EA015412B1 - Apparatus for synthesis of carbonic nanostructures - Google Patents
Apparatus for synthesis of carbonic nanostructures Download PDFInfo
- Publication number
- EA015412B1 EA015412B1 EA201001345A EA201001345A EA015412B1 EA 015412 B1 EA015412 B1 EA 015412B1 EA 201001345 A EA201001345 A EA 201001345A EA 201001345 A EA201001345 A EA 201001345A EA 015412 B1 EA015412 B1 EA 015412B1
- Authority
- EA
- Eurasian Patent Office
- Prior art keywords
- reactor
- liquid
- reagent
- heater
- phase reagent
- Prior art date
Links
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области технологии изготовления углеродных наноструктур. Изобретение может быть использовано в электронной промышленности.The invention relates to the field of manufacturing technology of carbon nanostructures. The invention can be used in the electronics industry.
В настоящее время известна установка для синтеза углеродных наноструктур, а именно материалов на основе углеродных нанотрубок с инкапсулированными частицами никеля или кобальта, содержащая кварцевый реактор, выполненный с возможностью нагрева в высокотемпературной печи, и средства для подачи газов, снабженная капиллярным инжектором, сообщенным с одной стороны с реактором, а с другой - с баллоном для подачи азота через сосуд, заполненный ацетилацетонатом никеля или кобальта, барботером для подачи в реактор бензола с чистым водородом, краном, встроенным в канал сообщения кварцевого реактора с барботером для подачи азота из второго баллона, а также термопарами для замера температуры снаружи и внутри реактора (патент РФ № 2310601, МПК С01В 31/02, опубл. 27.04.2007 г.). Устройство для синтеза углеродных наноструктур содержит реактор, по меньшей мере один нагреватель реактора, по меньшей мере одну емкость для жидкофазных реактивов, которая снабжена системой регулирования расхода, испаритель, по меньшей мере один распылитель для впрыскивания жидкофазного реагента в испаритель.Currently known installation for the synthesis of carbon nanostructures, namely materials based on carbon nanotubes with encapsulated particles of nickel or cobalt, containing a quartz reactor configured to heat in a high temperature furnace, and means for supplying gases, equipped with a capillary injector communicated on one side with a reactor, and on the other, with a cylinder for supplying nitrogen through a vessel filled with nickel or cobalt acetylacetonate, with a bubbler for feeding benzene with pure hydrogen to the reactor, cr an atom integrated into the communication channel of the quartz reactor with a bubbler for supplying nitrogen from the second cylinder, as well as thermocouples for measuring the temperature inside and outside the reactor (RF patent No. 2310601, IPC СВВ 31/02, published on April 27, 2007). A device for the synthesis of carbon nanostructures contains a reactor, at least one reactor heater, at least one liquid-phase reagent tank, which is equipped with a flow control system, an evaporator, at least one atomizer for injecting a liquid-phase reagent into the evaporator.
Получению требуемого технического результата препятствуют ограниченные функциональные возможности устройства.Obtaining the desired technical result is hampered by the limited functionality of the device.
Наиболее близким по совокупности существенных признаков (прототипом) изобретения является установка для синтеза углеродных наноструктур, содержащая реактор, по меньшей мере один нагреватель реактора, по меньшей мере одну емкость для жидкофазных реактивов, которая снабжена системой регулирования расхода реактивов, испаритель, по меньшей мере один распылитель для впрыскивания жидкофазного реагента в испаритель, по меньшей мере одну емкость для газа-носителя (патент США № 6878360, МПК И01Р 9/127, опубл. 12.04.2005 г.).The closest set of essential features (prototype) of the invention is a plant for the synthesis of carbon nanostructures, containing a reactor, at least one reactor heater, at least one liquid-phase reagent tank, which is equipped with a reagent flow control system, an evaporator, at least one atomizer for injecting a liquid-phase reagent into the evaporator, at least one container for a carrier gas (US patent No. 6878360, IPC ИРР 9/127, publ. 04/12/2005).
Получению требуемого технического результата препятствуют ограниченные функциональные возможности устройства.Obtaining the desired technical result is hampered by the limited functionality of the device.
Задачей настоящего изобретения является создание установки для синтеза различных углеродных наноструктур при возможности широкого варьирования технологическими параметрами.The objective of the present invention is to provide a facility for the synthesis of various carbon nanostructures with the wide variation of technological parameters.
