[go: up one dir, main page]

FI20095619A0 - System och förfarande för mätning av relativ rörelse - Google Patents

System och förfarande för mätning av relativ rörelse

Info

Publication number
FI20095619A0
FI20095619A0 FI20095619A FI20095619A FI20095619A0 FI 20095619 A0 FI20095619 A0 FI 20095619A0 FI 20095619 A FI20095619 A FI 20095619A FI 20095619 A FI20095619 A FI 20095619A FI 20095619 A0 FI20095619 A0 FI 20095619A0
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
relative motion
measuring relative
measuring
motion
relative
Prior art date
Application number
FI20095619A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Inventor
Jyrki Kauppinen
Original Assignee
Gasera Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gasera Ltd filed Critical Gasera Ltd
Priority to FI20095619A priority Critical patent/FI20095619A0/sv
Publication of FI20095619A0 publication Critical patent/FI20095619A0/sv
Priority to EP10164705.5A priority patent/EP2259009B1/en
Priority to CN201010196615.8A priority patent/CN101907713B/zh
Priority to US12/794,400 priority patent/US8497996B2/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
    • G01B9/02032—Interferometers characterised by the beam path configuration generating a spatial carrier frequency, e.g. by creating lateral or angular offset between reference and object beam
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
    • G01B9/02056—Passive reduction of errors
    • G01B9/02057—Passive reduction of errors by using common path configuration, i.e. reference and object path almost entirely overlapping

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
FI20095619A 2009-06-04 2009-06-04 System och förfarande för mätning av relativ rörelse FI20095619A0 (sv)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20095619A FI20095619A0 (sv) 2009-06-04 2009-06-04 System och förfarande för mätning av relativ rörelse
EP10164705.5A EP2259009B1 (en) 2009-06-04 2010-06-02 Arrangement and method for measuring relative movement
CN201010196615.8A CN101907713B (zh) 2009-06-04 2010-06-03 用于测量相对运动的设备和方法
US12/794,400 US8497996B2 (en) 2009-06-04 2010-06-04 Arrangement and method for measuring relative movement

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20095619A FI20095619A0 (sv) 2009-06-04 2009-06-04 System och förfarande för mätning av relativ rörelse

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FI20095619A0 true FI20095619A0 (sv) 2009-06-04

Family

ID=40825323

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20095619A FI20095619A0 (sv) 2009-06-04 2009-06-04 System och förfarande för mätning av relativ rörelse

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8497996B2 (sv)
EP (1) EP2259009B1 (sv)
CN (1) CN101907713B (sv)
FI (1) FI20095619A0 (sv)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IN2015DN02057A (sv) * 2012-09-13 2015-08-14 Mbda Uk Ltd
US10883875B2 (en) 2015-03-05 2021-01-05 Honeywell International Inc. Use of selected glass types and glass thicknesses in the optical path to remove cross sensitivity to water absorption peaks
US10408926B2 (en) 2015-09-18 2019-09-10 Qualcomm Incorporated Implementation of the focal plane 2D APD array for hyperion lidar system
JP2022125549A (ja) * 2021-02-17 2022-08-29 株式会社島津製作所 フーリエ変換赤外分光光度計

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6128082A (en) * 1998-09-18 2000-10-03 Board Of Trustees Operating Michigan State University Technique and apparatus for performing electronic speckle pattern interferometry
DE19859781A1 (de) * 1998-12-23 2000-06-29 Fachhochschule Ulm Verfahren zur out-of-plane-Verformungs- oder Schwingugnsmessung mittels elektronischer Speckle-Plattern-Interferometrie basierend auf der Verwendung mikrostrukturierter brechender optischer Elemente
DE10039239A1 (de) * 2000-08-11 2002-03-07 Bosch Gmbh Robert Optische Messvorrichtung
US6687008B1 (en) * 2000-10-19 2004-02-03 Kla-Tencor Corporation Waveguide based parallel multi-phaseshift interferometry for high speed metrology, optical inspection, and non-contact sensing
US7023563B2 (en) * 2003-02-14 2006-04-04 Chian Chiu Li Interferometric optical imaging and storage devices
US7324214B2 (en) * 2003-03-06 2008-01-29 Zygo Corporation Interferometer and method for measuring characteristics of optically unresolved surface features
US7777895B2 (en) * 2003-08-28 2010-08-17 4D Technology Corporation Linear-carrier phase-mask interferometer
CN1950693B (zh) 2004-03-29 2010-05-05 伽泽拉有限公司 检测一种或多种气体或气体混合物和/或测量一种或多种气体或气体混合物浓度的方法和系统
US7518731B2 (en) * 2005-02-01 2009-04-14 Chian Chiu Li Interferometric MOEMS sensor
FI20060259A0 (sv) 2006-03-17 2006-03-17 Noveltech Solutions Oy Arrangemang för optiks audiomikrofon
CN100451536C (zh) * 2007-01-19 2009-01-14 清华大学 准共路式微片激光器回馈干涉仪
CN101050949A (zh) * 2007-05-22 2007-10-10 天津大学 大视场物体微观表面三维形貌的测量系统及其测量方法
US8120781B2 (en) * 2008-11-26 2012-02-21 Zygo Corporation Interferometric systems and methods featuring spectral analysis of unevenly sampled data

Also Published As

Publication number Publication date
EP2259009A1 (en) 2010-12-08
CN101907713A (zh) 2010-12-08
US8497996B2 (en) 2013-07-30
CN101907713B (zh) 2014-09-10
US20100309485A1 (en) 2010-12-09
EP2259009B1 (en) 2019-10-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BR112012004707A2 (pt) método
BR112012000624A2 (pt) método
FI20090389A0 (sv) Förfarande
FI20080236A0 (sv) Förfarande och system för detektering av händelser
DE112012002363T8 (de) Luftfeuchtigkeitssensor und Verfahren zu dessen Fertigung
BRPI1012526A2 (pt) método
BR112012023253A2 (pt) método para formar um sistema de medição de posição e sistema de medição de posição
DE112008003988A5 (de) Abstandsmesssystem
BRPI1010705A2 (pt) método
EE05608B1 (et) Meetod ja seade desinfektsioonivahendi saamiseks
FI20096124L (sv) Tekopp och förfarande för framställning av en tekopp
FI20106346L (sv) Förfarande och anordning för att stöda en konstruktion
BRPI1012532A2 (pt) método
GB201121660D0 (en) Measurement method using a sensor, sensor system and sensor
FI20095039L (sv) Förfarande och anordning för justering av en klocksignal
BR112012029474A2 (pt) método de inspeção de matriz
BRPI1009350A2 (pt) método
FI20096346A0 (sv) Förfarande för tillverkning av lindning och lindning
FI20095619A0 (sv) System och förfarande för mätning av relativ rörelse
FI20105918A0 (sv) Förfarande och anordning för kalibrering av en flödesmätare
DK2408564T3 (da) Antispinsystem til et kegleknuserhoved
FI20085062A0 (sv) Förbättrat mätningssystem och -förfarande
FI20096413L (sv) Förbindningsprofil och förfarande för sammanfogning av element
FI20096062A (sv) Anordning för ett användargränssnitt och en metod för att tillverka den
FI20105096L (sv) Förstärkt konstruktionsmodul och förfarande för tillverkning därav

Legal Events

Date Code Title Description
FD Application lapsed