FR2681436A1 - Method of installing a thin-film optical device on an optical element, and resulting optical component - Google Patents
Method of installing a thin-film optical device on an optical element, and resulting optical component Download PDFInfo
- Publication number
- FR2681436A1 FR2681436A1 FR9111511A FR9111511A FR2681436A1 FR 2681436 A1 FR2681436 A1 FR 2681436A1 FR 9111511 A FR9111511 A FR 9111511A FR 9111511 A FR9111511 A FR 9111511A FR 2681436 A1 FR2681436 A1 FR 2681436A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- optical
- optical device
- support
- place
- thin layers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 132
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 11
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 10
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 9
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 6
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 claims description 5
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 4
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
- G02B6/02052—Optical fibres with cladding with or without a coating comprising optical elements other than gratings, e.g. filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
- G02B6/29361—Interference filters, e.g. multilayer coatings, thin film filters, dichroic splitters or mirrors based on multilayers, WDM filters
- G02B6/29368—Light guide comprising the filter, e.g. filter deposited on a fibre end
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/38—Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
- G02B6/3807—Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
- G02B6/3833—Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture
- G02B6/3845—Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture ferrules comprising functional elements, e.g. filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
Procédé de mise en place d'un dispositif optique en couches minces sur un élément optique et composant optique résultant
La présente invention porte sur un procédé de mise en place d'un dispositif optique réalisé par couches minces sur un élément optique de transmission, ainsi que sur le composant optique résultant de la mise en oeuvre de ce procédé.Method for placing an optical device in thin layers on an optical element and resulting optical component
The present invention relates to a method for installing an optical device produced by thin layers on an optical transmission element, as well as to the optical component resulting from the implementation of this method.
Ce dispositif optique réalisé par couches minces est un filtre optique de séparation et de sélection de longueurs d'ondes ou une structure anti-réflexion. I1 est constitué par un empilement de couches minces, réalisé par évaporation sous vide. Ce traitement est à nombre de ~4lattions élevé et est de durée longue. This optical device produced by thin layers is an optical filter for separation and selection of wavelengths or an anti-reflection structure. I1 consists of a stack of thin layers, produced by vacuum evaporation. This treatment has a high number of ~ 4lattions and is of long duration.
L'élément optique peut être une fibre optique, ou un guide d'ondes d'optique intégrée dans un substrat, ou tout autre élément optique tel qu'une lentille, notamment. The optical element can be an optical fiber, or an optical waveguide integrated into a substrate, or any other optical element such as a lens, in particular.
La mise en place de tels dispositif optiques sur un guide d'ondes par exemple est réalisée actuellement selon deux méthodes connues possibles. The installation of such optical devices on a waveguide for example is currently carried out according to two possible known methods.
L'une de ces méthodes connues consiste à réaliser le dépôt de ce dispositif optique directement sur l'extrémité du guide d'ondes devant le recevoir. Plusieurs guides d'ondes sont introduits en même temps dans un bâti d'évaporation, pour la mise en place du dispositif optique convenable directement sur chacun d'eux. Les manipulations élevées pendant ce traitement commun peuvent alors être différentes selon les différents dispositifs optiques réalisés sur les différents guides d'ondes. A l'issue de traitement les composants optiques résultants sont testés. Ceux dont le dépôt de couches minces est défectueux ou l'empilement n'a pas les caractéristiques et les performances attendues sont perdus. Cette méthode de dépôt direct en place est lourde.Elle n'est intéressante que pour un grand nombre de composants traités simultanément, et pour ces composants quasi-identiques et dont les empilements sont en nombre réduit de couches, elles-mêmes peu complexes. One of these known methods consists in depositing this optical device directly on the end of the waveguide which is to receive it. Several waveguides are introduced at the same time into an evaporation frame, for the installation of the suitable optical device directly on each of them. The high manipulations during this common processing can then be different according to the different optical devices produced on the different waveguides. After treatment, the resulting optical components are tested. Those whose thin film deposition is defective or the stack does not have the expected characteristics and performance are lost. This method of direct deposit in place is cumbersome. It is only advantageous for a large number of components treated simultaneously, and for these almost identical components and whose stacks are in a reduced number of layers, themselves not very complex.
