[go: up one dir, main page]

EP1665403A1 - Connecting piezoactuator - Google Patents

Connecting piezoactuator

Info

Publication number
EP1665403A1
EP1665403A1 EP04741725A EP04741725A EP1665403A1 EP 1665403 A1 EP1665403 A1 EP 1665403A1 EP 04741725 A EP04741725 A EP 04741725A EP 04741725 A EP04741725 A EP 04741725A EP 1665403 A1 EP1665403 A1 EP 1665403A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
contact surfaces
piezoceramic
contact
piezo actuator
plastic cage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP04741725A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Willibald SCHÜRZ
Martin Simmet
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Continental Automotive GmbH
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG, Siemens Corp filed Critical Siemens AG
Publication of EP1665403A1 publication Critical patent/EP1665403A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure

Definitions

  • the contact surfaces are formed on a bent shaped sheet.
  • the contact surfaces are spaced apart from one another.
  • the shaped sheet is attached to the outer surface of a plastic cage.
  • the piezoceramic is pushed into the interior of the plastic cage in such a way that the contact surfaces lie against a metallization of the piezoceramic.
  • the contact surfaces 30 and 32 are preferably arranged such that the contact surfaces 30 form a first contact path 36 and the contact surfaces 32 form a second contact path 34.
  • the contact surfaces 30 and 32 In the direction of extension of the piezoceramic 26, the contact surfaces 30 and 32 have a certain overlap, so that there is a connection to the piezoceramic at every point in the metallization 28.

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

The production of a piezoactuator (10) requires the use of usually soldered contacting elements. The contact producing process is simplified when the contacts are embodied in the form of contact surfaces (30, 32) on a profiled sheet (12) which is fixed to the external surface (16) of a plastic cage (14). Piezoceramics (26) is introduced into the cavity (18) of said plastic cage (14).

Description

Beschreibungdescription

Kontaktierter PiezoaktorContacted piezo actuator

Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor mit einer Piezokera- mik, die sich beim Anlegen einer Spannung ausdehnen kann und einer Kontaktierung, die an der Piezokeramik anliegt sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung.The invention relates to a piezo actuator with a piezoceramic that can expand when a voltage is applied, and a contact that is applied to the piezoceramic, and a method for its production.

Beim Einsatz derartiger piezo-elektrischer Bauteile, die insbesondere aus Piezokeramiken hergestellt sind, wird der Effekt genutzt, dass diese beim Anlegen eines mechanischen Drucks oder Zuges eine Spannung erzeugen oder umgekehrt, beim Anlegen einer elektrischen Spannung an den Piezoaktor eine Ausdehnung des Aktors erreicht werden kann. Um die nutzbare Ausdehnungslänge zu vergrößern, werden monolithische Viel- schichtaktoren verwendet, die aus einem gesinterten Stapel dünner Folien aus Piezokeramik mit eingelagerten Innenelektroden bestehen. Die Innenelektroden sind wechselseitig aus dem Stapel herausgeführt und über Außenelektroden elektrisch parallel geschaltet. Bevorzugt wird auf beiden Kontaktseiten des Stapels jeweils eine streifen- oder bandförmige durchgehende Außenmetallisierung aufgebracht. Die Außenmetallisierung ist mit allen Innenelektroden gleicher Polarität verbun- den. Zwischen der Außenmetallisierung und den elektrischenWhen using such piezoelectric components, which are made in particular from piezoceramics, the effect is used that they generate a voltage when a mechanical pressure or tension is applied, or vice versa, and an expansion of the actuator can be achieved when an electrical voltage is applied to the piezo actuator , In order to increase the usable expansion length, monolithic multi-layer actuators are used, which consist of a sintered stack of thin foils made of piezoceramic with embedded internal electrodes. The inner electrodes are mutually led out of the stack and electrically connected in parallel via outer electrodes. A strip-like or band-shaped continuous outer metallization is preferably applied to both contact sides of the stack. The outer metallization is connected to all inner electrodes of the same polarity. Between the outer metallization and the electrical

