回路(34)に取付けられ、駆動回路(34)
のオペレーションを検出する第2のエンコーダ(36)
と、第1のエンコーダから情報を受信し、空間光変調器
のオペレーションを調節する第1の回路(20)と、第
2のエンコーダから信号を受信し、基板の動きを調整す
るように駆動回路のオペレーションを調節する第2の回
路(30)とを含み、画像のアーティファクトをなく
す。この装置を確証する方法も開示される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はスキャナーを用いる
露光装置に関し、更に特定して言えば、搬送装置を有す
る、前述の様な装置に関連する。
【0002】
【従来の技術及びその課題】従来のフォトフィニッシン
グ装置は、画像を印画紙に転写するためにスキャニング
装置を用いる。典型的に、スキャニング装置は1度に画
像の1ライン又は1画素を書く。その後、搬送装置が紙
又はその他の基板を移動させ、スキャニング装置は次の
ラインを書く。しかし、スキャニング装置と搬送装置
は、従来、互いに別々に作動する。このことにより画像
にアーティファクトが生じることがある。
【0003】最も一般的なアーティファクトは、「バン
ディング」と呼ばれるものである。これは、最終的な画
像の位置が、意図しない色調又はグレイの濃淡のバンド
を含むように、誤って配置されることによって起こる。
画像の個々のライン及び画素構成要素は、基板上では、
以前に配置されていた画像のライン又は画素構成要素に
関する適切な位置には配置されていない。これにより、
動きアーティファクトとして知られている、望ましくな
い色調及び又は強度の変動が生じる。所望の最終画像を
生成するために、最終的な画像の組み立てには、異なる
色調及び強度を表わすライン又は画素構成要素のそれぞ
れを正確に配置することが要求される。ライン及び画素
構成要素の繰り返しは、基板上の同じ場所で生じるべき
であるが、必ずしも同時に生じるとは限らない。ライン
又は画素構成要素間のレジストレーションが正確でない
場合、特定のライン又は画素構成要素が基板の上に作像
される回数間の時間経過ではなく、この位置オーバーラ
ップの不正確さが、バンディング・アーティファクトを
生じさせる。
【0004】画像レジストレーションは、スキャナーの
動きが搬送装置の動きと合わないときうまくゆかない。
人間の目は、空間周波数が0.05サイクル/mmから1サイ
クル/mmのとき、バンディング・アーティファクトを最
も容易に検出する。これらは空間周波数誤差であり、或
る周波数での基板の動きの何らかの乱れによって生じ
る。
【0005】例えば、スキャナーではなく、基板に特有
の、10 Hzの、即ち、毎秒10回起こる乱れは、8インチ/
秒のスピードを有する装置の画像では、0.05サイクル/
mmの空間バンディング・アーティファクトとなる。この
計算は以下の通りである:
【0006】
【数1】
【0007】この種のバンディング・アーティファクト
は、搬送装置及びスキャナーの個別の制御に関連する双
方のDC速度の不正確さに因ることが典型的である。こ
れらの装置のそれぞれの制御は、特定のDC及びAC位
置と、フィードバック・トランスデューサ、フィードバ
ック・トランスデューサの誤差、モータの誤差(コギン
グ又はトルク・リップル)、及び駆動トレイン(trai
n)公差の誤差に関連する機械的公差などの多くの要因
によるスピード誤差とを含み得る。
【0008】従って、画像露光装置のためのスキャニン
グ装置と搬送装置の速度(rate)をより一層近づけ、バ
ンディングなどの画像アーティファクトをなくす方法が
必要とされている。
【0009】
【課題を達成するための手段及び作用】本発明の1つの
側面は、空間光変調器によってつくられる画像の動き
と、その上に画像が作像される基板の動きとを調整する
フォトフィニッシング装置である。この装置は基板を動
かす搬送装置を有し、エンコーダ・ホイールがその搬送
装置のキャリアに取付けられる。エンコーダ・ホイール
は、キャリアの位置に従って信号を生成する。第2のエ
ンコーダが搬送装置の駆動モータに取付けられ、駆動回
路の制御に従って第2の信号を生成する。2つの個別の
回路を用い、これらの信号に基づいて装置のオペレーシ
ョンを調節する。
【0010】本発明の利点は、バンディング・アーティ
ファクトのない一層高品質な画像を生成する点である。
本発明の更なる利点は、画像品質を改善するため2つの
回路の内のいずれか一方を用いることができる、又はこ
れらを同時に用いることができる点である。
