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FR2802139A1 - Dispositif de transfert d'un objet sous une atmosphere controlee entre une premiere chambre et une seconde chambre - Google Patents

Dispositif de transfert d'un objet sous une atmosphere controlee entre une premiere chambre et une seconde chambre Download PDF

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FR2802139A1
FR2802139A1 FR9915737A FR9915737A FR2802139A1 FR 2802139 A1 FR2802139 A1 FR 2802139A1 FR 9915737 A FR9915737 A FR 9915737A FR 9915737 A FR9915737 A FR 9915737A FR 2802139 A1 FR2802139 A1 FR 2802139A1
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Andre Dillinger
Joseph Marco
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Office National dEtudes et de Recherches Aerospatiales ONERA
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

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Abstract

- Dispositif de transfert d'un objet sous une atmosphère contrôlée entre une première chambre et une seconde chambre. - Le dispositif (1) est susceptible de transférer sous une atmosphère contrôlée, notamment sous vide, au moins un objet (2) entre une première chambre (C1), en particulier une chambre de transport, et une seconde chambre (C2), en particulier une chambre d'analyse. Ledit dispositif de transfert (1) est susceptible à cet effet d'être lié auxdites première et seconde chambres (C1, C2), et il comporte un sas (7) pour le passage dudit objet (2) et un premier moyen de transfert (M1) permettant de transférer l'objet (2) entre le sas (7) et la seconde chambre (02). Selon l'invention, ledit dispositif de transfert (1) comporte de plus un second moyen de transfert (M2) permettant de transférer au moins l'objet (2) entre la première chambre (C1) et le sas (7).

Description

La présente invention concerne un dispositif pour transférer un objet entre une première chambre et une seconde chambre sous une at mosphère contrôlée, notamment sous vide, ainsi qu'un système d'analyse d'objet comprenant au moins un tel dispositif.
Bien que non exclusivement, ledit dispositif de transfert est appli qué plus particulièrement<B>'</B> un système d'analyse d'échantillons et sert alors au transfert de ces échantillons entre une (première) chambre de transport et une (seconde) chambre d'analyse, ledit dispositif de transfert maintenant pendant ce transfert une atmosphère contrôlée, notamment un vide et en particulier un vide secondaire, telle qu'elle existe dans lesdites chambres de transport et analyse.
Un tel système d'analyse peut notamment être destiné<B>à</B> évaluer le comportement au cours temps de matériaux de revêtement, en particu lier de matériaux de revetement de satellites. On sait que, placés dans des conditions de vide spatial, matériaux de revêtement de satellites subis sent de fortes dégradations, notamment de leurs propriétés thermo- optiques, en particulier sous l'effet des nombreuses radiations particulaires et électromagnétiques, essentiellement d'origine solaire, auxquelles ils sont soumis.
Aussi, pour pouvoir etudier la dégradation éventuelle de tels revê tements, on reproduit façon connue en laboratoire dans différentes chambres d'analyse conditions de vide et d'environnement radiatif, proches de celles existant dans l'espace. Chacune de ces différentes chambres d'analyse est alors destinée<B>à</B> créer certaines de ces conditions, par exemple des irradiations rayonnement ultraviolet et/ou des bombar dements de particules chargees, et<B>à</B> faire des analyses appropriées, par exemple mesures sous vide de la réflectance solaire, sur le ou les échantillons sont soumis<B>à</B> ces conditions, c'est-à-dire qui sont trans férés dans chambre d'analyse correspondante.
<B>0</B> r, matériaux de revêtement minéraux ou organiques ainsi irra diés subissent, dans la majorité des cas, des "transformations morpholo giques" ou liguérisons" lorsqu'ils sont exposés<B>à</B> de l'air après l'irra diation, notamment lors de leur transfert d'une chambre d'analyse<B>à</B> une autre.
conséquent, pour éviter de telles "transformations morphologi ques" ou guérisons", il est nécessaire d'effectuer sous vide transport et le transfert des échantillons analysés entre deux chambres analyse de manière<B>à</B> maintenir les mêmes conditions de vide que celles existent dans ces chambres d'analyse.
façon connue, le transport d'un échantillon d'une chambre d'analyse<B>à</B> une autre chambre d'analyse peut être réalisé au moyen d'une chambre transport sous vide, par exemple du type de celle decrite dans le document US-5 043 148. Le transfert d'un échantillon 'une telle chambre transport vers l'une des chambres d'analyse est alors réalisé au moyen 'un dispositif de transfert muni d'un sas et monté directement sur la chambre d'analyse.