Технический результат заключается в расширении функциональных возможностей установки с обеспечением возможности варьирования режимов выращивания наноструктур в широком диапазоне при достаточной воспроизводимости результатов, что также обеспечивает возможность выращивания различных типов углеродных наноструктур на одном образце.The technical result consists in expanding the functionality of the installation with the possibility of varying the modes of growth of nanostructures in a wide range with sufficient reproducibility of the results, which also provides the ability to grow various types of carbon nanostructures on a single sample.
Для достижения вышеуказанного технического результата устройство для синтеза углеродных наноструктур, содержащее реактор, по меньшей мере один нагреватель реактора, по меньшей мере одну емкость для жидкофазных реактивов, которая снабжена системой регулирования расхода реактивов, испаритель, по меньшей мере один распылитель для впрыскивания жидкофазного реагента в испаритель, по меньшей мере одну емкость для газа-носителя, дополнительно содержит держатель образцов, установленный в реакторе с возможностью линейного и/или углового перемещения, систему контроля и регулирования давления в реакторе, средство для создания равномерного по концентрации потока реагента в реакторе, а система регулирования расхода реактивов выполнена с возможностью регулирования давления на указанный жидкофазный реактив путем создания избыточного давления газа на жидкофазный реактив или в виде поршня.To achieve the above technical result, a device for the synthesis of carbon nanostructures containing a reactor, at least one reactor heater, at least one liquid-phase reagent tank, which is equipped with a reagent flow control system, an evaporator, at least one atomizer for injecting a liquid-phase reagent into the evaporator at least one container for a carrier gas, further comprises a sample holder mounted in the reactor with the possibility of linear and / or angular per facilities, a pressure monitoring and control system in the reactor, a means for creating a reagent flow uniform in concentration in the reactor, and a reagent flow control system is configured to control the pressure on said liquid-phase reactant by creating excessive gas pressure on the liquid-phase reactant or in the form of a piston.
В частных случаях выполнения изобретения реактор выполнен горизонтальным, а держатель образцов установлен с возможностью изменения наклона образца относительно горизонтальной оси реактора.In particular cases of the invention, the reactor is made horizontal, and the sample holder is mounted with the possibility of changing the slope of the sample relative to the horizontal axis of the reactor.
В частных случаях выполнения изобретения в устройстве средство для создания равномерного по концентрации потока реагента в реакторе выполнено в виде рассекателя.In particular cases of the invention in the device, the means for creating a uniform reagent flow in the reactor is made in the form of a divider.
В частных случаях выполнения изобретения устройство дополнительно содержит емкость для катализатора.In particular cases of the invention, the device further comprises a catalyst container.
В частных случаях выполнения изобретения устройство дополнительно содержит емкость для активаторов катализатора (промоторов).In particular cases of the invention, the device further comprises a container for catalyst activators (promoters).
В частных случаях выполнения изобретения устройство дополнительно содержит по меньшей мере один нагреватель емкости для жидкофазных реагентов.In particular cases of the invention, the device further comprises at least one tank heater for liquid phase reagents.
В частных случаях выполнения изобретения устройство дополнительно содержит устройство ультразвукового воздействия на емкость с жидкофазным реагентом.In particular cases of the invention, the device further comprises a device for ultrasonic treatment of a container with a liquid-phase reagent.
В частных случаях выполнения изобретения держатель образцов снабжен электродами, установленными с возможностью пропускания тока через образец.In particular cases of carrying out the invention, the sample holder is equipped with electrodes mounted with the possibility of passing current through the sample.
В частных случаях выполнения изобретения устройство содержит два резистивных нагревателя реактора.In particular cases of carrying out the invention, the device comprises two resistance heater of the reactor.
В частных случаях выполнения изобретения нагреватель реактора выполнен в виде источника инфракрасного излучения.In particular cases of the invention, the reactor heater is made in the form of a source of infrared radiation.
В частных случаях выполнения изобретения нагреватель реактора выполнен с возможностью перемещения вдоль реактора.In particular cases of the invention, the reactor heater is arranged to move along the reactor.
- 1 015412- 1 015412
В частных случаях выполнения изобретения реактор снабжен системой электродов с возможностью проведения плазмоактивированного синтеза.In particular cases of the invention, the reactor is equipped with a system of electrodes with the possibility of conducting plasma-activated synthesis.
Под жидкофазным реагентом понимаются как чистые вещества, так и растворы, композиции твердых и жидких веществ, которые могут образовывать растворы или суспензии. Реактор - устройство, где проходят реакции. Реактор имеет зону, где установлен нагреватель, и холодную зону.A liquid phase reagent is understood to mean both pure substances and solutions, compositions of solid and liquid substances that can form solutions or suspensions. A reactor is a device where reactions take place. The reactor has a zone where the heater is installed and a cold zone.
