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EP1819905A1 - Schichtsystem, verwendung und verfahren zur herstellung eines schichtsystems - Google Patents

Schichtsystem, verwendung und verfahren zur herstellung eines schichtsystems

Info

Publication number
EP1819905A1
EP1819905A1 EP05786976A EP05786976A EP1819905A1 EP 1819905 A1 EP1819905 A1 EP 1819905A1 EP 05786976 A EP05786976 A EP 05786976A EP 05786976 A EP05786976 A EP 05786976A EP 1819905 A1 EP1819905 A1 EP 1819905A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
layer
substrate
holes
safety
cooling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP05786976A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Karsten Klein
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG, Siemens Corp filed Critical Siemens AG
Priority to EP05786976A priority Critical patent/EP1819905A1/de
Publication of EP1819905A1 publication Critical patent/EP1819905A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

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    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01D—NON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
    • F01D5/00—Blades; Blade-carrying members; Heating, heat-insulating, cooling or antivibration means on the blades or the members
    • F01D5/12—Blades
    • F01D5/14—Form or construction
    • F01D5/18—Hollow blades, i.e. blades with cooling or heating channels or cavities; Heating, heat-insulating or cooling means on blades
    • F01D5/186—Film cooling
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23M—CASINGS, LININGS, WALLS OR DOORS SPECIALLY ADAPTED FOR COMBUSTION CHAMBERS, e.g. FIREBRIDGES; DEVICES FOR DEFLECTING AIR, FLAMES OR COMBUSTION PRODUCTS IN COMBUSTION CHAMBERS; SAFETY ARRANGEMENTS SPECIALLY ADAPTED FOR COMBUSTION APPARATUS; DETAILS OF COMBUSTION CHAMBERS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24273—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including aperture
    • Y10T428/24322—Composite web or sheet
    • Y10T428/24331—Composite web or sheet including nonapertured component

Definitions

  • the invention relates to a layer system according to the preamble of claim 1, the use of a layer system according to claim 7 and a method for producing a layer system according to claim 8, 12
  • Components that are used at high temperatures often have protective coatings that protect the component against corrosion or excessive heat input.
  • the layer may flake off or degrade, so that the desired protective function can no longer be fulfilled. This leads to damage to the substrate and possibly to a failure of the component. In case of damage to the substrate, the component 0 may no longer be worked up, d. H. not be coated again with a new layer.
  • EP 1 318 273 A2 EP 1 375 825 A1 and US Pat. No. 6,039,537 disclose a turbine blade in which a film cooling hole is closed by a single layer. It is further described in EP 1 318 27 A2 that a plug is present in the film cooling hole even after the coating.
  • the object is achieved by a layer system according to claim 1, wherein the layer system has at least one safety cooling hole, which is closed and through which Use of a layer system with safety cooling holes according to claim 9 and by a method for producing a layer system according to claim 10, 15.
  • this cooling hole is opened and the layer system is cooled in this area, so that there is no or only slight damage under the operating conditions to which the layer system is exposed.
  • Figure 1 to 5 embodiments of a layer system Figure 6 shows schematically the operation of the safety cooling holes, Figure 7 to 11 method steps for producing a layer system according to the invention, Figure 12 is a turbine blade, Figure 13 is a combustion chamber and Figure 14 is a gas turbine.
  • the layer system 1 may be a component of a turbine, in particular a turbine blade 120, 130 (FIG. 12) or a heat shield element 155 (FIG. 13) of a gas 100 (FIG. 14) or steam turbine.
  • the layer system 1 (FIGS. 1 to 5) has a substrate 4 which, in the case of components for high temperatures, in particular for turbine components 120, 130, 155, consists of a nickel-, cobalt- or iron-based superalloy.
  • FIG. 1 shows an exemplary layer system 1 according to the invention.
  • At least one safety cooling hole 13 is present in the substrate 4 and extends, for example, as far as an outer surface 25 of the substrate 4, which is closest to an external medium, for example a hot gas 28.
  • the safety choppers 13 are deliberately covered by an outer layer 10, for example a MCrAlX layer, ie. H. the openings 37 of the safety cooling hole 13 are closed by this outer layer 10, so that no cooling medium from a cooling reservoir 34 penetrates through a safety cooling hole 13 to the outside 28.
  • At least one further intermediate layer 7 may also be present below the layer 10, so that the safety-cooling holes 13 are covered, for example, by two layers 7 (MCrAlX), 10 (ceramic thermal insulation layer) (FIG. 2).
  • the intermediate layer 7 may also be a ceramic layer (e.g., alumina).
  • the safety cooling holes 13 may be closed by a layer 7, 10 or by a pin 31 (FIG. 3) which extends into the layer 7, 10 and / or into the substrate 4.
  • This pin 31 can be solid and / or inserted into it or is produced, for example, by a slurry which is introduced into the cooling hole and hardened (sintered).
  • FIG. 4 shows a further exemplary embodiment of a layer system 1 according to the invention.
  • the layer system 1 has an intermediate layer 7 and a further outer layer 10.
  • the intermediate layer 7 is, for example, an MCrAlX layer on which, for example, a ceramic thermal barrier coating 10 is arranged.
  • the layer system 1 may, but need not, have at least one cooling hole 16, which is open, that is to say a through hole, through which a cooling medium, for example cooling air, flows from a cooling reservoir during normal operation.
  • a cooling medium for example cooling air
  • FIG. 6 shows the mode of action of the concealed safety cooling holes 13.
  • a hot medium 28 abuts the outer surface of the outer layer 10.
  • the hidden safety cooling holes 13 are mounted where, during operation of the component 1 due to the Presence of the thermal barrier coating 10 no additional or further film cooling is necessary. On the other hand, this would lead to a local destruction of the ceramic thermal barrier coating 10 for increased and intolerable temperature increase of the substrate 4.
  • FIG. 7 shows, for example, how a layer system 1 according to the invention can be produced.
  • a hole may be (but need not) be filled with a masking agent 19 which prevents the material of the layer 10 from penetrating into the hole and clogging it.
  • the masking agent 19 only has to withstand the coating temperatures for the coating of the layer 10 and can thereafter be removed, for example, by evaporation or leaching. Optionally, another layer is applied.
  • FIG. 8 shows a further possibility for producing the layer system 1 according to the invention.