-Par document US-4 <B>532 816,</B> on connaît une chambre de trans port sous vide d'un échantillon. Cette chambre comporte un corps tubu laire creux, dans lequel est monté un porte-échantillon qui peut etre dépla cé en translation par un mécanisme. En vue du transfert de Vechantillon vers une chambre d'analyse, on monte cette chambre de transport sur un dispositif transfert qui est solidaire de la chambre d'analyse et qui comporte un sas sous vide. Le mécanisme de translation de la chambre de transport sert alors de moyen de transfert pour amener l'échantillon dans le sas. De<B>là,</B> ledit échantillon est amené dans la chambre d'analyse<B>à</B> l'aide d'un moyen de transfert supplémentaire prévu dans le dispositif de transfert. Cette chambre de transport, qui permet donc de réaliser, en liai son avec le dispositif de transfert, un transport et un transfert sous vide de manière<B>à</B> ne pas interrompre la chaîne du vide, présente toutefois quelques inconvénients importants, en particulier un volume stockage réduit ne pouvant contenir qu'un seul échantillon.
La présente invention a pour objet de remédier<B>à</B> cet inconvénient. Elle concerne un dispositif de transfert d'objets, notamment 'échantil lons, du type précité, permettant de faciliter le transport et transfert d'objets sous une atmosphère contrôlée, en particulier sous vide, transport et transfert qui sont susceptibles d'être mis en #uvre par une seule per sonne et qui peuvent concerner simultanément une pluralité d'objets.
<B>A</B> cet effet, selon l'invention, le dispositif de transfert susceptible de transférer sous une atmosphère contrôlée, par exemple sous un vide secondaire, au moins un objet, notamment un échantillon, entre une pre mière chambre équipée d'une première vanne, en particulier une chambre de transport, et une seconde chambre équipée d'une deuxième vanne, en particulier une chambre d'analyse, ledit dispositif de transfert étant sus ceptible d'être lié auxdites première et seconde chambres et comportant<B>:</B> <B>-</B> un sas connecté aux première et deuxième vannes pour le passage du- dit objet, lorsque le dispositif de transfert est lié auxdites première et seconde chambres<B>;</B> <B>-</B> des moyens de contrôle, par exemple une pompe pour créer le vide, destinés<B>à</B> contrôler l'atmosphère dans ledit sas<B>;</B> et <B>-</B> un premier moyen de transfert permettant de transférer ledit objet entre ledit sas et ladite seconde chambre, est remarquable en ce qu'il comporte de plus un second moyen de trans fert permettant de transférer au moins ledit objet entre ladite première chambre et ledit sas. Ainsi, comme grâce<B>à</B> l'invention, un moyen pour transférer au moins un objet de la première chambre (notamment une chambre transport d'un système d'analyse d'échantillons) vers ledit sas est agence dans ledit dispositif de transfert, il n'est pas nécessaire de prévoir un moyen dans ladite première chambre. Ceci permet<B>:</B> <B>-</B> d' part, de réduire le poids de cette première chambre de sorte dans le cas d'une chambre de transport, le transport et le transfert d'objets peuvent être réalisés par une seule personne<B>;</B> et <B>-</B> d'autre part, de libérer de l'espace dans ladite première chambre, pour des objets ou échantillons<B>à</B> transporter, de manière<B>à</B> permettre transport simultanément d'une pluralité de tels objets.
façon avantageuse, ledit second moyen de transfert est forme de maniere <B>à</B> transférer un magasin, sur lequel sont montés de façon amovible une pluralité d'objets, et ledit premier moyen de transfert est formé manière<B>à</B> transférer uniquement au moins l'un desdits objets (par exemple un porte-échantillon pourvu d'un échantillon, notamment un échantillon de matériau de revêtement de satellites), prélevé dudit magasin préalablement transféré dans ledit sas, ce qui permet de faciliter le trans port et transfert desdits objets.
outre, avantageusement, au moins l'un desdits moyens transfert comporte une canne de transfert actionnable, comprenant moyens prise et susceptible d'être déplacée de façon sensiblement - tiligne selon une direction de déplacement déterminée.
Pour faciliter le transfert, de préférence, chacun desdits premier second moyens de transfert comporte une telle canne de transfert, et directions déplacement respectives desdites cannes de transfert sont sensiblement orthogonales.
