DK149674B - Fremgangsmaade til drift af et ladningskoblet organ, samt ladningskoblet organ til udoevelse af fremgangsmaaden - Google Patents

Description

i 149674 o

Opfindelsen angår en fremgangsmåde til drift af et ladningskoblet organ, hvilken fremgangsmåde er af den i krav l's indledning angivne art. Opfindelsen angår endvidere et ladningskoblet organ til udøvelse af denne frem-5 gangsmåde, og af den i krav l's indledning angivne art.

Et ladningskoblet organ omfatter et substrat samt elektroder, der er isoleret fra substratet. Flere fasespændinger, der påtrykkes elektroderne, danner potentialebrønde i substratet til oplagring og videreførsel af ladnings-10 signaler langs en i det ladningskoblede organ dannet kanals længderetning. Det ladningskoblede organ omfatter også en i substratet beliggende kildeelektrode. Elektrodeorganer, der er isoleret fra substratet og beliggende mellem kildeelektroden og kanalen, er indrettet til som reaktion på et 15 indgangssignal at styre indføringen af ladning fra kildeelektroden til kanalen.

En fremgangsmåde af den indledningsvis omhandlede art kendes fra eksempelvis US-patentskrift nr. 3.896.198.

I dette patentskrift er beskrevet den såkaldte "opfyld-20 nings- og overløbs-" ("fill and spill")-teknik til indførelse af ladningssignaler i et ladningskoblet organs indgangspotentialebrønde. I "opfyldnings- og overløbs-"-teknikken fyldes en indgangspotentialebrønd op på følgende måde. Først fyldes indgangspotentialebrønden ved at indlade lad-25 ningsbærere fra kilden i et antal, som er større end det, der er bestemt af indgangssignalets amplitude. I ovennævnte US-patentskrift nr. 3.986.198 svarer antallet til det antal ladningsbærere, som er nødvendigt for at fylde potentialebrønden til en effektiv dybde, som er angivet som 30 Aw1· Derpå udtømmes en del af de indførte ladningsbærere fra indgangspotentialebrønden tilbage til kilden, indtil der i indgangspotentialebrønden forbliver et antal ladningsbærere tilbage, som er bestemt af indgangssignalets amplitude. Ladningsbærere som forbliver i indgangspoten-35 tialebrønden ved dette tidspunkt fylder indgangspotentialebrønden til en mindre dybde, der er angivet som &W^. Selv 149674

O

2 om antallet af ladningsbærere er bestemt af indgangssignalspændingens amplitude afhænger det ikke lineært af signalspændingens amplitude.

Efter at "opfyldnings- og overløbs-"-driftstrinet 5 af afsluttet, overføres alle de ladningsbærere, som er til stede i indgangspotentialebrønden, fra indgangspotentialebrønden til den første og de efterfølgende potentialebrønde i det ladningskoblede organs fortsatte kanal. Eftersom antallet af ladningsbærere, der er overført fra indgangs-10 potentialebrønden, ikke er lineært proportional med indgangssignalets amplitude, bliver det ladningskoblede or-gangs signalsvar ulineært. Eftersom hele ladningssignalet, der er tilstrækkeligt til at fylde indgangspotentialebrønden, som har en forholdsvis stor ladningskapacitet, til en 15 dybde påi^V^, overføres til den fortsatte kanals potentialebrønde, må hver af disse potentialebrønde i den fortsatte kanal også have tilstrækkelig stor ladningskapacitet til at modtage et forholdsvis stort ladningssignal, hvis overfyldning af den fortsatte kanals potentialebrønde skal undgås.

20 Nærmere bestemt gælder, at et ladningskoblet or gan af ovennævnte art, der har en indgangspotentialebrønd, som er udformet i en kanal i det ladningskoblede organs substrat, har en overføringsfunktion for antallet af frembragte ladningsbærere som funktion af indgangssignalspæn-25 dingen. Denne overføringsfunktion er ved lavere indgangssignalniveauer ulineær, men er hovedsageligt lineær ved højere indgangssignalniveauer. Dette er en ulempe, især når det ladningskoblede organ skal overføre analogsignaler, eftersom ulineariteten i den nedre del af overførings-30 funktionens karakteristik fører til mærkbar forvrængning af analogsignalet ved lave signalniveauer.

