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DE69816967T2 - Positionnierungsvorrichtung mit h-antrieb - Google Patents

Positionnierungsvorrichtung mit h-antrieb Download PDF

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DE69816967T2
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Germany
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positioning device
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Martinus Josephus VAN GASTEL
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Assembleon BV
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70716Stages
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Positionierungsvorrichtung mit einem X-Träger, auf dem ein Wagen mit einem Positionierungskopf in einer X-Richtung verlagerbar ist, mit einem ersten Y-Träger, auf dem ein erster Wagen in einer Y-Richtung verlagerbar ist, mit einem zweiten Y-Träger, auf dem ein zweiter Wagen in der Y-Richtung verlagerbar ist, während ein erstes Ende des X-Trägers mit dem ersten Wagen des ersten Y-Trägers verbunden ist, und zwar mit Hilfe einer ersten Kupplung, und wobei ein zweites Ende des X-Trägers mit dem zweiten Wagen des zweiten Y-Trägers verbunden ist, und zwar mit Hilfe einer zweiten Kupplung, so dass der X-Träger und der Y-Träger in einer H-Aufstellung orientiert sind, wobei die genannte Vorrichtung weiterhin Antriebsmittel aufweist zum separaten Antreiben der Wagen auf den Y-Trägern und des Wagens mit dem Positionierungskopf auf dem X-Träger.
  • Eine derartige Positionierungsvorrichtung ist bekannt aus EP-B1-0 109 718. Die Kupplungen zwischen dem X-Träger und den Wagen auf den Y-Trägern werden darin durch Schwenkachsen gebildet, die in der Z-Richtung orientiert sind, wobei diese Achsen die Teile mit Drehmöglichkeit miteinander verbinden. Um eine Drehung des X-Trägers um die Z-Achse zu ermöglichen, ist ein Ende des X-Trägers als Schiebekupplung in der X-Richtung konstruiert worden. Eine Positionierungsvorrichtung wird benutzt zum einwandfreien Positionieren eines Bauelementes, das von dem Positionierungskopf an dem Wagen an dem X-Träger getragen wird, und zwar gegenüber einem anderen Bauelement, das von einem Maschinenteil getragen wird, der üblicherweise stationär ist. Dabei handelt es sich beispielsweise um ein Bauelement, das auf einer Printplatte angeordnet werden soll. Die immer weiter gehende Miniaturisierung von Bauelementen führt zu immer strengeren Anforderungen in Bezug auf Genauigkeit, mit der Bauelemente gegenüber einander angeordnet werden sollen.
  • Es ist nun u. a. eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Genauigkeit der Vorrichtung zu verbessern.
  • Die Positionierungsvorrichtung (Bestückungsvorrichtung) weist dazu das Kennzeichen auf, dass:
    • – die erste Kupplung durch zwei senkrecht aufeinander stehende Blattfedern gebildet wird, die sich etwa in der X-Richtung bzw. in der Y-Richtung erstrecken, wobei ein Ende jeder Blattfeder an dem ersten Ende des X-Trägers befestigt ist und das andere Ende jeder Blattfeder an dem ersten Wagen des ersten Y-Trägers befestigt ist, wobei die Schnittlinie der Blattfedern eine Drehungsachse bildet, die sich in der Z-Richtung erstreckt,
    • – die zweite Kupplung durch nur eine Blattfeder gebildet wird, die sich etwa in der Y-Richtung erstreckt, wobei ein Ende der genannten Blattfeder an dem zweiten Ende des X-Trägers befestigt ist und das andere Ende an dem zweiten Wagen des zweiten Y-Trägers befestigt ist, wobei die genannte Blattfeder eine relativ große Steifigkeit in der Y-Richtung und eine relativ geringe Steifigkeit in der X-Richtung aufweist.