Anschlüssen wird häufig noch eine in vielen Formen ausführbare eiterkontaktierung vorgesehen. Legt man nun eine elektrische Spannung an die Außenmetallisierung an, so dehnt sich die Piezofolie in Richtung des angelegten Feldes. Durch die mechanische Serienschaltung der einzelnen Piezofolien wird die sogenannte Nenndehnung des gesamten Stapels schon bei relativ niedrigen Spannungen erreicht.Connections are often provided in a form of wire contact that can be implemented in many forms. If you now apply an electrical voltage to the outer metallization, the piezo film stretches in the direction of the applied field. The mechanical series connection of the individual piezo films achieves the so-called nominal expansion of the entire stack even at relatively low voltages.

Aus der EP 0 844 678 AI ist ein Kontaktierungsverfahren be- kannt, mit dessen Hilfe eine Piezokeramik so kontaktiert werde kann, dass auch bei hohen dynamischen Belastungen keine Zerstörung des Piezoaktors eintritt. Hierzu wird zwischen der Grundmetallisierung der Piezokeramik und den Anschlusselementen eine dreidimensional strukturierte elektrisch leitende E- lektrode angeordnet. Diese Elektrode ist über partielle Kontaktstellen mit der Grundmetallisierung der Piezokeramik ver- bunden. Zwischen den Kontaktstellen ist sie dehnbar ausgebildet. Mit dieser Anordnung ist gewährleistet, dass der Betriebsstrom des Aktors in Nebenströme aufgeteilt wird, wobei diese von den Kontaktstellen über die Grundmetallisierung zu den metallischen Inselelektroden fließen. Somit kann gewähr- leistet werden, dass auch eine dynamische Belastung des Pie- zoaktors nicht zu seiner Zerstörung führt. Dabei ist die Kon- taktierung allerdings technisch komplex und teuer in seiner Ausführung.A contacting method is known from EP 0 844 678 A1, by means of which a piezo ceramic can be contacted in such a way that the piezo actuator is not destroyed even under high dynamic loads. For this purpose, between the Base metallization of the piezoceramic and the connection elements arranged a three-dimensionally structured electrically conductive electrode. This electrode is connected to the base metallization of the piezoceramic via partial contact points. It is designed to be stretchable between the contact points. This arrangement ensures that the operating current of the actuator is divided into secondary currents, these flowing from the contact points via the base metallization to the metallic island electrodes. This ensures that even dynamic loading of the piezo actuator does not lead to its destruction. However, the contacting is technically complex and expensive to implement.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen Piezoaktor und ein Verfahren zu seiner Herstellung vorzuschlagen, der einfach und kostengünstig elektrisch kontaktiert werden kann.The object of the present invention is therefore to propose a piezo actuator and a method for its production, which can be contacted electrically easily and inexpensively.

Diese Aufgabe wird durch diem Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst.This object is achieved by the features of the independent claims.

Der Piezoaktor weist entsprechend eine Piezokeramik auf, die sich beim Anlegen einer Spannung ausdehnt. Kontaktierungen sind vorgesehen, um die Spannung an der Piezokeramik anzulegen. Diese Kontaktierungen sind dabei als gebogene Formbleche ausgeführt, wobei die Formbleche voneinander beabstandete Kontaktflächen aufweisen, die die Kontaktierung bilden.The piezo actuator accordingly has a piezo ceramic which expands when a voltage is applied. Contacts are provided to apply the voltage to the piezoceramic. These contacts are designed as curved shaped sheets, the shaped sheets having spaced-apart contact surfaces which form the contact.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Formblech gebogen. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist die Biegung der Formbleche so ausgestaltet, dass die Kontaktflächen mit einer definierten Kraft an der Piezokeramik anliegen.In a preferred embodiment, the shaped sheet is bent. In a particularly preferred embodiment, the bending of the shaped sheets is designed such that the contact surfaces bear against the piezoceramic with a defined force.