Opfindelsens formål er at anvise en fremgangsmåde til drift af et ladningskoblet organ, hvormed ulineariteten i indgangsoverføringskarakteristikkens nedre del kan 35 afhjælpes.

149674

O

3

Det angivne formål opnås med en fremgangsmåde af den indledningsvis omhandlede art, som ifølge opfindelsen udmærker sig ved de i krav l*s kendetegnende del angivne foranstaltninger, samt ved hjælp af et apparat til udøvel-5 se af fremgangsmåden, hvilket apparat udmærker sig ved den i krav 3's kendetegnende del angivne udformning.

Da der ved fremgangsmåden ifølge opfindelsen kun udskilles eller "afskummes" den del af ladningsbærerne i det ladningskoblede organs indgangspotentialebrønd, som o-10 verstiger en forspændingsladning, får en ulinearitet af indgangsoverføringskarakteristikkens nedre del ingen forvrængningsvirkning på det indførte og gennem det ladningskoblede organ overførte signal. For at kunne udnytte den fulde ladningskapacitet af de i det ladningskoblede organs 15 kanal dannede potentialebrønde og dermed opnå et forholdsvis stort dynamikområde for signalet er det fordelagtigt, hvis indgangspotentialebrøndens ladningskapacitet er større end de enkelte kanalpotentialebrøndes ladningskapaci tet. Det i krav 3 angivne ladningskoblede organ opfylder 20 denne forudsætning.

Opfindelsen skal i det følgende forklares nærmere under henvisning til tegningen, på hvilken fig. 1 viser en grafisk fremstilling af antallet af frembragte ladningsbærere som funktion af indgangssig-25 nalspændingen i et på sædvandlig måde drevet indgangstrin i et ladningskoblet organ med "nedgravet" kanal, fig. 2 set ovenfra viser en indgangskreds ifølge opfindelsen, fig. 3 viser et snit efter linien 3-3 i fig. 2, 30 fig. 4 viser en grafisk fremstilling af substra tets potentiale-profiler til at lette forståelsen af, hvorledes den i fig. 2 og 3 viste kreds virker, fig. 5 viser den bølgeform-tidsstyring, der anvendes til drift af den i fig. 2 og 3 viste kreds, og 35 fig. 6a og 6b viser grafiske fremstillinger til at lette forståelsen af hvorledes den i fig. 2 og 3 viste kreds virker.

4 14967Λ Ο

Det har vist sig, at når det ladningskoblede organ er af den art, der har en "nedgravet" kanal (eng. "buried channel"), medfører den ovenfor i US-patentskrift nr.

3.986.198 beskrevne driftsmåde - selv om den er forholds-5 vis støjsvag - en ulineær omsætning af indgangssignalet til ladning, sammenlignet med den signal-omsætning, der foregår i et ladningskoblet organ med kanalen på overfladen. Overføringskarakteristikken, udtrykt som antallet af frembragte ladningsbærere som funktion af signalspændingen, for 10 et typisk ladningskoblet organ med "nedgravet" N-kanal, er vist i fig. 1. Det flade område 11 foroven svarer til indgangspotentialebrøndens ladningskapacitet, og denne kan være en smule større end kapaciteten af de enkelte over-førings-potentialebrønde langs med størstedelen af det lad-15 ningskoblede organs kanal. Kapaciteten af en sådan over- førings-potentialebrønd repræsenteres af den stiplede linie 13.

Kurven omfatter et ulineært område ved forholdsvis lave signalniveauer - mellem V og V volt - og et 20 hovedsageligt lineært område ved forholdsvis høje signalniveauer - mellem νχ og V^. En signalniveau-ændring ΔνΐΝ1 ved et forholdsvis lavt indgangssignalniveau omsættes u-lineært til et ladningssignal i indgangspotentialebrønden, mens en signalniveau-ændring ^V.^^ ved et forholdsvis højt 25 indgangssignalniveau omsættes lineært til et ladningssignal· i indgangspotentialebrønden. Det ulineære område kan f.eks. skyldes den egenskab ved et ladningskoblet organ med "nedgravet" kanal, at den "nedgravede" kanals kapacitet varierer mere som funktion af ladningsniveauet ved la-30 vere ladningsværdier end ved højere. Der findes også mere komplekse effekter, som påvirker graden af ulinearitet.

