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ITFI20080184A1 - Apparato per rivestimento, trattamento sottovuoto od in atmosfera controllata di materiali sotto forma di nastri flessibili metallici, non metallici e tessili. - Google Patents

Apparato per rivestimento, trattamento sottovuoto od in atmosfera controllata di materiali sotto forma di nastri flessibili metallici, non metallici e tessili. Download PDF

Info

Publication number
ITFI20080184A1
ITFI20080184A1 IT000184A ITFI20080184A ITFI20080184A1 IT FI20080184 A1 ITFI20080184 A1 IT FI20080184A1 IT 000184 A IT000184 A IT 000184A IT FI20080184 A ITFI20080184 A IT FI20080184A IT FI20080184 A1 ITFI20080184 A1 IT FI20080184A1
Authority
IT
Italy
Prior art keywords
metallic
chamber
chambers
treatment
controlled atmosphere
Prior art date
Application number
IT000184A
Other languages
English (en)
Inventor
Marco Maltagliati
Original Assignee
Marco Maltagliati
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Marco Maltagliati filed Critical Marco Maltagliati
Priority to IT000184A priority Critical patent/ITFI20080184A1/it
Publication of ITFI20080184A1 publication Critical patent/ITFI20080184A1/it

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/54Apparatus specially adapted for continuous coating
    • C23C16/545Apparatus specially adapted for continuous coating for coating elongated substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

