DE895636C

DE895636C - Corpuscular jet apparatus working on the pump

Info

Publication number: DE895636C
Application number: DES12210D
Authority: DE
Inventors: Guenter Dipl-Ing Hein
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 1944-12-06
Filing date: 1944-12-06
Publication date: 1953-11-05

Description

An der Pumpe arbeitender Korpuskularstrahlapparat Zusatz zum Patent 857 2,54 Das Patent 8572,54 bezieht sich auf einen an der Pumpe arbeitenden. Korpusku.larstrahlappamat, bei dem zum Einsetzen und Entnehmen der zu untersuchenden Objekte die Öffnung benutzt wund., durch die Idas Wechseln der Kathode erfolgt. Auf diese Weise kann man &n Korpuskularstrahlapparat, also beispielsweise ein Elektronenmikroskop, wesentlich vereinfachen, denn bisher hat man für das gelegentlich erforderliche Auswechseln der Kathode und für das Wechseln des Objekts je eine besondere verschließbare Öffnung angeordnet. Bei dien im Patent 857:254 dargestellten Ausführungsbeispielen wird zum Wechseln ides Objekts cd-ne Öffnung benutzt, die (dadurch entsteht, daß man den Strahlerzeuger vom Korpuskuliarstrahlapparat abnimmt. Durch fdie Erfindung werden Anordnungen der eingangs geschilderten Art weiter ausgestaltet. Erfindungsb°lemäß !besitzt die Vakuumwand im Bereich .des Strahflerzeugers ein Verschlußstück, (das unabhängig vom Strahlerzeuger zu @e,ntfernen ist, wobei durch die idiesem Verschlußstü:ck zugeorünetc Öffnung der Vakuumwand die Kathode unid das zu untersuchende Objekt entnehmbar sind. Eine solche Anordnung ist idesh.albbesonders vorteilhaft, weil nunmehr der StrahJerzeuger, insbesondere der Hochspannungsleitungsanschluß für den Strahlerzenger mit dem Korpus@kularstruhlapparatbeim Wechseln der Kathode :bzw. beim Objektwechsel fest verbunden, bleiben kann. Corpuscular Beam Apparatus Working on the Pump Addendum to Patent 857 2.54 Patent 8572.54 relates to one working on the pump. Korpusku.larstrahlappamat, in which the opening is used to insert and remove the objects to be examined, through which the cathode is changed. In this way, a corpuscular beam apparatus, for example an electron microscope, can be considerably simplified, because up to now a special closable opening has been arranged for the occasional replacement of the cathode and for the replacement of the object. In the embodiments shown in patent 857: 254, an opening is used to change the object, which is created by removing the beam generator from the body beam apparatus. The invention further develops arrangements of the type described above The vacuum wall in the area of the jet generator has a closure piece (which must be removed independently of the jet generator, whereby the cathode and the object to be examined can be removed through the opening in the vacuum wall that is closed to this closure piece. Such an arrangement is ideal advantageous because now the jet generator, in particular the high-voltage line connection for the lamp generator, can remain firmly connected to the body structure when changing the cathode or when changing the object.

