FR2575287A1 - Improvements made to methods and apparatuses for spectral analysis of infrared radiation by means of an interferential filter - Google Patents
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Abstract
Description
Perfectionnements apportés aux procédés et aux appareils d'analyse spectrale d'un rayonnement infrarouge au moyen d'un filtre interférentiel.Improvements to methods and apparatus for spectral analysis of infrared radiation using an interference filter.
La présente invention concerne des perfectionnements apportés aux procédés et aux appareils d'analyse spectrale d'un rayonnement infrarouge, mettant en oeuvre un filtre interférentiel.Elle s'applique notamment aux spectrophotomètres à filtre interférentiel tournant, destiné à déterminer la répartition spectrale du rayonnement émis par des sources infrarouges fluctuantes de très faible puissance. The present invention relates to improvements made to the methods and apparatuses for spectral analysis of infrared radiation, using an interference filter. It applies in particular to spectrophotometers with a rotating interference filter, intended to determine the spectral distribution of the emitted radiation. by fluctuating infrared sources of very low power.
Pour différentes raisons, les détecteurs infrarouges et leur chaîne d'amplification ne transmettent pas la composante continue du signal détecté. Pour mesurer les rayonnements infrarouges lentemant variables, on tourne habituellement la difficulté, en interrompant périodiquement le faisceau optique à l'aide d'un modulateur mécanique. For various reasons, infrared detectors and their amplification chain do not transmit the DC component of the detected signal. To measure slowly varying infrared radiation, we usually turn the difficulty, periodically interrupting the optical beam using a mechanical modulator.
Ainsi, le détecteur "voit" alternativement la source et le modulateur et il délivre un signal alternatif, repré- sentant la différence entre le rayonnement provenant de la source et celui provenant du modulateur. Cette technique de mesure a deux conséquences -- la mesure ne donne pas la valeur absolue du rayonnement de la source, mais la différence entre le rayonnement émis par la source et celui envoyé par le modulateur (qui sert de référence) - les frequences enregistrées dans le signal sont translatées du continu vers la fréquence de modulation.Thus, the detector alternately "sees" the source and the modulator and it delivers an alternating signal, representing the difference between the radiation coming from the source and that coming from the modulator. This measurement technique has two consequences - the measurement does not give the absolute value of the radiation from the source, but the difference between the radiation emitted by the source and that sent by the modulator (which serves as a reference) - the frequencies recorded in the signal are translated from continuous to the modulation frequency.
Ces effets, qui sont recherchés, s'accompagnent de deux inconvénients principaux - une partie notable des informations émises par la source est perdue (par exemple la moitié si les pales pleines du modulateur sont égales aux parties ajourées) - le modulateur étant une pièce en mouvement, il est difficile de mesurer sa température avec précision ; la connaissance du niveau absolu de référence est donc approximative. These effects, which are sought after, are accompanied by two main drawbacks - a significant part of the information emitted by the source is lost (for example half if the full blades of the modulator are equal to the perforated parts) - the modulator being a piece in movement, it is difficult to measure its temperature accurately; knowledge of the absolute reference level is therefore approximate.
Par ailleurs, les rayonnements qui ne sont pas transmis par le filtre sont soit réfléchis, soit absorbés. Furthermore, the radiation that is not transmitted by the filter is either reflected or absorbed.
Lorsque le rayonnement de la source à mesurer est faible, le détecteur différencie difficilement a) le rayonnement (utile)à mesurer, provenant de la source et transmis par le filtre b) le rayonnement (parasite) provenant de I'environnement interne qui se réfléchit sur le filtre, en particulier le rayonnement émis par le détecteur lui-même (effet Narcisse); dans les appareils refroidis à l'azote liquide, cet effet induit un signal éle,ctrique parasite négatif de grande amplitude qui varie avec la position du filtre ; sa prise en compte est donc délicate c) le rayonnement (parasite) propre du filtre correspondant aux propriétés absorbantes du filtre.When the radiation from the source to be measured is low, the detector finds it difficult to differentiate a) the (useful) radiation to be measured, coming from the source and transmitted by the filter b) the radiation (parasite) coming from the internal environment which is reflected on the filter, in particular the radiation emitted by the detector itself (Narcissus effect); in devices cooled with liquid nitrogen, this effect induces a high negative, parasitic electrical signal of large amplitude which varies with the position of the filter; it is therefore difficult to take it into account c) the specific (parasitic) radiation of the filter corresponding to the absorbent properties of the filter.
Si, par exemple, le filtre a un pouvoir sélecteur de 100, le rayonnement utile peut représenter moins de 1 % du rayonnement total reçu par le détecteur, alors que les variations du rayonnement parasite peuvent atteindre 20 à 50 % du rayonnement total reçu. If, for example, the filter has a selector power of 100, the useful radiation can represent less than 1% of the total radiation received by the detector, while the variations in the parasitic radiation can reach 20 to 50% of the total radiation received.
Ces phénomènes de modulation et de mélange entre rayonnement utile et rayonnement parasite limitent notablement la possibilité de mesurer le rayonnement de sources infrarouges de faible intensité avec un analyseur de spectre à filtre interférentiel, par exemple à laide d'un spectrophotomètre à filtre tournant. These modulation and mixing phenomena between useful radiation and parasitic radiation notably limit the possibility of measuring the radiation of infrared sources of low intensity with a spectrum analyzer with an interference filter, for example using a spectrophotometer with a rotating filter.