Совокупность признаков, характеризующих изобретение, наличие держателя образцов, который установлен в реакторе с возможностью линейного и/или углового перемещения, наличие системы контроля и регулирования давления в реакторе, наличие средства для создания равномерного по концентрации потока реагента в реакторе, а также то, что система регулирования расхода реактивов выполнена с возможностью регулирования давления на указанный жидкофазный реактив путем создания избыточного давления газа на жидкофазный реактив или в виде поршня, позволяет расширить функциональные возможности установки, обеспечить воспроизводимость результатов, контролировать (задавать) скорость роста углеродных наноструктур. Обеспечивается возможность использования одной установки для выращивания различных наноструктур. Также в процессе одного технологического цикла за счет изменения перемещения держателя образцов, регулирования давления в реакторе, регулирования давления на жидкофазный реактив обеспечивается возможность изменения структуры в пределах одного образца. Отсутствие аморфного углерода на стенах нанотрубок повышает качество получаемых структур. Следует отметить, что выполнение системы регулирования расхода реактивов с возможностью регулирования давления на указанный жидкофазный реактив путем создания избыточного давления газа на жидкофазный реактив или в виде поршня обеспечивает плавное регулирование подачи жидкофазного реактива, причем при организованной таким образом системе регулирования расхода возможно использование более широкого спектра жидкофазных реактивов. Средство для создания равномерного по концентрации потока реагента в реакторе, установленное после испарителя перед входом в реактор, совместно с системой контроля давления создают равномерный по концентрации поток реагента в реакторе, что приводит к более качественному росту наноструктур.The set of features characterizing the invention, the presence of the sample holder, which is installed in the reactor with the possibility of linear and / or angular movement, the presence of a pressure control and regulation system in the reactor, the availability of means for creating a uniform concentration of the reagent flow in the reactor, as well as the fact that the system reagent flow control is configured to control the pressure on the specified liquid-phase reagent by creating excessive gas pressure on the liquid-phase reagent or in the form of a piston, It is necessary to expand the functionality of the installation, to ensure reproducibility of the results, to control (set) the growth rate of carbon nanostructures. It is possible to use one installation for growing various nanostructures. Also, in the process of one technological cycle, by changing the movement of the sample holder, regulating the pressure in the reactor, regulating the pressure on the liquid-phase reagent, it is possible to change the structure within the same sample. The absence of amorphous carbon on the walls of nanotubes increases the quality of the resulting structures. It should be noted that the implementation of a reagent flow control system with the ability to control the pressure on the specified liquid-phase reagent by creating excessive gas pressure on the liquid-phase reagent or in the form of a piston provides smooth control of the liquid-phase reagent supply, and with a flow control system organized in this way, a wider range of liquid-phase reagents reagents. The means for creating a reagent flow uniform in concentration in the reactor, installed after the evaporator before entering the reactor, together with a pressure control system, create a reagent flow uniform in concentration in the reactor, which leads to a better growth of nanostructures.
В частных случаях выполнения изобретения при снабжении устройства емкостью для катализатора и/или емкостью для активаторов катализатора (промоторов) возможно изменение состава реакционной смеси во время технологического процесса.In particular cases of the invention, when the device is equipped with a catalyst container and / or a container for catalyst activators (promoters), it is possible to change the composition of the reaction mixture during the process.
Изобретение поясняется чертежами, где на фиг. 1 - общая схема установки;The invention is illustrated by drawings, where in FIG. 1 - general installation diagram;
на фиг. 2 - схема выполнения системы регулирования расхода реактивов путем создания избыточного давления газа на жидкофазный реактив;in FIG. 2 is a flow chart of a reagent flow control system by creating excess gas pressure on a liquid phase reagent;
на фиг. 3 - схема выполнения системы регулирования расхода реактивов в виде поршня. Изобретение осуществляется следующим образом.in FIG. 3 is a schematic diagram of a piston-type reagent flow control system. The invention is as follows.
