DE973471C

DE973471C - Pneumatic measuring method and micrometer

Info

Publication number: DE973471C
Application number: DEC9487A
Authority: DE
Inventors: Paul Cayere
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1953-06-12
Filing date: 1954-06-11
Publication date: 1960-03-03
Also published as: FR1084711A

Description

AUSGEGEBEN AM 3. MÄEZ1960ISSUED MARCH 3, 1960

C 9487IX j42 bC 9487IX j42 b

Gegenstand der Erfindung ist ein pneumatisches Meßverfahren und ein zur Durchführung des Verfahrens dienendes pneumatisches Mikrometer, das die präzise Feststellung kleinster Maßabweichungen von Werkstücken gegenüber einem Vergleichsstück mit ausreichender Stellkraft zur Betätigung einer Anzeigevorrichtung, elektrischer Kontakte, Druckmittelverteiler od. dgl., ohne Beeinträchtigung der hohen Meßgenauigkeit ermöglicht. Das Verfahren gemäß der Erfindung knüpft an ein bekanntes Meßverfahren an, das in Fig. ι der Zeichnung in schematischer Schnittdarstellung veranschaulicht ist:The invention relates to a pneumatic measuring method and a method for carrying out the method Serving pneumatic micrometer that enables the precise determination of the smallest dimensional deviations of workpieces compared to a comparison piece with sufficient actuating force for actuation a display device, electrical contacts, pressure medium distributors or the like, without impairment the high measurement accuracy. The method according to the invention follows on from known measuring method, which is illustrated in Fig. ι of the drawing in a schematic sectional view is:

Ein Druckmittel, beispielsweise Luft, wird bei O mit konstantem Druck P₁ zugeführt. Es durchströmt eine Düse S₁, die hier als Kalibrierdüse bezeichnet wird, und anschließend eine Meßdüse S₂, unter der das zu messende Stück p angeordnet ist, dessen Abmessungen oder Volumen man feststellen will. Der zwischen den beiden Düsen herrschende Druck P₂ richtet sich offenbar nach dem Querschnittsverhältnis der Düsen S₁ und S₂. Die Düse vS^ besitzt einen gleichbleibenden Querschnitt, während der Querschnitt der Düse S₂ von dem Ringraum gebildet -wird, der durch den Abstand j zwischen dem Prüfstück/» und der Düse S₂ A pressure medium, for example air, is supplied at 0 with a constant pressure P ₁ . It flows through a nozzle S ₁ , which is referred to here as a calibration nozzle, and then a measuring nozzle S ₂ , under which the piece p to be measured is arranged, the dimensions or volume of which is to be determined. _{The pressure P 2} prevailing between the two nozzles is evidently based on the cross-sectional ratio of the nozzles S ₁ and S ₂ . The nozzle vS ^ has a constant cross-section, while the cross-section of the nozzle S _{2 is formed} by the annular space created by the distance j between the test piece / »and the nozzle S ₂

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bestimmt ist. Wenn der Abstand j wächst, nimmt der Austrittsquerschnitt der Düse S₂ entsprechend zu, und der Druck P₂ sinkt. Wenn der Abstand j sich verkleinert, nimmt der Austrittsquerschnitt der Düse S₂ entsprechend ab, und der Druck P₂ steigt. Das den Druck P₂ anzeigende Manometer kann gleichzeitig auch die Größe des Abstandes ;' bei entsprechender, z. B. experimentell ermittelter Eichung anzeigen. Allerdings kann das Meßergebnis durch jegliche Änderung des Druckes P₁ verfälscht werden, die auch den Druck P₂ beeinflußt, der dann nicht mehr ausschließlich von / abhängt. Wenn man andererseits ein empfindliches Anzeigeinstrument mit hoher Übersetzung für den zu messenden Abstand wählt, kann man nur über eine kleine Stellkraft für den Zeiger verfügen und hat unter Umständen eine starke Verfälschung des Meßergebnisses von / zu gewärtigen.is determined. If the distance j increases, the outlet cross section of the nozzle S _{2 increases} accordingly and the pressure P ₂ decreases. If the distance j decreases, the outlet cross-section of the nozzle S ₂ decreases accordingly, and the pressure P ₂ increases. The pressure gauge indicating the pressure P ₂ can at the same time also measure the size of the distance; with appropriate, z. B. show experimentally determined calibration. However, the measurement result can be _{falsified by any change in pressure P 1} which also influences pressure P ₂ , which then no longer depends exclusively on /. On the other hand, if you choose a sensitive display instrument with a high gear ratio for the distance to be measured, you can only have a small adjusting force for the pointer and under certain circumstances you have to expect a strong falsification of the measurement result.