Als Vers,chlußstück kann man beispielsweise einen .den Strahlerzewger umgebenden topfförrniigen Deckel anwenden. Eine andere vorteilhafte Aus,-fiihrungsfoirm dier Erfindung ergibt sich, wenn man als Verachluß einen im Bierelch dies: Strahlerzeugers tw:d .des Objekttisches lieigenlden seitlichen Deckel anwendet. Dias Verschlußstück kann vom feststehendien Apparat völlig abnehmbar ausgebildet ;sein, es ist .aber fauch möglich, das Verschlußstück mit Hilfe eines Scharniergelenkes oder sionstibger geeigneter Führungsmittel mit ider Vakuumwand zu verbilden> so daß Idas Vers-chlußistück beim Kathoden- bzw. Objektwechsel mit idem Korpuskularstrahlapparat verbunden bleibt. Man kann: den Tals Verschlußstück dienenden Deckel :gemäß der weiteren Erfindung auch gleich als, Träger ider Steuerstangen zur Objekt- und/oder Kathlo'denverstellung benutzen; dabei kommt man. zu einer besonders handlichen und vorteilhuften Ausführungsform, wenn man die Steuerstangen mit den zuigeomdneteninnerenObjekt-oder Katholdeneiinstelleinrichtungen @so kuppelt, daß sie sich beim Öffnen -des. Verschlusses von diesen lösen. Man kann dien Verschluß aber auch ,als einfachen glatten Deckel rausführen, wobei dann alle die Venstelleinriahtungen, beispielsweise Steuerstangen, durch andere Teile der Vakuumwand durchgeführt werden. Die Hochspannungsleitung, welche idem Strahlerzeuger zugeordnet ist, wird man vorzugsweise nicht ;durch dien Verschlußdeckel, sondern. -durch einen anderen Teil :der Vakuumwanid bindhrchführsn. Es ergibt siech auf d'i@esiei Weise der Vorteil, idaß beim Kathoden- und Objektwechseln dieHochspannungsleitung selbst fielt mitidemApparat verbunden bleiben kann.A pot-shaped lid surrounding the radiator can, for example, be used as a closure piece. Another advantageous embodiment of the invention arises if one uses as a disregard one in the beer mug this: beam generator tw: d .the side cover lying on the object table. The locking piece can be designed to be completely detachable from the stationary device, but it is also possible to form the locking piece with the help of a hinge joint or suitable guide means with the vacuum wall, so that Ida's locking piece with the same corpuscular beam device when changing cathodes or objects remains connected. One can: use the cover serving as a closure piece: according to the further invention also as a carrier in the control rods for the object and / or cathode adjustment; here you come. to a particularly handy and advantageous embodiment, if you couple the control rods with the internal object or cathode-adjustment devices so that they are opened when the. Loosen the lock from these. You can also lead out the closure as a simple smooth cover, in which case all the Venstelleinriahtungen, such as control rods, are carried out through other parts of the vacuum wall. The high-voltage line, which is assigned to the jet generator, is preferably not made through the sealing cover, but. -by another part: the vacuum wanid bindhrchführsn. There is always the advantage that when the cathode and object are changed, the high-voltage line itself can remain connected to the device.