Ved visse anvendelser, som f.eks. i forsinkelseslinier, hvori ladningskoblede organer anvendes til at forsinke analoge signaler, som f.eks. fjernsyns-video-signa-35 ler, er en driftsmåde af den ovenfor omtalte art selvsagt særdeles ufordelagtig. Det er ønskeligt, at en med et el- 5 149674 o ler flere ladningskoblede organer udstyret forsinkelseslinie indfører så lidt forvrængning som muligt i analog-sig-nalet, og for at dette skal kunne opnås, bør det ladningskoblede organé indgangskreds arbejde lineært.

5 Det er også vigtigt, at en forsinkelseslinie af den ovenfor omtalte art ikke optager for megen plads på halvleder-substratet. Det ladningskoblede organ er konstrueret med henblik på at dets kanalbredde og elektrodearealer er sådanne, at de potentialebrønde, der dannes som 10 reaktion på de flerfasede spændinger, kan oplagre netop så meget ladning som kan frembringes af indgangssignalet med den største forventede amplitude - dette er baseret på antagelsen af en praktisk værdi som f.eks. 10-12 volt eller deromkring af flerfaset spænding. Dersom elektrodearealer-15 ne gøres større, betyder dette at hver forsinkelseslinie med ladningskoblet organ bliver større, og dette medfører igen at der fra en enkelt skive halvledermateriale kan fremstilles et mindre antal forsinkelseslinier af denne art. Det skal her bemærkes, at i praksis fremstilles et 20 stort antal forsinkelseslinier samtidigt på den samme halv-lederskive, som derpå spaltes eller deles på en eller anden måde til frembringelse af de enkelte forsinkelseslinier. Dette medfører spild, og gør hver enkelt forsinkelseslinie dyrere. Ydermere har forsinkelseslinier med større 25 areal højere kapacitansværdier, hvad der gør det vanskeligere at anvende dem ved høje frekvenser - dvs. med højfrekvente flerfasede spændinger - og medfører desuden større effektforbrug i de kredse, der skal drive det eller de ladningskoblede organer.

30 Fig. 2 og 3 viser en kreds ifølge opfindelsen, hvormed de ovennævnte problemer løses. Det ladningskoblede organ omfatter et siliciumsubstrat 10 af P-typen og en kildeelektrode S ved substratets overflade. Denne kildeelektrode kan udgøres af en diffusion af N-typen i substra-35 tet af P-typen. Et lag B udgøres af et tyndt lag af silicium af N-typen på overfladen af substratet 10, hvilket 149674

O

6 lag B danner en P-N overgang 12 med substratet 10. Som det er velkendt inden for faget, er laget B lavere doteret end den som diffusion udformede kildeelektrode S. Det ladnings-koblede organs indgangselektroder omfatter tre portelek-5 troder G^, G2 og G3 i den nævnte rækkefølge, efterfulgt af et antal faseelektroder 14, 16, 18, 20 o.s.fr.. Disse elektroder kan f.eks. alle være dannet af poly-silicium og være af den art, der er overlappet og består af to lag. Selvsagt kan der anvendes andre materialer og udformnin-10 ger. Det ladningskoblede organs kanal, som kan være afgrænset af ikke viste kanal-stop-diffusioner, er forholdsvis bred under indgangselektroderne G^, G2 og G^, mens den afsmalner til en mindre bredde for størstedelen af det ladningskoblede organ, således som det er vist i afbrudt 15 streg i fig. 2. Denne største og ikke viste del af det ladningskoblede organ kan omfatte flere hundrede ladningskoblede trin; i én praktisk udformning har der været anvendt 500 trin med fire elektroder i hvert. I det viste udførelseseksempel kan den brede del af det ladningskob-20 lede organs kanal være dobbelt så bred som den største del af kanalen, således som det er vist ved breddeangivelserne 2w hhv. w i fig. 2.

