JP2000019095A - クリーンルームの清浄度測定装置およびクリーンルームの清浄度測定方法 - Google Patents
クリーンルームの清浄度測定装置およびクリーンルームの清浄度測定方法Info
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- JP2000019095A JP2000019095A JP10185207A JP18520798A JP2000019095A JP 2000019095 A JP2000019095 A JP 2000019095A JP 10185207 A JP10185207 A JP 10185207A JP 18520798 A JP18520798 A JP 18520798A JP 2000019095 A JP2000019095 A JP 2000019095A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 56
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 claims description 30
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 24
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 4
- 101000873785 Homo sapiens mRNA-decapping enzyme 1A Proteins 0.000 abstract 2
- 102100035856 mRNA-decapping enzyme 1A Human genes 0.000 abstract 2
- 238000011835 investigation Methods 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】クリーンルーム内の高清浄度を維持しつつ、異
常発生時には即座に調査、対策を可能にする、クリーン
ルーム内ウェーハ搬送エリアを含む全域のパーティクル
環境測定システムを提供する。 【解決手段】ウェーハを収納したＳＭＩＦボックス内に
パーティクル測定器を設置し、天井レール上を、ＳＭＩ
Ｆボックスと共に搬送する。無線送信機付きパーティク
ル測定器は、本システムの装置群を起動するバッテリ、
空気を導入する吸引チューブ，ゴミの量、ゴミの粒径を
測定するゴミカウンタおよび該ゴミカウンタに接続する
ポンプを有する。さらに測定系で得られたデータを処理
するデータ処理装置および処理されたデータを中央監視
盤へ情報転送する無線送信機が具備されている。該ゴミ
カウンタにはパーティクル数、粒径を測定するレーザ光
源、光学レンズ系、受光素子としてのフォトンカウンタ
が設置されている。
常発生時には即座に調査、対策を可能にする、クリーン
ルーム内ウェーハ搬送エリアを含む全域のパーティクル
環境測定システムを提供する。 【解決手段】ウェーハを収納したＳＭＩＦボックス内に
パーティクル測定器を設置し、天井レール上を、ＳＭＩ
Ｆボックスと共に搬送する。無線送信機付きパーティク
ル測定器は、本システムの装置群を起動するバッテリ、
空気を導入する吸引チューブ，ゴミの量、ゴミの粒径を
測定するゴミカウンタおよび該ゴミカウンタに接続する
ポンプを有する。さらに測定系で得られたデータを処理
するデータ処理装置および処理されたデータを中央監視
盤へ情報転送する無線送信機が具備されている。該ゴミ
カウンタにはパーティクル数、粒径を測定するレーザ光
源、光学レンズ系、受光素子としてのフォトンカウンタ
が設置されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、クリーンルーム
内の空気中に浮遊するパーティクルの密度、粒径、種類
を測定し、クリーンルームの清浄度を評価する装置およ
び方法に関するものである。さらに詳しくいえば、パー
ティクルの粒径・個数を測定するパーティクル測定器を
ウェーハ搬送機構に搭載し、得られたデータを無線機構
を介して監視盤へと送る装置、方法に関するものであ
る。
内の空気中に浮遊するパーティクルの密度、粒径、種類
を測定し、クリーンルームの清浄度を評価する装置およ
び方法に関するものである。さらに詳しくいえば、パー
ティクルの粒径・個数を測定するパーティクル測定器を
ウェーハ搬送機構に搭載し、得られたデータを無線機構
を介して監視盤へと送る装置、方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】集積回路製造のリソグラフィのプロセス
