JP2000030389A

JP2000030389A - ヘッドスライダ及びディスク装置

Info

Publication number: JP2000030389A
Application number: JP10193348A
Authority: JP
Inventors: Toru Iwamoto; 徹岩本
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1998-07-08
Filing date: 1998-07-08
Publication date: 2000-01-28
Also published as: CN1240996A; US6351346B2; CN1132181C; KR20000011218A; KR100334746B1; US20010033458A1

Abstract

(57)【要約】【課題】加工寸法公差に起因するスライダ／ディスク
間の吸着力のばらつきを軽減できる低浮上形のヘッドス
ライダを提供する。【解決手段】磁気ヘッドスライダ１０は、スライダ本
体１２の一表面に形成された一対の空気受け面１４と、
それら空気受け面１４の空気流入端側にそれぞれ隣接し
て形成された一対のテーパ面１６とを備える。各空気受
け面１４には、空気受け面１４とテーパ面１６との接続
部２２に近接して配置される流入端側パッド２４と、流
入端側パッド２４から空気流出端側に離れて配置される
流出端側パッド２６とが突設される。さらに、各流入端
側パッド２４から空気流入端側に離れて、かつ接続部２
２に近接して、各テーパ面１６上の所望位置に補助パッ
ド２８が突設される。流入端側パッド２４と補助パッド
２８との間の空気流方向への直線距離は、各テーパ面１
６の空気流方向の寸法公差の２倍以上に設定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
や光ディスク装置等のディスク装置で使用されるヘッド
スライダに関し、特に、浮上力を発生するための空気受
け面に吸着防止用の複数のパッドを突設した低浮上形の
ヘッドスライダに関する。さらに本発明は、そのような
ヘッドスライダを備えたディスク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】浮上形磁気ヘッドを備えた磁気ディスク
装置においては、近年、記録の高密度化及び装置の小形
化に伴い、磁気ヘッドスライダの浮上量が著しく低減さ
れる傾向にある。浮上量を低下させる場合には、磁気ヘ
ッドスライダと回転中の媒体すなわち磁気ディスクとの
接触を防止するために、磁気ディスクの表面の平滑性を
高める必要がある。その反面、磁気ディスクの平滑性が
向上すると、コンタクトスタートストップ（ＣＳＳ）方
式ではディスク停止時に磁気ヘッドスライダが磁気ディ
スクに吸着し易くなり、磁気ディスク装置が正常に動作
しなくなる危惧がある。

【０００３】こうした吸着の問題の解決策として、例え
ば、磁気ヘッドスライダに設けた浮上力発生用の空気受
け面（ＡＢＳ）に複数の吸着防止パッドを突設したいわ
ゆる吸着フリースライダ構造や、磁気ディスクの表面の
ＣＳＳ領域、つまりディスク停止中にスライダを載置す
る領域のみを粗面化するいわゆるゾーンテクスチャ媒体
構造等が提案されている。これらの解決策はいずれも、
磁気ヘッドスライダの空気受け面と磁気ディスクの表面
との接触面積を削減して、吸着力すなわち摩擦力を低減
するものである。

【０００４】ところで、従来の磁気ヘッドスライダで
は、ディスク起動時の容易かつ迅速な浮上を実現するた
めに、空気受け面の空気流入端側に隣接して、空気受け
面への空気の流入を促進するテーパ面を形成したものが
知られている。このような磁気ヘッドスライダに、上記
した吸着フリースライダ構造を適用すると、ディスク起
動直後の浮上初期段階においてスライダ本体のがたつき
すなわちピッチング動作が生じ易くなる傾向がある。磁
気ヘッドスライダにピッチング動作が生じると、空気受
け面とテーパ面との相互接続部すなわち遷移部が磁気デ
ィスクの表面に繰り返し接触して磨耗粉等の塵埃により
汚損され、その結果、ヘッドディスクインタフェース
（ＨＤＩ）の信頼性が低下する場合がある。

【０００５】そこで、テーパ面を有した磁気ヘッドスラ
イダに上記した吸着防止パッドを設ける際には、空気受
け面とテーパ面との相互接続部を跨いで両面上に延長さ
れる少なくとも１つの流入端側パッドを形成する方策が
採られている（例えば、特開平９−２９３２２３号公報
参照）。この流入端側パッドは、浮上初期段階の磁気ヘ
ッドスライダのピッチング動作の間、それ自体が磁気デ
ィスク表面に接触することにより、空気受け面とテーパ
面との相互接続部が磁気ディスク表面に接触して汚損さ
れることを防止する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】空気流入端側にテーパ
面を有した磁気ヘッドスライダでは、テーパ面は、スラ
イダ本体にイオンミリング法等により空気受け面を形成
する前に、研削等の機械加工によって形成される。この
とき、テーパ面の空気流方向の寸法公差は、機械加工で
あるが故にテーパ面の空気流方向の基準寸法の数十％程
度と比較的大きくなる傾向がある。そして前述した吸着
防止パッドは、テーパ面を形成した後、空気受け面を形
成する前に、イオンミリング法等によりテーパ面及び予
定される空気受け面の所望位置に形成される。