Dans un mode de réalisation préféré <B>-</B> la canne transfert dudit second moyen de transfert comporte des moyens prise<B>à</B> baïonnette, de type usuel<B>;</B> et/ou <B>-</B> la canne transfert dudit premier moyen de transfert comporte des moyens prise comprenant deux pions de guidage et une clé, suscep tibles de coopérer avec des ouvertures adaptées prévues dans ledit ob jet, notamment dans un porte-échantillon portant un échantillon<B>à</B> ana lyser.
De plus, pour faciliter le suivi du transfert, avantageusement, ledit sas est pourvu d'un hublot d'observation permettant de voir<B>à</B> l'intérieur dudit sas.
Par ailleurs, dans un mode de réalisation particulier, le dispositif conforme<B>à</B> l'invention comporte, d'une part, un sas auxiliaire raccordé audit sas et muni d'une troisième vanne, ladite première chambre pouvant être liée audit sas auxiliaire en regard de ladite troisième vanne, d'autre part, des moyens de contrôle auxiliaires susceptibles de contrôler l'atmos phère dans ledit sas auxiliaire. Comme ledit sas auxiliaire ne comporte au cun élément mécanique, on peut prévoir un volume réduit pour ce sas auxiliaire, par rapport au volume du sas (principal) comportant moyens de transfert. Ceci permet d'accélérer la phase de pompage préliminaire au transfert, en vue de réaliser le vide, puisque le sas (principal) comportant les moyens transfert et présentant un volume plus éleve peut être maintenu en permanence sous vide, et en particulier sous vide secondaire, et ladite phase de pompage doit uniquement être réalisée dans ledit sas auxiliaire de volume réduit.
De preférence, au moins l'une desdites première, deuxieme et troi sième vannes est une vanne<B>à</B> tiroir et<B>à</B> soufflet, de type usuel.
La presente invention concerne également un système d'analyse d'au moins un objet, en particulier un échantillon, du type comportant<B>:</B> <B>-</B> au moins une première chambre permettant de transporter ledit objet sous une atmosphère contrôlée<B>;</B> <B>-</B> au moins une seconde chambre permettant de faire des analyses dudit objet sous une atmosphère contrôlée<B>;</B> et <B>-</B> au moins un dispositif de transfert permettant de transférer ledit objet entre lesdites première et seconde chambres, en maintenant ladite at mosphère contrôlée.
Selon l'invention, ce système d'analyse est remarquable en ce ledit dispositif de transfert est un dispositif de transfert du type de celui précité et conforme<B>à</B> l'invention.
De plus, de façon avantageuse, ladite première chambre comporte un magasin, sur lequel sont montés de façon amovible une pluralité jets, ledit magasin est monté de façon déplaçable dans ladite premiere chambre, et ledit magasin peut être transféré dans ledit sas<B>à</B> l'aide<B>-</B> dits seconds moyens de transfert du dispositif de transfert.
En outre, avantageusement, ladite première chambre comporte un corps fermé contenant ledit ou lesdits objets et des moyens de controle pour contrôler l'atmosphère<B>à</B> l'intérieur dudit corps fermé, ladite premiere chambre est montée sur un chariot mobile, et ledit corps fermé peut être enlevé dudit chariot mobile. Ainsi, ladite première chambre peut être ma nipulée facilement par une seule personne, puisqu'il suffit de manipuler corps fermé pour le relier au dispositif de transfert lors d'un transfert, autres éléments de ladite chambre, en particulier lesdits moyens contrôle, notamment une pompe sèche<B>à</B> membranes, un coffret de me sure de vide, leurs moyens de fourniture d'énergie pouvant rester sur ledit chariot en étant reliés par un cordon approprié audit corps fermé.
Le système d'analyse conforme<B>à</B> l'invention comporte, de préfe- rence, une pluralité de secondes chambres différentes et une seule<B>-</B> mière chambre susceptible de transporter un même objet successivement <B>à</B> chacune desdites secondes chambres.
Par ailleurs, dans un premier mode de réalisation, ledit dispositif transfert est lié, de façon fixe,<B>à</B> ladite seconde chambre, tandis que, dans second mode de réalisation, le dispositif de transfert est lié, de façon amovible,<B>à</B> ladite seconde chambre. Ce dernier mode de réalisation de nutiliser qu'un seul dispositif de transfert pour une pluralité diffe rente de secondes chambres.
