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DE767027C - Electron microscope - Google Patents

Electron microscope

Info

Publication number
DE767027C
DE767027C DEH161943D DEH0161943D DE767027C DE 767027 C DE767027 C DE 767027C DE H161943 D DEH161943 D DE H161943D DE H0161943 D DEH0161943 D DE H0161943D DE 767027 C DE767027 C DE 767027C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electron microscope
images
microscope
electron
luminescent screen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DEH161943D
Other languages
German (de)
Inventor
Heinrich Dr Herbst
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DEH161943D priority Critical patent/DE767027C/en
Application granted granted Critical
Publication of DE767027C publication Critical patent/DE767027C/en
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/22Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
    • H01J37/224Luminescent screens or photographic plates for imaging; Apparatus specially adapted therefor, e. g. cameras, TV-cameras, photographic equipment or exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e. g. microscopes for observing image on luminescent screen
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/147Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/26Electron or ion microscopes
    • H01J2237/2611Stereoscopic measurements and/or imaging

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)

Description

Elektronen-Mikroskop Es ist bekannt, zum Zwecke der Sichtbarmachung von Vorgängen, die unterhalb der Auflösungsgrenze des gewöhnlichen optischen Mikroskops liegen, Elektronen zu verwenden und so auf indirektem Wege die Vorgänge sichtbar zu machen. Man hat so infl>dei sog. Elektronen - Mikroskopen Kathodenstrahlen und elektrostatische oder elektromagnetische Felder angewandt. Bei diesen- bekannten Vorrichtungen wird in einem Vakuumgefäß ein Kathodenstrahlenbündel durch das dünne Objekt gesandt und danach dieses Kathodenstrahlenbündel, dem das, Objekt seine Eigentümlichkeiten gewissermaßen aufgeprägt hat, durch elektrostatische, magnetische oder elektromagnetisehe Felder; sogenannte elektrische oder magnetische Linsen gesandt und alsdann auf einen Leuchtschirm oder auf eine photographische Platte geleitet, auf denen durch die Kathodenstrahlen ein Bild erzeugt wird. Man kann auch die primären Kathodenstrahlen, schon ehe sie auf das Objekt treffen, durch eine elektrische oder magnetische Linse gehen lassen. In dem Vakuumgefäß hat man Fenster und Spiegel zur Betrachtung des Leuchtschirmbildes vorgesehen. Man hat auch bereits in jeder Vergrößerungsstufe Zwischenbildschirme oder Blenden, die eine mittlere Öffnung aufweisen, angeordnet. Es ist ferner bekannt, das Objekt und die Linsen mit. Wasser und das Objekt auch mit flüssiger Luft oder ähnlichen Mitteln tiefzukühlen. Auch hat man bereits einen Leuchtschirm mit einer photographischen Platte austauschbar angeordnet.Electron microscope It is known for the purpose of visualization of processes that are below the resolution limit of the ordinary optical microscope lie to use electrons and thus indirectly make the processes visible close. One has cathode rays and cathode rays in the so-called electron microscopes electrostatic or electromagnetic fields applied. With these - known Devices is a cathode ray beam through the thin in a vacuum vessel The object is sent and then this cathode ray beam to which the object has its peculiarities imprinted in a way, by electrostatic, magnetic or electromagnetic Fields; so-called electric or magnetic lenses and then sent to one Fluorescent screen or directed onto a photographic plate on which the Cathode rays create an image. One can also use the primary cathode rays, even before they hit the object, through an electric or magnetic lens let go. In the vacuum vessel you have windows and mirrors for viewing the Luminescent screen provided. You already have at every level of magnification Intermediate screens or panels, which have a central opening, arranged. It is also known to use the object and the lenses. water and to freeze the object with liquid air or similar means. Also has one already arranged a fluorescent screen with a photographic plate interchangeably.

Es ist ferner bekannt, von einem Objekt stereoskopische Aufnahmen zu erhalten, indem man von diesen nacheinander zwei Bilder _ unter voneinander etwas verschiedenen Winkeln aufnimmt. Diese Bilder «-erden dann in einem einfachen Stereoskop betrachtet. Diese bekannte Methode hat den Nachteil, daß die Bilder nacheinander aufgenommen «-erden, so daß bei zeitlich sich ändernden Objekten nicht mehr dasselbe Objekt bei der Aufnahme der zweiten Platte vorliegt. Die Erfindung vermeidet diesen Nachteil.It is also known to take stereoscopic recordings of an object to get by one of these two pictures one after the other _ under each other something different angles. These images "are then grounded in a simple stereoscope considered. This known method has the disadvantage that the images one after the other so that objects that change over time are no longer the same Object is present when the second plate is recorded. The invention avoids this Disadvantage.