【０００７】吸着フリースライダ構造では、吸着防止パ
ッドと磁気ディスクとの総接触面積の縮小に対応して、
スライダ／ディスク間の吸着力すなわち摩擦力が低下す
ることが判っている。ところが上記したように、テーパ
面の加工方法に起因した寸法公差により、空気受け面と
テーパ面との相互接続部は位置ずれを生じる傾向があ
る。一方、吸着防止パッドは、スライダ表面の予め設定
された位置にほぼ正確に形成され、その位置誤差は小さ
い。したがって、吸着防止パッドを形成する際に、接続
部を跨いで配置される流入端側パッドの表面のうち、吸
着防止作用を有する面部分すなわち空気受け面に略平行
な面部分の面積が増減する。その結果、吸着防止パッド
と磁気ディスクとの総接触面積が変動し、スライダ／デ
ィスク間の吸着力にばらつきが生じることになる。つま
り、吸着防止パッドを所定の位置に正確に形成したとし
ても、テーパ面の加工寸法が小さくなるに従って、吸着
防止パッドと磁気ディスクとの総接触面積が増加し、結
果的に吸着力が上昇して磁気ディスク装置が正常に動作
しなくなる危惧が生じるのである。

【０００８】本発明の目的は、吸着フリースライダ構造
を採用するヘッドスライダにおいて、スライダ／ディス
ク間の吸着力のばらつきを軽減又は排除しつつ、空気受
け面とテーパ面との相互接続部の汚損を防止でき、以て
ディスク装置の性能を向上させることができる低浮上形
のヘッドスライダを提供することにある。

【０００９】本発明のもう１つの目的は、そのようなヘ
ッドスライダを備え、大容量化及び高密度化が可能なデ
ィスク装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の本発明は、スライダ本体と、スラ
イダ本体の一表面に形成される空気受け面と、空気受け
面の空気流入端側に隣接してスライダ本体に形成される
テーパ面と、空気受け面に突設される複数のパッドとを
具備するヘッドスライダにおいて、複数のパッドは、空
気受け面とテーパ面とを相互接続する接続部に近接して
空気受け面上に配置される少なくとも１つの第１パッド
と、第１パッドから離れて、かつ接続部に近接してテー
パ面に突設される少なくとも１つの第２パッドとを備え
ることを特徴とするヘッドスライダを提供する。

【００１１】請求項２に記載の本発明は、請求項１に記
載のヘッドスライダにおいて、第１パッドが接続部から
離れて配置されるヘッドスライダを提供する。請求項３
に記載の本発明は、請求項１又は２に記載のヘッドスラ
イダにおいて、第２パッドが接続部から離れて配置され
るヘッドスライダを提供する。

【００１２】請求項４に記載の本発明は、請求項１〜３
のいずれか１項に記載のヘッドスライダにおいて、第１
パッドと第２パッドとの間の空気流方向への距離が、テ
ーパ面の空気流方向への寸法公差の２倍以上に設定され
るヘッドスライダを提供する。請求項５に記載の本発明
は、請求項４に記載のヘッドスライダにおいて、寸法公
差がテーパ面の空気流方向の基準寸法の１０％〜３０％
であるヘッドスライダを提供する。

【００１３】請求項６に記載の本発明は、請求項１〜５
のいずれか１項に記載のヘッドスライダにおいて、複数
のパッドが複数の第１パッドを備え、接続部に関し複数
の第１パッドのそれぞれに対向して、複数の補助パッド
が配置されるヘッドスライダを提供する。請求項７に記
載の本発明は、請求項１〜６のいずれか１項に記載のヘ
ッドスライダにおいて、複数のパッドが、接続部を跨い
で空気受け面上及びテーパ面上に延設される少なくとも
１つの第３パッドをさらに備えるヘッドスライダを提供
する。

【００１４】請求項８に記載の本発明は、請求項１〜７
のいずれか１項に記載のヘッドスライダにおいて、少な
くとも１つの第１パッドが、空気流方向に対してスライ
ダ本体の一方の側に偏って配置されるヘッドスライダを
提供する。請求項９に記載の本発明は、請求項１〜８の
いずれか１項に記載のヘッドスライダにおいて、複数の
パッドが、空気流方向に関してスライダ本体の一方の側
に偏って配置されるヘッドスライダを提供する。

【００１５】請求項１０に記載の本発明は、請求項１〜
９のいずれか１項に記載のヘッドスライダを備えたディ
スク装置を提供する。請求項１１に記載の本発明は、請
求項８又は９に記載のヘッドスライダを備えたディスク
装置であって、ディスクがその表面に局部的に粗面化さ
れた領域を有し、ヘッドスライダのスライダ本体の一方
の側の反対側が、一方の側よりもディスクの粗面化され
た領域に近接するように配置されることを特徴とする磁
気ディスク装置を提供する。

