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JP2000040782A - Lead cutting method and mold used for the method - Google Patents

Lead cutting method and mold used for the method

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JP2000040782A
JP2000040782A JP20881098A JP20881098A JP2000040782A JP 2000040782 A JP2000040782 A JP 2000040782A JP 20881098 A JP20881098 A JP 20881098A JP 20881098 A JP20881098 A JP 20881098A JP 2000040782 A JP2000040782 A JP 2000040782A
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JP
Japan
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lead
cutting
cut
external force
mold
Prior art date
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Application number
JP20881098A
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Japanese (ja)
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Inventor
Atsuhiko Taguchi
温彦 田口
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Hitachi Ltd
Akita Electronics Systems Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Akita Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Publication of JP2000040782A publication Critical patent/JP2000040782A/en
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 リード切断に起因する切断片付着による歩留
り低下を防止する。 【解決手段】 一部に封止体を有するリードフレームの
前記封止体から突出するリードを金型に設けられた複数
の加工ステーションのうちの切断ステーションのダイと
パンチの切断動作によって切断するリード切断方法であ
って、前記リードの切断による切断片が隣接する加工ス
テーション領域や外方に飛散しないように飛散防止体を
配置するとともに、外力付加手段によって切断片となる
前記リード部分に落下方向の外力をリード切断と同時ま
たは切断の前からもしくは切断後に作用させて前記切断
片を前記飛散防止体を乗り越えて飛散しないように下方
に落下させる。前記飛散防止体の内側に跳ね上がり防止
体を配置し、前記ダイとパンチによるリード切断後の切
断片の上方への跳ね上がりを防止する。跳ね上がり防止
体に気体吹付機構による外力付加手段が組み込まれてい
る。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To prevent a decrease in yield due to adhesion of cut pieces caused by lead cutting. SOLUTION: A lead for cutting a lead projecting from the sealing body of a lead frame partially having a sealing body by a cutting operation of a die and a punch of a cutting station of a plurality of processing stations provided in a mold. In a cutting method, a scattering prevention member is arranged so that a cut piece obtained by cutting the lead does not scatter to an adjacent processing station area or to the outside, and a fall direction is applied to the lead portion to be a cut piece by external force applying means. An external force is applied simultaneously with, before, or after cutting the lead, and the cut piece is dropped downward so as not to be scattered over the scattering prevention body. A splash prevention body is disposed inside the scattering prevention body to prevent the cut piece after the lead cutting by the die and the punch from jumping upward. External force applying means by a gas blowing mechanism is incorporated in the bounce-preventing body.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置製造にお
けるリード切断方法およびその方法に用いられる金型に
関し、特に樹脂封止型半導体装置の製造におけるリード
を切断する技術に適用して有効な技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for cutting leads in the manufacture of semiconductor devices and a mold used in the method, and more particularly to a technique effective when applied to a technique for cutting leads in the manufacture of a resin-sealed semiconductor device. .

【0002】[0002]

【従来の技術】IC(集積回路装置)等の半導体装置に
おいて、半導体チップやワイヤ等を樹脂製の封止体(パ
ッケージ)によって封止する構造が知られている。
2. Description of the Related Art In a semiconductor device such as an IC (integrated circuit device), a structure is known in which a semiconductor chip, a wire, and the like are sealed with a sealing member (package) made of resin.

【0003】樹脂封止型半導体装置は、その製造におい
てリードフレームが使用される。半導体チップの固定お
よびワイヤボンディングが終了したリードフレームは、
トランスファモールド装置によってモールドが行われ
る。この結果、前記半導体チップやワイヤ等は樹脂(レ
ジン)による封止体で被われる。
[0003] A lead frame is used in the production of a resin-sealed semiconductor device. The lead frame after fixing the semiconductor chip and wire bonding is
Molding is performed by a transfer molding apparatus. As a result, the semiconductor chips, wires, and the like are covered with a sealing body made of resin (resin).

【0004】また、その後、前記パッケージから食み出
したレジンバリや不要樹脂体部分の除去、リードを連結
するタイバー(ダム)の切断除去,前記半導体チップが
固定されるタブを支持するタブ吊りリードの切断,リー
ド切断,リード成形等が行われ、所望の半導体装置が製
造される。
[0004] Thereafter, resin burrs and unnecessary resin portions protruding from the package are removed, tie bars (dams) connecting the leads are cut off, and tab suspension leads for supporting tabs to which the semiconductor chips are fixed are provided. Cutting, lead cutting, lead molding, and the like are performed, and a desired semiconductor device is manufactured.

【0005】日経BP社発行「VLSIパッケージング
技術(下)」1993年5月15日発行、P41〜P50には、バ
リ取り, ダム切断, リード切断, リード成形等の技術に
ついて記載されている。
[0005] "VLSI packaging technology (lower)" published by Nikkei BP, published on May 15, 1993, P41 to P50, describes technologies such as deburring, dam cutting, lead cutting, and lead molding.

【0006】また、樹脂封止型半導体装置の製造におい
て、封止体内に気泡(ボイド) を発生させないようにす
るため、モールド金型にオーバランナ,ダミーキャビテ
ィ,フローキャビティ等の樹脂溜まりを設け、空気を多
く含む樹脂流の先端部分を前記オーバランナ,ダミーキ
ャビティ,フローキャビティ等に案内するようになって
いる。これらのキャビティで硬化した樹脂体も不要樹脂
部分として切断除去される。
In the manufacture of a resin-encapsulated semiconductor device, a resin reservoir such as an overrunner, a dummy cavity, or a flow cavity is provided in a mold to prevent air bubbles (voids) from being generated in the encapsulant. Is guided to the overrunner, the dummy cavity, the flow cavity and the like. The resin bodies cured in these cavities are also cut and removed as unnecessary resin portions.

【0007】トランスファモールド後のリード切断や成
形を行う装置として、たとえば、株式会社「アピック山
田」の切断成形装置〔型式CH555〕が知られてい
る。この切断成形装置は、リードフレームの移送方向に
沿って、第1プレスと第2プレスが配置され、第1プレ
スではプレスシリンダーの一回の動作でフローキャビテ
ィ樹脂カット,ダム切断,エアーベント樹脂カットが行
われ、第2プレスではプレスシリンダーの一回の動作で
リード切断,リード成形,リード寸法規定カット,タブ
吊りリード切断が行われ、半導体装置が製造される。
[0007] As a device for cutting and molding leads after transfer molding, for example, a cutting molding device [model CH555] of "Apic Yamada" is known. In this cutting and forming apparatus, a first press and a second press are arranged along a transfer direction of a lead frame. In the first press, flow cavity resin cutting, dam cutting, and air vent resin cutting are performed by a single operation of a press cylinder. In the second press, lead cutting, lead forming, lead size regulation cutting, and tab suspension lead cutting are performed in a single operation of the press cylinder, and a semiconductor device is manufactured.

【0008】また、特願平8-153626号公報には、トラン
スファモールド時にリード間に発生した樹脂部分(レジ
ンバリ)の脱落および再付着に起因して、パッケージや
パッケージ内の半導体チップにクラックが発生したり、
リード変形を引き起こす旨記載されている。
Further, Japanese Patent Application No. 8-153626 discloses that cracks occur in a package or a semiconductor chip in a package due to the detachment and reattachment of a resin portion (resin burr) generated between leads during transfer molding. Or
It is described that lead deformation is caused.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】切断工程で発生する不
良の中で一番問題となるのが、加工面に切断片(切断
屑)が飛散する切断片付着である。品質的な問題とし
て、切断片付着が起こると、半導体装置のリード構造と
して種々あるが、その中で表面実装に適したリード形状
としてガルウィング形が知られている。このガルウィン
グ形の半導体装置の製造においては、トランスファモー
ルド後、不要樹脂硬化部分の切断除去やダムの切断を行
い、リードをリードフレームの枠部分から切断し、その
後リードをガルウィング形に成形し、ついでリード寸法
を規定するためにリードの先端を再び切断(カット)す
る手法が採用されている。
The most problematic defect occurring in the cutting process is the adhesion of cut pieces (cut chips) scattered on the processed surface. As a quality problem, when a piece is attached, there are various lead structures of a semiconductor device. Among them, a gull wing shape is known as a lead shape suitable for surface mounting. In the manufacture of this gull-wing type semiconductor device, after transfer molding, cutting and removing unnecessary resin cured portions and cutting of dams are performed, the leads are cut from the frame portion of the lead frame, and then the leads are formed into gull-wing shapes. In order to define the dimensions of the lead, a method of cutting (cutting) the tip of the lead again has been adopted.