La seconde méthode connue consiste à réaliser le dépôt des couches minces non plus directement sur l'extrémité du guide d'ondes concerné mais sur un substrat auxiliaire, en verre et de type lame mince, et à mettre et maintenir en place sur le guide d'ondes l'empilement de couches minces, avec la lame qui le porte. The second known method consists in depositing the thin layers no longer directly on the end of the waveguide concerned but on an auxiliary substrate, made of glass and of the thin blade type, and to put and maintain in place on the guide d 'waves stacking thin layers, with the blade that carries it.
Un composant optique obtenu par cette seconde méthode est décrit notamment dans l'article "High-performance guided- wave multi/demultiplexer based on novel design using embedded gradient-index waveguides in glass" publié dans Electronics Letters 27 août 1987 - vol.23 nO 18. Le composant optique résultant est un multiplexeur/démultiplexeur à guides d'ondes d'optique intégrée dans un substrat de verre et à filtres en couches minces disposés avec leur lame support sur les accès sélectifs de ces guides. Pour la mise en place des ces filtres avec leur lame support, des microfentes, de largeur et profondeur définies avec précision passant par ces accès sélectifs, sont prévues dans le substrat transversalement aux guides. An optical component obtained by this second method is described in particular in the article "High-performance guided- wave multi / demultiplexer based on novel design using embedded gradient-index waveguides in glass" published in Electronics Letters August 27, 1987 - vol.23 nO 18. The resulting optical component is a multiplexer / demultiplexer with optical waveguides integrated in a glass substrate and with filters in thin layers arranged with their support plate on the selective ports of these guides. For the installation of these filters with their support blade, microfentes, of precisely defined width and depth passing through these selective accesses, are provided in the substrate transversely to the guides.
La lame et le filtre qu'elle porte sont montés et maintenus en place dans chaque microfente à l'aide d'un agent optique d'adhérence.The blade and the filter that it carries are mounted and held in place in each microfente using an optical adhesion agent.
Cette deuxième méthode a l'avantage par rapport à la première de pouvoir tester les dispositifs optiques en couches minces avant leur mise en place sur les guides d'ondes. Par contre elle nécessite de résoudre la difficulté de mise en place, sans altérer les performances du composant. En particulier, elle doit résoudre les problèmes techniques que posent la réalisation des microfentes et le positionnement précis de la lame avec son dispositif optique dans la microfente et transversalement à l'accès du ou des guides. En outre la lame ainsi intégrée au filtre et au composant résultant crée une diffusion de la lumière guidée qu'elle reçoit. Elle conduit à des pertes et donc à une atténuation, non négligeables, de lumière transmise. This second method has the advantage compared to the first of being able to test the optical devices in thin layers before their installation on the waveguides. By cons it requires to resolve the difficulty of implementation, without altering the performance of the component. In particular, it must solve the technical problems posed by the production of the microfentes and the precise positioning of the blade with its optical device in the microfente and transverse to the access of the guide (s). In addition, the blade thus integrated into the filter and the resulting component creates a diffusion of the guided light which it receives. It leads to losses and therefore to a significant attenuation of transmitted light.
La présente invention a pour but de bénéficier des avantages de ces deux méthodes connues et d'en éviter les inconvénients. The object of the present invention is to benefit from the advantages of these two known methods and to avoid their drawbacks.