【００１６】請求項１２に記載の本発明は、スライダ本
体と、スライダ本体の一表面に形成される空気受け面
と、空気受け面の空気流入端側に隣接してスライダ本体
に形成されるテーパ面と、空気受け面に突設される複数
のパッドとを具備するヘッドスライダにおいて、複数の
パッドは、テーパ面の空気流方向への寸法が最大許容寸
法のときにテーパ面が占める領域の外側で空気受け面上
に配置される少なくとも１つのパッドを備え、空気受け
面とテーパ面とを相互接続する接続部とパッドとの間の
空気受け面が平坦であることを特徴とするヘッドスライ
ダを提供する。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明をその実施形態に基づき詳細に説明する。図面におい
て、同一又は類似の構成要素には共通の参照符号を付
す。図面を参照すると、図１（ａ）、（ｂ）は本発明の
一実施形態による磁気ヘッドスライダ１０を概念的に示
す。磁気ヘッドスライダ１０は、略矩形平面形状を有す
るスライダ本体１２と、スライダ本体１２の一表面に形
成され、浮上力を発生するための一対の空気受け面１４
と、それら空気受け面１４の空気流入端側にそれぞれ隣
接してスライダ本体１２に形成され、空気受け面１４へ
の空気の流入を促進する一対のテーパ面１６とを備え
る。一対の空気受け面１４は、スライダ本体１２の一表
面に例えばイオンミリング法により形成された一対のレ
ール１８の表面に設けられる。また一対のテーパ面１６
は、研削等の機械加工によってそれらレール１８の空気
流入端側に形成される。一対の空気受け面１４の空気流
出端側には、記録／再生素子（図示せず）を内蔵したヘ
ッド部２０が形成される。

【００１８】磁気ヘッドスライダ１０は、各空気受け面
１４の所望位置に吸着防止用の複数のパッドを突設した
吸着フリースライダ構造を有する。磁気ヘッドスライダ
１０の吸着防止パッドは、一対の空気受け面１４上で、
空気受け面１４とテーパ面１６とを相互接続する接続部
２２に近接してそれぞれ１つずつ配置される流入端側パ
ッド２４と、それら流入端側パッド２４から空気流出端
側に離れてそれぞれ１つずつ配置される流出端側パッド
２６とから構成される。各流入端側パッド２４は、本発
明の第１パッドを構成する。図示実施形態では、各流入
端側パッド２４は各接続部２２から空気流出端側に離れ
て配置される。

【００１９】さらに磁気ヘッドスライダ１０は、各流入
端側パッド２４から後述する所定距離だけ空気流入端側
に離れて、かつ接続部２２に近接して、一対のテーパ面
１６上にそれぞれ１つずつ突設される補助パッド２８を
備える。各補助パッド２８は、本発明の第２パッドを構
成する。図示実施形態では、各補助パッド２８は各接続
部２２から空気流入端側に離れて配置される。また図示
実施形態では、各補助パッド２８は各接続部２２に関し
各流入端側パッド２４に対向して配置される。なお、本
明細書で「近接」という用語は、図１に示すように、流
入端側パッド２４及び補助パッド２８が接続部２２から
それぞれ空気流出端側及び空気流入端側に離れて配置さ
れる状態だけでなく、例えば図７及び図９に関して後述
するように、流入端側パッド２４がその空気流方向前縁
で、或いは補助パッド２８がその空気流方向後縁で、接
続部２２に接して配置される状態も含むものとする。

【００２０】磁気ヘッドスライダに複数のパッドを形成
する製造方法の一例は、前述した特開平９−２９３２２
３号公報の図１〜図５に開示される。本発明の実施形態
による上記した磁気ヘッドスライダ１０は、この公報記
載の製造方法に準じた方法により製造できる。以下、磁
気ヘッドスライダ１０の製造方法を簡単に説明する。

【００２１】まず、複数の電磁変換素子（記録／再生素
子）が形成されたウエハを棒状体に切り出し、この棒状
体にテーパ面１６を機械加工により形成した後、テーパ
面１６及び予定される空気受け面１４を含む面上にダイ
アモンドライクカーボン（ＤＬＣ）膜を成膜してパッド
層を形成する。次いでこのパッド層を、所望のパッド形
成領域がレジストフィルムで被覆された状態でエッチン
グすることにより、複数のパッド２４、２６、２８を所
望位置に形成する。その後、さらなるエッチング工程を
経て、複数のパッド２４、２６、２８を担持する空気受
け面１４をそれぞれに有した複数のレール１８が形成さ
れる。最後に、レール１８及びパッド２４、２６、２８
を形成した棒状体が切断され、個々の磁気ヘッドスライ
ダ１０が形成される。

【００２２】磁気ヘッドスライダ１０の製造工程では、
エッチング時に、レジストフィルムのテーパ面１６上及
び予定される空気受け面１４上の各所定のパッド形成領
域を個別にマスクするマスクパターンが用いられる。こ
のマスクパターンでは、各マスクがテーパ面１６と予定
される空気受け面１４との接続部２２を跨がないことを
想定して位置決めされる。このマスクパターンでマスク
されたレジストフィルムを露光及び現像することによ
り、テーパ面１６及び予定される空気受け面１４のそれ
ぞれに個別にレジストフィルムが残される。そしてこの
状態でＤＬＣ膜をエッチングすると、流入端側パッド２
４及び補助パッド２８を含む複数のパッドが、後述する
特徴的位置関係の下でテーパ面１６及び予定される空気
受け面１４上に形成される。

