ES2972587T3 - Método de producción para filtro de interferencia Fabry-Perot - Google Patents

Abstract

Un método de producción para un filtro de interferencia Fabry-Perot, comprendiendo el método de producción una etapa de formación, una etapa de eliminación que es posterior a la etapa de formación y una etapa de corte que es posterior a la etapa de eliminación. La etapa de formación consiste en formar, en una primera superficie principal de una oblea que incluye secciones dispuestas bidimensionalmente que corresponden a una pluralidad de sustratos y que se va a cortar a lo largo de cada una de una pluralidad de líneas en la pluralidad de sustratos, una primera capa de espejo que tiene una pluralidad de primeras partes de espejo, una capa de sacrificio que tiene una pluralidad de partes de extracción y una segunda capa de espejo que tiene una pluralidad de segundas partes de espejo. La etapa de eliminación es para eliminar simultáneamente la pluralidad de piezas de eliminación, que están dispuestas bidimensionalmente, de la capa de sacrificio mediante grabado. La etapa de corte es para cortar la oblea a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas en la pluralidad de sustratos. (Traducción automática con Google Translate, sin valor legal)

Description

DESCRIPCIÓN

Método de producción para filtro de interferencia Fabry-Perot

Campo técnico

La presente divulgación se refiere a un método de fabricar un filtro de interferencia de Fabry-Perot.

Antecedentes de la técnica

En la técnica relacionada, un filtro de interferencia Fabry-Perot, que incluye un sustrato, un espejo fijo y un espejo móvil enfrentados entre sí a través de un espacio en el sustrato, y una capa intermedia que define el espacio, es conocido (por ejemplo, véase la literatura de patentes 1).

El documento JP 2015 011312 A (Hamamatsu Photonics KK) divulga un filtro de interferencia de Fabry-Perot que comprende un primer espejo y un segundo espejo orientado hacia el primer espejo con un entrehierro en el medio. El filtro de interferencia comprende además un primer electrodo formado en el primer espejo para rodear un área de transmisión de luz; un segundo electrodo formado en el primer espejo para colocarse dentro del primer electrodo y que incluye el área de transmisión de luz; un tercer electrodo formado en el segundo espejo para orientarse hacia el primer electrodo y el segundo electrodo y conectado al mismo potencial eléctrico que el segundo electrodo; y cableado que conecta el segundo electrodo y el tercer electrodo al mismo potencial eléctrico. Se proporciona una primera muesca que se extiende desde el interior hacia el exterior del primer electrodo cuando se ve, y el alambre tiene un alambre que se extiende desde el segundo electrodo hasta el exterior del primer electrodo a través de la primera muesca.

El documento EP 3018521 A1 (Hamamatsu Photonics KK) divulga un filtro de interferencia de Fabry-Perot que incluye un primer espejo; un segundo espejo que está opuesto al primer espejo con un espacio S en el medio; un primer electrodo formado en el primer espejo para rodear una región de transmisión de luz; un segundo electrodo formado en el primer espejo para incluir la región de transmisión de luz; y un tercer electrodo formado en el segundo espejo para ser opuesto al primer electrodo y al segundo electrodo y conectado al mismo potencial que el segundo electrodo. El segundo electrodo se coloca en el lado del tercer electrodo o el lado opuesto del mismo con respecto al primer electrodo en una dirección opuesta donde el primer espejo y el segundo espejo están opuestos entre sí. Rissanen, A y col., "Tunable MOEMS Fabry-Perot interferometer for miniaturized spectral sensing in near-infrared", Actas de SPIE/IS & T, Vol. 8977, 7 de marzo de 2014, [89770X], DOI: 10.1117/12.2035732 divulga una plataforma de proceso de interferómetro Fabry-Perot (FPI) de MOEMS para el intervalo de 800-1050 nm.

Lista de citas

Literatura de patentes

Literatura de patentes 1: Publicación de la patente japonesa no examinada n.° 2013-506154

Sumario de la invención

Problema técnico

Dado que un filtro de interferencia de Fabry-Perot como se ha descrito anteriormente es una estructura delgada, es difícil mejorar tanto la eficiencia de fabricación como el rendimiento cuando se fabrica un filtro de interferencia Fabry-Perot.

En consecuencia, un objeto de la presente divulgación es proporcionar un método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot, en el que tanto la eficiencia de fabricación como el rendimiento pueden mejorarse.

Solución al problema

De acuerdo con un aspecto de la presente divulgación, se proporciona un método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot de acuerdo con la reivindicación 1.

En el método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot, la etapa de eliminación de eliminar la pluralidad de porciones que se espera eliminar de la capa de sacrificio mediante grabado se lleva a cabo a nivel de oblea. En consecuencia, en comparación con un caso en el que la etapa de eliminación se lleva a cabo individualmente a nivel de viruta, es posible formar un espacio entre la primera porción de espejo y la segunda porción de espejo de una manera significativamente eficiente. Asimismo, puesto que un proceso procede simultáneamente en una parte correspondiente a un sustrato arbitrario dentro de la oblea y partes correspondientes a los sustratos circundantes alrededor del sustrato, por ejemplo, puesto que el grabado de la capa de sacrificio se lleva a cabo simultáneamente con respecto a la pluralidad de porciones dispuestas bidimensionalmente que se espera eliminar, se puede reducir un sesgo de la tensión en el plano en la oblea. Por tanto, de acuerdo con el método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot, tanto la eficiencia de fabricación como el rendimiento pueden mejorarse.

De acuerdo con el aspecto de la presente divulgación, en el método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot, en la etapa de formación, una primera región adelgazada, en la que al menos una de la primera capa de espejo, la capa de sacrificio, y la segunda capa de espejo se adelgaza parcialmente a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas, se forma. En la etapa de corte de cortar una oblea en una pluralidad de sustratos a lo largo de cada una de las líneas, aunque las partes correspondientes respectivamente a las segundas porciones de espejo en la segunda capa de espejo están en un estado elevado en el espacio, la primera región adelgazada a lo largo de cada una de las líneas se forma de antemano. Por lo tanto, en comparación con un caso en el que no se forma la primera región adelgazada, es poco probable que una fuerza externa actúe sobre una estructura alrededor del espacio. Como resultado, es posible evitar eficazmente una situación en la que se dañe la estructura alrededor del espacio. La "primera región adelgazada" incluye una región desde la que todas las partes a lo largo de cada una de las líneas en la primera capa de espejo, la capa de sacrificio y la segunda capa de espejo se eliminan.

De acuerdo con el aspecto de la presente divulgación, en el método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot, en la etapa de formación, se puede formar una capa de ajuste de tensión en una segunda superficie principal de la oblea, y se puede formar una segunda región adelgazada en la que la capa de ajuste de tensión se adelgaza parcialmente a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas. De acuerdo con esta configuración, es posible evitar la deformación de la oblea provocada por la discordancia de una configuración de capa entre el lado de la primera superficie principal y el segundo lado de la superficie principal. Es más, puesto que la capa de ajuste de tensión se adelgaza parcialmente a lo largo de cada una de las líneas, es posible evitar que se produzcan daños en la capa de ajuste de tensión cuando se corta una oblea en una pluralidad de sustratos a lo largo de cada una de las líneas. La "segunda región adelgazada" incluye una región de la que se eliminan todas las partes a lo largo de cada una de las líneas en la capa de ajuste de tensión.

De acuerdo con el aspecto de la presente divulgación, en el método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot, en la etapa de formación, la primera región adelgazada puede formarse adelgazando una parte a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas en al menos la capa de sacrificio y la segunda capa de espejo. De acuerdo con esta configuración, cuando una oblea se corta en una pluralidad de sustratos a lo largo de cada una de las líneas, es posible evitar de manera más eficaz una situación en la que se dañe una parte alrededor del espacio en la capa de sacrificio y la segunda porción de espejo que se eleva en el espacio.

De acuerdo con el aspecto de la presente divulgación, en el método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot, en la etapa de formación, después de adelgazar una parte a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas en la capa de sacrificio formada en la primera capa de espejo, las superficies laterales de la capa de sacrificio que se enfrentan entre sí a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas se cubren con la segunda capa de espejo formando la segunda capa de espejo en la capa de sacrificio. De acuerdo con esta configuración, es posible evitar que una parte de las superficies laterales de la capa de sacrificio se elimine cuando la porción que se espera eliminar se elimine de la capa de sacrificio mediante grabado. Es más, en un filtro de interferencia Fabry-Perot fabricado, es posible evitar que la luz que se convierte en luz parásita incida desde la superficie lateral de una capa intermedia correspondiente a la superficie lateral de la capa de sacrificio.

De acuerdo con el aspecto de la presente divulgación, en el método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot, en la etapa de corte, la oblea se puede cortar en la pluralidad de sustratos a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas formando una región modificada dentro de la oblea a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas a través de la irradiación de luz láser y extendiendo una grieta en una dirección de espesor de la oblea desde la región modificada. De acuerdo con esta configuración, en comparación con un caso en el que una oblea se corta en una pluralidad de sustratos a través del troceado con cuchilla, es poco probable que una fuerza externa actúe sobre una estructura alrededor del espacio. Por lo tanto, es posible evitar más eficazmente una situación en la que se dañe la estructura alrededor del espacio. De forma adicional, es posible evitar que las partículas generadas cuando se realiza el troceado con cuchilla, el agua de enjuague de enfriamiento utilizada para el troceado con cuchilla y similares se infiltren en el espacio y provoquen el deterioro de las características del filtro de interferencia Fabry-Perot.

De acuerdo con el aspecto de la presente divulgación, en el método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot, en la etapa de corte, la grieta puede extenderse en la dirección del espesor de la oblea desde la región modificada expandiendo una cinta expansible unida al lado de la segunda superficie principal de la oblea. De acuerdo con esta configuración, es posible evitar que la segunda capa de espejo que tiene la pluralidad de segundas porciones de espejo, cada una de las que se espera que funcione como un espejo móvil, se dañe debido a la cinta expansible unida.