【0010】このリード寸法規定カットにおいて、切断
された切断片は、周囲に飛散しながらその自重による落
下と、集塵機による真空吸引によって下方に設けられた
屑入れ部に回収される。
In this lead size-specified cut, the cut pieces are scattered around and fall by their own weight, and are collected by a dust collector provided below by vacuum suction by a dust collector.

【0011】しかし、ダイとパンチによるリード切断に
よって発生する切断片は、リード切断後の再切断である
ことから短く、側方に飛散したものの一部は、切断時に
加わる力の方向によっては斜め上方に飛散して隣接する
加工ステーションのリードフレーム部分上やパッケージ
上に付着するものもある。
However, a cut piece generated by cutting the lead by the die and the punch is short because it is a re-cut after the lead is cut, and a part of the piece scattered to the side is obliquely upward depending on the direction of the force applied at the time of cutting. Some of them are scattered and adhere to the lead frame portion of the adjacent processing station or to the package.

【0012】図12は従来の切断成形装置の一部の模式
図であり、右から左にかけて、リード成形(ガルウィン
グ形)A,リード寸法規定カット(リード定寸カット)
B,タブ吊りリード切断(タブ吊りカット)Cの部分を
示すものである。
FIG. 12 is a schematic diagram of a part of a conventional cutting and forming apparatus. From right to left, lead forming (gull wing type) A, lead size prescribed cut (lead fixed size cut).
B shows a portion of a tab suspension lead cut (tab suspension cut) C.

【0013】同図において、下型のリード成形ダイ38
とリード寸法規定カットダイ39との間およびリード寸
法規定カットダイ39とタブ吊りリード切断ダイ40と
の間にはスペーサ80が介在されている。このスペーサ
80は各加工ステーションの寸法間隔の調整用に配置さ
れてものであり、その背の高さは同図のように低く、リ
ードフレーム30との間に比較的広い隙間が発生する。
In FIG. 1, a lower lead forming die 38 is provided.
A spacer 80 is interposed between the lead size defining die 39 and the lead size defining die 39 and the tab hanging lead cutting die 40. The spacer 80 is arranged for adjusting the dimensional interval of each processing station. The height of the spacer 80 is low as shown in the figure, and a relatively large gap is generated between the spacer 80 and the lead frame 30.

【0014】上型のストリッププレート52の降下によ
ってリードフレーム30は下型との間にクランプされ、
その後のパンチホルダ51(上型プレート)の降下によ
るリード成形パンチ58,リード寸法規定カットパンチ
59,タブ吊りリード切断パンチ60の降下によって、
リード成形(ガルウィング形),リード寸法規定カッ
ト,タブ吊りリード切断が行われる。
The lead frame 30 is clamped between the lower die by the lowering of the upper die plate 52,
Thereafter, the lead forming punch 58, the lead size defining cut punch 59, and the tab suspension lead cutting punch 60 due to the lowering of the punch holder 51 (upper die plate) are lowered.
Lead molding (gull wing type), lead size regulation cut, and tab suspension lead cutting are performed.

【0015】この際、リード寸法規定カットで発生した
切断片71は、同図に示すようにスペーサ80の上の隙
間から、隣接する加工ステーション領域に進入し、切断
片71がパッケージ2やリード3等のリードフレーム3
0上に付着することがある。
At this time, the cut piece 71 generated by the lead size prescribed cut enters the adjacent processing station area from the gap above the spacer 80 as shown in FIG. Etc. lead frame 3
It may adhere to zero.

【0016】この切断片付着は、前述のようなパッケー
ジクラック,半導体チップクラック,リード曲がりの原
因になる。すなわち、リード寸法規定カットステーショ
ンの前のステーションはリード成形ステーションであ
り、後のステーションはタブ吊りリード切断ステーショ
ンである。特に、リード成形では、パッケージ上に切断
片が付着するとパッケージが金型によって保持されるた
めパッケージクラックや半導体チップクラックの発生原
因になる。また、リード上に切断片が付着するとリード
成形時に切断片と一緒に成形が行われるため、リード曲
がりやリードピッチ不良が発生しやすくなる。
The adhesion of the cut pieces causes package cracks, semiconductor chip cracks and lead bending as described above. That is, the station before the lead size defining cut station is a lead forming station, and the subsequent station is a tab hanging lead cutting station. In particular, in the case of lead molding, if a cut piece adheres to a package, the package is held by a mold, which causes a package crack or a semiconductor chip crack. Further, if the cut piece adheres to the lead, the lead piece is formed together with the cut piece at the time of forming the lead, so that the lead bend and the lead pitch defect are likely to occur.

【0017】クラック発生は、製品の致命的なダメージ
になり、救済の措置がとれず廃棄することになり、歩留
りの低下から半導体装置のコストの上昇を招く。また、
リード曲がりやリードピッチ不良は修正に手間隙が掛か
りコストの高騰を招くとともに、修正ができない場合に
は歩留りの低下を引き起こすことになる。
[0017] The occurrence of cracks causes fatal damage to the product, which means that the product cannot be remedied and is discarded, resulting in a decrease in yield and an increase in the cost of the semiconductor device. Also,
If the lead is bent or the lead pitch is defective, it takes time to repair it, which leads to an increase in cost. If the lead cannot be repaired, the yield decreases.

【0018】本発明の目的は、リード切断に起因する切
断片付着による歩留り低下を防止できるリード切断方法
およびその方法に用いられる金型を提供することにあ
る。
An object of the present invention is to provide a lead cutting method capable of preventing a decrease in yield due to adhesion of cut pieces caused by lead cutting, and a die used for the method.

【0019】本発明の前記ならびにそのほかの目的と新
規な特徴は、本明細書の記述および添付図面からあきら
かになるであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
The following is a brief description of an outline of typical inventions disclosed in the present application.

【0021】(1)一部に封止体を有するリードフレー
ムの前記封止体から突出するリードを金型に設けられた
複数の加工ステーションのうちの切断ステーションのダ
イとパンチによって切断するリード切断方法であって、
前記リードの切断による切断片が隣接する加工ステーシ
ョン領域に飛散しないように飛散防止体を配置するとと
もに、外力付加手段によって切断片となる前記リード部
分に落下方向の外力をリード切断と同時または切断の前
からもしくは切断後に作用させて前記切断片を前記飛散
防止体を乗り越えて飛散しないように下方に落下させ
る。前記飛散防止体の内側に跳ね上がり防止体を配置
し、前記ダイとパンチによるリード切断後の切断片の上
方への跳ね上がりを防止する。前記跳ね上がり防止体に
前記外力付加手段を組み込み、前記切断片の跳ね上がり
を防止するとともに前記切断片をリード切断と同時に下
方に落下させる。
(1) Lead cutting in which a lead projecting from the sealing body of a lead frame having a sealing body is partially cut by a die and a punch of a cutting station among a plurality of processing stations provided in a mold. The method
The scatter prevention member is arranged so that the cut piece due to the cutting of the lead does not scatter to the adjacent processing station area, and the external force in the drop direction is applied to the lead portion serving as the cut piece by external force applying means at the same time as the lead cutting or during the cutting. Acting before or after cutting, the cut pieces are dropped downward so as not to be scattered over the scatter prevention body. A splash prevention body is disposed inside the scattering prevention body to prevent the cut piece after the lead cutting by the die and the punch from jumping upward. The external force applying means is incorporated in the bounce-preventing body to prevent the cut piece from jumping and drop the cut piece downward simultaneously with the cutting of the lead.