Es wurden bereits Präzisionsmeßgeräte gebaut, die. auf dem Prinzip beruhen, daß ein Druckmittel über zwei getrennte parallele Düsen einmal über eine dieser Düsen mit einer Kammer in Verbindung steht, die durch eine stromabwärts liegende Düse für die zu messende Größe beeinflußt wird, a5 und ein andermal über die andere der beiden Düsen mit einer zweiten Kammer mit einer durch eine Mikrometerschraube regelbaren Austrittsöffnung, wobei die in den beiden Kammern auftretenden Drücke ,auf zwei gleich große Flächen einer Membran oder auf zwei Balgen von gleichem "Durchmesser einwirken. Ferner sind bereits pneumatische Mikrometer bekannt, bei denen ein beweglicher Teil des Mikrometers mit einer Anzeigevorrichtung verbunden ist.Precision measuring devices have already been built that. based on the principle that a pressure medium via two separate parallel nozzles, once in connection with one of these nozzles with a chamber which is influenced by a downstream nozzle for the quantity to be measured, a5 and another time via the other of the two nozzles with a second chamber with an outlet opening that can be regulated by a micrometer screw, the pressures occurring in the two chambers on two equally large areas of a membrane or act on two bellows of the same "diameter. Furthermore, pneumatic Micrometer known in which a moving part of the micrometer with a display device connected is.

Die vorliegende Meßeinrichtung bedient sich eines durch zwei hintereinanderliegende öffnungen geleiteten Gasstromes, dessen aus der zweiten öffnung austretende Menge in Abhängigkeit von der zu messenden Größe steht. Zum Unterschied von den bekannten Vorrichtungen ist das pneumatische Mikrometer nach der Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß der mit der Anzeigevorrichtung verbundene bewegliche Teil, wie z. B. ein Kolben, eine Membrananordnung od. dgl., zwei Flächen unterschiedlicher Größe aufweist, auf welche die Drücke in umgekehrtem Sinn wirken und von denen die kleinere Fläche unmittelbar von dem Zuleitungsdruck und die größere Fläche von dem zwischen den beiden öffnungen herrschenden Druck beauf-So schlagt wird. Diese Einrichtung läßt mit einfachen Mitteln eine Vergrößerung der Bewegungen des Meßorgans hinsichtlich Länge und Stellkraft erzielen. Ferner kommt die Einrichtung nach der Erfindung mit einer einzigen Druckluftströmung aus, wodurch ebenfalls die Bauart vereinfacht und ein geringer Druckluftverbrauch gewährleistet wird.The present measuring device makes use of one through two openings one behind the other directed gas stream, its from the second opening the amount escaping depends on the size to be measured. In contrast to the known devices, the pneumatic micrometer according to the invention is characterized by that the movable part connected to the display device, such as. B. a piston, a Diaphragm arrangement or the like, has two surfaces of different sizes on which the pressures act in the opposite sense and of which the smaller area is directly from the supply pressure and the larger area from that between the pressure prevailing in the two openings is beat. This device can with simple means an increase in the movements of the Achieve measuring element in terms of length and actuating force. Furthermore, the device according to the invention comes with a single flow of compressed air, which also simplifies the design and a low compressed air consumption is guaranteed.

