Elektronenmikroskop Die Erfindung bezieht sich auf ein Elektronenmikroskop
mit Einrichtungen zur wahl-,veisen Herstellung von mikroskopischen und Beugungsaufnahmen
eines Objektausschnittes. Hierbei ist es wesentlich, daß eine einfache, leicht zu
bedienende Anordnung vorhanden ist, mit dem ein größerer Objektbereich nach allen
Richtungen hin auf zu untersuchende besonders interessierende Stellen abgesucht
werden kann. Zur Lösung dieser Aufgabe sind erfindungsgemäß dem Strahlerzeuger an
sich bekannte Schwenkvorrichtungen zugeordnet, mit denen dieser um das Objekt als
Mittelpunkt geschwenkt werden kann, und in dem unabhängig von diesen schwenkbaren
Teilen angeordneten Halter der Objektblende ist eine zweite Feinstrahlblende im
Strahlengang vor der Objektblende in einem solchen Abstand von dieser angeordnet,
daß der Auftreffpunkt des durch die Feinstrahlblende begrenzten Strahlenbündels
auf dem durch .die Öffnung der Objektblende begrenzten Objektausschnitt durch Betätigung
der Schwenkeinrichtungen in beliebiger Richtung verschoben werden kann. Zum Absuchen
des Objektes mit dem Feinstrahl wird hierbei der Strahlerzeuger um das Objekt mit
seiner Verstelleinrichtung um geringe Winkel gekippt, so daß durch die hierbei entstehende
variable Parallaxe der Feinstrahl über den Objektbereich wandert. Die neue Anordnung
gestattet so, einen beliebigen kleinen Objektausschnitt für mikroskopische und Beugungsaufnahmen
leicht auszusuchen und bietet den besonderen Vorteil,. daß für diese Anordnung kein
neuer Bewegungsmechanismus
bei den bisherigen Elektronenmikroskopkonstruktionen
erforderlich ist. Notwendig ist lediglich eine besondere Fassung, die als Träger
der Objektblende und der Feinstrahlblende dient. Man wird für diesen Zweck vorzugsweise
einen mit einer Bohrung versehenen Objektblendenhalter anwenden, der auf der einen
Seite eine Vertiefung zur Aufnahme der Feinstrahlblende und auf der anderen Seite
eine Vertiefung zur Aufnahme der Objektblende besitzt. Den beiden Blenden wird man
dabei geeignete Befestigungsschrauben zuordnen. Wenn man gemäß der weiteren Erfindung
den mit den beiden Blender. versehenen Halter auf eine Patrone aufschraubbar macht,
kann man diesen Halter ohne weiteres mit den an sich bekannten Schleusvorrichtungen
zusammen mit dem Objekt in den Vakuumraum des Mikroskops einbringen. -Die Figuren
zeigen ein Ausführungsbeispiel der Erfindung. In Fig. i ist ein Längsschnitt durch
den Oberteil eines Elektronenmikroskops dargestellt; Fig.2 zeigt den neuen Halter
für die beiden Blenden, und in Fig.3 sind die durch die beiden Blenden begrenzten
Objektausschnitte dargestellt.Electron microscope The invention relates to an electron microscope
with facilities for the optional production of microscopic and diffraction images
of an object section. It is essential that a simple, easy to use
operating arrangement is in place, with which a larger object area after all
Searched for directions to be examined particularly interesting places
can be. According to the invention, the beam generator is used to solve this problem
known swivel devices assigned with which this to the object as
Center can be pivoted, and independently of these pivotable
Partly arranged holder of the object diaphragm is a second fine beam diaphragm in the
The beam path is arranged in front of the specimen diaphragm at such a distance from it,
that the point of impact of the beam limited by the fine beam diaphragm
on the object section delimited by the opening of the object diaphragm by actuation
the pivoting device can be moved in any direction. To search
of the object with the fine beam is the beam generator around the object
its adjusting device tilted by a small angle, so that the resulting
variable parallax the fine beam wanders over the object area. The new arrangement
thus allows any small object section for microscopic and diffraction recordings
easy to choose and has the particular advantage of. that for this arrangement no
new movement mechanism
with the previous electron microscope designs
is required. All that is required is a special version, which is the carrier
the object diaphragm and the fine beam diaphragm are used. One is preferred for this purpose
use a drilled specimen aperture holder that is placed on one
On the side there is a recess to accommodate the fine jet screen and on the other side
has a recess for receiving the specimen diaphragm. The two apertures will be
assign suitable fastening screws. If you according to the further invention
the one with the two blenders. makes the holder screwable onto a cartridge,
you can easily use this holder with the lock devices known per se
together with the object in the vacuum space of the microscope. -The figures
show an embodiment of the invention. In Fig. I is a longitudinal section through
the top of an electron microscope shown; Fig.2 shows the new holder
for the two diaphragms, and in Fig. 3 are those bounded by the two diaphragms
Object details shown.
