DE888431C - Getterungsverfahren und Verfahren zur Herstellung der Gettersubstanz - Google Patents

Description

• Getterungsverfahren und Verfahren zur Herstellung der Gettersubstanz Die bisher üblichen Ge@ttersubstanzenkönnen nach ihrer Wirkungsweise in zwei große Hauptgruppen eingeteilt werden. Die erste bindet :die .im Ent= ladungsgefäß vorhandenen Restgase beim Verdampfen;, Mg, bzw. in. genügend feinverteiltem Zustand (als Getterspiegel). Die zweite Kategorie macht hingegen von ider Eigenschaft des Zrkons Gebrauch, im :heißen Zustand Gase zu binden. Hierzu. wird @au,s Zirkon in Pulverform zumeist mit einem geeigneten Bindemittel in einer Suspenisionsflüssigkeit eine Paste bereitet und idiese auf im Betrieb des Entladun@gsroihres auf hohe Temperatur kommende Elektroden., zumeist odie Anode, aufgebracht. Diesem Verfahren haftet jedoch eineReihe von Nachteilen an. So wird beim Herstellung.sprozeß, d. h. beim Glühen ÜerElektrode@n, die Anode zumeist ,durch HF-Glühen auf eine Temperatur gebracht, bei der alle Hilfssubstanzen, Bindemittel uAgl. verdampfen. Gleichzeitig aber befindet sich das. Zirkonpulver naturgemäß auf einer für seine Getterwirkung sehr geeigneten Temperatur. Dieser HF _gusglishproz,eß fällt zeitlich und zum Teil auch ursächlich mit dem Austreiben von großen Gasmengen aus Oden Elektroden ,des betreffenden Entladurngsgefäß,es zusammen. Dadurch herrscht im Entladungsgefäß während einer beträchtlichen Zeitspanne ein Gasdruck, wie er im späteren Betrieb nicht wieder auftritt. Bei einer großen Anzahl von Röhrentypen erreichen darüber hinaus die Elektroden, auch die,das Zirkon tragenden, im Normal betrieb nur wesentlich niedrigere Temperaturen als während odies@es Prozesses.
• Das Zirkongetter befindet sich demnach im Zeitpunkt eines hohen Gasangebotes im Zustand, "einer hohen Getterfä,h:igkeit. Es wird daher bereits zu diesem Zeitpunkteine große Menge Gasbinden und demnach im Beginn,der Normalbetriebsidauer eine beträchtliche Gasbeladung aufweisen. Damit wird naturgemäß seine Wirksamkeit als Arbeitsgetter beeinträchtigt. Die zu lösende Aufgabe bestand demnachdarin, beim Ausglühen der Systemteile, vor allem,der das Heißgetter tragenden Elektroden, das teils aus diesen, teils aus,dem Heißgetter, teils aus anderen Quellen stammende Gas möglichst daran zu hindern, von dem an sich gleichzeitig aktiven Hei.ßgetter aufgenommen zu werden.
• Die Erfindung löst diese Aufgabe dadurch, daß eine Kombination verwendet wird" die aus einem in heißen Zustand, wirkenden Getter und aus einem als Verdampfungs.getter wirkenden Fangstoff besteht: Verdampfungsgetter besitzen im Verlauf ihrer Verdampfung eine wesentlich stärkere Getterwrkung .als. Heißgetter und übernehmen, daher unter sonst gleichen Bedingungen den. Hauptanteil des zur Bindung gelangenden Gases. iU`m diesen Prozeß möglichst wirkungsvoll 'zu gestalten, ist es gemäß der Erfindung wesentlich."daß das Heiß- und das: Verdampfungsgetter möglichst innig vermischt sind.
• So können ausgezeichnete Ergebnisse erzielt wer-,den, wenn das Kombinationsgetter beispielsweise in ;der folgenden Weise hergestellt wird: Ausgehend von Zirkono xyd wird dieses mittels Magnesnumpulvers außerhalb, des Entladungsrohres zu Zirkon umgesetzt. Die derart entstandene Substanz enthält neben diesem und Mabgnesiumoxyd das hierbei. als Verdampfungsgetter wirkende Magnesium in feinster Verteilung. Das Kom@binationsgetterpulver wird in üblicher Weise zu einer Paste angerührt und aufgetragen. Im Verlauf (des Pumpprozesses verdampft das Verdampfungsgetter, wenn die Elektroden auf eine entsprechende Temperatur kommen. Naturgemäß ist es nicht erforderlich, das Kombinationsgetter in der angegebenen Weise herzustellen. Es kann dies au-oh -aus den angegebenen oder anderen geeigneten Komponenten ,durch mechanisches Vermischen oder aus geeigneten Substanzen durch entsprechende chemischeVorgänge hergestellt werden. Eine Beimengung von Mg0 od. -dgl. im fertigen Kombinationsgetter hat sich, als für die Haftfähigkeit günstig erwiesen, und soll daher, falls es beim Zubereitungsprozeß nicht entsteht, :dem fertigen Produktzugegeben werden..

Claims (1)

1. PATENTANSPRÜCHE.-r. Getterunggverfähren, dadurchgekennzeichnet, daß Fdie Leistungsfähigkeit eines im heißen Zustand hochwirksamen Getters als Arbeitsgetter :aufrechterhalten wird,dadurch"daßdieses mit einem bei der Verdampfung wirkenden Getter innig vermischt zur Anwendung gebracht wird. a. Verfahren zur Herstellung der Gettersubstanz für die Durchführung des GetteTungsverfahrens nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß Idas Gettergemisch durch eine Reaktion eines Gemisches von Zirkonoxyd und Magnesiumpulver hergestellt wird. 3. Verfahren zur Herstellung der Gettersuibs:tanz nach Anrspruch a, @dadurch gekennzeichnet, daß dem Gettergemisch geeignete Oxyde, z. B. Magnesiumoxyd, zugesetzt werden. Angezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 7a8 637, 745 134, 565 464, 744 498; Espe und Kno,ll, Werkstoffkunde der Hochvakuumtechnik, 19316, S. 3o8.