EP1681590A1

EP1681590A1 - Lift table

Info

Publication number: EP1681590A1
Application number: EP05027129A
Authority: EP
Inventors: Roland Seifert; Claus Kress
Original assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Current assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date: 2005-01-17
Filing date: 2005-12-12
Publication date: 2006-07-19
Anticipated expiration: 2025-12-12
Also published as: JP4304186B2; ATE457472T1; DE102005002309A1; CN100516968C; CN1808205A; EP1681590B1; DE502005008995D1; JP2006201770A

Abstract

The lift table, especially for use as a focussing table for a microscope, has a support frame (1) to which is connected an object support plate (2) via a parallel link arrangement (3) and which can be lifted and lowered in relation to the support frame without tipping. The parallel link arrangement comprises parallel links (4,5) which connect a cross-member (6) to the support frame, and the cross-member to the object support plate.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Hubtisch, insbesondere zur Verwendung als Fokussiertisch für ein Mikroskop, mit einem Trägerrahmen und einer am Trägerrahmen angelenkten, das Objekt tragenden Objektplatte, wobei die Objektplatte über eine Parallelgelenkanordnung an dem Trägerrahmen angelenkt und gegenüber dem Trägerrahmen verkippungsfrei anhebbar oder absenkbar ist.The present invention relates to a lifting table, in particular for use as a focusing table for a microscope, with a support frame and a hinged on the support frame, the object bearing object plate, wherein the object plate is articulated via a parallel hinge assembly on the support frame and against the support frame tilting raised or lowered.

Die Erfindung betrifft einen Hubtisch im Allgemeinen, der zu unterschiedlichsten Zwecken verwendet werden kann. Dabei geht es insbesondere um das verkippungsfreie Anheben bzw. Absenken von Objekten jedweder Art. Ein Anwendungsgebiet ist die Verwendung als Fokussiertisch für ein Mikroskop. Der Einfachheit halber sei nachfolgend auf diese konkrete Anwendung Bezug genommen.The invention relates to a lifting table in general, which can be used for a variety of purposes. In particular, it is about the tilt-free lifting or lowering of objects of any kind. One application is the use as a focusing table for a microscope. For the sake of simplicity, reference should be made below to this specific application.

In der regulären Mikroskopie wird die Fokuslage des Objekts über den Fokustrieb des Mikroskops eingestellt. Die mit den dort eingebauten Motoren - in der Regel DC-Motoren - erreichbaren Positioniergenauigkeiten liegen bei plus/minus 50 nm. Solche Werte sind jedoch um mehr als den Faktor zwei zu schlecht, so dass eine derartige Fokussierung nicht zu gebrauchen ist. Häufig werden auch exteme Schrittmotoren an den Feinfokustrieb des Mikroskops angeflanscht. Durch entsprechende Untersetzungen lassen sich dann zwar feine Schritteinteilungen erreichen, jedoch ist die freie Positionierbarkeit externer oder interner Getriebe ganz erheblich eingeschränkt.In regular microscopy, the focus position of the object is adjusted via the focus drive of the microscope. The positioning accuracies achievable with the motors installed there - usually DC motors - are plus / minus 50 nm. However, such values are too bad by more than a factor of two, so that such a focusing is not useful. Frequently, external stepper motors are flanged to the fine focus of the microscope. By appropriate reductions, fine step divisions can then be achieved, but the free positioning of external or internal transmissions is considerably restricted.

Aus der Praxis sind auch bereits getriebefreie Direktantriebe bekannt. Mit solchen Direktantrieben werden Positioniergenauigkeiten im Nanometerbereich erreicht. Der verfügbare Verfahrweg ist jedoch auf wenige 100 µm begrenzt. Hinzu kommt die weitere Problematik, dass ein solcher Direktantrieb nur jeweils ein Objektiv bewegt, welches dann weit über die anderen Objektive herausragt.From practice, gearless direct drives are already known. Positioning accuracies in the nanometer range are achieved with such direct drives. However, the available travel is limited to a few 100 μm. In addition, there is the further problem that such a direct drive moves only one lens at a time, which then protrudes far beyond the other lenses.

Ebenfalls aus der Praxis sind piezoaktiv bewegbare Z-Tische bekannt. Die Verfahrbereiche solcher Z-Tische sind durch die Piezos eingeschränkt. Piezosysteme sind darüber hinaus durch die erforderlichen extemen Meßsysteme und die ebenfalls erforderlichen Hochspannungsansteuerungen teuer. Mit der Piezoansteuerung werden bereits nahezu beliebige Z-Scanraten erreicht. Gleichförmig schnelle und auch sehr langsame Z-Scanraten, so z.B. 1.000 µm pro Sekunde bis 0,01 µm pro Sekunde. Geschwindigkeitstoleranzen von weniger als plus/minus 0,5% sind jedenfalls mit getriebemotorischen Mitteln nur äußerst schwierig zu erreichen.Also known from practice piezoactively movable Z-tables. The travel ranges of such Z-tables are limited by the piezos. Piezo systems are also expensive due to the required extemen measuring systems and also required high-voltage controls. The piezo control already achieves almost any Z scan rates. Uniformly fast and also very slow Z scan rates, such as 1,000 μm per second to 0.01 μm per Second. Speed tolerances of less than plus / minus 0.5% are certainly extremely difficult to achieve with geared motors.