Устройство для синтеза углеродных наноструктур содержит реактор 1, держатель образцов 2, по меньшей мере один нагреватель реактора 3, по меньшей мере одну емкость для жидкофазных реактивов 4, которая снабжена системой регулирования расхода реактивов 5, по меньшей мере один распылитель 6 для впрыскивания жидкофазного реагента в испаритель 7, средство для создания равномерного по концентрации потока реагента в реакторе 8 и систему контроля и регулирования давления в реакторе 9 (фиг. 1).A device for synthesizing carbon nanostructures includes a reactor 1, a sample holder 2, at least one reactor heater 3, at least one liquid-phase reagent tank 4, which is equipped with a reagent flow control system 5, at least one atomizer 6 for injecting a liquid-phase reagent into the evaporator 7, means for creating a uniform reagent flow in the reactor 8 and a pressure monitoring and control system in the reactor 9 (Fig. 1).
Держатель образцов 2 установлен в реакторе 1. С внешней стороны реактора размещен нагреватель реактора 3. Емкость для жидкофазных реактивов 4 с системой регулирования расхода реактивов 5 соединена с распылителем 6. Распылитель 6 установлен либо в испарителе 7, либо соединен с его входом таким образом, что жидкофазный реагент при прохождении через распылитель попадает в испаритель в виде мельчайших капель. Между испарителем и реактором (соединение с выходом испарителя и входом реактора) установлено устройство для создания равномерного по концентрации потока реагента в реакторе 8, например, в виде рассекателя или средства для создания турбулентного потока. Система контроля и регулирования давления в реакторе 9 установлена на выходе реактора.The sample holder 2 is installed in the reactor 1. On the outside of the reactor there is a reactor heater 3. A container for liquid-phase reagents 4 with a reagent flow control system 5 is connected to the atomizer 6. The atomizer 6 is either installed in the evaporator 7 or connected to its inlet so that the liquid-phase reagent, when passing through the atomizer, enters the evaporator in the form of tiny droplets. Between the evaporator and the reactor (connection with the outlet of the evaporator and the inlet of the reactor), a device is installed to create a uniform reagent flow in the reactor 8, for example, in the form of a divider or means for creating a turbulent flow. A system for monitoring and regulating the pressure in the reactor 9 is installed at the outlet of the reactor.
Держатель образцов 2 установлен в реакторе с возможностью линейного перемещения вдоль реактора и/или углового перемещения. Угловое перемещение держателя образцов обеспечивает изменение угла наклона относительно горизонтальной оси реактора. Система регулирования расхода реактивов 5 может быть выполнена с возможностью регулирования давления над указанным жидкофазным реактивом путем создания разности давления газа над жидкофазным реактивом (фиг. 2) или в виде поршня, который может перемещаться с заданной скоростью (фиг. 3).The sample holder 2 is installed in the reactor with the possibility of linear movement along the reactor and / or angular movement. The angular movement of the sample holder provides a change in the angle of inclination relative to the horizontal axis of the reactor. The reagent flow control system 5 can be made with the ability to control the pressure over the specified liquid-phase reagent by creating a gas pressure difference over the liquid-phase reagent (Fig. 2) or in the form of a piston that can move at a given speed (Fig. 3).
Реактор 1 может быть выполнен горизонтальным. Устройство снабжено по меньшей мере одной емкостью для газа-носителя 10. Устройство может дополнительно содержать емкость для катализатора 11, которая снабжена системой регулирования расхода 12. Емкость для катализатора 11 соединена с распылителем 13. Устройство может дополнительно содержать емкость для активаторов катализатора (промоторов) 14, которая снабжена системой регулирования расхода 15. Емкость для активаторов катализатора (промоторов) 14 соединена с распылителем 16. Устройство может быть снабжено по меньшей мере одним нагревателем емкости для жидкофазных реагентов 17. Устройство может быть дополнительно снабжено устройством ультразвукового воздействия 18 на емкость с жидкофазным реагентом. Держатель образцов 2 может быть снабжен электродами 19, установленными с возможностью пропускания токаThe reactor 1 can be made horizontal. The device is provided with at least one container for carrier gas 10. The device may further comprise a container for catalyst 11, which is equipped with a flow control system 12. The container for catalyst 11 is connected to a sprayer 13. The device may further comprise a container for catalyst activators (promoters) 14 , which is equipped with a flow control system 15. The capacity for the catalyst activators (promoters) 14 is connected to the atomizer 16. The device can be equipped with at least one heater e bone for liquid phase reagent 17. The apparatus may be further provided with a device 18 to ultrasonic treatment container with the liquid phase reagent. The sample holder 2 may be provided with electrodes 19 mounted with the possibility of passing current
- 2 015412 через образец. Устройство может быть выполнено содержащим два резистивных нагревателя 3 реактора- 2 015412 through the sample. The device can be made comprising two resistive heaters 3 of the reactor
1. Нагреватель 3 реактора может быть выполнен в виде источника инфракрасного излучения. Нагреватель 3 реактора может быть выполнен с возможностью перемещения вдоль реактора. Реактор может быть снабжен системой электродов 20 с возможностью проведения плазмоактивированного синтеза.1. The heater 3 of the reactor can be made in the form of a source of infrared radiation. The heater 3 of the reactor may be configured to move along the reactor. The reactor may be equipped with a system of electrodes 20 with the possibility of conducting plasma-activated synthesis.