Weitere für -die Erfindüng wesentliche Merkmale werden in Iden folgenden Ausführungsbeispielen behandelt. Fig. i zeigt einen Längsschnitt durch ,dien Oberteil eines Elektromenmikrb,akops. Mit i ist,das magnetische Objektiv cdes Mikroskops bezeichnet, das in den feststehenden Vakuumwandteid 2 eingebaut eist. Auf der oberen Abdeckplatte 3 :dies Objektivs ist der Objekttisch 4, welcher die Objektpatrone 5 aufnimmt, nun beliebiger Richturig quer verschiebbar gelagert. Mit'6 ist einte,deir zur Querverstellung dienenden, Stangen, mit `7 eine diesiein Stangen, zugeoindnete Gegenfeder bezeichnet. Auf dem Objektiv ist ein Halter 8 aufgebaut, der die Anadie 9 -des Strahlerzeugens, trägt. In diie!semHalter befindet sich auf der linkem Seite eine Beidienungsöffnung fo, durch die hindurch die Objektpatrone 5 nach Entfernen des topfförmigen oberen A:bachliußdeokels i,1 ausgewechselt werden kann. Dem Ab= s hlußidieckel@iti ist ein aus Gummi fbestehender Dichtungsring r2 zugeondmet, :der im Zusammenwirken mit in der Figur nicht darigeistel:lten Druckschrauben für einen einwandfreien Abschluß des Spaltes zwischen @diem Oberteifl der Mikroskopwand 2 und dem Unterteil (des. Deckels, i i sorgt. Oben. eist lauf dem Teil 8 ein Halter 13 aufgesetzt, in welchen der Wehneltzylinder 14 unld ein quer beweklicher Träger 15 befestigt sind. In, den Trägeir i5 itst von oben her ,die Kathode 16 eingesetzt. Mit 17 und 18 sind zwei zurr beliebigen Querverstellung zur Kathode gegenüber dem Wehneltzylinder dienende Stangen :bezeichnet, die über keilförmige Teile 1,9 -und Gegenfedern 2o auf den Träger 15 wirken. Die Stangen 17 und 18 eindidurch dien topfförmigen Deckel .ia axiial verach iie@bbar vali2uumidicht hindurchgeführt. Die Abidichtung ist in dem schematischen Bild nicht dargestellt. Das, Hochspannunigskabel 2i ist auf der rechten Seite- durch dien Oberteil der feststehenden Vakuumwand 2 in das Innere -dies Vakuumraums eingeführt. Das Kabel ist dann nach oben hin im Innern des Vakuumraums verlängert, bis. in :den Bereich, der Hochspannungsanschlußstellen des Strahlerzeugers. Mit 22 sind die zur Kathode führenden Hochs:pannungs-leitun@gem, mit 23 ist,die zum Wehneltzylind er führende Hochspannungsleitung bezeichnet.Further features essential to the invention are identified in the following Treated embodiments. Fig. I shows a longitudinal section through the upper part of an electron micrb, akops. With i is, the magnetic lens c of the microscope referred to, which eist built into the fixed vacuum wall part 2. On the top Cover plate 3: this objective is the object table 4, which is the object cartridge 5 receives, now stored transversely displaceable in any direction. With'6 is one, deir for transverse adjustment, rods, with `7 one of these rods, closed Counter spring referred to. A holder 8 is built on the lens, which holds the Anadie 9 -of beam generation, carries. This holder is on the left a service opening fo through which the specimen cartridge 5 after removal of the cup-shaped upper A: bachliußdeokels i, 1 can be exchanged. The Ab = s hlußidieckel @ iti is a sealing ring r2 made of rubber f,: the in cooperation with not shown in the figure: lten pressure screws for one perfect closure of the gap between the upper part of the microscope wall 2 and the lower part (of the. lid, i i ensures. Above. eist running the part 8 is a holder 13 placed in which the Wehnelt cylinder 14 and a transversely movable carrier 15 are attached. The cathode 16 is inserted into the carrier from above. With 17 and 18 are two for any transverse adjustment to the cathode compared to the Wehnelt cylinder serving rods: denotes, which have wedge-shaped parts 1,9 -und Counter springs 2o act on the carrier 15. The rods 17 and 18 one through the cup-shaped Lid .ia axiial verach iie @ bbar vali2uumi-tight passed through. The seal is not shown in the schematic picture. That is, high voltage cable 2i on the right side - through the upper part of the fixed vacuum wall 2 into the Inside -this vacuum space introduced. The cable is then towards the top inside of the vacuum space extended until. in: the area of the high-voltage connection points of the jet generator. At 22 the highs leading to the cathode are: pannungs-leitun @ gem, with 23 is the high-voltage line leading to the Wehneltzylind he denotes.

Zum Wechseln des Objekts und auch der Kathode bzw. sonstiger Teile des Strahlerzieugers wird der Deckel f i entfernt, wobei die Verstell-:stangen 17 und 18 -sich ohne weiteres von Iden kenlförmi@gen Stücken r9 lösen. Diesiei keiiliförmigen Stücke werden unter Wirkung dler Feldern 2,o bis an die Ans-chl-äige a4 gedrückt. Nach Entfernung .des Deckels i i kann man die Patrone 5 durch die Öffnung fo hindurch auswechseln, während man an :die Kathode 16-. von oben her bequem heran kann.For changing the object and also the cathode or other parts of the radiator puller, the cover f i is removed, the adjustment rods 17 and 18 -solve without further ado from iden kenl-shaped pieces r9. These are wedge-shaped Pieces are pressed under the action of fields 2, o up to the end a4. After removing the cover i i, the cartridge 5 can be passed through the opening fo Replace while looking at: the cathode 16-. can comfortably approach from above.

