FR2583936A1 - Detecteur tactile utilisant des ondes acoustiques de surface en particulier pour robot - Google Patents
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Abstract
L'INVENTION CONCERNE UN DETECTEUR TACTILE PARTICULIEREMENT BIEN ADAPTE A UN ROBOT. CE DETECTEUR EST CARACTERISE EN CE QU'IL COMPREND UNE PLAQUE ISOLANTE 1, DES DETECTEURS NUMERIQUES D'ONDES ACOUSTIQUES 6 DE SURFACE APPLIQUES D'UN COTE DE LA PLAQUE ISOLANTE 1, AU MOINS UN OSCILLATEUR 7 APPLIQUE DE L'AUTRE COTE DE CETTE PLAQUE ISOLANTE 1, DE MANIERE A CE QUE L'UN AU MOINS DES DETECTEURS 6 ET L'OSCILLATEUR FORMENT ENSEMBLE UN CIRCUIT RESONANT ET UN DIAPHAGME 2 PLACE D'UN COTE DE LA PLAQUE ISOLANTE ET MUNI D'UNE PROJECTION 3 TOURNEE VERS CETTE PLAQUE ISOLANTE 1 AVEC UN CERTAIN INTERVALLE FORME ENTRE CETTE PROJECTION 3 ET LA SURFACE DE LA PLAQUE ISOLANTE 1.
Description
Détecteurs tactile utilisant des ondes acoustiques de surface, en
particulier pour robot L'invention concerne un détecteur tactile particulièrement bien adapté à un robot. Les solutions
actuellement connues pour réaliser des détecteurs ana-
logues destinés à des robots utilisent, soit un procédé de contactinterrupteur nécessitant beaucoup de place, soit des éléments de détection de pression d'une seule pièce, comme décrit, par exemple, dans la spécification
de brevet DBR 2 556 780, soit des dispositifs de détec-
tion basés sur un procédé de conversion de la pression en un signal de capacité ou d'induction électrique comme décrit, par exemple, dans les spécifications de brevets USA 769 331 et 901 821, soit encore un procédé utilisant une résistance ou une charge comme indiqué, par exemple, dans la spécification de brevet USA 4 481 815, ou un procédé photoélectrique comme décrit, par exemple, dans
la spécification de brevet DBR 2 438 221.
Tous ces procédés pésentent divers inconvé-
nients. Dans le cas, par exemple, de l'application d'éléments de détection de pression d'une seule pièce, une propreté parfaite des objets saisis doit être garantie pour éviter toute obstruction des passages de l'élément de détection d'une seule pièce. Dans le cas des détecteurs à résistance inductive et à contact, une certaine force doit être produite pour déplacer un noyau, pour courber ou étirer un mesureur de tension et
2583936.
pour assurer le contact fiable d'un détecteur de contact.
Dans le cas des détecteurs capacitifs, le blindage des electrodes est nécessaire dans le cas d'un montage à canaux multiples. Dans le cas du procédé photoélectrique, il faut s'assurer des caractéristiques de réflexion de la lumière. Enfin, dans le cas des matériaux élastomères,
il faut utiliser un amplificateur spécial.
L'invention a pour but de pallier les inconvé-
nients ci-dessus en créant un détecteur tactile parti-
culièrement bien adapté à un robot, qui-soit de conception simple et permette d'obtenir une indication du contact du détecteur avec une certaine partie d'un objet, tout en déterminant simultanément, en variante, la force de serrage, les moyens de détection de contact et/ou de force se présentant sous la forme d'une plaque isolante. A cet effet, l'invention concerne un détecteur
tactile particulièrement bien adapté à un robot, détec-
teur caractérisé en ce qu'il comprend une plaque isolante, des détecteurs numériques d'ondes acoustiques de surface appliqués d'un côté de la plaque isolante, au moins un oscillateur appliqué de l'autre côté de cette plaque
isolante,-de manière à ce que l'un au moins des détec-
teurs et l'oscillateur forment ensemble un circuit réso-
nant et un diaphragme placé d'un côté de la plaque isolante et munie d'une projection tournée vers cette plaque isolante, avec un certain intervalle formé entre
cette projection et la surface de la plaque isolante.
Le diaphragme est ainsi placé au-dessus des détecteurs
numériques des ondes acoustiques de surface.
