DE971116C

DE971116C - Verfahren zum Verdampfen von Stoffen, insbesondere zum Aufdampfen auf Traegerunterlagen

Info

Publication number: DE971116C
Application number: DES24584A
Authority: DE
Inventors: Dr Hans Lauckner
Original assignee: Standard Elektrik Lorenz AG
Current assignee: Alcatel Lucent Deutschland AG
Priority date: 1951-08-26
Filing date: 1951-08-26
Publication date: 1958-12-11

Description

Verfahren zum Verdampfen von Stoffen, insbesondere zum Aufdampfen auf Trägerunterlagen Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Verdampfen von Stoffen, insbesondere zum Aufdampfen auf Trägerunterlagen. Es handelt sich hierbei z. B. um die Herstellung der Schichten für Kondensatoren, Trockengleichrichter u. dgl.
Bei der Herstellung einer Oberflächenschicht bzw. eines geschichteten Systems auf einer Trägerunterlage nach dem Aufdampfverfahren entstehen bekanntlich häufig Schwierigkeiten, die verursacht werden durch eine ungünstige Oberflächenbeschaffenheit der zu verbindenden Schichten. Dies ist z. B. der Fall beim Aufdampfen einer Selenschicht auf eine Trägerelektrode aus Aluminium zur Herstellung eines Selengleichrichters. Da dessen Trägerelektrode mit einer Aluminiumoxydschicht bedeckt sein kann, wird nur eine geringe Haftfähigkeit der aufgedampften Selenschicht erreicht. Zur Überwindung dieser Schwierigkeit hat man bereits versucht, einen innigen Kontakt zwischen dem Halbleiter- und Elektrodenmaterial dadurch herzustellen, daß der Halbleiter mit der einen oder mit beiden Elektroden durch Ultraschalleinwirkung verbunden wird. Zu diesem Zweck findet die Einwirkung von Ultraschall an den Elektroden statt. Bekannt ist ferner, die Halbleiterschicht auf ihrer Trägerunterlage mit Ultraschall zu behandeln.
Die Erfindung hat nun ebenfalls die Anwendung von Ultraschall zum Gegenstand und geht von der Erkenntnis aus, daß die Oberfläche des zu verdampfenden Stoffes ebenfalls Schichten besitzt, die den Verdampfungsvorgang erschweren. Die Erfindung bezweckt, diese Nachteile zu vermeiden, und besteht darin, daß beim Aufdampfen von Stoffen auf Trägerunterlagen der zu verdampfende Stoff vor oder während des Verdampfens der Einwirkung von Ultraschall ausgesetzt wird.
Es ist ersichtlich, daß sich das Verfahren nach der Erfindung grundsätzlich von den bekannten Verfahren dadurch unterscheidet, daß nicht wie z. B. beim Trockengleichrichter die zu bedampfende Trägerunterlage oder eine auf die Trägerunterlage aufgebrachte Schicht, sondern der zu verdampfende Stoff selbst mit Ultraschall behandelt wird.
Durch die Anwendung der Empfindung ergibt sich eine Reihe von Vorteilen, -und zwar hauptsächlich bezüglich des Oberflächenverhaltens, aber auch hinsichtlich der inneren Struktur des zu verdampfenden Stoffes.
Bei Anwendung des Aufdämpfverfahrens befindet sich der aufzudampfende Stoff im flüssigen Zustand und neigt z. B. zur Bildung von oxydierten Oberflächenschichten. Durch die Einwirkung von Ultraschall auf den Stoff im Verdampfer vor oder während des Verdampfens wird eine günstige Oberflächenstruktur für die Verdampfung erhalten, und zwar in der Weise, daß die störenden Oberflächenschichten beseitigt werden und eine Vergleichmäßigung der Oberflächenstruktur eintritt. Durch diesen Prozeß wird ferner die Oberflächenspannung des zu verdampfenden flüssigen Stoffes verringert. Auf diese Weise erfolgt das Verdampfen und die Bedampfung des Trägers gleichmäßiger und schneller. Die durch Ultraschalleinwirkung erzielte Beschleunigung der Bedampfung spielt eine bedeutende Rolle beim Herstellen von Schichten auf wärmeempfindlichen Trägern, z. B, Dielektriken von Kondensatoren. Das Verfahren nach der Erfindung hat weiterhin den Vorteil, daß im Innern des zu verdampfenden Stoffes eine gleichmäßige Verteilung der absorbierten gasförmigen und festen Verunreinigungen sowie unter Umständen der zugesetzten Fremdstoffe erzielt wird, so daß die Verdampfung auf der gesamten Oberfläche des zu verdampfenden Stoffes in einheitlicher Phase stattfindet und somit zu einer gleichmäßigen Verteilung der Fremdstoffe in der aufgedampften Schicht führt.
Für die Aufbringung von Schichten nach dem Aufdampfverfahren, die im allgemeinen im Hochvakuum erfolgt, genügt oftmals die Behandlung des zu verdampfenden flüssigen Stoffes mit Ultraschall vor Beginn des Bedampfungsvorganges. Es handelt sich dabei meist um die Überwindung einer Oxydschidht oder einer adsorbierten Gasschicht auf dem zu verdampfenden Stoff. Eine kurzzeitige Einwirkung von geringer Intensität ist dann ausreichend.
In anderen Fällen, bei denen das zu bedampfende Gut während der Bedampfung einer Wärmebehandlung unterzogen wird und zur Abscheidung von Dämpfen oder Gase oder zur Oxydation neigt, wird man zweckmäßig die Ultraschalleinwirkung auch- während der Bedampfung aufrechterhalten.

Claims

PATENTANSPRUCH: Verfahren zum Aufdampfen von Stoffen auf Trägerunterlagen, dadurch gekennzeichnet, daß der zu verdampfende Stoff vor oder während des Verdampfens der Einwirkung von Ultraschall ausgesetzt wird. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 932 1o7.