【0022】このようなリード切断方法においては、つ
ぎのような金型が使用される。
In such a lead cutting method, the following mold is used.

【0023】一部に封止体を有するリードフレームの前
記封止体から突出するリードを金型に設けられた複数の
加工ステーションのうちの切断ステーションのダイとパ
ンチによって切断する金型であって、前記リードの切断
による切断片が隣接する加工ステーション領域に飛散し
ないように隣接する加工ステーション領域との間に配置
された飛散防止体と、前記ダイとパンチによるリード切
断後の切断片の上方への跳ね上がりを防止する前記飛散
防止体の内側に配置された跳ね上がり防止体とを有す
る。前記切断片となるリード部分に落下方向の外力をリ
ード切断時以降から加える外力付加手段とを有する。前
記外力付加手段は前記切断片となるリード部分に気体を
吹き付けるノズルを有する気体吹付機構で構成されてい
る。前記跳ね上がり防止体にノズルが組み込まれて前記
気体吹付機構が構成されている。
A die for cutting a lead projecting from the sealing body of a lead frame partially having a sealing body by a die and a punch of a cutting station among a plurality of processing stations provided in the die. An anti-scattering body disposed between an adjacent processing station area so that a cut piece resulting from the cutting of the lead does not scatter to an adjacent processing station area, and upward of the cut piece after the lead is cut by the die and the punch. And a jump-preventing body disposed inside the scattering-preventing body for preventing the jump-up. External force applying means for applying an external force in a drop direction to the lead portion serving as the cut piece from the time of cutting the lead. The external force applying means is constituted by a gas blowing mechanism having a nozzle for blowing gas to a lead portion serving as the cut piece. A nozzle is incorporated in the bounce-preventing body to constitute the gas blowing mechanism.

【0024】(2)前記手段(1)の構成において、前
記外力付加手段は前記パンチが固定されかつ昇降する上
型プレートに固定された外力付加体を有するとともに、
前記上型プレートの相対的な降下によるリード切断時点
以降から前記リードに外力を付加するように構成されて
いる。
(2) In the configuration of the means (1), the external force applying means includes an external force applying body fixed to the upper die plate on which the punch is fixed and which moves up and down.
An external force is applied to the lead from the time of cutting the lead due to the relative drop of the upper die plate.

【0025】(3)前記手段(1)の構成において、前
記外力付加手段は前記上型プレートに固定された前記外
力付加体を有するとともに、前記外力付加体は前記パン
チをガイドするパンチガイドに固定された前記跳ね上が
り防止体に貫通状態で取り付けられた構成になってい
る。
(3) In the configuration of the means (1), the external force applying means has the external force applying body fixed to the upper die plate, and the external force applying body is fixed to a punch guide for guiding the punch. It is configured to be attached in a penetrating state to the jump-up preventing body.

【0026】前記(1)の手段によれば、(a)隣接す
る加工ステーション領域との間に飛散防止体が配設され
ていることから、切断されて発生した切断片は周囲に飛
散しても前記飛散防止体に遮られて隣接する加工ステー
ション領域に入らなくなり、隣接する加工ステーション
での加工において前記切断片の付着に起因するパッケー
ジ,半導体チップ,リードの破損変形が発生しなくな
る。
According to the means (1), (a) since the scattering prevention member is provided between the adjacent processing station areas, the cut pieces generated by cutting are scattered around. This also prevents the scatter prevention body from entering the adjacent processing station area, and prevents the package, semiconductor chip, and lead from being damaged and deformed due to the adhesion of the cut pieces in the processing at the adjacent processing station.

【0027】(b)前記飛散防止体の内側には、跳ね上
がり防止体が設けられていることから、リード切断によ
って発生した切断片は上方に跳ね上がっても前記跳ね上
がり防止体によって上方への飛散は防止できるため、前
記飛散防止体を乗り越えて隣接する加工ステーション領
域に切断片が入ることがなく、隣接する加工ステーショ
ンでの加工において前記切断片の付着に起因するパッケ
ージ,半導体チップ,リードの破損変形が発生しなくな
る。
(B) Since the splash preventing body is provided inside the splash preventing body, even if the cut piece generated by the lead cutting jumps upward, the cut-off preventing body prevents the cut piece from scattering upward. As a result, the cut piece does not enter the adjacent processing station area over the scattering prevention body, and breakage deformation of the package, the semiconductor chip, and the lead caused by the adhesion of the cut piece in the processing at the adjacent processing station. No longer occurs.

【0028】(c)前記跳ね上がり防止体には気体吹付
機構が組み込まれている。したがって、この気体吹付機
構のノズルから前記切断片となるリード部分に気体を吹
き付けることにより、切断された切断片は下方に落下
し、隣接する加工ステーション領域には進入しなくな
る。気体の吹き付けは常時であってもよく、切断に同期
させるようにしてもよい。
(C) A gas blowing mechanism is incorporated in the splash preventing body. Therefore, by blowing gas from the nozzle of the gas blowing mechanism to the lead portion serving as the cut piece, the cut piece falls down and does not enter the adjacent processing station area. The gas may be blown at all times, or may be synchronized with the cutting.

【0029】前記(2)の手段によれば、前記切断片の
落下を、パンチが固定される昇降する上型プレートに固
定された外力付加体で行うことができ、前記手段(1)
の構成の場合と同様に隣接する加工ステーション領域へ
の切断片の飛散を防止することができる。
According to the means (2), the cut piece can be dropped by the external force applying member fixed to the upper die plate to which the punch is fixed, and the means (1)
As in the case of the configuration described above, it is possible to prevent the cut pieces from scattering to the adjacent processing station area.

【0030】前記(3)の手段によれば、前記切断片の
落下を、前記上型プレートに固定されかつパンチガイド
に固定された跳ね上がり防止体を貫通する外力付加体で
行うことができ、前記手段(1)の構成の場合と同様に
隣接する加工ステーション領域への切断片の飛散を防止
することができる。
According to the above-mentioned means (3), the cut piece can be dropped by the external force applying member that penetrates the splash prevention member fixed to the upper die plate and fixed to the punch guide. As in the case of the configuration of the means (1), it is possible to prevent the cut pieces from scattering to the adjacent processing station area.

【0031】[0031]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。なお、発明の実施の形態を
説明するための全図において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In all the drawings for describing the embodiments of the present invention, components having the same functions are denoted by the same reference numerals, and their repeated description will be omitted.

【0032】(実施形態1)本実施形態1では樹脂封止
型半導体装置の製造におけるトランスファモールド後の
リード寸法規定カットに本発明を適用した例について説
明する。
(Embodiment 1) In Embodiment 1, an example in which the present invention is applied to a lead size regulation cut after transfer molding in the manufacture of a resin-sealed semiconductor device will be described.

【0033】本実施形態1のリード切断(リード寸法規
定カット)、とその後の加工によって製造された半導体
装置は、図9のような外観形状になる。
The semiconductor device manufactured by the lead cutting (lead size defining cut) and the subsequent processing according to the first embodiment has an external shape as shown in FIG.

【0034】樹脂封止型の半導体装置1は、偏平長方形
の封止体(パッケージ)2の両側からそれぞれ複数のリ
ード3を突出させている。これらリード3は一定ピッチ
で突出するとともにガルウィング形に成形されている。
In the resin-sealed semiconductor device 1, a plurality of leads 3 are projected from both sides of a flat rectangular sealing body (package) 2, respectively. These leads 3 project at a constant pitch and are formed in a gull wing shape.