Hierfür geeignete Einrichtungen sind in Fig. 2 bis 8 der Zeichnungen in verschiedenen Ausführungsbeispielen schematisch im Schnitt dargestellt. Die Ausführungsform entsprechend Fig. 2 zeigt einen Zylinder A mit einem Differentialkolben B, der im Idealfall ohne Spiel und Reibung in dem Zylinder untergebracht ist. In den Ringraum von der Fläche s wird das Druckmittel mit dem Druck P₁ von der Druckmittelquelle O aus zügeführt. Der große Zylinderraum mit dem Querschnitt vS" ist zwischen die Kalibrierdüse S₁ und die Meßdüse Sm geschaltet und steht unter dem Druck P₂.Devices suitable for this are shown schematically in section in various exemplary embodiments in FIGS. 2 to 8 of the drawings. The embodiment according to FIG. 2 shows a cylinder A with a differential piston B which, in the ideal case, is accommodated in the cylinder without play and friction. The pressure medium with the pressure P _{1 is} supplied from the pressure medium source O into the annular space of the area s. The large cylinder space with the cross section vS ″ is connected between the calibration nozzle S ₁ and the measuring nozzle Sm and is under pressure P ₂ .

Auf den Differentialkolben B wirken zwei entgegengesetzt gerichtete Kräfte, und zwar nach oben P₁'s und nach unten P₂ -5*. Der Kolben Verharrt im Gleichgewicht, wenn das Verhältnis P₂ZP₁ gleich dem Verhältnis s/S der Querschnitte des Differentialkolbens ist. Dem Kolben B fällt also die Aufgabe zu, das Verhältnis der Drücke P₂IP₁ jeweils zu ermitteln; ist es zu klein, dann steigt er an, ist es zu groß, dann sinkt er herab. Mit dem Kolben bewegt sich eine an ihm befestigte Nadel C, die eine Ausgleichdüse Si mehr oder weniger öffnet. Wenn das Verhältnis der Drücke P₂IP₁ zu klein ist, steigt der Kolben B, und die Nadel C schließt die Düse Si₁ so daß der Druck P₂ ansteigt und der Kolben zum Stillstand kommt, sobald das Verhältnis der Drücke seinen s/S entsprechenden Gleichgewichtswert erlangt hat. Wenn das Verhältnis der Drücke P₂IP₁ zu groß ist, sinkt der Kolben B, und die Nadel C öffnet die Düse Si. Der Druck P₂ vermindert sich, und das Absinken des Kolbens B hört in dem Augenblick auf, in dem das Druckverhältnis P₂(P₁ gleich s/S wird. Kurz zusammengefaßt stellt der Kolben B mit der Nadel C und der Düse Si einen selbsttätigen Regler für das Verhältnis der Drücke P₂IP₁ dar und bringt dieses immer wieder auf den Wert der Differentialkolbenflächen s/S. Two oppositely directed forces act on the differential piston B , namely upwards P ₁ 's and downwards P ₂ -5 *. The piston remains in equilibrium when the ratio P ₂ ZP _{1 is} equal to the ratio s / S of the cross-sections of the differential piston. The task of piston B is therefore to determine the ratio of the pressures P ₂ IP _{1 in} each case; if it is too small it rises, if it is too big it sinks. A needle C attached to the piston moves with the piston and more or less opens a compensating nozzle Si. If the ratio of the pressures P ₂ IP _{1 is} too small, the piston B rises and the needle C closes the nozzle Si ₁ so that the pressure P ₂ rises and the piston comes to a standstill as soon as the ratio of the pressures is s / S has attained a corresponding equilibrium value. If the ratio of the pressures P ₂ IP _{1 is} too large, the piston B descends and the needle C opens the nozzle Si. The pressure P ₂ decreases, and the lowering of the piston B ceases at the moment when the pressure ratio P ₂ (P ₁ equals s / S. Briefly summarized, the piston B with the needle C and the nozzle Si is an automatic one Controller for the ratio of the pressures P ₂ IP ₁ and brings this again and again to the value of the differential piston areas s / S.