Eine andere Ausführungsform der Erfindung ist in Fig. 2 schematisch dargestellt. Auch hier handelt es sich- wieder um ein Elektronenmikroskop, dessen Objektive in ider Vakuumwand 2 befestigt ist. Mit qist,wieder ,der Objekttisch, mit 5 @d@ie Objektpfatrone bezeichnet. Mist Hilfe von Verstell -tangen 6, die mit Gegenfedern 7 zusiammenarfbeiten., kann der Objekttisch, zusiammen mit der Patrone i5" in beliebiger Richtung quer zur optischen Achse verstellt wendien. Mit 31 ist die Anode des Strahlerzeugersystem:s bezeichnet-. Auf dem Anodendeckel sitzt ein Halter 3:2, der den Wehneltzylinder 33 und den Träger 3:4 der Kathode 35 aufnimmt. Mit 36 ist eine der beeiden zum Qüerverstellen der Kathode dienenden Eins:tel:lstangen bezeichnet, 37- ist die zugeordnete Gegenfeder. Der Halter 32 ,besitzt oben eine Kappe 3:8, die mit einer Öffnung 39 zum Einsfetzen, und Entnehmen der Kathode verseben ist. Mit 40 ist das in diesiem Fall von oben her eingeführte Hochspannungskabel bezeichnet. Auf -dem Gummimnantel dieses Kabels ist einte Gummn;iischeibe 41 aufvulkani.-siert, dife mit ;Hilfe einer überwurfmutter 42 gegen eine Dichtungsfläche 43 der oberen Mikroskopwand gedrückt wird. Die Hochspannungsleitung ,ist als Kaibei 44 biss in die Kappe 38 -Bei dieser Ausführungsform ist für das Auswechseln der Kathode und 4Ls Objekts- ein seitlicher Deckel 45 vorgesehen, der um d'as Scharniergelenk 46 nach unten geklappt weirden- kann, @so daß der Strahderzeuger und - der O'bijekttiisch dann -durch die Öffnung 47 in der Vakuu:mwanicl zum Auswechseln von Teilen, wie z. B. Kathode, Objektpatrone ad. idgl., zugänglich wenden. Mit 48 ist eine der zum Andrücken ,diieises Deckels 45, dienenide Druckschraube bezeichnet.Another embodiment of the invention is shown schematically in FIG. Here, too, it is an electron microscope, the objectives of which are fastened in the vacuum wall 2. With q is, again, the specimen stage, denoted by 5 @ d @ ie specimen cartridge. With the help of adjustment rods 6 which work together with counter springs 7, the specimen table, together with the cartridge i5 ", can be adjusted in any direction transverse to the optical axis. The anode of the beam generator system is marked with 31-. On the anode cover there is a holder 3: 2, which holds the Wehnelt cylinder 33 and the carrier 3: 4 of the cathode 35. 36 is one of the two rods used to adjust the cathode, 37- is the associated counter spring At the top it has a cap 3: 8, which is provided with an opening 39 for tearing in and removing the cathode. The high-voltage cable introduced in this case from above is denoted by 40. A rubber washer 41 is located on the rubber jacket of this cable aufvulkani.-siert, dife with the help of a union nut 42 against a sealing surface 43 of the upper wall of the microscope sform is provided for the exchange of the cathode and 4Ls object - a side cover 45, which weirden around d'as hinge joint 46 can be folded down, @ so that the beam generator and - the object then - through the opening 47 in the Vakuu: mwanicl for changing parts, such as B. cathode, object cartridge ad. idgl., turn accessible. 48 with one of the pressure screws used for pressing, diieises cover 45, is designated.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung ist in Fig. 3 und q. schematisch dargestellt. Fig. 3 zeugt einen Längsschnitt (durch ein mit elektromagnetischen Linsen arbeitendes Elektronenmikro skoP. Mit 51 ist die O'bjektivspule, mit 52 die Projektivspule des abbildenden Linsensystems bezeichnet. Beeide Spulen sind auf eignem gemeinsamen Esenkörper 53 befestigt, d er nach ,der Seite edier Projektivspu.le hin (die Form eines Roheres! 54 hiat. Mit 55 isst ein ObjektivpoIachuhsystem bezeichnet. 56 und 57 sind zwei Projektivpolschwhe, die zusammen mit zwei weiteren in, der Figur nicht sichtbaren. Polschuhpaaren in an sich bekannter Weiise um eine Drehachse 5,8 drehbar @sind, -so idaß (sie wahlweise zur Wirkung gebracht werden können. Mit 59. ist die Antriebswelle für den Drehtusch .der iProjeektivpolsc!huhe bezeichnet. D.nese Welle wirkt über die Kegelräider 6o:, 61t. Die Verstellung erfolgt mit Hilfe,der äußeren Kurbel 62.Another embodiment of the invention is shown in Figs. 3 and q. shown schematically. 3 shows a longitudinal section (through an electron microscope working with electromagnetic lenses. 51 denotes the objective coil, 52 denotes the projective coil of the imaging lens system Projektivspu.le out (the shape of a more raw hiat! 54th with eating 55 denotes a ObjektivpoIachuhsystem. 56 and 57 are two Projektivpolschwhe, which together with two further in, the figure is not visible. Polschuhpaaren in a known per se Weiise about a rotation axis 5, 8 rotatable @sind, -so idaß (they can be brought into action as required. The drive shaft for the rotary table of the iProjeektivpolschuhe is designated with 59. This shaft acts via the cone rider 6o :, 61t. The adjustment takes place with Help, the outer crank 62.

