EP2918835B1

EP2918835B1 - Diaphragm pump

Info

Publication number: EP2918835B1
Application number: EP15151943.6A
Authority: EP
Inventors: Thorsten Burggraf; Jürgen Wissner
Original assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Current assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date: 2014-03-13
Filing date: 2015-01-21
Publication date: 2017-03-29
Anticipated expiration: 2035-01-21
Also published as: DE102014103459A1; EP2918835A1; EP2918835B2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Membranvakuumpumpe, mit einem über eine Membran beaufschlagbaren Schöpfraum und einem Einlassventil sowie einem Auslassventil, über die ein Medium in einer Saugphase in den Schöpfraum gesaugt und in einer Kompressionsphase aus dem Schöpfraum ausgestoßen wird, wobei das Einlassventil, das Auslassventil und die Membran in einem einzelnen zusammenhängenden Bauteil integriert sind,The present invention relates to a membrane vacuum pump, with a membrane acted upon by a suction chamber and an inlet valve and an outlet valve, through which a medium in a suction phase in the suction chamber sucked and ejected in a compression phase from the pumping chamber, wherein the inlet valve, the outlet valve and the Membrane are integrated in a single contiguous component,

Bei einer derartigen Membranpumpe ist der Schöpfraum durch die Membran zum Antrieb hin hermetisch abgedichtet, so dass weder das geförderte Medium durch Öl verunreinigt werden kann noch aggressive Medien die Mechanik angreifen können. Membranpumpen sind deshalb trockene Verdrängerpumpen. Über die Membran wird der Schöpfraum so beaufschlagt, dass in einer Saugphase das betreffende Medium durch das Einlassventil hindurch in den Schöpfraum gesaugt und in einer Kompressionsphase über das Auslassventil wieder aus dem Schöpfraum ausgestoßen wird. Am oberen Umkehrpunkt der Membran verbleibt ein Totvolumen, dessen Inhalt nicht ausgestoßen wird. Während des darauffolgenden Saughubes expandiert dieses Volumen erneut und füllt den Arbeitsraum teilweise auf, wodurch der erreichbare Enddruck begrenzt wird.In such a diaphragm pump, the pump chamber is hermetically sealed by the membrane to drive out, so that neither the pumped medium can be contaminated by oil nor aggressive media can attack the mechanics. Diaphragm pumps are therefore dry positive displacement pumps. About the membrane of the pumping chamber is acted upon so that in a suction phase, the medium in question is sucked through the inlet valve into the pumping chamber and ejected in a compression phase via the outlet valve again from the pumping chamber. At the upper reversal point of the membrane remains a dead volume whose contents are not ejected. During the subsequent suction stroke, this volume expands again and partially fills the working space, whereby the achievable final pressure is limited.

Mit einer Verdränger-Vakuumpumpe kann kein Verdichtungsverhältnis erzielt werden, das höher ist als das Verhältnis zwischen dem maximalen Arbeitsvolumen und dem Totvolumen. Das Saugvermögen einer solchen Membranpumpe ist eine Funktion der Größe des Schöpfraums, der Drehzahl sowie des Totvolumens. Insbesondere im Ansaugdruckbereich von 1 bis 10 mbar sind die bisher bekannten Membranpumpen den sogenannten Scroll-Pumpen, die ebenfalls zur Gattung der Verdränger-Vakuumpumpen gehören, deutlich unterlegen.With a positive displacement vacuum pump, a compression ratio higher than the ratio between the maximum working volume and the dead volume can not be achieved. The pumping speed of such a diaphragm pump is a function of the size of the pumping chamber, the speed and the dead volume. Particularly in the suction pressure range of 1 to 10 mbar, the previously known diaphragm pumps are significantly inferior to the so-called scroll pumps, which likewise belong to the category of positive-displacement vacuum pumps.

Aus DE 297 23 455 U1 ist eine Membranpumpe der eingangs genannten Art bekannt.Out DE 297 23 455 U1 a diaphragm pump of the type mentioned is known.

Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Membranpumpe der eingangs genannten Art anzugeben, mit der bei möglichst einfach gehaltenem Aufbau ein niedrigerer Enddruck erzielbar ist, der Wartungsaufwand minimiert wird sowie die Herstellungskosten gesenkt werden. Zudem soll insbesondere auch das Saugvermögen der Pumpe erhöht werden.The invention is therefore an object of the invention to provide an improved diaphragm pump of the type mentioned, with the simplest possible structure a lower end pressure can be achieved, the maintenance is minimized and the production costs are reduced. In addition, in particular, the pumping speed of the pump should be increased.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass eine Steuerung des Einlassventils und/oder des Auslassventils von einem Antrieb der Membran abgeleitet ist.This object is achieved in that a control of the intake valve and / or the exhaust valve is derived from a drive of the membrane.

Alternativ oder zusätzlich kann der das Einlassventil umfassende Abschnitt und/oder der das Auslassventil umfassende Abschnitt des zusammenhängenden Bauteils jeweils über einen Aktor zwangsgesteuert sein.Alternatively or additionally, the portion comprising the inlet valve and / or the portion of the contiguous component comprising the outlet valve can be positively controlled in each case via an actuator.

Nachdem mit dem Einlassventil, dem Auslassventil und der Membran alle zu bewegenden Teile in einem einzelnen zusammenhängenden Bauteil integriert sind, ergibt sich ein wesentlich einfacherer Aufbau, womit entsprechend auch der Wartungsaufwand reduziert wird und die Herstellungskosten gesenkt werden. Zudem können hierdurch Rückströmungen über die Ventile reduziert werden, wodurch sich das Saugvermögen steigern lässt, was sich positiv auf das erreichbare Endvakuum der Membranpumpe auswirkt.After all the parts to be moved are integrated with the inlet valve, the outlet valve and the membrane in a single contiguous component, a much simpler structure results, which also reduces the maintenance costs and reduces the manufacturing costs. In addition, as a result, backflow can be reduced through the valves, which can increase the pumping speed, which has a positive effect on the achievable ultimate vacuum of the diaphragm pump.

Das einzelne zusammenhängende Bauteil kann insgesamt als eine Membran ausgebildet sein, die einen dem Schöpfraum zugeordneten Membranabschnitt, der der Membran einer herkömmlichen Membranpumpe entspricht, und für jedes Ventil einen Membranabschnitt umfasst, der die Ventilmembran eines Membranventils bildet.The single contiguous component can be formed as a whole as a membrane, which corresponds to a pump chamber associated membrane portion, which corresponds to the membrane of a conventional diaphragm pump, and for each Valve comprises a membrane portion which forms the valve diaphragm of a diaphragm valve.

Bevorzugt ist vorgesehen, dass die Bewegung des Einlassventils und/oder des Auslassventils durch den Antrieb zwangsgesteuert ist. Dies stellt eine besonders wirksame Maßnahme zur Reduzierung von Rückströmungen dar.It is preferably provided that the movement of the inlet valve and / or the exhaust valve is positively controlled by the drive. This represents a particularly effective measure for reducing backflow.

Wie bereits erwähnt, kann der das Einlassventil umfassende Abschnitt und/oder der das Auslassventil umfassende Abschnitt des zusammenhängenden Bauteils jeweils über einen Aktor zwangsgesteuert sein.As already mentioned, the portion comprising the inlet valve and / or the portion of the contiguous component comprising the outlet valve can be positively controlled in each case via an actuator.

Durch die Art und Weise der Steuerung, insbesondere durch die Wahl von Steuerzeiten und/oder - wenn Steuernocken vorgesehen sind - durch die Form der Steuernocken, können die Förderleistung und der Enddruck der Membranpumpe stark beeinflusst werden: So kann insbesondere mit dem Hub des Einlassventils der Querschnitt eines Ansaugkanals gezielt verändert werden, was sich direkt auf das Saugvermögen der Membranpumpe auswirkt. Je später das Auslassventil öffnet, desto höher ist die Kompression im Schöpfraum. Eine höhere Kompression wiederum führt zu niedrigeren Drücken im Schöpfraum.Due to the nature of the control, in particular by the choice of timing and / or - if control cam are provided - by the shape of the control cam, the flow rate and the discharge pressure of the diaphragm pump can be greatly influenced: So in particular with the lift of the intake valve of the Cross-section of a suction channel to be changed specifically, which has a direct effect on the pumping speed of the diaphragm pump. The later the outlet valve opens, the higher the compression in the pump chamber. A higher compression in turn leads to lower pressures in the pump chamber.