Die Fig. 1 der Zeichnung läßt erkennen, daß das Verhältnis P₂[P₁ von dem Verhältnis der Durchtrittsquenschnitte der' Düsen vS^ und ^₂. abhängt und daß letztere gemäß Fig. 2 durch die Summe der beiden Düsen Λ" und Sm ersetzt ist. Der Reglerkolben B bewirkt durch die Gleichhaltung der Druckverhältnisse zugleich auch eine Gleichhaltung des Verhältnisses der Düsenquerschnitte und, da die Kalibrierdüse S₁ konstant ist, eine genaue Gleichhaltung der Summe Si + Sm. Fig. 1 of the drawing shows that the ratio P ₂ [P ₁ of the ratio of the passage cross sections of the 'nozzles vS ^ and ^ ₂ . dependent and that the latter as shown in FIG. 2 by the sum of the two nozzles Λ "and Sm is replaced. The regulator piston B caused by the DC position of the pressure conditions at the same time a DC attitude of the ratio of nozzle cross sections and, as the sizing die S is constant _1, an accurate Equalization of the sum Si + Sm.

Wenn der Abstand; zunimmt, vergrößert sich der Querschnitt Sm, der Druck P₂ sinkt, der Kolben B steigt, und die Nadel C schließt Si um einen der Vergrößerung von Sm gleichen Betrag. Wenn man der Nadel C ein entsprechendes Profil gibt, kann man die Verstellungen von C den Änderungen des Abstandes / entsprechend einer frei gewählten Gesetzmäßigkeit anpassen, die streng eingehalten wird. Wird die nadelartige Spitze C dünn gewählt oder der Durchmesser der Düse Sm verstärkt, dann muß die Nadel C einen größeren Weg zurücklegen, um eine geringe Änderung des Abstandes ; auszugleichen; somit wird die Übersetzung vergrößert, die z. B. ioofach sein kann.When the distance; increases, the cross-section Sm increases, the pressure P ₂ decreases, the piston B increases, and the needle C closes Si by an amount equal to the increase in Sm. If you give the needle C an appropriate profile, you can adjust the adjustments of C to the changes in the distance / according to a freely chosen law that is strictly adhered to. If the needle-like tip C is chosen to be thin or the diameter of the nozzle Sm is increased, then the needle C must cover a greater distance in order to achieve a slight change in the distance; balance; thus the translation is increased, the z. B. ioofach can be.

Die Verstellung von C, durch die der Abstand / gemessen wird, kann noch weitergehend durch Hebelanordnungen, Verzahnungen u. dgl. vergrößert werden, z. B. durch eine handelsübliche Meßuhr D. Eine auf Hundertsttel ansprechende Meßuhr vergrößert die Bewegungen von C ioofach, wo-The adjustment of C, by means of which the distance / is measured, can be further increased by lever arrangements, toothing and the like, e.g. B. by a commercially available dial gauge D. A dial gauge responding to hundredths increases the movements of C ioofach, where-

durch beispielsweise bei der vorliegenden Ausführung eine io ooofache Vergrößerung der Änderungen des Abstandes j erzielt wird mit einem großen Regelungsspielraum für mehr oder weniger starke Vergrößerungen. Das Gerät ist von Schwankungen des Druckes P₁ völlig unabhängig, da jede Änderung des Ausgangsdruckes den Zwischendruck P₂ proportional ändert und somit das Druckverhältnis unverändert und der Kolben B unbeweg-Hch bleibt.by, for example, in the present embodiment, an increase of the changes in the distance j is achieved by a factor of 100, with a large control margin for more or less strong enlargements. The device is completely independent of fluctuations in the pressure P ₁ , since every change in the output pressure changes the intermediate pressure P ₂ proportionally and thus the pressure ratio remains unchanged and the piston B remains immobile.