Den .unteren Abschluß (des Korpuskul.arstr.ah:lapparates,bildet ein wannenfö@rmiiger Deckel 63, der um das Scharnicirgelenk 6¢ ,schwenkbar ist. Dieser Deckel nimmt die Halter 65, 66 für einen Rollfilm und :den:Endbiil.dleuchts.ahirm 67 mit-seiner Schwenkachsee :68 auf. Zur Betrachtunig dies Leuchtschirmes ist in der Vakuumwand eine Schauöffnung 69 vorgesehen. 70 eist ein Dichtunigsring zwiischen edem Abschluß,deckel 63 und dem unteren Teil edier Vakuumwand 71. Die Antriebswellen füir Leuchtschirm ,unid Filmrolle eind,durch den Deckel 63 mach alußen äeführt.The lower end (of the corpuscul.arstr.ah: lapparates) is formed by a tub-shaped cover 63, which can be pivoted around the hinge joint 6 [ .ahirm 67 with its pivot axis: 68. To view this fluorescent screen, a viewing opening 69 is provided in the vacuum wall. 70 There is a sealing ring between each closure, cover 63 and the lower part of each vacuum wall 71. The drive shafts for fluorescent screen and film roll are inserted , through the cover 63 make aluminum out.

Den oberen Abschluß des Objektivs bildet eine Platte 72, :die einen Driehtsch 73 aufneimmt, in ,velchen mehrere Objektpatronen 74 eingesetzt werden können. Der Drehtisch 73 kann um die Achse 75 gedreht werden mit Hilfe der von außen bedienbaren Kurbel 76, die über die äußeren Zahnräder 77, 78 und die inneren Kegelräider 79, So. auf den Drehtieah wirkt. Zum Andrücken (der Patronengegen:den Oberteil des Objektivs dienen Federn 81. jede Patrone ist in einen Halter 82, eingesetzt, der mit Hilfe einer Verstellstang e 83 quer zur optischen Achse gegen dien Druck einer Feder 84 verstellt werden kann. Die Verstel.listange 83, welche koaxial durch,die Verstellstange 85 nach .außen geführt ist, bewirkt Quervers.teillbewegungeen in (der Richtung der Zeichenebene. Für edie Oueerverstellung in der Richtung senkrecht zur Zeichenebene kann man den Kurbeltrieb 76 benutzen, (der für diese Zwecke der O-bjektfeinbewegung eine nicht @dargestellte Feinverstell@ung besitzen kann.The upper end of the lens is formed by a plate 72: the one Drichtsch 73 receives, in, velchen several object cartridges 74 are used can. The turntable 73 can be rotated about the axis 75 with the aid of the outside operable crank 76, which via the outer gears 77, 78 and the inner Kegelräider 79, So. on the Drehtieah works. To press on (the cartridge against: the top of the The objective is springs 81. Each cartridge is inserted into a holder 82, the with the help of an adjusting rod e 83 transversely to the optical axis against the pressure of a Spring 84 can be adjusted. The Verstel.listange 83, which coaxially through the Adjusting rod 85 is guided to the outside, causes transverse part movements in (the direction of the plane of the drawing. For the cross adjustment in the perpendicular direction for the plane of the drawing one can use the crank mechanism 76 (which for this purpose of the Object fine movement can have a fine adjustment which is not shown.