De acuerdo con el aspecto de la presente divulgación, en el método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot, en la etapa de corte, en un estado en el que la cinta expansible está unida al lado de la segunda superficie principal, la luz láser puede incidir sobre la oblea desde un lado opuesto a la cinta expansible. De acuerdo con esta configuración, la dispersión, la atenuación o similares, de la luz láser, causadas por la cinta expansible se evita, de modo que la región modificada pueda formarse de manera confiable dentro de la oblea a lo largo de cada una de las líneas.

De acuerdo con el aspecto de la presente divulgación, en el método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot, en la etapa de corte, en un estado en el que la cinta expansible está unida al lado de la segunda superficie principal, la luz láser puede incidir sobre la oblea a través de la cinta expansible desde el lado de la cinta expansible. De acuerdo con esta configuración, por ejemplo, incluso si las partículas generadas caen debido a su propio peso cuando la irradiación de luz láser se realiza desde arriba, la cinta expansible funciona como una cubierta. Por lo tanto, es posible evitar que tales partículas se adhieran a la segunda capa de espejo o similar.

Efectos ventajosos de la invención

De acuerdo con la presente divulgación, es posible proporcionar un método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot, en el que tanto la eficiencia de fabricación como el rendimiento pueden mejorarse.

Breve descripción de los dibujos

La Figura 1 es una vista en planta de un filtro de interferencia Fabry-Perot de una realización.

La Figura 2 es una vista inferior del filtro de interferencia Fabry-Perot de la Figura 1.

La Figura 3 es una vista en sección transversal del filtro de interferencia Fabry-Perot tomada a lo largo de la línea MI-MI de la Figura 1.

La Figura 4 es una vista en planta de una oblea utilizada en un método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot de la Figura 1.

Las Figuras 5(a) y 5(b) son vistas en sección transversal para describir el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot de la Figura 1.

Las Figuras 6(a) y 6(b) son vistas en sección transversal para describir el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot de la Figura 1.

Las Figuras 7(a) y 7(b) son vistas en sección transversal para describir el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot de la Figura 1.

Las Figuras 8(a) y 8(b) son vistas en sección transversal para describir el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot de la Figura 1.

Las Figuras 9(a) y 9(b) son vistas en sección transversal para describir el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot de la Figura 1.

La Figura 10 es una vista en sección transversal ampliada de una parte de borde exterior en un ejemplo de modificación del filtro de interferencia de Fabry-Perot de la Figura 1.

Las Figuras 11(a) y 11(b) son vistas para describir un ejemplo de una etapa de fabricación del filtro de interferencia de Fabry-Perot de la Figura 10.

Las Figuras 12(a) y 12(b) son vistas para describir un ejemplo de la etapa de fabricación del filtro de interferencia de Fabry-Perot de la Figura 10.

Las Figuras 13(a) y 13(b) son vistas para describir otro ejemplo de la etapa de fabricación del filtro de interferencia de Fabry-Perot de la Figura 10.

Las Figuras 14(a) y 14(b) son vistas para describir otro ejemplo de la etapa de fabricación del filtro de interferencia de Fabry-Perot de la Figura 10.

Las Figuras 15(a) y 15(b) son vistas para describir otro ejemplo de la etapa de fabricación del filtro de interferencia de Fabry-Perot de la Figura 10.

Las Figuras 16(a) y 16(b) son vistas para describir otro ejemplo de la etapa de fabricación del filtro de interferencia de Fabry-Perot de la Figura 10.

Descripción de la realización

En lo sucesivo en el presente documento, se describirá en detalle una realización de la presente divulgación en referencia a los dibujos. En todos los dibujos, las porciones iguales o equivalentes se indican con los mismos números de referencia y se omite la descripción duplicada.

[Configuración del filtro de interferencia Fabry-Perot]

Como se ilustra en las Figuras 1, 2 y 3, un filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 incluye un sustrato 11. El sustrato 11 tiene una primera superficie 11a y una segunda superficie 11b orientada hacia la primera superficie 11a. En la primera superficie 11a, una capa de prevención de reflexión 21, un primer laminado (primera capa) 22, una capa intermedia 23 y un segundo laminado (segunda capa) 24 se laminan en este orden. Un espacio (entrehierro) S está definido entre el primer laminado 22 y el segundo laminado 24 por la capa intermedia en forma de marco 23.

La forma y la relación posicional de cada porción en caso de verse en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a (vista en planta) son como sigue. Por ejemplo, un borde exterior del sustrato 11 tiene una forma rectangular. El borde exterior del sustrato 11 y un borde exterior del segundo laminado 24 coinciden entre sí. Un borde exterior de la capa de prevención de reflexión 21, un borde exterior del primer laminado 22 y un borde exterior de la capa intermedia 23 coinciden entre sí. El sustrato 11 tiene una porción de borde exterior 11c colocada en un lado exterior del borde exterior de la capa intermedia 23 con respecto al centro del espacio S. Por ejemplo, la porción de borde exterior 11c tiene una forma de marco y rodea la capa intermedia 23 en caso de verse en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a.

En el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, la luz que tiene una longitud de onda predeterminada se transmite a través de una región de transmisión de luz 1a definida en una porción central de la misma. Por ejemplo, la región de transmisión de luz 1a es una región columnar. Por ejemplo, el sustrato 11 está hecho de silicio, cuarzo o vidrio. Cuando el sustrato 11 está hecho de silicio, la capa de prevención de reflexión 21 y la capa intermedia 23 están hechas de óxido de silicio, por ejemplo. El espesor de la capa intermedia 23 varía de varias decenas de nm a varias decenas de |jm, por ejemplo.

Una parte correspondiente a la región de transmisión de luz 1a en el primer laminado 22 funciona como una primera porción de espejo 31. La primera porción de espejo 31 está dispuesta sobre la primera superficie 11a con la capa de prevención de reflexión 21 interpuesta entre medias. El primer laminado 22 está configurado para tener una pluralidad de capas de polisilicio 25 y una pluralidad de capas de nitruro de silicio 26 que se laminan alternativamente una a una. En la presente realización, una capa de polisilicio 25a, una capa de nitruro de silicio 26a, una capa de polisilicio 25b, una capa de nitruro de silicio 26b y una capa de polisilicio 25c se laminan sobre la capa de prevención de reflexión 21 en este orden. El espesor óptico de cada una de las capas de polisilicio 25 y las capas de nitruro de silicio 26 que configuran la primera porción de espejo 31 es preferiblemente un múltiplo integral de 1/4 de una longitud de onda de transmisión central. La primera porción de espejo 31 puede disponerse directamente sobre la primera superficie 11a sin la capa de prevención de reflexión 21 interpuesta entre medias.

Una parte correspondiente a la región de transmisión de luz 1a en el segundo laminado 24 funciona como una segunda porción de espejo 32. La segunda porción de espejo 32 está orientada hacia la primera porción de espejo 31 a través del espacio S en un lado opuesto al sustrato 11 con respecto a la primera porción de espejo 31. El segundo laminado 24 está dispuesto sobre la primera superficie 11a con la capa de prevención de reflexión 21, el primer laminado 22 y la capa intermedia 23 interpuesta entremedio. El segundo laminado 24 está configurado para incluir una pluralidad de capas de polisilicio 27 y una pluralidad de capas de nitruro de silicio 28 que se laminan alternativamente una a una. En la presente realización, una capa de polisilicio 27a, una capa de nitruro de silicio 28a, una capa de polisilicio 27b, una capa de nitruro de silicio 28b y una capa de polisilicio 27c se laminan sobre la capa intermedia 23 en este orden. El espesor óptico de cada una de la capa de polisilicio 27 y la capa de nitruro de silicio 28 que configuran la segunda porción de espejo 32 es preferiblemente un múltiplo integral de 1/4 de la longitud de onda de transmisión central.

En el primer laminado 22 y el segundo laminado 24, se pueden usar capas de óxido de silicio en lugar de las capas de nitruro de silicio. De forma adicional, como el material de cada capa que configura el primer laminado 22 y el segundo laminado 24, óxido de titanio, óxido de tántalo, óxido de circonio, fluoruro de magnesio, óxido de aluminio, fluoruro de calcio, silicio, germanio, sulfuro de zinc o similares se pueden usar.

En una parte correspondiente al espacio S en el segundo laminado 24, se forma una pluralidad de orificios pasantes 24b que van desde una superficie 24a del segundo laminado 24 en un lado opuesto a la capa intermedia 23 hasta el espacio S. La pluralidad de orificios pasantes 24b se forman para no afectar sustancialmente la función de la segunda porción de espejo 32. La pluralidad de orificios pasantes 24b se usa para formar el espacio S eliminando una parte de la capa intermedia 23 mediante grabado.

Además de la segunda porción de espejo 32, el segundo laminado 24 tiene además una porción de cobertura 33 y una porción de borde periférico 34. La segunda porción de espejo 32, la porción de cobertura 33 y la porción de borde periférico 34 están formadas integralmente para tener una parte de la misma estructura laminada entre sí y para conectarse entre sí. La porción de cobertura 33 rodea la segunda porción de espejo 32 en caso de verse en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a. La porción de cobertura 33 cubre una superficie 23a de la capa intermedia 23 en un lado opuesto al sustrato 11, una superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 (una superficie lateral en el lado exterior, es decir, una superficie lateral en un lado opuesto al lado del espacio S), una superficie lateral 22a del primer laminado 22 y una superficie lateral 21a de la capa de prevención de reflexión 21 y conduce a la primera superficie 11a. Es decir, la porción de cobertura 33 cubre el borde exterior de la capa intermedia 23, el borde exterior del primer laminado 22 y el borde exterior de la capa de prevención de reflexión 21.

La porción de borde periférico 34 rodea la porción de cobertura 33 en caso de verse en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a. La porción de borde periférico 34 se coloca sobre la primera superficie 11a en la porción de borde exterior 11c. Un borde exterior de la porción de borde periférico 34 coincide con el borde exterior del sustrato 11 en caso de verse en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a.