An der Piezokeramik ist eine Metallisierung vorgesehen, die mit den Kontaktflächen in Verbindung steh . Die Kontaktflä chen an dem Formblech können so ausgeführt sein, dass sie zwei in Längsrichtung des Formbleches verlaufende Kontaktbahnen bilden, die voneinander beabstandet sind. Damit erstrecken sich die Kontaktbahnen in Längsrichtung der Piezokera- mik.Metallization is provided on the piezoceramic, which is connected to the contact surfaces. The contact area Chen on the shaped plate can be designed so that they form two contact tracks extending in the longitudinal direction of the shaped plate, which are spaced apart. The contact tracks thus extend in the longitudinal direction of the piezoceramic.

Weiterhin können die Formbleche an der Außenfläche eines Kunststoffkäfigs befestigt werden. Die Piezokeramik wird in dieser Ausführungsform im Inneren des Kunststoffkäfigs so po- sitioniert, dass die Kontaktflächen der Formbleche eine Metallisierung der Piezokeramik berühren.Furthermore, the shaped sheets can be attached to the outer surface of a plastic cage. In this embodiment, the piezoceramic is positioned in the interior of the plastic cage in such a way that the contact surfaces of the shaped sheets touch a metallization of the piezoceramic.

Zur Herstellung des Piezoaktors werden die Kontaktflächen an einem gebogenen Formblech ausgebildet. Die Kontaktflächen sind dabei voneinander beabstandet. Das Formblech wird an der Außenfläche eines Kunststoffkäfigs befestigt. Die Piezokeramik wird in das Innere des Kunststoffkäfigs so eingeschoben, dass die Kontaktflächen an einer Metallisierung der Piezokeramik anliegen.To manufacture the piezo actuator, the contact surfaces are formed on a bent shaped sheet. The contact surfaces are spaced apart from one another. The shaped sheet is attached to the outer surface of a plastic cage. The piezoceramic is pushed into the interior of the plastic cage in such a way that the contact surfaces lie against a metallization of the piezoceramic.

Bevorzugt werden die Formbleche so gebogen, dass die Kontaktflächen nach dem Einschieben der Piezokeramik in den Kunststoffkäfig mit einer definierten Kraft anliegen.The shaped sheets are preferably bent in such a way that the contact surfaces rest with a defined force after the piezoceramic has been inserted into the plastic cage.

Die Formbleche können zur besseren Kontaktherstellung geätzt werden. Die Befestigung der Formbleche an der Außenseite des Kunststoffkäfigs kann insbesondere durch Verstemmen erfolgen.The mold plates can be etched for better contact making. The shaped sheets can be attached to the outside of the plastic cage in particular by caulking.

Die Formbleche sind so gebogen, dass sich die Kontaktflächen mit einer vorgegebenen Kraft an die seitlich an der Piezokeramik verlaufenden Metallisierung pressen. Die Kontaktflächen sind dabei vorzugsweise ortsfest im Bezug auf die Berührflächen der Metallisierung sind, so dass vorteilhaft bei axialer Auslenkung der Piezokeramik keine reibende Relativbewegung zwischen Kontaktflächen (30,32) und Metallisierung entsteht, was zur zeitweisen Unterbrechung der Kontaktierung führen könnte .The shaped sheets are bent in such a way that the contact surfaces press against the metallization running laterally on the piezoceramic with a predetermined force. The contact surfaces are preferably stationary with respect to the contact surfaces of the metallization, so that advantageously no frictional relative movement between contact surfaces (30, 32) and metallization occurs when the piezoceramic is deflected axially. which could lead to a temporary interruption of contact.

Mit diesem modularen Aufbau der Kontaktierung und der Ausführung als Schleifkontakt kann die Piezokeramik kontaktiert werden, ohne, dass eine Löten der einzelnen Kontaktstellen erforderlich ist. Der modulare Aufbau und das Einschieben der Komponenten ineinander ermöglicht es, dass der Piezoaktor einfach und kostengünstig herstellbar ist, da auf komplizierte Arbeitsschritte verzichtet und auf einfache Materialien zurückgegriffen werden kann.With this modular structure of the contacting and the design as a sliding contact, the piezoceramic can be contacted without having to solder the individual contact points. The modular structure and the insertion of the components into one another make it possible for the piezo actuator to be simple and inexpensive to produce, since complicated work steps can be dispensed with and simple materials can be used.

Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand der nachfolgenden Figuren sowie deren Beschreibungsteile. Es zeigen im Einzelnen:Further advantages and advantageous embodiments of the invention are the subject of the following figures and their description parts. They show in detail:

Fig. 1: eine schematische Ansicht der Einzelkomponenten des PiezoaktorsFig. 1: a schematic view of the individual components of the piezo actuator

Fig. 2: einen fertig montierten PiezoaktorFig. 2: a fully assembled piezo actuator

Fig. 3: einen vergrößerten Ausschnitt der an den Piezoaktor anliegenden Kontaktflächen.3: an enlarged section of the contact surfaces lying against the piezo actuator.

Fig. 1 zeigt in einer schematischen Darstellung die einzelnen Komponenten des Piezoaktors 10 (Fig. 2) . Dabei werden zunächst zwei Formbleche 12 zur Verfügung gestellt. Die beiden Formbleche 12 sind gebogen und bevorzugt geätzt. Ein Kunststoffkäfig 14, der eine Außenfläche 16 und einen Hohlraum 18 aufweist, wird ebenfalls bereitgestellt. Die Biegung der Formbleche 12 wird dabei so ausgeführt, dass die Bleche 12 an der Außenfläche 16 angebracht werden können, wobei der Kunststoffkäfig 14 umhüllt wird. Zum Anbringen der Formbleche 12 sind an der Oberfläche 16 des Kunststoffkäfigs 14 bevorzugt Befestigungspunkte 20 vorgesehen, mit deren Hilfe die Form- bleche befestigt werden können. Hierzu sind an den Formblechen 12 Gegenstücke zu den Befestigungspunkten 20 etwa in Form von Hohlräumen oder Löchern 22 vorgesehen. Damit können die Formbleche an den Befestigungspunkten 20 beispielsweis- verstemmt werden. An den Formblechen 12 können weiterhin Kontaktdrähte 24 angebracht, insbesondere gelötet oder angeschweißt werden.1 shows a schematic representation of the individual components of the piezo actuator 10 (FIG. 2). First, two shaped plates 12 are made available. The two shaped plates 12 are bent and preferably etched. A plastic cage 14 having an outer surface 16 and a cavity 18 is also provided. The bending of the shaped sheets 12 is carried out in such a way that the sheets 12 can be attached to the outer surface 16, the plastic cage 14 being encased. To attach the shaped sheets 12, attachment points 20 are preferably provided on the surface 16 of the plastic cage 14, with the aid of which the shaped sheets can be attached. For this purpose, counterparts to the fastening points 20 are provided on the shaped sheets 12, for example in the form of cavities or holes 22. So that can the shaped sheets are, for example, caulked at the fastening points 20. Contact wires 24 can also be attached to the shaped sheets 12, in particular soldered or welded on.

In den Hohlraum 18 des Kunststoffkäfigs 14 kann eine Piezokeramik 26 eingeschoben werden. Die äußere Form der Piezokeramik 26 ist dabei an die Form des Hohlraums 18 angepasst. Um die Piezokeramik 26 kontaktieren zu können weist sie zumin- dest einen Teilbereich 28 auf, der metallisiert ist.A piezoceramic 26 can be inserted into the cavity 18 of the plastic cage 14. The outer shape of the piezoceramic 26 is adapted to the shape of the cavity 18. In order to be able to contact the piezoceramic 26, it has at least one partial area 28 which is metallized.

Da die Biegung der Formbleche 12 so vorgesehen ist, dass die Kontaktflächen 30,32 mit einer definierten Kraft an der Metallisierung 28 anliegen, kann bereits mit dem Einschieben der Piezokeramik 26 eine Kontaktierung an der Metallisierung 28 hergestellt werden. Dabei ist es nicht erforderlich, dass die Kontaktierung durch Löten von einzelnen Kontaktstellen zustande gebracht wird.Since the bending of the shaped plates 12 is provided in such a way that the contact surfaces 30, 32 bear against the metallization 28 with a defined force, a contact can be made on the metallization 28 when the piezoceramic 26 is inserted. It is not necessary for the contacting to be brought about by soldering individual contact points.