【0011】
【実施例】本発明及びその利点をより完全に理解するた
め、添付の図面に関連して、以下の詳細な説明を参照す
る。
【0012】印刷の用途に空間光変調器を用いることに
より、以前用いられていたものとは全く異なる、フォト
フィニッシングのための印刷工程が考慮される。典型的
なフォトフィニッシング装置は、画像を印画紙又は他の
基板にライン毎にラスタ式スキャニングするレーザ・ス
キャニング装置を用いる。空間光変調器は、各素子が画
像の画素に対応する様な素子のアレイを有しており、全
てのラインを同時に露光する。
【0013】説明のため、反射性の空間光変調器を想定
する。しかし、本発明が、反射性空間光変調器に限定さ
れることは何ら意図していない。フォトフィニッシング
基板に画像を形成することの可能な、個別にアドレス指
定可能な画素の任意のアレイに本発明を用いることがで
きる。更に、この例のフォトフィニッシング基板は感光
紙である。しかし、任意の種類のフォトフィニッシング
基板が、空間光変調器からの画像を受けることも可能で
ある。
【0014】本発明の一実施例に従ったフォトフィニッ
シング装置10を図1に示す。説明のため、この装置1
0の制御は、画像装置制御ループ20と、搬送装置制御
ループ30との2つの個別の部分に分けられている。
【0015】概して、画像装置制御ループ20は、搬送
ベルト52の動きと空間光変調器(SLM)18による
画像の生成との間の調整された制御を提供する。コード
・ホイール・センサ、即ち、エンコーダ、26は、搬送
ベルト52の動きを検出する。説明のため、コード・ホ
イール・センサをエンコーダと呼ぶ。位置又は速度情報
を提供する任意の種類のトランスデューサがエンコーダ
である。画像制御装置は、ベルト表面位置信号を受取
り、それと共に幾つかのオペレーションを行い、SLM
18のオペレーションを制御する。
【0016】第1のオペレーションは、エンコーダ誤差
補正回路12でエンコーダ誤差を補正する。エンコーダ
誤差は、エンコーダ・ホイール自体の偏心に関する問題
によって起こる。これは典型的に、ホイールの不完全な
センタリングに起因し、これにより、ホイールがわずか
に楕円に回転する。この誤差は、ローラによってつくら
れる信号パルスを、時間期間にわたって広げるか、所望
であるよりも時間的に互いに近接して生じるようにし、
このため、搬送の位置に関し不正確な情報が提供され
る。
【0017】エンコーダ偏心誤差は、もし取除かれなけ
れば、印刷領域上で、画像の画素にわたって誤差を累積
する。画素は重なり、基板が移動する方向である処理方
向に、バンディングの縞をつくる。エンコーダの偏心に
よるバンディングの量は、エンコーダの台だけでなく、
実際のエンコーダ自体の品質にも依る。この偏心は、電
子的補正又は費用のかさむ機械的搭載技術を介して最小
化されなければならない。
【0018】補償回路14の閉ループ・オペレーション
は、エンコーダから発生する高周波ノイズをなくす。こ
れは、入力信号にローパス・フィルタリングを行って高
周波ノイズを除く。初期化時に、高速デジタル・カウン
タ16はプリセット値を有しており、これは、SLM1
8を作動させるために生成される出力信号に変換され
る。プリセット値はエンコーダ・ホイール26からのパ
ルスの数を決定し、これにより、動き制御信号がSLM
18を作動させ、それによって、印刷の次のラインを作
像する。
【0019】この信号指令SLM18は、搬送装置30
の搬送ベルト52上の基板の位置と、SLM18によっ
てつくられる画像との間の関係を制御して、適切なレジ
ストレーションを維持する。エンコーダ解像度(エンコ
ーダ出力信号のビット数)は11ビット(2048コード)で
ある。所望の画像解像度は360 dpi(dot per inch)で
ある。エンコーダ・ホイールが取付けられているローラ
は直径2インチである。入力周波数は、画像制御装置に
よってエンコーダから受取る周波数であり、出力周波数
は制御装置によって生成され、エンコーダ偏心は、誤差
が生じた空間周波数に等しい。所定のエンコーダ解像度
(2048)、所望の画像解像度(360 dpi)、及びエンコ
ーダ・ホイール直径(2インチ)において、SLMを搬
送の位置決めに用いることを可能にするために必要な関
係を以下の表に示す。
【0020】
【表1】
【0021】上述の表は、エンコーダ出力からSLM入
力への非整数倍率を提供するという、制御ループの主な
機能も示す。
【0022】制御ループ機能は、ローパス・フィルタリ
ング、及び最小位相損失で約300 Hzの閉ループ・バンド
