EA016639B1 - Стеклянное изделие и способ изготовления стеклянного изделия - Google Patents

Abstract

Стеклянное изделие (1) по данному изобретению включает стеклянную подложку (2), отражающий металлический слой (3), осажденный на стеклянную подложку, и пассивирующий слой (4), осажденный на отражающий металлический слой. В соответствии с данным изобретением пассивирующий слой (4) осажден с применением способа осаждения атомных слоев.

Description

Область техники

Данное изобретение относится к стеклянным изделиям и их изготовлению, причем стеклянные изделия включают, по меньшей мере, стеклянную подложку; отражающий металлический слой, осажденный на эту подложку; и защитный слой из пассивирующего материала, покрывающий металлический слой. Стеклянное изделие по данному изобретению можно применять, например, в качестве оконных стекол с низким коэффициентом излучения, зеркал и оптических элементов или элементов стекловолоконной оптики.

Уровень техники

Стеклянная подложка, покрытая отражающим металлическим слоем, имеет много важных применений. Одним распространенным примером является так называемое стекло с низким коэффициентом излучения, т.е. оконное стекло с низким коэффициентом излучения, отражающее в обратном направлении идущее из помещения тепловое излучение, тем самым уменьшая потери тепла из здания. Другими хорошо известными примерами являются зеркала и оптические элементы.

Отражающий слой металла должен обладать высокими отражающими свойствами и быть как можно более коррозионностойким при контакте с воздухом. Хорошим выбором материала с точки зрения отражательной способности является серебро. Однако в атмосфере серебро обычно быстро тускнеет, особенно в присутствии серы. В частности, эффективной причиной потускнения серебра являются различные вещества, присутствующие в атмосфере промышленных предприятий. При потускнении на поверхности серебра образуются сульфиды, оксиды и карбиды. Естественно, потускнение ухудшает оптические свойства серебра, такие как отражательная способность.

Покрытое металлом стеклянное изделие, например стеклянную пластину, обычно получают с использованием процесса напыления. Из-за упомянутой склонности поверхности металла к потускнению, на слой металла часто напыляют слой оксида металла, чтобы защитить поверхность металла. При напылении оксида металла следует гарантировать один важный аспект, а именно, чтобы реакционноспособная, обогащенная кислородом атмосфера процесса напыления сама по себе не вызвала потускнения поверхности серебра. В υδ 4421622 описан способ, в котором используют введение в камеру для напыления небольшого количества водорода, чтобы предотвратить потускнение серебра. В качестве другого способа в этом документе описано также предотвращение потускнения путем первоначального распыления, с высокой скоростью осаждения, первого слоя оксида металла толщиной примерно 100 А, после чего оставшуюся часть оксидного слоя напыляют с использованием нормальной, более медленной скорости осаждения. Вместо этого, в И8 4462883 описано сначала напыление на серебро, перед оксидом металла, слоя какого-либо другого металла. Подобный принцип использования осаждения промежуточного металлического слоя перед напылением оксида металла раскрыт также в ΕΙ 90655 С.

В случае окон с низким коэффициентом излучения и других применений, где важно, чтобы излучение легко проходило через стеклянное изделие, желательно, с точки зрения оптических свойств стеклянного изделия, иметь как можно более высокий показатель преломления слоя оксида металла, предпочтительно выше 2. Высокий показатель преломления снижает отражательную способность слоя металла в отношении длин волн видимого света, улучшая таким образом прозрачность стеклянного продукта. Естественно, в то же время поглощение света в слое оксида металла должно быть как можно более низким.

Для того чтобы обеспечить долгий срок службы стеклянного изделия, которое подвергают воздействию изменяющихся атмосферных условий, адгезия оксида металла к отражающему слою металла должна быть как можно более сильной. Кроме того, слой оксида металла не должен содержать пор или трещин, через которые слой металла может подвергаться коррозии. В И8 4716086 описано покрытие, защищающее отражающую металлическую поверхность, состоящее из неотражающего слоя оксида металла, осажденного на слой металла, и защитной пленки оксида металла, имеющей толщину 10-50 А, осажденной на неотражающий слой оксида металла. Слои оксида металла наносят напылением.