はきわめて清浄な雰囲気で行われなければならない。空
気中のごみ粒子（以後パーティクルと呼ぶ）がウェーハ
や、リソグラフィのマスクに付着すると、デバイスに欠
陥が発生し、回路は駄目になるからである。このためリ
ソグラフィが行われるクリーンルームではきわめて高度
の清浄度が要求され、現在では、クラス１０、あるいは
クラス１の清浄度も実現されている。この高清浄度のク
リーンルームを実現するため、発塵の少ない製造装置を
設計するとともに、発塵の主原因の１つになっている作
業者の数を極力減らし、さらには完全な無人化システム
の構築が目指されてきた。そしてクリーンルーム内の高
清浄度は、パーティクルの量（密度）を測定し、パーテ
ィクル寸法分布を測定して、監視され、維持されてき
た。
はきわめて清浄な雰囲気で行われなければならない。空
気中のごみ粒子（以後パーティクルと呼ぶ）がウェーハ
や、リソグラフィのマスクに付着すると、デバイスに欠
陥が発生し、回路は駄目になるからである。このためリ
ソグラフィが行われるクリーンルームではきわめて高度
の清浄度が要求され、現在では、クラス１０、あるいは
クラス１の清浄度も実現されている。この高清浄度のク
リーンルームを実現するため、発塵の少ない製造装置を
設計するとともに、発塵の主原因の１つになっている作
業者の数を極力減らし、さらには完全な無人化システム
の構築が目指されてきた。そしてクリーンルーム内の高
清浄度は、パーティクルの量（密度）を測定し、パーテ
ィクル寸法分布を測定して、監視され、維持されてき
た。
【０００３】従来、自動化を推進したクリーンルームに
おけるパーティクルの評価方法は、図４に示すように、
自動ストッカ（ウェーハ格納庫）出庫口１０、天井レー
ル１１のあるポイントＡ部、ポイントＢ部等に常設され
たパーティクル吸引チューブ１２が、パーティクルカウ
ンタ１３に接続されており、連続パーティクル監視を行
う構成となっている。パーティクルカウンタ１３により
処理されたデータは、監視盤１４で表示され、設定され
た規格に対して外れが生じた場合、監視盤１４よりアラ
ームが発生する構成となっている。
おけるパーティクルの評価方法は、図４に示すように、
自動ストッカ（ウェーハ格納庫）出庫口１０、天井レー
ル１１のあるポイントＡ部、ポイントＢ部等に常設され
たパーティクル吸引チューブ１２が、パーティクルカウ
ンタ１３に接続されており、連続パーティクル監視を行
う構成となっている。パーティクルカウンタ１３により
処理されたデータは、監視盤１４で表示され、設定され
た規格に対して外れが生じた場合、監視盤１４よりアラ
ームが発生する構成となっている。
【０００４】しかし、この従来技術には以下の欠点があ
る。パーティクル吸引チューブ１２の設置個所を固定し
なければならないため、一定の場所しか測定できず、広
範囲に及ぶ製品の搬送エリアすべてを把握することがで
きない。これは、パーティクルカウンタ１３のサンプリ
ングチューブ接続口数が限られているのと、パーティク
ルカウンタ１３と測定ポイントとの距離が遠くなるとポ
ンプ能力が足りず、吸引力が低下するためである。
る。パーティクル吸引チューブ１２の設置個所を固定し
なければならないため、一定の場所しか測定できず、広
範囲に及ぶ製品の搬送エリアすべてを把握することがで
きない。これは、パーティクルカウンタ１３のサンプリ
ングチューブ接続口数が限られているのと、パーティク
ルカウンタ１３と測定ポイントとの距離が遠くなるとポ
ンプ能力が足りず、吸引力が低下するためである。
【０００５】また、特開平５−１３６２４４で開示され
た一例では、回転機構を持ったパーティクルカウンタが
あり、回転軸を中心としてレーザ発振部とレーザ蛍光部
が回転し、レーザ発振部とレーザ蛍光部とが周回する空
間部のパーティクルを測定できる構造にはなっている
が、測定の為には広いエリアが必要であり、また回転軸
が固定しているため、周回レーザ光が掃引するする一定
場所しか測定できないという欠点を持つ。
た一例では、回転機構を持ったパーティクルカウンタが
あり、回転軸を中心としてレーザ発振部とレーザ蛍光部
が回転し、レーザ発振部とレーザ蛍光部とが周回する空
間部のパーティクルを測定できる構造にはなっている
が、測定の為には広いエリアが必要であり、また回転軸
が固定しているため、周回レーザ光が掃引するする一定
場所しか測定できないという欠点を持つ。
【０００６】さらに、平１−２０３９４３では、パーテ
ィクルカウンタと空気中にある不純物測定機構とを合わ
せ持つ装置が開示されている。この装置では、空気中の
パーティクルと、空気中の化学物質、汚染とを同時に評