  • the layer system 1 has safety holes 13, which are covered, and at least one cooling hole 16, which remains open.
  • a masking agent 19 is introduced into the holes of the safety cooling holes 13 to be produced, onto which or over which the material of the layer 7, 10 to be applied can deposit.
  • a non-stick masking agent 22 is introduced into a hole 16 which is to remain open, for example, on which the material of the coating 7, 10 does not separate (FIG. 8, right), so that a cooling hole 16 is formed.
  • FIG. 9 shows a further variant for producing a layer system 1 according to the invention.
  • the substrate 4 with the coating 7 was produced in such a way that a non-stick masking agent 22 was introduced into all safety cooling holes 13 and cooling holes 16 to be produced, or that the substrate 4 was coated with the layer 7 and thereafter punches in the area of the safety cooling holes to be produced 13 and to be produced Kuhllocher 16 in the layer 7 and in the substrate 4 were introduced.
  • the safety-type cooling holes 13 to be produced are filled with a masking agent 19 (FIG. 9), whereas the cooling-hole 16 to be produced is not filled with a masking agent or with a non-stick masking agent 22.
  • the holes are covered and form in a desired mannerradalouhllocher 13 and a hole remains open as Kuhlloch 16.
  • the open-ended Kuhllocher 16 can be covered and by removing material, for example by laser rays or electron beams are opened again above the cooling holes 16 remaining open.
  • FIG. 10 shows another possibility for producing a layer system 1 according to the invention.
  • a substrate 4 is coated with a layer 7, wherein through the layer 7 and the substrate 4 therethrough through holes 14 are generated.
  • through-holes 14 can be produced in the substrate 4 before coating with the layer 7, in which case no material is applied above the through-holes 14 during the coating with the layer 7, so that the through-hole 14 also remains after the coating of the substrate 4 with the layer 7 through the layer 7 extends therethrough.
  • a further layer for example an outer layer 10 is applied, which now covers the through-holes 14, for example through-holes 14 being filled with masking agent 14 or a gas flowing in from the through-holes during the coating, thus forming safety cooling holes 13.
  • the continuous film cooling hole 16 is introduced into the layer 7, 10 and the substrate 4.
  • the method may be applied accordingly if only a single outer layer 10 is to be present on a substrate 4, i. through holes 14 are formed in the substrate 4 and the one layer 10 is applied, which is the
  • FIG. 11 shows a further possibility of producing a layer system 1 according to the invention.
  • through holes 14 are produced in the substrate 4 (not shown) in a first method step.
  • a layer 7 is applied to the substrate 4, which covers the through holes 14, so that safety cooling holes 13 form.
  • the layer 10 for example an outer ceramic layer, is applied.
  • Substrate 4 is provided with a continuous film cooling hole 16.
  • the method has the advantage that here the outer ceramic layer is arranged on the adhesive bonding layer 7, whereby the outer ceramic layer adheres well.
  • FIG. 12 shows a perspective view of a moving blade 120 or guide blade 130 of a turbomachine that extends along a longitudinal axis 121.
  • the flow machine may be a gas turbine of an aircraft or a power plant for power generation, a steam turbine or a compressor.
  • the blade 120, 130 has along the longitudinal axis 121 consecutively a fastening region 400, a blade platform 403 adjacent thereto and an airfoil 406.
  • the blade 130 may have at its blade tip 415 another platform (not shown).
  • a blade root 183 is formed, which serves for attachment of the blades 120, 130 to a shaft or a disc (not shown).
  • the blade root 183 is designed, for example, as a hammer head. Other designs as Christmas tree or Schwalbenschwanzfuß are possible.
  • the blade 120, 130 has a leading edge 409 and a trailing edge 412 for a medium flowing past the airfoil 406.
  • blades 120, 130 for example, solid metallic materials, in particular superalloys, are used in all regions 400, 403, 406 of the blade 120, 130.
  • Such superalloys are known, for example, from EP 1 204 776 B1, EP 1 306 454, EP 1 319 729 A1, WO 99/67435 or WO 00/44949; these writings are part of the revelation.
  • the blade 120, 130 can hereby be produced by a casting process, also by directional solidification, by a forging process, by a milling process or combinations thereof.
  • Workpieces with a monocrystalline structure or structures are used as components for machines which are exposed to high mechanical, thermal and / or chemical stresses during operation.
  • Such monocrystalline workpieces for example, by directed solidification from the melt.
  • These are casting methods in which the liquid metallic alloy solidifies into a monocrystalline structure, ie a single-crystal workpiece, or directionally.
  • dendritic crystals are aligned along the heat flow and form either a columnar grain structure (columnar, ie grains that run the entire length of the workpiece and here, in common parlance, referred to as directionally solidified) or a monocrystalline structure, ie the whole Workpiece is made of a single crystal.
  • the blades 120, 130 may have coatings (as part of the layer system of the present invention) against corrosion or oxidation (eg, MCrAlX, M is at least one element of the group iron (Fe), cobalt (Co), nickel (Ni), X is an active element and stands for yttrium (Y) and / or silicon and / or at least one element of the rare earths, or hafnium (Hf)).
  • MCrAlX M is at least one element of the group iron (Fe), cobalt (Co), nickel (Ni), X is an active element and stands for yttrium (Y) and / or silicon and / or at least one element of the rare earths, or hafnium (Hf)
  • Such alloys are known from EP 0 486 489 B1, EP 0 786 017 Bl, EP 0 412 397 B1 or EP 1 306 454 A1, which are intended to be part of this disclosure.
  • a thermal barrier coating consists for example of Zr ⁇ 2, Y2 ⁇ 4-Zr ⁇ 2, ie it is not, partially or completely stabilized by yttria and / or calcium oxide and / or magnesium oxide.
  • Suitable coating processes such as electron beam evaporation (EB-PVD), produce stalk-shaped grains in the thermal barrier coating.
  • Refurbishment means that components 120, 130 may have to be freed of protective layers after use (eg by sandblasting). This is followed by removal of the corrosion and / or oxidation layers or products. If necessary, will also
  • the blade 120, 130 may be hollow or solid. When the blade 120, 130 is to be cooled, it is hollow and may still have film cooling holes 418 (indicated by dashed lines) and safety cooling holes 13.
  • FIG. 13 shows a combustion chamber 110 of a gas turbine 100.