L'invention a essentiellement pour but de supprimer ces inconvénients dans toute la mesure du possible et de proposer un procédé et un appareil perfectionnés qui permettent de réduire, dans des proportions importantes, l'influence des rayonnements parasites parvenant sur le détecteur et donc d'accroître la fidélité et la justesse des appareils de mesure, notamment des spectrophotomètres à filtre tournant. The object of the invention is essentially to eliminate these drawbacks as far as possible and to propose an improved method and apparatus which make it possible to reduce, in significant proportions, the influence of parasitic radiation arriving on the detector and therefore of increase the fidelity and accuracy of measuring devices, especially rotating filter spectrophotometers.
A ces fins, selon un premier aspect de l'invention, un procédé conforme à l'invention se caractérise en ce que - on incline le filtre pour que la normale au plan du filtre et l'axe du système optique associé au détecteur forment un angle tel que soit dirigé sur le détecteur un rayonnement issu d'une surface de référence dont on peut déterminer et/ou contrôler.la température, - on détecte ledit rayonnement issu de cette surface de référence, en l'absence de tout autre rayonnement issu du filtre, - on détecte un rayonnement composite constitué par le rayonnement utile à mesurer ayant traversé le filtre ét le rayonnement issu de la surface de référence et réfléchi par le filtre, - on effectue la différence entre les deux valeurs détectées des deux rayonnements, - et on en déduit la valeur du rayonnement transmis par le filtre. For these purposes, according to a first aspect of the invention, a method according to the invention is characterized in that - the filter is tilted so that the normal to the plane of the filter and the axis of the optical system associated with the detector form a angle such that radiation from a reference surface, the temperature of which can be determined and / or controlled, is directed onto the detector, - said radiation from this reference surface is detected, in the absence of any other radiation of the filter, - a composite radiation is detected consisting of the useful radiation to be measured having passed through the filter and the radiation from the reference surface and reflected by the filter, - the difference between the two detected values of the two radiations is made, - and the value of the radiation transmitted by the filter is deduced therefrom.
Grâce à ces dispositions, on évite que le rayonnement propre du détecteur et de l'enceinte refroidie associée ne se réfléchisse sur la face arrière du filtre < con- sidérée selon le sens de propagation des rayonnements, c'est-à-dire la face du filtre tournée vers le détecteur) et donc que le détecteur ne se voit lui-même dans le filtre (suppression de l'effet Narcisse). En choisissant un angle d'inclinaison approprié, le détecteur "voit", par réflexion sur le filtre, la surface de référence. Il est donc possible de connaître avec précision, voire même de contrôler, la température, et donc le rayonnement de cette surface et, par une méthode différentielle, de l'éliminer et de ne conserver que le signal correspondant au rayonnement utile. Thanks to these provisions, it is avoided that the own radiation of the detector and of the associated cooled enclosure is reflected on the rear face of the filter <considered according to the direction of propagation of the radiations, that is to say the face of the filter facing the detector) and therefore that the detector does not see itself in the filter (removal of the Narcissus effect). By choosing an appropriate angle of inclination, the detector "sees", by reflection on the filter, the reference surface. It is therefore possible to know with precision, or even to control, the temperature, and therefore the radiation of this surface and, by a differential method, to eliminate it and to keep only the signal corresponding to the useful radiation.
Avantageusement, la surface de référence est agencée pour rayonner sensiblement comme un corps noir (c'est-à-dire entièrement opaque et non réfléchissant): le rayonnement parasite, qui parvient au détecteur après réflexion sur la face arrière du filtre, est ainsi connu. Advantageously, the reference surface is arranged to radiate substantially like a black body (that is to say fully opaque and non-reflecting): the parasitic radiation, which reaches the detector after reflection on the rear face of the filter, is thus known. .
Par ailleurs, le filtre n'est par parfaitement transparent. En outre, dans le cas d'un filtre tournant, il est relativement isolé du châssis et il est soumis à des échauffements dus au moteur d'entraînement et aux frottements. I1 en résulte un échauffement par rapport aux autres organes de l'appareil, et en particulier par rapport à la surface de référence précitée. Des écarts thermiques de quelques degrés sont couramment observés ; ces écarts évoluent avec les conditions d'environnement et le temps de fonctionnement de l'appareil. I1 en résulte un rayonnement propre du support du filtre qui est perçu par le détecteur et'qu'il est important de connaitre pour s'zen affranchir. Furthermore, the filter is not perfectly transparent. In addition, in the case of a rotating filter, it is relatively isolated from the chassis and it is subjected to overheating due to the drive motor and friction. I1 results in overheating with respect to the other members of the apparatus, and in particular with respect to the aforementioned reference surface. Thermal deviations of a few degrees are commonly observed; these deviations change with the environmental conditions and the operating time of the device. This results in proper radiation from the filter support which is perceived by the detector and which it is important to know in order to get rid of it.