Существует несколько проблем, связанных с напыленными слоями оксидов металлов. Например, разброс толщины слоев обычно является значительным. В качестве примера, в И8 6541133 В1 описан напыленный слой оксида металла в качестве защитного покрытия на металлической поверхности, который включает оксиды цинка и олова, допированные, по меньшей мере, некоторыми из следующих элементов: А1, Са, Ιη, В, Υ, Ьа, Се, δί, Р, Ак, 8Ь, В1, Се, Τι, Ζτ, N6 и Та. Толщина слоя оксида металла составляет от 2 до 6 нм. Также и обычно отклонение толщины напыленного слоя оксида металла составляет в обоих направлениях несколько процентов относительно среднего значения. Один из примеров разброса толщины в напыленных слоях опубликован 1иап е1 а1. в Нщ11 ВеДесЙУЙу тютотнтога ГаЬпеа1еб Ьу Ыдй акрес! тайо δί щбе^а1к, 1оитпа1 оГ Уасиит 8с1епсе & ТесЪпо1о§у В: 1шсгое1ес1гошс5 апб Nаηотеΐе^ 81гис1иге5, уо1. 15, Уне. 6, р. 2661-2665. Приведенное отклонение составляло 6%. Кроме того, ясно, что колебание толщины увеличивается, если профиль покрываемой поверхности отклоняется от плоскости. Из-за того что процесс напыления идет по линии прямой видимости, в случае объекта со сложной формой некоторые области объекта могут даже остаться непокрытыми и, таким образом, доступными для коррозии.

- 1 016639

Требование однородности защитного слоя оксида металла является особенно важным в применениях, требующих высокого оптического качества поверхностей. Одним из примеров такого типа являются зеркала для телескопов. Для этого вида изделий в процессах напыления существующего уровня техники применяемый при напылении магнетрон следует перемещать и вращать точно определенным образом, чтобы получить слой достаточно однородной толщины. Тем не менее, полученное относительное отклонение толщины может составлять, например, ±5%. Для слоя с номинальной толщиной 20 нм это составляет абсолютное отклонение толщины ±1 нм. Результаты такого типа приведены, например, Воссах с1 а1. в работе Рго1сс1сб-хПтсг соаОпдх Гог 111с 8-т Сстий 1с1схсорс титога, ТЫи 8оМ РПтх. νοί. 502, 2006, р. 275-280.

Напыление представляет собой метод физического осаждения из паровой фазы (ФОПФ), что означает, что между напыленным слоем и подложкой, на которую он осажден, отсутствуют химические связи. Таким образом, связь между слоями является не очень прочной, и структура поверхности раздела слоев может иметь дефекты, которые в оптических устройствах могут ухудшать оптические характеристики структуры.

Таким образом, понятно, что существует потребность в стеклянных изделиях и способе их изготовления; в стеклянных изделиях, снабженных отражающим металлическим слоем, поверхность которого защищена сплошным и повторяющим его форму покрытием из оксида металла, предпочтительно прочно прикрепленным к металлическому слою и имеющим однородную толщину. Стеклянные изделия такого типа можно применять, например, для окон с низким коэффициентом излучения; для различных видов зеркал, например зеркал для телескопов; линз и других элементов оптических инструментов, а также в элементах стекловолоконной оптики.

Целью данного изобретения является удовлетворение указанной потребности путем обеспечения стеклянного изделия указанного типа и способа изготовления таких стеклянных изделий.

Описание изобретения

Стеклянное изделие по данному изобретению имеет отличительные признаки, указанные в п.1 формулы изобретения. Оно включает стеклянную подложку; отражающий металлический слой, осажденный на стеклянную подложку; и пассивирующий слой, осажденный на слой металла. Стеклянная подложка означает твердый стеклянный предмет, при этом его форма, размер и другие свойства определяются предполагаемым применением конечного стеклянного изделия. Отражающий в тексте настоящего описания означает поверхность, которая отражает по меньшей мере в одном диапазоне длин волн, по меньшей мере частично, падающее на нее электромагнитное излучение. Как разъяснено ниже, фактическая отражающая характеристика зависит от фактического исполнения стеклянного изделия. Отражающий металлический слой обычно, но не обязательно, осажден непосредственно на стеклянную подложку. В предпочтительном воплощении данного изобретения пассивирующий слой осажден непосредственно на поверхность отражающего металлического слоя.