Weiter aus der Praxis sind seit Jahren Z-Tische mit einer galvanometrisch angetriebenen Kipp-Platte bekannt. Der Nachteil einer solchen Anordnung liegt jedoch darin, dass bei größeren Hubbewegungen zwangsweise mit dem Hub eine Lateralbewegung des Objekts stattfindet. Liegt das zu beobachtende Objekt in der Ebene des Drehpunktes der Kipp-Platte, so ist der Fehler, der durch die Lateralbewegung entsteht, vemachlässigbar klein. Bei von der Drehpunktebene weiter entfernten Objekten oder Objektbereichen wird dieser Fehler jedoch sehr schnell mit der Entfernung unerträglich groß.Further from practice Z-tables are known for years with a galvanometrically driven tilting plate. The disadvantage of such an arrangement, however, is that for larger strokes forcibly takes place with the hub, a lateral movement of the object. If the object to be observed lies in the plane of the fulcrum of the tilting plate, the error arising from the lateral movement is negligibly small. However, with objects farther from the fulcrum plane, or object areas, this error becomes unbearably fast with the distance.

Aus der DE-AS 20 53 020 ist ein Präzisions-Objektivtisch für ein optisches Mikroskop bekannt. Die das Objekt tragende Objektplatte ist dort innerhalb eines Rahmens angeordnet und kann zur Feineinstellung relativ zu dem Rahmen in senkrechter Richtung verstellt werden. Um die dazu erforderliche Hubbewegung der Objektplatte realisieren zu können, ist diese über insgesamt vier Bandscharniere am Rahmen abgestützt. Über einen Antrieb lässt sich die Objektplatte gegenüber dem Rahmen senkrecht verlagern, wobei das Ausmaß dieser Verlagerung bzw. Bewegung der Objektplatte durch die Länge und Elastizität der Bandschamiere vorgegeben ist. Um eine gleichmäßige Hubbewegung der Objektplatte ― ohne Verkippen der Objektplatte ― gewährleisten zu können, ist ein aufwendiger Stellmechanismus vorgesehen, der über unter der Objektplatte angeordnete Hebel und Druckteile die Objektplatte beidseitig synchron anhebt, und zwar im Umfange der über die Bandschamiere möglichen Hubbewegung. Der zur Realisierung des Parallelhubs erforderliche Antrieb ist aufwendig und beansprucht einen erheblichen Raum.From DE-AS 20 53 020 a precision objective stage for an optical microscope is known. The object plate carrying the object is located there within a frame and can be adjusted for fine adjustment relative to the frame in the vertical direction. In order to realize the necessary lifting movement of the object plate, this is supported by a total of four hinge hinges on the frame. Via a drive, the object plate can be displaced vertically relative to the frame, the extent of this displacement or movement of the object plate being predetermined by the length and elasticity of the hinge band. In order to ensure a uniform lifting movement of the object plate - without tilting the object plate - a complex adjusting mechanism is provided which raises the object plate synchronously on both sides synchronously via arranged under the object plate lever and pressure parts, in the extent of the possible on the hinge hinge lifting movement. The drive required to realize the parallel stroke is complicated and takes up a considerable amount of space.

Aus der US 48 93 914 ist eine Prüfstation für Halbleiterchips oder dergleichen bekannt, wobei diese Prüfstation ein Mikroskop sowie einen Feinfokussiertisch mit einer das Objekt tragenden Objektplatte umfasst. Die Objektplatte ist tellerförmig ausgebildet und lässt sich über eine zylindrische Führung vertikal verstellen. Ein Kippfehler der Objektplatte ist aufgrund eines zwangsweise auftretenden Spiels in der Führung unvermeidbar.From US 48 93 914 a test station for semiconductor chips or the like is known, said test station comprises a microscope and a Feinfokussiertisch with an object plate carrying the object. The object plate is plate-shaped and can be adjusted vertically via a cylindrical guide. A tilting error of the object plate is inevitable due to a forcibly occurring game in the leadership.

Die DD 02 24 415 A1 zeigt eine Vorrichtung zum Anheben eines Objekts an eine Referenzebene, wobei diese Vorrichtung in optischen Geräten Anwendung findet. Das Objekt liegt auf drehbar gelagerten Hebeln auf und wird über mechanische Koppelglieder unabhängig voneinander arbeitender Hubsysteme an die Referenzebene angehoben. Zwei voneinander unabhängige Hubsysteme heben eine Trägerplatte mit dort mittig angeordnetem Lager an. Ein dort gelagerter zweiseitiger Hebel wirkt über in den Eckbereichen angeordnete Auflagen unmittelbar auf das Objekt bzw. die Objektplatte, die wiederum gegen Anschläge fährt. Ein Verkippen des Objekts bzw. der Objektplatte erfolgt dort zwangsweise solange, bis das Objekt an den Anschlägen zur Anlage kommt. Wollte man dort ein Verkippen des Objekts bzw. der Objektplatte während des Vertikalhubs vermeiden, müssten die beiden unabhängig voneinander arbeitenden Antriebe synchronisiert und müsste das Objekt bzw. die Objektplatte oder die Trägerplatte kippfrei geführt sein. Dies ist konstruktiv aufwendig.DD 02 24 415 A1 shows a device for lifting an object to a reference plane, said device being used in optical devices. The object rests on rotatably mounted levers and is lifted to the reference plane via mechanical coupling members of independently operating lifting systems. Two independent lifting systems lift a carrier plate with there centrally arranged bearing. A two-sided lever, which is mounted there, acts directly on the object or object plate via supports arranged in the corner regions, which in turn moves against stops. A tilting of the object or the object plate takes place there forcibly until the object comes to rest against the stops. If one wanted to avoid there tilting of the object or the object plate during the vertical stroke, the two independently operating drives would have to be synchronized and the object or the object plate or the carrier plate would have to be guided without tilting. This is structurally complex.