Wie der Figur 2 zu entnehmen ist, weist der so hergestellte Piezoaktor 10 gebogene Formbleche 12 auf, die auf den Kunststoffkäfig 14 außen aufgebracht sind. In einem inneren Hohlraum des Kunststoff äfigs 14 ist die Piezokeramik 26 eingebracht. Zur Kontaktierung des Piezoaktors 10 können Kontakt- drahte 24 an den Außenflächen der Formbleche 12 montiert sein. Der so hergestellt Piezoaktor kann anschließend mit einer isolierenden Folie umwickelt und so weit erforderlich zu einer Aktoreinheit komplettiert werden.As can be seen in FIG. 2, the piezo actuator 10 produced in this way has curved shaped plates 12 which are applied to the outside of the plastic cage 14. The piezoceramic 26 is introduced into an inner cavity of the plastic cage 14. For contacting the piezo actuator 10, contact wires 24 can be mounted on the outer surfaces of the shaped plates 12. The piezo actuator produced in this way can then be wrapped with an insulating film and, if necessary, completed to form an actuator unit.

Wie in der vergrößerten Darstellung der Figur 3 dargestellt ist, sind die Kontaktflächen 30 und 32 bevorzugt so angeordnet, dass die Kontaktflächen 30 eine erste Kontaktbahn 36 und die Kontaktflächen 32 eine zweite Kontaktbahn 34 bilden. In Erstreckungsrichtung der Piezokeramik 26 weisen die Kontakt- flächen 30 und 32 eine gewisse Überdeckung auf, sodass an jeder Stelle der Metallisierung 28 eine Verbindung zur Piezokeramik besteht. As shown in the enlarged illustration in FIG. 3, the contact surfaces 30 and 32 are preferably arranged such that the contact surfaces 30 form a first contact path 36 and the contact surfaces 32 form a second contact path 34. In the direction of extension of the piezoceramic 26, the contact surfaces 30 and 32 have a certain overlap, so that there is a connection to the piezoceramic at every point in the metallization 28.

