[go: up one dir, main page]

DE754268C - Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung von in Fluessigkeit befindlichen sehr kleinen Objekten mit einem Elektronenmikroskop - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung von in Fluessigkeit befindlichen sehr kleinen Objekten mit einem Elektronenmikroskop

Info

Publication number
DE754268C
DE754268C DESCH119919D DESC119919D DE754268C DE 754268 C DE754268 C DE 754268C DE SCH119919 D DESCH119919 D DE SCH119919D DE SC119919 D DESC119919 D DE SC119919D DE 754268 C DE754268 C DE 754268C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cartridge
mist
liquid
opening
ionized air
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DESCH119919D
Other languages
English (en)
Inventor
Werner Dr Scholing
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DESCH119919D priority Critical patent/DE754268C/de
Application granted granted Critical
Publication of DE754268C publication Critical patent/DE754268C/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/20Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Description

  • Verfahren: unel Vorrichtung zur Abbildung von in Flüssigkeit befindlichen sehr kleinen Objekten mit einem Elektronenmikroskop Bisher -war es nicht möglich, mit -.dem Elektronenmikroskop flüssige Objekte zu untersuchen, da diese bei Einbringung in, das ürtter Vakuum stehende - Mikroskop verdampfen würden. Außerdem würden durch die zugeführten Ladungen der :Elektronenstrahlen elektrische Potentialdifferenzen entstehen, die: das Objekt zum- Zerreißen und zum Zerspritzen brächten: Man konnte bisher Virus- oder andere, biologische Untersuchüngen im Elektronenmikroskop nur nach Eintrocknung des Objektes vornehmen:.. Dies hatte '-jedoch'. den Nachteil, daß, Lebensäußerungen solcher biologischer Objekte mit dem, Elektronenmikroskop nicht festgestellt werden' konnten.: Es ist auch bereits bekannt, biologische Schnitte vor der Einführung in das .Mikroskop, zur gefrieren. Auch hierbei trat natürlich derselbe Nachteil äu£ Urre beim Arbeiten mit dem Elektronenmikroskop die Emp@findlfchkeit von Objekten, z. B. organischen Stoffen öder Isolierstoffen, gegen Kathodenstrahlen herabzusetzen, ist es ferner schon bekannt, in der Objektkammer eine durch eine Einlaßöffnung eintretende Menge ionisierter und gekühlter Luft anzuwenden.
  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Abbildung von in Flüssigkeit befindlichen-sehr kleinen Objekten mit einem Elektronenmikroskop, die bei der Durchstrahlung einem ionisierten Luftstrom ausgesetzt werden. Erfindungsgemäß wird. die Flüssigkeit, insbesondere durch Ultraschallstrahlen, vernebelt und in eine Objektpatrone durch Saugwirkung eingebracht, in der sich feine Nebeltröpfchen auf einem Objekthalter zur Untersuchung absetzen. Infolge der Vernebelung wird. die Flüssigkeit in sehr geringer Menge in den Strahlengang gebracht, so daß die Zerstreuung der Elektronenstrahlen durch die Flüssigkeit gering gehalten und eine gute Bildwirkung der in der Flüssigkeit befindlichen Objekte erzielt wird.
  • Die Objektpatrone kann man zweckmäßig zur Ausführung des obigen Verfahrens so ausbilden, daß in zwei gegenüberliegenden Wandungen feinste Bohrungen für den Strahldurchtritt und zwischen den Bohrungen in deren unmittelbarer Nähe ein Faden, eine Schneide oder eine Spitze zur Anlagerung der Nebeltröpfchen angeordnet sind; dabei wird man die Objektpatrone mit einer Eintrittsöffnung für den objektbeladenen Nebel und einer Öffnung zum Anschließen --einer Saugleitung bzw. zum Einführen, des ionisierten Luftstromes und gegebenenfalls mit einer weiteren -Öffnung zum Auslassen dieser ionisierten Luft versehen. Das Einführen des Nebels in diese Patrone erfolgt vorteilhaft durch einen Gasstrom, der den Nebel in die Patrone hineinsaugt.
  • Die Verdampfung des Nebels in der in das Mikroskop eingebrachten Patrone wird dadurch verhindert, da3 in diese Luft eingeführt wird. Die Höhe der Patronen im Bereiche des Strahlendurchgangs muß, so gering wie möglich gehalten werden. Die Patronenwand ist im Bereich des Strahlendurchgangs durchbohrt.
  • Um zu verhindern, daß durch die Elektronenstrahlen eine Aufladung des Nebeltropfens erfolgt, die ein Abspringen von seiner Unterlage verursachen würde, wird der Objektpatrone und damit dem Wassertropfen ionisierte Luft zugeführt, die die Ladungen wegführt und durch die Bohrungen für den Strahlendurchgang und gegebenenfalls durch eine weitere Austrittsöffnung in der Patrone entweicht.
  • Um .die Zerstäubung in einem Raum vornehmen. zu können, in dem ein bestimmter Zustand in: bezug auf Druck und Temperatur herrscht, ist die Zerstäubungsanlage in eine Kammer eingebaut, in die auch die Objekt-Patrone einsetzbar ist, um die Einführung des Nebels in die Patrone unter bestimmten Verhältnissen vornehmen zu können.
  • In den- Zeichnungen ist die Erfindung beispielsweise erläutert, und es zeigt Abb.. i einen Schnitt durch eine Objektpatrone und Abb. 2 einen Schnitt durch eine Vernebelungskammer.
  • Die Objektpatrone i enthält einen dünnen Faden 2 aus chemisch indifferentem Material. Der Strahlendurchgang durch die Patrone ist als feine Bohrung 3 ausgebildet. An dieser Stelle ist die Höhe der Patrone sehr gering. Die Patrone ist bis auf die Stelle des Strahlendurchgangs mit einer abschirmenden Schutzschicht q. versehen. Die Einführung des Nebels in die Patrone erfolgt durch die verschließbare Öffnung 5. Der Anschluß 6 ermöglicht das Anschließen an eine Saugleitung, um das Hineinsaugen des Nebels in die Patrone i zu ermöglichen.
  • Die Vernebelung der die Objekte enthaltenden Flüssigkeit erfolgt vorteilhaft in einer Kammer 7, in .der die geeigneten Betriebsbedingungen in bezug auf Druck, Temperatur, Feuchtigkeitsgehalt usw. erzeugt werden können. Die Patrone i sitzt so an einem Halter 8, daß die Öffnung 5 sich über dem zu zerstäubenden,. die Objekte enthaltenden Tropfen g befindet. -Das Einführen und Herausnehmen der am Halter 8 sitzenden Patrone i geschieht durch die luftdicht abschließbare Öffnung io.
  • Der Tropfen g wird auf eine Platte i i aufgebracht,. die. über einen Stempel i2 an einen Ultraschallsender angeschlossen ist. Der Halter 8 hat einen Anschluß an eine Saugleitung, und die Patrone i ist so an dem Halter 8 befestigt, daß der Anschluß 6 der Patrone mit der Saugleitung 13 im Halter 8 in Verbindung kommt. Im Augenblick der Zerstäubung des Tropfens tritt die Saugleitung 13 in Tätigkeit und saugt den Nebel in die Patrone hinein. An dem Faden 2 der Patrone schlagen sich dann Nebeltröpfchen nieder, von denen die in den Bereich des Strahlendurchlasses 3 gelangten Nebeltropfen für die Durchstrahlung zur Verfügung stehen: Nach der Einführung des Nebels in die Patrone i wird diese durch die Objektschleuse in den Objektraum des Mikroskops eingeführt. In der Arbeitsstellung muß der Anschluß 6 der Patrone Anschluß an eine Druckluftleitung haben, die während des Dürchstrahlens ionisierte und gegebenenfalls gekühlte Luft in die Patrone i hineindrückt. Um zu gewährleisten, daß die ionisierte Luft in der für die Abführung der durch die Elektronenstrahlen erzeugten Ladung notwendigen Menge an den Nebeltropfen im Strahlenbereich gelangt, muß die Luft auch einen Auslaß aus der Patrone haben. Dieser steht in den Bohrungen 3 bereits zur Verfügung. Genügen jedoch die Austrittsquerschnitte der Bohrungen 3 nicht, so wird an dem der Eintrittsöffnung für die ionisierte Luft 6 entgegengesetzten Ende der Patrone eine Austrittsöffnung 14 vorgesehen. Die durch die Bohrungen 3 der Patrone i und durch die Öffnung 14 in das Vakuum des Mikroskops austretende Luft wird durch die Vakuumpumpe des Mikroskops entfernt. Es kann aber auch für die Luftaustrittsöffnung 14 der Patrone i eine besondere Ableitung im Objekthalter vorgesehen sein, die die aus der Öffnung 14 austretende Luft ins Freie gelangen läßt.