Aus der DE 196 50 392 C2 ist ein gattungsbildender Hubtisch bekannt, bei dem eine Parallelgelenkanordnung vorgesehen ist. Die Parallelgelenke bilden gleichzeitig den Rahmen, so dass sich eine wenig stabile Konstruktion ergibt. Außerdem verbleibt ein nur äußerst kleiner Bereich als Halterung für die Objektplatte, so dass eine Anlenkung an ein Gestell, insbesondere an ein Mikroskop, in Ermangelung einer hinreichend großen Auflagefläche problematisch ist. Des Weiteren erstreckt sich bei dem bekannten Hubtisch die Parallelgelenkanordnung über den gesamten Bereich der Objektplatte hinweg, so dass ein nahezu allseitiger Freiraum zum Heben und Senken des Hubtischs erforderlich ist. Schließlich weist der gattungsbildende Hubtisch ein ganz besonderes Problem dahingehend auf, dass aufgrund der dort realisierten Parallelgelenkanordnung eine Richtungskomponente in Y-Richtung entsteht, so dass in Y-Richtung entsprechend der im Gelenk vollzogenen Drehung ein zumindest geringfügiger Versatz beim Heben und Senken der Objektplatte stattfindet. Dies ist insbesondere in Bezug auf die Mikroskopie problematisch.From DE 196 50 392 C2 a generic type lifting table is known in which a parallel joint arrangement is provided. The parallel joints simultaneously form the frame, resulting in a less stable construction. In addition, only a very small area remains as a support for the object plate, so that a linkage to a frame, in particular to a microscope, is problematic in the absence of a sufficiently large contact surface. Furthermore, in the known lifting table, the parallel joint arrangement extends over the entire area of the object plate, so that an almost all-round free space for lifting and lowering the lifting table is required. Finally, the generic lifting table has a very special problem to the effect that due to the realized there parallel joint arrangement, a directional component in the Y direction is formed, so that takes place in the Y direction corresponding to the rotation performed in the joint at least a slight offset when lifting and lowering the object plate. This is particularly problematic in terms of microscopy.

Im Lichte der voranstehenden Ausführungen liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, den gattungsbildenden Hubtisch derart auszugestalten und weiterzubilden, dass bei einfacher und dennoch hinreichend stabiler Konstruktion weder in X-Richtung noch in Y-Richtung ein Versatz der Objektplatte stattfindet.In the light of the foregoing, the present invention has the object, the generic form lifting table in such a way and further develop that takes place in a simple yet sufficiently stable construction, neither in the X direction nor in the Y direction, an offset of the object plate.

Der erfindungsgemäße Hubtisch löst die voranstehende Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruchs 1. Danach ist der eingangs genannte Hubtisch dadurch gekennzeichnet, dass die Parallelgelenkanordnung Parallelgelenke umfasst und dass die Parallelgelenke eine Traverse mit dem Trägerrahmen und die Traverse mit der Objektplatte verbinden.The lifting table according to the invention achieves the above object by the features of claim 1. Thereafter, the above-mentioned lifting table is characterized in that the parallel joint assembly comprises parallel joints and that the parallel joints connect a cross member to the support frame and the traverse to the object plate.

Erfindungsgemäß ist erkannt worden, dass man einen Hubtisch der gattungsbildenden Art, der sich insbesondere auch als Feinfokussiertisch für ein Mikroskop eignet, mit einfachen konstruktiven Mitteln derart ausgestalten kann, dass ein Versatz in Y-Richtung in Bezug auf die das Objekt tragende Qbjektplatte nicht stattfindet bzw. kompensiert wird. Dazu sind ganz besondere Parallelgelenke vorgesehen, wobei die Parallelgelenke eine Traverse mit dem Trägerrahmen und die Traverse mit der Objektplatte verbinden. Mit anderen Worten greifen die Parallelgelenke am starren, von den Parallelgelenken unabhängigen Trägerrahmen an, so dass die Traverse über die Parallelgelenke mit dem Trägerrahmen verbunden ist. An der Traverse ist wiederum die Objektplatte angelenkt, nämlich ebenfalls über Parallelgelenke, so dass die Parallelgelenkanordnung zwei Gruppen von Parallelgelenken umfasst. Ein Y-Versatz der einen Gruppe von Parallelgelenken wird durch den Y-Versatz der anderen Gruppe von Parallelgelenken kompensiert, so dass die Objektplatte beim Heben und Senken keinem Y-Versatz in Bezug auf den Trägerrahmen unterzogen wird.According to the invention, it has been recognized that a lifting table of the generic type, which is also suitable in particular as Feinfokussiertisch for a microscope, can be designed with simple structural means such that an offset in the Y direction with respect to the object-carrying Qbjektplatte not takes place or is compensated. For this purpose, very special parallel joints are provided, wherein the parallel joints connect a traverse with the support frame and the traverse with the object plate. In other words, the parallel joints on the rigid, independent of the parallel joints carrier frame, so that the traverse is connected via the parallel joints with the support frame. The object plate is in turn articulated on the traverse, namely likewise via parallel joints, so that the parallel joint arrangement comprises two groups of parallel joints. A Y offset of one group of parallel joints is compensated for by the Y offset of the other group of parallel joints so that the object plate is not subjected to Y offset with respect to the support frame during lifting and lowering.

