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FR1104223A - Dispositif de compensation de l'astigmatisme d'un système de lentilles électroniqueoptique - Google Patents

Dispositif de compensation de l'astigmatisme d'un système de lentilles électroniqueoptique

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Publication number
FR1104223A
FR1104223A FR1104223DA FR1104223A FR 1104223 A FR1104223 A FR 1104223A FR 1104223D A FR1104223D A FR 1104223DA FR 1104223 A FR1104223 A FR 1104223A
Authority
FR
France
Prior art keywords
lens system
optical lens
compensation device
electronic optical
astigmatism compensation
Prior art date
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Expired
Application number
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English (en)
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Jenoptik AG
Original Assignee
VEB Carl Zeiss Jena GmbH
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Filing date
Publication date
Application filed by VEB Carl Zeiss Jena GmbH filed Critical VEB Carl Zeiss Jena GmbH
Application granted granted Critical
Publication of FR1104223A publication Critical patent/FR1104223A/fr
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
FR1104223D 1953-09-16 1954-05-05 Dispositif de compensation de l'astigmatisme d'un système de lentilles électroniqueoptique Expired FR1104223A (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEV6279A DE1002094B (de) 1953-09-16 1953-09-16 Einrichtung zur Kompensation des Astigmatismus eines elektronenoptischen Linsensystems

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FR1104223A true FR1104223A (fr) 1955-11-17

Family

ID=7571536

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Application Number Title Priority Date Filing Date
FR1104223D Expired FR1104223A (fr) 1953-09-16 1954-05-05 Dispositif de compensation de l'astigmatisme d'un système de lentilles électroniqueoptique

Country Status (3)

Country Link
CH (1) CH319761A (fr)
DE (1) DE1002094B (fr)
FR (1) FR1104223A (fr)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2973433A (en) * 1957-01-03 1961-02-28 Philips Corp Method and device for adjusting the excitation of a stigmator in electronmicroscopes

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE879877C (de) * 1951-01-25 1953-06-15 Sueddeutsche Lab G M B H Elektrostatische Einzellinse

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US2973433A (en) * 1957-01-03 1961-02-28 Philips Corp Method and device for adjusting the excitation of a stigmator in electronmicroscopes

Also Published As

Publication number Publication date
DE1002094B (de) 1957-02-07
CH319761A (de) 1957-02-28

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