  • the combustion chamber 110 is designed, for example, as a so-called annular combustion chamber, in which a multiplicity of burners 107 arranged around the rotation axis 102 in the circumferential direction open into a common combustion chamber space.
  • combustion chamber 110 is configured in its entirety as an annular structure, which is positioned around the axis of rotation 102 around.
  • the combustion chamber 110 is designed for a comparatively high temperature of the working medium M of about 1000 ° C to 1600 0 C.
  • the combustion chamber wall 153 is provided on its side facing the working medium M with an inner lining formed from heat shield elements 155.
  • Each heat shield element 155 is equipped on the working medium side with a particularly heat-resistant protective layer (for example as part of a layer system according to the invention) or made of high-temperature-resistant material. Untitled. These may be solid ceramic stones or alloys with MCrAlX and / or ceramic coatings. The materials of the combustion chamber wall and its coatings may be similar to the turbine blades.
  • a cooling system can additionally be provided for the heat shield elements 155 or for their holding elements, or the arrangement with the heat shield elements 155 and / or the heat shield elements 155 themselves have, for example, cooling holes 16 and safety cooling holes 13.
  • FIG. 14 shows by way of example a gas turbine 100 in a long partial section.
  • the gas turbine 100 has inside a rotatably mounted about a rotation axis 102 rotor 103, which is also referred to as a turbine runner. Along the rotor 103 successively follow an intake housing 104, a compressor 105, for example, a torus-like
  • Combustion chamber 110 in particular annular combustion chamber 106, with a plurality of coaxially arranged burners 107, a turbine 108 and the exhaust housing 109.
  • the annular combustion chamber 106 communicates with an example annular hot gas channel 111.
  • Each turbine stage 112 is formed, for example, from two blade rings. As seen in the direction of flow of a working medium 113, in the hot gas channel 111 of a row of guide vanes 115, a series 125 formed of rotor blades 120 follows.
  • the guide vanes 130 are fastened to an inner housing 138 of a stator 143, whereas the moving blades 120 of a row 125 are attached to the rotor 103 by means of a turbine disk 133, for example. Coupled to the rotor 103 is a generator or work machine (not shown).
  • air 105 is sucked in and compressed by the compressor 105 through the intake housing 104.
  • the compressed air provided at the turbine-side end of the compressor 105 is supplied to the burners 107 where it is mixed with a fuel.
  • the mixture is then burned to form the working medium 113 in the combustion chamber 110. From there, the working medium flows
  • the working medium 113 expands in a pulse-transmitting manner, so that the blades 120 drive the rotor 103 and this drives the machine coupled to it.
  • the components exposed to the hot working medium 113 are subject to thermal loads during operation of the gas turbine 100.
  • the guide vanes 130 and rotor blades 120 of the first turbine stage 112, viewed in the direction of flow of the working medium 113, are subjected to the greatest thermal stress in addition to the heat shield bricks lining the annular combustion chamber 106. To withstand the prevailing temperatures, they can be cooled by means of a coolant.
  • substrates of the components may have a directional structure, i. they are monocrystalline (SX structure) or have only slow grains (DS structure).
  • Iron, nickel or cobalt-based superalloys are used as material for the components, in particular for the turbine blades 120, 130 and components of the combustion chamber 110.
  • the blades 120, 130 may be anti-corrosion coatings (MCrAlX; M is at least one element of the group iron (Fe), cobalt (Co), nickel (Ni), X is an active element and is yttrium (Y) and / or silicon and / or at least one element of the rare earths or hafnium).
  • M is at least one element of the group iron (Fe), cobalt (Co), nickel (Ni)
  • X is an active element and is yttrium (Y) and / or silicon and / or at least one element of the rare earths or hafnium.
  • Such alloys are known from EP 0 486 489 B1, EP 0 786 017 Bl, EP 0 412 397 B1 or EP 1 306 454 A1, which are intended to be part of this disclosure.
  • a thermal barrier coating On the MCrAlX may still be present a thermal barrier coating, and consists for example of ZrO 2 , Y 2 Ü 4 -Zr ⁇ 2 , that is, it is not, partially or completely stabilized by yttria and / or calcium oxide and / or magnesium oxide.
  • Suitable coating processes such as electron beam evaporation (EB-PVD), produce stalk-shaped grains in the thermal barrier coating.
  • the guide blade 130 has a guide blade root facing the inner housing 138 of the turbine 108 (not shown here) and a guide blade foot opposite
  • the vane head faces the rotor 103 and fixed to a mounting ring 140 of the stator 143.

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Abstract

Schichtsysteme, die bei hohen Temperaturen eingesetzt werden, degradieren bei Verlust der Schicht oft sehr schnell, was zur Schädigung oder Verlust des Bauteils, bestehend aus diesen Schichtsystemen, führt. Das vorgestellte Schichtsystem (1) weist zumindest ein Sicherheitskühlloch (13) auf, das z.B. durch eine zwischenliegende Schicht (7) und eine äussere Schicht (10) abgedeckt ist, wobei sich das Sicherheitskühlloch (13) öffnet, wenn die Schichten (7, 10) geschädigt werden, so dass das Schichtsystem (1) zusätzlich durch ein das Sicherheitskühlloch (13) durchströmendes Kühlmedium gekühlt wird.

Description

SCHICHTSYSTEM, VERWENDUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SCHICHTSYSTEMS
Die Erfindung betrifft ein Schichtsystem gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1, die Verwendung eines SchichtSystems nach Anspruch 7 und Verfahren zur Herstellung eines Schichtsystems gemäß Anspruch 8, 12. 0
Bauteile, die bei hohen Temperaturen eingesetzt werden, weisen oft Schutzschichten auf, die das Bauteil gegen Korrosion oder zu hohen Wärmeeintrag schützen.
5 Während des Einsatzes des Bauteils kann die Schicht jedoch abplatzen oder degradieren, so dass die gewünschte Schutzfunktion nicht mehr erfüllt werden kann. Dies führt zu einer Schädigung des Substrats und ggf. zu einem Versagen des Bauteils. Bei einer Schädigung des Substrats kann das Bauteil 0 ggf- nicht mehr aufgearbeitet werden, d. h. nicht nochmals mit einer neuen Schicht beschichtet werden.
Die EP 1 318 273 A2, die EP 1 375 825 Al sowie die US 6,039,537 offenbaren eine Turbinenschaufel, bei der ein 5 Filmkühlloch durch eine einzige Schicht verschlossen ist. In der EP 1 318 27 A2 wird weiterhin beschrieben, dass ein Stopfen in dem Filmkühlloch auch nach der Beschichtung vorhanden ist.
