DE891118C

DE891118C - Federnd gelagerter, justierbarer Blenden- oder Objekttraeger, vorzugsweise fuer Elektronenstrahlroehren

Info

Publication number: DE891118C
Application number: DEP55795A
Authority: DE
Inventors: Heinrich Sonnberger
Original assignee: ZEISS OPTON OPTISCHE WERKE
Current assignee: ZEISS OPTON OPTISCHE WERKE
Priority date: 1949-09-24
Filing date: 1949-09-24
Publication date: 1953-09-24

Description

Federnd gelagerter, justierbarer Blenden- oder Objektträger, vorzugsweise für Elektronenstrahlröhren In der Technik, beispielsweise in der Optik oder in der Elektrotechnik, besteht vielfach die Aufgabe, eine Blende, durch die ein Strahlengang begrenzt werden soll, oder einen Objektträger genau und spielfrei zu justieren. Justierbare Blenden- oder Objektträger zur Lösung dieser Aufgabe sind beispielsweise in den Patentschriften 662 92a und 734 o9o beschrieben. Die Träger sind dort mittels Tombakrohre federnd gelagert und werden durch Justierschrajuben verstellt. Diese Anordnung hat jedoch den Nachteil, daß die Verstellbewegungen bei noch so feiner Ganghöhe der Verstellschrauben stets ruckartig erfolgen, weil .die Schrauben unmittelbar auf den Träger einwirken, ohne daß ein elastischer Ausgleich durch die Tombakrohre erfolgen kann. Diese haben vielmehr nur die Aufgabe, einen vakuumdichten Abschluß zu gewährleisten. Erfindungsgemäß. wird nun dieser Nachteil dadurch beseitigt, daß der Träger in einer flächenhaften, am Rand eingespannten Membran befestigt und derart ausgebildet ist, :daß sowohl die Blenden-oder Objektebene als auch die Angriffsstellen der Verstellmittel an dem Träger außerhalb der Membranebene liegen. Der Träger ist vorteilhaft durch die Membran hindurch verlängert, und die Justierschrauben greifen an diesen Verlängerungen an. Dadurch wird erreicht, daß die Verstellbewegung von den Justierschrauben nur mittelbar auf die Blende oder das Objekt übertragen wird, denn der Träger bildet einen zweiarmigen Hebel, dessen Drehpunkt im Aufhängepunkt in der Membran liegt, und :die Bewegung der Justierschraub-en wird auf den einen Hebelarm übertragen. Erst am andern Hebelarm ist die Blende oder das Objekt angeordnet. Die Verschiebung der Blende wird somit abhängig von der Länge der Hebelarme, und dementsprechend kann durch geeignete Bemessung dieser die Verstellung sehr genau und in feinster Unterteilung vorgenommen werden. Überdies verhindert die elastische Aufhängung des Trägers in der Membran, daß die Verstellbewegung ruckartig erfolgt, weil ein Ausgleich durch Verbiegen der Membran erfölgen kann. Die Blende bewegt sich daabei auf einem Kreisbogen oder bei Verstellung in mehr als einer Richtung auf einer Kugelfläche, deren Radius im wesentlichen durch. die Lage der Angriffspunkte der Justierschrauben und von der Lage der Befestigung der Membran am Träger sowie durch die Höhe der Blende über der Membranebene bestimmt ist. Bei Elektronenstrahlröhren, bei denen Membran und Blende im Vakuum. angeordnet sind, müssen die justierschrauben von außen durch die Vakuumwandung hindurchgreifen.
Wenn zusätzlich zur Verstellung der Blende in der einen Ebene eine weitere Verstellung .in der Höhe, also ein Heben und Senken in Frage kommt, so werden zweckmäßig die Anlageflächen der Justierschrauben an dem Träger so ausgebildet, daß sich bei der Verstellung eine Komponente senkrecht zur Blendenebene ergibt.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel dargestellt; das auch noch weitere Einzelheiten der Erfindung zeigt.
Abb. i stellt einen Teil eines Elektronenmikroskops im Schnitt dar, während Abb. 2 eineu Schnitt durch die Anordnung nach Ab@b. z nach der Linie A-A zeigt. (In Abb. i ist die rechte Verstellschraube gegenüber Abb. 2 um 6o° versetzt gezeichnet) ; Abb. 3 ist eine Abwandlung der Anordnung nach Abb. i.