Toutefois, comme il peut être difficile de déplacer tout le dispositif transfert d'une seconde chambre<B>à</B> une autre, avantageusement, au moins l'un desdits premier et second moyens de transfert est lié, de façon amovible, audit sas. Ainsi, au lieu d'utiliser toujours le même dispositif de transfert, pour une pluralité de secondes chambres, on prévoit sur chaque seconde chambre un dispositif de transfert ne comprenant pas ledit moyen transfert amovible et on utilise un seul et même moyen de transfert amovible pour tous ces différents dispositifs de transfert.
Les figures du dessin annexé feront bien comprendre comment invention peut être réalisée. Sur ces figures, des références identiques désignent des éléments semblables.
La figure<B>1</B> montre schématiquement un système d'analyse com portant un dispositif de transfert conforme<B>à</B> l'invention.
La figure 2 montre partiellement un système d'analyse particulier comportant un dispositif de transfert conforme<B>à</B> l'invention.
La figure<B>3</B> montre un magasin conforme<B>à</B> l'invention, qui est des tiné <B>à</B> porter des objets, en particulier des supports d'échantillon munis d'échantillons.
La figure 4 est une vue de face d'un support d'échantillon conforme<B>à</B> l'invention et muni d'un échantillon. La figure<B>5</B> est une vue latérale du support d'échantillon la fi gure 4.
figure<B>6</B> montre l'extrémité de moyens de prise d'une canne de transfert conforme<B>à</B> l'invention.
figure<B>7</B> est une coupe selon la ligne VII-VII de la figure figure<B>8</B> est un vue latérale d'une clé d'une canne de transfert conforme<B>à</B> l'invention.
figure<B>9</B> est une vue de face de la clé de la figure<B>8.</B>
figure<B>10</B> illustre schématiquement un système analyse conforme<B>à</B> l'invention.
dispositif de transfert<B>1</B> conforme<B>à</B> l'invention et représenté schématiquement sur la figure<B>1</B> et dans un mode de réalisation préféré sur la figure 2, est destiné<B>à</B> transférer au moins un objet 2, en l'occur rence pluralité d'objets précisés ci-dessous, entre une première cham bre<B>Cl</B> une seconde chambre<B>C2,</B> sous une atmosphère controlée.
Pour contrôler l'atmosphère dans le dispositif de transfert<B>1 ,</B> la première chambre<B>Cl</B> et la seconde chambre<B>C2,</B> on prévoit respective ment des moyens de contrôle<B>3,</B> 4,<B>5</B> appropriés. Plus particulièrement, bien que non exclusivement, l'atmosphère contrôlée représente un vide, en l'occurrence un vide secondaire, de sorte que lesdits moyens de contrôle 4,<B>5</B> représentent des pompes usuelles pour créer et maintenir un tel vide secondaire.
préférence, au moins les moyens de contrôle 4 representent une pompe hybride moléculaire<B>/</B> turbomoléculaire, de type usuel. telle pompe présente des pressions de refoulement élevées par rapport aux pompes turbomoléculaires simples. Ceci présente un double avantage,<B>à</B> savoir<B>:</B> <B>-</B> l'avantage (propreté du vide) de l'utilisation d'une pompe sèche<B>à</B> mem brane refoulement<B>;</B> et <B>-</B> la possibilité d'utiliser la pompe sèche par intermittence avec une ré serve de vide, en sortie de pompe hybride, afin d'augmenter l'autono mie des batteries.