Claims

Patentansprüche claims 1. Piezoaktor (10) mit einer Piezokeramik (26), die sich beim Anlegen einer Spannung ausdehnen kann und Kontaktierungen, die an der Piezokeramik (26) anliegen, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass die Kontaktierungen als Formbleche (12) ausgeführt sind, die voneinander beabstandete Kontaktflächen (30,32) aufweisen.1. Piezo actuator (10) with a piezoceramic (26) that can expand when a voltage is applied and contacts that are applied to the piezoceramic (26), characterized in that the contacts are designed as shaped plates (12) that have spaced apart contact surfaces (30,32). 2. Piezoaktor (10) nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass die Formbleche (12) gebogen sind.2. Piezo actuator (10) according to claim 1, characterized in that the shaped plates (12) are bent. 3. Piezoaktor (10) nach Anspruch 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, dass die Formbleche (12) so gebogen sind, dass sich die Kontaktflächen (30,32) mit einer vorgegebenen Kraft an der Piezokeramik (26) zum Bilden eines elektrischen Kontakts pressen.3. Piezo actuator (10) according to claim 1 or 2, characterized in that the shaped plates (12) are bent such that the contact surfaces (30, 32) press against the piezo ceramic (26) with a predetermined force to form an electrical contact. 4. Piezoaktor (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 3 dadurch gekennzeichnet, dass an der Piezokeramik (26) eine vorzugsweise seitlich entlang der Piezolängsachse verlaufende Metallisierung (28) vorgesehen ist, an der die Kontaktflächen (30,32) anliegen, wobei die Kontaktflächen vorzugsweise ortsfest im Bezug auf die Berührflächen der Metallisierung (28) sind, so dass bei axialer Auslenkung der Piezokeramik (10) keine reibende Relativbewegung zwischen Kontaktflächen (30,32) und Metallisierung entsteht.4. Piezo actuator (10) according to one of claims 1 to 3, characterized in that on the piezoceramic (26) is preferably a laterally extending along the longitudinal axis of the metallization (28) is provided, on which the contact surfaces (30, 32) abut, the Contact surfaces are preferably stationary with respect to the contact surfaces of the metallization (28), so that there is no rubbing relative movement between the contact surfaces (30, 32) and the metallization when the piezoceramic (10) is axially deflected. 5. Piezoaktor (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktflächen (30,32) so ausgeführt sind, dass die ersten Kontaktflächen (30) eine erste Kontaktbahn (36) und die zweiten Kontaktflächen (32) eine zweite Kontaktbahn (34) bilden. 5. Piezo actuator (10) according to one of claims 1 to 4, characterized in that the contact surfaces (30, 32) are designed such that the first contact surfaces (30) a first contact path (36) and the second contact surfaces (32) a second Form contact path (34). 6. Piezoaktor (10) nach Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass sich die Kontaktflächen (30,32) der beiden Kontaktbahnen (34,36) in Längsrichtung der Piezokeramik (26) erstrecken.6. Piezo actuator (10) according to claim 5, characterized in that the contact surfaces (30, 32) of the two contact tracks (34, 36) extend in the longitudinal direction of the piezo ceramic (26). 7. Piezoaktor (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 6 dadurch gekennzeichnet, dass die Formbleche (12) an einer Außenfläche (18) eines Kunststoffkäfigs (14) befestigt sind und die Piezokeramik (26) in einem Hohlraum (18) des Kunststoffkäfigs positioniert ist.7. Piezo actuator (10) according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the shaped plates (12) on an outer surface (18) of a plastic cage (14) are attached and the piezoceramic (26) positioned in a cavity (18) of the plastic cage is. 8. Piezoaktor (10) nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Formbleche (12) an Befestigungspunkten (20) des bzw. eines Kunststoffkäfigs (14) befestigt, vorzugsweise verstemmt sind.8. Piezo actuator (10) according to any one of the preceding claims, characterized in that the shaped plates (12) are attached, preferably caulked, to fastening points (20) of the or a plastic cage (14). 9. Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktors (10) mit einer Piezokeramik (26) und einer Kontaktierung dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierung als Kontaktflächen (30,32) an einem gebogenen Formbleche (12) ausgebildet werden, wobei die Kontaktflächen (30,32) voneinander beabstandet sind, die Formbleche (12) an der Außenfläche (18) eines Kunststoffkäfigs (14) befestigt wird und die Piezokeramik (26) in einen Hohlraum (18) des Kunststoffkäfigs (14) so eingeschoben wird, dass die Kontaktflächen (30,32) an einer Metallisierung (28) der Piezokeramik (26) anliegen.9. A method for producing a piezo actuator (10) with a piezoceramic (26) and a contact characterized in that the contact is formed as contact surfaces (30, 32) on a curved shaped sheet (12), the contact surfaces (30, 32) are spaced from one another, the shaped sheets (12) are attached to the outer surface (18) of a plastic cage (14) and the piezoceramic (26) is inserted into a cavity (18) of the plastic cage (14) in such a way that the contact surfaces (30, 32 ) rest on a metallization (28) of the piezoceramic (26). 10. Verfahren nach Anspruch 9 dadurch gekennzeichnet, dass die Formbleche (12) so gebogen werden, dass sie nach dem Einschieben der Piezokeramik (26) mit einer definierten Kraft anliegen.10. The method according to claim 9, characterized in that the shaped sheets (12) are bent so that they rest after the insertion of the piezoceramic (26) with a defined force. 11. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 oder 10 dadurch gekennzeichnet, dass die Formbleche (12) geätzt werden.11. The method according to any one of claims 9 or 10, characterized in that the shaped plates (12) are etched. 12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11 dadurch ge- kennzeichnet, dass die Formbleche (12) an Befestigungspunkten12. The method according to any one of claims 9 to 11, characterized in that the shaped plates (12) at fastening points (20) des Kunststoffkäfigs (14) befestigt, insbesondere verstemmt werden. (20) of the plastic cage (14) attached, in particular caulked.
EP04741725A 2003-09-08 2004-06-03 Connecting piezoactuator Withdrawn EP1665403A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10341333A DE10341333B4 (en) 2003-09-08 2003-09-08 Piezoelectric actuator and method for producing a piezoelectric actuator
PCT/EP2004/051015 WO2005027235A1 (en) 2003-09-08 2004-06-03 Connecting piezoactuator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP1665403A1 true EP1665403A1 (en) 2006-06-07