Elle a pour objet un procédé de mise en place d'un dispositif optique en couches minces sur un élément optique, consistant à réaliser une étape de traitement optique pour le dépôt des couches minces dudit dispositif optique sur un support, suivie d'une étape finale de transfert et de maintien en place à l'aide d'un agent optique d'adhérence dudit dispositif optique sur un accès dudit élément optique, caractérisé en ce qu'il consiste, en outre, à réaliser une phase initiale de dépôt sur ledit support d'un revêtement dit de transfert, de relativement faible adhérence audit support, pour le dépôt dans ladite étape de traitement dudit dispositif optique sur ledit revêtement de transfert formant ainsi un interface de faible adhérence entre ce dispositif optique et ledit support, et en ce que ladite étape finale consiste en outre, à désolidariser ledit support dudit dispositif optique en place. It relates to a method for installing an optical device in thin layers on an optical element, consisting in carrying out an optical processing step for depositing the thin layers of said optical device on a support, followed by a final step. for transferring and holding in place using an optical agent for adhering said optical device to an access of said optical element, characterized in that it consists, moreover, in carrying out an initial phase of deposition on said support a so-called transfer coating, of relatively low adhesion to said support, for deposition in said processing step of said optical device on said transfer coating thus forming a low adhesion interface between this optical device and said support, and in that said final step further consists in detaching said support from said optical device in place.
Le revêtement de transfert est en particulier un matériau à base d'argent ou un sulfure de zinc. The transfer coating is in particular a silver-based material or a zinc sulfide.
Ladite étape initiale est indépendante des phases d'évaporation desdites couches minces dans ladite étape de traitement ou est une première desdites phases d'évaporation. Said initial step is independent of the phases of evaporation of said thin layers in said treatment step or is a first of said phases of evaporation.
Ce procédé peut comporter en outre une étape additionnelle, analogue à ladite étape finale et réalisée après elle, d'ajout d'un nouveau dispositif optique sur celui déjà en place. This method may also include an additional step, analogous to said final step and carried out after it, of adding a new optical device to the one already in place.
L'invention a également pour objet un composant optique résultant de la mise en oeuvre de ce procédé, comportant au moins un élément optique et au moins un dispositif optique réalisé par couches minces et retenu en place sur l'élément optique correspondant par un agent optique d'adhérence, caractérisé en ce qu'il comporte exclusivement ledit dispositif optique, avec ledit agent optique d'adhérence entre lui et ledit élément optique correspondant, mais sans support sur lequel ce dispositif optique a été préalablement réalisé. The invention also relates to an optical component resulting from the implementation of this method, comprising at least one optical element and at least one optical device produced by thin layers and retained in place on the corresponding optical element by an optical agent adhesion, characterized in that it exclusively comprises said optical device, with said optical agent of adhesion between it and said corresponding optical element, but without support on which this optical device has been previously produced.
Les caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description faite ci-après en regard des dessins ci-annexés. Dans ces dessins - les figures 1 et 2, illustrent les étapes du procédé de mise en place d'un dispositif optique réalisé par couches minces sur une fibre optique et sur un guide d'ondes d'optique intégrée, selon la présente invention, - la figure 3 représente un composant optique résultant de la mise en oeuvre du procédé selon la présente invention. The characteristics and advantages of the present invention will emerge from the description given below with reference to the attached drawings. In these drawings - FIGS. 1 and 2 illustrate the steps of the method for installing an optical device produced by thin layers on an optical fiber and on an integrated optical waveguide, according to the present invention, - FIG. 3 represents an optical component resulting from the implementation of the method according to the present invention.
Les figures 1 et 2 illustrent les deux étapes essentielles, notées A pour la première et B pour la deuxième, du procédé selon l'invention, avec dans la figure 1 l'élément optique constitué par une fibre optique 1 et dans la figure 2 l'élément optique d'ondes constitué par un guide d'optique intégrée 10 dans un substrat de verre 11. Figures 1 and 2 illustrate the two essential steps, noted A for the first and B for the second, of the method according to the invention, with in Figure 1 the optical element consisting of an optical fiber 1 and in Figure 2 l optical wave element consisting of an optical guide integrated 10 into a glass substrate 11.
Dans ces figures 1 et 2, ces étapes A et B sont analogues et décrites simultanément. In these figures 1 and 2, these steps A and B are analogous and described simultaneously.