On notera que la seconde chambre<B>C2</B> peut être une chambre d'analyse munie de moyens<B>6</B> représentés de façon générale, par exemple un spectro photomètre, pour réaliser des analyses ou des tests sur un objet 2 introduit dans ladite chambre<B>C2</B> de sorte que ledit dispositif transfert <B>1</B> et lesdites chambres<B>Cl</B> et<B>C2</B> forment dans ce cas un systeme d'ana lyse<B>SA,</B> precisé ci-dessous en référence<B>à</B> la figure<B>10.</B>
Le dispositif de transfert<B>1,</B> qui est susceptible d'être<B>'</B> auxdites chambres et<B>C2</B> munies de vannes Vl et V2, comme representé sur les figures et 2, comporte de façon connue, en plus des moyens de contrôle<B>3</B> <B>-</B> un sas<B>7</B> connecté aux vannes Vl et V2 pour le passage objets 2, lorsque dispositif de transfert<B>1</B> est lié aux chambres<B>C2.</B> Les moyens contrôle<B>3</B> contrôlent l'atmosphère, c'est-à-dire créent et maintiennent un vide secondaire, dans ledit sas<B>7 ;</B> et <B>-</B> un moyen de transfert Ml permettant de transférer un objet 2 entre ledit sas et la seconde chambre<B>C2.</B>
Selon l'invention, ledit dispositif de transfert<B>1</B> comporte de plus un second moyen de transfert M2 permettant au moins de transferer le ou les objets 2 entre la chambre<B>Cl</B> et le sas<B>7.</B>
Ainsi, grâce<B>à</B> l'invention, il n'est pas nécessaire de prévoir un moyen de transfert dans ladite chambre<B>Cl</B> pour transférer un objet 2 en tre cette dernière et le sas<B>7, à</B> la différence de l'enseignement fourni par le document US-4 <B>532 816.</B> Ceci permet<B>:</B> <B>-</B> de réduire le poids de la chambre<B>Cl</B> de transport, par exemple<B>à</B> envi ron<B>15 kg,</B> de sorte qu'elle peut être manipulée facilement par une seule personne<B>;</B> et <B>-</B> de libérer de l'espace pour les objets 2 de manière<B>à</B> permettre simulta nément le transport d'une pluralité de tels objets 2 précisés ci-dessous.
Selon l'invention, chacun desdits moyens de transfert et M2 comporte une canne de transfert<B>8, 9,</B> de type usuel, lesdits moyens Ml et M2 étant représentés partiellement sur la figure 2.
Lesdites cannes de transfert<B>8, 9</B> sont susceptibles d'etre dépla cées sensiblement longitudinalement, respectivement selon directions de déplacement<B>Dl</B> et<B>D2.</B> Pour faciliter le transfert des objets 2, ces di rections de déplacement<B>Dl</B> et<B>D2</B> sont sensiblement orthogonales.
De plus, lesdites cannes de transfert<B>8, 9</B> comportent, chacune <B>- à</B> l'extrémité pénétrant dans le sas<B>7,</B> des moyens de prise P2 pré cisés ci-dessous<B>;</B> et <B>- à</B> l'autre extrémité, qui est accessible de l'extérieur du sas<B>7,</B> 'une part des moyens de commande en translation<B>10, 11</B> de type usuel, pour déplacer les cannes de transfert<B>8, 9,</B> et d'autre part, des moyens de commande en rotation 12,<B>13</B> de type usuel, pour verrouiller déver rouiller moyens de prise Pl, P2.
Selon l'invention, les objets 2 sont montés dans un magasin 14 représente sur la figure<B>3.</B> Ledit magasin 14 est monté de maniere <B>à</B> être déplacable des moyens connus et non représentés dans le boitier <B>15</B> de la chambre<B>Cl,</B> qui représente un corps creux fermé. Lors du transfert d'un objet de la chambre<B>Cl à</B> la chambre<B>C2,</B> les moyens transfert M2 transferent tout le magasin 14 dans le sas<B>7.</B> Là, les moyens trans- f ert M<B>l</B> prelèvent l'un des objets 2 du magasin<B>1</B>4 et le transfèrent dans la chambre comme illustré sur la figure 2.
notera que, pour permettre le déplacement de canne de transfert jusqu'à la chambre<B>C2</B> représentée partiellement sur figure 2, le magasin 14 est, soit ramené dans la chambre<B>Cl,</B> soit déplacé dans l'autre sens vers les moyens de commande<B>11</B> et<B>13,</B> pour libérer le pas sage.
Comme peut le voir sur la figure<B>3,</B> le magasin 14 est un corps unitaire pourvu d'une pluralité d'emplacements<B>16</B> pour des objets 2, par exemple dix emplacements<B>16. A</B> l'extrémité<B>17</B> de forme cylindrique, qui se trouve en regard du sas<B>7</B> dans la position montée de la chambre<B>Cl,</B> tel que représente sur les figures<B>1</B> et 2, ledit magasin 14 comporte plu sieurs pions<B>18,</B> exemple trois pions<B>18,</B> agencés radialement de façon uniformément répartie autour de ladite extrémité<B>17.</B> Ces pions<B>18</B> sont destinés<B>à</B> cooperer avec les moyens de prise P2 de la canne de transfert <B>9</B> de manière<B>à</B> former une liaison de type usuel<B>à</B> baïonnette.
