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FR2666593B1 - Procede et dispositif pour piloter la densite d'un flux de vaporisation et/ou sa distribution. - Google Patents

Procede et dispositif pour piloter la densite d'un flux de vaporisation et/ou sa distribution.

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FR2666593B1
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distribution
controlling
vaporization flow
vaporization
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Urs Wegmann
Albert Koller
Josef Vogt
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OC Oerlikon Balzers AG
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Balzers AG
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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FR9111219A 1990-09-11 1991-09-11 Procede et dispositif pour piloter la densite d'un flux de vaporisation et/ou sa distribution. Expired - Fee Related FR2666593B1 (fr)

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