В соответствии с данным изобретением пассивирующий слой осажден с использованием процесса осаждения атомных слоев (ОАС). Процесс осаждения атомных слоев известен как тонкопленочная технология, позволяющая обеспечить точное и хорошо регулируемое получение тонкопленочных покрытий толщиной нанометрового масштаба. Осаждение атомных слоев иногда называют нанесением покрытий из атомных слоев (НПАС) или эпитаксиальным выращиванием атомных слоев (ЭВАС). В процессе осаждения атомных слоев подложку попеременно приводят в контакт по меньшей мере с двумя предшественниками (с одним предшественником за один раз), чтобы образовать на подложке покрытие путем попеременных, повторяющихся, по существу, самолимитированных поверхностных реакций между поверхностью подложки (на более поздних стадиях, естественно, поверхностью уже образованного на подложке покрытия) и предшественниками. В результате, осаждаемый материал выращивают на подложке, молекулярный слой за молекулярным слоем.

В целом, слои покрытия, нанесенные ОАС, имеют несколько преимуществ. Во-первых, образование покрытия осаждением одного молекулярного слоя на другой обеспечивает очень хорошую возможность регулирования толщины слоя. Во-вторых, благодаря регулируемым поверхностным реакциям, протекающим в процессе осаждения, покрытие осаждают однородно, по всей поверхности подложки, независимо от геометрии подложки. В-третьих, благодаря присоединению молекул исходного материала к подложке за счет хемосорбции покрытие соединено с подложкой химическими связями, образованными между молекулами покрытия и подложки, что обеспечивает очень прочное прикрепление покрытия к подложке. Таким образом, в стеклянном изделии по данному изобретению преимущества, которые достигаемые благодаря пассивирующему слою, получаемому методом осаждения атомных слоев, включают малый разброс толщины пассивирующего слоя;

хорошее совпадение формы слоя оксида металла и отражающего металлического слоя, также и в стеклянных изделиях сложной формы;

в предпочтительном воплощении, при осаждении пассивирующего слоя непосредственно на отражающую металлическую поверхность, прочное прикрепление защитного пассивирующего слоя к отражающему металлическому слою.

- 2 016639

Отклонение толщины пассивирующего слоя может составлять, например, менее ±2%, даже ±0,5% от средней толщины. Следовательно, искажения оптических свойств стеклянного изделия, вызываемые разбросом толщины пассивирующего слоя, можно поддерживать пренебрежимо малыми. В качестве одного из важных эффектов этого, стеклянное изделие может иметь, по существу, однородные оптические характеристики в интересующем диапазоне длин волн. Малое относительное отклонение толщины также позволяет получить большую абсолютную толщину пассивирующего слоя, чем толщина напыленного слоя. Это означает, что если имеется максимальное значение приемлемого отклонения абсолютной толщины оксида металла, то общая толщина слоя может быть выше в случае низкого относительного отклонения. Большая толщина защитного слоя означает, естественно, лучшую защиту от диффузии коррозионных материалов и от химических реакций.

Получение методом ОАС пассивирующего слоя, повторяющего форму подложки, позволяет применять основной принцип данного изобретения и в стеклянных изделиях со сложной геометрией. В стеклянном изделии сложной формы однородность толщины пассивирующего слоя также обеспечивает эффективный расход материала, без какого-либо излишнего избытка оксида металла из-за наличия областей с толщиной слоя, превышающей требуемую.

Указанное прочное прикрепление защитного пассивирующего слоя, покрывающего отражающий металлический слой, снижает вероятность отслаивания пассивирующего материала.

Таким образом, исходя из вышеизложенного, данное изобретение обеспечивает большие преимущества по сравнению с технологиями существующего уровня техники, недостатками которых являются большой разброс толщины, плохое совпадение с формой подложки и слабое прикрепление пассивирующего слоя.

Благодаря своей чрезвычайно высокой отражающей способности одним из предпочтительных материалов для отражающего металлического слоя является серебро.