【００２３】上記した方法によって製造される磁気ヘッ
ドスライダ１０では、流入端側パッド２４、流出端側パ
ッド２６及び補助パッド２８は、互いに略同一の表面積
を有して形成される。なお図１（ｂ）では高さ方向に強
調して示したが、スライダ本体１２上での各レール１８
の突出高さは、通常数μm であり、各空気受け面１４及
び各テーパ面１６上での流入端側パッド２４、流出端側
パッド２６及び補助パッド２８の突出高さは、通常数十
nmである。

【００２４】各レール１８上での流入端側パッド２４と
補助パッド２８との間の空気流方向への直線距離Ｌ（図
２参照）は、各テーパ面１６の空気流方向への寸法公差
の２倍以上に設定される。つまり、例えば図２におい
て、各テーパ面１６が基準寸法に加工されており、各接
続部２２が基準位置Ｐにあるとすると、各接続部２２と
各流入端側パッド２４との間の空気流方向への直線距離
Ｌ１は「上の寸法公差」を示し、各接続部２２と各補助
パッド２８との間の空気流方向への直線距離Ｌ２は「下
の寸法公差」を示すことになる。なお本明細書では、
「寸法公差」は基準寸法と最大許容寸法又は最小許容寸
法との差を表し、「上の寸法公差」は基準寸法と最大許
容寸法との差を表し、「下の寸法公差」は基準寸法と最
小許容寸法との差を表すものと定義する。

【００２５】磁気ヘッドスライダ１０において、機械加
工によるテーパ面１６の寸法公差は、テーパ面１６の空
気流方向の基準寸法の例えば１０％〜３０％である。こ
の場合、テーパ面１６の空気流方向の基準寸法を１００
μm とし、寸法公差を基準寸法の１０％とすると、テー
パ面１６の空気流方向の長さは、９０μm 〜１１０μm
の範囲で許容されることになる。

【００２６】また、各流入端側パッド２４及び各補助パ
ッド２８の位置及び寸法は、各レール１８において両パ
ッド２４、２８が協働して、各接続部２２と磁気ディス
クＭ（図３）の表面との相互接触を防止できることを条
件に選定される。例えば図３において、空気受け面１４
に対するテーパ面１６のテーパ角度θ、流入端側パッド
２４の高さｈ１、補助パッド２８の高さｈ２、並びに接
続部２２と流入端側パッド２４及び補助パッド２８との
間の距離Ｌ１、Ｌ２が、次の相対関係、すなわち、 tan^-1(h1/L1) ＋ tan^-1(h2/L2) ＞θ の関係を有するときに、接続部２２と磁気ディスク表面
との相互接触を防止できると解される。したがって、テ
ーパ面１６の空気流方向の基準寸法を１００μm、寸法
公差を１０μm 、流入端側パッド２４の高さｈ１及び補
助パッド２８の高さｈ２をいずれも５０μm とすると、
接続部２２と流入端側パッド２４及び補助パッド２８と
の間の距離Ｌ１、Ｌ２は、各々１０μm 〜１２．５μm
に設定する必要がある。

【００２７】なお、磁気ディスク表面に接触する流入端
側パッド２４及び流出端側パッド２６の表面積は、磁気
ディスク表面の粗さ、潤滑剤特性等に依存して、最適値
が選定される。補助パッド２８の表面積は特に規定され
ない。また流入端側パッド２４、流出端側パッド２６及
び補助パッド２８の表面形状は、円形、楕円形、矩形
等、様々な形状にすることができる。また、各レール１
８における流出端側パッド２６の配置は、浮上時に磁気
ディスクの表面に接触しない位置であれば任意である。

【００２８】上記構成を有する磁気ヘッドスライダ１０
は、以下のような種々の格別の作用効果を奏する。ま
ず、吸着フリースライダ構造を採用したので、媒体であ
る磁気ディスクＭ（図３）の表面を平滑化することによ
り浮上量の低下を実現できる。また、各レール１８に設
けた補助パッド２８は、接続部２２に関して対向する流
入端側パッド２４と協働して、磁気ヘッドスライダ１０
に浮上初期段階で生じるピッチング動作の間、それら自
体が磁気ディスクＭ表面に接触することにより、各空気
受け面１４と各テーパ面１６との各接続部２２が磁気デ
ィスクＭ表面に接触して汚損されることを防止する。

【００２９】さらに、機械加工によって形成された各テ
ーパ面１６の空気流方向の寸法が寸法公差内に有りさえ
すれば、その後に形成される流入端側パッド２４及び補
助パッド２８はいずれも、接続部２２を跨いで配置され
ることが回避される。その結果、流入端側パッド２４及
び流出端側パッド２６と磁気ディスクとの総接触面積の
変動が防止され、スライダ／ディスク間の吸着力すなわ
ち摩擦力のばらつきが排除される。したがって、各流入
端側パッド２４及び各流出端側パッド２６を所要位置に
正確に形成すれば、各テーパ面１６の寸法が寸法公差内
でばらついていても、目標値通りの吸着力を獲得するこ
とができる。