Andererseits bildet das Gerät auch einen Servomotor von beliebig wählbarer Stellkraft. Mit einem Druck P₁ von 5 atü und einer Kolbenfläche j von 20 cm² verfügt man bereits an dem Kolben über 100 kg, diese Kraft läßt sich leicht durch höheren Druck oder eine größere Kolbenfläche verstärken. Die Einrichtung nach der Erfindung läßt also eine Vergrößerung, und zwar in zweifacher Richtung, nämlich sowohl hinsichtlich der Länge als auchOn the other hand, the device also forms a servomotor with a freely selectable actuating force. With a pressure P ₁ of 5 atmospheres and a piston area j of 20 cm ² , the piston already has over 100 kg; this force can easily be increased by higher pressure or a larger piston area. The device according to the invention can therefore be enlarged, namely in two directions, namely both in terms of length and

ao hinsichtlich der Stellkraft, erzielen.ao with regard to the actuating force.

Es muß darauf verwiesen werden, daß die vorstehende Servoeinrichtung sich von dem üblichen Servoantrieb etwas unterscheidet, denn der Kolben B, der in erster Linie ein Ermittler für das Druckverhältnis P₂IP₁ ist, dient bei einem etwaigen Regelvorgang gleichzeitig als Antriebskolben des für das Druckverhältnis P₂IP₁ in Betracht kommenden Regelorgans. Hieraus ergibt sich eine große bauliche Einfachheit und eine außerordentliehe Beständigkeit. Man kann indessen im Rahmen der Erfindung den Kolben B nur als Ermittler für das Druckverhältnis P₂IP₁ verwenden und durch ihn den Verteiler eines üblichen pneumatischen, hydraulischen, elektrischen oder sonstigen Servoantriebes steuern, welche letzterer die Reglernadel C betätigt.It must be pointed out that the above servo device differs somewhat from the usual servo drive, because the piston B, which is primarily a determiner for the pressure ratio P ₂ IP ₁ , also serves as the drive piston for the pressure ratio during any control process P ₂ IP ₁ relevant regulating body. This results in great structural simplicity and extraordinary durability. In the context of the invention, however, the piston B can only be used as a determiner for the pressure ratio P ₂ IP ₁ and through it control the distributor of a conventional pneumatic, hydraulic, electric or other servo drive which actuates the regulator needle C.

Das von der Nadel C und der Düse Si gebildete Regelunigsorgan kann auch durch beliebige andere Regelungsmittel mit veränderlichem QuerschnittThe control element formed by the needle C and the nozzle Si can also be controlled by any other control means with a variable cross-section

verkörpert sein. Die regelbare AustrittsöfFnung Si kann an Stelle parallel zur Meßdüse Sm auch in Reihe mit ihr angeordnet sein, der Antrieb der Meßuhr D oder der Kontakte, Registriervorrichtung u. dgl. kann auch von der Unterseite des Kolbens B aus erfolgen, wie dies in Fig. 5 der Zeichnung dargestellt ist. Schließlich kann auch die Reglernadel C an Stelle des Luftaustrittes Si die Kalibrierdüse S₁ steuern, jedoch im entgegengesetzten Sinne, so daß S₁ geöffnet wird, wenn P₂IP₁ klein ist.be embodied. The controllable outlet opening Si can also be arranged in series with it instead of parallel to the measuring nozzle Sm , the drive of the dial gauge D or the contacts, recording device and the like can also take place from the underside of the piston B , as shown in FIG the drawing is shown. Finally, the regulator needle C can control the calibration nozzle S ₁ instead of the air outlet Si , but in the opposite sense, so that S _{1 is} opened when P ₂ IP _{1 is} small.

