[go: up one dir, main page]

FI981456A0 - Menetelmä mikromekaanisten elektrodien välisen etäisyyden sähköiseksi säätämiseksi - Google Patents

Menetelmä mikromekaanisten elektrodien välisen etäisyyden sähköiseksi säätämiseksi

Info

Publication number
FI981456A0
FI981456A0 FI981456A FI981456A FI981456A0 FI 981456 A0 FI981456 A0 FI 981456A0 FI 981456 A FI981456 A FI 981456A FI 981456 A FI981456 A FI 981456A FI 981456 A0 FI981456 A0 FI 981456A0
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
electrodes
distance
micromechanical
electrically controlling
electrode
Prior art date
Application number
FI981456A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Original Assignee
Valtion Teknillinen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Valtion Teknillinen filed Critical Valtion Teknillinen
Priority to FI981456A priority Critical patent/FI981456A0/fi
Publication of FI981456A0 publication Critical patent/FI981456A0/fi
Priority to FI982831A priority patent/FI109312B/fi
Priority to PCT/FI1999/000537 priority patent/WO1999067692A1/en
Priority to US09/720,121 priority patent/US6630657B1/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5726—Signal processing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Prostheses (AREA)
  • Micromachines (AREA)
FI981456A 1998-06-24 1998-06-24 Menetelmä mikromekaanisten elektrodien välisen etäisyyden sähköiseksi säätämiseksi FI981456A0 (fi)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI981456A FI981456A0 (fi) 1998-06-24 1998-06-24 Menetelmä mikromekaanisten elektrodien välisen etäisyyden sähköiseksi säätämiseksi
FI982831A FI109312B (fi) 1998-06-24 1998-12-30 Menetelmä ja järjestelmä mikromekaanisten elektrodien välisen etäisyyden sähköiseksi säätämiseksi
PCT/FI1999/000537 WO1999067692A1 (en) 1998-06-24 1999-06-18 Method and system for electrically controlling the spacing between micromechanical electrodes
US09/720,121 US6630657B1 (en) 1998-06-24 1999-06-18 Method and system for electrically controlling the spacing between micromechanical electrodes

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI981456A FI981456A0 (fi) 1998-06-24 1998-06-24 Menetelmä mikromekaanisten elektrodien välisen etäisyyden sähköiseksi säätämiseksi
FI982831A FI109312B (fi) 1998-06-24 1998-12-30 Menetelmä ja järjestelmä mikromekaanisten elektrodien välisen etäisyyden sähköiseksi säätämiseksi

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FI981456A0 true FI981456A0 (fi) 1998-06-24

Family

ID=26160608

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI981456A FI981456A0 (fi) 1998-06-24 1998-06-24 Menetelmä mikromekaanisten elektrodien välisen etäisyyden sähköiseksi säätämiseksi
FI982831A FI109312B (fi) 1998-06-24 1998-12-30 Menetelmä ja järjestelmä mikromekaanisten elektrodien välisen etäisyyden sähköiseksi säätämiseksi

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI982831A FI109312B (fi) 1998-06-24 1998-12-30 Menetelmä ja järjestelmä mikromekaanisten elektrodien välisen etäisyyden sähköiseksi säätämiseksi

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6630657B1 (fi)
FI (2) FI981456A0 (fi)
WO (1) WO1999067692A1 (fi)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI125817B (fi) * 2009-01-27 2016-02-29 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Parannettu sähköisesti säädettävä Fabry-Perot-interferometri, välituote, elektrodijärjestely ja menetelmä sähköisesti säädettävän Fabry-Perot-interferometrin tuottamiseksi
US9645029B2 (en) * 2014-04-07 2017-05-09 Infineon Technology Ag Force feedback loop for pressure sensors

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5331852A (en) * 1991-09-11 1994-07-26 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Electromagnetic rebalanced micromechanical transducer
FI98325C (fi) * 1994-07-07 1997-05-26 Vaisala Oy Selektiivinen infrapunadetektori
US5731703A (en) * 1995-10-31 1998-03-24 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Micromechanical d'arsonval magnetometer
FI108581B (fi) 1996-10-03 2002-02-15 Valtion Teknillinen Sähköisesti säädettävä optinen suodin
FR2768812B1 (fr) * 1997-09-19 1999-10-22 Commissariat Energie Atomique Interferometre fabry-perot accordable integre
US6496348B2 (en) * 1998-03-10 2002-12-17 Mcintosh Robert B. Method to force-balance capacitive transducers

Also Published As

Publication number Publication date
FI109312B (fi) 2002-06-28
WO1999067692A1 (en) 1999-12-29
US6630657B1 (en) 2003-10-07
FI982831L (fi) 1999-12-25
FI982831A0 (fi) 1998-12-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69935536D1 (de) Schaltkreis zur überwachung und steuerung des stimulationsausgangs für ein elektrisches gewebestimulationsgerät
ATE448021T1 (de) Verfahren zur elektrostatischen trennung von teilchen, vorrichtung zur elektrostatischen trennung von teilchen und verarbeitungssystem
WO2003106326A3 (en) VARIABLE CAPACITORS WITH MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND RELATED METHODS
AU2001291469A1 (en) Detecting element for a welding device
DE60221244D1 (de) Wundheilungsfördernde vorrichtung
NO20022310D0 (no) Levende finger
DE69104471D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung eines Fluides unter Verwendung eines kapazitiven Effekts.
DE50015101D1 (de) Elektrodenanordnung
ATE330229T1 (de) Stromüberwachungssystem mit einem bidirektionalen stromsensor
CA2012327A1 (en) Corrosion inhibition apparatus for downhole electrical heating
MY127490A (en) Segmented counterelectrodes for an electrolytic treatment system
WO2000052424A8 (de) Hall-sensor mit reduziertem offset-signal
AU7419991A (en) Method and apparatus for treating fluid
WO2002065821A3 (en) Methods and systems for enhanced delivery of electrical currents to fluidic systems
ATE333777T1 (de) Verwendung einer aktiven entladeelektrode zum minimieren von positiven und/oder negativen ladungen auf bewegten materialbahnen
DK1089072T3 (da) Ledningsevnesensor
DE69808104D1 (de) System zum steuern des ausstossens von elektrisch leitfähiger flüssigkeit
FI981456A0 (fi) Menetelmä mikromekaanisten elektrodien välisen etäisyyden sähköiseksi säätämiseksi
MX169076B (es) Procedimiento para el control de funcionamiento de un aparato de recubrimiento electroestatico
TW359689B (en) Leaching device for electrolyzed silver
EP0909568A3 (en) Methods for implementing current delivery profiles used in an iontophoretic system
KR900014155A (ko) 감광성층용 기질의 조면처리방법 및 장치
BR9402044A (pt) Válvula de luz
NO974300L (no) FremgangsmÕte for Õ regulere mengden av ioniserte gasser og/eller partikler over veier, gater plasser eller lignende
AU2003270294A1 (en) Electrostatically operating filter and method for separating particles from a gas

Legal Events

Date Code Title Description
FD Application lapsed