[go: up one dir, main page]

FI107357B - Avsökande interferometer - Google Patents

Avsökande interferometer Download PDF

Info

Publication number
FI107357B
FI107357B FI932816A FI932816A FI107357B FI 107357 B FI107357 B FI 107357B FI 932816 A FI932816 A FI 932816A FI 932816 A FI932816 A FI 932816A FI 107357 B FI107357 B FI 107357B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
movement
pedestal
light
interferometer
mirrors
Prior art date
Application number
FI932816A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI932816A (sv
FI932816A0 (fi
Inventor
Jaakko Raesaenen
Original Assignee
Temet Instr Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Temet Instr Oy filed Critical Temet Instr Oy
Priority to FI932816A priority Critical patent/FI107357B/sv
Publication of FI932816A0 publication Critical patent/FI932816A0/fi
Priority to US08/259,254 priority patent/US5457531A/en
Publication of FI932816A publication Critical patent/FI932816A/sv
Application granted granted Critical
Publication of FI107357B publication Critical patent/FI107357B/sv

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/45—Interferometric spectrometry
    • G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
    • G01J3/4532—Devices of compact or symmetric construction

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Claims (4)

1. Avsökande interferometer, som omfattar en ljus-källa (12), ett optiskt arrangemang (1-11) för delning ay j 5 ljuskällans ljus att framskrida tvä olika vägar, foe svängning av ljuset att ätervända samma väg och för före-ning av ljuset till ett interfererande ljus, varvid de: optiska arrangemanget innefattar tvä speglar (3, 4), son svänger ljusets framskridningsriktning, en piedestal (131 10 ätminstone för den andra spegeln (3, 4), som svänger lj j-sets framskridningsriktning, och en förflyttningsmekanis:n (14) för att ge nämnda piedestal (13) en pendelrörels5. \ vilken piedestal omfattar en basdel (15) som är stödd tilL | j interferometerns ram, ätminstone tvä stödarmar (18, 19 j 15 som i sinä första ändar via första ledpunkter (16, 17) ai - j sluter sig till basdelen (15) och en piedestaldel (22) son ansluter sig till stödarmarnas (18, 19) andra ändar via andra ledpunkter (20, 21), till vilken piedestaldel ä:· i minstone en av speglarna (3, 4), som svänger ljusets frarn·· 20 skridningsriktning, är fäst, och piedestalens förflyt:·· ningsmekanism omfattar ett medel (23) som ger upphov ti.il en linjär pendelrörelse och en förmedlingsmekanism (24 , genom vars förmedling rörelsen hos medlet (23) som ge:: '·· upphov till en pendelrörelse förmedlas till en pendelr<jv- 25 relse hos piedestaldelen (22), kännetecknad av at:1. förmedlingsmekanismen (24) omfattar en basdel (25) som nr stödd till interferometerns ram, ätminstone tvä stödarmikr * { (28, 29) som i sinä första ändar via första ledpunkt«^r j t (26, 27) ansluter sig tili basdelen (25) och en formed- j . : :1 30 lingsdel (32) , som ansluter sig tili stödarmarnas (28, 2$) { • j andra ändar via andra ledpunkter (30, 31) , till vilkifer. j förmedlingsdel en kilyta (33), som förmedlar rörelsen till 1 ) piedestaldelen (22), ansluter sig och att piedestaldelem ; < (22) och förmedlingsdelens (32) rörelseriktningar (A, B) > 35 är vinkelräta mot varandra. j t | i ' 1 i ! 107357 11
2. Interferometer enligt patent krav 1, känne-tecknad av att förmedlingsmekanismen (24) förmedlar en större rörelse hos medlet (23) som ger upphov tili en pen-delrörelse tili en mindre, förmänligt en klass mindre pen- 5 delrörelse hos piedestaldelen (22).
3. Interferometer enligt patentkrav 1 eller 2, k ä n n e t e c k n a-d av att piedestaldelen (22) förmänligt omfattar en böjd glidyta (34), mot vilken förmedlingsmeka-nismens (24) kilyta (33) är fjäderbelastad ‘genom en mellan 10 piedestaldelen (22) och förmedlingsdelen (32) anordnad drivfjäder (35).
4. Interferometer enligt nägot av patentkraven 1-3, kännetecknad av att medlet (23), som ger upphov tili en linjär pendelrörelse, omfattar en i magnetkretsens 15 luftspalt rörligt anordnad cylindrisk spole. • - 1 · ·
FI932816A 1993-06-17 1993-06-17 Avsökande interferometer FI107357B (sv)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI932816A FI107357B (sv) 1993-06-17 1993-06-17 Avsökande interferometer
US08/259,254 US5457531A (en) 1993-06-17 1994-06-13 Movable mirror mounting mechanism in a scanning interferometer