DESCRIZIONE DI INVENZIONE INDUSTRIALE
Descrizione dell'invenzione industriale dal titolo
Apparato per rivestimento trattamento sottovuoto od in atmosfera controdata di materiali sotto forma di nastri flessibili metallici, non metallici e tessili.
L'invenzione riguarda un apparato per: trattamenti, (inclusi rivestimenti) sottovuoto o in atmosfera controllata di materiali metallici o non metallici in forma di nastri flessibili di p?ccolo spessore; trattamenti sottovuoto od in atmosfera controllata di materiali tessili (tessuti e non-tessuti).
I trattamenti previsti comprendono, in particolare : rivestimenti di piccolo spessore;trattamenti al plasma. Si noti che nel seguito con la generica voce "trattamenti" si intendono indicare vari tipi di processi inclusi i processi d? rivestimento .
-Stato deila tecnica
L?invenzione riguarda trattamenti per i quali ? richiesta l'assenza di gas atmosferici nella zona di processo e che prevedono comunque una fase di vuotatura o per operare sottovuoto o per operare con gas di processo non inquinati dai gas atmosferici. .
Gli attuali apparati per il trattamento in vuoto od in atmosfera controllata che prevedono comunque la fase di vuotatura possono essere suddivisi come segueiapparati discontinui monocamera o pluricamera;apparati continui aria-aria; apparati con camere pneumaticamente separabili..
- Apparati discontinui monocamera o plurieamera
Sono gli apparati pi? semplici. Apparati di questo tipo sono stati sviluppati dal 1930 ed hanno trovato varie applicazioni tra le quali la produzione di condensatori elettrici il brevetto GB492681 della ditta Robert Bosch,
Apparati continui aria-aria
Negli apparati precedenti la produttivit? viene limitata dai "tempi morti" soprattutto per la necessit? di Interrompere il trattamento per cambiare le bobine (o le falde) di carico e scarico. In detti apparati il cambio bobine avviene riportando l'intero apparato in aria, e, una volta sostituite le bobine, vuotandolo di nuovo, Si tratta cio? di apparati a funzionamento discontinuo
Negli ultimi decenni sono stati sviluppati invece molti apparati continui aria-aria vedi ad esempio i brevetti EP0337369, DE2747061, JP11323553, EP0388811 ai quali si rimanda .
Apparati pluricamera con camere pneumaticamente separabili.
Una soluzione alternativa alle precedenti si trova nel brevetto DE1911120 (del 1969) nel quale si parla di separazione tra camera di processo e camere delle bobine.
Detta separazione in un apparato multicamera ? ottenuta tramite valvole a saracinesca di tipo noto.
Utilizzando detta separazione a fine di ogni ciclo il cambio bobine pu? avvenire riportando a pressione atmosferica solo le camere delle bobine e non la zona di processo, riducendo cosi i tempi morti.
Scopo dell?invenzione
Si premette che nei trattamenti sottovuoto o in atmosfera controllata si desidera spesso evitare la presenza durante il processo non solo del gas atmosferici ma anche di altri gas in particolare di gas provenienti dalla degassazione del materiale la cui presenza pu? rendere impossibile il trattamento stesso. L?invenzione riguarda un apparato innovativo in grado di effettuare, in maniera discontinua, trattamenti che rispettino le suddette condizioni, detto apparato ? costituito da tre sezioni scollegabili ed allontanabili fra loro senza perdere mai la condizione di ermeticit? e tenuta, in modo che in ognuna di queste sezioni sia possibile allontanare i gas atmosferici e per contro si possa operare in presenza di gas di processo oppure sottovuoto. La prima di tali sezioni ? sostanzialmente costituita da una camera (camera di carico) a tenuta che contiene una bobina del materiale da trattare, la seconda sezione ? sostanzialmente costituita da una o pi? camere a tenuta equipaggiate con dispositivi per il trattamento, mentre la terza sezione ? sostanzialmente costituita da una camera (camera di scarico) a tenuta che contiene la bobina di materiale che ? stato trattato.
La prima e terza sezione oltre ad essere a tenuta stagna sono ambedue munite di raccordi e valvole di tipo noto e tramite questi dispositivi possono essere vuotate anche quando sono scollegate dall'apparato, e, almeno la prima sezione pu? essere anche eventualmente riempita di gas di processo in modo da impregnare con detto gas il materiale da trattare .
Il predetto pre-trattamento pu? essere infatti un allontanamento dei gas atmosferici (vuotatura) ma anche una immissione di gas di trattamento, favorendo cos? la degassazione e l?eventuale impregnazione del materiale con gas di trattamento. Disponendo di una pluralit? di camere equipaggiate come detto si pu? allora effettuare detto trattamento senza rallentare la produttivit? dell'apparato.
Descrizione di una forma di attuazione dell'invenzione.
L'invenzione verr? meglio compresa seguendo la descrizione e gli uniti disegni che mostrano una possibile forma di realizzazione non limitativa dell'apparato oggetto della presente invenzione.
Sia nei disegni che nelle descrizioni seguenti si omettono quelle parti che hanno funzioni e forme di attuazione ormai note e consuete.
L'apparato ? composto da tre sezioni mostrate sia nella Fig.1 che nella Fig.2.
La prima sezione comprende un contenitore (6) a tenuta stagna per la bobina (8) da processare provvisto di un passaggio per il materiale in uscita, dotato di un sistema di chiusura/apertura e attacco rapido (7} che permette a detta sezione di essere connessa e disconnessa tramite l'analogo dispositivo (2) alla seconda sezione (1).
La seconda sezione (1) ? in sostanza un contenitore a tenuta stagna che contiene tutti i dispositivi necessari all'esecuzione del trattamento.
Tale sezione possiede due passaggi dotati di un sistema di chiusura/apertura e attacco rapido (2 e 3) che possono essere connessi e disconnessi agli analoghi dispositivi (7 e 11) presenti rispettivamente sui contenitori {6 e 10) .
La terza sezione comprende un altro contenitore (10) simile al contenitore (6) ma contenente la bobina (12) del materiale processato, provvisto di un passaggio per il materiale in uscita e dotato del dispositivo (11) analogo al dispositivo (7) che permette a detta sezione di essere connessa al dispositivo (3) presente nella sezione (1). In Fig.2 sono mostrati i lembi (4, 5, 9 e 13) del materiale in lavorazione nella fase in cui le sezioni (1, 6 e 10) sono separate tra foro, consentendo la sostituzione delle bobine (8 e 12).
La Fig.1 rappresenta dunque la situazione al momento in cui si inizia il trattamento del materiale e la Fig.2 quella al momento in cui la lavorazione ? terminata ed il materiale avvolto nella bobina (8) in entrata ? stato trasferito nella bobina (12) in uscita dopo essere transitato nella camera di processo (1).
Nella figura 2 i lembi (4, 5, 9 e 13) del materiale, sono liberi perch? tagliati, scollati, o scuciti per rendere liberi i contenitori (6 e 10) contenenti le bobine (8 e 12).
A questo punto il contenitore (6) vuoto, sar? sostituibile con un altro carico di materiale da trattare, che sar? ricollegato alla camera di processo (1) dal lato del dispositivo (2) dopo aver unito fra loro i lembi (4) e (9) del materiale, mentre il contenitore (10) in uscita sar? sostituito con uno vuoto, ma contenente una coda (13) di materiale da ricongiungere al lembo (5) uscente dalla camera di processo (1).
Risulta evidente che i contenitori in sostituzione possono essere preparati fuori linea, con tutto il tempo necessario per effettuare il vuoto al loro interno ed eventualmente sostituire l'aria estratta con il gas di processo particolarmente nel caso del contenitore (6) che contiene il materiale da trattare.
Il gas di processo rimasto a fine ciclo nei due contenitori pu?, se necessario essere recuperato o smaltito senza venire in contatto dell'atmosfera, aspetto questo interessante dal punto di vista ecologico per determinati trattamenti.