La porción de borde periférico 34 se adelgaza a lo largo de un borde exterior de la porción de borde exterior 11c. Es decir, una parte a lo largo del borde exterior de la porción de borde exterior 11c en la porción de borde periférico 34 se adelgaza en comparación con otras partes que excluyen la parte a lo largo del borde exterior en la porción de borde periférico 34. En la presente realización, la porción de borde periférico 34 se adelgaza eliminando una parte de la capa de polisilicio 27 y la capa de nitruro de silicio 28 que configura el segundo laminado 24. La porción de borde periférico 34 tiene una porción no adelgazada 34a conectada a la porción de cobertura 33, y una porción adelgazada 34b que rodea la porción no adelgazada 34a. En la porción adelgazada 34b, se eliminan la capa de polisilicio 27 y la capa de nitruro de silicio 28 excluyendo la capa de polisilicio 27a proporcionada directamente sobre la primera superficie 11a.

La altura de una superficie 34c de la porción no adelgazada 34a en un lado opuesto al sustrato 11 desde la primera superficie 11a es menor que la altura de la superficie 23a de la capa intermedia 23 desde la primera superficie 11a. La altura de la superficie 34c de la porción no adelgazada 34a desde la primera superficie 11a varía de 100 nm a 5.000 nm, por ejemplo. La altura de la superficie 23a de la capa intermedia 23 desde la primera superficie 11a es una altura mayor que la altura de la superficie 34c de la porción no adelgazada 34a desde la primera superficie 11a dentro de un intervalo de 500 nm a 20.000 nm, por ejemplo. La anchura de la porción adelgazada 34b (distancia entre un borde exterior de la porción no adelgazada 34a y el borde exterior de la porción de borde exterior 11c) es igual o mayor que 0,01 veces el espesor del sustrato 11. La anchura de la porción adelgazada 34b varía de 5 pm a 400 pm, por ejemplo. El espesor del sustrato 11 varía de 500 pm a 800 pm, por ejemplo.

Un primer electrodo 12 está formado en la primera porción de espejo 31 de tal manera que la región de transmisión de luz 1a está rodeada. El primer electrodo 12 se forma dopando impurezas en la capa de polisilicio 25c y disminuyendo la resistencia. Un segundo electrodo 13 está formado en la primera porción de espejo 31 de manera que se incluye la región de transmisión de luz 1a. El segundo electrodo 13 se forma dopando impurezas en la capa de polisilicio 25c y disminuyendo la resistencia. El tamaño del segundo electrodo 13 es preferentemente un tamaño para incluir la totalidad de la región de transmisión de luz 1a. Sin embargo, el tamaño puede ser aproximadamente el mismo que el tamaño de la región de transmisión de luz 1a.

Un tercer electrodo 14 está formado en la segunda porción de espejo 32. El tercer electrodo 14 está orientado hacia el primer electrodo 12 y el segundo electrodo 13 a través del espacio S. El tercer electrodo 14 se forma dopando impurezas en la capa de polisilicio 27a y disminuyendo la resistencia.

Se proporciona un par de terminales 15 para enfrentarse entre sí mientras se tiene la región de transmisión de luz 1a entremedio. Cada uno de los terminales 15 está dispuesto dentro de un orificio pasante que va desde la superficie 24a del segundo laminado 24 al primer laminado 22. Cada uno de los terminales 15 está conectado eléctricamente al primer electrodo 12 a través de un cableado 12a. Por ejemplo, los terminales 15 están formados a partir de una película metálica hecha de aluminio o una aleación del mismo.

Se proporciona un par de terminales 16 para enfrentarse entre sí mientras se tiene la región de transmisión de luz 1a entremedio. Cada uno de los terminales 16 está dispuesto dentro de un orificio pasante que va desde la superficie 24a del segundo laminado 24 al primer laminado 22. Cada uno de los terminales 16 está conectado eléctricamente al segundo electrodo 13 a través de un cableado 13a y está conectado eléctricamente al tercer electrodo 14 a través de un cableado 14a. Por ejemplo, los terminales 16 están formados a partir de una película metálica hecha de aluminio o una aleación del mismo. La dirección de orientación del par de terminales 15 y la dirección de orientación del par de terminales 16 son ortogonales entre sí (véase Figura 1).

Las zanjas 17 y 18 se proporcionan en una superficie 22b del primer laminado 22. La zanja 17 se extiende anularmente para rodear una parte de conexión con respecto a los terminales 16 en el cableado 13a. La zanja 17 aísla eléctricamente el primer electrodo 12 y el cableado 13a entre sí. La zanja 18 se extiende anularmente a lo largo de un borde interior del primer electrodo 12. La zanja 18 aísla eléctricamente el primer electrodo 12 y una región del primer electrodo 12 en un lado interior (segundo electrodo 13). Cada una de las regiones dentro de las zanjas 17 y 18 puede ser un material aislante o un espacio.

Se proporciona una zanja 19 en la superficie 24a del segundo laminado 24. La zanja 19 se extiende anularmente para rodear los terminales 15. La zanja 19 aísla eléctricamente los terminales 15 y el tercer electrodo 14. La región dentro de la zanja 19 puede ser un material aislante o un espacio.

Una capa de prevención de reflexión 41, un tercer laminado (tercera capa) 42, una capa intermedia (tercera capa) 43 y un cuarto laminado (tercera capa) 44 se laminan sobre la segunda superficie 11b del sustrato 11 en este orden. Cada una de la capa de prevención de reflexión 41 y la capa intermedia 43 tiene una configuración similar a las de la capa de prevención de reflexión 21 y la capa intermedia 23. Cada uno del tercer laminado 42 y el cuarto laminado 44 tiene una estructura laminada simétrica a las del primer laminado 22 y el segundo laminado 24 basándose en el sustrato 11. La capa de prevención de reflexión 41, el tercer laminado 42, la capa intermedia 43 y el cuarto laminado 44 tienen la función de evitar el alabeo del sustrato 11.

El tercer laminado 42, la capa intermedia 43 y el cuarto laminado 44 se adelgazan a lo largo del borde exterior de la porción de borde exterior 11c. Es decir, la parte a lo largo del borde exterior de la porción de borde exterior 11c en el tercer laminado 42, la capa intermedia 43, y el cuarto laminado 44 se adelgazan en comparación con otras partes que excluyen una parte a lo largo de un borde exterior en el tercer laminado 42, la capa intermedia 43 y el cuarto laminado 44. En la presente realización, el tercer laminado 42, la capa intermedia 43 y el cuarto laminado 44 se adelgazan eliminando la totalidad del tercer laminado 42, la capa intermedia 43 y el cuarto laminado 44 en una parte que se superpone a la porción adelgazada 34b en caso de verse en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a.

Se proporciona una abertura 40a en el tercer laminado 42, la capa intermedia 43 y el cuarto laminado 44 de manera que se incluya la región de transmisión de luz 1a. La abertura 40a tiene un diámetro aproximadamente igual al tamaño de la región de transmisión de luz 1a. La abertura 40a está abierta en un lado de emisión de luz, y una superficie inferior de la abertura 40a conduce a la capa de prevención de reflexión 41.

Se forma una capa de barrera de luz 45 sobre una superficie del cuarto laminado 44 en el lado de emisión de luz. Por ejemplo, la capa de barrera de luz 45 está hecha de aluminio. Se forma una capa protectora 46 sobre una superficie de la capa de barrera de luz 45 y una superficie interior de la abertura 40a. La capa protectora 46 cubre los bordes exteriores del tercer laminado 42, la capa intermedia 43, el cuarto laminado 44 y la capa de barrera de luz 45 y cubre la capa de prevención de reflexión 41 en la porción de borde exterior 11c. Por ejemplo, la capa protectora 46 está hecha de óxido de aluminio. Se puede ignorar una influencia óptica debida a la capa protectora 46 haciendo que el espesor de la capa protectora 46 oscile entre 1 y 100 nm (preferiblemente, aproximadamente 30 nm).

En el filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 configurado como se ha descrito anteriormente, si se aplica una tensión a una ubicación entre el primer electrodo 12 y el tercer electrodo 14 a través de los terminales 15 y 16, se genera una fuerza electrostática correspondiente a la tensión entre el primer electrodo 12 y el tercer electrodo 14. La segunda porción de espejo 32 es atraída al lado de la primera porción de espejo 31 fijada al sustrato 11 debido a la fuerza electrostática, y se ajusta la distancia entre la primera porción de espejo 31 y la segunda porción de espejo 32. De esta forma, en el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, la distancia entre la primera porción de espejo 31 y la segunda porción de espejo 32 es cambiable.

La longitud de onda de la luz transmitida a través del filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 depende de la distancia entre la primera porción de espejo 31 y la segunda porción de espejo 32 en la región de transmisión de luz 1a. Por lo tanto, la longitud de onda de la luz transmitida se puede seleccionar adecuadamente ajustando la tensión que se aplicará a una ubicación entre el primer electrodo 12 y el tercer electrodo 14. En ese momento, el segundo electrodo 13 tiene el mismo potencial que el del tercer electrodo 14. Por lo tanto, el segundo electrodo 13 funciona como un electrodo de compensación para mantener la primera porción de espejo 31 y la segunda porción de espejo 32 planas en la región de transmisión de luz 1a.

En el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, por ejemplo, se puede obtener un espectro espectroscópico detectando la luz transmitida a través de la región de transmisión de luz 1a del filtro de interferencia Fabry-Perot 1 usando un detector de luz mientras se cambia la tensión que se aplicará al filtro de interferencia Fabry-Perot 1 (es decir, mientras que la distancia entre la primera porción de espejo 31 y la segunda porción de espejo 32 se cambia en el filtro de interferencia de Fabry-Perot 1).