Bevorzugt ist zumindest der die Membran umfassende Abschnitt des zusammenhängenden Bauteils über einen Kurbeltrieb und/oder einen Linearantrieb beaufschlagbar.Preferably, at least the portion of the continuous component comprising the membrane can be acted upon via a crank drive and / or a linear drive.

Die Integration des Einlassventils und des Auslassventils in einem zudem die Membran umfassenden einzelnen zusammenhängenden Bauteil bringt insbesondere auch den Vorteil mit sich, dass die Ventilsteuerung in den Bereich des Kurbeltriebs bzw. Linearantriebs der Membranpumpe verlagert werden kann, womit der Aufbau der Pumpe insgesamt vereinfacht werden kann.The integration of the inlet valve and the outlet valve in a membrane-comprising individual contiguous component also has the particular advantage that the valve control can be moved into the region of the crank drive or linear drive of the diaphragm pump, whereby the structure of the pump can be simplified as a whole ,

So ist bevorzugt zumindest ein Aktor mit dem Kurbeltrieb bzw. Linearantrieb der Membranpumpe gekoppelt oder von diesem umfasst.Thus, at least one actuator is preferably coupled to the crank mechanism or linear drive of the diaphragm pump or comprises it.

Der Kurbeltrieb der Membranpumpe kann insbesondere einen Pleuel umfassen, der zwischen einer Exzenterwelle und einem das zusammenhängende Bauteil beaufschlagenden Kolbenelement angeordnet ist.The crank mechanism of the diaphragm pump may, in particular, comprise a connecting rod, which is arranged between an eccentric shaft and a piston element acting on the connected component.

Dabei kann der Pleuel entweder direkt oder auch über einen Kreuzkopf mit dem das zusammenhängende Bauteil beaufschlagenden Kolbenelement gekoppelt sein.In this case, the connecting rod can be coupled either directly or via a crosshead with the piston member acting on the contiguous component.

Ein derartiger Aufbau hat eine lineare Bewegung der Membran zur Folge und führt zu einem kleineren Totvolumen im Schöpfraum.Such a structure results in a linear movement of the membrane and leads to a smaller dead volume in the pump chamber.

Grundsätzlich sind jedoch insbesondere auch solche Ausführungen der Membranpumpe denkbar, bei denen zumindest ein Aktor einen elektrisch ansteuerbaren Erreger umfasst, beispielsweise einen Elektromagneten, ein Piezoelement oder dergleichen.In principle, however, in particular those embodiments of the diaphragm pump are conceivable in which at least one actuator comprises an electrically controllable exciter, for example an electromagnet, a piezoelectric element or the like.

Gemäß einer weiteren zweckmäßigen Ausführungsform der erfindungsgemäßen Membranpumpe ist der das Einlassventil umfassende Abschnitt und/oder der das Auslassventil umfassende Abschnitt des einzelnen zusammenhängenden Bauteils durch den jeweiligen Aktor entgegen einer Federkraft beaufschlagbar. Nach einer Betätigung durch einen jeweiligen Aktor kann das jeweilige Ventil dann automatisch durch die Federkraft zurückgestellt werden.According to a further expedient embodiment of the diaphragm pump according to the invention, the section comprising the inlet valve and / or the section of the individual contiguous component comprising the outlet valve can be acted upon by the respective actuator counter to a spring force. After actuation by a respective actuator, the respective valve can then be automatically reset by the spring force.