0 Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, ein Schichtsystem, eine Verwendung eines Schichtsystems und Verfahren zur Herstellung eines Schichtsystems aufzuzeigen, das das Problem überwindet.
5 Die Aufgabe wird gelöst durch ein Schichtsystem gemäß Anspruch 1, bei dem das Schichtsystem zumindest ein Sicherheitskühlloch aufweist, das verschlossen ist und durch die Verwendung eines Schichtsystems mit Sicherheitskühllöchern nach Anspruch 9 und durch Verfahren zur Herstellung eines Schichtsystems gemäß Anspruch 10, 15.
Beim Abplatzen der Schicht im Bereich eines Sicherheitskühllochs wird dieses Kühlloch geöffnet und das Schichtsystem wird in diesem Bereich gekühlt, sodass es zu keiner oder nur zu einer geringen Schädigung unter den Betriebsbedingungen, denen das Schichtsystem ausgesetzt ist, kommt.
In den Unteranspruchen sind weitere vorteilhafte Maßnahmen aufgelistet, die beliebig in vorteilhafter Art und Weise miteinander verknüpft werden können.
Es zeigen ausschnittsweise und in schematischer Form
Figur 1 bis 5 Ausführungsbeispiele eines Schichtsystems, Figur 6 schematisch die Wirkungsweise der Sicherheitskühllöcher, Figur 7 bis 11 Verfahrensschritte zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Schichtsystems, Figur 12 eine Turbinenschaufel, Figur 13 eine Brennkammer und Figur 14 eine Gasturbine.
Das Schichtsystem 1 kann ein Bauteil einer Turbine, insbesondere eine Turbinenschaufel 120, 130 (Fig. 12) oder ein Hitzeschildelement 155 (Fig. 13) einer Gas- 100 (Fig. 14) oder Dampfturbine sein.
Das Schichtsystem 1 (Figur 1 bis 5) weist ein Substrat 4 auf, das bei Bauteilen für hohe Temperaturen, insbesondere bei Turbinenbauteilen 120, 130, 155 aus einer nickel-, kobalt- oder eisenbasierten Superlegierung besteht. Figur 1 zeigt ein beispielhaftes erfindungsgemaßes Schichtsystem 1.
In dem Substrat 4 ist zumindest ein Sicherheitskuhlloch 13 vorhanden, das sich beispielsweise bis zu einer äußeren Oberflache 25 des Substrats 4 erstreckt, die einem äußeren Medium, beispielsweise einem Heißgas 28 am nächsten ist. Die Sicherheitskuhllocher 13 werden jedoch bewusst durch eine äußere Schicht 10, beispielsweise eine MCrAlX-Schicht, abge- deckt, d. h. die Offnungen 37 des Sicherheitskuhllochs 13 sind verschlossen durch diese äußere Schicht 10, sodass kein Kuhlmedium aus einem Kuhlreservoir 34 durch ein Sicherheitskuhlloch 13 nach außen 28 dringt.
Unter der Schicht 10 kann noch zumindest eine weitere zwischenliegende Schicht 7 vorhanden sein, sodass die Sicherheitskuhllocher 13 beispielsweise durch zwei Schichten 7 (MCrAlX) , 10 (keramische Warmedammschicht) verdeckt sind (Fig. 2) . Die zwischenliegende Schicht 7 kann aber auch eine keramische Schicht (z.B. Aluminiumoxid) sein.
In diesen Ausfuhrungsbeispielen (Fig. 1, 2) sind alle Sicherheitskuhllocher 13 verdeckt.
Die Sicherheitskuhllocher 13 können durch eine Schicht 7, 10 verschlossen sein oder durch einen Pin 31 (Fig. 3) , der sich in die Schicht 7, 10 und/oder in das Substrat 4 erstreckt. Dieser Pin 31 kann massiv sein und/oder hinein gesteckt wer- den oder wird beispielsweise durch einen Schlicker erzeugt, der in das Kuhlloch eingebracht und gehartet (gesintert) wird.
Figur 4 zeigt ein weiteres Ausfuhrungsbeispiel eines erfin- dungsgemaßen Schichtsystems 1. In diesem Fall weist das Schichtsystem 1 eine zwischenliegende Schicht 7 und eine weitere, äußere Schicht 10 auf. Die zwischenliegende Schicht 7 ist beispielsweise eine MCrAlX-Schicht, auf der beispielsweise eine keramische Wärme- dämmschicht 10 angeordnet ist.
Die Sicherheitskühllöcher 13, die nur durch eine äußere Schicht 10 verdeckt sind, erstrecken sich hier im Substrat 4 und durch die zwischenliegende Schicht 7 hindurch, d. h. sie grenzen an eine Grenzfläche 32 von Schicht 7 und Schicht 10 an. Ebenso können sich die verdeckten Sicherheitskuhllocher 13 nur bis zur Fläche 25 des Substrats 4 erstrecken (Fig. 5) .
Das Schichtsystem 1 (Fig. 4, 5) kann, muss aber nicht, zumin- dest ein Kuhlloch 16, das geöffnet ist, also ein Durchgangsloch darstellt, aufweisen, durch das im normalen Betrieb ein Kühlmedium, beispielsweise Kühlluft aus einem Kühlreservoir strömt.
Figur 6 zeigt die Wirkungsweise der verdeckten Sicherheitskühllöcher 13.
Ein heißes Medium 28 grenzt an die äußere Oberflache der äußeren Schicht 10 an.
Durch den Einschlag von Fremdpartikeln (Foreign Object Damage, FOD) oder durch Degradation der das Sicherheitskühlloch abdeckenden Schichten 7, 10, hier der Schicht 10 kommt es zum örtlich begrenzten Abplatzen der Schicht 10, wobei dann das Sicherheitskühlloch 13 geöffnet wird oder ein Pin 31 (Fig. 3) sich nicht mehr als Verschluss halten kann. Da das Sicherheitskuhlloch 13 ebenso an ein Reservoir 34 eines Kuhlmediums angrenzt, strömt dann das Kühlmedium durch das Sicherheitskühlloch 13, das nun ein Kühlloch 16 darstellt.