【0035】このような半導体装置1は、リードフレー
ムのタブ(支持部)部分に半導体チップを固定した後、
前記半導体チップの各電極とリードの内端を導電性のワ
イヤで接続し、その後トランスファモールドによって前
記半導体チップやワイヤならびにリードの内端部分を絶
縁性の樹脂で覆いパッケージ(封止体)を形成し、つい
でリード表面の半田メッキ、さらには切断成形装置によ
る不要なリードフレーム部分等の除去やリードの成形等
の加工処理によって製造される。
In such a semiconductor device 1, after a semiconductor chip is fixed to a tab (support portion) of a lead frame,
Each electrode of the semiconductor chip is connected to the inner end of the lead with a conductive wire, and then the inner end of the semiconductor chip, the wire, and the lead are covered with an insulating resin by transfer molding to form a package (sealed body). Then, it is manufactured by processing such as solder plating on the surface of the lead, removal of unnecessary lead frame portions and the like by a cutting and forming apparatus, and molding of the lead.

【0036】図2は本実施形態1の金型を組み込んだ切
断成形装置10を示す模式的正面図である。切断成形装
置10は、機台11上に支持部12を介して支持される
第1プレス13とその左側に位置する第2プレス14が
支持されている。
FIG. 2 is a schematic front view showing the cutting and forming apparatus 10 incorporating the mold of the first embodiment. In the cutting and forming apparatus 10, a first press 13 supported on a machine base 11 via a support portion 12 and a second press 14 located on the left side thereof are supported.

【0037】前記第1プレス13および第2プレス14
は同一構成になり、前記支持部12上にシリンダ15が
固定されている。このシリンダ15のロッドは前記支持
部12を貫通して下方に延在し、そのロッドの先端は金
型16を構成する上型17に固定されるようになってい
る。なお、前記ロッド部分は蛇腹18によって覆われ、
異物の付着が防止されている。
The first press 13 and the second press 14
Have the same configuration, and a cylinder 15 is fixed on the support portion 12. The rod of the cylinder 15 extends downward through the support portion 12, and the tip of the rod is fixed to an upper mold 17 constituting a mold 16. The rod portion is covered with a bellows 18,
Foreign matter is prevented from adhering.

【0038】また、前記第1プレス13および第2プレ
ス14の下側の前記機台11上には、金型16を構成す
る下型19を取り付けるテーブル20が配置されてい
る。このテーブル20の下には、前記下型19で発生す
る切断片等の屑を収容する屑収容箱21が設けられてい
る。この屑収容箱21には前記機台11内に配置される
集塵機22に連なるパイプ23がそれぞれ接続され、前
記集塵機22の駆動によって前記下型19で発生した切
断片等の屑を強制的に下方に吸い出し、下方の屑収容箱
21内に収容するようになっている。
On the machine base 11 below the first press 13 and the second press 14, a table 20 for mounting a lower mold 19 constituting the mold 16 is arranged. Below the table 20, there is provided a waste storage box 21 for storing waste such as cut pieces generated in the lower mold 19. Pipes 23 connected to a dust collector 22 disposed in the machine base 11 are connected to the dust storage box 21, and the dust such as cut pieces generated in the lower mold 19 by the driving of the dust collector 22 is forced downward. And housed in the lower dust storage box 21.

【0039】一方、直列に並ぶ2台の下型19上には、
リードフレームを案内するガイドレール24が配置され
ている。また、機台11の右端上方側にはリードフレー
ム搬送機25が配設されている。このリードフレーム搬
送機25は、リードフレーム搬送機25のリードフレー
ムピックアップ26によって、下方のマガジン27に収
容されたリードフレームを一枚ずつ前記ガイドレール2
4上に移送し、かつ間欠的にリードフレームを移送する
ようになっている。
On the other hand, on two lower dies 19 arranged in series,
A guide rail 24 for guiding the lead frame is arranged. A lead frame transporter 25 is disposed above the right end of the machine base 11. The lead frame transporter 25 uses the lead frame pickup 26 of the lead frame transporter 25 to separate the lead frames accommodated in the lower magazine 27 one by one into the guide rails 2.
4 and intermittently transport the lead frame.

【0040】他方、前記機台11の左端上方側には前記
第2プレス14で不要になったリードフレームを回収す
るアンローダ28が配設されている。
On the other hand, an unloader 28 is disposed above the left end of the machine base 11 to collect lead frames that are no longer needed by the second press 14.

【0041】このような切断成形装置10においては、
ガイドレール24上を右から左に亘ってリードフレーム
がピッチ送りされ、前記第1プレス13ではシリンダ1
5の一回の動作でフローキャビティ樹脂カット,ダム切
断,エアーベント樹脂カットが行われ、第2プレス14
ではシリンダ15の一回の動作でリード切断,リード成
形,リード寸法規定カット,タブ吊りリード切断が行わ
れ、半導体装置が製造される。
In such a cutting and forming apparatus 10,
The lead frame is pitch-fed from right to left on the guide rail 24. In the first press 13, the cylinder 1
5, a flow cavity resin cut, a dam cut, and an air vent resin cut are performed in one operation.
In a single operation of the cylinder 15, lead cutting, lead molding, lead size regulation cutting, and tab suspension lead cutting are performed, and a semiconductor device is manufactured.

【0042】図8に示すリードフレーム30は、第1プ
レス13での加工が終了したものであり、フローキャビ
ティ部分で硬化した樹脂のカット,ダムの切断,エアー
ベント部分で硬化した樹脂のカットが行われた平面図で
ある。リードフレーム30は短冊状となっているが、こ
の図では単位リードフレーム部分を示す。
The lead frame 30 shown in FIG. 8 is one in which processing by the first press 13 has been completed. Cutting of the resin cured in the flow cavity portion, cutting of the dam, and cutting of the resin cured in the air vent portion are performed. It is a plan view performed. Although the lead frame 30 has a strip shape, this drawing shows a unit lead frame portion.

【0043】リードフレーム30は一対の平行になる外
枠31と、これら外枠31を連結する内枠32とによっ
て矩形の枠を構成し、両側の内枠32の内側から外枠3
1に平行にリード3を突出させた形状となっている。図
では枠の中央部分にパッケージ2が位置している。ま
た、外枠31の張出部分からは細いタブ吊りリード33
が2本突出している。このタブ吊りリード33は、図示
はしないがパッケージ2内に延在して半導体チップを支
持するタブに連結されてタブを支持するようになってい
る。なお、外枠31に設けられた孔34はリードフレー
ム30の搬送時や位置決めに使用されるガイド孔であ
る。
The lead frame 30 comprises a pair of parallel outer frames 31 and an inner frame 32 connecting the outer frames 31 to form a rectangular frame.
1 has a shape in which the lead 3 is projected in parallel. In the figure, the package 2 is located at the center of the frame. In addition, a thin tab suspension lead 33 extends from the overhang portion of the outer frame 31.
Are projected two. Although not shown, the tab suspension leads 33 extend into the package 2 and are connected to tabs that support the semiconductor chip to support the tabs. The holes 34 provided in the outer frame 31 are guide holes used for transporting and positioning the lead frame 30.

【0044】第2プレス14の金型16(上型17,下
型19)の断面図を図3に示す。図4は下型19の平面
図、図5は上型17の底面図、図6は下型19の一部を
示す模式図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of the mold 16 (the upper mold 17 and the lower mold 19) of the second press 14. 4 is a plan view of the lower mold 19, FIG. 5 is a bottom view of the upper mold 17, and FIG.