Die Eisenteile 85', 53 un,d 72 des Vergrößerungslinsensystems sind in den zylinidriischen Apparattopf 71 von. oben her eingesetzt, wobei sich: die Scheibe 85' :gegen den Vorsprung 8.6 anlegt. D.ie Montage der Innenteile iis:t also von obiein her sehr einfach. Den oberen Abschluß ,des Apparates bildet ein Deckeil 87, -der um ein Scharniergelenk 88 schwenkbar ist. Dieser Deckel m=it seinem topfförmigen Mitteilstück 8i9 Iden Str2hleerzieuger. Mit 9o ist eine Scheibe bezeichnet, diie diie Anod egi und einen Halter 92 trägt, der seinerseits den Wehneltzylinder 93 ,und (die Kathode 94 aufnimmt. Die Kathode ist an einem Träger 95 befestigt, der mitBilfe der Verstellstan@gen.i96 quer zum Wehneltzylinder verstellt werden kann. Ähnlich wie im Fall der Fig. i erfolgt hier ;die Querbewegung unter Zuhilfenahme von Keilstücken( 97 und Gegenfedern 98. Das Hochspannungskabel 99 ist, ähnlich wie im Fall der Fig. 2, in (dein Vakuumapparat eingeführt. Wesentlich für (die Arte der Einfwhrun@g eist in (diesem Fall, daß die Einführungsstelle des Kabels 99 mit der Vakuumpumpen:leitung Ioo, @IoiI( kombiniert ist, so daß an der Wand des Vakwumgefäßesi 71 selbst mir eine einzige Bohrung für Vakuumpumpe -anschluß und Hochspannungsanschluß erforderlich ist. Auch in diesem Fall ist die Hochspannung als isoliertos Kabel rot bis in Iden Bereich der Anschlußistellen,am Strahlerzeuger verlegt.The iron parts 85 ', 53 and d 72 of the magnifying lens system are in the cylindrical apparatus pot 71 of. used above, where: the Disc 85 ': rests against projection 8.6. D. The assembly of the inner parts is: t from the point of view of things very simple. The upper end of the apparatus is a cover part 87 which can be pivoted about a hinge joint 88. This lid with its cup-shaped Mitteilstück 8i9 Iden street educator. With 9o a disk is designated, diie diie anod egi and a holder 92, which in turn carries the Wehnelt cylinder 93 , and (the cathode 94 accommodates. The cathode is attached to a support 95, the can be adjusted transversely to the Wehnelt cylinder with the help of the Verstellstan@gen.i96. Similar to the case in FIG. 1, the transverse movement takes place here with the aid of wedge pieces (97 and counter springs 98. The high-voltage cable 99 is similar to in the case of Fig. 2, introduced into (your vacuum apparatus. Essential for (the Arte The entry point is (in this case, that the entry point of the cable 99 with of the vacuum pumps: line Ioo, @IoiI (is combined so that on the wall of the vacuum vesseli 71 even me a single hole for vacuum pump connection and high voltage connection is required. In this case, too, the high voltage is insulated as a cable red up to the area of the connection points, laid on the beam generator.

Nach Öffnen des, Deckels &7 kann man. die Teile des Stra derzeugers, insbesondere die Kathode 94, ohne weiteres mach oben hin auswechiseln. Das Auswechseln (der in (dien Drehtusch 73 einisetzbaren Objektpatrone erfolgt durch eine Öffnung na3 im Deckel iglo.After opening the cover & 7 you can. the parts of the road generator, especially the cathode 94, easily replace the top. The replacement (The specimen cartridge that can be inserted in the rotary index 73 is made through an opening na3 in the lid iglo.