A cette fin, mettant en oeuvre les dispositions précitées du procédé de l'invention, on détecte d'abord le rayonnement issu d'une surface noire (c'est-à-dire entièrement opaque et non réfléchissante) de la face arrière du support du filtre, - on compare la valeur ainsi détectée avec la susdite va-- leur détectée du rayonnement issu de la.surface de référence, - et on en déduit une valeur de correction de la valeur du rayonnement de la surface de référence. To this end, implementing the aforementioned provisions of the method of the invention, the radiation from a black surface (that is to say fully opaque and non-reflecting) from the rear face of the support is first detected. of the filter, - the value thus detected is compared with the above-mentioned value - their detected radiation from the reference surface, - and a correction value is deduced therefrom from the radiation value of the reference surface.
Selon un aspect particulièrement préféré du procédé de l'invention, la valeur de correction est utilisée pour asservir la température de la surface de référence à la température du support du filtre, ce grâce à quoi le signal délivré par le détecteur est proportionnel à la différence entre la valeur du rayonnement incident transmis par le filtre et la valeur du rayonnement issu de la surface de référence. Un tel asservissement peut être facilement réalisé, par exemple à l'aide d'une cellule à effet
Peltier, pour ramener l'écart de température entre la surface noire du filtre et la surface de référence à une petite fraction de degré (par exemple en-dessous de 0,02 K)
Cette connaissance de la température de la surface de réfé rence permet de déterminer l'origine de la mesure différentielle du rayonnement.According to a particularly preferred aspect of the method of the invention, the correction value is used to control the temperature of the reference surface to the temperature of the filter support, whereby the signal delivered by the detector is proportional to the difference between the value of the incident radiation transmitted by the filter and the value of the radiation from the reference surface. Such control can be easily achieved, for example using an effect cell
Peltier, to reduce the temperature difference between the black surface of the filter and the reference surface to a small fraction of a degree (for example below 0.02 K)
This knowledge of the temperature of the reference surface makes it possible to determine the origin of the differential measurement of the radiation.
Enfin, une dernière disposition du procédé de l'invention est destinée à minimiser de légères déformations, préjudiciables à la précision des mesures, que subit le signal délivré par l'appareil du fait que les circuits électroniques de traitement des informations recueillies ne laissent pas passer les signaux à très basses fréquences. Finally, a final provision of the method of the invention is intended to minimize slight deformations, detrimental to the accuracy of the measurements, which the signal delivered by the device undergoes due to the fact that the electronic circuits for processing the information collected do not allow passage signals at very low frequencies.
A cette fin, on effectue une remise à zéro globale de l'ensemble des circuits dès le premier étage d'amplification immédiatement avant chaque cycle de mesure les tensions rémanentes provenant des mesures précédentes, qui subsistent à long terme dans les circuits, comme c'est souvent le cas dans les systèmes ne passant par le continu, sont de ce fait éliminées. To this end, a global reset of all the circuits is carried out from the first amplification stage immediately before each measurement cycle the residual voltages from the previous measurements, which remain in the circuits for the long term, like c ' is often the case in non-continuous systems, are therefore eliminated.
A partir d'une référence bien connue ainsi établie, il est possible, alors, d'introduire une correction des phénomènes de dérivation par une méthode dé filtrage récursif à deux termes fournissant la suite des valeurs corrigées Yi
où x. est la suite des valeurs mesurées et a un coefficient lié à la fréquence de coupure basse des circuits.From a well-known reference thus established, it is then possible to introduce a correction of the derivation phenomena by a recursive filtering method with two terms providing the sequence of the corrected values Yi
where x. is the continuation of the measured values and has a coefficient linked to the low cut-off frequency of the circuits.
Grâce aux dispositions réunies dans le procédé de l'invention, il est possible de -s'affranchir des rayonnements parasites perçus par le détecteur et d'-isoler le rayonnement utile (de faible amplitude parVrapport aux rayonnements parasites) devant seul être mesuré, en même temps que l'on s'affranchit des erreurs de mesure introduites par les circuits de l'appareil de mesure lui-même. Thanks to the arrangements brought together in the method of the invention, it is possible to be freed from parasitic radiation perceived by the detector and to isolate the useful radiation (of small amplitude by relation to parasitic radiation) which alone has to be measured, by at the same time as we are free from the measurement errors introduced by the circuits of the measuring device itself.
Pour la mise en oeuvre du procédé ci-dessus exposé, il est prévu,selon un second aspect de l'invention, un appareil caractérisé en ce que la normale à la surface du filtre interférentiel est inclinée par rapport à l'axe du système optique associé au détecteur de manière telle que le rayonnement réfléchi par la face arrière ou aval du support du filtre en direction du détecteur soit issu d'une surface de référence identifiable, notamment du point de vue de sa température, cette surface de référence étant de préférence située dans l'appareil lui-même.L'appareil comprend, en outre, des moyens de traitement de signaux, connectés à la sortie du détecteur, aptes à engendrer un signal représentatif de la différence entre un premier signal correspondant à un rayonnement composite (rayonnement utile ayant traversé le filtre et rayonnement provenant de la surface de référenceet réfléchi par la face arrière du filtre) reçu par le détecteur et un second signal correspondant au seul rayonnement réfléchi provenant de la surface de référence, en l'absence de tout rayonnement utile. According to a second aspect of the invention, for the implementation of the above-described method, an apparatus is provided, characterized in that the normal to the surface of the interference filter is inclined relative to the axis of the optical system. associated with the detector in such a way that the radiation reflected by the rear or downstream face of the filter support towards the detector comes from an identifiable reference surface, in particular from the point of view of its temperature, this reference surface preferably being located in the device itself. The device further comprises signal processing means, connected to the detector output, capable of generating a signal representative of the difference between a first signal corresponding to composite radiation ( useful radiation having passed through the filter and radiation from the reference surface and reflected by the rear face of the filter) received by the detector and a second signal corresponding to the only reflected radiation flexed from the reference surface, in the absence of any useful radiation.