価できる構成となっているが、この発明の測定装置も一
定場所に設置する方式であるため、製品が往き来するク
リーンルーム全体を測定評価するには不向きである。
ィクルカウンタと空気中にある不純物測定機構とを合わ
せ持つ装置が開示されている。この装置では、空気中の
パーティクルと、空気中の化学物質、汚染とを同時に評
価できる構成となっているが、この発明の測定装置も一
定場所に設置する方式であるため、製品が往き来するク
リーンルーム全体を測定評価するには不向きである。
【０００７】この欠点を除去し、ウェーファ自動搬送台
車に清浄度測定装置を搭載し、もしくは清浄度測定装置
の空気吸引チューブを搭載し、ウェーハ格納カセットが
暴される雰囲気の清浄度を測定する「クリーンルームの
清浄度測定装置」が特開平５−３０６９８８に開示され
ている。この装置によれば、ウェーハの搬送エリア全域
に対するパーティクル環境をリアルタイムで監視できる
ようになった。
車に清浄度測定装置を搭載し、もしくは清浄度測定装置
の空気吸引チューブを搭載し、ウェーハ格納カセットが
暴される雰囲気の清浄度を測定する「クリーンルームの
清浄度測定装置」が特開平５−３０６９８８に開示され
ている。この装置によれば、ウェーハの搬送エリア全域
に対するパーティクル環境をリアルタイムで監視できる
ようになった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記の特開平５−３０
６９８８に示されているウェーハ自動搬送台車には、自
動巻取式ケーブルリールが内蔵されていて、このリール
に巻取られた多芯ケーブルを介して工程管理用コンピュ
ータや外部電源に接続されている。しかしながら、測定
装置にケーブルが接続されていると、その移動範囲が限
定されるから、この測定装置の移動範囲もウェーハ自動
搬送台車の走行レール上に限定されている。
６９８８に示されているウェーハ自動搬送台車には、自
動巻取式ケーブルリールが内蔵されていて、このリール
に巻取られた多芯ケーブルを介して工程管理用コンピュ
ータや外部電源に接続されている。しかしながら、測定
装置にケーブルが接続されていると、その移動範囲が限
定されるから、この測定装置の移動範囲もウェーハ自動
搬送台車の走行レール上に限定されている。
【０００９】本発明はこのような背景の下になされたも
ので、レール上を走行するウェーハ自動搬送台車に搭載
され、あるいは床面を走行する無軌道式走行台車に搭載
されるコードレスのクリーンルーム清浄度測定装置にお
いて、コードレス（cordless）としてのフレキシビリテ
ィを有し、ウェーハ搬送用のレール領域のみならず、ク
リーンルーム全体を自由に移動し、全エリアのパーティ
クル環境をリアルタイムで測定できるものを提供するこ
とを目的としている。
ので、レール上を走行するウェーハ自動搬送台車に搭載
され、あるいは床面を走行する無軌道式走行台車に搭載
されるコードレスのクリーンルーム清浄度測定装置にお
いて、コードレス（cordless）としてのフレキシビリテ
ィを有し、ウェーハ搬送用のレール領域のみならず、ク
リーンルーム全体を自由に移動し、全エリアのパーティ
クル環境をリアルタイムで測定できるものを提供するこ
とを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、クリーンルーム内の空気を吸引し、その吸引した空
気に含まれるパーティクルの量を測定して、前記クリー
ンルームの清浄度を測定する装置において、レーザを照
射し、その散乱光を測定するゴミカウンタと、上記測定
データを入力して演算処理し、送信装置に出力するデー
タ処理装置と、アンテナを具備する送信装置と、上記ゴ
ミカウンタ、データ処理装置、送信装置の電源となるバ
ッテリと、を具備してなるクリーンルームの清浄度測定
装置である。
は、クリーンルーム内の空気を吸引し、その吸引した空
気に含まれるパーティクルの量を測定して、前記クリー
ンルームの清浄度を測定する装置において、レーザを照
射し、その散乱光を測定するゴミカウンタと、上記測定
データを入力して演算処理し、送信装置に出力するデー
タ処理装置と、アンテナを具備する送信装置と、上記ゴ
ミカウンタ、データ処理装置、送信装置の電源となるバ
ッテリと、を具備してなるクリーンルームの清浄度測定
装置である。
【００１１】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のクリーンルームの清浄度測定装置において、前記のク
リーンルームの清浄度測定手段は、天井レール上を走行
するウェーハ自動搬送台車、あるいは床面を走行する無