Claims (5)

  1. RIVENDICAZIONI Le part? essenziali dei brevetto d'invenzione depositato il 29/09/2008 sono le seguenti: 1) Apparato pluricamere per trattamenti e/o rivestimenti, sottovuoto od in atmosfera controllata, di materiali flessibili metallici, non metallici e tessili, in forma di nastri avvolti in bobina o disposti in falde, contenente oltre alla camera o zona di trattamento/processo almeno una camera contenente la bobina carica del materiale da processare ed una camera contenente la bobina col materiale processato, caratterizzato dal fatto che dette camere contenenti le bobine sono distaccabili ed asportabili dall'apparato pluricamere stesso.
  2. 2) Apparato come descritto nella rivendicazione precedente, caratterizzato dal fatto che dette camere asportabili sono a tenuta stagna.
  3. 3) Apparato, come descritto in una o pi? delle rivendicazioni precedenti, caratterizzato dal fatto che dette camere asportabili sono munite di dispositivi noti tramite i quali possono essere svuotate dall'aria e, successivamente, eventualmente riempite con gas di trattamento anche quando non sono connesse alla camera o zona di trattamento stessa.
  4. 4) Apparato, come descritto in una o pi? delle rivendicazioni precedenti, caratterizzato dal fatto che utilizzando dispositivi noti durante la separazione o la connessione delle camere tra loro, viene impedito il contatto del materiale con l'aria atmosferica.
  5. 5) Apparato, come descritto in una o pi? delle rivendicazioni precedenti, caratterizzato dal fatto che, utilizzando dispositivi noti, durante la separazione o la connessione delle camere viene impedito l?ingresso di aria atmosferica nella zona di trattamento
IT000184A 2008-09-29 2008-09-29 Apparato per rivestimento, trattamento sottovuoto od in atmosfera controllata di materiali sotto forma di nastri flessibili metallici, non metallici e tessili. ITFI20080184A1 (it)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5522955A (en) * 1994-07-07 1996-06-04 Brodd; Ralph J. Process and apparatus for producing thin lithium coatings on electrically conductive foil for use in solid state rechargeable electrochemical cells
WO2004032189A2 (en) * 2002-09-30 2004-04-15 Miasolé Manufacturing apparatus and method for large-scale production of thin-film solar cells
US20070148329A1 (en) * 2005-12-28 2007-06-28 Superpower, Inc. Method of making a superconducting conductor

Patent Citations (3)

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