【0045】下型19は、矩形のダイベッド35を有
し、このダイベッド35上の中央に沿ってダイ枠36が
載置固定されるようになっている。このダイ枠36は組
み合わせ構造体となり、右から左に向かってリード切断
ダイ37,リード成形ダイ38,リード寸法規定カット
ダイ39,タブ吊りリード切断ダイ40が配置固定され
ている。これらリード切断ダイ37,リード成形ダイ3
8,リード寸法規定カットダイ39,タブ吊りリード切
断ダイ40上にはフィードプレート41が位置する。フ
ィードプレート41の両縁部分は前記ガイドレール24
に摺動自在に支持されている。また、ダイベッド35の
4隅には支柱42が立った状態で固定されている。
The lower mold 19 has a rectangular die bed 35, and a die frame 36 is mounted and fixed along the center of the die bed 35. The die frame 36 is a combined structure, and a lead cutting die 37, a lead forming die 38, a lead size defining cut die 39, and a tab hanging lead cutting die 40 are arranged and fixed from right to left. These lead cutting die 37 and lead forming die 3
8, a feed plate 41 is located on the lead size defining cut die 39 and the tab hanging lead cutting die 40. Both edges of the feed plate 41 are connected to the guide rails 24.
Slidably supported by In addition, columns 42 are fixed to the four corners of the die bed 35 in a standing state.

【0046】上型17は、前記下型19のダイベッド3
5と略同一寸法のパンチホルダ45を有している。この
パンチホルダ45は前記ダイベッド35に固定された支
柱42が摺動自在に嵌合する摺動穴46を有し、上型1
7の設定時には前記支柱42が摺動穴46に挿入され
る。前記パンチホルダ45上には、シャンクホルダー4
7が固定されている。このシャンクホルダー47には、
前記シリンダ15から突出するロッド(シャンク)48
の先端が固定される。
The upper mold 17 is a die bed 3 of the lower mold 19.
5 has a punch holder 45 having substantially the same dimensions as the punch holder 45. The punch holder 45 has a sliding hole 46 into which the column 42 fixed to the die bed 35 is slidably fitted.
At the time of setting 7, the column 42 is inserted into the sliding hole 46. On the punch holder 45, a shank holder 4
7 is fixed. In this shank holder 47,
Rod (shank) 48 projecting from the cylinder 15
Is fixed.

【0047】前記パンチホルダ45の下にはバッキング
プレート50を介してパンチホルダ51(上型プレー
ト)が固定されている。また、前記パンチホルダ51の
下にはストリッププレート52が位置している。このス
トリッププレート52は支柱53によって懸架されてい
る。
Under the punch holder 45, a punch holder 51 (upper plate) is fixed via a backing plate 50. A strip plate 52 is located below the punch holder 51. This strip plate 52 is suspended by columns 53.

【0048】前記ストリッププレート52は前記ダイ枠
36と同様に組み合わせ構造体となり、右から左に向か
ってリード切断パンチ57,リード成形パンチ58,リ
ード寸法規定カットパンチ59,タブ吊りリード切断パ
ンチ60が配置固定されている。ストリッププレート5
2は、上型17の下降によって下降し、下型19との間
にリードフレーム30を弾力的に挟む、そして更なるロ
ッド48の下降によってパンチホルダ51に固定された
パンチ部分が降下して、下のダイとの間でそれぞれの加
工を行うようになっている。
The strip plate 52 has a combined structure like the die frame 36, and includes a lead cutting punch 57, a lead forming punch 58, a lead size defining cut punch 59, and a tab suspension lead cutting punch 60 from right to left. The arrangement is fixed. Strip plate 5
2 is lowered by the lowering of the upper die 17, elastically sandwiches the lead frame 30 with the lower die 19, and the further lowering of the rod 48 lowers the punch portion fixed to the punch holder 51, Each processing is performed with the lower die.

【0049】このような金型16においては、リードフ
レーム30のピッチ送りと、プレス動作によって、リー
ド切断,リード成形(ガルウィング形),リード寸法規
定カット(リード定寸カット),タブ吊りリード切断
(タブ吊りカット)が順次行われ、タブ吊りリード切断
ステーションでは、リードフレーム30からタブ吊りリ
ード切断によってリードフレーム30から離れて落下し
た半導体装置1がシュートに案内されて矢印に示す側方
に移動して所定のマガジンに収容される。
In such a die 16, lead cutting, lead forming (gull wing type), lead size prescribed cut (lead fixed size cut), tab suspension lead cutting (lead cutting) by pitch feed of the lead frame 30 and press operation. The tab hanging lead cutting station is sequentially performed, and in the tab hanging lead cutting station, the semiconductor device 1 that has fallen away from the lead frame 30 by cutting the tab hanging lead from the lead frame 30 is guided by the chute and moves to the side indicated by the arrow. In a predetermined magazine.

【0050】図7は第2プレス14における各加工ステ
ーションでのリードフレーム30を示す平面図であり、
右から左にガルウィング形にリードを成形した状態A,
リード寸法を規定するカットを行った状態B,タブ吊り
リードを切断した状態Cを示し、図1は模式的断面図で
ある。
FIG. 7 is a plan view showing the lead frame 30 at each processing station in the second press 14.
State A with gull wing shaped leads from right to left
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a state B in which cuts for defining lead dimensions are performed and a state C in which tab suspension leads are cut.

【0051】本実施形態1では、リード寸法規定カット
ステーション(リード切断ステーション)の前後の隣接
する加工ステーション、すなわちリード成形ステーショ
ンとタブ吊りリード切断ステーションとの間に飛散防止
体70が配置されている。この飛散防止体70は、たと
えば、従来配置されているスペーサの背の高さを高くし
てなるものである。この飛散防止体70の存在によって
リード寸法規定カットダイ39とリード寸法規定カット
パンチ59による切断によって発生した切断片71は、
周囲に飛散してもこの飛散防止体70に当たって反射し
かつ下方に落下する。この際、前記集塵機22の駆動に
よる強制排気により、切断片71は下方に落下する。
In the first embodiment, the scattering prevention member 70 is arranged between adjacent processing stations before and after the lead size defining cut station (lead cutting station), that is, between the lead forming station and the tab hanging lead cutting station. . The scattering prevention body 70 is obtained by, for example, increasing the height of a conventionally arranged spacer. Due to the presence of the scattering prevention member 70, the cut piece 71 generated by cutting by the lead size defining cut die 39 and the lead size defining cut punch 59 is
Even if it scatters around, it collides with this scatter prevention body 70 and is reflected and falls downward. At this time, the cut pieces 71 fall downward due to the forced exhaust by the driving of the dust collector 22.

【0052】しかし、前記飛散防止体70は、その上方
をリードフレーム30が移動することから、その上面は
リードフレーム30に接触しない程度に低くしなければ
ならない。そして、この隙間を通って前記切断片71が
前記飛散防止体70を乗り越えて隣接する加工ステーシ
ョン領域に進入しないように、本実施形態1では、リー
ド寸法規定カットによって発生した切断片71が、前記
飛散防止体70の内側に設けられている。
However, since the lead frame 30 moves above the scattering prevention member 70, the upper surface thereof must be low enough not to contact the lead frame 30. In the first embodiment, the cut piece 71 generated by the lead size prescribed cut is used to prevent the cut piece 71 from passing over the scattering prevention body 70 and entering the adjacent processing station area through this gap. It is provided inside the scattering prevention body 70.

【0053】前記飛散防止体70は、下型19のダイ枠
36に組み込まれて固定されている。また、跳ね上がり
防止体72は、前記ストリッププレート52に固定され
ている。
The anti-scattering body 70 is incorporated and fixed in the die frame 36 of the lower mold 19. Further, the jump-up preventing body 72 is fixed to the strip plate 52.

【0054】跳ね上がり防止体72の突出長さは、スト
リッププレート52が降下してリードフレーム30を下
型19との間でクランプした状態で、リード成形による
切断部分のリードに接触しない程度の0.5mm以下程
度の隙間を有するようになっている。これは、パッケー
ジ2から突出したガルウィング形状のリード3の先端を
押し下げると、リード3が弓なり状に変形し、リード寸
法規定カット位置がずれて、規格に合わなくなるからで
ある。リード3に跳ね上がり防止体72の下端が接触し
ても弓なり状の変形を来さない状態ならばよい。この隙
間の寸法はリードフレームの厚さのバラツキ等をも勘案
して決定すればよい。
The projecting length of the bounce-preventing body 72 is set to a value such that the strip plate 52 is lowered and the lead frame 30 is clamped between the lower die 19 and does not come into contact with the lead of the cut portion formed by the lead molding. It has a gap of about 5 mm or less. This is because, when the tip of the gull-wing-shaped lead 3 protruding from the package 2 is pushed down, the lead 3 is deformed in an arcuate shape, and the cut position of the lead dimension defining cut is displaced, so that it does not conform to the standard. What is necessary is just to be in a state in which even if the lower end of the jump-up preventing body 72 contacts the lead 3, the bow-shaped deformation does not occur. The size of the gap may be determined in consideration of variations in the thickness of the lead frame.