Como se ha descrito anteriormente, en el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, además de la segunda porción de espejo 32, el segundo laminado 24 incluye además la porción de cobertura 33 que cubre la capa intermedia 23, y la porción de borde periférico 34 colocada sobre la primera superficie 11a en la porción de borde exterior 11c. La segunda porción de espejo 32, la porción de cobertura 33 y la porción de borde periférico 34 están formadas integralmente de una manera que están conectadas entre sí. En consecuencia, la capa intermedia 23 está cubierta con el segundo laminado 24, de modo que se evita que la capa intermedia 23 se desprenda. De forma adicional, puesto que la capa intermedia 23 está cubierta con el segundo laminado 24, incluso cuando el espacio S se forma en la capa intermedia 23 mediante grabado, por ejemplo, se evita que la capa intermedia 23 se deteriore. Como resultado, se mejora la estabilidad de la capa intermedia 23. Es más, en el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, la porción de borde periférico 34 se adelgaza a lo largo del borde exterior de la porción de borde exterior 11c. En consecuencia, por ejemplo, incluso cuando se corta una oblea que incluye una parte correspondiente al sustrato 11 a lo largo del borde exterior de la porción de borde exterior 11c y se obtiene el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, se evita que cada capa sobre el sustrato 11 se deteriore. Como resultado, se mejora la estabilidad de cada capa sobre un sustrato. Como se ha descrito anteriormente, de acuerdo con el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, es posible evitar el desprendimiento causado en cada capa sobre el sustrato 11. Es más, en el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, puesto que la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 está cubierta con el segundo laminado 24, se puede evitar que la luz entre desde la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23, de modo que es posible evitar la generación de luz parásita.

De forma adicional, en el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, la porción de cobertura 33 cubre el borde exterior del primer laminado 22. En consecuencia, es posible evitar de manera más fiable que el primer laminado 22 se desprenda. Es más, por ejemplo, incluso cuando se corta una oblea que incluye una parte correspondiente al sustrato 11 a lo largo del borde exterior de la porción de borde exterior 11c y se obtiene el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, es posible evitar más favorablemente que el primer laminado 22 se deteriore.

De forma adicional, en el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, un borde exterior de la capa de nitruro de silicio 26 incluida en el primer laminado 22 está cubierto con la porción de cobertura 33. En consecuencia, la capa de nitruro de silicio 26 del primer laminado 22 no está expuesta al exterior. Por lo tanto, por ejemplo, incluso cuando el espacio S se forma en la capa intermedia 23 mediante grabado usando gas ácido fluorhídrico, es posible evitar que se genere un residuo debido a la reacción entre el gas de ácido fluorhídrico y la capa de nitruro de silicio 26.

De forma adicional, en el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, puesto que se elimina una parte de la capa de polisilicio 27 y la capa de nitruro de silicio 28 que configura el segundo laminado 24, el filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 se adelgaza a lo largo del borde exterior de la porción de borde exterior 11c. En consecuencia, la primera superficie 11a del sustrato 11 puede estar protegida por las partes restantes que no se han eliminado de la capa de polisilicio 27 y la capa de nitruro de silicio 28 que configura el segundo laminado 24. Es más, en el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, solo la capa de polisilicio 27a permanece en la porción adelgazada 34b. En consecuencia, la superficie de la porción adelgazada 34b se vuelve lisa. Por lo tanto, por ejemplo, incluso cuando la luz láser converge dentro de una oblea a lo largo del borde exterior de la porción de borde exterior 11c para cortar la oblea que incluye una parte correspondiente al sustrato 11 a lo largo del borde exterior de la porción de borde exterior 11c, la luz láser puede converger favorablemente dentro de la oblea y la oblea puede cortarse con precisión, de modo que es posible evitar más favorablemente que cada capa sobre el sustrato 11 se deteriore.

De forma adicional, en el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, el tercer laminado 42 y el cuarto laminado 44 están dispuestos sobre la segunda superficie 1 1b del sustrato 11, y el tercer laminado 42 y el cuarto laminado 44 se adelgazan a lo largo del borde exterior de la porción de borde exterior 11c. En consecuencia, es posible evitar la deformación del sustrato 11 provocada por la discordancia de la configuración de capa entre el lado de la primera superficie 11a y el lado de la segunda superficie 11b del sustrato 11. Es más, por ejemplo, incluso cuando se corta una oblea que incluye una parte correspondiente al sustrato 11 a lo largo del borde exterior de la porción de borde exterior 11c y se obtiene el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, se evita que el tercer laminado 42 y el cuarto laminado 44 se deterioren. Como resultado, se mejora la estabilidad de cada capa sobre el sustrato 11.

[Método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot]

En primer lugar, como se ilustra en la Figura 4, se prepara una oblea 110. La oblea 110 es una oblea que incluye partes correspondientes a una pluralidad de sustratos 11 dispuestos en un estado bidimensional y que se espera que se corten en la pluralidad de sustratos 11 a lo largo de cada una de una pluralidad de líneas 10. La oblea 110 tiene una primera superficie principal 110a y una segunda superficie principal 110b enfrentadas entre sí. Por ejemplo, la oblea 110 está hecha de silicio, cuarzo o vidrio. Como ejemplo, cuando cada uno de los sustratos 11 presenta una forma rectangular en caso de verse en una dirección perpendicular a la primera superficie principal 110a, la pluralidad de sustratos 11 están dispuestos en un estado de matriz bidimensional, y la pluralidad de líneas 10 se establecen en un estado de celosía para pasar a través de una ubicación entre los sustratos 11 adyacentes entre sí.

Posteriormente, como se ilustra en las Figuras 5(a) a 7(a), se lleva a cabo una etapa de formación. En la etapa de formación, una capa de prevención de reflexión 210, una primera capa de espejo 220, una capa de sacrificio 230, una segunda capa de espejo 240 y una primera región adelgazada 290 se forman en la primera superficie principal 110a de la oblea 110 (véase Figura 7(a)). De forma adicional, en la etapa de formación, una capa de ajuste de tensión 400, una capa de barrera de luz 450, una capa protectora 460 y una segunda región adelgazada 470 se forman en la segunda superficie principal 110b de la oblea 110 (véase Figura 7(a)).

Específicamente, como se ilustra en la Figura 5(a), la capa de prevención de reflexión 210 se forma en la primera superficie principal 110a de la oblea 110, y una capa de prevención de reflexión 410 se forma en la segunda superficie principal 110b de la oblea 110. La capa de prevención de reflexión 210 es una capa que se espera que se corte en una pluralidad de capas de prevención de reflexión 21 a lo largo de cada una de las líneas 10. La capa de prevención de reflexión 410 es una capa que se espera que se corte en una pluralidad de capas de prevención de reflexión 41 a lo largo de cada una de las líneas 10.

Posteriormente, una pluralidad de capas de polisilicio y una pluralidad de capas de nitruro de silicio se laminan alternativamente en cada una de las capas de prevención de reflexión 210 y 410, de modo que la primera capa de espejo 220 se forma sobre la capa de prevención de reflexión 210 y una capa 420 que configura la capa de ajuste de tensión 400 se forma sobre la capa de prevención de reflexión 410. La primera capa de espejo 220 es una capa que tiene una pluralidad de primeras porciones de espejo 31, cada una de las que se espera que funcione como un espejo fijo y es una capa que se espera que se corte en una pluralidad de primeros laminados 22 a lo largo de cada una de las líneas 10. La capa 420 que configura la capa de ajuste de tensión 400 es una capa que se espera que se corte en una pluralidad de terceros laminados 42 a lo largo de cada una de las líneas 10.

Cuando se forma la primera capa de espejo 220, una parte a lo largo de cada una de las líneas 10 en la primera capa de espejo 220 se elimina mediante grabado, de modo que una superficie de la capa de prevención de reflexión 210 quede expuesta. De forma adicional, una capa de polisilicio predeterminada en la primera capa de espejo 220 tiene una resistencia parcialmente disminuida por impurezas dopantes, de modo que el primer electrodo 12, el segundo electrodo 13 y los cableados 12a y 13a están formados en cada parte correspondiente al sustrato 11. Es más, las zanjas 17 y 18 se forman sobre una superficie de la primera capa de espejo 220 en cada parte correspondiente al sustrato 11 mediante grabado.

Posteriormente, como se ilustra en la Figura 5(b), la capa de sacrificio 230 se forma sobre la primera capa de espejo 220 y la superficie expuesta de la capa de prevención de reflexión 210, y una capa 430 que configura la capa de ajuste de tensión 400 se forma sobre la capa 420 que configura la capa de ajuste de tensión 400. La capa de sacrificio 230 es una capa que tiene una pluralidad de porciones 50 que se espera eliminar y es una capa que se espera que se corte en una pluralidad de capas intermedias 23 a lo largo de cada una de las líneas 10. La porción 50 que se espera eliminar es una parte que corresponde al espacio S (véase Figura 3). La capa 430 que configura la capa de ajuste de tensión 400 es una capa que se espera que se corte en una pluralidad de capas intermedias 43 a lo largo de cada una de las líneas 10.

Posteriormente, una parte a lo largo de cada una de las líneas 10 en la capa de sacrificio 230 y la capa de prevención de reflexión 210 se elimina mediante grabado, de modo que la primera superficie principal 110a de la oblea 110 esté expuesta. De forma adicional, mediante grabado, en cada parte correspondiente al sustrato 11, se forma un espacio en una parte correspondiente a cada uno de los terminales 15 y 16 (véase Figura 3) en la capa de sacrificio 230.

Posteriormente, como se ilustra en la Figura 6(a), una pluralidad de capas de polisilicio y una pluralidad de capas de nitruro de silicio se laminan alternativamente en cada uno del lado de la primera superficie principal 110a y del lado de la segunda superficie principal 110b de la oblea 110, de modo que la segunda capa de espejo 240 se forma sobre la capa de sacrificio 230 y la primera superficie principal expuesta 110a de la oblea 110, y una capa 440 que configura la capa de ajuste de tensión 400 se forma sobre la capa 430 que configura la capa de ajuste de tensión 400. La segunda capa de espejo 240 es una capa que tiene una pluralidad de segundas porciones de espejo 32, cada una de las que se espera que funcione como un espejo móvil y es una capa que se espera que se corte en una pluralidad de segundos laminados 24 a lo largo de cada una de las líneas 10. La capa 440 que configura la capa de ajuste de tensión 400 es una capa que se espera que se corte en una pluralidad de cuartos laminados 44 a lo largo de cada una de las líneas 10.

Cuando se forma la segunda capa de espejo 240, las superficies laterales 230a de la capa de sacrificio 230, las superficies laterales 220a de la primera capa de espejo 220 y las superficies laterales 210a de la capa de prevención de reflexión 210, orientadas una frente a otras a lo largo de la línea 10, están cubiertas con la segunda capa de espejo 240. De forma adicional, una capa de polisilicio predeterminada en la segunda capa de espejo 240 tiene una resistencia parcialmente disminuida por impurezas dopantes, de modo que el tercer electrodo 14 y el cableado 14a se forman en cada parte correspondiente al sustrato 11.