Sur les figures 4 et<B>5,</B> on a représenté un exemple préféré, mais non exclusif, objet 2. Cet objet 2 comporte un support<B>19,</B> sur lequel est monté un echantillon 20 directement visible et accessible, notamment un échantillon devant être analysé dans la chambre<B>C2. Il</B> peut également s'agir d'un échantillon devant être traité dans cette chambre<B>C2. A</B> litre d'illustration, cet échantillon 20 peut être un matériau de revêtement, particulier un matériau de revêtement de satellites.
Bien entendu, la présente invention peut s'appliquer<B>à</B> d'autres - pes d'objets.
On voit que la forme des emplacements<B>16</B> du magasin 14 repre- senté sur la figure<B>3</B> est adaptée au contour latéral de l'objet 2, tel représenté sur la figure<B>6.</B>
Ledit support<B>19</B> comporte de plus des moyens de maintien 21, préférence des moyens élastiques, permettant de maintenir le support<B>1</B> muni de l'échantillon 20, dans un emplacement<B>16</B> du magasin 14.
Le support<B>19</B> présente trois ouvertures latérales 22,<B>23</B> et 24, a savoir<B>:</B> <B>-</B> une ouverture centrale 22, en forme de "clé"<B>;</B> et <B>-</B> deux ouvertures circulaires<B>23</B> et 24 prévues de part et d'autre ladite ouverture centrale 22.
Ces ouvertures 22,<B>23</B> et 24 sont adaptées aux moyens prise Pl de la canne de transfert<B>8,</B> qui sont représentés sur les figures<B>à 9.</B> Lesdits moyens de prise Pl comportent, dans un mode réalisa tion préféré<B>à</B> encombrement réduit<B>:</B> <B>-</B> une première pièce<B>25</B> représentée sur les figures<B>6</B> et<B>7,</B> de forme cy lindrique creuse d'axe X-X, comprenant<B>à</B> son extrémité prise<B>26</B> deux pions de guidage<B>27</B> et<B>28</B> destinés<B>à</B> pénétrer respectivement dans les ouvertures<B>23</B> et 24 du support<B>19</B> de la figure<B>5 ;</B> et <B>-</B> une seconde pièce cylindrique<B>30</B> représentée sur les figures et<B>9,</B> d'axe Y-Y, pourvue d'une rainure<B>31</B> pour sa fixation et munie a l'une de ses extrémités<B>32</B> d'une saillie rapportée<B>33</B> de manière<B>à</B> présenter une forme de clé.
La pièce<B>30</B> est destinée<B>à</B> être montée dans l'espace creux<B>29</B> de pièce<B>25</B> de manière<B>à</B> pouvoir coulisser dans cet espace creux<B>29.</B> Les axes X-X et Y-Y sont alors confondus. Pour prendre l'objet 2, la canne de transfert<B>8</B> est commandée<B>à</B> l'aide des moyens de commande<B>10</B> et<B>1</B>2 sorte que les pions<B>27</B> et<B>28</B> pénètrent dans les ouvertures<B>23</B> 24 et l'extrémité<B>32</B> pénètre dans l'ouverture 22. Après son introduction, la piece <B>30</B> est tournée de manière<B>à</B> emprisonner le support<B>19.</B>
Le dispositif de transfert<B>1</B> conforme<B>à</B> l'invention peut comporter <B>plus :</B> un hublot d'observation non représenté permettant de voir<B>à</B> l'intérieur du sas<B>7,</B> notamment dans la zone de croisement des directions<B>dé-</B> placement<B>Dl</B> et<B>D2</B> des cannes de transfert<B>8</B> et<B>9 ;</B> et un sas auxiliaire non représenté, de taille réduite, agencé au niveau de la vanne Vl sur le sas<B>7.</B> Ceci permet d'accélérer la phase de pompage préliminaire pour créer le vide, puisque le sas<B>7</B> peut alors être maintenu en permanence sous vide et que la phase de pompage doit uniquement être mise en #uvre (par des moyens appropriés) dans ce sas auxiliaire de volume réduit.
On notera que dans le cadre de la présente invention, le transfert d'un objet 2 peut être réalisé dans les deux sens, c' -à-dire aussi bien de la chambre<B>Cl</B> vers la chambre<B>C2,</B> via le dispositif transfert<B>1 ,</B> qu'in versement, de ladite chambre<B>C2</B> vers ladite chambre On notera de plus que les différentes vannes, notamment les van nes Vl et V2, sont de préférence des vannes usuelles<B>à</B> tiroir en acier inoxydable<B>à</B> soufflet.