Держатель образцов 2 представляет собой кварцевую пластинку с выступами по краям. Нагреватель реактора 3 может быть выполнен в форме нихромовой спирали. Распылитель 6 выполнен в виде кварцевого капилляра.The sample holder 2 is a quartz plate with protrusions at the edges. The heater of the reactor 3 can be made in the form of a nichrome spiral. The atomizer 6 is made in the form of a quartz capillary.
Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.
Перед процессом емкости 4, 11 и 14 заполняются реактивами, необходимыми для проведения синтеза. Производится задание зависимостей изменения во времени скоростей инжекции реактивов, а также изменения температуры и давления в рабочей зоне реактора программированием соответствующих управляющих устройств.Before the process, the tanks 4, 11 and 14 are filled with reagents necessary for the synthesis. The dependences of changes in time of injection rates of reagents, as well as changes in temperature and pressure in the working zone of the reactor are set by programming the corresponding control devices.
Загрузка образцов может производиться как при комнатной температуре перед нагревом реактора, так и непосредственно перед проведением синтеза в потоке газа-носителя. Для этого образцы размещаются на держателе образцов 2, который вводится в рабочую зону реактора.Samples can be loaded both at room temperature before heating the reactor and immediately before synthesis in the carrier gas stream. For this, the samples are placed on the sample holder 2, which is introduced into the working zone of the reactor.
В процессе нагрева реактора до рабочей температуры обеспечивается постоянный проток газаносителя (100-1000 см3/мин) через реактор 1. Температура синтеза в зависимости от типа проводимого процесса может варьироваться от 350 до 1100°С. Непосредственно перед проведением синтеза стабилизируют давление до требуемого значения на выходе реактора с помощью системы контроля и регулирования давления в реакторе 9, после чего жидкофазные реагенты из емкостей 4, 11 и 14 подаются со скоростью подачи 0,001-10 см3/мин через распылители 6, 13 и 16 в камеру испарителя 7. Полученная парогазофазная смесь пропускается через устройство для создания равномерного по концентрации потока реагента в реакторе 8 и поступает в рабочий объем реактора 1, где проходят процессы термического пиролиза исходных реагентов и формирование углеродных структур на основе УНТ, углеродных волокон. По окончании процесса синтеза прекращается подача жидкофазных реагентов, отключается система контроля и регулирования атмосферного давления 9, после чего образцы извлекаются из реактора в потоке газа-носителя либо выключается нагреватель реактора и система охлаждается до комнатной температуры при сохранении в реакторе потока газа-носителя. После полного охлаждения реактора извлекается держатель образцов с образцами.In the process of heating the reactor to operating temperature, a constant gas carrier flow (100-1000 cm 3 / min) is provided through reactor 1. The synthesis temperature, depending on the type of process being carried out, can vary from 350 to 1100 ° C. Immediately before the synthesis, the pressure is stabilized to the desired value at the outlet of the reactor using a pressure control and regulation system in the reactor 9, after which the liquid-phase reagents from the tanks 4, 11 and 14 are fed with a feed rate of 0.001-10 cm 3 / min through nozzles 6, 13 and 16 into the chamber of the evaporator 7. The resulting vapor-phase mixture is passed through the device to create a uniform reagent flow in the reactor 8 and enters the working volume of the reactor 1, where the initial pyrolysis processes take place reagents and the formation of carbon structures based on CNTs, carbon fibers. At the end of the synthesis process, the supply of liquid-phase reagents stops, the atmospheric pressure control and regulation system 9 is turned off, after which the samples are removed from the reactor in the carrier gas stream or the reactor heater is turned off and the system is cooled to room temperature while the carrier gas stream is kept in the reactor. After complete cooling of the reactor, the sample holder with samples is removed.