Die verdeckten Sicherheitskühllöcher 13 werden dort angebracht, wo während des Betriebs des Bauteils 1 aufgrund des Vorhandenseins der Wärmedämmschicht 10 keine zusätzliche oder weitere Filmkühlung notwendig ist. Hingegen würde das eine örtliche Zerstörung der keramischen Wärmedämmschicht 10 zur erhöhten und nicht tolerablen Temperaturerhöhung des Sub- strats 4 führen.
Dies wird jedoch durch die zusätzliche Kühlung des geöffneten Sicherheitskühllochs 13 verhindert, sodass das Substrat 4 keine unzulässige Schädigung erfährt und/oder wieder verwendet werden kann.
Der durch die Öffnung von Sicherheitskuhllochern 13 etwas erhöhte Verbrauch an Kühlmedium, der zur geringen Verringerung des Wirkungsgrades führt, wird deutlich kompensiert durch dem Vorteil der Nichtschädigung des teuren Substrats 4.
Figur 7 zeigt beispielsweise, wie ein erfindungsgemäßes Schichtsystem 1 hergestellt werden kann.
In das Substrat 4 werden Löcher (Durchgangslöcher) eingebracht, die Sicherheitskühllöcher 13 und ggf. andere Kühllöcher 16, die im normalen Betrieb des Substrats 4 benutzt werden sollen, ergeben sollen. Je nach Beschichtungsverfahren kann (muss aber nicht) ein Loch mit einem Maskiermittel 19 ausgefüllt werden, das verhindert, dass das Material der Schicht 10 in das Loch eindringt und dieses verstopft.
Das Maskiermittel 19 muss nur die Beschichtungstemperaturen für die Beschichtung der Schicht 10 aushalten und kann danach beispielsweise durch Verdampfen oder Auslaugen entfernt werden. Gegebenenfalls wird noch eine weitere Schicht aufgebracht.
Figur 8 zeigt eine weitere Möglichkeit das erfindungsgemäße Schichtsystem 1 herzustellen. Das Schichtsystem 1 weist Sicherheitskuhllocher 13 auf, die verdeckt sind, und zumindest ein Kuhlloch 16, das geöffnet bleibt.
In die Locher der herzustellenden Sicherheitskuhllocher 13 wird ein Maskiermittel 19 eingebracht, auf das oder über das sich das Material der aufzubringenden Schicht 7, 10 abscheiden kann.
Hingegen wird in ein Loch 16, das geöffnet bleiben soll, beispielsweise ein Antihaft-Maskiermittel 22 eingebracht, auf dem sich das Material der Beschichtung 7, 10 nicht abscheidet (Fig. 8 rechts) , sodass ein Kuhlloch 16 gebildet wird.
Figur 9 zeigt eine weitere Variante um ein erfindungsgemaßes Schichtsystem 1 herzustellen.
Hier wurde beispielsweise das Substrat 4 mit der Beschichtung 7 so hergestellt, dass in alle herzustellenden Sicherheitskuhllocher 13 und Kuhllocher 16 ein Antihaft-Maskiermittel 22 eingebracht wurde, oder dass das Substrat 4 mit der Schicht 7 beschichtet wurde und dass danach Locher im Bereich der herzustellenden Sicherheitskuhllocher 13 und herzustellenden Kuhllocher 16 in die Schicht 7 und in das Substrat 4 eingebracht wurden.
Danach werden die herzustellenden Sicherheitskuhllocher 13 mit einem Maskiermittel 19 gefüllt (Fig. 9), wohingegen das herzustellende Kuhlloch 16 nicht mit einem Maskiermittel oder mit einem Antihaft-Maskiermittel 22 gefüllt wird.
Bei der Aufbringung der äußeren Schicht 10 werden die Locher überdeckt und bilden in gewünschter Weise Sicherheitskuhllocher 13 und ein Loch bleibt als Kuhlloch 16 offen.
Ebenso können die offen bleibenden Kuhllocher 16 überdeckt und durch Abtragen von Material, beispielsweise durch Laser- strahlen oder Elektronenstrahlen, oberhalb der zu offen bleibenden Kühllöcher 16 wieder geöffnet werden.
Figur 10 zeigt eine weitere Möglichkeit ein erfindungsgemäßes Schichtsystem 1 herzustellen.
Dabei wird in einem ersten Verfahrensschritt ein Substrat 4 mit einer Schicht 7 beschichtet, wobei dann durch die Schicht 7 und das Substrat 4 hindurch Durchgangslöcher 14 erzeugt werden. Ebenso können vor der Beschichtung mit der Schicht 7 in dem Substrat 4 Durchgangslöcher 14 erzeugt werden, wobei dann bei der Beschichtung mit der Schicht 7 kein Material oberhalb der Durchgangslöcher 14 aufgetragen wird, sodass das Durchgangsloch 14 sich auch nach der Beschichtung des Sub- strats 4 mit der Schicht 7 durch die Schicht 7 hindurch erstreckt.
In einem weiteren Verfahrensschritt wird eine weitere Schicht, beispielsweise eine äußere Schicht 10 aufgebracht, die die Durchgangslöcher 14 nun überdeckt, wobei beispielsweise Durchgangslöcher 14 mit Maskiermittel 14 gefüllt waren oder ein Gas aus den Durchgangslöchern während der Beschichtung reinströmt, und so Sicherheitskühllöcher 13 bilden.
Insbesondere beim EB-PVD-Verfahren braucht kein Maskiermittel verwendet werden.
In einem der letzten Verfahrensschritte wird in die Schicht 7, 10 und das Substrat 4 das durchgehende Filmkühlloch 16 eingebracht.
Das Verfahren kann entsprechend angewendet werden, wenn nur eine einzige äußere Schicht 10 auf einem Substrat 4 vorhanden sein soll, d.h. in dem Substrat 4 werden Durchgangslöcher 14 erzeugt und die eine Schicht 10 wird aufgebracht, die die
Durchgangslöcher 14 im Substrat 4 überdeckt, wobei danach zu- mindest ein Durchgangsloch 14 in die eine äußere Schicht und das Substrat 4 eingebracht wird.
Figur 11 zeigt eine weitere Möglichkeit ein erfindungsgemäßes Schichtsystem 1 herzustellen.