In vorteilhafter Weise umfasst die Parallelgelenkanordnung zwei Paar Parallelgelenke, wobei das eine Paar der Parallelgelenke die Traverse mit dem Trägerrahmen und das andere Paar der Parallelgelenke die Traverse mit der Objektplatte verbindet. Folglich ist der Trägerrahmen unabhängig von der Parallelgelenkanordnung fest ausgebildet und erstreckt sich die Parallelgelenkanordnung von dem Trägerrahmen aus unter Einbeziehung der Traverse zwischen dem Trägerrahmen und der Objektplatte, wodurch sich eine besonders stabile Ausgestaltung ergibt. Für die Hubbewegung ist demnach die Parallelgelenkanordnung unter Einbeziehung der Traverse verantwortlich, wobei die Traverse zur Richtungsänderung in Y-Richtung dient, so dass sich die Y-Richtungskomponenten beider Paare der Parallelgelenke in idealer Weise kompensieren. Bei gleicher Auslenkung der beiden Paare der Paralleigelenke sind die Kreisbewegungen in den Biegestellen die gleichen, so dass mit einfachen Mitteln eine Kompensation in Y-Richtung realisiert ist.Advantageously, the parallel link assembly includes two pairs of parallel links, one pair of parallel links connecting the crossbar to the carrier frame and the other pair of parallel links connecting the crossbar to the object plate. Consequently, the support frame is formed independently of the parallel link assembly and extends the parallel joint assembly of the support frame including the cross member between the support frame and the object plate, resulting in a particularly stable design. For the lifting movement, therefore, the parallel joint assembly is responsible for including the traverse, the traverse is used to change direction in the Y direction, so that compensate for the Y-direction components of both pairs of parallel joints in an ideal manner. With the same deflection of the two pairs of Paralleigelenke the circular movements in the bending points are the same, so that with simple means a compensation in the Y direction is realized.

In weiter vorteilhafter Weise sind die Parallelgelenke derart angeordnet und ausgebildet, dass das eine Paar äußere Parallelgelenke und das andere Paar innere Parallelgelenke bildet. Dabei ist es von weiterem Vorteil, wenn die Parallelgelenke - paarweise - nebeneinander angeordnet sind, wobei sich zwischen den Parallelgelenken starre Rahmenteile des Trägerrahmens erstrecken können. Die Stabilität der Anordnung ist dadurch abermals begünstigt.In a further advantageous manner, the parallel joints are arranged and formed such that forms a pair of outer parallel joints and the other pair of inner parallel joints. It is of further advantage if the parallel joints - in pairs - are arranged side by side, which can extend between the parallel joints rigid frame parts of the support frame. The stability of the arrangement is thereby favored again.

Im Konkreten verbinden die äußeren Parallelgelenke die Traverse mit dem Trägerrahmen und die inneren Parallelgelenke die Traverse mit der Objektplatte. Eine umgekehrte Anordnung ist ebenfalls denkbar, wonach die inneren Parallelgelenke die Traverse mit dem Trägerrahmen und die äußeren Parallelgelenke die Traverse mit der Objektplatte verbinden.In concrete terms, the outer parallel joints connect the traverse to the carrier frame and the inner parallel joints connect the traverse to the object plate. A reverse arrangement is also conceivable, according to which the inner parallel joints connect the traverse to the carrier frame and the outer parallel joints connect the traverse to the object plate.

Im Rahmen einer Ausgestaltung mit zwei Paaren von Parallelgelenken ist es von weiterem Vorteil, wenn diese Paare der Parallelgelenke auf einer Seite des Trägerrahmens angeordnet sind, so dass der Trägerrahmen mit seinen starren Bestandteilen als bauliche Einheit die Objektplatte zumindest von drei Seiten her umgibt. Ebenso ist es jedoch auch denkbar, dass die Paare der Parallelgelenke auf gegenüberliegenden Seiten des Trägerrahmens angeordnet sind bzw. sich von einer Seite auf die andere Seite des Trägerrahmens - vorzugsweise seitlich - erstrecken.In the context of an embodiment with two pairs of parallel joints, it is further advantageous if these pairs of parallel joints are arranged on one side of the support frame, so that the support frame with its rigid components as a structural unit surrounds the object plate at least from three sides. Likewise, however, it is also conceivable that the pairs of parallel joints are arranged on opposite sides of the support frame or extend from one side to the other side of the support frame - preferably laterally.