В одном из предпочтительных воплощений пассивирующий слой включает оксид металла, который, в свою очередь, предпочтительно включает оксид по меньшей мере одного из следующих металлов: А1, Τι, Ζγ, N6. Ζη, 8ί, Та, ПТ. Оксиды металлов, особенно перечисленные выше оксиды, пригодны для ОАС процесса, и они действуют в качестве эффективного диффузионного и химического барьера. Кроме того, их можно осаждать непосредственно на отражающий металлический слой, состоящий, например, из серебра. Другим хорошим выбором материала для пассивирующего слоя является сульфид цинка Ζηδ. Благодаря своему распространенному применению в оптической области сульфид цинка особенно пригоден для пассивирующего слоя в оптических элементах.

Общая толщина пассивирующего материала, покрывающего отражающий металлический слой, предпочтительно составляет менее примерно 200 нм, более предпочтительно менее примерно 100 нм, наиболее предпочтительно менее примерно 50 нм. Общая толщина пассивирующего материала связана с возможностью создать на отражающем металлическом слое несколько наложенных друг на друга пассивирующих слоев. Предел по общей толщине является результатом сведения к минимуму влияния пасивирующего материала на оптические характеристики стеклянного изделия. Уже толщина менее 200 нм обычно является весьма хорошим выбором. Толщина менее 100 нм обычно предотвращает цветовые эффекты, вызванные интерференцией. Сведения к минимуму также и поглощения в пассивирующем слое наиболее эффективно достигают при толщине менее 50 нм. Таким образом, хотя с точки зрения защиты можно было бы предполагать как можно более толстый защитный слой, с точки зрения оптических характеристик (например, из-за эффектов интерференции) необходимо ограничивать толщину.

В одном из предпочтительных воплощений данного изобретения стеклянное изделие по данному изобретению представляет собой плоское стеклянное изделие для окон с низким коэффициентом излучения. В этом применении стеклянная подложка представляет собой лист плоского стекла. В окне с низким коэффициентом излучения отражающий металлический слой предпочтительно подбирают так, чтобы он хорошо отражал в инфракрасной области длин волн, для эффективного предотвращения утечки теплового излучения из внутренних помещений. С другой стороны, способность к отражению и поглощению в видимой области спектра, нарушающая прозрачность окна, должна быть как можно более низкой.

С другой стороны, в другом предпочтительном воплощении стеклянное изделие представляет собой зеркало. Для зеркала, естественно, задачей отражающего металлического слоя является отражать все поступающее излучение в интересующем диапазоне длин волн как можно с большей эффективностью. Хорошая защита отражающего металлического слоя от коррозии посредством прочно прикрепленного, повторяющего форму подложки пассивирующего слоя из оксида металла, имеющего однородную толщину, обеспечивает очень продолжительный срок службы зеркал в различных условиях. Зеркало может быть плоским зеркалом или, например, телескопическим зеркалом с вогнутой геометрией отражающей поверхности. Данное изобретение обеспечивает особенно большие преимущества в случае возможных очень крупных зеркал для телескопов, также и с точки зрения изготовления и технологического оборудования. В случае таких больших, имеющих сложную форму поверхностей осаждение пассивирующего слоя с помощью процесса, где осаждение происходит по линии прямой видимости, например процесса напыления, требует значительно больших усилий, чем при использовании ОАС.

- 3 016639

Преимущества в отношении однородной толщины пассивирующего слоя и соответствия его форме подложки, возможно, являются наиболее очевидными в воплощении, где стеклянное изделие представляет собой оптический элемент, например линзу, для оптической системы. В оптическом элементе назначением отражающей металлической поверхности обычно является отражение инфракрасной части падающего излучения. В оптических элементах, естественно, решающими являются оптические свойства. Часто уже очень небольшие отклонения, например толщины пассивирующего слоя, могут оказать вредное влияние на оптические характеристики. С этой точки зрения данное изобретение обеспечивает большие преимущества. Стеклянную подложку для зеркала или оптического элемента, при необходимости, имеющую сложную форму, можно получить, например, путем отливки и/или шлифовки.

В дополнение к оптическим элементам, упомянутым выше, стеклянное изделие по данному изобретению может также быть элементом стекловолоконной оптики. Для удовлетворительной работы элемента стекловолоконной оптики часто требуется очень точная геометрия пассивирующего слоя. Таким образом, данное изобретение может также привести к значительным улучшениям и в таких элементах.