  • Die erste Kupplung ist eine Art von Kreuzfedergelenk. Die (imaginäre) Schnittlinie der zwei Blattfedern bildet eine sehr genaue Drehungsachse, um die der X-Träger eine Drehung gegenüber dem Wagen an dem ersten Y-Träger durchführen kann. Die Starrheit in der X-Richtung ist relativ groß und in der Y-Richtung relativ gering für die Blattfeder der ersten Kupplung, die sich etwa in der X-Richtung erstreckt, während dies für die Blattfeder, die senkrecht darauf steht, genau umgekehrt ist. Um eine Drehung des X-Trägers möglich zu machen, wobei es sich meistens um sehr geringe Drehungen handeln wird, muss die Blattfeder der zweiten Kupplung eine relativ geringe Starrheit in der X-Richtung und eine relativ große Starrheit in der Y-Richtung aufweisen. Die Starrheit in der Z-Richtung ist offenbar auch hoch für alle Blattfedern. Der große Vorteil der Blattfederkupplung ist, dass sie überhaupt keinen Spielraum und keine Reibung aufweisen. Die Starrheit gegen Drehung um die Längsachse des X-Trägers ist hoch, weil die Blattfedern sich in der Y-Richtung erstrecken. Die Konstruktion des X-Trägers in Bezug auf die Y-Träger ist statisch völlig definiert. Die Blattfeder der zweiten Kupplung ermöglicht ebenfalls eine Änderung in der Länge des X-Trägers in der X-Richtung, verursacht durch Temperaturänderungen.
  • Ein anderer Vorteil ist, dass die Orientierung um die Z-Achse eines anzubringenden Bauelementes, wie eines Bauelementes auf einer Printplatte, sehr genau eingestellt werden kann. Es ist möglich, dass der X-Träger eine geringfügige Winkeldrehung erfahren kann, indem beispielsweise einer der Wagen auf dem Y-Träger dazu gebracht wird, etwas weiter oder nicht so weit zu fahren, wodurch eine feine Winkelkorrektur des Bauelementes erzielt wird.
  • Vorzugsweise liegen der X-Träger und der Y-Träger in ein und derselben Ebene. Dadurch liegt der Schwerpunkt der gesamten bewegenden Konstruktion (der X-Träger samt Wagen und Bestückungskopf) etwa in der Ebene, in der die Antriebskräfte ausgeübt werden. Auch dies verbessert die Genauigkeit der Positionierung.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im vorliegenden Fall näher beschrieben. Es zeigen:
  • 1 eine schaubildliche Darstellung einer Bestückungsmaschine, wobei die vorliegende Erfindung angewandt wird,
  • 2 eine schematische Draufsicht einer Bestückungsmaschine nach 1,
  • 3 eine Einzelheit der ersten Kupplung zwischen dem X-Träger und dem Wagen an dem ersten Y-Träger, und
  • 4 eine Einzelheit der zweiten Kupplung zwischen dem X-Träger und dem Wagen an dem zweiten Y-Träger.
  • Die Bestückungsmaschine aus 1 ist eine Maschine zum Anbringen von Bauelementen auf Trägern, wie Printplatten. Zwei parallele Führungsträger 2 und 3, die nachstehend als der erste Y-Träger 2 und der zweite Y-Träger bezeichnet werden, sind an dem Maschinenrahmen 1 befestigt. Ein erster Wagen 4 und ein zweiter Wagen 5 sind auf diesen betreffenden Y-Trägern vorgesehen und sind imstande über diese Träger zu bewegen. Ein quer liegender Führungsträger, nachher als X-Träger 6 bezeichnet, ist zwischen den Wagen 4 und 5 vorgesehen. Der X-Träger bildet zusammen mit dem ersten und dem zweiten Y-Träger eine H-Form. Der X-Träger ist mit Hilfe einer ersten Kupplung 7 und einer zweiten Kupplung 8 mit den Wagen 4 bzw. 5 verbunden (siehe 2). Auf dem X-Träger 6 ist ein Wagen 9 vorgesehen, der imstande ist, sich über diesen X-Träger zu bewegen. Ein Bestückungskopf 10 ist an dem Wagen 9 befestigt. Aus einem Magazin können mit Hilfe des Bestückungskopfes Bauelemente aufgenommen, in eine gewünschte Lage gebracht und danach auf einer Printplatte 11 platziert werden. Die Printplatten werden mit Hilfe eines an dieser Stelle nicht detailliert dargestellten Transportmechanismus durch die Bestückungsmaschine hindurch transportiert. Es ist ebenfalls möglich, dass verschiedene Bestückungsköpfe 10 an dem Wagen 9 angeordnet werden. Ein Bestückungskopf umfasst beispielsweise eine Saugpipette 12, mit der Bauelemente 12, möglicherweise sehr kleine Bauelemente, durch Ansaugen aufgenommen werden können. Der Bestückungskopf 10 kann in der X- sowie in der Y-Richtung verlagert werden. Um dies zu erreichen werden die Wagen 4, 5 und 9 von je einem Motor 14, 15 und 16 über den ersten Y-Träger, den zweiten Y-Träger 3 und den X-Träger einzeln angetrieben. Dadurch wird die Vorrichtung als Bestückungsmaschine mit H-Antrieb bezeichnet. Der Bestückungskopf 10 kann außerdem in der Z-Richtung angetrieben werden, während oft die Saugpipette imstande ist, eine Drehbewegung ϕ um die Längsachse, d. h. die Z-Achse zu machen.