L'étape A est dite étape de traitement optique. Elle consiste à réaliser, dans une phase initiale de cette étape, le dépôt d'un revêtement dit de transfert 2 sur un support 3, puis dans des phases multiples de l'opération d'évaporation connue précitée, le dépôt d'un empilement de couches minces constituant un dispositif optique souhaité 4 sur ce revetement de transfert. Le revêtement de transfert forme alors interface de faible adhérence entre le dispositif optique et le support. Step A is called the optical processing step. It consists in carrying out, in an initial phase of this step, the deposition of a so-called transfer coating 2 on a support 3, then in multiple phases of the aforementioned known evaporation operation, the deposition of a stack of thin layers constituting a desired optical device 4 on this transfer coating. The transfer coating then forms a weak adhesion interface between the optical device and the support.
Le suppport 3 est de préférence pour des tests ultérieurs, une lame de verre. Ses dimensions y compris son épaisseur, sont quelconques, elles sont suffisantes pour sa préhension et sa manipulation ultérieures aisées. La lame est de caractéristiques de transmission optique bien connues pour les tests ultérieurs. The support 3 is preferably for subsequent tests, a glass slide. Its dimensions, including its thickness, are arbitrary, they are sufficient for its easy gripping and subsequent handling. The blade has optical transmission characteristics well known for subsequent testing.
Le matériau du revêtement 2 est de préférence à base d'argent ou est un sulfure de zinc. Selon la nature de ce matériau, cette phase initiale de l'étape A est indépendante ou non de l'opération d'évaporation. Ainsi, on réalise, dans une phase initiale indépendante, le dépôt d'une couche d'argent ou à base d'argent sur le support. En variante, on réalise le dépôt d'une première couche en sulfure de zinc sur le support au début de l'opération d'évaporation elle-même, cette première couche constituant le revêtement de transfert appartenant alors au dispositif optique 4. Ceci est traduit par la ligne en pointillés entre le revêtement de transfert et le dispositif optique proprement dit, dans les figures 1 et 2. The coating material 2 is preferably silver-based or is a zinc sulfide. Depending on the nature of this material, this initial phase of step A is independent or not of the evaporation operation. Thus, in an independent initial phase, a silver or silver-based layer is deposited on the support. As a variant, a first layer of zinc sulfide is deposited on the support at the start of the evaporation operation itself, this first layer constituting the transfer coating then belonging to the optical device 4. This is translated by the dotted line between the transfer coating and the optical device proper, in Figures 1 and 2.
A l'issue de cette étape, chaque dispositif optique 4 sur son support 3 est testé. Les dispositifs optiques sur leur support ne présentant pas les caractéristiques souhaitées sont éliminés. Ils sont, en outre, sélectionnés avant montage sur le ou les éléments optiques, pour l'obtention du composant optique résultant souhaité. At the end of this step, each optical device 4 on its support 3 is tested. The optical devices on their support which do not have the desired characteristics are eliminated. They are, moreover, selected before mounting on the optical element or elements, in order to obtain the desired resulting optical component.
L'étape finale suivante B est dite étape de transfert et de maintien en place du dispositif optique, en bout de la fibre optique 1 ou du guide d'ondes 10, selon ces deux exemples considérés. Elle est illustrée décomposée en deux phases Bl et B2. La phase B1 est celle de mise en place. Dans cette phase B1 un agent optique d'adhérence 5 est tout d'abord déposé sur le bout de l'élément optique concerné et/ou sur la face libre du dispositif optique 4, puis le dispositif optique sur son support est positionné en bout de cet élément optique. Le support 3 est retenu dans des moyens convenables de préhension et de manipulation schématisés en 7, au cours de cette phase B1. The following final step B is called the transfer and holding step of the optical device, at the end of the optical fiber 1 or of the waveguide 10, according to these two examples considered. It is illustrated broken down into two phases Bl and B2. Phase B1 is the implementation phase. In this phase B1 an optical adhesion agent 5 is first of all deposited on the end of the optical element concerned and / or on the free face of the optical device 4, then the optical device on its support is positioned at the end of this optical element. The support 3 is retained in suitable gripping and handling means shown diagrammatically at 7, during this phase B1.