Une caractéristique importante de l'invention est également que les détecteurs numériques des ondes acoustiques de surface peuvent être placés, dans le cas d'un détecteur de force, du côté opposé à celui sur lequel se trouvent les détecteurs numériques des ondes acoustiques de surface prévus sur la plaque isolante pour détecter un contact ou encore que les détecteurs numériques des ondes acoustiques de surface du détecteur de force peuvent être placés du même c8té de la plaque isolante que les détecteurs numériques des ondes acous- tiques de surface destinés à l'indication du contact, de sorte que les projections du diaphragme présentent une largeur plus petite que la largeur des détecteurs
numériques des ondes acoustiques de surface.
Les parties d'entrée des détecteurs numériques des ondes acoustiques de surface peuvent être branchées en série ou indépendamment et un signal alternatif est
reçu à la sortie de ces transducteurs.
Des couples de détecteurs numériques-des ondes acoustiques de surface, placés en opposition, forment un résonateur faisant partie de l'oscillateur. L'information concernant le contact est obtenue par coupure de l'onde acoustique de surface se propageant le long de la surface de la plaque isolante, et se présente sous la forme d'un signal de sortie nul. Dans le cas dans lequel il est
utilisé un détecteur de force supplémentaire, l'infor-
mation concernant la force produite par la partie du robot munie du détecteur tactile selon l'invention, est
fournie en plus de l'information relative au contact.
Dans le cas d'un détecteur de force basé sur la courbure d'une plaque isolante munie de détecteurs numériques de
l'onde acoustique de surface, cette force est propor-
tionnelle à la variation de fréquence du signal de sortie.
L'oscillateur nécessaire, muni de circuits de compensa-
tion, est branché à la plaque isolante, ce qui permet de
réduire le nombre de conducteurs nécessaires.
Le détecteur de force supplémentaire peut être de conception différente. Dans une première configuration
la plaque isolante du détecteur de force muni de détec-
teurs numériques de l'onde acoustique de surface est tournée de 1800 contre le milieu, c'est-à-dire que le contact ne se fait pas par le côté des détecteurs. Dans
une seconde configuration, la plaque isolante du détec-
teur de force muni de ces détecteurs numériques de l'onde acoustique de surface, est tournée de façon que le contact se fasse par le côté des transducteurs auquel cas la projection du diaphragme présente une largeur plus petite que celle des détecteurs de sorte qu'une partie seulement de l'onde acoustique de surface est
coupée.
Le principale avantage de cete disposition du détecteur tactile selon l'invention est d'obtenir une information precise concernant le contact avec l'objet correspondant, par coupure du signal de sortie et que dans le cas d'une indication simultanée de la force, d'obtenir également une information précise concernant la force que le robot produit par sa partie munie du détecteur tactile. Le détecteur est de forme simple ce qui permet une miniaturisation et de former des groupes, des bandes ou des matrices d'éléments de
détection permettant de réaliser un effet tactile ana-
logue à celui d'une main humaine par exemple.
L'invention sera décrite en détail en se référant aux dessins joints dans lesquels:
- la figure 1 est une vue en coupe du détec-
teur tactile selon l'invention, - la figure 2 est une vue de dessus de la plaque isolante du détecteur tactile sur laquelle sont appliqués un certain nombre de détecteurs numériques d'ondes actoustiques de surface,
- la figure 3 est une vue en coupe d'un détec-
teur tactile muni d'un élément de détection de force monté entre un certain nombre d'éléments disposés comme indiqué aux figures 1 ou 4, et
- la figure 4 est une vue en coupe d'un détec-
teur tactile destiné à la fois à indiquer un contact et
la force appliquée.
En se référant à la figure 1, le détecteur tactile comprend un bloc de détection muni d'une plaque isolante 1 portant d'un c8té les détecteurs munériques 6 d'ondes acoustiques de surface, et de l'autre côté, un oscillateur 7. Un diaphragme 2 muni de projections 3 est placé au-dessus de la plaque isolante 1 munie des détecteurs rumériques 6 d'ondes acoustiques de surface
et se trouve fixé en place par des crampons 5. Un inter-
alle est ménagé entre la projection 3 du diaphragme 2
et la surface de la plaque isolante 1.
Dans une forme possible de réalisation pratique de l'invention, il est utilisé une plaque isolante de
quartz 1 d'un côté de laquelle est appliqué un oscilla-
teur 7 fonctionnant dans la gamme des dizaines de méga-
hertz et de l'autre côté de laquelle est appliqué un couple de détecteurs numériques 6 d'ondes acoustiques
de surface. L'oscillateur 7 et l'un au moins des détec-
teurs 6 forment un circuit résonant propageant les ondes acoustiques de surface le long de la surface de la plaque
isolante 1.