幅も提供しなくてはならない。この制御ループ機能は、
米国特許出願番号08/899,969、発明の名称「デジタル解
像度変換」に示した技術及び装置で達成され得るが、こ
の実施例にのみに限定はされない。
【0023】本発明は、任意の所定の搬送の画像レジス
トレーション精度を改善させ、画像のレジストレーショ
ン精度を維持したままで、搬送装置の公称作動スピード
から一層よいスピード誤差を可能にする。本発明の利点
を図2のグラフに示す。グラフに示されている様に、本
発明のこの実施例により、10から200 Hzの周波数レンジ
で起こる搬送乱れにおいて著しい性能利点が得られる。
8インチ/秒の搬送スピードで、この周波数レンジは、
0.05サイクル/mmから1サイクル/mmとも表わされ得
る。バンディング画像誤差の人の知覚の最大値は、0.5
サイクル/mmから1サイクル/mmとなることが研究によ
り判っている。本発明のこの実施例により、搬送誤差
を、及び、それによって、人間が知覚する臨界周波数レ
ンジの画像バンディング誤差を著しく少なくすることが
できる。
【0024】1つ注目すべきことは、この装置は、その
上に基板が乗る搬送ベルト52などの或る種のキャリア
を有するとされていることである。ウェブ供給プリンタ
などの幾つかの用途では、搬送ベルト52、即ち、キャ
リアと基板は1つであるか同一である。本発明の目的の
ため、キャリアは、搬送ベルト或いはウェブ供給基板と
呼ぶ。
【0025】上述の画像制御装置20は、米国特許出願
番号60/070,128に詳細に開示された同様の装置に関し、
多くの類似点を有する。しかし、キャリアの動きを及び
それによって基板の動きを基板の作像と調整する任意の
種類の画像制御装置を、本発明を実施するために用いる
ことが可能である。実際は、画像制御装置20と搬送制
御装置30は、図示する様に共に組込まれていてもよ
く、別々に組込まれてもよい。
【0026】搬送制御装置30は、上述したものに類似
する技術を用いる。しかし、全般的に、搬送制御装置
は、搬送装置のスピードを調節し、実際のスピードをフ
ィードバック・ループで所望のスピードと比較すること
によって、所望のスピードにより一層近くなるようにす
る。
【0027】エンコーダ・センサ・ホイール36は実際
のスピードを測定する。その後、この信号は2つのロー
パス・フィルタを通る。第1のローパス・フィルタ44
は速度フィードバック信号を生成し、これは生成された
他の信号から減算される。エンコーダ・センサ・ホイー
ル36からの信号は、第2のローパス・フィルタ38を
通り、ユーザ・インタフェース28で提供されるベロシ
ティ信号から生成され、54で生成された位置指令から
減算される。その後、補償回路40が補償信号を生成
し、これは、速度フィードバック信号をそれから減算さ
せる。
【0028】その後、第2の補償回路48は、位置補償
信号を速度補償信号に変換する。速度補償信号は、この
時点まではデジタル信号であるが、この後、46でアナ
ログ信号に変換されなければならない。その結果のアナ
ログ信号はその後、モータ電流制御50によって用いら
れ、モータを制御する。その結果、キャリアの実際のス
ピードを所望のスピードにより一層近づけるように、搬
送装置駆動モータが調節される。
【0029】上述の様に、これらの制御装置のいずれか
1つを共に又は別々に用いて、フォトフィニッシング装
置の画像品質を改善させる。更に、図面のブロックは別
々の機能回路として示されているが、これらの全ての機
能は、1つの回路又は1つのプロセッサに含まれていて
もよい。本発明の実施例に対していかなる制限も意図し
ておらず、又、暗示もしていない。
【0030】この様に、フォトフィニッシング制御装置
の方法及び構造の特定の実施例がこれまでに説明された
が、添付の特許請求の範囲に記載されたことを除いて、
この様な特定の参照例が本発明の範囲を制約するものと
解してはならない。
【0031】以上の説明に関して更に次の項を開示す
る。 (1) 改良された制御を備えるフォトフィニッシング
装置であって、光源と、前記光源から印刷画像への光を
変調する空間光変調器と、キャリアの上の基板を前記空
間光変調器を通り過ぎて搬送し、前記基板が前記印刷画
像を受信するようにする搬送装置と、前記キャリアに取
付けられ、前記キャリアの動きを検出し、画像位置信号
を生成することが可能な第1のエンコーダ・センサと、
前記搬送装置の駆動回路に取付けられ、前記駆動回路の
オペレーションを検出し、モータ制御信号を生成するこ