【0055】また、本実施形態1では、外力付加手段が
設けられている。この外力付加手段は、リード切断と同
時または切断の前からもしくは切断後に作用させて前記
切断片71を前記飛散防止体70を乗り越えて飛散しな
いように下方に落下させるものである。機械的構造と空
気圧を利用した構造が考えられる。本実施形態1では空
気圧を利用した構造が採用されている。
In the first embodiment, external force applying means is provided. The external force applying means acts at the same time as the lead cutting or before or after the cutting to drop the cut piece 71 downward so as not to fly over the scattering prevention body 70. A mechanical structure and a structure using air pressure are conceivable. In the first embodiment, a structure using air pressure is employed.

【0056】すなわち、前記跳ね上がり防止体72の下
端に開口部を有するノズル73が跳ね上がり防止体72
に設けられている。このノズル73からは気体、たとえ
ば空気が噴射されるようになっている。前記ノズル73
および図示しない空気圧送部をも含めて気体吹付機構が
構成され、外力付加手段が構成されている。
That is, the nozzle 73 having an opening at the lower end of the splash preventing body 72 is
It is provided in. A gas, for example, air is injected from the nozzle 73. The nozzle 73
A gas blowing mechanism including an air pressure feeding unit (not shown) is configured, and an external force applying unit is configured.

【0057】この気体吹付機構による空気圧によって、
リード寸法規定カットダイ39とリード寸法規定カット
パンチ59によって切断されて発生した切断片71は、
下方に落下する。リード3の弓なりの変形を起こさせな
い状態ならば、空気の噴射はリード切断の前からでもよ
い。
By the air pressure by this gas blowing mechanism,
The cut piece 71 generated by cutting by the lead size defining cut die 39 and the lead size defining cut punch 59 is:
Fall down. If the bow of the lead 3 is not caused to deform, the air may be injected before the lead is cut.

【0058】本実施形態1によれば以下の効果が得られ
る。
According to the first embodiment, the following effects can be obtained.

【0059】(1)本発明のリード切断方法および金型
によれば、リード寸法規定カットステーションにおいて
は、隣接する加工ステーション領域(リード成形ステー
ションおよびタブ吊りリード切断ステーション)との間
に飛散防止体70が配設されていることから、切断され
て発生した切断片71は周囲に飛散しても前記飛散防止
体70に遮られて隣接する加工ステーション領域に入ら
なくなり、隣接する加工ステーションでの加工において
前記切断片71の付着に起因するパッケージ,半導体チ
ップ,リードの破損変形が発生しなくなる。
(1) According to the lead cutting method and the metal mold of the present invention, in the lead size defining cut station, a scattering prevention member is provided between adjacent processing station areas (lead forming station and tab hanging lead cutting station). Since the cut pieces 70 are provided, even if the cut pieces 71 generated by cutting are scattered to the surroundings, the cut pieces 71 are blocked by the scattering prevention member 70 and do not enter the adjacent processing station area, and the processing at the adjacent processing station is performed. In this case, breakage and deformation of the package, the semiconductor chip, and the lead due to the adhesion of the cutting piece 71 do not occur.

【0060】(2)前記飛散防止体70の内側には、跳
ね上がり防止体72が設けられていることから、リード
切断によって発生した切断片71は上方に跳ね上がって
も前記跳ね上がり防止体72によって上方への飛散は防
止できるため、前記飛散防止体70を乗り越えて隣接す
る加工ステーション領域に切断片71が入ることがな
く、隣接する加工ステーションでの加工において前記切
断片71の付着に起因するパッケージ,半導体チップ,
リードの破損変形が発生しなくなる。
(2) Since the splash preventing body 72 is provided inside the scattering preventing body 70, even if the cut piece 71 generated by the lead cutting jumps upward, it is moved upward by the splash preventing body 72. Can be prevented, so that the cut pieces 71 do not enter the adjacent processing station area over the anti-scattering body 70, and the package, semiconductor, and the like caused by the adhesion of the cut pieces 71 in the processing at the adjacent processing station. Chip,
No breakage or deformation of the lead occurs.

【0061】(3)前記跳ね上がり防止体72には気体
吹付機構が組み込まれている。したがって、この気体吹
付機構のノズル73から前記切断片となるリード部分に
空気を吹き付けることにより、切断された切断片71は
下方に落下し、隣接する加工ステーション領域には進入
しなくなる。
(3) A gas blowing mechanism is incorporated in the splash prevention body 72. Therefore, by blowing air from the nozzle 73 of the gas blowing mechanism to the lead portion serving as the cut piece, the cut piece 71 falls downward and does not enter the adjacent processing station area.

【0062】(4)前記(1)〜(3)により、リード
寸法規定カットの際発生する切断片71に起因するパッ
ケージ,半導体チップ,リードの破損変形が発生しなく
なり、品質の向上,製造歩留りの向上が達成できる。
(4) Due to the above (1) to (3), breakage and deformation of the package, the semiconductor chip and the lead caused by the cut piece 71 generated at the time of cutting the lead dimensions are eliminated, so that the quality is improved and the production yield is improved. Can be improved.

【0063】(実施形態2)図10は本発明の他の実施
形態(実施形態2)による金型の一部とリード切断方法
を示す模式図である。本実施形態2は、前記実施形態1
において、前記外力付加手段は前記リード寸法規定カッ
トパンチ59が固定されかつ昇降する上型プレート(パ
ンチホルダ51)に固定された外力付加体81を有する
とともに、前記パンチホルダ51の相対的な降下による
リード切断時点以降から前記リード3に外力を付加する
ように構成されている。
(Embodiment 2) FIG. 10 is a schematic view showing a part of a mold and a lead cutting method according to another embodiment (Embodiment 2) of the present invention. The second embodiment is different from the first embodiment.
In the above, the external force applying means includes an external force applying body 81 to which the lead size defining cut punch 59 is fixed and which is fixed to an upper die plate (punch holder 51) which moves up and down, and which is driven by a relative drop of the punch holder 51. An external force is applied to the lead 3 after the lead is cut.

【0064】本実施形態2によれば、前記切断片71の
落下を、リード寸法規定カットパンチ59が固定される
昇降するパンチホルダ51に固定された外力付加体で行
うことができ、前記実施形態1の構成の場合と同様に隣
接する加工ステーション領域への切断片71の飛散を防
止することができる。
According to the second embodiment, the cut piece 71 can be dropped by the external force applying member fixed to the vertically moving punch holder 51 to which the lead size defining cut punch 59 is fixed. As in the case of the first configuration, it is possible to prevent the cut pieces 71 from scattering to the adjacent processing station area.

【0065】(実施形態3)図11は本発明の他の実施
形態(実施形態3)による金型の一部とリード切断方法
を示す模式図である。本実施形態3は、前記実施形態1
において、前記外力付加手段は前記上型プレート(パン
チホルダ51)に固定された前記外力付加体81を有す
るとともに、前記外力付加体81は前記リード寸法規定
カットパンチ59をガイドするパンチガイド(ストリッ
ププレート52)に固定された前記跳ね上がり防止体7
2に貫通状態で取り付けられた構成になっている。
(Embodiment 3) FIG. 11 is a schematic diagram showing a part of a mold and a lead cutting method according to another embodiment (Embodiment 3) of the present invention. The third embodiment is similar to the first embodiment.
In the above, the external force applying means has the external force applying body 81 fixed to the upper die plate (punch holder 51), and the external force applying body 81 is a punch guide (strip plate) for guiding the lead size defining cut punch 59. 52) The bouncing prevention member 7 fixed to
2 is attached in a penetrating state.