De façon avantageuse, les moyens de traitement de signaux comprennent - des moyens de mémorisation pour mémoriser au moins un signal de sortie du détecteur, - des moyens différentiateurs dont une première borne d'entrée est reliée à la sortie des moyens de mémorisation, et - des moyens de commutation connectée à la sortie du détecteur et agencée pour raccorder la sortie du détecteur sélectivement à entrée des moyens de mémorisation ou à une seconde entrée des moyens différentiateurs. Advantageously, the signal processing means comprise - storage means for storing at least one output signal from the detector, - differentiating means, a first input terminal of which is connected to the output of the storage means, and - switching means connected to the detector output and arranged to connect the detector output selectively to the input of the storage means or to a second input of the differentiating means.
Dans le cas particulièrement visé par l'invention d'un spectrophotomètre à filtre interférentiel tournant, aux dispositions précédentes on adjoint celles consistant en ce que le filtre présente une zone réfléchissante et en ce que des moyens de synchronisation sont associés aux moyens de commutation et agencés pour commuter la sortie du détecteur sur'l'entrée des moyens de mémorisation lorsque la zone réfléchissante est dans l'axe optique du détecteur
et pour commuter la sortie du détecteur sur la seconde entrée des moyens différentiateurs lorsque la zone utile du filtre est en face du détecteur.In the case particularly targeted by the invention of a spectrophotometer with a rotating interference filter, the preceding provisions are added those consisting in that the filter has a reflecting zone and in that synchronization means are associated with the switching means and arranged for switching the detector output to the input of the storage means when the reflecting zone is in the optical axis of the detector
and to switch the detector output to the second input of the differentiating means when the useful area of the filter is opposite the detector.
De préférence-, la surface de référence est agencée pour rayonner sensiblement comme un corps noir. Preferably, the reference surface is arranged to radiate substantially like a black body.
Egalement de façon préférentielle, une zone du filtre est agencée pour rayonner sensiblement comme un corps noir. Also preferably, a zone of the filter is arranged to radiate substantially like a black body.
Dans l'un ou l'autre de ces deux derniers cas, la zone noire du filtre est prévue immédiatement avant la zone réfléchissante, (dans le sens de rotation du filtre). In either of these last two cases, the black zone of the filter is provided immediately before the reflecting zone, (in the direction of rotation of the filter).
I1 est alors particulièrement intéressant de prévoir des moyens de régulation en température agencés pour assujettir la température de la surface de référence à la température de la zone noire du filtre. It is therefore particularly advantageous to provide temperature regulation means arranged to subject the temperature of the reference surface to the temperature of the black zone of the filter.
De façon avantageuse; les moyens de régulation en température comprennent une cellule à effet Peltier commandée par.le signal de différence entre les températures de la surface de référence et de la zone noire du filtre et il est prévu des moyens commutateurs pour isoler les moyens de régulation en température de la sortié des moyens différentiateurs lorsque la zone réfléchissante du filtre n'est plus dans l'axe optique du détecteur. Advantageously; the temperature regulation means include a Peltier effect cell controlled by the difference signal between the temperatures of the reference surface and of the black zone of the filter and switching means are provided for isolating the temperature regulation means from the output of the differentiating means when the reflective zone of the filter is no longer in the optical axis of the detector.
En outre, on peut prévoir que l'appareil comprenne des moyens de remise à zéro connectés à la sortie du détecteur et des moyens de commande de ces moyens de synchronisation agencés pour agir au début de chaque cycle de mesure, notamment juste avant le passage de la zone noire du miroir dans l'axe optique du détecteur. In addition, provision may be made for the device to include reset means connected to the output of the detector and means for controlling these synchronization means arranged to act at the start of each measurement cycle, in particular just before the passage of the black area of the mirror in the optical axis of the detector.
Le recours à un appareil autorisant une mesure différentielle, comme indiqué plus haut, entraîne une réduction de la dynamique des circuits électroniques de traitement des signaux. The use of a device allowing differential measurement, as indicated above, leads to a reduction in the dynamics of the electronic signal processing circuits.
En outre, par rapport à un appareil à système de modulation classique, l'appareil de l'invention procure un gain considérable en temps utile consacré à la mesure : le taux de perte, de 50 % dans un système classique utilisant des pales et des encoches interpales de sensiblement mêmes surfaces, est ramené à 1 ou 2 % dans l'appareil de l'invention. In addition, compared to a device with a conventional modulation system, the device of the invention provides a considerable gain in useful time devoted to the measurement: the loss rate, of 50% in a conventional system using blades and interpale notches of substantially the same area, is reduced to 1 or 2% in the apparatus of the invention.
mêmes surfaces, est ramené à 1 ou 2 % dans l'appareil de l'invention.same surfaces, is reduced to 1 or 2% in the apparatus of the invention.
