Korpuskularstrahlapparat Die Erfindung betrifft einen Korpuskularstrahlapparat,
der wahlweise zur Herstellung von vergrößerten Bildern und Beugungsbildern von Objekten
benutzt werden kann. Es sind für diese Zwecke Elektronenmikroskope bekannt, bei
denen die abbildenden Linsen zur Herstellung von Beugungsaufnahmen völlig aus ,dem
Strahlengang herausgeklappt werden müssen. Mikroskope dieser Art benötigen ein sehr
großes Vakuumgefäß, um die erforderlichen@.Schwenkbewegungendurchführen zu können.
Für die Erfindung ist es wesentlich, daß zur wahlweisen Herstellung von vergrößerten
Bildern und Beugungsbildern die Linsen selbst an ,der ihnen zugeordneten Stelle
bleiben können. Erfindungsgemäß besitzen .den Linsen zugeordnete Apparatteile elektromagnetische
Antriebe, mit denen sie bei eingeschalteter Linse wirksam und bei ausgeschalteter
Linse unwirksam gemacht werden können. Diese Antriebe werden dabei solchen Linsenteilen
zugeordnet, die bei der Herstellung von Beugungsauf@na:hmen den ,Strahlengang stören
würden. So wird man beispielsweise eine der Objektivspule zugeordnete Blende mit
einem elektromagnetischen Antrieb versehen. Ferner kann man bei der Ausgestaltung
der Erfindung einen,der Objektivlinse zugeordneten Zwischenbildleuchtschirm mit
einem derartigen Antrieb ausstatten. Man kann ferner auch einen der Projektionslinse
zugeordneten, vorzugsweise quer zur Strahlrichtung verstellbaren Polschu:heinsatzkörper
mit einem elektromagnetischen Antrieb versehen. Durch die Anwendung der elektromagnetischen
Antriebe gelingt
es, den übergang von der einen Betriebsweise zur
.anderen Betriebsweise des Gerätes sehr rasch,durchzuführen. Man kann ,beispielsweise
alle die ge-.nannten Teile in die Schaltung so einfügen, daß sie durch Betätigung
eines einzigen Schalters in die für die Vergrößerung von Bildern benötigte Stellung
oder in .die für die Herstellung von Beugungsbindern notwendige Lage gebracht werden.Corpuscular beam apparatus The invention relates to a corpuscular beam apparatus,
optionally for the production of enlarged images and diffraction images of objects
can be used. There are known electron microscopes for this purpose
which the imaging lenses for the production of diffraction recordings completely from, the
Beam path must be folded out. Microscopes of this type need a lot
large vacuum vessel in order to be able to carry out the necessary swiveling movements.
For the invention it is essential that for the optional manufacture of enlarged
Images and diffraction images the lenses themselves at the place assigned to them
can stay. According to the invention, apparatus parts assigned to the lenses have electromagnetic
Drives with which they are effective when the lens is switched on and when it is switched off
Lens can be made ineffective. These drives are such lens parts
assigned that interfere with the production of diffraction recordings, the beam path
would. For example, a diaphragm assigned to the objective coil is also used
provided with an electromagnetic drive. You can also use the design
of the invention with an intermediate fluorescent screen associated with the objective lens
equip such a drive. You can also use one of the projection lenses
associated pole shoe insert body, preferably adjustable transversely to the beam direction
provided with an electromagnetic drive. By using the electromagnetic
Drives succeed
it, the transition from one mode of operation to
.other mode of operation of the device very quickly. One can, for example
insert all of the mentioned parts into the circuit in such a way that they can be activated by actuation
a single switch to the position required for enlarging images
or in .the position necessary for the production of diffraction binders.
Die den Linsen zugeordneten, mit magnetischen Antrieben versehenen
Apparatteile besitzen vorzugsweise Rückstellfedern, die sie bei abgeschaltetem Magneten
aus ihrem Wirkungsbereich entfernen. Man kann .dann die Schalter, welche den elektromagnetisch
verstellbaren Apparatteilen zugeordnet sind, unmittelbar mit den zugehörigen Linsenschaltern
kuppeln, so daß also beim Ausschalten der Linsen, das für die Herstellung von Beugungsbildern
erforderlich ist, gleichzeitig die Verstellmagneten ausgeschaltet und die ihnen
zugeordneten Apparatteile durch die Rückstellfedern aus dem .Strahlengang entfernt
werden. Es kann aber auch für die elektromagnetischen Apparate und die Abbildungslinse
derselbe Stromkreis (Hintereinanderschaltung oder Parallelschaltung) und damit der
gleiche Schalter verwendet werden. Bei dem bisherigen Verfahren, Objekte beugungsmäßig
und mikroskopisch im Elektronenmikroskop zu untersuchen, hat man eine fest an ihrem
Ort verbleibende Objektivblende verwendet, die mit genügend großer Öffnung zum Durchlaß
der gebeugten Strahlen ausgeführt ist. Mit .dieser Anordnung ließ sich nur eine
verhältnismäßig .geringe Auflösung bei der Herstellung vergrößerter Bilder erzielen,
während es nunmehr durch Anwendung der dem Objektiv zugeordneten verstellbaren Blende
gelingt, bei der elektronenmilkros'kopischen Abbildung .des Objektes eine sehr Ihdhe
Auflösung zu erreichen.The ones assigned to the lenses and provided with magnetic drives
Apparatus parts preferably have return springs, which they hold when the magnet is switched off
remove them from their area of action. You can .then the switches that control the electromagnetic
adjustable apparatus parts are assigned, directly with the associated lens switches
couple, so that when switching off the lenses, that for the production of diffraction images
is required, the solenoids turned off and them at the same time
The associated apparatus parts are removed from the beam path by the return springs
will. But it can also be used for the electromagnetic apparatus and the imaging lens
the same circuit (series connection or parallel connection) and thus the
same switches can be used. In the previous method, objects were diffractive
and to examine it microscopically in the electron microscope, one has one firmly attached to hers
Place the remaining lens diaphragm with a sufficiently large opening for passage
of the diffracted rays is executed. With this arrangement, only one
achieve relatively low resolution when producing enlarged images,
while it is now through use of the adjustable diaphragm associated with the lens
succeeds in imaging the object by electron microscopy
To achieve resolution.