Die Wandung des Vakuumrohrs des Elektronenmikroskops ist mit i bezeichnet. Bei 2 ist in dem Rohr eine aus drei blendenförmigen Elektroden bestehende elektrostatische Linse angedeutet, deren Öffnungen von dem senkrecht verlaufenden Elektronenstrahl durchsetzt werden. Die Elektroden sind, wie hier nicht näher dargestellt, isoliert eingesetzt. Weitere Linsen sowie die oberhalb angeordnete Elektronenquelle und der unterhalb zu denkende Leuchtschirm sind nicht mit-gezeichnet.
Unterhalb der Linse 2 ist die Aperturblende 3 angeordnet, die zur Ausblendung eines bestimmten Elektronenbüschels und damit zur Erhöhung der Kontraste im Bild .dient. Die Blende besteht hier aus einer konusförmigen Kappe, die in Linsennähe die Blendenöffnung von einigen Mikron Durchmesser enthält. Die Blende 3 ist auf einer Membran 4 befestigt, die ihrerseits mit ihrem Rand an der Außenwandung i des Elektronenmikroskops festgeschraubt ist. Der durch die Membran durchgeführte Blendenträger trägt unterhalb der Membran eine Verstärkung 3', die eine besondere Ausführungpform des Trägers darstellt. Diese Verstärkung dient als Angriffsfläche für die Justierschrauben 5, von denen, wie Abb. 2 zeigt, zwei im Winkel von i2o° vorgesehen sind. Außerdem wirkt auf den Mantel 3' die Rückholfeder 6 ein, durch die eine definierte Lage der Blende 3 bei jeder Stellung der Schrauben 5 sichergestellt ist. In gewissen Fällen kann es zweckmäßig sein, an Stelle der Rückholfeder eine weitere Justierschraube vorzusehen.
Zur Justierung der Blendenöffnung im Strahlengang werden die Schrauben 5 in entsprechender Weise verstellt. Dadurch bewegt sich die B.lendenöffnung auf einer Kugelfläche, die im wesentlichen senkrecht Zur Elektronenstrahlachse steht. Ihre richtige Stellung kann im Leuchtschirmbild festgestellt werden. Die Schrauben 5 müssen vakuumdicht eingeführt sein, da sich ja die Rändel dieser Schrauben außerhalb des Vakuums befinden.
Bei der Ausführungsform nach Abb. 3 sind die Angriffsflächen der hier zweckmäßig vorgesehenen drei Justierschrauben am Mantel 3' abgeschrägt. Dadurch erfolgt bei gleichmäßiger Drehung der Schrauben ein Heben und Senken der Blende 3.
Die Erfindung kann selbstverständlich auch bei Blenden anderer Art Anwendung finden. Beispielsweise kann sie in der in Abb. 3 dargestellten Ausführung auch für die Justierung von Objektträgern in Elektronenmikroskopen von Bedeutung sein.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: i. Federnd gelagerter, justierbarer Blendmoder- Objektträger, vorzugsweise für Elektronenstrahlröhren, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger in einer flächenhaften, am Rande eingespannten Membran befestigt und derart ausgebildet ist"daß sowohl die Blenden-oder Objektebene als auch die Angriffsstellen ,der Verstellmittel an dem Träger außerhalb der Membranebene liegen.
2. Justierbarer Blenden- oder Objektträger nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß .der Träger durch die Membran hindurch verlängert ist und die Justierschrauben an diesen Verlängerungen angreifen.
3. Justierbarer Blenden- oder Objektträger nach -Anspruch i, dadurch gekennzeichnet; daß zwei Justierschrawben und eine Rückholfeder vorgesehen sind, die in Winkelabständen von etwa iao° auf den Träger einwirken.
4. Justierbarer Blenden- oder Objektträger nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Flächenteile -des Trägers, an denen die Justierschrauben angreifen, und gegebenenfalls auch die Justierschrauben selbst so abgeschrägt sind, daß, die Schrauben mit einer senkrecht zur B.lendenebene gerichteten -Verstellkomponente auf den Blenden- oder Objektträger einwirken. Angezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 662 922, 734 090, 748 68,o. -