とが可能な第2のエンコーダ・センサと、前記基板の位
置と所望の解像度とに基づいて、前記空間光変調器が前
記印刷画像を変調するように、前記画像位置信号を受信
し、前記空間光変調器のオペレーションを調節すること
が可能な第1の回路と、前記モータ制御信号を受信し、
前記基板の動きを前記印刷画像の前記変調と調整するよ
うに前記駆動回路のオペレーションを調節することが可
能な第2の回路と、を含むフォトフィニッシング装置。
【0032】(2) フォトフィニッシング画像のレジ
ストレーションを改良する方法であって、搬送装置の印
刷基板を搬送するキャリアに第1のエンコーダを取付
け、前記搬送装置の駆動回路に第2のエンコーダを取付
け、前記第1のエンコーダから画像位置信号を生成し、
前記第2のエンコーダから動き制御信号を生成し、前記
第1のエンコーダから前記画像位置信号を受信し、空間
光変調器に関連する前記印刷基板の位置に基づいて前記
空間光変調器のオペレーションを調節し、前記第2のエ
ンコーダから前記動き制御信号を受信し、前記駆動回路
の制御を前記基板の位置と調整するように前記駆動回路
のオペレーションを調節し、前記空間光変調器で光を変
調し、前記基板上に印刷画像を生成させる工程を含む方
法。
【0033】(3) 印刷画像における空間バンディン
グ・アーティファクトを補正する装置及び方法。この装
置は、光源と、空間光変調器と、キャリア上の基板を搬
送し、空間光変調器がその基板上に画像を形成させるこ
とができるようにする搬送装置と、キャリアに取付けら
れ、その動きを検出する第1のエンコーダ26と、搬送
装置の駆動回路34に取付けられ、駆動回路34のオペ
レーションを検出する第2のエンコーダ36と、第1の
エンコーダから情報を受信し、空間光変調器のオペレー
ションを調節する第1の回路20と、第2のエンコーダ
から信号を受信し、基板の動きを調整するように駆動回
路のオペレーションを調節する第2の回路30とを含
み、画像のアーティファクトをなくす。この装置を確証
する方法も開示される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の略ブロック図。
【図2】本発明の利点を示すグラフ。
【符号の説明】
20 第1の回路 26 第1のエンコーダ 30 第2の回路 34 駆動回路 36 第2のエンコーダ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 改良された制御を備えるフォトフィニッ
    シング装置であって、 光源と、 前記光源から印刷画像への光を変調する空間光変調器
    と、 キャリアの上の基板を前記空間光変調器を通り過ぎて搬
    送し、前記基板が前記印刷画像を受信するようにする搬
    送装置と、 前記キャリアに取付けられ、前記キャリアの動きを検出
    し、画像位置信号を生成することが可能な第1のエンコ
    ーダ・センサと、 前記搬送装置の駆動回路に取付けられ、前記駆動回路の
    オペレーションを検出し、モータ制御信号を生成するこ
    とが可能な第2のエンコーダ・センサと、 前記基板の位置と所望の解像度とに基づいて、前記空間
    光変調器が前記印刷画像を変調するように、前記画像位
    置信号を受信し、前記空間光変調器のオペレーションを
    調節することが可能な第1の回路と、 前記モータ制御信号を受信し、前記基板の動きを前記印
    刷画像の前記変調と調整するように前記駆動回路のオペ
    レーションを調節することが可能な第2の回路と、を含
    むフォトフィニッシング装置。
  2. 【請求項2】 フォトフィニッシング画像のレジストレ
    ーションを改良する方法であって、 搬送装置の印刷基板を搬送するキャリアに第1のエンコ
    ーダを取付け、 前記搬送装置の駆動回路に第2のエンコーダを取付け、 前記第1のエンコーダから画像位置信号を生成し、 前記第2のエンコーダから動き制御信号を生成し、 前記第1のエンコーダから前記画像位置信号を受信し、
    空間光変調器に関連する前記印刷基板の位置に基づいて
    前記空間光変調器のオペレーションを調節し、 前記第2のエンコーダから前記動き制御信号を受信し、
    前記駆動回路の制御を前記基板の位置と調整するように
    前記駆動回路のオペレーションを調節し、 前記空間光変調器で光を変調し、前記基板上に印刷画像
    を生成させる工程を含む方法。
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