Bei den vorstehend beschriebenen Einrichtungen ist vorausgesetzt, daß der Differentialkolben ohne Spiel und Reibung wirksam ist, in der Praxis läßt sich dies nicht mit der in Fig. 2 verkörperten Ausführungsform bewerkstelligen. Zu diesem Zweck wird daher für den praktischen Gebrauch der nur theoretisch wirksame Differentialkolben nach Fig. 2 durch eine mehr oder weniger gleichwertige Einrichtung ersetzt, wie Membranen mit vorbestimmter Ausdehnung, in Fig. 3 mit E und P bezeichnet, Wellenmembranen G undi? aus Metall entsprechend Fig. 4, ähnlich wie die bei Barometern benutzten Druckkörper. Elastisch verformbare Gummimanschetten / und K gemäß Fig. 5 gewährleisten freie Beweglichkeit und Abdichtung des Kolbens L. Die Fig. 6 zeigt einen Kolben Q mit konzentrischen Balgen aus Metall oder beliebige andere gleichwertige Elemente, die zwei verschieden große Flächen S und ^ aufweisen und somit den Differentialkolben B ersetzen.In the devices described above, it is assumed that the differential piston is effective without play and friction, in practice this cannot be achieved with the embodiment shown in FIG. For this purpose, the only theoretically effective differential piston according to FIG. 2 is replaced by a more or less equivalent device, such as diaphragms with a predetermined expansion, denoted by E and P in FIG. 3, shaft diaphragms G and I? made of metal according to FIG. 4, similar to the pressure body used in barometers. Elastically deformable rubber sleeves / and K in FIG. 5 ensure free movement and sealing of the piston L. Fig. 6 shows a piston Q with concentric bellows made of metal or any other equivalent elements having two different sized areas S and ^ and thus the Replace differential piston B.

Die kleinere Fläche s kann entweder in der Mitte angeordnet sein, wie in Fig. 3 bis 5 gezeigt, oder auch in dem Ringraum entsprechend Fig: 2 und 6; letztere Anordnung bietet den Vorteil, daß man einen zweiten Stift R als Zeiger nach außen führen kann.The smaller area s can either be arranged in the middle, as shown in FIGS. 3 to 5, or in the annular space according to FIGS. 2 and 6; the latter arrangement offers the advantage that a second pin R can be used as a pointer to the outside.

Die Anwendungsformen der Erfindung sind sehr verschieden: Bei der Ausführung nach Fig. 2 liest man an der Meßuhr D alle Änderungen der Stärke des Prüfstückes p ab, mit einer Einteilung von beispielsweise zehn Teilstrichen je Mikron. In Fig. 3 ist die Meßdüse Sm an dem Tisch T einer Werkzeugmaschine angebracht, der auf einer Führung U gleitet, deren winkelrechte Lage dadurch geprüft wird, daß die Düse Sm ein Lineal V abtastet, wobei die Änderungen des Abstandes / die Abweichungen von der winkelrechten Lage ergeben; sie werden vergrößert ■ und auf einer Trommel W aufgezeichnet, deren Umlauf mit der Bewegung des Tisches T gekuppelt ist.The forms of application of the invention are very different: In the embodiment according to FIG. 2, all changes in the thickness of the test piece p are read on the dial gauge D , with a division of, for example, ten graduation marks per micron. In Fig. 3 the measuring nozzle Sm is attached to the table T of a machine tool, which slides on a guide U , the angular right position is checked by the fact that the nozzle Sm scans a ruler V , the changes in the distance / the deviations from the right angle Location revealed; they are enlarged and recorded on a drum W , the rotation of which is coupled to the movement of the table T.

In der Ausführung nach Fig. 4 betätigt die Nadel C über eine Zunge X zwei Kontakte Y und Z oder auch deren mehrere, die Signallampen für Größt- und Kleinstmasse zum Aufleuchten bringen oder Sortierfächer für die Werkstücke steuern oder Regelungsorgane der Werkzeugmaschine, deren Arbeit das Servomikrometer überwacht.In the embodiment according to FIG. 4, the needle C actuates two contacts Y and Z or several of them via a tongue X , which light up the signal lamps for the largest and smallest masses or control sorting compartments for the workpieces or regulating organs of the machine tool whose work is the servomicrometer supervised.