【0066】本実施形態3の手段によれば、前記切断片
71の落下を、前記上型プレート(パンチホルダ51)
に固定されかつパンチガイド(ストリッププレート5
2)に固定された跳ね上がり防止体72を貫通する外力
付加体81で行うことができ、前記実施形態1の場合と
同様に隣接する加工ステーション領域への切断片71の
飛散を防止することができる。
According to the means of the third embodiment, the falling of the cut piece 71 is determined by the upper die plate (punch holder 51).
And a punch guide (strip plate 5)
This can be performed by the external force applying body 81 penetrating the jump-up preventing body 72 fixed in 2), and the scattering of the cut pieces 71 to the adjacent processing station area can be prevented as in the case of the first embodiment. .

【0067】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
Although the invention made by the inventor has been specifically described based on the embodiment, the invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the invention. Needless to say.

【0068】[0068]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
The effects obtained by the representative ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.

【0069】(1)リード寸法規定カットステーション
においては、隣接する加工ステーション領域との間に飛
散防止体が配設されていることから、切断されて発生し
た切断片は周囲に飛散しても前記飛散防止体に遮られて
隣接する加工ステーション領域に入らなくなり、隣接す
る加工ステーションでの加工において前記切断片の付着
に起因するパッケージ,半導体チップ,リードの破損変
形が発生しなくなり、半導体装置の品質の向上と、歩留
り向上による製造コストの低減が達成することができ
る。
(1) In the lead size defining cut station, since the scattering prevention member is provided between the adjacent processing station areas, the cut pieces generated by cutting are scattered around. It is blocked by the shatterproof body so that it does not enter the adjacent processing station area, and in the processing at the adjacent processing station, breakage and deformation of the package, semiconductor chip and lead due to the adhesion of the cut pieces do not occur, and the quality of the semiconductor device is reduced. , And a reduction in manufacturing cost due to an improvement in yield can be achieved.

【0070】(2)前記飛散防止体の内側には、跳ね上
がり防止体が設けられていることから、リード切断によ
って発生した切断片は上方に跳ね上がっても前記跳ね上
がり防止体によって上方への飛散は防止できるため、前
記飛散防止体を乗り越えて隣接する加工ステーション領
域に切断片が入ることがなく、隣接する加工ステーショ
ンでの加工において前記切断片の付着に起因するパッケ
ージ,半導体チップ,リードの破損変形が発生しなくな
り、半導体装置の品質の向上と、歩留り向上による製造
コストの低減が達成することができる。
(2) Since the splash preventing body is provided inside the splash preventing body, even if the cut piece generated by the lead cutting jumps upward, it is prevented from flying upward by the splash preventing body. As a result, the cut piece does not enter the adjacent processing station area over the scattering prevention body, and breakage deformation of the package, the semiconductor chip, and the lead caused by the adhesion of the cut piece in the processing at the adjacent processing station. No longer occurs, so that the quality of the semiconductor device can be improved and the manufacturing cost can be reduced by improving the yield.

【0071】(c)前記跳ね上がり防止体には気体吹付
機構が組み込まれている。したがって、この気体吹付機
構のノズルから前記切断片となるリード部分に気体を吹
き付けることにより、切断された切断片は下方に落下
し、隣接する加工ステーション領域には進入しなくな
り、半導体装置の品質の向上と、歩留り向上による製造
コストの低減が達成することができる。
(C) A gas blowing mechanism is incorporated in the splash preventing body. Therefore, by blowing gas from the nozzle of the gas blowing mechanism to the lead portion serving as the cut piece, the cut piece falls down and does not enter the adjacent processing station area, and the quality of the semiconductor device is reduced. Improvement and reduction in manufacturing cost due to improvement in yield can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態(実施形態1)である金型
の一部とリード切断方法を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic view showing a part of a mold and a lead cutting method according to an embodiment (Embodiment 1) of the present invention.

【図2】本実施形態1のリード切断方法を行う切断成形
装置を示す模式的斜視図である。
FIG. 2 is a schematic perspective view showing a cutting and forming apparatus for performing the lead cutting method of the first embodiment.

【図3】本実施形態1の金型を示す模式的断面図であ
る。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing a mold according to the first embodiment.

【図4】前記金型における下型を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a lower die in the die.

【図5】前記金型における上型を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing an upper mold in the mold.

【図6】前記下金型を示す模式的平面図である。FIG. 6 is a schematic plan view showing the lower mold.

【図7】前記下金型上のリードフレームを示す模式的平
面図である。
FIG. 7 is a schematic plan view showing a lead frame on the lower mold.

【図8】ダム切断が終了した時点でのリードフレームを
示す平面図である。
FIG. 8 is a plan view showing the lead frame when dam cutting is completed.

【図9】本実施形態1のリード切断方法およびその後の
加工によって製造された半導体装置の斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view of a semiconductor device manufactured by the lead cutting method and the subsequent processing according to the first embodiment.

【図10】本発明の他の実施形態(実施形態2)による
金型の一部とリード切断方法を示す模式図である。
FIG. 10 is a schematic view showing a part of a mold and a lead cutting method according to another embodiment (Embodiment 2) of the present invention.

【図11】本発明の他の実施形態(実施形態3)による
金型の一部とリード切断方法を示す模式図である。
FIG. 11 is a schematic view showing a part of a mold and a lead cutting method according to another embodiment (Embodiment 3) of the present invention.

【図12】従来の金型の一部とリード切断方法を示す模
式図である。
FIG. 12 is a schematic view showing a part of a conventional mold and a method of cutting leads.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…半導体装置、2…封止体(パッケージ)、3…リー
ド、10…切断成形装置、11…機台、12…支持部、
13…第1プレス、14…第2プレス、15…シリン
ダ、16…金型、17…上型、18…蛇腹、19…下
型、20…テーブル、21…屑収容箱、22…集塵機、
23…パイプ、24…ガイドレール、25…リードフレ
ーム搬送機、26…リードフレームピックアップ、27
…マガジン、28…アンローダ、30…リードフレー
ム、31…外枠、32…内枠、33…タブ吊りリード、
34…孔、35…ダイベッド、36…ダイ枠、37…リ
ード切断ダイ、38…リード成形ダイ、39…リード寸
法規定カットダイ、40…タブ吊りリード切断ダイ、4
1…フィードプレート、42…支柱、45…パンチホル
ダ、46…摺動穴、47…シャンクホルダー、48…ロ
ッド、50…バッキングプレート、51…パンチホル
ダ、52…ストリッププレート、53…支柱、57…リ
ード切断パンチ、58…リード成形パンチ、59…リー
ド寸法規定カットパンチ、60…タブ吊りリード切断パ
ンチ、70…飛散防止体、71…切断片、72…跳ね上
がり防止体、73…ノズル、80…スペーサ、81…外
力付加体。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Semiconductor device, 2 ... Sealed body (package), 3 ... Lead, 10 ... Cutting molding apparatus, 11 ... Machine base, 12 ... Support part,
13 ... 1st press, 14 ... 2nd press, 15 ... cylinder, 16 ... mold, 17 ... upper mold, 18 ... bellows, 19 ... lower mold, 20 ... table, 21 ... waste storage box, 22 ... dust collector,
23 ... pipe, 24 ... guide rail, 25 ... lead frame transporter, 26 ... lead frame pickup, 27
... Magazine, 28 ... Unloader, 30 ... Lead frame, 31 ... Outer frame, 32 ... Inner frame, 33 ... Tab hanging lead,
34 ... hole, 35 ... die bed, 36 ... die frame, 37 ... lead cutting die, 38 ... lead forming die, 39 ... lead size regulation cut die, 40 ... tab hanging lead cutting die, 4
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Feed plate, 42 ... Column, 45 ... Punch holder, 46 ... Sliding hole, 47 ... Shank holder, 48 ... Rod, 50 ... Backing plate, 51 ... Punch holder, 52 ... Strip plate, 53 ... Column, 57 ... Lead cutting punch, 58: Lead forming punch, 59: Lead size cut punch, 60: Tab hanging lead cutting punch, 70: Anti-scattering body, 71: Cut piece, 72: Jump-up preventing body, 73: Nozzle, 80: Spacer , 81 ... external force applying body.