Det ladningskoblede organs virkemåde er belyst i fig. 4 og 5. Som eksempel antages det, at ved tidspunktet 25 tø er der ingen ladning til stede i potentialebrønden 26 under elektroden G2, således som antydet i fig. 4(a). På dette tidspunkt er spændingen af signalet som angivet i fig. 5 så lav, at der er en potentialebarriere 20 under deri første φ^-elektrode 14 og en lav potentialebrønd 30 22 under elektroden 16. Den lave brønd opstår, fordi elek troden 16 holdes på en forskudt jævnspænding, der er forholdsvis positiv sammenlignet med spændingen på elektroden 14. Dette er vist skematisk ved hjælp af et batteri 15. V3 er på dette tidspunkt ved et forholdsvis lavt 35 niveau, så at der er en potentialebarriere 24 under elektroden G3· V2 holdes til stadighed på et forholdsvis højt o 7 U9674 jævnspændingsniveau, så at potentialebrønden 26 er til stede under lager-elektroden Gg· Denne brønd kan betragtes som ''indgangs-"potentialebrønden. er også et jævnspændingsniveau, ihen er mindre positiv end V2. Denne spænding 5 og signalspændingen VIN tilføres elektroden G^. Som følge heraf findes der under elektroden G^ til stadighed en potentialebarriere, hvis højde er en funktion af jævnspændingsniveauet plus signalniveauet V^. Spændingen Vg er forholdsvis positiv ved tidspunktet t^, så at diffusionen 10 eller kildeelektroden S virker som et dræn for ladningsbærere.

På tidspunktet t^ er spændingen Vg forholdsvis negativ, så at kildeelektroden S virker som en kilde for ladningsbærere. Disse ladningsbærere - elektroner - fylder 15 nu potentialebrønden 26 til niveauet 30.

På tidspunktet t2 befinder spændingen Vg sig ved sin mere positive værdi og bevirker, at kildeelektroden S virker som et dræn. Nu løber noget af den ladning, der befinder sig i brønden 26, tilbage hen over barrieren 28 20 og ind i området S. Den ladning, der er tilbage i potentialebrønden 26, omfatter én komposant, der er proportional med signalet, og en anden komposant, der er proportional med forskellen i jævnspændingsniveau mellem og V2.

På tegningen er ladningen i brønden 26 skraveret på to 25 forskellige måder. En del 32 af denne ladning vil til stadighed forblive i denne brønd, og er mærket "forspænding".

Resten 34 af ladningen, der er mærket "signal", vil blive "skummet af" fra brønden og ført videre hen ad det ladningskoblede organs på hinanden følgende trin, således 30 som det skal forklares nedenfor.

På tidspunktet t3 er forholdsvis positiv, så at højden af barrieren 24 er væsentligt mindre end den var ved tidspunktet t2· Spændingen V^» der er tilført lagerelektroden G2, forbliver - som allerede nævnt - den 35 samme. Tillige er ved tidspunktet tg fase 1-spændingen af signalet som angivet i fig. 5 høj, så at der under

O

8 t49674 Φ^-elektroderne 14 og 16 findes potentialebrønde 36 hhv.

38. Da elektroden 16 er forspændt mere positivt end elektroden 14, er brønden 38 under elektroden 16 dybere end brønden 36 under elektroden 14. - Det skal her indskydes, 5 at mens der med henblik på nærværende forklaring er vist et organ 15 til at tilvejebringe en spændingsforskydning mellem to elektroder for derved at frembringe en asymmetrisk potentialebrønd, kan andre udformninger også anvendes. En mulighed er at anvende en enkelt elektrode i ste-10 det for de to elektroder 14 og 16, og anbringe en passende ion-implantation under den ene af dem. Spændingen af signalet 0^ som angivet i fig. 5 har væsentligt større amplitude end spændingen ved tidspunktet t^, så at potentialet i brønden 20 er højere end - dvs. fremtræder som en 15 potentialebrønd i forhold til - potentialet i brønden 24.

Som reaktion på disse betingelser "skummes" en del af ladningen i potentialebrønden 26 af fra denne brønd og føres videre til brønden 38. Resten af ladningen, nemlig forspændings -ladningen 32, forbliver fortsat i potentiale-20 brønden 26. Den del 34 af ladningen, som tidligere befandt sig i brønden 26 og nu befinder sig i brønden 38, føres derefter hen ad det ladningskoblede organs på hinanden følgende trin af de to spændinger af signalerne <J>^ og 0^ som angivet i fig. 5 på sædvanlig måde.

25 Betydningen af, at organet virker på den beskrev ne måde kan bedre forstås under henvisning til fig. 6a.

Denne kurve er tegnet i en mindre målestok end fig. 1 -det antages at den stiplede linie 13 svarer til det samme ladningsniveau i begge figurer, og det bemærkes, at 30 denne stiplede linie er omtrent dobbelt så langt fra nul--ladningsniveauet som den tilsvarende linie i fig. 6a -men de samme henvisningstal er anvendt til at angive indbyrdes lignende dele af kurven. Potentialebrønden 26 (fig. 4) holder til stadighed fast på forspændingsladnin-35 gen 32 (fig. 4), svarende til den stiplede linie 15 i fig.