I1 en résulte de plus la possibilité d'effectuer des mesures très rapides, permettant d'obtenir cinquante spectres par seconde, voire plus encore. La mesure différentielle et l'élimination des termes continus rendent inutile l'emploi d'un modulateur de type papillon ainsi que de toute pièce en mouvement rapide par rapport- au défilement du spectre analysé. It also results in the possibility of carrying out very rapid measurements, making it possible to obtain fifty spectra per second, or even more. The differential measurement and the elimination of the continuous terms make useless the use of a butterfly type modulator as well as of any part in fast movement compared to the running of the analyzed spectrum.
En outre, la prise de référence est effectuée à chaque tour de rotation du filtre tournant; donc pour chaque spectre analysé, et non plus une fois par élément spectral comme c'était le cas avec les appareils antérieurs. In addition, the reference point is taken at each rotation of the rotary filter; therefore for each spectrum analyzed, and no longer once per spectral element as was the case with the previous devices.
Par ailleurs, la remise à zéro globale de la chaîne de mesure, faite systématiquement avant chaque séquence de mesure, assure l'indépendance des mesures effectuées pour des tours de rotation successifs du filtre, laquelle indépendance confère une protection efficace contre les effets à long terme d'un éblouissement passager du système. Furthermore, the global reset of the measurement chain, systematically done before each measurement sequence, ensures the independence of the measurements made for successive rotations of the filter, which independence provides effective protection against long-term effects. temporary glare of the system.
Ces remises à zéro périodique rendent en outre possible une correction récursive des mesures qui conduit à une amélioration de la justesse relative de la mesure entre le début et la fin du spectre analysé pour chaque tour de rotation du filtre. These periodic resets furthermore make possible a recursive correction of the measurements which leads to an improvement in the relative accuracy of the measurement between the start and the end of the spectrum analyzed for each revolution of the filter.
Enfin, la précision des mesures effectuées sur des rayonnements issus de sources à évolution lente est améliorée grâce aux cadences élevées dont le système est capable. En effet, en procédant par moyennage sur les spectres successifs correspondant aux rotations du filtre tournant, la sommation s'effectue sur des échantillons dont les fluctuations ne sont pas corrélées. Finally, the precision of the measurements carried out on radiations coming from sources with slow evolution is improved thanks to the high rates of which the system is capable. Indeed, by proceeding by averaging over the successive spectra corresponding to the rotations of the rotating filter, the summation is carried out on samples whose fluctuations are not correlated.
L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit d'un mode de réalisation préféré donné uniquement à titre d'exemple non limitatif ; dans cette description, on se réfère aux dessins annexés sur lesquels
- la figure 1 est un schéma-bloc illustrant, de façon simplifiée, la structure d'un appareil conçu conformément à l'invention ;
- la figure 2 est une vue schématique de la face arrière (considéré bans le sens de propagation des rayonnements) d'un filtre tournant agencé conformément à l'invention et utilisé dans l'appareil de la figure 1, et
- la figure 3 est un ensemble de courbe illustrant le fonctionnement du circuit de la figure 1.The invention will be better understood on reading the following description of a preferred embodiment given solely by way of nonlimiting example; in this description, reference is made to the appended drawings in which
- Figure 1 is a block diagram illustrating, in a simplified manner, the structure of an apparatus designed in accordance with the invention;
FIG. 2 is a schematic view of the rear face (considered in the direction of propagation of the radiation) of a rotary filter arranged in accordance with the invention and used in the apparatus of FIG. 1, and
- Figure 3 is a set of curves illustrating the operation of the circuit of Figure 1.
La figure 1 est une vue schématique des organes essentiels entrant dans la composition d'un spectrophotomètre à filtre interférentiel tournant. Figure 1 is a schematic view of the essential organs used in the composition of a spectrophotometer with a rotating interference filter.
Le filtre interférentiel, désigné d'une façon générale par la référence numérique 1, présente la forme générale d'un disque apte à tourner (flèche 3) autour de son axe 2 et disposé en regard d'un récepteur 4. The interference filter, generally designated by the reference numeral 1, has the general shape of a disc capable of rotating (arrow 3) around its axis 2 and arranged opposite a receiver 4.
Comme représenté à la figure 2, le filtre 1 comporte une partie de filtrage 7 de forme annulaire, constituée notamment de plusieurs secteurs 8 de caractéristiques différentes, situés bout à bout selon un agencement connu. As shown in FIG. 2, the filter 1 comprises a filtering part 7 of annular shape, constituted in particular by several sectors 8 of different characteristics, located end to end according to a known arrangement.
Conformément à l'invention, l'axe 2 du filtre est incliné par rapport à l'axe optique du récepteur 4 d'un angle a tel que les rayonnements 5 réfléchis par la face arrière de la partie de filtrage 7 en direction du récepteur 4 proviennent d'une surface 6 de l'appareil lui-même : la surface 6 est donc parfaitement identifiable et sa température peut être mesurée de façon précise. La surface 6 est traitée pour présenter les caractéristiques d'un corps noir. According to the invention, the axis 2 of the filter is inclined relative to the optical axis of the receiver 4 by an angle a such that the rays 5 reflected by the rear face of the filtering part 7 in the direction of the receiver 4 come from a surface 6 of the device itself: surface 6 is therefore perfectly identifiable and its temperature can be measured precisely. The surface 6 is treated to present the characteristics of a black body.