軌道式走行台車に搭載されることを特徴としている。
のクリーンルームの清浄度測定装置において、前記のク
リーンルームの清浄度測定手段は、天井レール上を走行
するウェーハ自動搬送台車、あるいは床面を走行する無
軌道式走行台車に搭載されることを特徴としている。
【００１２】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
のクリーンルームの清浄度測定装置において、前記のク
リーンルームの清浄度測定手段は、ゴミカウンタと空気
中にある不純物測定装置とを合わせ搭載し、空気中のパ
ーティクルと、空気中の化学物質、汚染とを同時に評価
できる構成となっていることを特徴としている。
のクリーンルームの清浄度測定装置において、前記のク
リーンルームの清浄度測定手段は、ゴミカウンタと空気
中にある不純物測定装置とを合わせ搭載し、空気中のパ
ーティクルと、空気中の化学物質、汚染とを同時に評価
できる構成となっていることを特徴としている。
【００１３】請求項４に記載の発明は、クリーンルーム
の清浄度評価方法に関するもので、レール上を走行する
ウェーハ自動搬送台車、あるいは床面を走行する無軌道
式走行台車に搭載されたバッテリ電源でゴミカウンタ、
データ処理装置、送信装置を起動する過程と、ゴミカウ
ンタで吸引した空気中のパーティクルによる散乱レーザ
光を測定する過程と、散乱レーザ光の測定データを演算
処理する過程と、演算処理された測定データと位置情報
とを送信アンテナから中央監視盤へ送信する過程とを有
することを特徴とするクリーンルームの評価方法であ
る。
の清浄度評価方法に関するもので、レール上を走行する
ウェーハ自動搬送台車、あるいは床面を走行する無軌道
式走行台車に搭載されたバッテリ電源でゴミカウンタ、
データ処理装置、送信装置を起動する過程と、ゴミカウ
ンタで吸引した空気中のパーティクルによる散乱レーザ
光を測定する過程と、散乱レーザ光の測定データを演算
処理する過程と、演算処理された測定データと位置情報
とを送信アンテナから中央監視盤へ送信する過程とを有
することを特徴とするクリーンルームの評価方法であ
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図１、図２、図３を参照し
てこの発明の一実施形態について説明する。図１は、ウ
ェーハを収納したＳＭＩＦ（Standard Mechanical Inte
r Face）ボックス内にパーティクル測定器を設置し、天
井レール上を、ＳＭＩＦボックスと共に搬送される様子
を表した図である。図２に無線送信機付きパーティクル
測定器の構成を示す。無線送信機付きパーティクル測定
器は、本システムの装置群を起動するバッテリ１、およ
び空気を導入する吸引チューブ２，ゴミの量、ゴミの粒
径を測定するゴミカウンタ３、および該ゴミカウンタに
接続するポンプ４を有する。さらに図３に示す測定系で
得られたデータを処理するデータ処理装置５、および処
理されたデータをある波長の電波に乗せ、中央監視盤
（図示せず）へと情報転送するアンテナ６付きの無線送
信機が具備されている。
てこの発明の一実施形態について説明する。図１は、ウ
ェーハを収納したＳＭＩＦ（Standard Mechanical Inte
r Face）ボックス内にパーティクル測定器を設置し、天
井レール上を、ＳＭＩＦボックスと共に搬送される様子
を表した図である。図２に無線送信機付きパーティクル
測定器の構成を示す。無線送信機付きパーティクル測定
器は、本システムの装置群を起動するバッテリ１、およ
び空気を導入する吸引チューブ２，ゴミの量、ゴミの粒
径を測定するゴミカウンタ３、および該ゴミカウンタに
接続するポンプ４を有する。さらに図３に示す測定系で
得られたデータを処理するデータ処理装置５、および処
理されたデータをある波長の電波に乗せ、中央監視盤
（図示せず）へと情報転送するアンテナ６付きの無線送
信機が具備されている。
【００１５】前記ゴミカウンタ３の具体的構成は、例え
ば図３のようになっている。すなわち、密閉容器状の本
体３Ａは、吸引チューブを介して被測定環境に連通さ
れ、ポンプ４から真空圧の供給を受けて、内部へ被測定
環境の空気を吸入する。本体３Ａには、レーザ光源７か
らの光線が光学レンズ系８を介して導入され、この光線
は、本体３Ａ内のパーティクルにより散乱して、光学レ
ンズ系８´を介してフォトンカウンタ９に導入されるよ
うになっている。
ば図３のようになっている。すなわち、密閉容器状の本
体３Ａは、吸引チューブを介して被測定環境に連通さ
れ、ポンプ４から真空圧の供給を受けて、内部へ被測定
環境の空気を吸入する。本体３Ａには、レーザ光源７か