La figure 2 représente une sue de dessus d'une plaque isolante 1 munie d'un certain nombre de couples de détecteurs numériques 6 d'ondes acoustiques de surface, de façon qu'un oscillateur 7 puisse être placé audessous de chaque couple de détecteurs 6 ou qu'un oscillateur 7 puisse être commun à un certain nombre de couples de détecteurs 6 ou encore qu'un diaphragme unique 2 puisse
être utilisé pour un certain nombre de couple de détec-
teurs 6 Ou enfin que chaque couple puisse être muni de son propre diaphragme. En variante, certains couples de détecteurs numériques d'ondes acoustiques de surface
peuvent répondre à des fréquences différentes.
Lorsqu'une certaine pression agit en un certain point du diaphragme 2 dont la projectino 3 est placée entre un couple de détecteurs 6 et présente au moins la mime largeur que ce couple de détecteurs numériques 6 d'ondes acoustiques de surface, la projection 3 vient toucher la surface de la plaque isolante 1 en coupant
ainsi le passage des ondes acoustiques de surface pro-
duites par le circuit résonant formé par l'oscillateur 7 et le couple de détecteurs 6, ce qui se traduit à la sortie de l'oscillateur 7, par un signal nul indiquant
l'établissement d'un contact du détecteur avec l'objet.
Dans le cas dans lequel ce détecteur tactile doit indiquer également la pression agissant sur le diaphragme 2 après que sa projection 3 ait touché la surface de la plaque isolante 1, il est utilisé une projection 3 plus étroite que la largeur des détecteurs numériques 6 d'ondes acoustiques de surface, cette projection ne coupant que partiellement le passage des ondes acoustiques le long de la surface de la plaque,
isolante 1, et une certaine courbure de la plaque iso-
lante 1 se produisant lorsqu'on augmente la pression, en prolongeant ainsi le chemin des ondes acoustiques de surface pour conduire à une variation de la fréquence de sortie de l'oscillateur 7. Un détecteur analogue est
représenté en figure 4. La plaque isolante 1 doit évi-
demment être convenablement montée pour pouvoir être courbée. Il existe cependant une autre possibilité d'indication de la force agissant sur le diaphragme 2 représenté dans la partie centrale de la figure 3. Les parties gauche et droite de cette forme de réalisation représentent les éléments de détection disposes suivant la figure 1 ou la figure 4, après avoir été simplement tournés de 180 de façon que la pression agisse par le dessous. Un détecteur de force 4 est placé au centre de façon que le détecteur numérique 6 d'ondes acoustiques de surface soit situé du coté de la plaque isolante 1
opposé à celui du diaphragme 2.
La pression agissant sur le diaphragme 2 produit une courbure de la plaque isolante 1 et une variation de la fréquence de sortie. Aucun oscillateur 7 n'est représenté à l'endroit de ce détecteur de force
4 qui peut recevoir les oscillations d'oscillateurs ad-
jacents. Certaines parties du détecteur de la figure 4
sont représentées séparément. Ces parties peuvent évi-
demment être placées au voisinage immédiat les unes des autres, et peuvent éventuellement comporter une plaque
isolante 1 commune ainsi qu'un diaphragme 2 commun.
Certains éléments des détecteurs tactiles selon l'invention peuvent être disposés suivant les impératifs correspondant à différentes formations, ce
qui permet d'obtenir ce qu'on appelle une "vue tactile".
Le détecteur tactile selon l'invention peut,
en outre, faire l'objet d'une très grande miniaturisa-
tion. Les détecteurs numériques 6 d'ondes acoustiques de surface sont de même conception que les éléments de
filtre connus utilisés dans la technologie des communi-
cations, en particulier pour les récepteurs de télévision.
Ces transducteurs sont appliqués sous la forme de couches minces sur la plaque isolante 1, de la même manière que l'oscillateur 7, avec les circuits de compensation nécessaires. Les branchements des différents éléments peuvent être sensiblement différents et sont réalisés
suivant les besoins. Cela ne doit pas présenter de dif-
ficultés pour les spécialistes de la question.
RE V E N D I C A T I ON S
1 ) Détecteur tactile particulièrement bien adapté à un robot, détecteur caractérisé en ce qu'il
comprend une plaque isolante (1), des détecteurs numé-
riques d'ondes acoustiques (6) de surface appliqués
d'un côté de la plaque isolante (1), au moins un oscil-
lateur (7) appliqué de l'autre c6té de cette plaque isolante (1), de manière à ce que l'un au moins des détecteurs (6) et l'oscillateur forment ensemble un circuit résonant, et un diaphragme.(2) placé d'un côté
de la plaque isolante et muni d'une projection (3) tour-
née vers cette plaque isolante (1), avec un certain
intervalle formé entre cette projection (3) et la sur-
face de la plaque isolante (1).