6. Denne stiplede linie svarer til begyndelsen på det for- 149674

O

9 holdsvis lineære område af overføringskurven. En hvilken som helst ladning, der tilføres denne potentialebrønd som reaktion på et indgangssignal V^, medfører en i hovedsagen lineær oméætning af dette indgangssignal til ladnin-5 gen 34 (fig. 4), fordi driften nu foregår i karakteristikkens lineære område. Ydermere er udformningen en sådan, at der opnås et fuldstændigt dynamik-område. Med andre ords da indgangs-potentialebrønden - dvs. brønden under elektroden G2 - ligger i et område hvor kanalen er bred, er 10 dens kapacitet forholdsvis stor, nemlig omtrent det dobbelte af hvad der gælder for overføringsbrøndene i den største del af det ladningskoblede organ. Således har indgangsbrønden, der ligger under elektroden G2, omtrent dobbelt så stor kapacitet som en brønd, der ligger under en sådan 15 elektrode som f.eks. 42 i fig. 2 og 3. Dette betyder, at selv om potentialebrønden 26 under lagerelektroden G2 kun er til rådighed til at modtage en signalladning op til en brøkdel af sin kapacitet - det er her antaget, at når indgangssignalet har sin maksimale værdi, optager det kun 20 halvdelen af brønden, idet forspændingsladningen optager resten af den - kan den signalladning, der "skummes af" fra denne potentialebrønd 26, alligevel fylde brønden under elektroden 42 til i hovedsagen dennes fulde kapacitet ved maksimalt indgangssignalniveau. Således vil det be-25 skrevne ladningskoblede organ arbejde lineært over i hovedsagen den fulde kapacitet for overførings-potentiale-brøndene i organets "krop", og organet udviser derfor et bredere nyttigt dynamik-område.

Overføringsfunktionen for en typisk overførings-30 potentialebrønd, som f.eks. den, der ligger under elektroden 42 i fig. 2 og 3, i relation til det til elektroden G^ tilførte indgangssignal VIN, er vist i fig. 6b. Overføringsbrøndens fulde kapacitet er vist ved 13. Det bemærkes, at driften er ganske lineær over næsten hele 35 karakteristikken. - I praksis har det vist sig, at ved yderst lave niveauer af indgangssignalet optræder der en mindre ulinearitet som vist ved 17, men årsagen her- 149674 o ίο til kendes endnu ikke fuldt ud.

Den i hovedsagen lineære arbejdskarakteristik, der er beskrevet ovenfor, er opnået uden at der behøves et ekstremt stort substrat-areal. I en praktisk udformning om-5 fatter den største del af det ladningskoblede organ over 500 trin - dvs. over 2000 elektroder - og kanalbredden, elektrodearealer og substrat-arealer er uændrede for samtlige af disse trin med undtagelse af det første. Elektroderne 14, 16, 18 og 20 i dette første trin er forøgede i 10 areal, der anvendes en ekstra port-elektrode Gg, og kildeelektroden og de første to port-elektroder er forøgede i areal. Den samlede forøgelse af størrelsen for hele det ladningskoblede organ er ikke betydelig, idet det kun drejer sig om brøkdele af en procent.

15 Mens der med henblik på forklaringen er blevet vist en driftsmåde med to faser, vil det selvsagt kunne indses, at opfindelsen med samme virkning kan anvendes på drift med tre, fire eller flere faser. Det skal også være underforstået, at mens det viste og beskrevne lad-20 ningskoblede organ omfatter et substrat af P-typen, kan opfindelsen med samme virkning anvendes på organer med substrater af N-typen, hvori der anvendes overfladelag af P-typen og et kildeområde af P-typen. Selvsagt skal der i så fald foretages dertil svarende ændringer i driftsspæn-25 dingerne. Endvidere er det muligt at anvende andre bølgeformer end de viste typiske sådanne. I det viste eksempel har f.eks. spændingen Vg den samme form som spændingen <J>^. Imidlertid kan korrekt drift og virkemåde også opnås, dersom Vg har en anden form end V^. Vg bør være lav, når 30 Vg er lav, men Vg kan stige inden spændingen af signalet stiger.