Ein jeweiliger Aktor kann insbesondere berührungslos ansteuerbar sein, beispielsweise über eine Lichtschranke, eine Magnetspule oder dergleichen.A respective actuator can in particular be controlled without contact, for example via a light barrier, a magnetic coil or the like.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert; in dieser zeigen:

Fig. 1: eine schematische Teildarstellung einer beispielhaften Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Membranpumpe,
Fig. 2: eine schematische Seitenansicht der Exzenterwelle und der Nocken des Kurbeltriebs der Membranpumpe gemäß Fig. 1,
Fig. 3: eine Draufsicht des das Einlassventil, das Auslassventil und die Membran umfassenden einzelnen zusammenhängenden Bauteils der Membranpumpe gemäß Fig. 1,
Fig. 4: eine schematische Teildarstellung einer weiteren beispielhaften Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Membranpumpe,
Fig. 5: eine schematische Darstellung eines Kolbentriebs für eine erfindungsgemäße Membranpumpe ohne Kreuzkopf, und
Fig. 6: eine schematische Darstellung eines Kolbentriebs für eine erfindungsgemäße Membranpumpe mit Kreuzkopf.

The invention will be explained in more detail below with reference to exemplary embodiments with reference to the drawing; in this show:

Fig. 1: FIG. 2 a schematic partial representation of an exemplary embodiment of a membrane pump according to the invention, FIG.
Fig. 2: a schematic side view of the eccentric shaft and the cam of the crank mechanism of the diaphragm pump according to Fig. 1 .
Fig. 3: a plan view of the intake valve, the exhaust valve and the membrane comprising individual contiguous component of the diaphragm pump according to Fig. 1 .
Fig. 4: a schematic partial view of another exemplary embodiment of a diaphragm pump according to the invention,
Fig. 5: a schematic representation of a piston drive for a diaphragm pump according to the invention without a crosshead, and
Fig. 6: a schematic representation of a piston drive for a diaphragm pump according to the invention with a crosshead.

Fig. 1 zeigt in schematischer Teildarstellung eine beispielhafte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Membranpumpe 10, bei der es sich insbesondere um eine Membranvakuumpumpe handeln kann. Fig. 1 shows a schematic partial representation of an exemplary embodiment of a diaphragm pump 10 according to the invention, which may be in particular a diaphragm vacuum pump.

Die Membranpumpe 10 umfasst einen über eine Membran 12 beaufschlagbaren Schöpfraum 14 und ein Einlassventil 16 sowie ein Auslassventil 18, über die ein Medium 20 in einer Saugphase in den Schöpfraum 14 gesaugt und in einer Kompressionsphase aus dem Schöpfraum 14 ausgestoßen wird.The membrane pump 10 comprises a via a membrane 12 acted upon pumping chamber 14 and an inlet valve 16 and an outlet valve 18, via a Medium 20 is sucked into the suction chamber 14 in a suction phase and ejected from the suction chamber 14 in a compression phase.

Dabei sind, wie dargestellt, das Einlassventil 16, das Auslassventil 18 und die Membran 12 in einem einzelnen zusammenhängenden Bauteil 22 in Form einer gemeinsamen Membran integriert.As shown, the inlet valve 16, the outlet valve 18 and the membrane 12 are integrated in a single contiguous component 22 in the form of a common membrane.

Der das Einlassventil 16 umfassende Abschnitt und der das Auslassventil 18 umfassende Abschnitt des Bauteils 22 ist jeweils über einen Aktor 24 zwangsgesteuert.The portion comprising the inlet valve 16 and the portion of the component 22 comprising the outlet valve 18 are positively controlled via an actuator 24.

Zumindest der die Membran 12 umfassende Abschnitt des Bauteils 22 ist über einen Kurbeltrieb 26 beaufschlagbar. Die Aktoren 24 sind mit diesem Kurbeltrieb 26 gekoppelt.At least of the membrane 12 comprehensive portion of the component 22 can be acted upon via a crank mechanism 26. The actuators 24 are coupled to this crank mechanism 26.

Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel umfassen die Aktoren 24 jeweils einen Schwenkarm 28, der an einem Ende um eine Schwenkachse 30 drehbar gelagert ist und mit seinem anderen Ende an einem Nocken 32 (vgl. auch Fig. 2) des Kurbeltriebs 26 anliegt, sowie einen sich in vertikaler Richtung erstreckenden Stößel 34, der durch den Schwenkarm 28 beaufschlagbar und in vertikaler Richtung gegen den das Einlassventil 16 umfassenden Abschnitt bzw. den das Auslassventil 18 umfassenden Abschnitt des einzelnen zusammenhängenden Bauteils 22 pressbar ist.In the present embodiment, the actuators 24 each comprise a pivot arm 28, which is rotatably mounted at one end about a pivot axis 30 and with its other end to a cam 32 (see also Fig. 2 ) of the crank drive 26, and a vertically extending plunger 34 which can be acted upon by the pivot arm 28 and in the vertical direction against the intake valve 16 comprehensive section or the exhaust valve 18 comprehensive portion of the single contiguous component 22 can be pressed.

Dabei ist im vorliegenden Fall sowohl der das Einlassventil 16 umfassende Abschnitt als auch der das Auslassventil 18 umfassende Abschnitt des Bauteils 22 durch den jeweiligen Aktor 24 jeweils entgegen der Kraft einer Druckfeder 36 beaufschlagbar. Nach einer jeweiligen Betätigung des Einlassventils 16 bzw. Auslassventils 18 durch den betreffenden Aktor 24 wird dieses Ventil durch die zugeordnete Druckfeder 36 wieder zurückgestellt.In this case, in the present case, both the portion of the component 22 encompassing the inlet valve 16 and the portion of the component 22 encompassing the outlet valve 18 can be acted upon by the respective actuator 24 in each case against the force of a compression spring 36. After a respective actuation of the inlet valve 16 or outlet valve 18 by the relevant actuator 24, this valve is reset by the associated compression spring 36 again.

Der Kurbeltrieb 26 umfasst einen Pleuel 38, der zwischen einer Exzenterwelle 40 und einem das einzelne zusammenhängende Bauteil 22 beaufschlagenden Kolbenelement 42 angeordnet ist.The crank mechanism 26 comprises a connecting rod 38, which is arranged between an eccentric shaft 40 and a single contiguous component 22 acting on the piston member 42.

Wie anhand der Fig. 1 zudem zu erkennen ist, ist die gemeinsame Membran 22 zwischen einem Kopfdeckel 44 und dem Gehäuse 46 der Membranpumpe 10 eingespannt.As based on the Fig. 1 can also be seen, the common membrane 22 is clamped between a head cover 44 and the housing 46 of the diaphragm pump 10.

Fig. 2 zeigt in schematischer Seitenansicht die mit dem Pleuel 38 (Fig. 1) gekoppelte Exzenterwelle 40 und die Nocken 32 des Kurbeltriebs 26, die in Bezug auf die Exzenterwelle 40 derart angeordnet und ausgebildet sind, dass die Ventile 16, 18 entsprechend dem durch die Bewegung des Pleuels 38 und somit durch die sich drehende Exzenterwelle 40 gesteuerten Pumprythmus gesteuert werden. Fig. 2 shows a schematic side view of the with the connecting rod 38 ( Fig. 1 ) coupled eccentric shaft 40 and the cams 32 of the crank mechanism 26, which are arranged and formed with respect to the eccentric shaft 40 such that the valves 16, 18 controlled in accordance with the controlled by the movement of the connecting rod 38 and thus by the rotating eccentric shaft 40 Pumbrythmus become.

In der Fig. 3 ist in einer Draufsicht das das Einlassventil 16, das Auslassventil 18 und die Membran 12 umfassende Bauteil 22 der Membranpumpe 10 wiedergegeben. Wie Fig. 3 zeigt, umfasst das Bauteil 22 im Bereich der Ventile 16, 18 jeweils eine entsprechende Dichtfläche.In the Fig. 3 is shown in a plan view of the inlet valve 16, the outlet valve 18 and the membrane 12 comprehensive component 22 of the diaphragm pump 10. As Fig. 3 shows, the component 22 in the region of the valves 16, 18 each have a corresponding sealing surface.