Кроме исключительно альтернативных стеклянных изделий по пп.8-10, один или более предпочтительных признаков, определенных выше, могут присутствовать в стеклянном изделии по данному изобретению в любых сочетаниях.

Способ по данному изобретению имеет отличительные признаки, указанные в п.11. Способ изготовления стеклянного изделия включает осаждение отражающего металлического слоя на стеклянную подложку и осаждение пассивирующего слоя на металлический слой. Отражающий металлический слой обычно, но не обязательно, осаждают непосредственно на поверхность стеклянной подложки с использованием, например, напыления.

Согласно данному изобретению пассивирующий слой осаждают предпочтительно непосредственно на отражающую металлическую поверхность с использованием процесса ОАС, основные принципы и свойства которого, так же как и преимущества, достигаемые с его помощью при осаждении оксида металла, описаны выше.

Температура, используемая в процессе ОАС, зависит от осаждаемого материала. В общем, часто бывает желательно использовать достаточно высокие температуры. Однако в данном изобретении в случае осаждения оксида металла в качестве материала пассивирующего слоя предпочтительно использовать температуру, при которой окисление поверхности отражающего металлического слоя остается как можно более низким. Таким образом, в предпочтительном воплощении данного изобретения пассивирующий слой осаждают при температуре от 30 до 400°С, более предпочтительно от 80 до 300°С, наиболее предпочтительно от 100 до 150°С.

Предшественник для осаждения оксида металла зависит от оксида металла. Например, для оксида алюминия А1₂О₃ можно применять триметилалюминий (СН₃)₃А1. Предпочтительным выбором в качестве источника кислорода является вода Н₂О. Использование воды дает возможность сохранять низким окисление поверхности отражающего металлического слоя в ходе процесса осаждения. Другими пригодными источниками кислорода являются озон О3 и кислородная плазма.

С другой стороны, в другом предпочтительном воплощении данного изобретения осаждение пассивирующего слоя включает осаждение сульфида цинка.

Краткое описание чертежей

Далее данное изобретение описано более подробно с помощью сопровождающих чертежей.

Фиг. 1 представляет собой схематическое изображение стеклянного изделия по данному изобретению.

Фиг. 2 иллюстрирует осаждение пассивирующего материала по данному изобретению.

Подробное описание изобретения

Стеклянное изделие 1 на фиг. 1 может представлять собой, например, стеклянный лист для окна с низким коэффициентом излучения. Стеклянное изделие включает стеклянную подложку 2, слой 3 серебра, прикрепленный к стеклянной подложке, и слой 4 оксида алюминия, осажденный на отражающий слой серебра с помощью АОС. Между стеклянной подложкой 2 и отражающим слоем 3 серебра может находиться адгезионный слой или какой-либо другой слой покрытия. Назначением слоя 3 серебра является отражение по меньшей мере части падающего излучения. В случае окна с низким коэффициентом излучения это означает снижение потерь тепла из здания посредством отражения в обратном направлении теплового излучения из внутренних помещений. С другой стороны, в воплощении оконного стекла толщина слоя 3 серебра должна быть достаточно тонкой, чтобы не нарушать в существенной степени прохождение видимого света через окно. Слой 4 оксида алюминия действует в качестве защиты серебра от потускнения вследствие различных видов коррозионных процессов. Чтобы свести к минимуму влияние слоя 4 оксида алюминия на оптические характеристики стеклянного изделия 1, толщина слоя оксида алюминия предпочтительно составляет менее 50 нм.

В результате процесса осаждения атомных слоев слой 4 оксида алюминия имеет очень однородную толщину по всей покрытой серебром поверхности. Отклонение толщины обычно составляет менее ±2% от средней толщины оксида металла. Другим преимущественным признаком, достигаемым в результате

- 4 016639 применения процесса ОАС, является то, что слой 4 оксида алюминия очень прочно прикреплен к поверхности серебра благодаря образованию химических связей. Это эффективно снижает вероятность отслаивания оксида металла, что приводит к длительному сроку службы и надежной работе стеклянного изделия 1. В качестве третьей важной характеристики стеклянного изделия, хотя и не в достаточной степени проиллюстрированной плоской геометрией примера фиг. 1, слой 4 оксида алюминия покрывает отражающий слой 3 серебра стеклянного изделия с хорошим совпадением по форме, т.е. слой 4 оксида алюминия повторяет профиль поверхности отражающего слоя 3 серебра.

