Claims (10)
Dipl.-Ιηη K. '" Λ- Μ '. i" R ■ Europäische Patentanmeldung 83900511.3 . 3244/EPC NCR Corporation, World Headquarters, 30.1.1984 Dayton, Ohio 45479 (USA) Übersetzung der PatentansprücheDipl.-Ιηη K. '"Λ- Μ'. I" R ■ European patent application 83900511.3. 3244 / EPC NCR Corporation, World Headquarters, January 30, 1984 Dayton, Ohio 45479 (USA) Translation of the claims
1. Haltevorrichtung für einen integrierten Schaltungschip
(60) mit einer Buchsenvorrichtung (22) zum entfernbaren Befestigen des Chips (60), gekennzeichnet
durch ein thermisch leitendes Glied (20), das geeignet ist, für einen Wärmeaustausch mit dem angebrachten
Chip (60), thermoelektrische Vorrichtungen (14, 15, 18) in Wärmeaustausch mit dem thermisch leitenden Glied (20)
und geeignet, das thermisch leitende Glied (20) selektiv zu erwärmen oder zu kühlen, und Gasflußvorrichtungen
(27, 29, 30), die geeignet sind, einen Gasfluß in die Nachbarschaft des angebrachten Chips (60) zu leiten.1. Holding device for an integrated circuit chip
(60) with a socket device (22) for removably attaching the chip (60), characterized
by a thermally conductive member (20) suitable for heat exchange with the attached
Chip (60), thermoelectric devices (14, 15, 18) in heat exchange with the thermally conductive member (20)
and adapted to selectively heat or cool the thermally conductive member (20) and gas flow devices
(27, 29, 30), which are suitable to direct a gas flow in the vicinity of the attached chip (60).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die thermoelektrischen Vorrichtungen
erste und zweite thermoelektrische Stufen (14, 15; 18) aufweisen, wobei die zweite thermoelektrische
Stufe (.18) in Wärmeaustausch mit dem thermisch leitenden Glied (20) und mit einem thermisch leitenden.Anschlußfeld
(16) und die erste thermoelektrische Stufe (14, 15) in Wärmeaustausch mit dem thermisch leitenden Anschlußfeld
(16) sind.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the thermoelectric devices
first and second thermoelectric stages (14, 15; 18), the second thermoelectric
Stage (.18) in heat exchange with the thermally conductive member (20) and with a thermally conductive connection panel
(16) and the first thermoelectric stage (14, 15) in heat exchange with the thermally conductive connection panel
(16) are.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß die erste thermoelektrische Stufe
3. Apparatus according to claim 2, characterized in that the first thermoelectric stage
ein Paar thermoelektrischer Module (14, 15) aufweist.a pair of thermoelectric modules (14, 15).
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, gekennzeich-4. Apparatus according to claim 3, marked
p. net durch ein Körperglied (10) aus thermisch leitendem
Material, wobei das Körperglied (10) eine Ausnehmung (12.) aufweist, in der die thermoelektrischen Vorrichtungen
(14, 15; 18) angeordnet sind.p. net by a body member (10) made of thermally conductive
Material, wherein the body member (10) has a recess (12) in which the thermoelectric devices
(14, 15; 18) are arranged.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß die Gasflußvorrichtungen eine
innerhalb des Körpergliedes (10) angeordnete Gaskammer (50), eine Einlaßvorrichtung (30), die geeignet ist,
Gas der Gaskammer (50) zuzuführen, und eine Richtungs-5. Apparatus according to claim 4, characterized in that the gas flow devices a
within the limb (10) arranged gas chamber (50), an inlet device (30) which is suitable,
To supply gas to the gas chamber (50), and a directional
n_ steuervorrichtung (29), die geeignet ist, das Gas aus
15 n _ control device (29) capable of controlling the gas from 15
der Kammer (50) in Richtung des Chips (60) zu leiten,
aufweisen.to direct the chamber (50) in the direction of the chip (60),
exhibit.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch· ein geschlitztes Glied (27) mit einem
Schlitz, der einen Zugang zum Anbringen des Chips (60) in der Buchsenvorrichtung (22) hat, wobei die Richtungssteuervorrichtung durch geneigte Kanten (29) des
Schlitzes gebildet wird.6. Device according to claim 5, characterized by · a slotted member (27) with a
Slot having access for mounting the chip (60) in the socket device (22), the directional control device being provided by inclined edges (29) of the
Slit is formed.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch g e k e η η 25 7. Apparatus according to claim 6, characterized in that g e k e η η 25
z-eichnet , daß die Gaskammer (50) zwischen dem geschlitzten Glied (27) und einem thermisch isolierenden
Glied (24) mit einem Schlitz (26) angebracht ist, der ermöglicht, daß ein Teil des thermisch leitendenz-eichnet that the gas chamber (50) between the slotted member (27) and a thermally insulating
Member (24) is attached with a slot (26) which allows a portion of the thermally conductive
Gliedes (20).hindurchgelangt, wobei die Ausnehmung (12)
30Link (20). Passed through, wherein the recess (12)
30th
unterhalb des thermisch isolierenden Gliedes (24) angeordnet
ist. " .arranged below the thermally insulating member (24)
is. ".
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , daß das thermisch leitende Anschluß-
8. Apparatus according to claim 7, characterized in that the thermally conductive connection
''
feld (16) starr, durch Schrauben (17A, 17B) an einer un- ·
teren Fläche der Ausnehmung (12) angebracht ist, daß dasfield (16) rigid, by screws (17A, 17B) on an un-
lower surface of the recess (12) is attached that the
thermisch leitende Glied (20) mittels Schrauben (19a, 19b) andern
thermisch leitenden Anschlußfeld (16) starr angebracht
ist, daß die Buchsenvorrichtung (22) mittels Schrauben (23a.Change the thermally conductive member (20) by means of screws (19a, 19b)
thermally conductive connection panel (16) rigidly attached
is that the socket device (22) by means of screws (23a.
C- 23b) an dem thermisch isolierenden Glied (24) starr angeo
C- 23b) rigidly attached to the thermally insulating member (24)
bracht ist, und daß das geschlitzte Glied (27) und das thermisch isolierende Glied (21J) an dem Körperglied (10)
mittels Schrauben (28A, 28B, 25A, 25B) starr angebracht sind.is brought, and that the slotted member (27) and the thermally insulating member (2 1 J) are rigidly attached to the body member (10) by means of screws (28A, 28B, 25A, 25B).
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet , daß Temperaturüberwachungsvorrichtungen
an dem Körperglied (10) benachbart zur unteren Fläche der Ausnehmung (12) an dem thermisch leitenden
Anschlußfeld (16) und an dem thermisch leitenden Glied9. Apparatus according to claim 8, characterized in that temperature monitoring devices
on the body member (10) adjacent the lower surface of the recess (12) on the thermally conductive
Connection panel (16) and on the thermally conductive member
(20) vorgesehen sind.(20) are provided.
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
: dadurch gekennzeichnet, daß das Gas ein trockenes Stickstoffgas ist.10. Device according to one of the preceding claims,
: characterized in that the gas is a dry nitrogen gas.