Par ailleurs, la partie annulaire de filtrage 7
est munie d'une zone réfléchissante 9 précédée (dans le
sens de rotation 3 du filtre) d'une zone 10 présentant les
caractéristiques d'un corps noir.Furthermore, the annular filtering part 7
is provided with a reflective zone 9 preceded (in the
rotation direction 3 of the filter) of a zone 10 presenting the
characteristics of a black body.
Le détecteur 4 est connecté entre la masse et
une entrée d'un amplificateur opérationnel 11, dont l'autre
entrée est portée à la masse et qui est contre-réactionné par une résistance R1 inséréeentre sa première entrée et sa sortie, de manière à constituer un amplificateur à très haute impédance d'entrée formant un premier étage d'amplification. La sortie de l'amplificateur 11 est reliée, par l'intermédiaire d'un condensateur C1 de découplage , à l'entrée d'un suramplificateur (booster) 12 ; entre cette entrée et la masse est insérée une résistance R2 sur laquelle est connecté en parallèle un interrupteur I1.Detector 4 is connected between ground and
an input of an operational amplifier 11, the other of which
input is brought to ground and which is counter-reacted by a resistor R1 inserted between its first input and its output, so as to constitute an amplifier with very high input impedance forming a first amplification stage. The output of the amplifier 11 is connected, via a decoupling capacitor C1, to the input of a booster 12; between this input and the earth is inserted a resistor R2 on which a switch I1 is connected in parallel.
La sortie du suramplificateur 12 est raccordée, par l'intermédiaire d'une résistance R3, à l'entrée non inverseuse dtun amplificateur opérationnel 13, dont l'autre entrée (entrée inverseuse) est reliée à la masse par l'intermédiaire d'un circuit résistance-capacité : ce circuit comprend une résistance R4, une résistance R5 et un condensateur C2 connectés en série entre la seconde entrée de l'amplificateur 13 et la masse, avec une résistance R6 branchée en parallèle entre cette même entrée et la masse; la résistance R5 a une valeur beaucoup plus faible que les autres résistances. Un interrupteur I2 est connecté entre la sortie du suramplificateur 12 ét le point de liaison des résistances R4 et R5. Enfin, une résistance de contreréaction R7 relie la première entrée de l'amplificateur 13
à sa sortie.L'amplificateur 13 est ainsi monté en différentiateur fournissant un signal de sortie représentatif de la différence des signaux présents sur ses deux entrées. Ce signal de sortie peut ensuite être traité de toute façon appropriée et/ou être affiché.The output of the booster 12 is connected, via a resistor R3, to the non-inverting input of an operational amplifier 13, the other input of which (inverting input) is connected to ground via a resistance-capacitance circuit: this circuit comprises a resistor R4, a resistor R5 and a capacitor C2 connected in series between the second input of the amplifier 13 and the ground, with a resistor R6 connected in parallel between this same input and the ground; resistance R5 has a much lower value than other resistors. A switch I2 is connected between the output of the booster 12 and the connection point of the resistors R4 and R5. Finally, a feedback resistance R7 connects the first input of the amplifier 13
at its output. The amplifier 13 is thus mounted as a differentiator providing an output signal representative of the difference of the signals present on its two inputs. This output signal can then be processed in any suitable way and / or displayed.
Sur la sortie de l'amplificateur est connecté un interrupteur I3 qui est lui-même relié à un circuit 14 de commande d'une cellule à effet Peltier 15 montée sur la surface de référence 6. D'une façon en soi connu, le cirsuit 14 comprend un échantillonneur-bloqueur 16 dont l'en- trée principale est connectée à l'amplificateur 13 via l'interrupteur I3 et dont l'entrée de commande 17 reçoit un signal de synchronisation ; la sortie de l'échantillon- neur-bloqueur 16 est raccordée à un amplificateur de commande en courant 18 relié ensuite à la cellule à effet
Peltier 15.On the output of the amplifier is connected a switch I3 which is itself connected to a circuit 14 for controlling a Peltier effect cell 15 mounted on the reference surface 6. In a manner known per se, the cirsuit 14 comprises a sample and hold 16 whose main input is connected to the amplifier 13 via the switch I3 and whose control input 17 receives a synchronization signal; the output of the sample-blocker 16 is connected to a current control amplifier 18 then connected to the effect cell
Peltier 15.
Un thermo-couple 19, disposé sur la surface de référence 6, est associé à une sonde résistive au nickel 20 reliée à un circuit électronique approprié (non représenté), ce qui permet de mesurer la température de la surface de référence 6 avec une grande précision. A thermocouple 19, disposed on the reference surface 6, is associated with a resistive nickel probe 20 connected to an appropriate electronic circuit (not shown), which makes it possible to measure the temperature of the reference surface 6 with a large precision.
Le montage qui vient d'être décrit fonctionne de la manière suivante. The assembly which has just been described operates in the following manner.