Posteriormente, como se ilustra en la Figura 6(b), mediante grabado, una parte a lo largo de cada una de las líneas 10 en la segunda capa de espejo 240 se adelgaza, de modo que la superficie de la capa de polisilicio 27a (véase Figura 3) incluida en la segunda capa de espejo 240 (es decir, la capa de polisilicio colocada más cerca del lado de la primera superficie principal 110a) está expuesta. De forma adicional, mediante grabado, en cada parte correspondiente al sustrato 11, se forma un espacio en una parte correspondiente a cada uno de los terminales 15 y 16 (véase Figura 3) en la segunda capa de espejo 240. Posteriormente, en cada parte correspondiente al sustrato 11, los terminales 15 y 16 están formados en el espacio, el terminal 15 y el cableado 12a están conectados entre sí, y el terminal 16 y cada uno del cableado 13a y el cableado 14a están conectados entre sí.

Hasta este punto, la capa de prevención de reflexión 210, la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230, la segunda capa de espejo 240 y la primera región adelgazada 290 se han formado en la primera superficie principal 110a de la oblea 110. La primera región adelgazada 290 es una región en la que la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230 y la segunda capa de espejo 240 se adelgazan parcialmente a lo largo de cada una de las líneas 10. La capa de prevención de reflexión 210, la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230 y la segunda capa de espejo 240 se forman de tal manera que una capa de prevención de reflexión 21, una primera porción de espejo 31, una porción 50 que se espera eliminar, y una segunda porción de espejo 32 están dispuestas desde un lado del sustrato 11 en este orden (es decir, en el orden de una capa de prevención de reflexión 21, una primera porción de espejo 31, una porción 50 que se espera eliminar, y una segunda porción de espejo 32).

Posteriormente, como se ilustra en la Figura 7(a), en cada parte correspondiente al sustrato 11, la pluralidad de orificios pasantes 24b que conducen desde la superficie 24a del segundo laminado 24 a la porción 50 que se espera eliminar se forman en el segundo laminado 24 mediante grabado. Posteriormente, la capa de barrera de luz 450 se forma en la capa 440 que configura la capa de ajuste de tensión 400. La capa de barrera de luz 450 es una capa que se espera que se corte en una pluralidad de capas de barrera de luz 45 a lo largo de cada una de las líneas 10. Posteriormente, una parte a lo largo de cada una de las líneas 10 en la capa de barrera de luz 450 y la capa de ajuste de tensión 400 (es decir, las capas 420, 430 y 440) se elimina mediante grabado, de modo que la superficie de la capa de prevención de reflexión 410 quede expuesta. De forma adicional, la abertura 40a se forma en cada parte correspondiente al sustrato 11 mediante grabado. Posteriormente, la capa protectora 460 se forma sobre la capa de barrera de luz 450, la superficie expuesta de la capa de prevención de reflexión 410, una superficie interior de la abertura 40a, y la superficie lateral de la capa de ajuste de tensión 400 orientada hacia la segunda región adelgazada 470. La capa protectora 460 es una capa que se espera que se corte en una pluralidad de capas protectoras 46 a lo largo de cada una de las líneas 10.

Hasta este punto, la capa de ajuste de tensión 400, la capa de barrera de luz 450, la capa protectora 460 y la segunda región adelgazada 470 se han formado en la segunda superficie principal 110b de la oblea 110. La segunda región adelgazada 470 es una región en la que la capa de ajuste de tensión 400 está parcialmente adelgazada a lo largo de cada una de las líneas 10.

Posteriormente a la etapa de formación descrita anteriormente, como se ilustra en la Figura 7(b), se lleva a cabo una etapa de eliminación. Específicamente, la pluralidad de porciones 50 que se espera eliminar se eliminan todas al mismo tiempo de la capa de sacrificio 230 mediante grabado (por ejemplo, grabado en fase gaseosa usando gas ácido fluorhídrico) a través de la pluralidad de orificios pasantes 24b. En consecuencia, el espacio S se forma en cada parte correspondiente al sustrato 11.

Posteriormente, como se ilustra en las Figuras 8(a) y 8(b), se lleva a cabo una etapa de corte. Específicamente, como se ilustra en la Figura 8(a), una cinta expansible 60 se une a la capa protectora 460 (es decir, al lado de la segunda superficie principal 110b). Posteriormente, en un estado en el que la cinta expansible 60 está unida al lado de la segunda superficie principal 110b, la irradiación de la luz láser L se realiza desde un lado opuesto a la cinta expansible 60, y un punto convergente de la luz láser L se mueve relativamente a lo largo de cada una de las líneas 10 mientras el punto convergente de la luz láser L se coloca dentro de la oblea 110. Es decir, la luz láser L incide sobre la oblea 110 desde un lado opuesto a la cinta expansible 60 a través de la superficie de la capa de polisilicio expuesta en la primera región adelgazada 290.

Después, se forma una región modificada dentro de la oblea 110 a lo largo de cada una de las líneas 10 a través de la irradiación de la luz láser L. La región modificada indica una región en la que la densidad, un índice de refracción, la resistencia mecánica y otras características físicas están en un estado diferente al del área circundante, es decir, una región que se convierte en un punto de inicio de una grieta extendida en una dirección de espesor de la oblea 110. Los ejemplos de la región modificada incluyen regiones procesadas fundidas (lo que significa al menos una cualquiera de una región resolidificada después de la fundición, una región en un estado fundido y una región en un estado de resolidificación desde el estado fundido), una región de grieta, una región de ruptura dieléctrica, una región de cambio de índice de refracción y una región mixta de la misma. Además, hay una región donde la densidad de la región modificada ha cambiado con respecto a la de una región no modificada y una región formada con un defecto de red en el material de la oblea 110 como la región modificada. Cuando el material de la oblea 110 es silicio monocristalino, la región modificada puede denominarse también región de alta densidad de dislocaciones. El número de filas de las regiones modificadas dispuestas en la dirección de espesor de la oblea 110 con respecto a cada una de las líneas 10 se ajusta apropiadamente basándose en el espesor de la oblea 110.

Posteriormente, como se ilustra en la Figura 8(b), la cinta expansible 60 unida al lado de la segunda superficie principal 110b se expande, de modo que una grieta se extiende en la dirección del espesor de la oblea 110 desde la región modificada formada dentro de la oblea 110, y la oblea 110 se corta a continuación en la pluralidad de sustratos 11 a lo largo de cada una de las líneas 10. En ese momento, la capa de polisilicio de la segunda capa de espejo 240 se corta a lo largo de cada una de las líneas 10 en la primera región adelgazada 290, y la capa de prevención de reflexión 410 y la capa protectora 460 se cortan a lo largo de cada una de las líneas 10 en la segunda región adelgazada 470. En consecuencia, se obtiene una pluralidad de filtros de interferencia de Fabry-Perot 1 en un estado de estar separados entre sí en la cinta expansible 60.

Como se ha descrito anteriormente, en el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, la etapa de eliminación de eliminar la pluralidad de porciones 50 que se espera eliminar de la capa de sacrificio 230 mediante grabado se lleva a cabo a nivel de oblea. En consecuencia, en comparación con un caso en el que la etapa de eliminación se lleva a cabo individualmente a nivel de viruta, es posible formar el espacio S entre la primera porción de espejo 31 y la segunda porción de espejo 32 de una manera significativamente eficiente. Asimismo, puesto que un proceso procede simultáneamente en una parte correspondiente a un sustrato arbitrario 11 dentro de la oblea 110 y partes correspondientes a los sustratos circundantes 11 alrededor del sustrato, por ejemplo, puesto que el grabado de la capa de sacrificio 230 se lleva a cabo simultáneamente con respecto a la pluralidad de porciones 50 dispuestas bidimensionalmente que se espera eliminar, se puede reducir un sesgo de tensión en el plano en la oblea 110. Por tanto, de acuerdo con el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, tanto la eficiencia de fabricación como el rendimiento pueden mejorarse, y el filtro de interferencia Fabry-Perot 1 con alta calidad se puede producir en masa de manera estable.

De forma adicional, en el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, en la etapa de formación, la primera región adelgazada 290 en la que al menos una de la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230 y la segunda capa de espejo 240 se adelgaza parcialmente a lo largo de cada una de las líneas 10, se forma. En la etapa de corte de cortar la oblea 110 en una pluralidad de sustratos 11 a lo largo de cada una de las líneas 10, aunque las partes correspondientes respectivamente a las segundas porciones de espejo 32 en la segunda capa de espejo 240 están en un estado elevado en el espacio S, la primera región adelgazada 290 adelgazada a lo largo de cada una de las líneas 10 se forma de antemano. Por lo tanto, en comparación con un caso en el que no se forma la primera región adelgazada 290, es poco probable que una fuerza externa actúe sobre una estructura alrededor del espacio S. Como resultado, es posible evitar eficazmente una situación en la que se dañe la estructura alrededor del espacio S (si no se forma la primera región adelgazada 290, un impacto, tensión, o similar, se transfiere a la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230 y la segunda capa de espejo 240 de modo que es probable que se produzcan daños cuando la oblea 110 se corta en la pluralidad de sustratos 11 a lo largo de cada una de las líneas 10).

De forma adicional, en el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, en la etapa de formación, la capa de ajuste de tensión 400 se forma en la segunda superficie principal 110b de la oblea 110, y se forma la segunda región adelgazada 470 en la que la capa de ajuste de tensión 400 se adelgaza parcialmente a lo largo de cada una de las líneas 10. En consecuencia, es posible evitar la deformación de la oblea 110 provocada por la discordancia de la configuración de capa entre el lado de la primera superficie principal 110a y el lado de la segunda superficie principal 110b. Es más, puesto que la capa de ajuste de tensión 400 se adelgaza parcialmente a lo largo de cada una de las líneas 10, es posible evitar que se produzcan daños en la capa de ajuste de tensión 400, tal como una parte alrededor de la abertura 40a cuando la oblea 110 se corta en la pluralidad de sustratos 11 a lo largo de cada una de las líneas 10, (si no se forma la segunda región adelgazada 470, un impacto, tensión, o similar, se transfiere a la capa de ajuste de tensión 400, como una parte alrededor de la abertura 40a, de modo que es probable que se produzcan daños cuando la oblea 110 se corta en la pluralidad de sustratos 11 a lo largo de cada una de las líneas 10).