Family

ID=34305614

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP04741725A Withdrawn EP1665403A1 (en) 2003-09-08 2004-06-03 Connecting piezoactuator

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7605520B2 (en)
EP (1) EP1665403A1 (en)
CN (1) CN1849716A (en)
DE (1) DE10341333B4 (en)
WO (1) WO2005027235A1 (en)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7691998B2 (en) * 2002-11-14 2010-04-06 Dharmacon, Inc. siRNA targeting nucleoporin 62kDa (Nup62)
US20100113307A1 (en) * 2002-11-14 2010-05-06 Dharmacon, Inc. siRNA targeting vascular endothelial growth factor (VEGF)
WO2006006948A2 (en) * 2002-11-14 2006-01-19 Dharmacon, Inc. METHODS AND COMPOSITIONS FOR SELECTING siRNA OF IMPROVED FUNCTIONALITY
US8090542B2 (en) * 2002-11-14 2012-01-03 Dharmacon Inc. Functional and hyperfunctional siRNA
DE102005043622A1 (en) * 2005-09-13 2007-03-22 Siemens Ag Piezoelectric actuator or piezoelectric drive device
DE102005044390A1 (en) * 2005-09-16 2007-03-29 Siemens Ag Piezo-electric actuator is enveloped in multi-layered foil with electrical insulators and insulants
DE102006006077B4 (en) 2006-02-09 2009-04-09 Continental Automotive Gmbh Piezoceramic multilayer actuator, method for producing a piezoceramic multilayer actuator and injection system
DE102008050539A1 (en) 2008-10-06 2010-04-08 Epcos Ag Piezo actuator with external electrode
DE102009009164B4 (en) * 2009-02-16 2014-10-02 Continental Automotive Gmbh Piezoelectric actuator, method for producing the actuator and injector
DE102009034099A1 (en) * 2009-07-21 2011-01-27 Epcos Ag Piezo actuator with electrical contact
DE102011014446A1 (en) * 2011-03-18 2012-09-20 Epcos Ag Monolithic multilayer piezoelectric actuator for actuating injection valve in motor car, has outer electrode including contacted portions that are mechanically and electrically connected with electrode contact layer
KR101920730B1 (en) * 2011-08-08 2018-11-22 삼성전자주식회사 ZnSnO3/ZnO nanowire having core-shell structure, method of forming ZnSnO3/ZnO nanowire and nano generator including ZnSnO3/ZnO nanowire, and method of forming ZnSnO3 nanowire and nano generator including ZnSnO3 nanowire
JP5842635B2 (en) * 2012-01-27 2016-01-13 Tdk株式会社 Multilayer piezoelectric element
DE102012215774A1 (en) * 2012-09-06 2014-03-06 Robert Bosch Gmbh Piezoelectric actuator