Claims (3)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Verfahren zur Abbildung von in Flüssigkeit befindlichen sehr kleinen Objekten mit einem Elektronenmikroskop, die bei der Durchstrahlung einem ionisierten Luftstrom ausgesetzt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit, insbesondere durch Ultraschallstrahlen, vernebelt und in eine Objektpatrone (i) durch Saugwirkung eingebracht wird, in der sich feine Nebeltröpfchen auf einem Objekthalter zur Untersuchung absetzen.
  2. 2. Objektpatrone zur Ausführung des Verfahrens nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß in zwei gegenüberliegenden Wandungen feinste Bohrungen (3) für den Strahldurchtritt und zwischen den Bohrungen in deren unmittelbarer Nähe ein Faden (2), eine Schneide oder eine Spitze zur Anlagerung der Nebeltröpfchen angeordnet sind und daß die Objektpatrone mit einer Eintrittsöffnung (5) für den objektbeladenen Nebel und einer Öffnung (6) zum Anschließen einer Saugleitung bzw. zum Einführen des ionisierten Luftstromes und gegebenenfalls mit einer weiteren Öffnung (14) zum Auslassen dieser ionisierten Luft versehen ist.
  3. 3. Objektpatrone nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß sie bis auf den Bereich des Strahlendurchgangs mit einer Schutzschicht (4) zur Abschirmung der Elektronenstrahlen umgeben ist. Vernebelungskammer zur Ausführung des Verfahrens nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß in diese eine vorteilhaft mit einem Ultraschallsender verbundene Vernebelungsanlage (11, 12) eingebaut ist und daß in die Kammer (7) ein Halter (8) für die Objektpatrone (i) so hineinragt, daß die Nebeleintrittsöffnung (5) der Patrone (i) unmittelbar über dem Zerstäubungszentrum (9) der Vernebelungsanlage (11, 12) liegt. 5. Vernebelungskammer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß Anschlüsse zur Druck-, Unterdruckerzeugung und Gaseinführung vorgesehen sind. Zur Abgrenzung des Anmeldungsgegenstands vom Stand der Technik sind im Erteilungsverfahren folgende Druckschriften in Betracht gezogen worden: Zeitschrift für Physik, Bd. 1o7, 1937, S.49.3 bis 496; Die Naturwissenschaften, 25. Jahrg., 1937, S.823 und 8.24.
DESCH119919D 1940-02-11 1940-02-11 Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung von in Fluessigkeit befindlichen sehr kleinen Objekten mit einem Elektronenmikroskop Expired DE754268C (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DESCH119919D DE754268C (de) 1940-02-11 1940-02-11 Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung von in Fluessigkeit befindlichen sehr kleinen Objekten mit einem Elektronenmikroskop