Dabei werden in einem ersten Verfahrensschritt Durchgangslöcher 14 in dem Substrat 4 erzeugt (nicht dargestellt) . In einem weiteren Verfahrensschritt wird eine Schicht 7 auf das Substrat 4 aufgebracht, die die Durchgangslocher 14 überdeckt, sodass sich Sicherheitskühllöcher 13 bilden. In einem zweiten Schritt wird die Schicht 10, beispielsweise eine äußere keramische Schicht, aufgebracht. In einem letzten Schritt wird die Schicht 7, 10 und das
Substrat 4 mit einem durchgehenden Filmkühlloch 16 versehen. Das Verfahren hat den Vorteil, dass hier die äußere keramische Schicht auf der Haftanbindungsschicht 7 angeordnet ist, wodurch die äußere keramische Schicht gut haftet.
Figur 12 zeigt in perspektivischer Ansicht eine Laufschaufel 120 oder Leitschaufel 130 einer Strömungsmaschine, die sich entlang einer Längsachse 121 erstreckt. Die Stromungsmaschine kann eine Gasturbine eines Flugzeugs oder eines Kraftwerks zur Elektrizitätserzeugung, eine Dampfturbine oder ein Kompressor sein.
Die Schaufel 120, 130 weist entlang der Langsachse 121 aufeinander folgend einen Befestigungsbereich 400, eine daran angrenzende Schaufelplattform 403 sowie ein Schaufelblatt 406 auf.
Als Leitschaufel 130 kann die Schaufel 130 an ihrer Schaufelspitze 415 eine weitere Plattform aufweisen (nicht dargestellt) . Im Befestigungsbereich 400 ist ein Schaufelfuß 183 gebildet, der zur Befestigung der Laufschaufeln 120, 130 an einer Welle oder einer Scheibe dient (nicht dargestellt) .
Der Schaufelfuß 183 ist beispielsweise als Hammerkopf ausge- staltet. Andere Ausgestaltungen als Tannenbaum- oder Schwalbenschwanzfuß sind möglich.
Die Schaufel 120, 130 weist für ein Medium, das an dem Schaufelblatt 406 vorbeiströmt, eine Anströmkante 409 und eine Abströmkante 412 auf.
Bei herkömmlichen Schaufeln 120, 130 werden in allen Bereichen 400, 403, 406 der Schaufel 120, 130 beispielsweise massive metallische Werkstoffe, insbesondere Superlegierungen verwendet. Solche Superlegierungen sind beispielsweise aus der EP 1 204 776 Bl, EP 1 306 454, EP 1 319 729 Al, WO 99/67435 oder WO 00/44949 bekannt; diese Schriften sind Teil der Offenbarung. Die Schaufel 120, 130 kann hierbei durch ein Gussverfahren, auch mittels gerichteter Erstarrung, durch ein Schmiedever- fahren, durch ein Fräsverfahren oder Kombinationen daraus gefertigt sein.
Werkstücke mit einkristalliner Struktur oder Strukturen werden als Bauteile für Maschinen eingesetzt, die im Betrieb ho- hen mechanischen, thermischen und/oder chemischen Belastungen ausgesetzt sind.
Die Fertigung von derartigen einkristallinen Werkstücken erfolgt z.B. durch gerichtetes Erstarren aus der Schmelze. Es handelt sich dabei um Gießverfahren, bei denen die flüssige metallische Legierung zur einkristallinen Struktur, d.h. zum einkristallinen Werkstück, oder gerichtet erstarrt. Dabei werden dendritische Kristalle entlang dem Wärmefluss ausgerichtet und bilden entweder eine stängelkristalline Kornstruktur (kolumnar, d.h. Körner, die über die ganze Länge des Werkstückes verlaufen und hier, dem allgemeinen Sprachgebrauch nach, als gerichtet erstarrt bezeichnet werden) oder eine einkristalline Struktur, d.h. das ganze Werkstück be- steht aus einem einzigen Kristall. In diesen Verfahren muss man den Übergang zur globulitischen (polykristallinen) Erstarrung meiden, da sich durch ungerichtetes Wachstum notwendigerweise transversale und longitudinale Korngrenzen ausbil- den, welche die guten Eigenschaften des gerichtet erstarrten oder einkristallinen Bauteiles zunichte machen. Ist allgemein von gerichtet erstarrten Gefügen die Rede, so sind damit sowohl Einkristalle gemeint, die keine Korngrenzen oder höchstens Kleinwinkelkorngrenzen aufweisen, als auch Stängelkristallstrukturen, die wohl in longitudinaler Richtung verlaufende Korngrenzen, aber keine transversalen Korngrenzen aufweisen. Bei diesen zweitgenannten kristallinen Strukturen spricht man auch von gerichtet erstarrten Gefügen (directionally solidified structures) . Solche Verfahren sind aus der US-PS 6,024,792 und der EP
0 892 090 Al bekannt; diese Schriften sind Teil der Offenbarung.
Ebenso können die Schaufeln 120, 130 Beschichtungen (als Teil des erfindungsgemäßen Schichtsystems) gegen Korrosion oder Oxidation aufweisen (beispielsweise MCrAlX; M ist zumindest ein Element der Gruppe Eisen (Fe) , Kobalt (Co) , Nickel (Ni) , X ist ein Aktivelement und steht für Yttrium (Y) und/oder Silizium und/oder zumindest ein Element der Seltenen Erden, bzw. Hafnium (Hf)) . Solche Legierungen sind bekannt aus der EP 0 486 489 Bl, EP 0 786 017 Bl, EP 0 412 397 Bl oder EP 1 306 454 Al, die Teil dieser Offenbarung sein sollen.
Auf der MCrAlX kann noch eine Wärmedämmschicht vorhanden sein und besteht beispielsweise aus Zrθ2, Y2θ4-Zrθ2, d.h. sie ist nicht, teilweise oder vollständig stabilisiert durch Yttriumoxid und/oder Kalziumoxid und/oder Magnesiumoxid. Durch geeignete Beschichtungsverfahren wie z.B. Elektronen- strahlverdampfen (EB-PVD) werden stängelförmige Körner in der Wärmedämmschicht erzeugt. Wiederaufarbeitung (Refurbishment) bedeutet, dass Bauteile 120, 130 nach ihrem Einsatz gegebenenfalls von Schutzschichten befreit werden müssen (z.B. durch Sandstrahlen) . Danach erfolgt eine Entfernung der Korrosions- und/oder Oxidations- schichten bzw. -produkte. Gegebenenfalls werden auch noch
Risse im Bauteil 120, 130 repariert. Danach erfolgt eine Wie- derbeschichtung des Bauteils 120, 130 und ein erneuter Einsatz des Bauteils 120, 130.