In Fig. 7 sind zwei Servomikrometer gemäß der Erfindung für empfindliche Messungen in Hintereinanderschaltung gezeigt. Es handelt sich bei dieser Darstellung beispielsweise um die Prüfung der Beschaffenheit einer bearbeiteten Oberfläche b. Ein sehr empfindlicher und kleiner Taster d folgt dem Profil und ändert den Abstand; gegenüber einer kleinen Meßdüse sm. Ein erstes Servomikro-. meter e vergrößert den Ausschlag und erzeugt eine schon wahrnehmbare Stellkraft zur Betätigung einer großen Meßdüse Sm, die das Servomikrometer f der zweiten Stufe steuert, das auf. der Trommel g die Rauheit des Oberflächenprofils anzeigt. In Fig. 7 two servo micrometers according to the invention for sensitive measurements are shown in series. This representation is, for example, the examination of the condition of a machined surface b. A very sensitive and small button d follows the profile and changes the distance; compared to a small measuring nozzle sm. A first servo micro. meter e increases the deflection and generates an already perceptible actuating force for actuating a large measuring nozzle Sm, which controls the servomicrometer f of the second stage, which opens. the drum g indicates the roughness of the surface profile.

In Fig. 8 ist ein weiteres abgeändertes Ausführungsbeispiel dargestellt, das in zwei wesentlichen Punkten abweicht.In Fig. 8, a further modified embodiment is shown, which in two essential Points deviates.

Einmal ist die Drossel in Fortfall gelangt. Die Kalibrierdüse S₁ kann an den Auslaß der Balgen M' und N' nach außen verlegt werden, wodurch die Einstellung erleichtert wird. Außerdem kann der den Balgen N' umschließende Hohlraum im Innern des Behälters Ά mit Flüssigkeit gefüllt werden, die den für das gasförmige Druckmittel zur Messung benötigten toten Raum w auf einen Geringstwert vermindert. Somit wird die Meßgeschwindigkeit gesteigert.Once the throttle came to an end. The calibration nozzle S ₁ can be relocated to the outlet of the bellows M ' and N' to the outside, whereby the adjustment is made easier. In addition, the cavity inside the container Ά surrounding the bellows N ' can be filled with liquid which reduces the dead space w required for the gaseous pressure medium for measurement to a minimum. Thus the measuring speed is increased.

Andermal steuert der Kolben Q' am Boden der 1*5 Balgen M' -und Λ^Γ' an Stelle einer mechanischenAt other times, the piston Q ' at the bottom controls the 1 * 5 bellows M' and Λ ^Γ 'instead of a mechanical one

eine hydraulische ,Übersetzung üblicher Art. Der Innenraum des Balgens M', der bei den anderen Ausführungen bisher mit der Außenluft in freier Verbindung stand, ist nunmehr luftdicht abgeschlossen, mit einer farbigen Flüssigkeit gefüllt sowie durch ein Standrohr g' verlängert, in dem die farbige Flüssigkeitssäule alle Änderungen von Q' mit einer Übersetzung wiedergibt, die dem Querschnittsverhältnis des von dem Balgen M' begrenzten Innenraumes und des Standrohres g' entspricht. Eine elastische Membran io mit Stellschraube 11 erlaubt eine bequeme Einstellung der Nullage der farbigen Flüssigkeitssäule zum Ausgleich etwaiger Verluste durch Verdunstung.a hydraulic, translation of the usual type. The interior of the bellows M ', which was previously in free connection with the outside air in the other versions, is now airtight, filled with a colored liquid and extended by a standpipe g' in which the colored Liquid column reproduces all changes in Q ' with a translation which corresponds to the cross-sectional ratio of the interior space delimited by the bellows M' and of the standpipe g ' . An elastic membrane io with adjusting screw 11 allows easy setting of the zero position of the colored liquid column to compensate for any losses due to evaporation.