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DESCH119919D DE754268C (de) 1940-02-11 1940-02-11 Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung von in Fluessigkeit befindlichen sehr kleinen Objekten mit einem Elektronenmikroskop

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE754268C true DE754268C (de) 1953-08-03

Family

ID=7451264

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DESCH119919D Expired DE754268C (de) 1940-02-11 1940-02-11 Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung von in Fluessigkeit befindlichen sehr kleinen Objekten mit einem Elektronenmikroskop

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE754268C (de)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3619886C2 (de)
DE3031220A1 (de) Verfahren und einrichtung zum gravieren integrierter schaltungen
DE1767025C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer hydrophilen Oberfläche oder Verbesserung der hydrophilen Eigenschaft der Oberfläche eines polymeren Stoffes
DE2411968A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur geochemischen erkundung eines bodenbereichs
DE2825760C2 (de) Einrichtung zum alternativen Nachweis von positiv und negativ geladenen Ionen am Ausgang eines Massenspektrometers
DE112005002541T5 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung geladener Teilchen
DE102012109961A1 (de) Vorrichtung mit fokussiertem Ionenstrahl
DE754268C (de) Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung von in Fluessigkeit befindlichen sehr kleinen Objekten mit einem Elektronenmikroskop
DE19637480A1 (de) Massenspektrometrische Analyse von Oberflächen
DE1142262B (de) Vorrichtung zur Erzeugung von duennen Metallschichten durch Ionenneutralisation
DE112004002755T5 (de) Verfahren zur Ionisation durch Cluster-Ionen-Beschuss und Vorrichtung dafür
DE1929429B2 (de) Vorrichtung zur spektrochemischen analyse eines materials
DE3013620A1 (de) Probeneingabevorrichtung fuer massenspektrometer
DE102010051086A1 (de) Verfahren zum elektrostatischen Beschichten von Gegenständen sowie Applikationsvorrichtung
DE2305359C3 (de) Vorrichtung zur reaktiven Aufdampfung dünner Schichten auf Unterlagen
DE102011054659A9 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Aerosolen in einem großen Volumenstrom
DE1959901B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Qualitätskontrolle von mittels eines steuerbaren Energiestrahls serienweise hergestellten Durchbrüchen und/oder Ausnehmungen
EP0038549A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum spektroskopischen Nachweis von an der Oberfläche eines Festkörpers befindlichen Elementen
AT519146A1 (de) Vorrichtung zur Analyse eines Feststoff-Probenmaterials
DE1297897B (de) Vorrichtung zur Analyse einer Probe durch Bombardieren mit Teilchen
DE112019007323T5 (de) Ionenanalysator
DE911409C (de) Korpuskularstrahlapparat, insbesondere Elektronenmikroskop
DE1698216A1 (de) Massenspektrometer und Ionenmanometer
DE880947C (de) Vorrichtung zum Aufbringen von mikroskopisch zu untersuchenden Objekten auf einen Objekttraeger
DE3422946A1 (de) Verfahren zur feststoffanalyse in plasmen und plasmabrenner zur durchfuehrung des verfahrens