Основные принципы данного изобретения позволяют изменять базовую структуру фиг. 1 различными способами. Во-первых, можно менять материалы. Серебро, в принципе, можно заменить любым металлом с достаточной отражательной способностью. Подобным образом, оксид алюминия является лишь одним, хотя и предпочтительным, примером оксидов металлов, подходящих для пассивации отражающей металлической поверхности. Пассивирующим материалом может быть также какой-либо материал, отличный от оксида металла, например сульфид цинка. Кроме того, отражающий металлический слой может состоять из нескольких подслоев. С другой стороны, и защитное покрытие из пассивирующего материала на серебре может состоять более чем из одного слоя, и даже из различных материалов. Важным, однако, является то, что, по меньшей мере, самый нижний слой наносят на отражающую металлическую поверхность с помощью ОАС, и общая толщина пассивирующего материала не должна превышать 200 нм, чтобы не искажать оптические свойства стеклянного изделия. Например, во многих применениях требуется пассивирующий слой, который, по существу, является невидимым для человеческого глаза.

Естественно, окна с низким коэффициентом излучения представляют собой лишь одно предпочтительное воплощение данного изобретения. Другими возможными воплощениями стеклянного изделия, имеющими основную структуру, сходную со структурой, показанной на фиг. 1, являются различные виды зеркал, например зеркала для телескопов, и оптические элементы, например линзы, для оптических систем. Естественно, детали, такие как толщина слоя серебра и геометрия стеклянной подложки, изменяются в соответствии с рассматриваемым воплощением.

В способе, проиллюстрированном на фиг. 2, отражающий слой серебра на стеклянной подложке покрывают путем наложения на него молекулярных слоев оксида алюминия А1₂О₃ с помощью процесса ОАС с использованием триметилалюминия (СН₃)₃А1 в качестве предшественника и воды Н₂О в качестве источника кислорода.

На стадии 2-1 поверхность 8 слоя серебра приводят в контакт с газом, содержащим триметилалюминий. В результате этого, на поверхности 8 серебра формируется мономолекулярный слой триметилалюминия. При образовании слоя молекулы прикрепляются к поверхности посредством хемосорбции, при этом процесс образования слоя является самолимитированным и продолжается до тех пор, пока слой не покроет всю поверхность 8. На стадии 2-2 образование слоя завершено и оставшийся избыток газа удаляют из реакционной камеры. На стадии 2-3 поверхность 8, покрытую мономолекулярным слоем триметилалюминия (СН₃)₃А1, приводят в контакт с водой Н₂О. В результате, протекают последовательные реакции между триметилалюминием и водой, что приводит в итоге к образованию оксида алюминия А12О3. Соединения, полученные на промежуточных стадиях реакционного процесса, могут включать, например, гидроксид алюминия А1ОН и метан СН4. Наконец, на стадии 2-4 после удаления избыточной воды и, возможно, других соединений получают сплошной мономолекулярный слой оксида алюминия на поверхности 8 серебра.

Затем стадии 2-1 - 2-4 повторяют, чтобы сформировать другой молекулярный слой оксида алюминия. Естественно, теперь этот молекулярный слой образуется уже не непосредственно на поверхности 8 серебра, а на образованном молекулярном слое оксида алюминия. Таким образом, стадии 2-1 - 2-4 повторяют до тех пор, пока не достигают требуемой толщины оксида алюминия.

Подробные характеристики процесса ОАС не являются сущностью данного изобретения, и, таким образом, этот процесс не описан здесь более подробно. Специалист в области ОАС может легко выбрать подходящее оборудование, а также фактические технологические параметры. Однако одним важным фактором является температура осаждения. Как уже описано выше, она должна находиться в диапазоне, позволяющем поддерживать низкую степень окисления серебра. Одним из пригодных диапазонов является 100-150°С.