Die Parallelgelenke können derart ausgebildet sein, dass sie sich zumindest paarweise parallel zueinander erstrecken, wobei - wie bereits zuvor erwähnt - feste Rahmenteile dazwischen angeordnet sein können. Aufgrund der parallelen Anordnung verlaufen die Drehachsen der Parallelgelenke allesamt parallel zueinander, wodurch sich in besonders einfacher Weise eine Kompensation des Y-Versatzes ergibt.The parallel joints may be formed such that they extend at least in pairs parallel to one another, wherein - as already mentioned above - fixed frame parts can be arranged therebetween. Due to the parallel arrangement, the axes of rotation of the parallel joints all run parallel to one another, which results in a particularly simple way of compensating for the Y offset.

Eine Kompensation des Y-Versatzes wird auch dadurch begünstigt, dass die Parallelgelenke so angeordnet, sind, dass sie beim Heben oder Senken der Objektplatte paarweise in entgegengesetzte Richtung biegen, nämlich zum einen gegenüber dem Trägerrahmen in Richtung des Trägerrahmens und zum anderen gegenüber der Traverse in eine Richtung entgegengesetzt der ersten Drehrichtung, d.h. vom Trägerrahmen abgewandt. Der zum Trägerrahmen hin entstehende Y-Versatz wird durch die Drehung gegenüber der Traverse mit einem entsprechenden Y-Versatz in entgegengesetzte Richtung kompensiert.A compensation of the Y-offset is also favored by the fact that the parallel joints are arranged so that they bend when lifting or lowering the object plate in pairs in the opposite direction, namely on the one to the support frame in the direction of the support frame and the other relative to the traverse in a direction opposite to the first direction of rotation, ie facing away from the support frame. The resulting Y-offset to the support frame is compensated by the rotation with respect to the traverse with a corresponding Y-offset in the opposite direction.

In weiter vorteilhafter Weise sind die Parallelgelenke als so genannte Festkörpergelenke ausgeführt, d.h. es handelt sich hier um Parallelgelenke mit definierten Biegestellen und nicht etwa mit Scharnieren oder dergleichen. Eine solche Ausgestaltung hat den Vorteil, dass diese Gelenke spielfrei arbeiten, wobei sich die Objektplatte parallel zum Trägerrahmen - ohne Y-Versatz - bewegt. Eine Richtungskomponente in X-Richtung entsteht durch Vorkehrung der Festkörpergelenke grundsätzlich nicht.In a further advantageous manner, the parallel joints are designed as so-called solid-body joints, i. These are parallel joints with defined bending points and not with hinges or the like. Such an embodiment has the advantage that these joints work without play, with the object plate parallel to the support frame - without Y offset - moves. A directional component in the X-direction does not arise due to the provision of the solid-state joints.

Im Rahmen einer besonders bevorzugten Ausgestaltung weist jedes Parallelgelenk zwei parallel zueinander verlaufende Schenkel auf, die beidseitig über Biegestellen mit dem Trägerrahmen, der Traverse und der Objektplatte - unmittelbar oder mittelbar - verbunden sind. Beim Anheben oder Senken der Objektplatte gegenüber dem Trägerrahmen findet eine Biegung verjüngter Bereiche in den Biegestellen statt, wobei sich die Schenkel eines jeden Parallelgelenks parallel zueinander verschieben. Dadurch ist die Lage der Objektplatte gegenüber dem Trägerrahmen stabil, und zwar in paralleler Anordnung. Ein verkippungsfreies Heben und Senken der Objektplatte ist somit möglich, ohne dass dabei ein Y-Versatz der Objektplatte, d.h. ein Y-Versatz der Objektplatte gegenüber dem Trägerrahmen, stattfindet.In the context of a particularly preferred embodiment, each parallel joint on two mutually parallel legs, which are on both sides via bending points with the support frame, the traverse and the object plate - directly or indirectly - connected. When raising or lowering the object plate relative to the support frame, a bend of tapered regions takes place in the bending points, wherein the legs of each parallel joint move parallel to each other. As a result, the position of the object plate relative to the support frame is stable, in a parallel arrangement. A tilt-free lifting and lowering of the object plate is thus possible, without causing a Y offset of the object plate, i. a Y offset of the object plate relative to the support frame takes place.

Des Weiteren ist es denkbar, dass die Schenkel der Parallelgelenke über die Biegestellen jeweils in einen Lagerblock münden, der den jeweiligen Bauteilen - Trägerrahmen, Objektplatte oder Traverse - zugeordnet oder mit diesen verbunden ist. Der Lagerblock dient somit zum Verbinden der Parallelgelenke - über deren Biegestellen - mit dem jeweiligen Bauteil.Furthermore, it is conceivable that the legs of the parallel joints on the bending points each open into a bearing block, which is associated with the respective components - support frame, object plate or traverse - or connected to these. The bearing block thus serves to connect the parallel joints - on their bending points - with the respective component.