Dans un mode de réalisation particulier representé sur la figure<B>10,</B> l'invention est appliquée<B>à</B> un système d'analyse objets 2, en parti culier de matériau de revêtement de satellites. système d'analyse<B>SA</B> comporte<B>:</B> <B>-</B> une pluralité de chambres d'analyse C2A, <B>-</B> des dispositifs de transfert<B>1</B> conformes a l'invention, liés respective ment auxdites chambres d'analyse C2A, C213,<B>;</B> et <B>-</B> au moins une chambre de transport<B>Cl,</B> pouvant être liée<B>à</B> chacun desdits dispositifs de transfert<B>1,</B> comme illustre par des liaisons<B>LA,</B> LB, LC.
Chacune des chambres d'analyse C2A, C2C est susceptible de réaliser une série déterminée d'analyses. On notera que lesdites cham bres d'analyse C2A, C2B, C2C peuvent être tres éloignées les unes des autres, par exemple en étant situées dans des laboratoires différents et distants.
Ainsi, grâce audit système d'analyse il possible d'amener un même objet 2 pour son analyse dans lesdites différentes chambres C2A, C213, C2C présentant chacune une atmosphere contrôlée, notam ment un vide secondaire, sans interrompre ou modifier cette atmosphère contrôlée. Le transport de l'objet 2 ou des objets 2 est réalise au moyen de la chambre de transport<B>Cl,</B> dont l'atmosphère est contrôlée, et le transfert entre ladite chambre de transport<B>Cl</B> et l'une chambres d'analyse C2A, C213, C2C est réalisé au moyen du dispositif transfert<B>1</B> associé et conforme<B>à</B> l'invention, de la manière précisée ci-dessus.
Pour faciliter le transport, on peut prévoir un chariot mobile non représenté, sur lequel on monte la chambre de transport<B>Cl.</B> Le corps fermé<B>15</B> comportant le magasin 14 peut être relié aux moyens de contrôle 4 par un cordon souple non représenté de sorte que seul ce corps <B>5</B> est enlevé du chariot pour être relié au dispositif de transfert<B>1,</B><I>lors</I> transfert. Les autres éléments de la chambre de transport<B>Cl</B> restent chariot, en particulier des moyens de fourniture de l'énergie électri- comme par exemple des batteries et un bloc onduleur qui confèrent<B>à</B> l'ensemble l'autonomie temporaire nécessaire. La manipulation de la chambre<B>Cl</B> est ainsi facilitée et simplifiée.
De préférence, chacune desdites chambres C2A, et C2C comporte un dispositif de transfert<B>1</B> fixé<B>à</B> la chambre correspondante.
Toutefois, il est également possible, dans le cadre de la presente inven tion, de prévoir un seul dispositif de transfert<B>1</B> pour toutes chambres et le lier de façon amovible<B>à</B> l'une desdites chambres, lors trans fert.