La phase B2 est celle de maintien en place du dispositif optique 4 sans son support qui est désolidarisé par traction à l'aide des moyens de préhension et de manipulation. Phase B2 is that of holding the optical device 4 in place without its support, which is separated by traction using the gripping and handling means.
Selon le revêtement de transfert 2 adopté, on note que le matériau à base d'argent joue le rôle de couche de démoulage se désolidarisant aisément du support comme du dispositif optique et est totalement éliminé sur ce dernier, par exemple par décapage au solvant. Par contre, le sulfure de zinc, qui constitue la couche optique mince initiale du dispositif optique, se désolidarise aisément du support. Ce revêtement de transfert éliminé ou appartenant à l'empilement de couches minces, a de ce fait été illustré en pointillés dans cette phase B2.On précise que cette couche optique mince initiale contrôlée dans le cycle opératoire de l'opération d'évaporation est extrêmement mince. I1 en résulte que l'éventuelle présence du revêtement de transfert dans le dispositif optique en place sur l'élément optique n'apporte que des pertes de diffusion et/ou de propagation quasi nulles et négligeables, qui sont sans commune mesure avec les pertes que donne la lame de verre même mince de la solution connue de l'art connu indiqué ci-avant. According to the transfer coating 2 adopted, it is noted that the silver-based material acts as a release layer which is easily dissociated from the support as from the optical device and is completely eliminated thereon, for example by etching with solvent. On the other hand, zinc sulphide, which constitutes the initial thin optical layer of the optical device, dissociates easily from the support. This transfer coating, eliminated or belonging to the stack of thin layers, has therefore been illustrated in dotted lines in this phase B2. It is specified that this initial thin optical layer controlled in the operating cycle of the evaporation operation is extremely slim. As a result, the possible presence of the transfer coating in the optical device in place on the optical element brings only almost zero and negligible diffusion and / or propagation losses, which are incommensurate with the losses that gives the same thin glass slide of the solution known from the known art indicated above.
Avantageusement, le dispositif optique 4 est réalisé de dimensions supérieures à celles utiles lorsqu'il est considéré en place sur le guide d'ondes ou la fibre optique qui va le recevoir. I1 est découpé sensiblement aux dimensions périphériques de cet élément optique, avant ou après sa mise en place selon le type d'élément optique et le réseau ou la structure auquel appartient cet élément optique. Advantageously, the optical device 4 is made of dimensions greater than those useful when it is considered in place on the waveguide or the optical fiber which will receive it. I1 is cut substantially to the peripheral dimensions of this optical element, before or after its installation depending on the type of optical element and the network or structure to which this optical element belongs.
Comme illustré dans la seule figure 2, on note que les deux phases B1 et B2 de cette étape finale peuvent être renouvelées pour la mise et le maintien en place dans une étape finale additionnelle C d'un deuxième dispositif optique 4' sur celui 4 déjà en place. Ces deux dispositifs optiques 4 et 4' sont retenus ensemble par un agent optique d'adhérence 5' analogue à l'agent 5. Ils constituent un nouveau dispositif optique global, de fonction nouvelle souhaitée résultant de celles des deux dispositifs optiques qui le constituent. As illustrated in FIG. 2 only, it is noted that the two phases B1 and B2 of this final step can be renewed for the setting up and holding in place in an additional final step C of a second optical device 4 ′ on that already 4 in place. These two optical devices 4 and 4 ′ are held together by an optical adhesion agent 5 ′ similar to the agent 5. They constitute a new overall optical device, of desired new function resulting from those of the two optical devices which constitute it.
Bien entendu également le dispositif optique en place peut être remplacé pr: n autre, en sectionnant par le plan d' adhérence celui en place sur l'élément optique et en mettant et maintenant en place cet autre dispositif, selon les phases B1 et B2 ci-avant. Of course also the optical device in place can be replaced pr: n other, by cutting by the adhesion plane that in place on the optical element and by putting and maintaining this other device, according to phases B1 and B2 ci -before.