Particularmente, en el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, ya que la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230 y la segunda capa de espejo 240 formada en la primera superficie principal 110a de la oblea 110, y la capa de ajuste de tensión 400 formada en la segunda superficie principal 110b de la oblea 110 tienen estructuras de capa delgadas y elaboradas, si la primera región adelgazada 290 y la segunda región adelgazada 470 no se forman antes de que se lleve a cabo la etapa de corte, es probable que se produzcan daños en la estructura de capas en la etapa de corte. Esto se vuelve perceptible porque una fuerza actúa de tal manera que la estructura de capa se rasga cuando se realiza la etapa de corte en la que la grieta se extiende desde la región modificada al expandir la cinta expansible 60. En el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, si la primera región adelgazada 290 y la segunda región adelgazada 470 se forman antes de que se lleve a cabo la etapa de corte, de modo que es posible llevar a cabo el procesamiento láser con menos contaminación durante un proceso seco (procesamiento láser de tipo procesamiento interno para formar una región modificada dentro de la oblea 110) mientras se evita que se produzcan daños en la estructura de capa.

La descripción anterior se basa en el siguiente conocimiento encontrado por el inventor, tal como "aunque cada una de la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230, la segunda capa de espejo 240 y la capa de ajuste de tensión 400 tienen una estructura de capa delgada, es difícil formar de manera estable una región modificada que conduzca al interior de las capas de la misma a través de la irradiación de la luz láser L" y "en contraste, ya que cada una de la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230, la segunda capa de espejo 240 y la capa de ajuste de tensión 400 tienen una estructura de capa delgada, es probable que las capas se rasguen y se dañen en gran medida a menos que se formen la primera región adelgazada 290 y la segunda región adelgazada 470".

De forma adicional, en el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, la etapa de formación se lleva a cabo para formar la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230, la segunda capa de espejo 240 y la primera región adelgazada 290 en la primera superficie principal 110a de la oblea 110 y para formar la capa de ajuste de tensión 400 y la segunda región adelgazada 470 en la segunda superficie principal 110b de la oblea 110. En lo sucesivo, la etapa de eliminación se lleva a cabo para eliminar la porción 50 que se espera eliminar de la capa de sacrificio 230. En consecuencia, la etapa de eliminación se lleva a cabo en un estado en el que se reduce la tensión interna de la oblea 110. Por lo tanto, es posible evitar que una tensión, deformación, o similares, se genere en la primera porción de espejo 31 y la segunda porción de espejo 32 enfrentadas entre sí a través del espacio S. Por ejemplo, si al menos la formación de la segunda región adelgazada 470 se lleva a cabo después de que la porción 50 que se espera eliminar se elimina de la capa de sacrificio 230, una tensión, deformación, o similares, es probable que se genere en la primera porción de espejo 31 y la segunda porción de espejo 32 enfrentadas entre sí a través del espacio S, de modo que es difícil obtener el filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 que tenga las características deseadas.

De forma adicional, en el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, en la etapa de formación, la primera región adelgazada 290 se forma adelgazando una parte a lo largo de cada una de las líneas 10 en al menos la capa de sacrificio 230 y la segunda capa de espejo 240. En consecuencia, cuando la oblea 110 se corta en una pluralidad de sustratos 11 a lo largo de cada una de las líneas 10, es posible evitar de manera más eficaz una situación en la que se dañe una parte alrededor del espacio S en la capa de sacrificio 230 y la segunda porción de espejo 32 que se eleva en el espacio S.

De forma adicional, en el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, en la etapa de formación, después de que se adelgaza una parte a lo largo de cada una de las líneas 10 en la capa de sacrificio 230 formada en la primera capa de espejo 220, las superficies laterales 230a de la capa de sacrificio 230 enfrentadas entre sí a lo largo de cada una de las líneas 10 se cubren con la segunda capa de espejo 240 formando la segunda capa de espejo 240 sobre la capa de sacrificio 230. En consecuencia, es posible evitar que una parte de las superficies laterales 230a de la capa de sacrificio 230 se elimine (erosione) cuando la porción 50 que se espera eliminar se elimine de la capa de sacrificio 230 mediante grabado. Es más, en el filtro de interferencia Fabry-Perot fabricado 1, es posible evitar que la luz que se convierte en luz parásita incida desde la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 correspondiente a la superficie lateral 230a de la capa de sacrificio 230.

De forma adicional, en el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, en la etapa de corte, la oblea 110 se corta en la pluralidad de sustratos 11 a lo largo de cada una de las líneas 10 formando una región modificada dentro de la oblea 110 a lo largo de cada una de las líneas 10 a través de la irradiación de la luz láser L y extendiendo una grieta en la dirección del espesor de la oblea 110 desde la región modificada. En consecuencia, en comparación con un caso en el que la oblea 110 se corta en la pluralidad de sustratos 11 a través del troceado con cuchilla, es poco probable que una fuerza externa actúe sobre una estructura alrededor del espacio S. Por lo tanto, es posible evitar más eficazmente una situación en la que se dañe la estructura alrededor del espacio S. De forma adicional, es posible evitar que las partículas generadas cuando se realiza el troceado con cuchilla, el agua de enjuague de enfriamiento utilizada para el troceado con cuchilla y similares se infiltren en el espacio S y provoquen el deterioro de las características del filtro de interferencia Fabry-Perot 1.

De forma adicional, en el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, en la etapa de corte, una grieta se extiende en la dirección del espesor de la oblea 110 desde la región modificada al expandir la cinta expansible 60 unida al lado de la segunda superficie principal 110b de la oblea 110. En consecuencia, es posible evitar que se produzcan daños debido a que la cinta expansible 60 unida en la segunda capa de espejo 240 tiene la pluralidad de segundas porciones de espejo 32, cada una de las que se espera que funcione como el espejo móvil. Es más, puesto que es probable que una fuerza de expansión de la cinta expansible 60 se concentre en la región modificada y una parte en las proximidades de la misma debido a la presencia de la segunda región adelgazada 470, la grieta se puede extender fácilmente en la dirección del espesor de la oblea 110 desde la región modificada.

De forma adicional, en el método de fabricar el filtro de interferencia Fabry-Perot 1, en la etapa de corte, en un estado en el que la cinta expansible 60 está unida al lado de la segunda superficie principal 110b, la luz láser L incide sobre la oblea 110 desde un lado opuesto a la cinta expansible 60. En consecuencia, la dispersión, la atenuación o similares, de la luz láser L, causadas por la cinta expansible 60 se evita, de modo que la región modificada pueda formarse de manera confiable dentro de la oblea 110 a lo largo de cada una de las líneas 10.

Incidentalmente, en la etapa de corte realizada a través de troceado con cuchilla o similar, como una cuestión de preocupación por la posibilidad de que la segunda porción de espejo 32 pueda dañarse, en la técnica relacionada, la etapa de eliminación de eliminar la porción 50 que se espera eliminar de la capa de sacrificio 230 mediante grabado se ha llevado a cabo después de la etapa de corte de cortar la oblea 110 en la pluralidad de sustratos 11 a lo largo de cada una de las líneas 10. El inventor ha encontrado que "se puede evitar que la segunda porción de espejo 32 que tiene una estructura de capa delgada y elaborada se dañe realizando simultáneamente un grabado de la capa de sacrificio 230 con respecto a la pluralidad de porciones dispuestas bidimensionalmente 50 que se espera eliminar y realizar la etapa de corte después de reducir la tensión que actúa dentro de un plano de la oblea 110, es decir, entre los sustratos 11 adyacentes entre sí". Por lo tanto, es preferible que el grabado de la capa de sacrificio 230 con respecto a la pluralidad de porciones 50 que se espera eliminar se lleve a cabo simultáneamente con respecto a un sustrato arbitrario 11 y la pluralidad de porciones 50 que se espera eliminar correspondientes a la pluralidad de sustratos 11 adyacente al sustrato 11 y rodeando el sustrato 11, en los sustratos 11 dispuestos bidimensionalmente dentro de un plano de la oblea 110.

[Ejemplo de modificación]

Con anterioridad, se ha descrito la realización de la presente divulgación. Sin embargo, el método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot de la presente divulgación no se limita a la realización descrita anteriormente. Por ejemplo, el material y la forma de cada configuración no se limitan a los materiales y las formas descritos anteriormente, y es posible emplear diversos materiales y formas.

De forma adicional, el orden de formación de cada una de las capas y cada una de las regiones en la etapa de formación no se limita al descrito anteriormente. Como ejemplo, la primera región adelgazada 290 puede formarse formando la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230 y la segunda capa de espejo 240 en la primera superficie principal 110a de la oblea 110, y adelgazando después una parte a lo largo de cada una de las líneas 10 en la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230 y la segunda capa de espejo 240. De forma adicional, la primera región adelgazada 290 y la segunda región adelgazada 470 pueden formarse después de formar la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230 y la segunda capa de espejo 240 en la primera superficie principal 110a de la oblea 110, y formando la capa de ajuste de tensión 400 en la segunda superficie principal 110b de la oblea 110.

De forma adicional, la primera región adelgazada 290 solo necesita ser una región en la que la capa de sacrificio 230 y al menos una de la primera capa de espejo 220 y la segunda capa de espejo 240 se adelgaza parcialmente a lo largo de cada una de las líneas 10. Por lo tanto, la primera región adelgazada 290 puede ser una región desde la que todas las partes a lo largo de cada una de las líneas 10 en todas las capas en el lado de la primera superficie principal 110a que incluye la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230 y la segunda capa de espejo 240 se eliminan.