らの光線が光学レンズ系８を介して導入され、この光線
は、本体３Ａ内のパーティクルにより散乱して、光学レ
ンズ系８´を介してフォトンカウンタ９に導入されるよ
うになっている。
【００１６】次に、上記構成になるクリーンルームの清
浄度測定装置を、ウェーハを収納したＳＭＩＦボックス
内に設置し、該ボックスが天井レール上を走行する場合
を例に取り、その動作について説明する。バッテリ１は
ゴミカウンタ３、ポンプ４、データ処理装置５、無線送
信機（図示せず）を駆動する。ポンプ４は、ＳＭＩＦボ
ックスが位置する場所の空気を、吸引チューブ２を通し
てゴミカウンタ３に導入する。もし、導入空気中にパー
ティクルが存在し、照射レーザ光を散乱し、散乱レーザ
光がフォトンカウンタ９で検出されると、検出パルス
数、パルス波高値などの情報が取得される。パーティク
ルによるレーザ散乱（Mie scattering）においては、
パーティクルの粒径と同程度の波長のレーザが好まし
く、例えば、Ａｒイオンレーザ（波長：０．４５〜０．
６０μｍ）のような可視部に高出力を持つＣＷレーザが
選ばれる。フォトンカウンタ９から出力されるパルス
数、パルス波高値に関する情報はデータ処理装置５に入
力し、吸引された空気中のパーティクル密度、粒径分布
が計算される。算出されたパーティクル密度、粒径に関
するデータは、無線送信機のアンテナ６から、上位コン
ピュータが存在する中央監視盤へ送信される。以上のパ
ーティクルの検出は常時連続的に行われ、ＳＭＩＦボッ
クスが存在する位置情報とパーティクル情報とから、ウ
ェーハが搬送される天井レールの近傍領域の清浄度の情
報を取得することができる。
浄度測定装置を、ウェーハを収納したＳＭＩＦボックス
内に設置し、該ボックスが天井レール上を走行する場合
を例に取り、その動作について説明する。バッテリ１は
ゴミカウンタ３、ポンプ４、データ処理装置５、無線送
信機（図示せず）を駆動する。ポンプ４は、ＳＭＩＦボ
ックスが位置する場所の空気を、吸引チューブ２を通し
てゴミカウンタ３に導入する。もし、導入空気中にパー
ティクルが存在し、照射レーザ光を散乱し、散乱レーザ
光がフォトンカウンタ９で検出されると、検出パルス
数、パルス波高値などの情報が取得される。パーティク
ルによるレーザ散乱（Mie scattering）においては、
パーティクルの粒径と同程度の波長のレーザが好まし
く、例えば、Ａｒイオンレーザ（波長：０．４５〜０．
６０μｍ）のような可視部に高出力を持つＣＷレーザが
選ばれる。フォトンカウンタ９から出力されるパルス
数、パルス波高値に関する情報はデータ処理装置５に入
力し、吸引された空気中のパーティクル密度、粒径分布
が計算される。算出されたパーティクル密度、粒径に関
するデータは、無線送信機のアンテナ６から、上位コン
ピュータが存在する中央監視盤へ送信される。以上のパ
ーティクルの検出は常時連続的に行われ、ＳＭＩＦボッ
クスが存在する位置情報とパーティクル情報とから、ウ
ェーハが搬送される天井レールの近傍領域の清浄度の情
報を取得することができる。
【００１７】なお、図示はしないが、ゴミカウンタと空
気中にある不純物測定装置とを合わせ搭載すれば、空気
中のパーティクルと、空気中の化学物質、汚染とを同時
に評価できる構成となる。
気中にある不純物測定装置とを合わせ搭載すれば、空気
中のパーティクルと、空気中の化学物質、汚染とを同時
に評価できる構成となる。
【００１８】前述したパーティクル測定器（図２）は、
バッテリで駆動されるコードレスの装置構成を持つの
で、レール上を自由に走行できるばかりでなく、床面を
走行する無軌道式走行台車に搭載することができる。ク
リーンルーム内の全エリアを誘導し移動して、常時吸引
チューブで空気を吸引し、パーティクル数・粒径を算出
し、無線送信機により情報を中央監視盤へ送信するのは
前述と同様である。
バッテリで駆動されるコードレスの装置構成を持つの
で、レール上を自由に走行できるばかりでなく、床面を
走行する無軌道式走行台車に搭載することができる。ク
リーンルーム内の全エリアを誘導し移動して、常時吸引
チューブで空気を吸引し、パーティクル数・粒径を算出
し、無線送信機により情報を中央監視盤へ送信するのは
前述と同様である。
【００１９】
【発明の効果】クリーンルーム内の搬送エリア全域の空
気清浄度を監視することができる。リアルタイムで通過
エリアのパーティクル環境が解るため、異常発生時には
即座に調査、対策が可能である。これは、パーティクル
測定器自体がコンパクトであり、コードレスであるか
ら、天井レールのみならず、クリーンルーム全エリアを