Die Schaufel 120, 130 kann hohl oder massiv ausgeführt sein. Wenn die Schaufel 120, 130 gekühlt werden soll, ist sie hohl und weist ggf. noch Filmkühllöcher 418 (gestrichelt angedeutet) und Sicherheitskühllöcher 13 auf.
Die Figur 13 zeigt eine Brennkammer 110 einer Gasturbine 100. Die Brennkammer 110 ist beispielsweise als so genannte Ringbrennkammer ausgestaltet, bei der eine Vielzahl von in Um- fangsrichtung um die Rotationsachse 102 herum angeordneten Brennern 107 in einen gemeinsamen Brennkammerraum münden.
Dazu ist die Brennkammer 110 in ihrer Gesamtheit als ringförmige Struktur ausgestaltet, die um die Rotationsachse 102 herum positioniert ist.
Zur Erzielung eines vergleichsweise hohen Wirkungsgrades ist die Brennkammer 110 für eine vergleichsweise hohe Temperatur des Arbeitsmediums M von etwa 1000°C bis 16000C ausgelegt. Um auch bei diesen, für die Materialien ungunstigen Betriebsparametern eine vergleichsweise lange Betriebsdauer zu ermög- liehen, ist die Brennkammerwand 153 auf ihrer dem Arbeitsmedium M zugewandten Seite mit einer aus Hitzeschildelementen 155 gebildeten Innenauskleidung versehen.
Jedes Hitzeschildelement 155 ist arbeitsmediumsseitig mit einer besonders hitzebeständigen Schutzschicht (beispielsweise als Teil eines erfindungsgemäßen Schichtsystems) ausgestattet oder aus hochtemperaturbeständigem Material gefer- tigt. Dies können massive keramische Steine oder Legierungen mit MCrAlX und/oder keramischen Beschichtungen sein. Die Materialien der Brennkammerwand und deren Beschichtungen können ähnlich der Turbinenschaufeln sein.
Aufgrund der hohen Temperaturen im Inneren der Brennkammer 110 kann zudem für die Hitzeschildelemente 155 bzw. für deren Halteelemente ein Kühlsystem vorgesehen sein oder die Anordnung mit den Hitzeschildelementen 155 und/oder die Hitze- schildelementen 155 selber weisen beispielsweise Kühllöcher 16 und Sicherheitskuhllocher 13 auf.
Die Figur 14 zeigt beispielhaft eine Gasturbine 100 in einem Langsteilschnitt.
Die Gasturbine 100 weist im Inneren einen um eine Rotationsachse 102 drehgelagerten Rotor 103 auf, der auch als Turbinenläufer bezeichnet wird. Entlang des Rotors 103 folgen aufeinander ein Ansauggehäuse 104, ein Verdichter 105, eine beispielsweise torusartige
Brennkammer 110, insbesondere Ringbrennkammer 106, mit mehreren koaxial angeordneten Brennern 107, eine Turbine 108 und das Abgasgehäuse 109. Die Ringbrennkammer 106 kommuniziert mit einem beispielsweise ringförmigen Heißgaskanal 111. Dort bilden beispielsweise vier hintereinander geschaltete Turbinenstufen 112 die Turbine 108.
Jede Turbinenstufe 112 ist beispielsweise aus zwei Schaufelringen gebildet. In Strömungsrichtung eines Arbeitsmediums 113 gesehen folgt im Heißgaskanal 111 einer Leitschaufelreihe 115 eine aus Laufschaufeln 120 gebildete Reihe 125.
Die Leitschaufeln 130 sind dabei an einem Innengehäuse 138 eines Stators 143 befestigt, wohingegen die Laufschaufeln 120 einer Reihe 125 beispielsweise mittels einer Turbinenscheibe 133 am Rotor 103 angebracht sind. An dem Rotor 103 angekoppelt ist ein Generator oder eine Arbeitsmaschine (nicht dargestellt) .
Während des Betriebes der Gasturbine 100 wird vom Verdichter 105 durch das Ansauggehäuse 104 Luft 135 angesaugt und verdichtet. Die am turbinenseitigen Ende des Verdichters 105 bereitgestellte verdichtete Luft wird zu den Brennern 107 geführt und dort mit einem Brennmittel vermischt. Das Gemisch wird dann unter Bildung des Arbeitsmediums 113 in der Brenn- kammer 110 verbrannt. Von dort aus strömt das Arbeitsmedium
113 entlang des Heißgaskanals 111 vorbei an den Leitschaufeln 130 und den Laufschaufeln 120. An den Laufschaufeln 120 entspannt sich das Arbeitsmedium 113 impulsübertragend, so dass die Laufschaufeln 120 den Rotor 103 antreiben und dieser die an ihn angekoppelte Arbeitsmaschine.
Die dem heißen Arbeitsmedium 113 ausgesetzten Bauteile unterliegen während des Betriebes der Gasturbine 100 thermischen Belastungen. Die Leitschaufeln 130 und Laufschaufeln 120 der in Strömungsrichtung des Arbeitsmediums 113 gesehen ersten Turbinenstufe 112 werden neben den die Ringbrennkammer 106 auskleidenden Hitzeschildsteinen am meisten thermisch belastet. Um den dort herrschenden Temperaturen standzuhalten, können diese mittels eines Kühlmittels gekühlt werden.
Ebenso können Substrate der Bauteile eine gerichtete Struktur aufweisen, d.h. sie sind einkristallin (SX-Struktur) oder weisen nur langsgerichtete Korner auf (DS-Struktur) . Als Material für die Bauteile, insbesondere für die Turbinen- schaufei 120, 130 und Bauteile der Brennkammer 110 werden beispielsweise eisen-, nickel- oder kobaltbasierte Superle- gierungen verwendet.
