JP2000025110A

JP2000025110A - 帯電防止性プレートの製造方法

Info

Publication number: JP2000025110A
Application number: JP10193129A
Authority: JP
Inventors: Yukinori Takami; 幸憲高見
Original assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Current assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date: 1998-07-08
Filing date: 1998-07-08
Publication date: 2000-01-25

Abstract

(57)【要約】【課題】帯電防止性に優れるとともに、艶消しによる
高級感を備えた帯電防止性プレートの製造方法を提供す
る。【解決手段】アクリル系重合体を主成分とする塗料バ
インダー、導電性物質及び有機溶剤とからなる導電性塗
料を合成樹脂プレートに塗布、乾燥硬化させて厚みが２
〜１５μｍの帯電防止層を形成した後、表面に凹凸を有
する金属板で上記帯電防止層をプレスすることにより該
層表面を艶消し状態とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体クリーンル
ーム内で使用するための帯電防止性を備え、更に艶消し
性による高級感を備えた帯電防止性プレートの製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体クリーンルーム内で使用される部
材には、帯電防止効果を備えることが必要である。特に
合成樹脂製品は静電気を帯びやすいという問題がある。
また、半導体製造装置や測定装置のカバー等の部材とし
て合成樹脂プレートを使用するには、帯電防止性に加え
て、装置に高級感を与えるために艶消し性（光沢度５０
％以下）を付与することも要望されている。

【０００３】従来、半導体クリーンルーム用の高度な帯
電防止性（表面抵抗値約１０⁶Ω／□以下）を付与する
手段として、カーボン粉末、金属粉末、導電性セラミッ
ク粉末等を塗料化して合成樹脂プレートに塗布すること
が行われていた。しかし、艶消し表面を有するプレート
にコーティングすると表面の凹凸が失われるために、帯
電防止性と艶消し性を同時に付与することはできなかっ
た。

【０００４】特公平５−１９４６４号公報には、凹凸面
を有する合成樹脂フィルムに帯電防止膜を形成し、これ
を合成樹脂プレート面に転写して導電性、硬度、耐擦傷
性を備えた防眩性を有する導電性プレートを製造する方
法が記載されている。この方法は、凹凸面とされた合成
樹脂フィルム面に導電性塗料を塗布乾燥して塗膜を形成
し、合成樹脂基材面に形成した粘着性樹脂組成物層に上
記導電性塗膜を貼り合わせた後、合成樹脂フィルムを剥
離するといういくつかの工程を必要とされる。

【０００５】また、界面活性剤系帯電防止剤を原料に添
加した帯電防止層を有する合成樹脂プレートを、表面に
凹凸を有するプレス板やロール等で圧接して艶消しする
方法もあった。しかし、界面活性剤系の帯電防止剤は耐
久性に乏しく、水で拭いただけでも帯電防止性が失われ
る等の問題があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の実情に
鑑みてなされたものであって、帯電防止性に優れるとと
もに、艶消しによる高級感を備えた帯電防止性プレート
の製造方法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の帯電防止性プレ
ートの製造方法は、アクリル系重合体を主成分とする塗
料バインダー、導電性物質及び有機溶剤とからなる導電
性塗料を合成樹脂プレートに塗布、乾燥硬化させて厚み
が２〜１５μｍの帯電防止層を形成した後、表面に凹凸
を有する金属板で上記帯電防止層をプレスすることによ
り該層表面を艶消し状態とすることを特徴とする。

【０００８】本発明で使用できるアクリル系重合体とし
ては、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、
トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テト
ラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエ
チレングリコールジ（メタ）アクリレート等の２官能
（メタ）アクリレート；ペンタエリスリトールトリ（メ
タ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メ
タ）アクリレート、グリセロールトリ（メタ）アクリ
レート等の３官能（メタ）アクリレート；その他ペンタ
エリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタ
エリスリトールペンタ（メタ）アクリレート等の４官能
以上の（メタ）アクリレート等が挙げられる。

【０００９】本発明で使用する導電性物質は塗膜に帯電
防止性を付与するためのものであって、具体的には酸化
アンチモン含有酸化錫、酸化インジウム含有酸化錫、ア
ンチモン含有酸化錫でコーティングされた硫酸バリウ
ム、アンチモン含有酸化錫でコーティングされた酸化珪
素、アンチモン含有酸化錫でコーティングされた酸化チ
タン等の無機質粉末；ポリアニリン、ポリチオフェン、
ポリピロール等の導電性ポリマーが挙げられる。

【００１０】導電性物質の添加量について述べると、無
機質粉末の場合は（メタ）アクリレート化合物１００重
量部に対して５０〜３００重量部が好ましい。添加量が
５０重量部未満では帯電防止性が不充分となり、３００
重量部を超えると耐擦傷性が不足する。

【００１１】また、導電性ポリマーの場合は（メタ）ア
クリレート化合物１００重量部に対して２〜１０重量部
が好ましく、無機質導電粉末に比べ添加量はかなり少な
くてよい。更に導電性ポリマーは（メタ）アクリレート
化合物との密着性がよいので艶消し性微粒子の添加によ
る耐擦傷性の低下を抑制することができる。

【００１２】有機溶剤は塗布方法などによって選択され
る。例えばロールコート法で沸点が低いものや揮発性の
強いものを用いると、塗工中の蒸発により塗料粘度が変
化するという問題があり、高沸点のものを使用すると乾
燥工程に時間を要することになる。そのため沸点が８０
〜１６０℃程度の溶剤が通常使用される。