In weiter vorteilhafter Weise sind die Parallelgelenke zumindest eines der beiden Paare identisch ausgeführt. Damit eine Kompensation eines Versatzes in Y-Richtung auch tatsächlich stattfindet, ist es von weiterem Vorteil, wenn die Parallelgelenke beider Paare identisch ausgeführt sind. Mechanismen zur Über/Untersetzung sind dann nicht erforderlich.In a further advantageous manner, the parallel joints of at least one of the two pairs are identical. In order for a compensation of an offset in the Y direction to actually take place, it is also of advantage if the parallel joints of both pairs are identical. Mechanisms for over / reduction are then not required.

Im Rahmen der voranstehend erörterten Merkmale bietet es sich an, dass die Objektplatte nahezu insgesamt in den Trägerrahmen integriert ist. Dies bedeutet, dass der Trägerrahmen die Objektplatte im Wesentlichen auf drei Seiten umgibt, so dass über den Trägerrahmen eine sichere Anordnung an einem Gestellt und eine Fixierung der gesamten Anordnung möglich ist. Die Objektplatte ist dabei mehr oder weniger als Ausschnitt aus dem Trägerrahmen zu verstehen, wobei sich dieser Ausschnitt gegenüber dem Trägerrahmen absenken und/oder anheben lässt, und zwar lediglich unter Beschreibung einer Bewegung in Z-Richtung. Eine Richtungskomponente in X-Richtung entsteht nicht, während eine Richtungskomponente in Y-Richtung aufgrund der besonderen Anordnung der Parallelgelenke kompensiert ist.In the context of the above-discussed features, it makes sense that the object plate is almost completely integrated into the support frame. This means that the support frame surrounds the object plate essentially on three sides, so that a secure arrangement on a support and a fixation of the entire arrangement is possible over the support frame. The object plate is to be understood more or less as a section of the support frame, wherein this cutout relative to the support frame lower and / or can raise, and only under description of a movement in the Z direction. A direction component in the X direction does not arise, while a direction component in the Y direction is compensated due to the particular arrangement of the parallel joints.

In weiter vorteilhafter Weise umfasst die Objektplatte eine Aufnahmeeinrichtung für Proben oder für einen Probenhalter. Ebenso ist es denkbar, dass die Objektplatte eine Aufnahmeeinrichtung für Proben oder einen Probenhalter als integrale Bestandteile umfasst.In a further advantageous manner, the object plate comprises a receiving device for samples or for a sample holder. Likewise, it is conceivable that the object plate comprises a receiving device for samples or a sample holder as integral components.

Sofem der Hubtisch als Fokussiertisch für ein Mikroskop dient, könnte damit im Auflichtung oder im Durchlicht gearbeitet werden. Zur Realisierung von Durchlichtanwendungen ist in der Objektplatte vorzugsweise mittig ein Durchgang ausgebildet, wobei dies im Bereich der Aufnahmeeinrichtung für Proben bzw. im Bereich des Probenhalters vorgesehen ist.If the lifting table serves as a focusing table for a microscope, it could be used in reflected light or in transmitted light. For the realization of transmitted light applications, a passage is preferably formed centrally in the object plate, this being provided in the region of the receiving device for samples or in the region of the sample holder.

Zum Heben und Senken der Objektplatte ist in weiter vorteilhafter Weise ein Antrieb vorgesehen, wobei es sich dabei grundsätzlich um einen mechanischen Antrieb mit Handbetätigung handeln kann. Der Antrieb kann ein- oder mehrstufig ausgeführt sein. In vorteilhafter Weise handelt sich bei dem Antrieb um einen Galvanometerantrieb, der sich insbesondere auch zur Feineinstellung eignet.For lifting and lowering the object plate a drive is provided in a further advantageous manner, which may in principle be a mechanical drive with manual operation. The drive can be designed in one or more stages. Advantageously, the drive is a galvanometer drive, which is particularly suitable for fine adjustment.

In konstruktiver Hinsicht ist es von ganz besonderem Vorteil, wenn sich der Antrieb - vorzugsweise mit seinem starren Teil - an einem Gestellt oder am Trägerrahmen abstützt und mit seinem angetriebenen Teil gegen die Traverse oder die Objektplatte wirkt. Der Antrieb kann dabei so ausgelegt sein, dass er entweder die Objektplatte in Bewegungsrichtung drückt oder die Objektplatte in Bewegungsrichtung zieht. Hinsichtlich möglicher Antriebe sei auf den eingangs umfänglich genannten Stand der Technik verwiesen, dem sich unterschiedliche Antriebsarten und Mechanismen zur Verwendung bei dem erfindungsgemäßen Hubtisch entnehmen lassen.In terms of design, it is of particular advantage if the drive - preferably with its rigid part - is supported on a frame or on the support frame and acts with its driven part against the traverse or the object plate. The drive can be designed so that it either presses the object plate in the direction of movement or pulls the object plate in the direction of movement. With regard to possible drives, reference is made to the state of the art initially mentioned at the beginning, which deals with different drive types and Let mechanisms for use in the lifting table according to the invention can be found.

Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche und andererseits auf die nachfolgende Erläuterung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigen

Fig. 1: eine schematische Ansicht eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Hubtischs und
Fig. 2: den Gegenstand aus Figur 1 in einer schematischen Seitenansicht.