Fig. 4 zeigt in schematischer Teildarstellung eine weitere beispielhafte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Membranpumpe 10, die sich von der in der Fig. 1 wiedergegebenen Ausführungsform im Wesentlichen dadurch unterscheidet, dass ein jeweiliger Aktor 24 im vorliegenden Fall einen um eine Achse 48 drehbar gelagerten zweiarmigen Hebel umfasst. Der Hebel liegt mit einem sich allgemein in vertikaler Richtung erstreckenden Abschnitt 24' an der Exzenterwelle 40 des Kurbeltriebs 26 an und ist am freien Ende eines sich allgemein horizontal erstreckenden Abschnitts 24" mit einem sich allgemein vertikal nach oben erstreckenden Ansatz 24"' versehen. Über den Ansatz 24'" ist das Einlassventil 16 bzw. das Auslassventil 18 entsprechend beaufschlagbar. Fig. 4 shows in a schematic partial representation of another exemplary embodiment of a diaphragm pump 10 according to the invention, which differs from that in the Fig. 1 substantially different in that a respective actuator 24 in the present case comprises a rotatable about an axis 48 mounted two-armed lever. The lever abuts the eccentric shaft 40 of the crank mechanism 26 with a generally vertically extending portion 24 'and is provided at the free end of a generally horizontally extending portion 24 "with a generally vertically upwardly extending lug 24"'. About the approach 24 '"the inlet valve 16 and the outlet valve 18 can be acted upon accordingly.

Im Übrigen besitzt diese Membranpumpe 10 zumindest im Wesentlichen wieder denselben Aufbau wie jene der Fig. 1, wobei einander entsprechenden Teilen gleiche Bezugszeichen zugeordnet sind.Incidentally, this diaphragm pump 10 has at least substantially the same structure as those of the Fig. 1 , wherein like reference numerals are assigned to corresponding parts.

Der Pleuel 38 (vgl. Fig. 1) des Kurbeltriebs 26 einer jeweiligen Membranpumpe 10 kann direkt oder beispielsweise auch über einen Kreuzkopf 50 (vgl. Fig. 6) mit dem das Bauteil 22 beaufschlagenden Kolbenelement 42 gekoppelt sein.The connecting rod 38 (see. Fig. 1 ) of the crank mechanism 26 of a respective diaphragm pump 10 can be directly or for example via a crosshead 50 (see. Fig. 6 ) to be coupled to the component 22 acting on the piston member 42.

Fig. 5 zeigt in schematischer Darstellung eine beispielhafte Ausführungsform eines Kolbentriebs ohne Kreuzkopf. Dabei ist der Pleuel 38 über einen Kolbenbolzen 52 unmittelbar mit dem Kolbenelement 42 verbunden. Fig. 5 shows a schematic representation of an exemplary embodiment of a piston drive without crosshead. Here, the connecting rod 38 is connected via a piston pin 52 directly to the piston member 42.

Demgegenüber ist in der Fig. 6 in schematischer Darstellung eine beispielhafte Ausführungsform eines Kolbentriebs mit Kreuzkopf 50 wiedergegeben. Hierbei ist der Pleuel 38 über einen Kreuzkopf 50 mit dem das einzelne zusammenhängende Bauteil 22 beaufschlagenden Kolbenelement 42 gekoppelt.In contrast, in the Fig. 6 a schematic representation of an exemplary embodiment of a piston drive with crosshead 50 reproduced. Here, the connecting rod 38 is coupled via a crosshead 50 with the individual contiguous component 22 acting on the piston member 42.

Die Kolbenstange 54 ist hier starr mit dem Boden des Kolbenelements 42 und einem Schwenklager 56 des Kreuzkopfes 50 verbunden. Das Schwenklager 56 ist an einem Gleitschuh 58 des Kreuzkopfes angeordnet, der entlang einer Gleitlagerwandung 60 verschiebbar ist. Bei einer derartigen Kreuzkopfanordnung ist das Kolbenelement 42 von Querkräften freigehalten.The piston rod 54 is rigidly connected to the bottom of the piston member 42 and a pivot bearing 56 of the crosshead 50 here. The pivot bearing 56 is arranged on a sliding block 58 of the crosshead, which is displaceable along a Gleitlagerwandung 60. In such a cross-head assembly, the piston member 42 is kept free of transverse forces.