【００１３】上記導電性塗料には、紫外線や可視光線な
どの活性光線によって、塗料バインダーのアクリル系化
合物に架橋を起こさせるために光重合開始剤を添加して
もよい。

【００１４】上記光重合開始剤の添加量は、アクリル系
化合物１００重量部に対して０．１〜１０重量部が好ま
しい。添加量が０．１重量部未満では重合が完全に進ま
ず硬度が不充分となり、１０重量部を超えて添加しても
光増感効果の向上は殆ど見られず、逆に耐候性等の耐久
性が低下する。

【００１５】塗料バインダーの塗布量は、乾燥硬化後の
厚みが２〜１５μｍとなるように塗布する。好ましくは
３〜１５μｍの範囲である。厚みが２μｍよりも薄いと
プレスすることにより塗膜が破れ、帯電防止性が低下す
るとともに耐薬品性も低下する。また、１５μｍよりも
厚いと、光照射により硬化させる場合、光照射装置によ
っては硬化しないことがあり、塗料バインダーのコスト
が高くなる。

【００１６】本発明に使用される合成樹脂プレートとし
ては、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、メタクリレ
ート樹脂、ＡＢＳ樹脂等が挙げられるが、これらに限定
するものではない。

【００１７】本発明では形成した帯電防止層表面を艶消
しするために、表面が凹凸加工された金属板で帯電防止
層面をプレスする。プレスの圧力や時間は帯電防止層の
厚み、温度などにより適宜選定すればよい。

【００１８】

【発明の実施の形態】次に本発明の実施例を説明する。（実施例１）ジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
ト１００重量部、ポリアニリン８重量部、チオキサント
ン２重量部、ジメチルアミノアセトフェノン２重量部及
びエチルセロソルブ５００重量部をアトライターに仕込
み、４時間かけて分散させた後、攪拌することにより導
電性塗料を作製した。この導電性塗料を厚さ５ｍｍの黒
色ポリカーボネート板の一面に、乾燥後の塗膜が３μｍ
となるようにロールコーターで塗布し、５０℃で１０分
間乾燥した。これに高圧水銀ランプで２０００ｍＪ／ｃ
ｍ²の照射量で光照射することにより硬化させて帯電防
止性層を形成した。

【００１９】上記帯電防止性層を上記ポリカーボネート
板の両面に形成した後、表面粗度が５〜１０μｍの金属
板に挟み、最高温度１４５℃、プレス圧力２０〜３０ｋ
ｇ／ｃｍ²の条件でプレスして表面艶消しの帯電防止性
プレートを得た。

【００２０】（実施例２）ポリアニリンの代わりに酸化
錫粉末を使用したこと以外は実施例１と同様にして帯電
防止性プレートを得た。

【００２１】（比較例１）導電性塗料を乾燥後の塗膜の
厚みが１μｍとなるように塗布したこと以外は実施例１
と同様にして帯電防止性プレートを得た。

【００２２】（比較例２）ポリカーボネート板に直接プ
レス処理を行い、その後、導電性塗料を実施例１と同様
に塗布乾燥し、光硬化させて帯電防止性プレートを作製
した。

【００２３】（比較例３）表面に何も処理を行わない黒
色ポリカーボネート板だけを用いた。

【００２４】性能評価実施例及び比較例で得たものにつき下記の項目で評価
し、その結果を表１に示した。（１）艶消し性ＪＩＳＫ７１０５に従い、光沢度（６０°）を測定
し、これを艶消し性とした。（２）帯電防止性ＪＩＳＫ６９１１に従い、表面固有抵抗値を測定し
た。（３）耐擦傷性スチールウール＃０００番を用いて５００ｇの荷重を与
えながら表面を擦り、それによる傷の付き方を観察して
次の通り評価した。 ○：全く傷が付かなかった △：僅かに傷が付いた ×：はっきりと判る傷が付いた（４）耐薬品性塗膜にメチルエチルケトン、アセトン、酢酸エチルの溶
剤をそれぞれ２〜３滴下し、５分経過後の外観を評価し
た。 ○：変化なし ×：侵される（５）外観目視にて筋、艶むらの有無を観察した。

【００２５】

【表１】

【００２６】表１から明らかなように、実施例１、２の
ものは光沢度が低く良好な艶消し状態であり、導電性に
もすぐれ、その他の評価も併せて良好である。しかし、
比較例１のものは導電性塗膜の厚みが１μｍと薄いた
め、プレスの際に破れたものとみられ、導電性、耐薬品
性に劣り、比較例２のものはポリカーボネート板にプレ
スを行ったので艶消し効果が得られなかった。

【発明の効果】本発明の帯電防止性の製造方法による
と、帯電防止性に優れるとともに艶消しによる高級感を
備え、耐薬品性等にもすぐれた帯電防止性プレートが得
られる。従って、このものは半導体クリーンルーム内で
好適に使用することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 4F006 AA36 AB24 AB55 AB65 AB66 AB74 BA07 CA00 4F100 AK01A AK15 AK25B AK45 AK74 BA02 CA21B DD08B EH462 EJ39B EJ393 GB90 JB01 JG03 JK12 JN26 YY00B 4F209 AA28 AE03 AF15 AG01 AG05 PA02 PB01 PC03 PC05 PN06 PQ11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】アクリル系重合体を主成分とする塗料バ
インダー、導電性物質及び有機溶剤とからなる導電性塗
料を合成樹脂プレートに塗布、乾燥硬化させて厚みが２
〜１５μｍの帯電防止層を形成した後、表面に凹凸を有
する金属板で上記帯電防止層をプレスすることにより該
層表面を艶消し状態とすることを特徴とする帯電防止性
プレートの製造方法。