There are now various possibilities for designing and developing the teaching of the present invention in an advantageous manner. For this purpose, on the one hand to the claims subordinate to claim 1 and on the other hand to refer to the following explanation of a preferred embodiment of the invention with reference to the drawings. In conjunction with the explanation of the preferred embodiment of the invention with reference to the drawing, generally preferred embodiments and developments of the teaching are explained. In the drawing show

Fig. 1: a schematic view of a first embodiment of a lifting table according to the invention and
Fig. 2: the article of Figure 1 in a schematic side view.

Die Fig. 1 und 2 zeigen gemeinsam ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Hubtischs, der sich als Fokussiertisch für ein in den Figuren nicht gezeigtes Mikroskop eignet. Der Hubtisch umfasst einen Trägerrahmen 1 und eine am Trägerrahmen 1 angelenkte, das Objekt tragende Objektplatte 2. Die Objektplatte 2 ist über eine Parallelgelenkanordnung 3 an dem Trägerrahmen 1 angelenkt und gegenüber dem Trägerrahmen 1 verkippungsfrei anhebbar oder absenkbar.1 and 2 together show an embodiment of a lifting table according to the invention, which is suitable as a focusing table for a microscope not shown in the figures. The elevating platform comprises a support frame 1 and an object plate 2 bearing the object on the support frame 1. The object plate 2 is hinged to the support frame 1 via a parallel joint arrangement 3 and can be raised or lowered with respect to the support frame 1 without tilting.

In erfindungsgemäßer Weise umfasst die Parallelgelenkanordnung 3 einzelne Parallelgelenke 4, 5, wobei die Parallelgelenke 4 eine Traverse 6 mit dem Trägerrahmen 1 und die Parallelgelenke 5 die Traverse 6 mit der Objektplatte 2 verbinden. Aufgrund einer solchen Anordnung unter Zwischenschaltung der Traverse 6 lassen sich Richtungskomponenten in Y-Richtung kompensieren, so dass die Objektplatte 2 lediglich in Z-Richtung gegenüber dem Trägerrahmen 1 hebbar und senkbar ist.In accordance with the invention, the parallel joint assembly 3 comprises individual parallel joints 4, 5, wherein the parallel joints 4 connect a cross member 6 with the support frame 1 and the parallel joints 5, the cross member 6 with the object plate 2. Due to such an arrangement with the interposition of the traverse 6 can be compensated direction components in the Y direction, so that the object plate 2 can be raised and lowered only in the Z direction relative to the support frame 1.

Die Fig. 1 und 2 zeigen des Weiteren, dass die Parallelgelenkanordnung 3 zwei Paare der Parallelgelenke 4 und 5, umfasst, wobei das eine Paar der Parallelgelenke 4 die Traverse 6 mit dem Trägerrahmen 1 und das andere Paar der Parallelgelenke 5 die Traverse 6 mit der Objektplatte 2 zwei verbindet.FIGS. 1 and 2 further show that the parallel link assembly 3 includes two pairs of the parallel links 4 and 5, with the one pair of the parallel links 4, the cross member 6 with the support frame 1 and the other pair of parallel joints 5, the cross member 6 with the object plate 2 connects two.

Fig. 1 zeigt besonders deutlich, dass das eine Paar äußere Parallelgelenke 4 und das andere Paar innere Parallelgelenke 5 bildet.Fig. 1 shows particularly clearly that forms a pair of outer parallel joints 4 and the other pair of inner parallel joints 5.

Beide Paare der Parallelgelenke 4, 5 sind auf einer Seite des Trägerrahmens 1 angeordnet, wobei sich die Parallelgelenke 4, 5 paarweise parallel zueinander erstrecken und wobei die Paare der Parallelgelenke 4, 5 ebenfalls zueinander parallel verlaufen.Both pairs of the parallel joints 4, 5 are arranged on one side of the support frame 1, wherein the parallel joints 4, 5 extend in pairs parallel to each other and wherein the pairs of parallel joints 4, 5 are also parallel to each other.

In Fig. 2 ist durch die dort eingezeichneten Pfeile 7 angedeutet, dass die Parallelgelenke 4, 5 derart ausgebildet und angeordnet sind, dass sie paarweise in entgegengesetzte Richtungen biegen, wobei die Pfeile 7 die Kreisbewegung eines Punktes auf der Probenebene und auf einer Zwischenebene des jeweiligen Parallelgelenks darstellen.In Fig. 2 is indicated by the arrows 7 indicated therein, that the parallel joints 4, 5 are formed and arranged so that they bend in pairs in opposite directions, the arrows 7, the circular motion of a point on the sample plane and on an intermediate plane of the respective Represent parallel joints.

Jedes der Parallelgelenke 4, 5 umfasst zwei parallel zueinander verlaufende Schenkel 8, die beidseitig über Biegestellen 9 mit dem Trägerrahmen 1, der Traverse 6 und der Objektplatte 2 verbunden sind. Beim Biegen der Biegestellen 9 verschieben sich die Schenkel 8 parallel zueinander. Außerdem sind die Schenkel 8 der Parallelgelenke 4, 5 über die Biegestellen 9 in einem Lagerblock 10 verbunden, der den jeweiligen Bauteilen zugeordnet bzw. mit diesen verbunden ist.Each of the parallel joints 4, 5 comprises two mutually parallel legs 8, which are connected on both sides via bending points 9 with the support frame 1, the traverse 6 and the object plate 2. When bending the bending points 9, the legs 8 move parallel to each other. In addition, the legs 8 of the parallel joints 4, 5 are connected via the bending points 9 in a bearing block 10, which is associated with the respective components or connected thereto.