In alternativen Ausgestaltungen können die Aktoren 24 jeweils auch einen Elektromagneten, ein Piezoelement oder einen anderen elektrisch ansteuerbaren Erreger umfassen.In alternative embodiments, the actuators 24 may each also include an electromagnet, a piezo element or another electrically controllable exciter.

Ein jeweiliger Aktor 24 kann beispielsweise über eine Lichtschranke, eine Magnetspule oder auf andere Art und Weise berührungslos insbesondere von einem Kurbeltrieb ansteuerbar sein.-.-.-.A respective actuator 24 may, for example, be actuated contactlessly, in particular by a crank mechanism, by means of a light barrier, a magnetic coil or in another manner. -.-.-.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1010: Membranpumpediaphragm pump
1212: Membranmembrane
1414: Schöpfraumsuction chamber
1616: Einlassventilintake valve
1818: Auslassventiloutlet valve
2020: Mediummedium
2222: einzelnes zusammenhängendes Bauteilsingle coherent component
2424: Aktoractuator
24'24 ': Hebelabschnittlever portion
24"24 ": Hebelabschnittlever portion
24"'24 '': Ansatzapproach
2626: Kurbeltriebcrankshaft
2828: Schwenkarmswivel arm
3030: Schwenkachseswivel axis
3232: Nockencam
3434: Stößeltappet
3636: Druckfedercompression spring
3838: Pleuelpleuel
4040: Exzenterwelleeccentric shaft
4242: Kolbenelementpiston element
4444: Kopfdeckelhead cover
4646: Gehäusecasing
4848: Achseaxis
5050: KreuzkopfPhillips
5252: Kolbenbolzenpiston pin
5454: Kolbenstangepiston rod
5656: Schwenklagerpivot bearing
5858: Gleitschuhshoe
6060: GleitlagerwandungGleitlagerwandung

Claims

A membrane vacuum pump (10) having a suction chamber (14) which can be acted on via a membrane (12) and having an inlet valve (16) as well as having an outlet valve (18), via which valves a medium (20) is sucked into the suction chamber (14) in a suction phase and is expelled from the suction chamber (14) in a compression phase, wherein the inlet valve (16), the outlet valve (18) and the membrane (12) are integrated in a single contiguous component (22),
characterized in that a control of the inlet valve (16) and/or of the outlet valve (18) is derived from a drive (26) of the membrane (12).
A membrane vacuum pump in accordance with claim 1,
characterized in that the movement of the inlet valve (16) and/or of the outlet valve (18) is compulsorily controlled by the drive (26).
A membrane vacuum pump in accordance with claim 1 or claim 2,
characterized in that the section comprising the inlet valve (16) and/or the section of the single contiguous component (22) comprising the outlet valve (18) is/are respectively compulsorily controlled via an actuator (24).
A membrane vacuum pump in accordance with any one of the preceding claims,
characterized in that at least the section of the single contiguous component (22) comprising the membrane (12) can be acted on via a crank drive (26) and/or a linear drive.
A membrane vacuum pump in accordance with claim 4,
characterized in that at least one actuator (24) is coupled to the crank drive (26) or linear drive or is comprised thereby.
A membrane vacuum pump in accordance with claim 4 or claim 5,
characterized in that the crank drive (26) comprises a connecting rod (38) which is arranged between an eccentric shaft (40) and a piston element (42) which acts on the single contiguous component (22).
A membrane vacuum pump in accordance with claim 6,
characterized in that the connecting rod (38) is coupled via a crosshead (50) to the piston element (42) which acts on the single contiguous component (22).
A membrane vacuum pump in accordance with any one of the claims 3 to 7,
characterized in that at least one actuator (24) comprises an electrically controllable exciter, in particular an electromagnet or a piezo element.
A membrane vacuum pump in accordance with any one of the preceding claims,
characterized in that the section comprising the inlet valve (16) and/or the section of the single contiguous component (22) comprising the outlet valve (18) can be acted on by the respective actuator (24) against a spring force.
A membrane vacuum pump in accordance with any one of the claims 3 to 9,
characterized in that a respective actuator (24) can be controlled in a contactless manner, in particular via a light barrier or a magnetic coil.