Au cours de la rotation du disque 1, une impulsion d'initialisation de tour (courbe I sur la figure 3), est engendrée au moment de l'apparition de la zone noire 10 dans l'axe du détecteur 4- (schéma VI sur la figure 3 qui est une représentation développée linéairement de la partie annulaire de filtration 7 du filtre 1). Cette impulsion, qui est synchrone avec les impulsions d'échantillonnage des rayonnements (courbe II), commande la fermeture de l'interrupteur I1 (courbe III) qui court-circuite la ré sistance R : il en résulte donc une remise à zéro de la sortie du premier étage d'amplification en éliminant toute tension résiduelle pouvant subsister de la mesure précédente. During the rotation of the disk 1, a revolution initialization pulse (curve I in FIG. 3) is generated at the moment of the appearance of the black zone 10 in the axis of the detector 4- (diagram VI on Figure 3 which is a linearly developed representation of the annular filtration part 7 of the filter 1). This pulse, which is synchronous with the radiation sampling pulses (curve II), controls the closing of the switch I1 (curve III) which short-circuits the resistance R: this therefore results in a reset of the output of the first amplification stage by eliminating any residual voltage that may remain from the previous measurement.
Simultanément, la même impulsion commande la fermeture de l'interrupteur I2 (courbe) qui demeure dans cet état pendant toute la durée du défilement de la zone noire 10 du filtre. L'interrupteur I2 court-circuite alors la résistance R4 et, compte tenu du fait que la résistance
R5 est beaucoup plus faible (par exemple 100 fois) que la résistance R3, le signal délivré par le détecteur 4 en correspondance avec la zone noire 10 est envoyé vers le circuit R52 et charge le condensateur C2.Simultaneously, the same pulse commands the closing of the switch I2 (curve) which remains in this state for the entire duration of the scrolling of the black zone 10 of the filter. The switch I2 then short-circuits the resistor R4 and, taking into account the fact that the resistor
R5 is much weaker (for example 100 times) than the resistance R3, the signal delivered by the detector 4 in correspondence with the black area 10 is sent to the circuit R52 and charges the capacitor C2.
La transition de la zone noire 10 à la zone réfléchissante 9 en regard du détecteur est ensuite détectée et le signal correspondant commande la réouverture de l'interrupteur 12 (courbe IV). La tension de charge du condensateur C2 est alors portée à l'entrée inverseuse de l'amplificateur 13, tandis que les signaux de sortie du suramplificateur 12 sont transmis à l'entrée non inverseuse du même amplificateur 13. Le signal de sortie de l'amplificateur 13 est alors la différence entre les deux signaux d'entrée. The transition from the black zone 10 to the reflective zone 9 facing the detector is then detected and the corresponding signal commands the reopening of the switch 12 (curve IV). The charging voltage of the capacitor C2 is then brought to the inverting input of the amplifier 13, while the output signals of the booster 12 are transmitted to the non-inverting input of the same amplifier 13. The output signal of the amplifier 13 is then the difference between the two input signals.
Les valeurs choisies pour la résistance R5 et le condensa teur C sont telles que la constante de temps de décharge du circuit
2
R5C2 est de beaucoup supérieure à la durée d'un tour de rotation du filtre 1 : la tension mémorisée par le circuit R5C2 et présentée sur l'entrée inverseuse de l'amplificateur 13 peut ainsi être considérée comme constante pendant toute la durée de la mesure (un tour de rotation du filtre 1).The values chosen for resistance R5 and capacitor C are such that the discharge time constant of the circuit
2
R5C2 is much longer than the duration of a rotation of filter 1: the voltage memorized by the circuit R5C2 and presented on the inverting input of amplifier 13 can thus be considered constant throughout the duration of the measurement (one rotation of filter 1).
Pendant tout ou partie de la durée de défilement de la zone réfléchissante 9 (schéma VI), l'interrupteur I3 est maintenu fermé (courbe V) de sorte que le signal de sortie de l'amplificateur 13 (représentant la différence de température entre la surface de référence 6 et la surface arrière du disque 1) est appliqué, via le circuit 13, à la cellule à effet Peltier 15. Celle-ci agit dans le sens approprié sur la température de la surface de référence 6 pour ramener cette température à une valeur égale à la température de la surface arrière du disque 1. On réalise ainsi un véritable asservissement en température de la surface de référence 6 par rapport à celle du disque 1. La surface de référence 6 étant fixe, il est facile de mesurer sa température à l'aide des moyens 19, 20 précités et de connaître, par cette voie, la température du disque 1 (laquelle température est impossible à mesurer par voie directe avec une grande précision du fait qu'il s'agit d'un corps
tournant). Ce montage permet de maintenir à moins de 0,02 K
l'écart entre les températures de la surface de référence
6 et le disque 1, et la température du disque 1 peut ainsi
être connue avec une précision de l'ordre -de 0,1 K.During all or part of the running time of the reflective zone 9 (diagram VI), the switch I3 is kept closed (curve V) so that the output signal from the amplifier 13 (representing the temperature difference between the reference surface 6 and the rear surface of the disc 1) is applied, via circuit 13, to the Peltier effect cell 15. This acts in the appropriate direction on the temperature of the reference surface 6 to bring this temperature to a value equal to the temperature of the rear surface of the disk 1. This produces a real temperature control of the reference surface 6 relative to that of the disk 1. The reference surface 6 being fixed, it is easy to measure its temperature using the aforementioned means 19, 20 and to know, by this route, the temperature of the disc 1 (which temperature is impossible to measure by direct route with great precision because it is a body
turning). This assembly makes it possible to maintain at less than 0.02 K
the difference between the temperatures of the reference surface
6 and disk 1, and the temperature of disk 1 can thus
be known with an accuracy of the order of 0.1 K.