Solche Superlegierungen sind beispielsweise aus der EP 1 204 776 Bl, EP 1 306 454, EP 1 319 729 Al, WO 99/67435 oder WO 00/44949 bekannt; diese Schriften sind Teil der Offenbarung. Ebenso können die Schaufeln 120, 130 Beschichtungen gegen Korrosion (MCrAlX; M ist zumindest ein Element der Gruppe Eisen (Fe) , Kobalt (Co) , Nickel (Ni) , X ist ein Aktivelement und steht für Yttrium (Y) und/oder Silizium und/oder zumin- dest ein Element der Seltenen Erden bzw. Hafnium) . Solche Legierungen sind bekannt aus der EP 0 486 489 Bl, EP 0 786 017 Bl, EP 0 412 397 Bl oder EP 1 306 454 Al, die Teil dieser Offenbarung sein sollen.
Auf der MCrAlX kann noch eine Wärmedämmschicht vorhanden sein, und besteht beispielsweise aus Zrθ2, Y2Ü4-Zrθ2, d.h. sie ist nicht, teilweise oder vollständig stabilisiert durch Yttriumoxid und/oder Kalziumoxid und/oder Magnesiumoxid. Durch geeignete Beschichtungsverfahren wie z.B. Elektronen- strahlverdampfen (EB-PVD) werden stängelförmige Körner in der Wärmedämmschicht erzeugt.
Die Leitschaufel 130 weist einen dem Innengehäuse 138 der Turbine 108 zugewandten Leitschaufelfuß (hier nicht darge- stellt) und einen dem Leitschaufelfuß gegenüberliegenden
Leitschaufelkopf auf. Der Leitschaufelkopf ist dem Rotor 103 zugewandt und an einem Befestigungsring 140 des Stators 143 festgelegt.

Claims

Patentansprüche
1. Schichtsystem (1), zumindest bestehend aus einem Substrat (4), zumindest einer Schicht (7, 10),
dadurch gekennzeichnet,
dass in dem Substrat (4) zumindest ein als Sicherheitskuhlloch (13) ausgebildetes Durchgangsloch angeordnet ist, dessen Durchgang verschlossen ist und dass das Sicherheitskühlloch (13) durch zumindest eine zwi- schenliegende Schicht (7) und eine äußere Schicht (10) verschlossen ist.
2. Schichtsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
alle Löcher im Substrat (4) als Sicherheitskühllöcher (13) verschlossen sind.
3. Schichtsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
das Schichtsystem (1) Sicherheitskühllöcher (13) und zumindest ein oder mehrere Kühllöcher (16) aufweist.
4. SchichtSystem nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,
dass das Substrat (4) eine nickel-, kobalt- oder eisen- basierte Superlegierung ist, und dass die Schicht (7) insbesondere eine MCrAlX-Schicht und dass die Schicht (10) insbesondere eine keramische Wärmedämmschicht ist.
5. Schichtsystem nach Anspruch 1 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass
das Schichtsystem (1) ein Bauteil einer Turbine, insbesondere eine Turbinenschaufel (120, 130) oder ein Hitzeschildelement (155) , insbesondere einer Dampf- oder Gasturbine (100) ist.
6. SchichtSystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
das Sicherheitskühlloch (13) im Substrat (4) und/oder in der zumindest einen Schicht (7, 10) durch einen Pin (31) verschlossen ist, wobei der Pin (31) bei Beschädigung der zumindest einen Schicht (7, 10) im Bereich des Sicherheitskühllochs (13) unter den Betriebsbedingungen des Schichtsystems selbsttätig seine Verschlussposition verlässt und das Sicherheitskühlloch (13) für ein Kühlmittel öffnet.
7. Verwendung eines Schichtsystems (1) nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 - 6 für den Einsatz in einer Turbine (100), insbesondere bei einer Turbinenschaufel (120, 130) oder einem Hitzeschildelement (155) .
8. Verfahren zur Herstellung eines Schichtsystems (1), insbesondere nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 - 6,
dadurch gekennzeichnet,
dass in die herzustellenden Sicherheitskühllöcher (13) im Substrat (4) oder im Substrat (4) mit zwischenliegender Schicht (7) ein Maskiermittel (19) gefüllt wird, und dass auf die Oberfläche (25, 34) des Substrats (4) oder der zwischenliegenden Schicht (7) und über die gefüllten herzustellenden Sicherheitskühllöcher (13) eine Schicht (7, 10) aufgebracht wird, sodass dann die verschlossenen Sicherheitskühllöcher (13) gebildet sind und dass Maskiermittel (19, 22), das das Kühlloch (13, 16) während der Beschichtung ver- schlössen hat, entfernt wird, wobei das Material der Schicht (7, 10) über dem Sicherheitskühlloch (13) verbleibt.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
dass in die herzustellenden Sicherheitskuhllocher (13) ein Maskiermittel (19) eingebracht wird, auf oder über das sich eine Schicht (7, 10) abscheiden kann, und dass in das Kuhlloch (16) , das geöffnet bleibt, ein Antihaft-Maskiermittel (22) eingebracht wird, auf dem sich das Material der Schicht (7, 10) nicht ab- scheidet. 10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
dass in die herzustellenden Sicherheitskühllöcher (13) ein Maskiermittel (19) eingebracht wird, auf oder über das sich eine Schicht (7,
10) abscheiden kann, und dass in das Kühlloch (16) , das geöffnet bleibt, kein Maskiermittel eingebracht wird.
11. Verfahren nach Anspruch 8, 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet,
dass in dem Substrat (4) mit seiner zwischenliegenden
Schicht (7), die herzustellenden Sicherheitskühllöcher (13) auch durch die Schicht (7) hindurch erstrecken, und dass in das offen bleibende Kühlloch (16) ein Antihaft-
Maskiermittel (22) eingebracht wird, und dass dann auf die Schicht (7) eine weitere Schicht, insbesondere eine äußere Schicht (10) aufgebracht wird, die die Sicherheitslöcher (13) abdeckt.
12. Verfahren zur Herstellung eines Schichtsystems (1), insbesondere nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 - 6,
dadurch gekennzeichnet,
dass ein Substrat (4) mit einer Schicht (7) zur Verfügung gestellt wird, das Löcher durch das Substrat (4) und die Schicht (7) aufweist, wobei in einem weiteren Verfahrensschritt eine weitere, insbesondere eine äußere Schicht (10) aufgebracht wird, die diese Löcher überdeckt und verschließt und so
Sicherheitskühllöcher (13) erzeugt, und dass in einem weiteren Verfahrensschritt zumindest ein durch die zumindest eine Schicht (7, 10) und das Substrat
(4) hindurchgehendes Kühlloch (16) erzeugt wird, das insbesondere zur Filmkühlung dient.
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