Mit i ist die Kathode -des Strahlerzeugers bezeichnet. Die Elektronenstrahlen
werden mit Hilfe der elektromagnetischen Kondensorlinse auf das Objekt konzentriert,
welches im unteren Bereich der Patrone 3 angeordnet ist. Bei 4 ist die an sich bekannte
drehbare Objektpatronenschleuse schematisch angedeutet. 5 ist die elektromagnetische
Objektivlinse des Gerätes. Der Strahlerzeuger ist, zusammen mit der Kondensorlinse
2 um das Objekt als Mittelpunkt mit Hilfe von an sich bekannten, in der Figur nicht
dargestellten Verstell.einrichtungen schwenkbar. Zur Durchführung dieser Schwenkbewegungen
sind .die Kugeln 6 vorgesehen, .die mit den entsprechenden Kugelflächen 7, -8 zusammenarbeiten.
In der Fig. i ist auch noch angedeutet, daß der Strahlerzeuger zur Justierung des
Strahles in einer Ebene quer zur Strahlachse in beliebiger Richtung verstellt werden
kann. Hierfür dienen die Kugeln 9, welche mit den ebenen Gleitflächen i o, ii zusammenarbeiten.The cathode of the beam generator is denoted by i. The electron beams
are focused on the object with the help of the electromagnetic condenser lens,
which is arranged in the lower area of the cartridge 3. At 4 is the one known per se
rotatable object cartridge lock indicated schematically. 5 is the electromagnetic
Objective lens of the device. The beam generator is, together with the condenser lens
2 around the object as the center with the help of known ones, not in the figure
Adjusting devices shown are pivotable. To carry out these swivel movements
the balls 6 are provided, which work together with the corresponding spherical surfaces 7, -8.
In Fig. I it is also indicated that the beam generator for adjusting the
Beam can be adjusted in a plane transverse to the beam axis in any direction
can. The balls 9, which work together with the flat sliding surfaces i o, ii, are used for this purpose.
In Fig.2 ist der Objektblendenhalter 12 im Längsschnitt herausgezeichnet.
Dieser Halter nimmt im oberen Teil eine Feinstrahlblende 13 und im unteren Teil
die Objektblende 14 auf. Mit 15 und 16 sind Befestigungsschrauben für die Blenden
bezeichnet. Der Halter r2 wird in der Betriebslage mit seiner unteren Anlagefläche
17 gegen eine entsprechende Fläche 18- des oberen Polschuhs i9 des Objektivs
gedrückt. Mit 2o ist die Spitze des unteren Polschuhs bezeichnet. Der Halter 12
kann mit Hilfe des seinem oberen Teil zugeordneten Gewindes 21 in an sich bekannter
Weise in eine Objektpatrone eingeschraubt werden. Bei 22, 23 sind schematisch an
sich bekannte, von außen zu betätigende Einstellvorrichtungen für den Patronenkopf
gezeichnet.The object diaphragm holder 12 is shown in longitudinal section in FIG. This holder holds a fine-beam diaphragm 13 in the upper part and the object diaphragm 14 in the lower part. With 15 and 16 fastening screws for the panels are designated. The holder r2 is pressed in the operating position with its lower abutment surface 17 against a corresponding surface 1 8 of the upper pole piece of the objective i9. The tip of the lower pole piece is designated by 2o. The holder 12 can be screwed into an object cartridge in a manner known per se with the aid of the thread 21 assigned to its upper part. At 22, 23 are shown schematically known, externally operated adjustment devices for the cartridge head.
Durch das Schwenken des Strahlerzeugungssystems um das Objekt als
Mittelpunkt wandert der Auftreffpunkt 24 (Fig. 3) des durch die Feinstrahlblende
13 begrenzten Strahlenbündels auf dem durch die Öffnung der Objektblende 14 begrenzten
Objektausschnitt, so daß man jeden gewünschten zu untersuchenden kleinen Bereich
dieses Objektausschnittes 25 einstellen kann.By pivoting the beam generation system around the object as
The point of impact 24 (Fig. 3) moves through the fine beam diaphragm
13 limited beam on the limited by the opening of the specimen diaphragm 14
Section of the object so that you can see every desired small area to be examined
this object section 25 can set.