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FR3142546B1 - Dispositif de détection d’un rayonnement électromagnétique et procédé de fabrication - Google Patents

Dispositif de détection d’un rayonnement électromagnétique et procédé de fabrication Download PDF

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FR3142546B1
FR3142546B1 FR2212455A FR2212455A FR3142546B1 FR 3142546 B1 FR3142546 B1 FR 3142546B1 FR 2212455 A FR2212455 A FR 2212455A FR 2212455 A FR2212455 A FR 2212455A FR 3142546 B1 FR3142546 B1 FR 3142546B1
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Geoffroy Dumont
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Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
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Abstract

Titre : Dispositif de détection d’un rayonnement électromagnétique et procédé de fabrication L’invention porte sur un dispositif (1) de détection d’un rayonnement électromagnétique, comprenant au moins un détecteur disposé au sein d’une cavité (2) formée par une structure d’encapsulation, ladite structure d’encapsulation comprenant des piliers d’ancrage (21) dont l’un au moins est relié à l’au moins un détecteur, et des piliers de support (22) surmontant lesdits piliers d’ancrage (21). Avantageusement, les piliers de support (22) présentent une portion (220) s’étendant sur au moins un flanc (210) des piliers d’ancrage (21). L’invention porte également sur un procédé de fabrication d’un tel dispositif (1). Figure pour l’abrégé : Fig.9A
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