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FR3114875B1 - Dispositif à résonateurs - Google Patents

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FR3114875B1
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resonators
resonator
interdigital transducer
transducer structure
cavity
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Sylvain Ballandras
Emilie Courjon
Florent Bernard
Thierry Laroche
Julien Garcia
Alexandre Clairet
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Soitec SA
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Frecnsys SAS
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Abstract

La présente invention concerne un dispositif à résonateurs pour mesurer une contrainte comprenant au moins deux résonateurs, chaque résonateur comprenant une structure de transducteur interdigité agencée entre deux structures réflectrices sur ou dans un substrat piézoélectrique, caractérisé en ce que les au moins deux résonateurs sont agencés et positionnés de telle sorte qu'ils ont deux directions de propagation d’onde différentes, et chaque résonateur comprend au moins deux partie, la zone entre les deux parties des au moins deux résonateurs formant une cavité, dans lequel la cavité est partagée par les au moins deux résonateurs, et dans lequel pour au moins un résonateur, en particulier tous les résonateurs, la structure de transducteur interdigité comprend un premier matériau et les structures réflectrices un second matériau différent du premier matériau et/ou la structure de transducteur interdigité et les structures réflectrices ont des paramètres géométriques différents. L'invention concerne également un dispositif de détection différentielle comprenant au moins un dispositif à résonateurs tel que décrit précédemment. Figure pour l’abrégé : Fig. 2a
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