巡回させることができ、またゴミの粒径・個数のみでな
く、クリーンルーム内の位置情報も同時に得るような機
構をも合わせ持つシステム構成にしてあるためである。
気清浄度を監視することができる。リアルタイムで通過
エリアのパーティクル環境が解るため、異常発生時には
即座に調査、対策が可能である。これは、パーティクル
測定器自体がコンパクトであり、コードレスであるか
ら、天井レールのみならず、クリーンルーム全エリアを
巡回させることができ、またゴミの粒径・個数のみでな
く、クリーンルーム内の位置情報も同時に得るような機
構をも合わせ持つシステム構成にしてあるためである。
【図１】 この発明の一実施形態を説明するための、ク
リーンルームの清浄度測定装置を搭載したＳＭＩＦボッ
クスを示す図である。
リーンルームの清浄度測定装置を搭載したＳＭＩＦボッ
クスを示す図である。
【図２】 図１に示すＳＭＩＦボックス内に設置された
クリーンルームの清浄度測定装置を示す図である。
クリーンルームの清浄度測定装置を示す図である。
【図３】 図２に示すゴミカウンタの構成図である。
【図４】 従来のクリーンルームの清浄度測定装置の一
実施例を説明するための構成図である。
実施例を説明するための構成図である。
１ バッテリ ２ パーティクル吸引チューブ ３ ゴミカウンタ ４ ポンプ ５ データ処理装置 ６ アンテナ ７ レーザ ８ 光学レンズ系 ９ フォトンカウンタ
Claims (4)
- 【請求項１】クリーンルーム内の空気を吸引し、その吸
引した空気に含まれるパーティクルの量を測定して、前
記クリーンルームの清浄度を測定する装置において、 レーザを照射し、その散乱光を測定するゴミカウンタ
と、 上記測定データを入力して演算処理し、送信装置へ出力
するデータ処理装置と、 アンテナを具備する送信装置と、 上記ゴミカウンタ、上記データ処理装置、上記送信装置
の電源となるバッテリとを具備するすることを特徴とす
るクリーンルームの清浄度測定装置。 - 【請求項２】前記のクリーンルームの清浄度測定手段
は、天井搬送レール上を走行するウェーハ自動搬送台
車、あるいは床面を走行する無軌道式走行台車に搭載さ
れることを特徴とする請求項１記載のクリーンルームの
清浄度測定装置。 - 【請求項３】前記のクリーンルームの清浄度測定手段
は、ゴミカウンタと空気中にある不純物測定装置とを合
わせ搭載することを特徴とする請求項１記載のクリーン
ルームの清浄度測定装置。 - 【請求項４】クリーンルーム内の空気を吸引し、その吸
引した空気に含まれるパーティクルの量を測定するクリ
ーンルームの清浄度評価システムにおいて、 レール上を走行するウェーハ自動搬送台車、あるいは床
面を走行する無軌道式走行台車に搭載したバッテリ電源
でゴミカウンタ、データ処理装置、送信装置を起動する
過程と、 上記ゴミカウンタで吸引した空気中のパーティクルによ
る散乱レーザ光を測定する過程と、 散乱レーザ光の測定データを上記演算処理装置で演算処
理する過程と、 演算処理された測定データと位置情報とを送信アンテナ
から中央監視盤へ送信する過程とを有することを特徴と
するクリーンルームの清浄度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10185207A JP2000019095A (ja) | 1998-06-30 | 1998-06-30 | クリーンルームの清浄度測定装置およびクリーンルームの清浄度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP10185207A JP2000019095A (ja) | 1998-06-30 | 1998-06-30 | クリーンルームの清浄度測定装置およびクリーンルームの清浄度測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000019095A true JP2000019095A (ja) | 2000-01-21 |
Family
ID=16166756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10185207A Pending JP2000019095A (ja) | 1998-06-30 | 1998-06-30 | クリーンルームの清浄度測定装置およびクリーンルームの清浄度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000019095A (ja) |
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