Die Erfindung betrifft ein Elektronen-Mikroskop, «-elches sich dadurch auszeichnet, daß gleichzeitig zwei Stereoleuclitschirm-oder Stereophotobilder dadurch erzeugbar sind, daß das -Objekt gleichzeitig mit zwei einen Winkel miteinander bildenden Kathodenstrahlenbündeln durchstrahlt, jedes dieser Bündel durch je ein besonderes elektrisches oder magnetisches Linsensystem gesandt und auf je einen gesonderten Leuchtschirm bzw. eine photographische Platte geworfen wird. Vorteilhaft ist das Elektronen-.Mikroskop als Stereo-Mikroskop für direkte beidäugige Betrachtung zweier gleichzeitig erzeugter Stereobilder, insbesondere Leuchtschirmbilder, ausgebildet.The invention relates to an electron microscope is characterized by the fact that at the same time two stereo screen or stereo photo images are produced can be generated that the object simultaneously with two forming an angle with each other Cathode ray bundles shine through, each of these bundles through a special one sent electric or magnetic lens system and each on a separate one Luminous screen or a photographic plate is thrown. That is advantageous Electron microscope as a stereo microscope for direct binocular observation of two simultaneously generated stereo images, in particular luminescent screen images, formed.

Die beiden gleichzeitig erzeugten Leuchtschirmbilder sind mittels eines binokularen optischen Mikroskops oder Fernrohres, insbesondere Prismenfernrohres, betrachtbar angeordnet. Das binokulare Mikroskop bzw. Fernrohr ist vorzugsweise vakuumdicht in das Vakuumgefäß des Elektronen-Mikroskops eingebaut. Die elektrischen Linsen können mit flüssiger Luft oder ähnlichen Mitteln tiefgekühlt werden, z. B. können auch hohlensäure-Kältemischungen verwendet werden. Die beiden Leuchtschirme für die beiden gleichzeitig erzeugten stereoskopischen Teil-Bilder sind mit zwei photographischen Platten j mittels eines Elektromagneten austauschbar, ohne daß man das Mikroskop zu öffnen braucht, und die gleichzeitig aufgenommenen photographischen Platten sind in ein Stereoskop oder in eine stereoskopische Ausmeßvorrichtung einsetzbar. Vom Objekt werden gleichzeitig zwei stereoskopisch verschiedene Elektronenbilder auf zwei Leuchtschirmen oder photographischen Platten erzeugt, die durch ein binokulares lichtoptisches System betrachtbar angeordnet sind. Am Ende jedes binokularen Ansatzes kann ferner hinter jedem Leuchtschirm eine plattenförmige Hilfs- i anode angeordnet werden. Diese kompen- r siert die von den Elektronenstrahlen mitgeführten Ladungen. Durch die gleichzeitige Erzeugung zweier Stereobilder gemäß der Erfindung wird u. a. der Vorteil erreicht, daß man auch lebende Objekte stereoskopisch beobachten kann.The two luminescent screen images generated at the same time are by means of a binocular optical microscope or telescope, in particular a prism telescope, arranged observably. The binocular microscope or telescope is preferred Vacuum-tight installed in the vacuum vessel of the electron microscope. The electric Lenses can be frozen with liquid air or similar means, e.g. B. Hollow acid cold mixtures can also be used. The two luminous screens for the two simultaneously generated stereoscopic partial images are with two photographic plates j interchangeable by means of an electromagnet without one needs to open the microscope and the photographic images taken at the same time Plates can be used in a stereoscope or in a stereoscopic measuring device. Two stereoscopically different electron images are created of the object at the same time produced on two fluorescent screens or photographic plates through a binocular optical system are arranged observable. At the end of every binocular approach A plate-shaped auxiliary anode can also be arranged behind each fluorescent screen will. This compensates for the charges carried along by the electron beams. The simultaneous generation of two stereo images according to the invention u. a. the advantage is that living objects can also be observed stereoscopically can.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung schematisch dargestellt. In der Abbildung bedeutet a ein Vakuumgefäß; b1 und b= sind Kathoden, cl und c=' die Kathodenstrahlenbündel; d ist das Objekt; cl, e', f1, f2, gl"=sind elektrischeoder magnetische Linsen: hl, Ir= sind zwei Leuchtschirme oder photographische Platten; il, i= sind Hilfsanoden, die auch fortfallen kennen. und h, ist ein binokulares Fernrohr.An exemplary embodiment of the invention is shown schematically in the drawing. In the figure, a means a vacuum vessel; b1 and b = are cathodes, cl and c = 'the cathode rays; d is the object; cl, e ', f1, f2, gl "= are electric or magnetic lenses: hl, Ir = are two luminescent screens or photographic plates; il, i = are auxiliary anodes that are also omitted. and h, is a binocular telescope.