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一部に封止体を有するリードフレームの
前記封止体から突出するリードを金型に設けられた複数
の加工ステーションのうちの切断ステーションのダイと
パンチによって切断するリード切断方法であって、前記
リードの切断による切断片が隣接する加工ステーション
領域に飛散しないように隣接する加工ステーション領域
との間に飛散防止体を配置してリードの切断を行うこと
を特徴とするリード切断方法。
1. A lead cutting method for cutting a lead projecting from a sealing body of a lead frame having a sealing body in part by a die and a punch of a cutting station among a plurality of processing stations provided in a mold. Wherein the lead is cut by disposing an anti-scattering member between the adjacent processing station areas so that the cut pieces resulting from the cutting of the lead do not scatter to the adjacent processing station areas. Method.
【請求項2】 一部に封止体を有するリードフレームの
前記封止体から突出するリードを金型に設けられた複数
の加工ステーションのうちの切断ステーションのダイと
パンチによって切断するリード切断方法であって、前記
リードの切断による切断片が隣接する加工ステーション
領域に飛散しないように隣接する加工ステーション領域
との間に飛散防止体を配置するとともに、外力付加手段
によって切断片となる前記リード部分に落下方向の外力
をリード切断と同時または切断の前からもしくは切断後
に作用させて前記切断片を前記飛散防止体を乗り越えて
飛散しないように下方に落下させることを特徴とするリ
ード切断方法。
2. A lead cutting method for cutting a lead projecting from a sealing body of a lead frame having a sealing body by a die and a punch of a cutting station among a plurality of processing stations provided in a mold. The lead portion which becomes a cut piece by an external force applying means, while arranging an anti-scattering body between adjacent work station areas so that cut pieces by cutting the lead do not scatter to an adjacent work station area A method of cutting a lead, wherein an external force in a drop direction is applied simultaneously with or before or after cutting of the lead to drop the cut piece downward so as not to fly over the scattering prevention body.
【請求項3】 前記飛散防止体の内側に跳ね上がり防止
体を配置し、前記ダイとパンチによるリード切断後の切
断片の上方への跳ね上がりを防止することを特徴とする
請求項1に記載のリード切断方法。
3. The lead according to claim 1, wherein a splash preventing body is disposed inside the scattering preventing body to prevent the cut piece after the lead cut by the die and the punch from jumping upward. Cutting method.
【請求項4】 前記跳ね上がり防止体に前記外力付加手
段を組み込み、前記切断片の跳ね上がりを防止するとと
もに前記切断片をリード切断と同時に下方に落下させる
ことを特徴とする請求項3に記載のリード切断方法。
4. The reed according to claim 3, wherein said external force applying means is incorporated in said bounce-preventing body to prevent said cut piece from jumping and drop said cut piece downward simultaneously with cutting of said lead. Cutting method.
【請求項5】 一部に封止体を有するリードフレームの
前記封止体から突出するリードを金型に設けられた複数
の加工ステーションのうちの切断ステーションのダイと
パンチの切断動作によって切断する金型であって、前記
リードの切断による切断片が隣接する加工ステーション
領域に飛散しないように隣接する加工ステーション領域
との間に配置された飛散防止体を有することを特徴とす
る金型。
5. A lead frame protruding from a sealing body of a lead frame partially having a sealing body is cut by a die and punch cutting operation of a cutting station of a plurality of processing stations provided in a mold. What is claimed is: 1. A mold, comprising: a scatter prevention member disposed between an adjacent processing station area so that a cut piece obtained by cutting the lead does not scatter to an adjacent processing station area.
【請求項6】 一部に封止体を有するリードフレームの
前記封止体から突出するリードを金型に設けられた複数
の加工ステーションのうちの切断ステーションのダイと
パンチによって切断する金型であって、前記リードの切
断による切断片が隣接する加工ステーション領域に飛散
しないように隣接する加工ステーション領域との間に配
置された飛散防止体と、前記ダイとパンチによるリード
切断後の切断片の上方への跳ね上がりを防止する前記飛
散防止体の内側に配置された跳ね上がり防止体とを有す
ることを特徴とする金型。
6. A mold for cutting a lead projecting from a sealing body of a lead frame having a sealing body in part by a die and a punch of a cutting station among a plurality of processing stations provided in the mold. A scatter prevention member arranged between the adjacent processing station areas so that the cut pieces by cutting the lead do not scatter to the adjacent processing station area, and the cut pieces after the lead is cut by the die and the punch. A mold having a splash preventing body disposed inside the scattering preventing body for preventing upward splashing.
【請求項7】 一部に封止体を有するリードフレームの
前記封止体から突出するリードを金型に設けられた複数
の加工ステーションのうちの切断ステーションのダイと
パンチによって切断する金型であって、前記リードの切
断による切断片が隣接する加工ステーション領域に飛散
しないように配置された飛散防止体と、前記切断片とな
るリード部分に落下方向の外力をリード切断時以降から
加える外力付加手段とを有することを特徴とする金型。
7. A mold for cutting a lead projecting from the sealing body of a lead frame having a sealing body in part by a die and a punch of a cutting station among a plurality of processing stations provided in the mold. An anti-scattering body arranged so that a cut piece caused by cutting the lead does not scatter to an adjacent processing station area; and an external force applied to the lead portion serving as the cut piece in an external force in a drop direction from the time of cutting the lead. And a mold.
【請求項8】 前記外力付加手段は前記パンチが固定さ
れかつ昇降する上型プレートに固定された外力付加体を
有するとともに、前記上型プレートの相対的な降下によ
るリード切断時点以降から前記リードに外力を付加する
ように構成されていることを特徴とする請求項7に記載
の金型。
8. The external force applying means includes an external force applying body to which the punch is fixed and which is fixed to an upper die plate that moves up and down, and that the external force applying means applies the external force to the leads from a point at which the lead is cut by a relative drop of the upper die plate. The mold according to claim 7, wherein the mold is configured to apply an external force.
【請求項9】 前記外力付加手段は前記上型プレートに
固定された前記外力付加体を有するとともに、前記外力
付加体は前記パンチをガイドするパンチガイドに固定さ
れた前記跳ね上がり防止体に貫通状態で取り付けられた
構成になっていることを特徴とする請求項8に記載の金
型。
9. The external force applying means has the external force applying member fixed to the upper die plate, and the external force applying member penetrates through the bouncing prevention member fixed to a punch guide for guiding the punch. The mold according to claim 8, wherein the mold is mounted.
【請求項10】 前記外力付加手段は前記切断片となる
リード部分に気体を吹き付けるノズルを有する気体吹付
機構で構成されていることを特徴とする請求項7に記載
の金型。
10. The mold according to claim 7, wherein the external force applying means is constituted by a gas blowing mechanism having a nozzle for blowing gas to the lead portion serving as the cut piece.
【請求項11】 前記跳ね上がり防止体にノズルが組み
込まれて前記気体吹付機構が構成されていることを特徴
とする請求項10に記載の金型。
11. The mold according to claim 10, wherein a nozzle is incorporated in the bounce-preventing body to constitute the gas blowing mechanism.
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WO2018079856A1 (en) * 2016-10-31 2018-05-03 ベンダ工業株式会社 Annular body manufacturing device and annular body manufacturing method

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