【００３０】図４は、上記した磁気ヘッドスライダ１０
と同様の構成を有する具体例としての磁気ヘッドスライ
ダ３０を示す。なお、磁気ヘッドスライダ３０におい
て、磁気ヘッドスライダ１０の各構成要素と同一又は類
似の構成要素は、共通の参照符号を付してその詳細な説
明を省略する。磁気ヘッドスライダ３０は、一対の側方
レール１８の間で空気流入端近傍に形成される追加の中
央レール３２を備える。中央レール３２はその表面に、
空気受け面３４とテーパ面３６とを備える。中央レール
３２の空気流方向下流側には、中央レール３２を乗り越
えて流れる空気により負圧を生じる負圧面３８が形成さ
れる。

【００３１】磁気ヘッドスライダ３０は、各側方レール
１８に、流入端側パッド２４と流出端側パッド２６と補
助パッド２８とを備える。したがって磁気ヘッドスライ
ダ３０は、前述した磁気ヘッドスライダ１０と同様の作
用効果を奏する。なお、磁気ヘッドスライダ３０では、
中央レール３２の空気受け面３４及びテーパ面３６にも
同様に流入端側パッド及び補助パッドを形成することが
できる。この種の部分修正は全て本発明の範囲内であ
り、例えば両側方レール１８と中央レール３２とを一体
化した図５に示すようなＵ字状のレール４０を有する磁
気ヘッドスライダにおいて、空気受け面４２及びテーパ
面４４にそれぞれ複数個の流入端側パッド２４及び補助
パッド２８を形成することもできる。

【００３２】図６は、上記した磁気ヘッドスライダ１０
又は３０を使用する本発明の一実施形態による磁気ディ
スク装置５０の内部構造を示す。磁気ディスク装置５０
は、ハウジングの一部を構成するベース５２上で図示矢
印Ａ方向へ高速回転する磁気ディスク５４に対し、サス
ペンション５６の先端に磁気ヘッドスライダ１０又は３
０を担持したアーム５８をベース５２上で図示矢印Ｂ方
向へ揺動させて、磁気ヘッドスライダ１０又は３０に磁
気ディスク５４の表面上を径方向へ走査させる構成を有
する。通常は複数枚の磁気ディスク５４が同軸に重ねら
れて同期回転し、各磁気ディスク５４の両面に対しそれ
ぞれアーム５８及び磁気ヘッドスライダ１０又は３０が
配設される。このように磁気ディスク装置５０では、磁
気ヘッドスライダ１０又は３０の上記した作用効果によ
り、記録の大容量化及び高密度化が可能となっている。

【００３３】上記実施形態による磁気ヘッドスライダ１
０、３０では、複数の流入端側パッド２４の全てが接続
部２２に近接して、つまり接続部２２を跨ぐことなく空
気受け面１４上に配置され、かつ複数の補助パッド２８
が、接続部２２に関し複数の流入端側パッド２６のそれ
ぞれに対向して配置される構成となっている。しかし本
発明は、このような構成に限定されず、例えば複数の流
入端側パッド２４のうちの幾つかのみを、接続部２２を
跨ぐことなく配置する構成とすることもできる。図７
は、そのような構成を有した本発明の他の実施形態によ
る磁気ヘッドスライダ６０を概念的に示す。なお、磁気
ヘッドスライダ６０において、前述した磁気ヘッドスラ
イダ１０の各構成要素と同一又は類似の構成要素は、共
通の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。

【００３４】磁気ヘッドスライダ６０は、空気流方向に
関しスライダ本体１２の両側縁近傍に形成された第１の
レール１８Ａ及び第２のレール１８Ｂを備える。磁気ヘ
ッドスライダ６０は、第１のレール１８Ａにおいて、空
気受け面１４とテーパ面１６とを相互接続する接続部２
２に近接して空気受け面１４上に配置される第１流入端
側パッド（第１パッド）２４と、流出端側パッド２６
と、第１流入端側パッド２４から空気流入端側に離れ
て、かつ接続部２２に近接してテーパ面１６上に配置さ
れる補助パッド（第２パッド）２８とを備える。

【００３５】第１のレール１８Ａ上での第１流入端側パ
ッド２４と補助パッド２８との間の空気流方向への直線
距離Ｌは、テーパ面１６の空気流方向への寸法公差の２
倍以上に設定される。図示実施形態では、第１流入端側
パッド２４は、その空気流方向前縁で接続部２２に接し
て配置される。したがってこの場合、両レール１８のテ
ーパ面１６は、空気流方向に関して最大許容寸法に形成
されている。つまり各接続部２２は、基準位置Ｐに対し
て空気流出端側へずれて配置されている。

【００３６】さらに磁気ヘッドスライダ６０は、第２の
レール１８Ｂにおいて、空気受け面１４とテーパ面１６
とを相互接続する接続部２２を跨いで空気受け面１４及
びテーパ面１６上に延設される第２流入端側パッド６２
と、第２流入端側パッド６２から空気流出端側に離れて
空気受け面１４上に配置される流出端側パッド２６とを
備える。第２流入端側パッド６２は、本発明の第３パッ
ドを構成する。したがって第２流入端側パッド６２は、
その表面のうち接続部２２の空気流方向下流側に位置す
る面部分６２ａが、磁気ディスクに対する吸着防止作用
を有する。