Claims (1)

PATEXTANSPßt`CHE: i. Elektronen-Mikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß gleichzeitig zwei Stereoleuchtschirm- oder Stereophotobilder dadurch erzeugbar sind, daß das Objekt gleichzeitig mit zwei einen Winkel miteinander bildenden Kathodenstrahlenbündeln durchstrahlt, jedes dieser Bündel durch je ein besonderes elektrisches oder magnetisches Linsensystem gesandt und auf je einen gesonderten Leuchtschirm bz«-. je eine photographische Platte geworfen wird. Eleltronen-llikroslzop nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden gleichzeitig erzeugten Leuchtschirmbilder mittels eines binokularen optischen Mikroskops oder Fernrohres, insbesondere Prismenfernrollres, betrachtbar angeordnet sind. 3. Elektronen-Mikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das binokulate ':Mikroskop bzw. Fernrohr vakuumdicht in das Vakuumgefäß des Elektronen-Mikroskops eingebaut ist. .I. Elektronen-Mikroskop nach Anspruch i bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Linsen mit flüssiger Luft oder ähnlichen -Mitteln tief kühlbar sind. 5. Elektronen-Mikroskop nach Anspruch i und .I, dadurch gekelmzeichnet, daß die beiden Leuchtschirme für die beiden gleichzeitig erzeugten stereoskopischen Teilbilder mit zwei in ein Stereoskop oder in eine stereoskopische Ausmeßvorrichtung einsetzbaren photographischen Platten mittels eines Elektronenmagneten austauschbar sind, ohne daß man das Mikroskop zu öffnen braucht. 6. Elektronen-Mikroskop nach Anspruch i bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß am Ende jedes binokularen Ansatzes hinter jedem Leuchtschirm eine plattenförmige Hilfsanode angeordnet ist. Zur Abgrenzung des Erfindungsgegenstands vom Stand der Technik sind im Erteilungsverfahren folgende Druckschriften in Betracht gezogen worden: Deutsche Patentschrift Nr. 659 o92; Annalen der Physik, Bd. 12, 19342 S.607 bis- 612.PATEX ADAPTER: i. Electron microscope, characterized in that at the same time two stereo fluorescent screen or stereo photo images can be generated thereby are that the object is simultaneously with two cathode rays forming an angle with each other each of these bundles shines through with a particular electrical or magnetic element Lens system sent and each on a separate luminescent screen bz «-. one photographic each Plate is thrown. Eleltronen-llikroslzop according to claim i, characterized in that that the two luminescent screen images generated simultaneously by means of a binocular optical microscope or telescope, in particular Prism Fernrollres, viewable are arranged. 3. Electron microscope according to claim 2, characterized in that that the binoculate ': microscope or telescope vacuum-tight in the vacuum vessel of the Electron microscope is built in. .I. Electron microscope according to claims i to 3, characterized in that the electric lenses with liquid air or the like - Can be cooled to a deep medium. 5. Electron microscope according to claim i and .I, characterized It was shown that the two luminous screens produced simultaneously for the two of them stereoscopic partial images with two in a stereoscope or in a stereoscopic Measuring device usable photographic plates by means of an electron magnet are interchangeable without opening the microscope. 6. Electron microscope according to claims i to 5, characterized in that at the end of each binocular attachment Behind a plate-shaped auxiliary anode is arranged on each luminescent screen. For demarcation of the subject matter of the invention from the prior art are the following in the grant procedure Publications considered: German Patent No. 659 o92; annals der Physik, Vol. 12, 19342 pp. 607 bis-612.
DEH161943D 1940-03-30 1940-03-30 Electron microscope Expired DE767027C (en)

Priority Applications (1)

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DEH161943D DE767027C (en) 1940-03-30 1940-03-30 Electron microscope

Applications Claiming Priority (1)

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DEH161943D DE767027C (en) 1940-03-30 1940-03-30 Electron microscope

Publications (1)

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DE767027C true DE767027C (en) 1951-07-26

Family

ID=7183555

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DEH161943D Expired DE767027C (en) 1940-03-30 1940-03-30 Electron microscope

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE659092C (en) * 1934-12-12 1938-04-25 Ernst Ruska Dr Ing Infeed device for corpuscular jet devices operated on the pump

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE659092C (en) * 1934-12-12 1938-04-25 Ernst Ruska Dr Ing Infeed device for corpuscular jet devices operated on the pump

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