  • Die Bewegung des X-Trägers in der Y-Richtung muss sehr genau und auf eine gesteuerte Art und Weise durchgeführt werden. Die Bewegungen aller Wagen sowie die Bewegungen des Bestückungskopfes und der Saugpipette werden von einem Computer aus gesteuert. Eine große Genauigkeit kann nur dann erreicht werden, wenn die Kupplungen 7 und 8 zwischen den Enden 17 und 18 des X-Trägers 6 und den Wagen 4 und 5 ebenfalls strengen Anforderungen entsprechen. Die erste Kupplung 7 ist dazu als eine Kreuzfederkupplung ausgebildet, die durch zwei senkrecht aufeinander stehende Blattfedern 19 und 20 gebildet wird. Die Blattfeder 19 erstreckt sich etwa in der Y-Richtung und die Blattfeder 20 erstreckt sich in der X-Richtung. Wie 3 zeigt, umfasst die Blattfeder 19 der ersten Kupplung 7 eine starre Federplatte 21 mit einem dünnen zentralen Teil 22, der die eigentliche Blattfeder bildet. Der zentrale Teil hat eine Ausnehmung 23, durch welche die andere Blattfeder 20 hindurch geführt ist. Die Enden 24 und 26 der Blattfedern 19 bzw. 20 sind an dem ersten Ende 17 des X-Trägers 6 befestigt, und die anderen Enden 25 und 27 der Blattfedern sind an dem ersten Wagen 4 befestigt (der Wagen 4 der Deutlichkeit der Zeichnung wegen nicht dargestellt). Auf diese An und Weise ist eine Kupplung geschaffen, die in der X-Richtung sowie in der Y-Richtung sehr starr ist, die aber dennoch eine geringfügige Drehung um die Z-Achse erlaubt. Die (imaginäre) Schnittlinie der zwei Blattfedern bildet im Wesentlichen eine Drehungsachse 28 in der Z-Richtung. Der X-Träger 6 ist auf entsprechende Weise imstande eine geringfügige Drehung um diese Drehungsachse 28 gegenüber dem ersten Y-Träger durchzuführen. Dazu ist es aber notwendig, dass die zweite Kupplung 8 dies erlaubt. Diese zweite Kupplung wird durch eine einzige Blattfeder 29 gebildet, die sich etwa in der Y-Richtung erstreckt. Wie in 4 dargestellt, umfasst die Blattfeder 29 ebenfalls eine starre Federplatte 30 mit einem dünnen zentralen Teil 31, der die aktuelle Blattfeder bildet. Auch in diesem Fall hat der zentrale Teil eine Ausnehmung 32. Das eine Ende 33 der Blattfeder 29 ist an dem zweiten Ende 18 des X-Trägers befestigt und das andere Ende 34 der Blattfeder ist an dem zweiten Wagen 5 befestigt (der Wagen 5 ist der Deutlichkeit der Zeichnung wegen nicht dargestellt). Die Blattfeder 29 hat eine relativ hohe Starrheit in der Y-Richtung und eine relativ geringe Starrheit in der X-Richtung. Wenn der zweite Wagen 5 etwas weiter in der Y-Richtung als der erste Wagen 4 gefahren wird, wird der X-Träger um die Drehungsachse 28 gedreht (siehe 2). Dies ist eine Drehung um kleine Winkel bis etwa 1°. Die Saugpipette kann mit Hilfe eines Motors 35, der an dem Bestückungskopf 10 befestigt ist, um ein von der Saugpipette 12 angesaugtes Bauelement in die gewünschte Lage auf der Printplatte zu bringen, um die Z-Achse gedreht werden. Die Genauigkeit dieser Drehung ist aber begrenzt. Dies kann zu einem Problem bei der Anordnung sehr kleiner Bauelemente führen. Die Konstruktion nach der vorliegenden Erfindung macht es nun möglich, sehr kleine Winkelverdrehungen der Saugpipette und folglich des Bauelementes, um die Drehungsachse 28 zu verwirklichen.