【００３７】上記構成を有する磁気ヘッドスライダ６０
では、第１流入端側パッド２４、補助パッド２８及び第
２流入端側パッド６２の協働により、磁気ヘッドスライ
ダ６０に浮上初期段階で生じるピッチング動作の間、各
レール１８の各接続部２２が磁気ディスク表面に接触し
て汚損されることが防止される。また、第２流入端側パ
ッド６２に関しては、テーパ面１６の加工寸法の変動に
より接続部２２が空気流方向へ位置ずれを生じると、第
２流入端側パッド６２の面部分６２ａの面積が増減し、
スライダ／ディスク間の吸着力に影響を及ぼす。しか
し、第１のレール１８Ａにおいては、各テーパ面１６の
空気流方向の寸法が寸法公差内に有りさえすれば、磁気
ヘッドスライダ１０におけると同様に、第１流入端側パ
ッド２４及び補助パッド２８はいずれも接続部２２を跨
がずに配置される。その結果、第１及び第２流入端側パ
ッド２４、６２並びに流出端側パッド２６と磁気ディス
クとの総接触面積の変動が最小限に抑えられ、スライダ
／ディスク間の吸着力すなわち摩擦力のばらつきが軽減
される。したがって磁気ヘッドスライダ６０では、目標
値に近い吸着力を獲得することができる。

【００３８】上記した磁気ヘッドスライダ６０は、磁気
ディスクの表面のＣＳＳ領域、つまりディスク停止中に
磁気ヘッドスライダ６０を載置する領域のみを粗面化し
たゾーンテクスチャ媒体構造を採用した磁気ディスク装
置で、好適に使用することができる。例えば図６に示す
磁気ディスク装置５０において、磁気ディスク５４の表
面の内周端領域をＣＳＳ領域６４として粗面化し、磁気
ディスク５４の停止時に磁気ヘッドスライダ６０の第２
のレール１８Ｂが磁気ディスク５４の内周側に配置され
て確実にＣＳＳ領域６４に載置される構成とすれば、テ
ーパ面１６の加工寸法の変動により第２流入端側パッド
６２の面部分６２ａの面積が増減しても、スライダ／デ
ィスク間の吸着力に影響を及ぼすことが回避される。換
言すれば、磁気ディスク５４の停止時に磁気ヘッドスラ
イダ６０が径方向へ僅かに位置ずれを生じ、第１のレー
ル１８ＡがＣＳＳ領域６４から逸脱してデータ領域６６
に載置されたとしても、第１のレール１８Ａの第１流入
端側パッド２４及び流出端側パッド２６が吸着を確実に
防止することになる。

【００３９】なお、磁気ヘッドスライダ６０における第
１及び第２流入端側パッド２４、６２の構成は、図８に
示すようなＵ字状のレール４０を有する磁気ヘッドスラ
イダにも適用できる。この場合、空気受け面４２及びテ
ーパ面４４にそれぞれ所望個数の第１流入端側パッド２
４、補助パッド２８及び第２流入端側パッド６２を形成
することができる。そして、第１流入端側パッド２４と
補助パッド２８との組を、図示のように空気流方向に対
してスライダ本体の一側に偏って配置することにより、
上記したゾーンテクスチャ媒体構造を採用した磁気ディ
スク装置での使用が奏効することになる。

【００４０】このように、ゾーンテクスチャ媒体構造を
採用した磁気ディスク装置で使用することを前提にすれ
ば、複数の吸着防止パッド全体を、空気流方向に関して
スライダ本体の一側に偏って配置する構成とすることも
できる。図９は、そのような構成を有した本発明のさら
に他の実施形態による磁気ヘッドスライダ７０を概念的
に示す。なお、磁気ヘッドスライダ７０において、前述
した磁気ヘッドスライダ１０の各構成要素と同一又は類
似の構成要素は、共通の参照符号を付してその詳細な説
明を省略する。

【００４１】磁気ヘッドスライダ７０は、空気流方向に
関しスライダ本体１２の両側縁近傍に形成された第１の
レール１８Ａ及び第２のレール１８Ｂを備える。磁気ヘ
ッドスライダ７０では、第１のレール１８Ａには吸着防
止パッドが設けられず、第２のレール１８Ｂにのみ、流
入端側パッド２４と流出端側パッド２６と補助パッド２
８とが配設される。

【００４２】第２のレール１８Ｂ上での流入端側パッド
２４と補助パッド２８との間の空気流方向への直線距離
Ｌは、テーパ面１６の空気流方向への寸法公差の２倍以
上に設定される。図示実施形態では、補助パッド２８
は、その空気流方向後縁で接続部２２に接して配置され
る。したがってこの場合、両レール１８のテーパ面１６
は、空気流方向に関して最小許容寸法に形成されてい
る。つまり各接続部２２は、基準位置Ｐに対して空気流
入端側へずれて配置されている。

【００４３】上記構成を有する磁気ヘッドスライダ７０
は、例えば図６に示す磁気ディスク装置５０において、
磁気ディスク５４の表面の外周端領域をＣＳＳ領域６
４′として粗面化したときに、磁気ディスク５４の停止
時に磁気ヘッドスライダ６０の第１のレール１８Ａが磁
気ディスク５４の外周側に配置されて確実にＣＳＳ領域
６４′に載置される構成とすれば、スライダ／ディスク
間の吸着が防止される。また、磁気ディスク５４の停止
時に磁気ヘッドスライダ６０が径方向へ僅かに位置ずれ
を生じ、第２のレール１８ＢがＣＳＳ領域６４′から逸
脱してデータ領域６６に載置されたときには、第２のレ
ール１８Ｂの流入端側パッド２４及び流出端側パッド２
６が吸着を確実に防止することになる。