La figure 3 illustre un composant optique résultant de la mise en oeuvre du procédé décrit ci-avant. Ce composant optique est un multiplexeur/démultiplexeur en longeur d'onde en optique intégrée. I1 est à deux guides d'ondes d'optique intégrée 20 et 20' dans un substrat de verre 21, qui sont couplés l'un à l'autre par un premier de leurs accès sur l'un des bords du substrat et ont chacun leur deuxième accès sur le bord opposé du substrat. I1 est également à premier dispositif optique réalisé par couches minces 24, sur les premiers accès couplés l'un à l'autre de ces guides d'ondes et à deuxième dispositif optique réalisé par couches minces 24' sur le deuxième accès de l'un des guides d'onde 20'.Ces deux dispositifs 24 et 24' sont deux filtres, réalisés selon l'étape A et montés et maintenus en place selon les phases BI et B2 du procédé selon l'inver mans le composant optique, ils sont avec l'agent optique d'adhér 3 et 25' et avec éventuellement leur revêtement de transfert  senté) quand celui-ci est intégré dans chaque filtre dans l'étape A, mais sans le support sur lequel chacun d'eux a été réalisé. FIG. 3 illustrates an optical component resulting from the implementation of the method described above. This optical component is a wavelength multiplexer / demultiplexer in integrated optics. I1 has two integrated optical waveguides 20 and 20 'in a glass substrate 21, which are coupled to each other by a first of their ports on one of the edges of the substrate and each have their second access on the opposite edge of the substrate. I1 is also with a first optical device produced by thin layers 24, on the first accesses coupled to each other of these waveguides and with a second optical device produced by thin layers 24 ′ on the second access of one waveguides 20 ′. These two devices 24 and 24 ′ are two filters, produced according to step A and mounted and held in place according to phases BI and B2 of the process according to the inversion of the optical component, they are with the optical agent of adhesion 3 and 25 ′ and possibly with their transfer coating (felt) when this is integrated into each filter in step A, but without the support on which each of them was produced .
Le premier filtre 24 est transparent à une première longueur d'onde et réfléchissant à une deuxième. Le deuxième filtre 24' est de fonction inverse. The first filter 24 is transparent at a first wavelength and reflecting at a second. The second filter 24 'has the opposite function.
Bien entendu, l'un et/ou l'autre de ces deux filtres peuvent être constitués par deux filtres élémentaires superposés, mis en place l'un sur l'autre selon le procédé de l'invention. Of course, one and / or the other of these two filters may consist of two superimposed elementary filters, placed one on the other according to the method of the invention.
Claims (11)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9111511A FR2681436B1 (en) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | METHOD FOR PLACING AN OPTICAL THIN-LAYER DEVICE ON AN OPTICAL ELEMENT AND RESULTING OPTICAL COMPONENT. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9111511A FR2681436B1 (en) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | METHOD FOR PLACING AN OPTICAL THIN-LAYER DEVICE ON AN OPTICAL ELEMENT AND RESULTING OPTICAL COMPONENT. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2681436A1 true FR2681436A1 (en) | 1993-03-19 |
FR2681436B1 FR2681436B1 (en) | 1993-11-12 |
Family
ID=9417072
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR9111511A Expired - Fee Related FR2681436B1 (en) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | METHOD FOR PLACING AN OPTICAL THIN-LAYER DEVICE ON AN OPTICAL ELEMENT AND RESULTING OPTICAL COMPONENT. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
FR (1) | FR2681436B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0649038A1 (en) * | 1993-10-14 | 1995-04-19 | Nec Corporation | Optical waveguide mirror |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01136104A (en) * | 1987-11-24 | 1989-05-29 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Optical attenuator and its manufacture |
-
1991