Важно отметить, что данное изобретение не ограничено серебром в качестве отражающего металла и оксидом алюминия в качестве защитного материала, покрывающего поверхность отражающего металла. Например, другие подходящие оксиды металлов для процесса ОАС включают оксид титана Т1О₂, оксид тантала Та₂О₅ и оксид циркония ΖτΟ₂. В дополнение к оксидам, одним из вариантов хорошего выбора является также сульфид цинка Ζη8. Также можно использовать различные материалы одновременно. Кроме того, можно получить пассивирующий слой в виде нанослоистой структуры путем использования ОАС с двумя или более материалами. При изготовлении нанослоистой структуры сначала на отражающую металлическую поверхность осаждают один или более молекулярных слоев из одного материала. Затем на первоначально осажденные молекулярные слои первого материала осаждают один или более молекулярных слоев какого-либо другого материала и т.д. Также можно использовать более чем два раз

- 5 016639 личных материала. Результатом такого типа осаждения является многослойное покрытие из оксидов металлов. Естественно, при осаждении первого молекулярного слоя непосредственно на отражающую металлическую поверхность важно использовать технологические параметры, при которых отражающая металлическая поверхность окисляется незначительно.

Как понятно для специалистов, воплощения данного изобретения не ограничены приведенными выше примерами, и их можно свободно изменять в пределах объема защиты, изложенного в формуле изобретения, принимая также во внимание новые возможности, возникающие при развитии технологии.

Claims (14)

1. ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ

   1. Стеклянное изделие (1), включающее стеклянную подложку (2); отражающий металлический слой (3), осажденный на стеклянную подложку; и пассивирующий слой (4), осажденный на отражающий металлический слой, отличающееся тем, что отражающий металлический слой содержит серебро, а пассивирующий слой (4) осажден с применением процесса осаждения атомных слоев.
2. 2. Стеклянное изделие (1) по п.1, отличающееся тем, что пассивирующий слой (4) осажден непосредственно на отражающий металлический слой.
3. 3. Стеклянное изделие (1) по п.1 или 2, отличающееся тем, что пассивирующий слой (4) содержит оксид металла.
4. 4. Стеклянное изделие (1) по п.3, отличающееся тем, что пассивирующий слой (4) содержит оксид по меньшей мере одного из следующих материалов: А1, Τι, Ζτ, N6, Ζη, 8ί, Та, НТ
5. 5. Стеклянное изделие (1) по п.1 или 2, отличающееся тем, что пассивирующий слой содержит сульфид цинка Ζηδ.
6. 6. Стеклянное изделие (1) по любому из пп.1-5, отличающееся тем, что общая толщина пассивирующего материала, покрывающего отражающий металлический слой (3), составляет менее примерно 200 нм, более предпочтительно менее примерно 100 нм и наиболее предпочтительно менее примерно 50 нм.
7. 7. Стеклянное изделие (1) по любому из пп.1-6, отличающееся тем, что оно представляет собой плоское стеклянное изделие для окон с низким коэффициентом излучения.
8. 8. Стеклянное изделие (1) по любому из пп.1-6, отличающееся тем, что оно представляет собой зеркало.
9. 9. Стеклянное изделие (1) по любому из пп.1-6, отличающееся тем, что оно представляет собой оптический элемент, например линзу, для оптической системы.
10. 10. Способ изготовления стеклянного изделия (1), включающий осаждение отражающего металлического слоя (3) на стеклянную подложку (2) и осаждение пассивирующего слоя (4) на отражающий металлический слой, отличающийся тем, что отражающий металлический слой содержит серебро, а пассивирующий слой (4) осаждают с использованием процесса осаждения атомных слоев.
11. 11. Способ по п.10, отличающийся тем, что пассивирующий слой (4) осаждают непосредственно на отражающий металлический слой (3).
12. 12. Способ по п.10 или 11, отличающийся тем, что осаждение пассивирующего слоя (4) включает осаждение оксида металла и оксид металла осаждают при температуре от 30 до 400°С, более предпочтительно от 80 до 300°С, наиболее предпочтительно от 100 до 150°С.
13. 13. Способ по любому из пп.10-12, отличающийся тем, что осаждение пассивирующего слоя (4) включает осаждение оксида металла, а в качестве источника кислорода для оксида металла в процессе осаждения атомных слоев используют воду Н₂О.
14. 14. Способ по п.10 или 11, отличающийся тем, что осаждение пассивирующего слоя (4) включает осаждение сульфида цинка Ζηδ.