【００４４】さらに本発明は、図１０に示すように、接
続部２２に関して互いに反対側に配置される流入端側パ
ッドと補助パッドとを、互いに対向しない位置に配置す
る構成とすることもできる。図１０の変形例では、空気
流方向に関しスライダ本体１２の両側縁近傍に形成され
た一対の側方レール１８の各々に、流入端側パッド２４
が突設され、それら側方レール１８の間で空気流入端近
傍に形成される追加の中央レール３２に、流入端側パッ
ド２４から離れ、かつ接続部２２に近接してテーパ面３
６上に配置される補助パッド２８が突設される。このよ
うな構成においても、各流入端側パッド２４と補助パッ
ド２８との間の空気流入方向への距離Ｌをテーパ面１
６、３６の空気流方向への寸法公差以上に選定すること
により、前述した磁気ヘッドスライダ１０と同様の作用
効果が得られる。

【００４５】ところで、一般に吸着フリースライダ構造
を有する磁気ヘッドスライダでは、磁気ディスク表面に
接触する複数の吸着防止パッドの総表面積は、磁気ディ
スク表面の粗さ、潤滑剤特性等に依存して、所望の吸着
力すなわち摩擦力が得られるように最適化される。この
とき、磁気ディスク装置に実際に搭載される磁気ヘッド
スライダと同等の構成を有した吸着力評価用の磁気ヘッ
ドスライダを用いて、特定の磁気ディスクに対する吸着
力を測定、評価してパッド表面積を決定している。この
ような吸着力評価用の磁気ヘッドスライダは、磁気ディ
スクが回転を開始してから磁気ヘッドスライダが浮上を
開始するまでの間に、磁気ヘッドスライダを担持した揺
動アームに生じる歪みを測定して吸着力を評価するため
のものであり、したがってそれ自体の磁気ディスク上で
の浮動特性を考慮して設計することは要求されない。し
かしその反面、パッド表面積の変動が吸着力に影響を及
ぼすので、複数の吸着防止パッドを正確な寸法に形成す
る必要がある。そのような状況下では、テーパ面の加工
時の寸法公差が吸着防止パッドの寸法に影響を及ぼさな
いようにしなければならない。本発明は、このような問
題を解決するために、前述した流入端側パッドの構成を
適用した吸着力評価用の磁気ヘッドスライダを提供す
る。

【００４６】図１１は、本発明の一実施形態による吸着
力評価用の磁気ヘッドスライダ８０の一部分を拡大して
示す。なお、磁気ヘッドスライダ８０において、前述し
た磁気ヘッドスライダ１０の各構成要素と同一又は類似
の構成要素は、共通の参照符号を付してその詳細な説明
を省略する。

【００４７】磁気ヘッドスライダ８０は、一対のレール
１８の各々に、接続部２２に近接して空気受け面１４上
に突設される流入端側パッド２４を１つずつ備える。各
レール１８上で流入端側パッド２４は、テーパ面１６の
空気流方向への最大許容寸法の外側位置に配置される。
つまり、例えば図１１で各テーパ面１６が基準寸法に加
工されており、各接続部２２が基準位置Ｐにあるとする
と、各接続部２２と各流入端側パッド２４との間の空気
流方向への直線距離Ｌ１は「上の寸法公差」以上に選定
される。

【００４８】上記構成を有する磁気ヘッドスライダ８０
では、機械加工によって形成された各テーパ面１６の空
気流方向の寸法が寸法公差内に有りさえすれば、その後
に形成される流入端側パッド２４は接続部２２を跨いで
配置されることがない。その結果、流入端側パッド２４
及び流出端側パッド２６と磁気ディスクとの総接触面積
の変動が防止され、スライダ／ディスク間の吸着力すな
わち摩擦力のばらつきが排除される。したがって、各流
入端側パッド２４及び各流出端側パッド２６を所要位置
に正確に形成すれば、各テーパ面１６の寸法が寸法公差
内でばらついていても、目標値通りの吸着力を獲得する
ことができる。したがって磁気ヘッドスライダ８０は、
吸着力評価用スライダとして好適に使用される。なお、
前述した各実施形態におけるような補助パッドを有しな
い磁気ヘッドスライダ８０は、磁気ヘッドスライダ８０
に浮上初期段階で生じるピッチング動作の間、各空気受
け面１４と各テーパ面１６との各接続部２２が磁気ディ
スク表面に接触して汚損されることを防止できないが、
吸着力の評価専用に使用されるものであるから、問題に
はならないと解されるべきである。

【００４９】上記した各実施形態は、本発明を磁気ヘッ
ドスライダ及びその磁気ヘッドスライダを備える磁気デ
ィスク装置に適用したものである。しかし本発明は、上
記実施形態に限定されるものでなく、例えば光ディスク
装置等の他のディスク装置に搭載されるヘッドスライダ
及びそのような他のディスク装置にも適用できることは
言うまでもない。