Le disque 1 continuant à tourner, l'interrupteur
I3 est à nouveau ouvert avant la fin de la zone réfléchis
sante 9. Après la zone réfléchissante 9, ce sont les diffé
rentes zones de filtrage 8 qui défilent successivement de
vant le détecteur 4. La tension de charge du condensateur
C2 (représentative de la température du corps noir) étant
toujours présente sur l'entrée inverseuse de l'amplifica-
teur 13, le signal de sortie dudit amplificateur représente
la différence entre le rayonnement perçu par le détecteur
et celui du corps noir placé dans les mêmes conditions de
température.As disc 1 continues to rotate, the switch
I3 is open again before the end of the reflected area
health 9. After the reflective zone 9, these are the diff
filtering zones 8 which pass successively from
before the detector 4. The charging voltage of the capacitor
C2 (representative of the temperature of the black body) being
always present on the inverting input of the amplifier
13, the output signal of said amplifier represents
the difference between the radiation perceived by the detector
and that of the black body placed under the same conditions of
temperature.
Grâce aux dispositions qui viennent d'être expo
sées, l'appareil ne traite que le rayonnement utile trans
mis par le filtre, à l'exclusion des rayonnements parasites (réfléchi et propre) du filtre, avec en outre un asservissement en température de la surface de référence, une élimination des tensions rémanentes et une méthode de filtrage récursif comme indiqué précédemment relativement au procédé, ce qui conduit à une qu'alité et à une précision de mesure exceptionnelle, très nettement supérieures aux résultats fournis par les appareils antérieurs.Thanks to the provisions which have just been expo
the device only processes useful transient radiation
set by the filter, excluding parasitic radiation (reflected and clean) from the filter, with further temperature control of the reference surface, elimination of residual voltages and a recursive filtering method as indicated above in relation to the process , which leads to exceptional quality and measurement accuracy, very much higher than the results provided by previous devices.
Comme il va de soi et comme il résulte d'ailleurs déjà de ce qui précède, l'invention ne se limite nullement à ceux de ses modes d'application et de réalisation qui ont été plus spécialement envisagés ; elle en embrasse, au contraire, toutes les variantes. As goes without saying and as it already follows from the above, the invention is in no way limited to those of its modes of application and embodiments which have been more especially envisaged; on the contrary, it embraces all its variants.
Claims (15)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8419815A FR2575287B1 (en) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | IMPROVEMENTS IN PROCESSES AND APPARATUS FOR SPECTRAL ANALYSIS OF INFRARED RADIATION USING AN INTERFERENTIAL FILTER |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8419815A FR2575287B1 (en) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | IMPROVEMENTS IN PROCESSES AND APPARATUS FOR SPECTRAL ANALYSIS OF INFRARED RADIATION USING AN INTERFERENTIAL FILTER |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2575287A1 true FR2575287A1 (en) | 1986-06-27 |
| FR2575287B1 FR2575287B1 (en) | 1987-02-27 |
Family
ID=9310976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR8419815A Expired FR2575287B1 (en) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | IMPROVEMENTS IN PROCESSES AND APPARATUS FOR SPECTRAL ANALYSIS OF INFRARED RADIATION USING AN INTERFERENTIAL FILTER |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| FR (1) | FR2575287B1 (en) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3617745A (en) * | 1970-05-19 | 1971-11-02 | Us Army | Photometer radiometer irradiance reference source |
| GB1273707A (en) * | 1970-11-23 | 1972-05-10 | Mullard Ltd | Improvements relating to infra-red thermal imaging systems |
| US3780293A (en) * | 1972-03-06 | 1973-12-18 | E Flint | Dual beam radiometer for clear air turbulence measurement |
| JPS5497474A (en) * | 1978-01-19 | 1979-08-01 | Mitsubishi Electric Corp | Infrared image pickup device |
| US4433924A (en) * | 1981-09-18 | 1984-02-28 | Honeywell Inc. | Thermal reference apparatus |
-
1984
- 1984-12-26 FR FR8419815A patent/FR2575287B1/en not_active Expired
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3617745A (en) * | 1970-05-19 | 1971-11-02 | Us Army | Photometer radiometer irradiance reference source |
| GB1273707A (en) * | 1970-11-23 | 1972-05-10 | Mullard Ltd | Improvements relating to infra-red thermal imaging systems |
| US3780293A (en) * | 1972-03-06 | 1973-12-18 | E Flint | Dual beam radiometer for clear air turbulence measurement |
| JPS5497474A (en) * | 1978-01-19 | 1979-08-01 | Mitsubishi Electric Corp | Infrared image pickup device |
| US4433924A (en) * | 1981-09-18 | 1984-02-28 | Honeywell Inc. | Thermal reference apparatus |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| APPLIED OPTICS, vol. 14, no. 12, décembre 1975, pages 3086-3091; C.L. WYATT: "Infrared spectrometer: liquid-heliium-cooled rocketborne circular-variable filter" * |
| PATENTS ABSTRACTS, vol. 3, no. 119, 6 octobre 1979, page 143E142; & JP - A - 54 97 474 (MITSUBISHI DENKI K.K.) 08.01.1979 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2575287B1 (en) | 1987-02-27 |
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