Die Figuren zeigen schematisch als Ausführungsbeispiel der Erfindung
eine elektromagnetische Objektivlinse eines Elektronenmikroskops, das sowohl für
.die Herstellung von vergrößerten Bildern des Objektes als auch für die Herstellung
von Beugungsaufnahmen eingerichtet ist. Fig. i zeigt einen Längsschnitt, Fig. 2
einen Querschnitt durch das Objektiv. Mit i ist die Objektivspule bezeichnet, 2
ist die magnetische Ummantelung der Spule. Der Polschuheinsatzkörper besteht aus
dem oberen Polschuh 3, dem unteren Polschuh 4 und einem unmagnetischen Zwischenstück
5. Diese drei Teile sind zu einem einheitlichen Körper zusammengef.aßt, der außen
eine konische Paßfläche 6 besitzt, ,die in eine entsprechende konische Bohrung des
Magnetkörpers paßt. In das unmagnetische Zwischenstück 5 ist eine verstellbare Blende
7 quer zum Strahl verschiebbar eingesetzt, die enge Bohrung 8 für die Herstellung
von vergrößerten Aufnahmen und eine weite Bohrung 9 für die Herstellung von Beugungsaufnahmen
besitzt. Auf die Blende, welche so bemessen ist, ,daß sie zusammen mit dem Polschuhkörper
von oben her in die Objektivspule eingesetzt werden kann, wirkt ein Verstellstift
io, dem ein Verstellmagnet i i zugeordnet ist, ein. Beim Einschälten des Magneten
i i, welches zur Herstellung von vergrößerten Aufnahmen, vorzugsweise,gleichzeitig
mit idem Schalten ,der Spule i durchgeführt wird, drückt der Stift io .mit seiner
Spitze 12 gegen das linke Ende der Blende 7, so daß diese gegen den Rückstellstift
13 gedrückt wird, der unter Wirkung der Rückstellfeder 14 steht. Beim Ausschalten
.des Magneten i i wird die Blende 7 unter Wirkung der Rückstellfeder 14 wieder in
.die in Fig. i dargestellte Lage gebracht. Die Rückstellstifte io und 13 sind in
das unmagnetische Zwischenstück 16 des Spulenkörpers eingebaut.The figures show schematically an exemplary embodiment of the invention
an electromagnetic objective lens of an electron microscope that can be used for both
. the production of enlarged images of the object as well as for the production
of diffraction recordings is set up. FIG. I shows a longitudinal section, FIG. 2
a cross section through the lens. The objective coil is denoted by i, 2
is the magnetic covering of the coil. The pole shoe insert body consists of
the upper pole piece 3, the lower pole piece 4 and a non-magnetic intermediate piece
5. These three parts are combined into a single body, the outside
has a conical mating surface 6, which in a corresponding conical bore of the
Magnet body fits. In the non-magnetic intermediate piece 5 is an adjustable screen
7 inserted transversely to the beam, the narrow bore 8 for the production
of enlarged recordings and a wide bore 9 for the production of diffraction recordings
owns. On the screen, which is dimensioned so that it is together with the pole piece
can be inserted into the objective coil from above, an adjustment pin acts
io, to which an adjusting magnet i i is assigned, a. When switching on the magnet
i i, which is used to produce enlarged images, preferably at the same time
with idem switching, the coil i is carried out, the pin pushes io .with his
Tip 12 against the left end of the diaphragm 7, so that this against the reset pin
13 is pressed, which is under the action of the return spring 14. When switching off
.of the magnet i i, the diaphragm 7 under the action of the return spring 14 is again in
.Brought the position shown in Fig. i. The reset pins io and 13 are in
installed the non-magnetic intermediate piece 16 of the bobbin.
Fig. 3 zeigt eine etwas andere Ausführungsform, bei welcher eine Rückstellfeder
15 in den unmagnetischen Teil s ,des Polschuheinsatzkörpers selbst eingebaut ist.
Im übrigen sind für die den Fig. i und 2 entsprechenden Teile in diesem Falle .dieselben
Bezugszeichen verwendet.Fig. 3 shows a somewhat different embodiment in which a return spring
15 is installed in the non-magnetic part s, of the pole shoe insert body itself.
Otherwise, the parts corresponding to FIGS. I and 2 are in this case the same
Reference numerals used.