De forma adicional, la segunda región adelgazada 470 solo necesita ser una región en la que al menos una parte de la capa de ajuste de tensión 400 esté parcialmente adelgazada a lo largo de cada una de las líneas 10. Por lo tanto, la segunda región adelgazada 470 puede ser una región desde la que se eliminan todas las partes a lo largo de cada una de las líneas 10 en todas las capas en el lado de la segunda superficie principal 110b que incluye la capa de ajuste de tensión 400. En la etapa de formación, la segunda región adelgazada 470 no tiene que formarse. Es más, la propia capa de ajuste de tensión 400 no tiene que formarse.

De forma adicional, la etapa de corte puede llevarse a cabo como se ilustra en las Figuras 9(a) y 9(b). Específicamente, como se ilustra en la Figura 9(a), la cinta expansible 60 se une a la capa protectora 460 (es decir, el lado de la segunda superficie principal 110b). Posteriormente, en un estado en el que la cinta expansible 60 está unida al lado de la segunda superficie principal 110b, la irradiación de la luz láser L se realiza desde el lado de la cinta expansible 60, y el punto convergente de la luz láser L se mueve relativamente a lo largo de cada una de las líneas 10 mientras el punto convergente de la luz láser L se coloca dentro de la oblea 110. Es decir, la luz láser L incide sobre la oblea 110 desde el lado de la cinta expansible 60 a través de la cinta expansible 60. Después, la región modificada se forma dentro de la oblea 110 a lo largo de cada una de las líneas 10 a través de la irradiación de la luz láser L.

Posteriormente, como se ilustra en la Figura 9(b), la grieta se extiende en la dirección del espesor de la oblea 110 desde la región modificada formada dentro de la oblea 110 al expandir la cinta expansible 60 unida al lado de la segunda superficie principal 110b, y la oblea 110 se corta en la pluralidad de sustratos 11 a lo largo de cada uno de las líneas 10. Después, se obtiene la pluralidad de filtros de interferencia de Fabry-Perot 1 en un estado de estar separados entre sí en la cinta expansible 60.

De acuerdo con tal etapa de corte, como se ilustra en la Figura 9(a), por ejemplo, incluso si las partículas generadas caen debido a su propio peso cuando la irradiación de la luz láser L se realiza desde arriba, la cinta expansible 60 funciona como una cubierta. Por lo tanto, es posible evitar que tales partículas se adhieran a la segunda capa de espejo 240 o similar.

De forma adicional, en la etapa de corte, cuando la región modificada se forma dentro de la oblea 110 a lo largo de cada una de las líneas 10 a través de la irradiación de la luz láser L, la grieta puede extenderse en la dirección del espesor de la oblea 110 desde la región modificada y la oblea 110 puede cortarse en la pluralidad de sustratos 11 a 10 largo de cada una de las líneas 10. En ese caso, la pluralidad de filtros de interferencia de Fabry-Perot 1 obtenidos a través del corte se pueden separar entre sí expandiendo la cinta expansible 60.

De forma adicional, en la etapa de formación, la capa de sacrificio y al menos una de la primera capa de espejo 220 y la segunda capa de espejo 240 se adelgaza parcialmente a lo largo de cada una de las líneas 10 de modo que la superficie de la capa de polisilicio que configura la primera capa de espejo 220 en lugar de la segunda capa de espejo 240 es expuesto, y en la etapa de corte, la luz láser L puede incidir sobre la oblea 110 a través de la superficie de la capa de polisilicio incluida en la primera capa de espejo 220 en lugar de la segunda capa de espejo 240.

Es más, la capa cuya superficie está expuesta en la etapa de formación solo necesita ser al menos una capa que configure la primera capa de espejo 220 o la segunda capa de espejo 240. Específicamente, la capa cuya superficie está expuesta en la etapa de formación no se limita a una capa de polisilicio y puede ser una capa de nitruro de silicio o una capa de óxido de silicio, por ejemplo. En ese caso también, la primera superficie principal 110a de la oblea 110 está protegida por la capa de la que está expuesta la superficie, y la planitud de una superficie, sobre la que incide la luz láser L, se mantiene. Por lo tanto, se evita la dispersión o similares de la luz láser L para que la región modificada pueda formarse de manera más fiable dentro de la oblea 110. Al formar una superficie lisa, para adelgazar parcialmente al menos una de la primera capa de espejo 220, la capa de sacrificio 230 y la segunda capa de espejo 240 a lo largo de cada una de las líneas 10, es más ventajoso realizar un grabado húmedo que un grabado seco.

De forma adicional, en la etapa de corte, la oblea 110 puede cortarse en una pluralidad de sustratos 11 a lo largo de cada una de las líneas 10 a través del troceado con cuchilla, troceado por ablación láser, cortar con una sierra de chorro de agua, troceado por ultrasonidos o similares. Por medio de estos métodos, la oblea 110 puede cortarse en una pluralidad de sustratos 11 a lo largo de cada una de las líneas 10 cortando la oblea 110 por la mitad a lo largo de cada una de las líneas 10 desde el lado de la primera superficie principal 110a, y puliendo después la segunda superficie principal 110b de la oblea 110.

De forma adicional, en la etapa de formación, la primera región adelgazada 290 puede formarse de manera que al menos la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 esté curvada (de modo que se forme una superficie continuamente curvada). La Figura 10 es una vista en sección transversal ampliada de una parte de borde exterior del filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 obtenida cuando la primera región adelgazada 290 se forma de tal manera que la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23, la superficie lateral 22a del primer laminado 22 y la superficie lateral 21a de la capa de prevención de reflexión 21 están continuamente curvadas.

El filtro de interferencia Fabry-Perot 1 ilustrado en la Figura 10 se describirá. La superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 se curva de tal manera que una porción de borde 23k de la capa intermedia 23 en el lado del sustrato 11 se coloca en un lado externo en una dirección paralela a la primera superficie 11a desde una porción de borde 23j del intermedio capa 23 en un lado opuesto al sustrato 11. Es decir, en caso de verse en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a, la porción de borde 23k rodea la porción de borde 23j. Más específicamente, la superficie lateral 23b se curva en una forma rebajada en el lado del espacio S en una sección transversal perpendicular a la primera superficie 11a. La superficie lateral 23b está conectada suavemente a la superficie 22b o la superficie lateral 22a del primer laminado 22. La superficie lateral 23b se curva en una forma rebajada en el lado del espacio S para alejarse del espacio S en una dirección paralela a la primera superficie 11a mientras está más cerca del sustrato 11 en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a. En otras palabras, en la superficie lateral 23b, el ángulo de la superficie lateral 23b con respecto a la primera superficie 11a disminuye mientras está más cerca del sustrato 11 en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a.

La superficie lateral 22a del primer laminado 22 y la superficie lateral 21a de la capa de prevención de reflexión 21 se colocan en un lado exterior en una dirección paralela a la primera superficie 11a con respecto a la porción central del espacio S desde la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23. La superficie lateral 22a del primer laminado 22 y la superficie lateral 21a de la capa de prevención de reflexión 21 están curvadas en una forma proyectada en un lado opuesto al espacio S para alejarse del espacio S en una dirección paralela a la primera la superficie 11a mientras está más cerca del sustrato 11 en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a. En otras palabras, en la superficie lateral 22a del primer laminado 22 y la superficie lateral 21a de la capa de prevención de reflexión 21, los ángulos de la superficie lateral 22a del primer laminado 22 y la superficie lateral 21a de la capa de prevención de reflexión 21 con respecto a la primera superficie 11a aumentan mientras están más cerca del sustrato 11 en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a.

Como se ha descrito anteriormente, se describirá un ejemplo de un método para hacer que la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 se curve en una forma rebajada. En primer lugar, como se ilustra en la Figura 11(a), se forma una capa protectora M sobre la capa intermedia 23. Posteriormente, como se ilustra en la Figura 11(b), la capa de protección M está modelada y una región que se va a eliminar en la capa intermedia 23 está expuesta. Posteriormente, como se ilustra en la Figura 12(a), la capa intermedia 23 se somete a grabado (grabado húmedo). En ese momento, puesto que se elimina la parte cubierta con la capa resistente M en la capa intermedia 23, la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 se curva en una forma rebajada. La capa de prevención de reflexión 21 y el primer laminado 22 se forman en etapas mientras se repite la formación de película y el grabado, y el grabado de la capa intermedia 23 se lleva a cabo de tal manera que la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 se conecta continuamente (suavemente) a la superficie lateral 22a del primer laminado 22. Por consiguiente, la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23, la superficie lateral 22a del primer laminado 22 y la superficie lateral 21a de la capa de prevención de reflexión 21 tienen una forma continuamente curva. Posteriormente, como se ilustra en la Figura 12(b), la capa protectora M se elimina de la capa intermedia 23.

De forma adicional, la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 puede curvarse también en una forma rebajada, como sigue. En primer lugar, como se ilustra en la Figura 13(a), la capa protectora M se forma sobre la capa intermedia 23. Posteriormente, la capa de protección M se somete a exposición y revelado mediante el uso de una máscara 3D. En consecuencia, como se ilustra en la Figura 13(b), se expone una región que se va a eliminar en la capa intermedia 23, y una superficie lateral de la capa resistente M se curva en una forma rebajada. Posteriormente, como se ilustra en la Figura 14(a), la capa intermedia 23 se somete a grabado en seco. En ese momento, puesto que la forma de la superficie lateral de la capa protectora M se copia sobre la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23, la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 se curva en una forma rebajada. Posteriormente, como se ilustra en la Figura 14(b), la capa protectora M se elimina de la capa intermedia 23.

Es más, la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 puede curvarse también en una forma rebajada, como sigue. En primer lugar, como se ilustra en la Figura 15(a), la capa protectora M se forma sobre la capa intermedia 23. Posteriormente, la capa de protección M se somete a fotolitografía. En consecuencia, como se ilustra en la Figura 15(b), se expone una región que se va a eliminar en la capa intermedia 23, y la superficie lateral de la capa resistente M se curva en una forma rebajada. La superficie lateral de la capa protectora M puede curvarse en una forma rebajada ajustando las condiciones (por ejemplo, el material y similares) para la capa de resistencia M y las condiciones (por ejemplo, una condición de exposición, una condición de revelado y una condición de horneado) para fotolitografía. Posteriormente, como se ilustra en la Figura 16(a), la capa intermedia 23 se somete a grabado en seco. En ese momento, puesto que la forma de la superficie lateral de la capa protectora M se copia sobre la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23, la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 se curva en una forma rebajada. Posteriormente, como se ilustra en la Figura 16(b), la capa protectora M se elimina de la capa intermedia 23.