- 1991-09-18 FR FR9111511A patent/FR2681436B1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01136104A (en) * | 1987-11-24 | 1989-05-29 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Optical attenuator and its manufacture |
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
ECOC 80, Sixth European Conference on Optical Communication, 16-19 September 1980, York,UK pages 290 - 293 H. Nakajima et al. : "Dielectric multilayer films directly coated on fiber endfaces for micro-optical components * |
ELECTRONICS LETTERS. vol. 23, no. 18, 27 Août 1987, ENAGE GB pages 948 - 949; M. SEKI ET AL.: 'High-performance guided-wave multi/demultiplexer based on novel design using embedded gradient-index waveguides in glass' * |
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 13, no. 387 (P-924)(3735) 28 Août 1989 & JP-A-1 136 104 ( MITSUBISHI RAYON CO LTD. ) 29 Mai 1989 * |
REVIEW OF THE ELECTRICAL COMMUNICATION LABORATORIES. vol. 37, no. 2, Mars 1989, TOKYO JP pages 127 - 132; K. NAKAMURA ET AL.: 'Design and development of optical adhesives for optical communications' * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0649038A1 (en) * | 1993-10-14 | 1995-04-19 | Nec Corporation | Optical waveguide mirror |
US5546488A (en) * | 1993-10-14 | 1996-08-13 | Nec Corporation | Waveguide-type optical path converter for converting a propagation direction of a light |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2681436B1 (en) | 1993-11-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0126003B1 (en) | Method and apparatus for connecting an optical fibre to an integrated optics component comprising a waveguide | |
FR2715501A1 (en) | Process for depositing semiconductor blades on a support | |
FR2786887A1 (en) | SEMICONDUCTOR PHASE MODULATOR | |
EP0703473B1 (en) | Integrated optoelectronic device for the separating and detecting of different wavelengths | |
WO2003090202A2 (en) | Method of assembling and checking a double-resonator acoustic panel with a honeycomb core | |
EP0869377A1 (en) | Integrated optical element with polarization effect | |
FR3054677A1 (en) | MULTI-SPECTRAL OPTICAL COUPLER WITH LOW LOSSES IN RECEPTION | |
FR2477287A2 (en) | MULTILIGHT OPTICAL LIGHT DISTRIBUTOR, METHOD FOR PRODUCING AN INTERFERENTIAL FILTER FOR SUCH A DISTRIBUTION DEVICE AND IMPLEMENTATION OF SAID DISTRIBUTION DEVICE | |
FR2681436A1 (en) | Method of installing a thin-film optical device on an optical element, and resulting optical component | |
FR2516254A1 (en) | Optical separator for fibre=optic systems - includes bi-reflecting prism with two auxiliary prisms ensuring that transmitted ray is aligned with incident ray | |
CA2160217C (en) | Wavelength selective optical coupler | |
EP1058138A1 (en) | Multiplexer/demultiplexer having three waveguides | |
EP1508064A1 (en) | Method for collective production of optical filter components | |
EP1509794B1 (en) | Optical filtration device | |
FR3011125A1 (en) | CATADIOPTRIC DEVICE ENHANCING THE VISUALIZATION OF AN IMAGE PLACED IN FRONT OF A SOLAR SENSOR | |
FR2823859A1 (en) | Support for positioning and holding of optical fibers comprises first part for holding non-stripped part of fiber and second part for holding stripped part of fiber for connection to optical device | |
WO2002040737A1 (en) | Method and device for depositing thin films | |
EP1291707A1 (en) | Optical saturable absorber and its use for regenerating a wavelength division multiplexed signal | |
EP1621906B1 (en) | Device including a flush-mounted optoelectronic element covered by a waveguide | |
EP0281454A1 (en) | Fabrication method for a multi/demultiplexer fibre-optic coupler and coupler obtained thereby | |
FR2839559A1 (en) | Integrated optical wavelength multiplexer/demultiplexer has an optical cladding surrounding at least one portion of each core so as to define interaction zones comprising diffraction gratings | |
EP1635203B1 (en) | Method of coupling an optical fibre to a waveguide | |
WO2002019574A1 (en) | All-optical regenerator for wavelength-division multiplexed signals | |
FR2646521A1 (en) | Assembly of optical fibres and method and device for automatically aligning optical fibres | |
FR3147876A1 (en) | Photonic system comprising a photonic chip and a multiplane conversion device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ST | Notification of lapse |