Eine .andere der Erfindung ist in Fig. 5 und 6 schematisch dargestellt. Auch hier handelt es sich wieder um ein mit magnetischen Linsen 111, 112 arbeitendes Elektronenmikroskop. Der zylindrischeAußenmantel i 13 ist auf ein-en Ti@sch 114 aufgesetzt. Unterhalb der Tischplatte ist die Vakuumleitung i15 anges,chlosisen@. Den unteren Absdh!luß bildet ein Deckelv16, der ,den Schwenkgriff 117 des Enidbildleuchtschirmeis 118 trägt. Die Bewegung des Hebele I17 wird mit Hilfe des Zahntriebs i i9; i2o auf den Leuchtschirm übertragen. Mit 1,2i ist die Fotokassette bezeichinet, die in dien Halter 12(2, nach Öffnen des Deckels 116 von der Vorderseite her eingeführt werden kann. Der Halter i22ist leicht läsibar in denUnterteildes.Mikroskops eingesetzt. Durch (das Fenster 1123 kann der Endbi.ldleuchtsch.irm betrachtet werden. Der Polischuheins,atzkärper i2q.,des Projektivs, (und @dor Polsehuheinsatz i25 dies Objektivs kann von unten her bzw. von oben her im (die Spulenkärper einige-setzt werden. Die Objektpatrone,i!z6, ist in einen Tisch, 1,27 eingesetzt, der um eine Achise 128 geschwenkt werden kann. Zur Durchführung (der- Schwenlebie,wegun-g dienen die in Fig. 6 dargestellten Verstel.lstangen 129, 13@0" ,dile über dein Schwenkhebel 131 auif den Tisch 127 wirken. Mit 13i2' ist eigne Cegienfeder bezeichnet, dieder Vers.tellbewegung nach unten hin entgegenwirkt. Die Verstellung in der senkrecht dazu liegenden Richtung wird ,durchgeführt mit Hilfe der Stangen 133, 13,4 gegen die Wirkung der Federn 135. Einen genau entsprechenden Verstelltnieebbesitzt die Kathode: 136; die mit @diem Wehneltzylinder 137 in -den Halter 138 eingesetzt is.t. Mit 13e9 ist idieAnoid'e idesStrahilerzeugersystems bezeichnet. Von oben hier wird dem Strraahlerzeuger mit Hilfe (dies Kabels i;4o .die Hochspannung zu,-geführt.Another of the invention is shown schematically in Figs. Here, too, it is an electron microscope that works with magnetic lenses 111, 112. The cylindrical outer jacket 13 is placed on a Ti @ sch 114. The vacuum line i15 is located below the table top. The lower cover forms a cover 16 which carries the swivel handle 117 of the illuminated picture screen 118. The movement of the lever I17 is controlled by the pinion i i9; Transfer i2o to the luminescent screen. With 1,2i to the image cartridge is bezeichinet that can be inserted into holder 12 serving (2, after opening the cover 116 from the front side. The holder i22ist easily inserted in läsibar denUnterteildes.Mikroskops. By (the window 1123, the Endbi. The pole shoe inset, etzkärper i2q., of the projective (and @dor pole shoe insert i25 of this lens can be set from below or from above in the (the bobbin case. The object cartridge, i! z6, is inserted into a table, 1.27, which can be pivoted about an axis 128. The adjusting rods 129, 13 @ 0 "shown in FIG act auif the table 127th with 13i2 'is own Cegienfeder referred counteracts dieder Vers.tellbewegung downward. the adjustment in the direction perpendicular thereto is carried out with the aid of the rods 133, 13.4, against the action of the springs 135th One exactly corresponds The cathode has: 136; which is inserted into the holder 138 with @diem Wehnelt cylinder 137. 13e9 denotes the anoid of the traction generator system. From above here the high voltage is fed to the jet generator with the help of this cable i; 4o.