Die Figuren zeigen des Weiteren, dass die Parallelgelenke 4, 5 identisch ausgeführt sind, so dass eine Kompensation der Bewegungskomponente in Y-Richtung mit einfachen Mitteln realisiert ist.The figures further show that the parallel joints 4, 5 are made identical, so that a compensation of the movement component in the Y direction is realized by simple means.

Die Figuren zeigen des Weiteren, dass der Trägerrahmen 1 die Objektplatte 2 im Wesentlichen auf drei Seiten umgibt, wobei die Objektplatte 2 als eine Art Ausschnitt aus dem Trägerrahmen 1 ausgeführt ist.The figures further show that the support frame 1 surrounds the object plate 2 substantially on three sides, wherein the object plate 2 is designed as a kind of cutout from the support frame 1.

Die Objektplatte 2 umfasst des Weiteren eine Aufnahmeeinrichtung 11 für Proben oder Probenhalter. Des Weiteren hat die Objektplatte 2 einen mittigen Durchgang 12 für Durchlichtanwendungen.The object plate 2 further comprises a receptacle 11 for samples or sample holders. Furthermore, the object plate 2 has a central passage 12 for transmitted light applications.

In Bezug auf den Antrieb, der sich den Figuren nicht entnehmen lässt, sei zur Vermeidung von Wiederholungen auf den allgemeinen Teil der Beschreibung verwiesen.With regard to the drive, which can not be inferred from the figures, reference is made to avoid repetition to the general part of the description.

Abschließend sei ganz besonders darauf hingewiesen, dass das voranstehend erörterten Ausführungsbeispiel lediglich zur Beschreibung der beanspruchten Lehre dient, diese jedoch nicht auf das Ausführungsbeispiel einschränkt.Finally, it should be particularly noted that the above-discussed embodiment is merely for the description of the claimed teaching, but this does not limit the embodiment.

Claims

Lifting table, in particular for use as a focusing table for a microscope, with a support frame (1) and an object plate (2) hinged to the support frame (1), the object slab (2) being mounted on the support frame (3) via a parallel joint arrangement (3). 1) articulated and relative to the support frame (1) without tilting raised or lowered, characterized in that the parallel joint assembly (3) comprises parallel joints (4, 5) and that the parallel joints (4, 5) a traverse (6) with the support frame ( 1) and connect the traverse (6) with the object plate (2).

Lifting table according to claim 1, characterized in that the parallel joint arrangement (3) comprises two pairs of parallel joints (4, 5) and in that the one pair of parallel joints (4) the traverse (6) with the support frame (1) and the other pair of parallel joints (5) connects the traverse (6) with the object plate (2).

Lifting table according to claim 2, characterized in that it forms a pair of outer parallel links (4) and the other pair of inner parallel links (5), wherein the outer parallel links (4) the traverse (6) with the support frame (1) and the inner parallel joints (4, 5) can connect the traverse (6) with the object plate (2) or where the inner parallel joints the crossbar with the support frame and the outer parallel joints can connect the crossbar with the object plate.

Lifting table according to claim 2 or 3, characterized in that the pairs of parallel joints (4, 5) on one side of the support frame (1) are arranged or that the pairs of parallel joints are arranged on opposite sides of the support frame.

Lifting table according to one of claims 1 to 4, characterized in that the parallel joints (4, 5) at least in pairs extend parallel to each other and / or that the parallel joints (4, 5) are arranged so that they bend in pairs in opposite directions and / or that the parallel joints (4, 5) are designed as solid joints.

Lifting table according to one of claims 1 to 5, characterized in that each parallel joint (4, 5) has two mutually parallel legs (8) on both sides via bending points (9) with the support frame (1), the traverse (6) and the object plate (2) are connected, wherein the legs (8) during bending of the bending points (9) can move parallel to each other and / or wherein the legs (8) of the parallel joints (4, 5) on the bending points (9) in a Storage block (10) can open, which is assigned to the respective components or connected to these.

Lifting table according to one of claims 2 to 6, characterized in that the parallel joints (4, 5) of one of the two pairs are identical and / or that the parallel joints (4, 5) of both pairs are identical.

Lifting table according to one of claims 1 to 7, characterized in that the support frame (1) surrounds the object plate (2) substantially on three sides.

Lifting table according to one of claims 1 to 8, characterized in that the object plate (2) as a cutout of the support frame (1) is executed and / or that the object plate (2) comprises a receiving device (11) for samples or sample holder and / or the object plate (2) has a preferably central passage (12).

Lifting table according to one of claims 1 to 9, characterized by a drive which is supported on a frame or on the support frame (1) and acts against the traverse (6) or the object plate (2), wherein the drive is designed in one or more stages and / or can be designed as Galvanometerantrieb.