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5271133A (en) * 1992-09-21 1993-12-21 Caterpillar Inc. Method for making a piezoelectric stack
DE19648545B4 (en) * 1996-11-25 2009-05-07 Ceramtec Ag Monolithic multilayer actuator with external electrodes
DE19715488C1 (en) * 1997-04-14 1998-06-25 Siemens Ag Piezoelectric actuator
DE19910111B4 (en) * 1999-03-08 2007-06-06 Siemens Ag Method for producing an electrotechnical component with a plastic-passivated surface and apparatus for carrying out the method
DE19917728A1 (en) * 1999-04-20 2000-10-26 Bosch Gmbh Robert Piezoelectric actuator particularly for operating control valves or injection valves in vehicles, has additional planar electrode strip adjacent actuator body with double comb-type legs
JP4248777B2 (en) * 2000-12-28 2009-04-02 株式会社デンソー Piezoelectric element for injector, method for manufacturing the same, and injector
JP2002203997A (en) * 2000-12-28 2002-07-19 Denso Corp Piezoelectric actuator
WO2002089226A2 (en) * 2001-04-30 2002-11-07 Siemens Aktiengesellschaft Additional contacting for an electric component and piezoelectric component in the form of a multilayer structure
GB0111308D0 (en) * 2001-05-09 2001-06-27 Tyco Electronics Ltd Uk Electrical interconnect assembly
DE10126656A1 (en) * 2001-06-01 2002-12-05 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Electromechanical converter with piezoelectric element(s) e.g. for sensors, has contact lug that directly contacts first electrode with aperture for conductive adhesive for joining lug to electrode
DE10131621A1 (en) * 2001-06-29 2003-01-23 Epcos Ag Further contact for an electrical component as well as a piezoelectric component in multi-layer construction
DE10229494A1 (en) * 2002-07-01 2004-01-29 Siemens Ag Piezo actuator and method for its production
DE10241992B4 (en) * 2002-09-11 2005-05-04 Siemens Ag Piezoelectric actuator

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2005027235A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
US20070040480A1 (en) 2007-02-22
DE10341333A1 (en) 2005-04-28
US7605520B2 (en) 2009-10-20
DE10341333B4 (en) 2006-06-08
WO2005027235A1 (en) 2005-03-24
CN1849716A (en) 2006-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1160925B1 (en) Electrical contact
DE19930585B4 (en) Piezoelectric actuator with improved electrical contacting and use of such a piezoelectric actuator
DE10026005B4 (en) piezo actuator
DE10341333B4 (en) Piezoelectric actuator and method for producing a piezoelectric actuator
DE10236986A1 (en) Piezoelectric actuator for operating a switching valve in vehicle fuel injection systems has an electrode structure consisting of a first outer electrode and a second flexible outer electrode formed by a helix
DE102017100445B3 (en) Capacitive force sensor with improved attachment
EP1741162B1 (en) Electric functional unit and method for the production thereof
DE10241992B4 (en) Piezoelectric actuator
EP0451533B1 (en) Piezoelectric ceramic transducer disc and process for making the same
EP1920473B1 (en) Piezoelectric actuator with internal contact-connection
DE102012216051A1 (en) Electrohydraulic pressure control device for motor vehicle brake systems
EP1384272B1 (en) Additional contacting for an electric component and piezoelectric component in the form of a multilayer structure
EP1405372B1 (en) Additional contact for an electric component and piezoelectric component in the form of a multilayer structure
EP2510566A1 (en) Connection element
DE10354220A1 (en) Commutator for an electric machine
WO2005074050A2 (en) Piezo actuator and a method for the production thereof
WO2012080381A1 (en) Piezoelectric actuator
DE102009009164B4 (en) Piezoelectric actuator, method for producing the actuator and injector
DE102004005030A1 (en) Electronic component on a carrier element
DE102012204371A1 (en) Contact arrangement and electrical switching device
EP2071293A2 (en) Position sensor
DE102006012321A1 (en) Piezoelectric device e.g. actuator, for use as operating device, has piezoelectric converter with piezoelectric layer, and electrode layers, where one electrode layer is made of intrinsically conductive organic polymer material
DE102015216732B4 (en) Housing with a circuit board arranged in it
DE102006018056A1 (en) Piezoelectric actuator with externally contacted internal electrodes of a piezoelectric element
DE102005044391B4 (en) Piezoelectric actuator with improved contacting of the actuator body with the contact pins

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20060126

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE FR GB IT

17Q First examination report despatched

Effective date: 20060726

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): DE FR GB IT

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: CONTINENTAL AUTOMOTIVE GMBH

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20100105