Claims (1)

  1. <B><U>REVENDICATIONS</U></B> <B>1 .</B> Dispositif de transfert susceptible de transférer sous une at mosphère contrôlée, notamment sous vide, au moins un objet (2) entre une première chambre<B>(Cl)</B> équipée<B>d'</B> première vanne (Vl), en parti culier une chambre de transport, et seconde chambre<B>(C2)</B> équipée d'une deuxième vanne (V2), en particulier une chambre d'analyse, ledit dispositif de transfert<B>(1)</B> étant susceptible d'être lié auxdites première et seconde chambres<B>(Cl, C2)</B> et comportant<B>:</B> <B>-</B> un sas<B>(7)</B> connecté aux première deuxième vannes (Vl, V2) pour le passage dudit objet (2), lorsque le dispositif de transfert<B>(1)</B> est lié aux- dites première et seconde chambres<B>, C2) ;</B> <B>-</B> des moyens de contrôle<B>(3)</B> destines a contrôler l'atmosphère dans ledit sas<B>(7) ;</B> et <B>-</B> un premier moyen de transfert permettant de transférer ledit objet (2) entre ledit sas<B>(7)</B> et ladite seconde chambre<B>(C2),</B> caractérisé en ce qu'il comporte plus un second moyen de transfert (M2) permettant de transférer au moins ledit objet (2) entre ladite première chambre<B>(Cl)</B> et ledit sas<B>(7).</B> 2. Dispositif selon la revendication caractérisé en ce que ledit second moyen transfert (M2) est formé de manière<B>à</B> transférer un magasin<B>(l</B> lequel sont montés de façon amovible une pluralité d'objets (2), et en que ledit premier moyen de transfert (Ml) est formé de manière<B>à</B> transférer uniquement au moins l'un desdits objets (2), prélevé dudit magasin (14) préalablement transféré dans ledit sas<B>(7).</B> <B>3.</B> Dispositif selon l'une des revendications<B>1</B> et 2, caractérisé en ce qu'au moins l'un desdits moyens de transfert (Ml, M2) comporte une canne de transfert<B>(8,</B> actionnable, comprenant des moyens de prise (Pl, P2) et susceptible 'être déplacée de façon sensi- blement rectiligne selon une direction de déplacement déterminee <B>(Dl,</B> <B>D2).</B> 4. Dispositif selon la revendication<B>3,</B> caractérisé en ce que chacun desdits premier et second moyens trans fert (Ml, M2) comporte une canne de transfert<B>(8, 9),</B> et en ce les directions de déplacement respectives<B>(Dl, D2)</B> desdites cannes trans fert<B>(8, 9)</B> sont sensiblement orthogonales. <B>5.</B> Dispositif selon l'une des revendications<B>3</B> et 4, caractérisé en ce que la canne de transfert<B>(8)</B> dudit premier moyen de transfert (Ml) comporte des moyens de prise (Pl) comprenant deux pions de guidage<B>(27, 28)</B> et une clé<B>(32),</B> susceptibles de coopérer avec des ouvertures (22,<B>23,</B> 24) adaptées prévues dans ledit objet (2). <B>6.</B> Dispositif selon l'une quelconque des revendications precéden- tes, caractérisé en ce que ledit sas<B>(7)</B> est pourvu d'un hublot d'observation permettant de voir<B>à</B> l'intérieur dudit sas<B>(7).</B> <B>7.</B> Dispositif selon l'une quelconque des revendications precéden- tes, caractérisé en ce qu'il comporte un sas auxiliaire raccordé audit sas<B>(7)</B> et muni d'une troisième vanne, ladite première chambre<B>(Cl)</B> pouvant être liée audit sas auxiliaire en regard de ladite troisième vanne, et des moyens de contrôle auxiliaires susceptibles de contrôler l'atmosphère dans ledit sas auxiliaire. <B>8.</B> Système d'analyse d'au moins un objet, ledit système compor tant<B>:</B> <B>-</B> au moins une première chambre<B>(Cl)</B> permettant de transporter ledit objet (2) sous une atmosphère contrôlée<B>;</B> <B>-</B> au moins une seconde chambre<B>(C2)</B> permettant de faire des analyses dudit objet (2) sous une atmosphère contrôlée<B>;</B> et <B>-</B> au moins un dispositif de transfert<B>(1)</B> permettant de transférer ledit objet entre lesdites première et seconde chambres<B>(Cl, C2),</B> en maintenant ladite atmosphère contrôlée, caractérise en ce que ledit dispositif de transfert<B>(1)</B> est un dispositif du type de celui spécifié sous l'une quelconque des revendications<B>1 à 7.</B> <B>9.</B> Système selon la revendication<B>8,</B> caractérise en ce que ladite première chambre<B>(Cl)</B> comporte un magasin (14), sur lequel sont montés de façon amovible une pluralité d'objets (2), en ce ledit magasin (14) est monté de façon déplaçable dans ladi première chambre<B>(Cl),</B> et en ce que ledit magasin (14) peut être transfére dans ledit<B>(7) à</B> l'aide desdits seconds moyens de transfert (M2) dispositif transfert<B>(l ).</B> Système selon l'une des revendications<B>8</B> et<B>9,</B> caractérise ce que ladite première chambre<B>(Cl)</B> comporte un corps fermé<B>(Il</B> contenant ledit ou lesdits objets (2) et des moyens de contrôle (4) pour contrôler l'atmosphère<B>à</B> l'intérieur dudit corps fermé<B>(15),</B> en que ladite première chambre<B>(Cl)</B> est montée sur un chariot mobile, et ce que ledit corps fermé<B>(l 5)</B> peut être enlevé dudit chariot mobile.
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