En el filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 ilustrado en la Figura 10, la porción de cobertura 33 del segundo laminado 24 cubre la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23. Por consiguiente, es posible evitar que aumente el ruido en la salida de luz del filtro de interferencia Fabry-Perot 1 debido a la luz incidente desde la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23. Por lo tanto, se puede evitar que las características del filtro de interferencia Fabry-Perot 1 se deterioren. Incidentalmente, en este filtro de interferencia Fabry-Perot 1, puesto que el segundo laminado 24 cubre la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23, cuando la segunda porción de espejo 32 se mueve al lado de la primera porción de espejo 31, una fuerza actúa sobre una región que cubre la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 en el segundo laminado 24, para dirigirse al segundo lado de la porción de espejo 32. Por lo tanto, es probable que la tensión se concentre en una porción de esquina de la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 en el segundo lado del laminado 24. Aquí, en el filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 ilustrado en la Figura 10, la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 se curva de tal manera que la porción de borde 23k de la capa intermedia 23 en el lado del sustrato 11 se coloca en un lado externo en una dirección paralela a la primera superficie 11a desde la porción de borde 23j del intermedio capa 23 en un lado opuesto al sustrato 11. Por consiguiente, la tensión se puede dispersar en la porción de esquina de la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 en el segundo lado del laminado 24. Por lo tanto, es posible evitar que se produzcan daños tales como una grieta en la porción de esquina. Como se ha descrito anteriormente, de acuerdo con el filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 ilustrado en la Figura 10, se puede lograr una alta fiabilidad.

De forma adicional, en el filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 ilustrado en la Figura 10, en comparación con un caso en el que la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 no se curva, un área de contacto entre la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 y el segundo laminado 24 se ensancha. Por consiguiente, el segundo laminado 24 puede fijarse firmemente a la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23. De forma adicional, la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 se curva para alejarse del espacio S en una dirección paralela a la primera superficie 11a mientras está más cerca del sustrato 11 en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a. Por lo tanto, en la etapa de fabricación, el espesor (cobertura) de la porción de cobertura 33 del segundo laminado 24 que cubre la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 puede mantenerse favorablemente.

De forma adicional, en el filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 ilustrado en la Figura 10, la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 se curva en una forma rebajada en el lado del espacio S de tal manera que la porción de borde 23k de la capa intermedia 23 en el lado del sustrato 11 se coloca en un lado externo en una dirección paralela a la primera superficie 11a desde la porción de borde 23j del intermedio capa 23 en un lado opuesto al sustrato 11. Por consiguiente, el ángulo de la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 con respecto a la primera superficie 11a disminuye en una parte cercana al sustrato 11 en la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23, mientras está más cerca del sustrato 11 en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a. En consecuencia, se puede evitar que el segundo laminado 24 se desprenda de una parte cercana al sustrato 11 en la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23.

De forma adicional, en el filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 ilustrado en la Figura 10, la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 se curva para alejarse del espacio S en una dirección paralela a la primera superficie 11a mientras está más cerca del sustrato 11 en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a. Por consiguiente, la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 en su totalidad está separada del espacio S en una dirección paralela a la primera superficie 11a mientras está más cerca del sustrato 11 en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a. En consecuencia, la tensión se puede dispersar aún más en la porción de esquina de la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 en el segundo lado del laminado 24.

De forma adicional, en el filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 ilustrado en la Figura 10, la superficie lateral 22a del primer laminado 22 se coloca en un lado exterior en una dirección paralela a la primera superficie 11a con respecto a la porción central del espacio S desde la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23, y la porción de cobertura 33 del segundo laminado 24 cubre la superficie lateral 22a del primer laminado 22. Por consiguiente, la porción de cobertura 33 del segundo laminado 24 cubre la superficie lateral 22a del primer laminado 22 más allá de la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23 y se fija a la superficie lateral 22a del primer laminado 22. Por tanto, se puede evitar que el segundo laminado 24 se desprenda de una parte cercana al sustrato 11 en la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23.

De forma adicional, en el filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 ilustrado en la Figura 10, en caso de verse en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a, el sustrato 11 tiene la porción de borde exterior 11c colocada en un lado exterior desde el borde exterior del primer laminado 22, y el segundo laminado 24 cubre la porción de borde exterior 11c. Por consiguiente, el segundo laminado 24 cubre la porción de borde exterior 11c del sustrato 11 más allá del borde exterior del primer laminado 22, de modo que el primer laminado 22 se fija al lado del sustrato 11. Por tanto, se puede evitar que el primer laminado 22 se desprenda del lado del sustrato 11.

De forma adicional, en el filtro de interferencia de Fabry-Perot 1 ilustrado en la Figura 10, la superficie lateral 22a del primer laminado 22 se curva para alejarse del espacio S en una dirección paralela a la primera superficie 11a mientras está más cerca del sustrato 11 en una dirección perpendicular a la primera superficie 11a. Por consiguiente, la porción de cobertura 33 del segundo laminado 24 está más firmemente fijada a la superficie lateral 22a del primer laminado 22. Por tanto, se puede evitar que el segundo laminado 24 se desprenda de una parte cercana al sustrato 11 en la superficie lateral 23b de la capa intermedia 23.

Lista de signos de referencia

1 Filtro de interferencia Fabry-Perot, 10: Línea, 11: Sustrato, 31: Primera porción de espejo, 32: Segunda porción de espejo, 50: Porción que se espera eliminar, 60: Cinta expansible, 110: Oblea, 110a: Primera superficie principal, 110b: Segunda superficie principal, 220: Primera capa de espejo, 230: Capa de sacrificio, 230a: Superficie lateral, 240: Segunda capa de espejo, 290: Primera región adelgazada, 400: Capa de ajuste de tensión, 470: Segunda región adelgazada, L: Luz láser.

Claims (7)

REIVINDICACIONES

1. Un método de fabricar un filtro de interferencia de Fabry-Perot (1) que comprende:

una etapa de formación para formar una primera capa de espejo (220) que tiene una pluralidad de primeras porciones de espejo (31), cada una de las que se espera que funcione como un espejo fijo, una capa de sacrificio (230) que tiene una pluralidad de porciones (50) que se espera eliminar, y una segunda capa de espejo (240) que tiene una pluralidad de segundas porciones de espejo (32), cada una de las que se espera que funcione como un espejo móvil, en una primera superficie principal (110a) de una oblea (110) que incluye partes que corresponden a una pluralidad de sustratos (11) dispuestos bidimensionalmente y que se espera cortar en la pluralidad de sustratos (11) a lo largo de cada una de una pluralidad de líneas (10), de tal manera que una primera porción de espejo (31), una porción (50) que se espera eliminar, y una segunda porción de espejo (32) están dispuestas en este orden desde un lado del sustrato;

una etapa de eliminación de eliminar simultáneamente la pluralidad de porciones dispuestas bidimensionalmente (50) que se espera eliminar de la capa de sacrificio (230) mediante grabado después de la etapa de formación; una etapa de corte de cortar la oblea (110) en la pluralidad de sustratos (11) a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas (10) después de la etapa de eliminación;

caracterizado por que:

en donde en la etapa de formación, se forma una primera región adelgazada (290), en la que al menos una de la primera capa de espejo (220), la capa de sacrificio (230) y la segunda capa de espejo (240) se adelgaza parcialmente a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas (10); y

en donde en la etapa de formación, después de que se adelgaza una parte a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas (10) en la capa de sacrificio (230) formada en la primera capa de espejo (220):

las superficies laterales (230a) de la capa de sacrificio (230) enfrentadas entre sí a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas (10) se cubren con la segunda capa de espejo (240) formando la segunda capa de espejo (240) sobre la capa de sacrificio (230);

para cada parte correspondiente a cada uno de la pluralidad de sustratos (11) se forma un espacio en la capa de sacrificio (230) y en la segunda capa de espejo (240) en el interior de las superficies laterales (230a) de la capa de sacrificio (230); y

se forma un terminal (15, 16) en el espacio para cada parte correspondiente a cada uno de la pluralidad de sustratos (11).

2. El método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot (1) de acuerdo con la reivindicación 1,

en donde en la etapa de formación, una capa de ajuste de tensión (400) se forma en una segunda superficie principal (110b) de la oblea, y se forma una segunda región adelgazada (470) en la que la capa de ajuste de tensión (400) se adelgaza parcialmente a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas (10).

3. El método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot (1) de acuerdo con la reivindicación 2,

en donde en la etapa de formación, la primera región adelgazada (290) se forma adelgazando una parte a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas (10) en al menos la capa de sacrificio (230) y la segunda capa de espejo (240).

4. El método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot (1) de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 1 a 3,

en donde en la etapa de corte, la oblea (110) se corta en la pluralidad de sustratos (11) a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas (10) formando una región modificada dentro de la oblea (110) a lo largo de cada una de la pluralidad de líneas (10) a través de la irradiación de luz láser y extendiendo una grieta en una dirección del espesor de la oblea (110) desde la región modificada.

5. El método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot (1) de acuerdo con la reivindicación 4,

en donde en la etapa de corte, la grieta se extiende en la dirección del espesor de la oblea (110) desde la región modificada al expandir una cinta expansible (60) unida al lado de la segunda superficie principal (110b) de la oblea (110).

6. El método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot (1) de acuerdo con la reivindicación 5,

en donde en la etapa de corte, en un estado en el que la cinta expansible (60) está unida al lado de la segunda superficie principal (110b), la luz láser incide sobre la oblea (110) desde un lado opuesto a la cinta expansible (60).

7. El método de fabricar un filtro de interferencia Fabry-Perot (1) de acuerdo con la reivindicación 5,

en donde en la etapa de corte, en un estado en el que la cinta expansible (60) está unida al lado de la segunda superficie principal (110b), la luz láser incide sobre la oblea (110) a través de la cinta expansible (60) desde el lado de la cinta expansible (60).