Das Auswechseln der Kathode und der Objektpatrone erfolgt durch ,die seitliche Öffnung 14,1, die mit Hilfe des Deckels 142 verschlossen werden kann. Indem Deckel sind die Venstellstangen 133 und 129 befestigt. Die Stangen sind so ausgebildet, daß sie sich beim Öffnen ides: Deckels ohne weiter:e;s: von den mit ihnen zusämmenwirkendien Stangen z3:0, 134 lösen. Bei geöffnetem Deckel i421 kann: Kathode und Objektpatrone ohne weiteres ausgewechselt werden.The replacement of the cathode and the specimen cartridge is carried out by the side opening 14.1, the closed with the aid of the cover 142 can be. The adjusting rods 133 and 129 are fastened in the cover. The poles are designed in such a way that they are ides: lid without further: e; s: von loosen the rods z3: 0, 134 that work together with them. With the lid open i421 can: cathode and specimen cartridge be exchanged easily.

Claims

PATENT CLAIMS: n Body working on the pump: rpuskul: arstnabil: apparatus in which to (m inserting and removing the objects to be examined: the opening is used, through which the cathode is changed, according to P'aüent 857 254, that : by (characterized in that the vacuum wall in the area: of the spray generator; has a closure piece that can be removed independently of the spray generator and that the cathode and the object to be examined can be removed through the opening assigned to this closure piece (of the vacuum wall) .

2. Arrangement according to claim i, characterized in that the closure piece is a: surrounding the jet generator pot-shaped lid: serves. .

3. Arrangement according to claim i, characterized in that that as a connector a steel producer's area and this object table associated side cover is used,

4. Arrangement according to claim: v or one of the following, characterized in that the closure piece: by a: hinge joint or other guide means is connected to the vacuum wall.

5. Arrangement make claim i or one of the following, thereby: characterized in that idwrch Aden Closure. Control rods for the object and / or cathode adjustment: ment passed through are.

6. AAnnoirdnung according to claim 5, characterized in that: the control rods with IDs assigned internal object or cathode adjustment devices: so coupled are that they, when they open this: loosen the lock from these.

7. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that the high-voltage line independent of the connector by one. other part of the vacuum wanid is. B.

Arrangement according to Claim 2, characterized in that: the jet generator mounted on a holder connected to the vacuum wall, in which a Opening biefrnldet through: which the object to be examined when inserting and removing is passed through, 9.

Arrangement according to claim 8, characterized in that a rotatable or nadl: irni @ g movable stage is used with with the help of which the object can be removed in: the grip area in: near the holder opening brought sore. ok

Arrangement, in particular according to A.nr. Spruch 9, with a rotatable Object table, which has several pick-up points for objects, marked by, : that the rotary drive has a fine adjustment that enables transverse movement: of the object to the beam in one direction when searching the penetrable object area is used. i i.

Arrangement, in particular according to claim i or one of the following, idiai characterized by that. the devices serving for the transverse nerve position for cathode and specimen cartridge are identical, so that: they are interchanged can be. i2 '.

Co: rpus: kularstrafl-app: arat working on the pump with a Object table, or has several receiving points for objects, in particular according to claim 1, geken @ nzeichrvetduroh an external adjustment device to be requested; with (which combines the object in the operating position with the The table and the other objects used in it for exploring; the object area is adjustable in a direction transverse to the beam axis. .

13. Arrangement according to claim i, i characterized in that the fine adjustment device is assigned to the coarse drive is, @dbr d, az: u serves, step by step the objects in the individual recording points. one after the other in (the operating position.

14. Arrangement according to claim 13, characterized in that each receiving point for the objects is one in the table across for the direction of advance of the coarse ink against spring action (movable holder for Reception of a specimen slide (specimen cartridge) is condensed to @.

15. Arrangement according to Claim 14, characterized in that the each standing in the operating position Holder with an adjustment rod that can be operated from the outside, at right angles to the optical axis can be moved. 116.

Arrangement according to claim in one of the following, characterized characterized in that the object table with its lower level: support surface on * a corresponding flat support surface of the lens slides and: that the individual Successively move objects to be examined into the operating position without their Lie in the axial direction to change.

17. Arrangement make claim 16 for magnetic Lenses, characterized by the fact that the object @ i @ vpolschuhsystem on the dem The side facing the object has a flat surface that is aligned with the flat support surface this lens coincides.