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI932816 1993-06-17
FI932816A FI107357B (sv) 1993-06-17 1993-06-17 Avsökande interferometer

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI932816A0 FI932816A0 (fi) 1993-06-17
FI932816A FI932816A (sv) 1994-12-18
FI107357B true FI107357B (sv) 2001-07-13

Family

ID=8538163

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI932816A FI107357B (sv) 1993-06-17 1993-06-17 Avsökande interferometer

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5457531A (sv)
FI (1) FI107357B (sv)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6322037B1 (en) * 1999-10-26 2001-11-27 Yokogawa Electric Corporation Moving mirror support device for photo-interferometer
FI20031581A0 (sv) * 2003-10-30 2003-10-30 Noveltech Solutions Ltd Interferometer
WO2009126546A1 (en) 2008-04-07 2009-10-15 University Of Florida Research Foundation, Inc. High-precision monolithic optical assemblies and methods for fabrication and alignment thereof

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4095899A (en) * 1976-03-01 1978-06-20 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Apparatus for double-beaming in fourier spectroscopy
US4095900A (en) * 1976-08-12 1978-06-20 Murphy Randall E Optical technique for background suppression
DE3005520C2 (de) * 1980-02-14 1983-05-05 Kayser-Threde GmbH, 8000 München Zweistrahl-Interferometer zur Fourierspektroskopie
US4319843A (en) * 1980-02-25 1982-03-16 Burleigh Instruments, Inc. Interferometer apparatus for the direct measurement of wavelength and frequency
USRE32912E (en) * 1981-08-10 1989-04-25 Laser Precision Corporation Parabolic focusing apparatus for optical spectroscopy
US4693603A (en) * 1985-10-21 1987-09-15 Midac Corporation Ruggedized compact interferometer requiring minimum isolation from mechanical vibrations
US4795253A (en) * 1987-04-24 1989-01-03 Mobay Corporation Remote sensing gas analyzer
US4773757A (en) * 1987-08-19 1988-09-27 Laser Precision Corporation High resolution spectrometer interferometer having an integrated alignment unit
DE3736694A1 (de) * 1987-10-29 1989-06-01 Kayser Threde Gmbh Verfahren und vorrichtung zum beruehrungslosen antrieb eines doppelpendel-interferometers
DE3883768D1 (de) * 1988-11-17 1993-10-07 Kayser Threde Gmbh Reflektorsystem für Michelson-Interferometer.
US4991961A (en) * 1989-05-26 1991-02-12 Nicolet Instrument Corporation Moving mirror tilt adjust mechanism in an interferometer
US5159405A (en) * 1989-10-28 1992-10-27 Horiba, Ltd. Multibeam interferometer for use in a fourier transform spectrometer and a driving device for moving the mirrors used therein
US5048970A (en) * 1990-06-29 1991-09-17 Nicolas J. Harrick Optical attachment for variable angle reflection spectroscopy

Also Published As

Publication number Publication date
US5457531A (en) 1995-10-10
FI932816A (sv) 1994-12-18
FI932816A0 (fi) 1993-06-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4915502A (en) Interferometer spectrometer having tiltable reflector assembly and reflector assembly therefor
EP1407291B1 (en) Chopper-stabilized absolute distance meter
CN107209267A (zh) 基于mems的lidar
US5715057A (en) Reference interferometer with variable wavelength and folded measurement beam path
JPH09325005A (ja) 偏位を測定するための装置
US7652771B2 (en) Interferometer with Double Polarizing Beam Splitter
WO1998002720A1 (en) An interferometer
US7027162B2 (en) System and method for three-dimensional measurement
US5196902A (en) Two-beam interferometer apparatus and method, and spectrometer utilizing the same
US5838430A (en) Dual beam laser device for linear and planar alignment
US7355719B2 (en) Interferometer for measuring perpendicular translations
US4538911A (en) Three-dimensional interferometric length-measuring apparatus
FI107357B (sv) Avsökande interferometer
US6611379B2 (en) Beam splitter and method for generating equal optical path length beams
JP7061106B2 (ja) 光源に対する反射器の不適切な位置整合を補償するための光学装置
EP2722705B1 (en) Optical assembly and laser alignment apparatus
US5150172A (en) Interferometer spectrometer having tiltable reflector assembly and reflector assembly therefor
US20010006420A1 (en) Laser measuring device and laser measuring method
JPH07190714A (ja) 干渉計
RU2150090C1 (ru) Интерферометр и спектрометр преобразования фурье
WO2009090771A1 (ja) レーザ干渉計、及びそれを用いた測定装置
CN101251420A (zh) 新型双动镜干涉仪
JP4081317B2 (ja) 波長較正用干渉測定装置
US6559951B2 (en) Air refractometer
US6876452B2 (en) Apparatus and methods for high accuracy metrology and positioning of a body

Legal Events

Date Code Title Description
MA Patent expired