  • Neben der zweiten Kupplung ist ein Winkelbegrenzer 36 vorhanden, der vermeidet, dass der X-Träger 6 über einen zu großen Winkel sich dreht, was die Blattfedern beschädigen Könnte (siehe 4). Der Winkelbegrenzer ist durch ein T-Stück gebildet, dessen zentraler Schenkel 37 durch die Ausnehmung 32 der Blattfeder 29 hindurch ragt und an dem X-Träger 6 befestigt ist. Die Querschenkel 38 des T-Stücks vermeiden, dass der X-Träger zu weit dreht. Im Falle einer zu großen Winkeldrehung werden die Kreuzstangen gegen die starren Teile der Federplatte 30 stoßen.
  • Wie aus 1 ersichtlich, liegen der X-Träger und die zwei Y-Träger etwa in einer Ebene. Der Schwerpunkt des X-Trägers mit allen Wagen und dem Bestückungskopf liegt auf entsprechende Weise in der Ebene, in der auch die Antriebskräfte zum Antreiben der Wagen ausgeübt werden.

Claims (4)

  1. Positionierungsvorrichtung mit einem X-Träger (6), auf dem ein Wagen (9) mit einem Positionierungskopf (10) in einer X-Richtung verlagerbar ist, mit einem ersten Y-Träger (1), auf dem ein erster Wagen (4) in einer Y-Richtung verlagerbar ist, mit einem zweiten Y-Träger (2), auf dem ein zweiter Wagen (5) in der Y-Richtung verlagerbar ist, während ein erstes Ende (17) des X-Trägers (6) mit dem ersten Wagen (4) des ersten Y-Trägers (1) verbunden ist, und zwar mit Hilfe einer ersten Kupplung (7), und wobei ein zweites Ende (18) des X-Trägers (6) mit dem zweiten Wagen (5) des zweiten Y-Trägers (2) verbunden ist, und zwar mit Hilfe einer zweiten Kupplung (8), so dass der X-Träger (6) und der Y-Träger (1, 2) in einer H-Aufstellung orientiert sind, wobei die genannte Vorrichtung weiterhin Antriebsmittel aufweist zum separaten Antreiben der Wagen (4, 5) auf den Y-Trägern (1, 2) und des Wagens (9) mit dem Positionierungskopf auf dem X-Träger (6), dadurch gekennzeichnet, dass – die erste Kupplung (7) durch zwei senkrecht aufeinander stehende Blattfedern (20, 19) gebildet wird, die sich etwa in der X-Richtung bzw. in der Y-Richtung erstrecken, wobei ein Ende jeder Blattfeder an dem ersten Ende des X-Trägers (6) befestigt ist und das andere Ende jeder Blattfeder an dem ersten Wagen (4) des ersten Y-Trägers (1) befestigt ist, wobei die Schnittlinie (28) der Blattfedern eine Drehungsachse bildet, die sich in der Z-Richtung erstreckt, – die zweite Kupplung (8) durch nur eine Blattfeder (29) gebildet wird, die sich etwa in der Y-Richtung erstreckt, wobei ein Ende der genannten Blattfeder an dem zweiten Ende des X-Trägers (6) befestigt ist und das andere Ende an dem zweiten Wagen (5) des zweiten Y-Trägers (2) befestigt ist, wobei die genannte Blattfeder eine relativ große Steifigkeit in der Y-Richtung und eine relativ geringe Steifigkeit in der X-Richtung aufweist.
  2. Positionierungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Blattfeder (19) der ersten Kupplung (7), die sich etwa in der Y-Richtung erstreckt, eine Ausnehmung (23) hat, durch welche die Blattfeder (20), die sich etwa in der X-Richtung erstreckt, hindurch geführt wird.
  3. Positionierungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der X-Träger (6) und der Y-Träger (1, 2) im Wesentlichen in ein und derselben Ebene liegen.
  4. Positionierungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Kupplung (8) mit einem Winkelbegrenzer (36) versehen ist.
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DE69816967D1 DE69816967D1 (de) 2003-09-11
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