【００５０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、空気流入端にテーパ面を有したヘッドスライ
ダにおいて、吸着フリースライダ構造を採用することに
より浮上量の低下を実現でき、しかも、スライダ／ディ
スク間の吸着力のばらつきを軽減又は排除しつつ、空気
受け面とテーパ面との相互接続部の汚損を防止できる低
浮上形のヘッドスライダが提供され、以てディスク装置
の性能を向上させることが可能となる。さらに本発明に
よれば、そのようなヘッドスライダを備えることによ
り、ディスク装置の大容量化及び高密度化を促進するこ
とが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態による磁気ヘッドスライダ
の図で、（ａ）底面図及び（ｂ）側面図である。

【図２】図１の磁気ヘッドスライダの部分拡大底面図で
ある。

【図３】図１の磁気ヘッドスライダの寸法及び位置関係
を説明するための部分拡大側面図で、磁気ディスクと共
に示す。

【図４】図１の磁気ヘッドスライダの具体例を示す底面
図である。

【図５】図１の磁気ヘッドスライダの変形例を示す部分
拡大底面図である。

【図６】図１の磁気ヘッドスライダを使用できる磁気デ
ィスク装置の概略平面図である。

【図７】本発明の他の実施形態による磁気ヘッドスライ
ダの図で、（ａ）底面図及び（ｂ）側面図である。

【図８】図７の磁気ヘッドスライダの変形例を示す部分
拡大底面図である。

【図９】本発明のさらに他の実施形態による磁気ヘッド
スライダの図で、（ａ）底面図及び（ｂ）側面図であ
る。

【図１０】図１の磁気ヘッドスライダの変形例を示す部
分拡大底面図である。

【図１１】本発明のさらに他の実施形態による磁気ヘッ
ドスライダの部分拡大底面図である。

【符号の説明】

１０、３０、６０、７０、８０…磁気ヘッドスライダ１２…スライダ本体１４、３４、４２…空気受け面１６、３６、４４…テーパ面１８、３２、４０…レール２２…接続部２４…流入端側パッド２６…流出端側パッド２８…補助パッド５０…磁気ディスク装置５４…磁気ディスク５８…アーム６２…第２流入端側パッド６４、６４′…ＣＳＳ領域

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】スライダ本体と、該スライダ本体の一表
面に形成される空気受け面と、該空気受け面の空気流入
端側に隣接して該スライダ本体に形成されるテーパ面
と、該空気受け面に突設される複数のパッドとを具備す
るヘッドスライダにおいて、前記複数のパッドは、前記空気受け面と前記テーパ面とを相互接続する接続部
に近接して該空気受け面上に配置される少なくとも１つ
の第１パッドと、前記第１パッドから離れて、かつ前記接続部に近接して
前記テーパ面に突設される少なくとも１つの第２パッド
と、を備えることを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項２】前記第１パッドが前記接続部から離れて
配置される請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項３】前記第２パッドが前記接続部から離れて
配置される請求項１又は２に記載のヘッドスライダ。
【請求項４】前記第１パッドと前記第２パッドとの間
の空気流方向への距離が、前記テーパ面の空気流方向へ
の寸法公差の２倍以上に設定される請求項１〜３のいず
れか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項５】前記寸法公差が前記テーパ面の空気流方
向の基準寸法の１０％〜３０％である請求項４に記載の
ヘッドスライダ。
【請求項６】前記複数のパッドが複数の前記第１パッ
ドを備え、前記接続部に関し該複数の第１パッドのそれ
ぞれに対向して、複数の前記補助パッドが配置される請
求項１〜５のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項７】前記複数のパッドが、前記接続部を跨い
で前記空気受け面上及び前記テーパ面上に延設される少
なくとも１つの第３パッドをさらに備える請求項１〜６
のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項８】前記少なくとも１つの第１パッドが、空
気流方向に対して前記スライダ本体の一方の側に偏って
配置される請求項１〜７のいずれか１項に記載のヘッド
スライダ。
【請求項９】前記複数のパッドが、空気流方向に関し
て前記スライダ本体の一方の側に偏って配置される請求
項１〜８のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項１０】請求項１〜９のいずれか１項に記載の
ヘッドスライダを備えたディスク装置。
【請求項１１】請求項８又は９に記載のヘッドスライ
ダを備えたディスク装置であって、ディスクがその表面
に局部的に粗面化された領域を有し、前記ヘッドスライ
ダの前記スライダ本体の前記一方の側の反対側が、該一
方の側よりも該ディスクの該粗面化された領域に近接す
るように配置されることを特徴とする磁気ディスク装
置。
【請求項１２】スライダ本体と、該スライダ本体の一
表面に形成される空気受け面と、該空気受け面の空気流
入端側に隣接して該スライダ本体に形成されるテーパ面
と、該空気受け面に突設される複数のパッドとを具備す
るヘッドスライダにおいて、前記複数のパッドは、前記テーパ面の空気流方向への寸
法が最大許容寸法のときに該テーパ面が占める領域の外
側で前記空気受け面上に配置される少なくとも１つのパ
ッドを備え、該空気受け面と該テーパ面とを相互接続す
る接続部と該パッドとの間の該空気受け面が平坦である
ことを特徴とするヘッドスライダ。