35

Claims (5)

149674 o PATENTKRAV.

1. Fremgangsmåde til drift af et ladningskoblet organ af den art, i hvilken en indgangspotentialebrønd (26) dannes i en kånal i et halvledersubstrat (10) i det lad-5 ningskoblede organ, og som har en indgangspotentialebrønd--overføringsfunktion for antallet af frembragte ladningsbærere som funktion af en indgangssignalspænding, som er ulineær i et første indgangssignalområde mellem et første og et andet signalniveau hhv. V2, og som er hovedsage-10 ligt lineær i et andet indgangssignalområde mellem det nævnte andet niveau V2 og et tredje signalniveau V^, hvor det første, andet og tredje niveau har successivt højere værdier, idet der i indgangspotentialebrønden (26) indføres et antal ladningsbærere, som er proportionalt med indgangs-15 signalets amplitude, og idet ladningen i indgangspotentialebrønden (26) udskilles og overføres til potentialebrønde i en fortsættelsesdel af kanalen langs dennes længde, kendetegnet ved følgende trin a-d: a) der anbringes i indgangspotentialebrønden (26) en for-20 spændingsladning (32) ved et niveau svarende til det antal ladningsbærere, der ville blive frembragt af et indgangssignal ved i hovedsagen det andet signalniveau V2, b) til den i indgangspotentialebrønden beliggende forspændingsladning adderes et antal ladningsbærere (34), der er 25 proportionalt med et indgangssignal, hvis amplitude ligger- i området fra nul til V3~V2, c) fra potentialebrønden "afskummes" alene den del af den deri beliggende ladning, der overstiger forspændingslad-ningssignalet, og 30 d) den "afskummede" ladning overføres langs med længderetningen af det ladningskoblede organs fortsættelseskanal ved at bringe ladningen til at forplante sig i potentialebrønde (f.eks. 42) af en kapacitet, der er væsentligt mindre end indgangspotentialebrøndens kapacitet, men alligevel 35 stor nok til at der kan oplagres en ladning svarende til det maksimale indgangssignalniveau V3~V2· 140674 O

2. Fremgangsmåde ifølge krav 1, kendetegnet ved, at det trin (b), hvori der til forspændings-ladningen adderes et antal ladningsbærere, der er proportionalt med det nævnte indgangssignal, omfatter 5 bl) at der først i indgangspotentialebrønden (26) indføres et antal sådanne ladningsbærere, som er større end det antal ladningsbærere der er bestemt af nævnte indgangssignals amplitude i overensstemmelse med overføringsfunktionen, og derpå 10 b2) at der som reaktion på det nævnte indgangssignal fra indgangspotentialebrønden fjernes et tilstrækkeligt antal ladningsbærere til at der i brønden forbliver oplagret et antal ladningsbærere svarende til forspændingsladningen plus det med indgangssignalet proportionale antal.

3. Ladningskoblet organ til udøvelse af fremgangs måden ifølge krav 1, og som er af den art, hvor en fortsættelsesdel af en kanal har en given bredde (w) i et substrat (10), og som omfatter fra substratet isolerede faseelektroder (42 m.v.), hvortil flerfasespændinger (ø^, ø2) 20 kan tilføres til dannelse af potentialebrønde i fortsættelsesdelen af kanalen i substratet til oplagring og overførsel af ladningssignaler langs med fortsættelsesdelen af kanalens længderetning, hvilket ladningskoblede organ også omfatter en i substratet (10) beliggende kildeelektro-25 de (S) samt fra substratet isolerede indgangselektroder (Gi-, G2, G^) , der er anbragt mellem kildeelektroden (S) og faseelektroderne, hvilken kildeelektrode og hvilke indgangselektroder i afhængighed af et indgangssignal (V^) kan styre indførelsen af ladning fra kildeelektroden (S) 30 til potentialebrøndene i fortsættelsesdelen af kanalen ved hjælp af den indgangspotentialebrønd (26), som dannes i substratet under en lagringselektrode blandt indgangselektroderne (G^, G 2, G3) , kendetegnet ved, at bredden af kanalen i den af indgangselektroderne (G^, G2,

35 G3) styrede del af kanalen er større end bredden (w) af fortsættelsesdelen af kanalen, så at ladningskapaciteten