Claims (12)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EA201001345A EA015412B1 (en) | 2010-08-23 | 2010-08-23 | Apparatus for synthesis of carbonic nanostructures |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EA201001345A EA015412B1 (en) | 2010-08-23 | 2010-08-23 | Apparatus for synthesis of carbonic nanostructures |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| EA201001345A1 EA201001345A1 (en) | 2011-08-30 |
| EA015412B1 true EA015412B1 (en) | 2011-08-30 |
Family
ID=44544186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| EA201001345A EA015412B1 (en) | 2010-08-23 | 2010-08-23 | Apparatus for synthesis of carbonic nanostructures |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| EA (1) | EA015412B1 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5024818A (en) * | 1990-10-09 | 1991-06-18 | General Motors Corporation | Apparatus for forming carbon fibers |
| US5102647A (en) * | 1988-04-12 | 1992-04-07 | Showa Denko K.K. | Method of producing vapor growth carbon fibers |
| US6878360B1 (en) * | 1999-09-01 | 2005-04-12 | Nikkiso Company Limited | Carbon fibrous matter, production device of carbon fibrous matter, production method of carbon fibrous matter and deposit prevention device for carbon fibrous matter |
| RU2310601C2 (en) * | 2005-10-19 | 2007-11-20 | Химический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова | Method of production of the carbonic nanotubes with the incapculated particles of nickel and cobalt and the installation for the synthesis of the materials based on the carbonic nanotubes and nanoparticles of nickel and cobalt |
-
2010
- 2010-08-23 EA EA201001345A patent/EA015412B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5102647A (en) * | 1988-04-12 | 1992-04-07 | Showa Denko K.K. | Method of producing vapor growth carbon fibers |
| US5024818A (en) * | 1990-10-09 | 1991-06-18 | General Motors Corporation | Apparatus for forming carbon fibers |
| US6878360B1 (en) * | 1999-09-01 | 2005-04-12 | Nikkiso Company Limited | Carbon fibrous matter, production device of carbon fibrous matter, production method of carbon fibrous matter and deposit prevention device for carbon fibrous matter |
| RU2310601C2 (en) * | 2005-10-19 | 2007-11-20 | Химический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова | Method of production of the carbonic nanotubes with the incapculated particles of nickel and cobalt and the installation for the synthesis of the materials based on the carbonic nanotubes and nanoparticles of nickel and cobalt |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EA201001345A1 (en) | 2011-08-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5989512A (en) | Method and device for the pyrolytic decomposition of hydrocarbons | |
| KR100916330B1 (en) | Carbon nanotube synthesis method and device | |
| US7744728B2 (en) | Apparatus for and method of producing hydrogen using microwaves | |
| CN103958403B (en) | For generation of the method and apparatus of long carbon nanotube | |
| CN103343331B (en) | Chemical vapor deposition reaction device | |
| CN101247886A (en) | Method and apparatus for fluid-liquid reactions | |
| JP6193476B2 (en) | Fluidized bed reactor and method for producing granular polysilicon | |
| JP2672261B2 (en) | Liquid source gas emission device for vapor deposition | |
| US20050249873A1 (en) | Apparatuses and methods for producing chemically reactive vapors used in manufacturing microelectronic devices | |
| TW201246290A (en) | Methods and apparatus for the production of high purity silicon | |
| EP1758675B1 (en) | A flow-type laboratory hydrogenation apparatus and a laboratory hydrogenation process using the apparatus. | |
| EA015412B1 (en) | Apparatus for synthesis of carbonic nanostructures | |
| TWI410372B (en) | Apparatus for synthesizing carbon nanotubes | |
| US3230055A (en) | Apparatus for contacting liquid and gaseous reactants | |
| EP3459620B1 (en) | Apparatus for generating formaldehyde monomer vapor | |
| Gusel’nikov et al. | A laboratory CVD reactor for the synthesis of vertically oriented carbon nanotube arrays | |
| KR20060118819A (en) | Liquid substance vaporizer | |
| CN110585989B (en) | Preheating type vaporization mixer | |
| RU2011139610A (en) | METHOD FOR PRODUCING CARBON NANOTUBES AND DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION | |
| RU2443807C1 (en) | Method of producing carbon fibre materials via catalytic pyrolysis | |
| US7468279B2 (en) | Selection of polymerization catalysts and apparatus for carrying this out | |
| EP0982416B1 (en) | Method and apparatus for manufacturing carbon fiber coils | |
| JP2004510575A (en) | Autoclave array | |
| EP3459621A1 (en) | Method for generating formaldehyde monomer vapor | |
| KR101943089B1 (en) | Device for manufacturing carbonnanotube yarn |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s) |
Designated state(s): AM AZ KZ KG MD TJ TM |
|
| MM4A | Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s) |
Designated state(s): BY |