2 ) Détecteur tactile selon la revendication 1, fonctionnant en détecteur de contact, caractérisé en ce que le diaphragme (2) est muni d'une projection (3) placée du même côté de la plaque isolante (1) que les détecteurs numériques (6) d'ondes acoustiques de surface, cette projection (3) du diaphragme (2) étant située entre un couple de détecteurs numériques (6) d'ondes acoustiques de surface et présentant une largeur au moins égale à celle des détecteurs numériques (6)
d'ondes acoustiques de surface.
3 ) Détecteur tactile selon la revendication 1, fonctionnant à la fois en détecteur de contact et en détecteur de force, caractérisé en ce que le diaphragme (2) est muni d'une projection (3) placé du même côté de la plaque isolante (1) que les détecteurs numériques (6) d'ondes acoustiques de surface, cette projection (3)
du diaphrame (2) étant située entre un couple de détec-
teurs numériques (6) d'ondes acoustiques de surface, et présentant une largeur inférieure à celle des détecteurs (6). 4 ) Détecteur tactile selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un certain nombre de couples de détecteurs numériques (6) d'ondes acoustiques de surface
sont disposés sur une plaque isolante (1).
) Détecteur tactile selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un oscillateur (7) est associé à
chaque couple de détecteurs numériques (6) d'ondes acous-
tiques de surface.
6 ) Détecteur tactile selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un oscillateur (7) est associé à un certain nombre de couples de détecteurs numeriques (6)
d'ondes acoustiques de surface.
) Détecteur tactile selon la revendication 1,
caractérisé en ce que chaque couple de détecteurs numé-
riques (6) d'ondes acoustiques de surface est muni de
son propre diaphragme (1).
8 ) Détecteur tactile selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un diaphragme commun est utilisé pour un certain nombre de détecteurs numériques (6)
d'ondes acoustiques de surface.
9 ) Détecteur tactile selon la revendication 1, fonctionnant en détecteur de force, caractérise en ce que les détecteurs numériques (6) d'ondes acoustiques de surface sont placés du coté de la plaque isolante (1)
opposé à celui du diaphragme (2).
100 ) Détecteur tactile selon la revendication 1,
caractérise ern ce que des couples de détecteurs numeri-
ques (6) d'ondes acoustiques de surface répondent à des
fréquences differentes.
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Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4242936A1 (de) * | 1992-12-18 | 1994-06-23 | Beckhausen Karlheinz | Sicherheitseinrichtung mit Mikroprozessor |
| US5656785A (en) * | 1995-08-07 | 1997-08-12 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Micromechanical contact load force sensor for sensing magnitude and distribution of loads and tool employing micromechanical contact load force sensor |
| US5679998A (en) * | 1996-08-09 | 1997-10-21 | Toda; Kohji | Elastic wave position-sensing device |
| JP4214551B2 (ja) * | 2000-04-21 | 2009-01-28 | 耕司 戸田 | 超音波音圧センサ |
| DE10085466B4 (de) | 2000-05-22 | 2011-03-03 | Fujitsu Ltd., Kawasaki | Berührungsfeld-Vorrichtung |
| JP4495948B2 (ja) * | 2003-11-12 | 2010-07-07 | 凸版印刷株式会社 | 弾性表面波素子アレイ |
| US8411140B2 (en) * | 2008-06-19 | 2013-04-02 | Massachusetts Institute Of Technology | Tactile sensor using elastomeric imaging |
| US9127938B2 (en) | 2011-07-28 | 2015-09-08 | Massachusetts Institute Of Technology | High-resolution surface measurement systems and methods |
| WO2014138716A2 (fr) | 2013-03-08 | 2014-09-12 | Gelsight, Inc. | Mesure en trois dimensions basée sur un contact continu |
| JP6862794B2 (ja) * | 2016-11-24 | 2021-04-21 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出センサー、力覚センサー、トルクセンサーおよびロボット |
| CZ308886B6 (cs) * | 2019-10-11 | 2021-08-04 | 4Dot Mechatronic Systems S.R.O. | Snímač přetvoření a sestava pro měření přetvoření obsahující tento snímač |