Zugleich mit der hydraulischen Anzeigevorrichtung g' .steuert der Kolben Q' über einen Stift 12 nebst "elastischer und dichter Membran 13 einen weiteren Stift 14, erforderlichenfalls durch Hebelübersetzung, mit einem oder mehreren Flachfeder-Simultaneously with the hydraulic display device g ', the piston Q ' controls a further pin 14 via a pin 12 in addition to the elastic and tight membrane 13, if necessary by means of a lever transmission, with one or more flat spring

ao kontakten M₁, W₂, M₃, n_i mit festen oder einstellbaren Anschlägen P₁, P₂, P₃, P₄, welche die Lage des Kolbens Q' genau bestimmen. Letzterer schließt oder öffnet den Kontakt und bleibt dabei frei beweglich und kann das Meßergebnis des Abstandes / der Meßdüse S₂ über dem Prüfstück p anzeigen, das durch die farbige Flüssigkeitssäule dies Rohres g' mit beispielsweise 5000-, 10 000- oder 2000ofacher Vergrößerung angezeigt wird. Ein unterer Anschlag 15 und ein oberer Ansatz 16 begrenzen die An-ao contacts M ₁ , W ₂ , M ₃ , n _i with fixed or adjustable stops P ₁ , P ₂ , P ₃ , P ₄ , which precisely determine the position of the piston Q '. The latter closes or opens the contact and remains freely movable and can display the measurement result of the distance / the measuring nozzle S ₂ above the test piece p , which is indicated by the colored liquid column of this tube g ' with, for example, 5000, 10,000 or 2000 times magnification . A lower stop 15 and an upper shoulder 16 limit the

schlage von Q', um einen Austritt der farbigen Flüssigkeit aus dem Rohr g' oder ein Eindringen von Luft in die Kammer der hydraulischen Anzeigevorrichtung zu vermeiden.suggest from Q 'in order to prevent the colored liquid from escaping from the pipe g' or the ingress of air into the chamber of the hydraulic indicator device.

Claims

Patent claims:

i. Pneumatic micrometer for determining very small dimensions with a moving one Part of the micrometer is connected to a display device and to one through two consecutive openings directed gas flow, the amount of which emerges from the second (measuring) opening as a function of depends on the variable to be measured, characterized in that the one with the display device connected moving part, such as B. a piston, a diaphragm assembly Od. Like., Has two surfaces of different sizes, on which the pressures in reverse Make sense and of which the smaller area is directly affected by the supply pressure and the larger area is acted upon by the pressure prevailing between the two openings will.

2. Micrometer according to claim 1, characterized in that that the size of the areas is dimensioned so that the ratio of The area is the inverse ratio of the pressures with normal discharge from the second opening while the device is in equilibrium.

3. micrometer according to claim 1, characterized .gekiert, that the movable part with the two pressure surfaces has a movable plate, which is connected to two concentric bellows of different diameters, whose other ends are attached to a fixed floor, and that this device in one tight container is housed, while the two pressure surfaces by the two bellows are limited.

4. Mikrometer'nach claim 1, characterized in that that the movable part is connected to the two pressure surfaces with a control element for eme secondary opening, which is on responds to the pressure prevailing between the two openings.

5. ' Modification of the micrometer according to claim i, characterized in that the movable Part with the two pressure surfaces connected to a control element for the calibration opening is.

6. micrometer according to claim 1 to 3 with hydraulic servo device, characterized in that that the intermediate pressure on the larger limited by the outer bellows Area acts and the supply pressure on the one of the limited by the inner bellows small areas, while the other is a small area bounded by the inner bellows for example colored liquid in a display device, e.g. B. a clear tube, diiiches.

7. modification of the micrometer according to claim i, characterized in that the movable Part of a first micrometer according to claim ι with a display device on a second micrometer according to claim 1 is connected, the measuring port of which is movable from the Part of the first micrometer is controlled.

Considered publications: German Patent Specifications No. 882627, 866853; U.S. Patent No. 2,669,246.

1 sheet of drawings