| US20230103759A1 (en) * | 2021-10-05 | 2023-04-06 | Toyota Research Institute, Inc. | Robotic Tool Control with Compliant Force/Geometry Sensor |
| US20250128402A1 (en) | 2023-10-20 | 2025-04-24 | Tacta Systems Inc. | Tactile robotic training platform |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3878477A (en) * | 1974-01-08 | 1975-04-15 | Hewlett Packard Co | Acoustic surface wave oscillator force-sensing devices |
| FR2262288A1 (fr) * | 1974-02-25 | 1975-09-19 | United Aircraft Corp | |
| FR2374625A1 (fr) * | 1976-12-20 | 1978-07-13 | Gould Inc | Detecteur numerique de force a ondes acoustiques superficielles |
| US4295102A (en) * | 1979-09-28 | 1981-10-13 | Texas Instruments Incorporated | Surface acoustic wave sensor sensing circuits |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1471357A (en) * | 1973-08-08 | 1977-04-27 | Omron Tateisi Electronics Co | Photoelectric detector |
| US3962903A (en) * | 1974-12-23 | 1976-06-15 | International Business Machines Corporation | Method and system for sensing an identifying means |
| US4216401A (en) * | 1978-12-22 | 1980-08-05 | United Technologies Corporation | Surface acoustic wave (SAW) pressure sensor structure |
| SU769331A1 (ru) * | 1979-01-22 | 1980-10-07 | Горьковский Политехнический Институт Им. А.А.Жданова | Дифференциально-транспортный датчик |
| SU901821A1 (ru) * | 1980-06-27 | 1982-01-30 | Рязанский Завод Тепловых Приборов "Теплоприбор" | Бесконтактный датчик положени |
| GB2117593B (en) * | 1982-03-31 | 1985-11-27 | Marconi Co Ltd | Adjusting the frequency response of surface acoustic wave devices |
| US4512198A (en) * | 1982-09-29 | 1985-04-23 | Schlumberger Technology Corporation | Surface acoustic wave sensors |
| US4644804A (en) * | 1984-07-17 | 1987-02-24 | Franz Rittmeyer Ag | Quartz resonating force and pressure transducer |
| US4634917A (en) * | 1984-12-26 | 1987-01-06 | Battelle Memorial Institute | Active multi-layer piezoelectric tactile sensor apparatus and method |
-
1985
- 1985-06-24 CS CS854623A patent/CS267053B1/cs unknown
-
1986
- 1986-06-19 SE SE8602736A patent/SE460153B/sv not_active IP Right Cessation
- 1986-06-23 JP JP61145011A patent/JPS6255535A/ja active Pending
- 1986-06-24 US US06/877,876 patent/US4775961A/en not_active Expired - Fee Related
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- 1986-06-24 FR FR868609091A patent/FR2583936B1/fr not_active Expired
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3878477A (en) * | 1974-01-08 | 1975-04-15 | Hewlett Packard Co | Acoustic surface wave oscillator force-sensing devices |
| FR2262288A1 (fr) * | 1974-02-25 | 1975-09-19 | United Aircraft Corp | |
| FR2374625A1 (fr) * | 1976-12-20 | 1978-07-13 | Gould Inc | Detecteur numerique de force a ondes acoustiques superficielles |
| US4295102A (en) * | 1979-09-28 | 1981-10-13 | Texas Instruments Incorporated | Surface acoustic wave sensor sensing circuits |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| 1978 IEEE ULTRASONICS SYMPOSIUM PROCEEDINGS, Cherry Hill, New Jersey, 25-27 septembre 1978, pages 458-463, IEEE, New York, US; P. DAS et al.: "A surface acoustic wave transmitting hydrophone" * |
| ELECTRONICS LETTERS, vol. 12, no. 22, 28 octobre 1976, pages 580-582, Hitchin, GB; J. FLEMING DIAS et al.: "Frequency/stress sensitivity of S.A.W. resonators" * |
| PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF ELECTRICAL ENGINEERS, vol. 120, no. 10R, octobre 1973, pages 1078-1110, IEEE Reviews, Stevenage, GB; J.D. MAINES et al.: "Surface-acoustic-wave components, devices and applications" * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3621037A1 (de) | 1987-01-02 |
| US4775961A (en) | 1988-10-04 |
| FR2583936B1 (fr) | 1989-12-15 |
| SE8602736L (sv) | 1986-12-25 |
| SE460153B (sv) | 1989-09-11 |
| CS462385A1 (en) | 1989-05-12 |
| CS267053B1 (en) | 1990-02-12 |
| SE8602736D0 (sv) | 1986-06-19 |
| JPS6255535A (ja) | 1987-03-11 |
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