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DE69806542T2 - Laminated metal / ferrite magnet - Google Patents

Laminated metal / ferrite magnet

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Publication number
DE69806542T2
DE69806542T2 DE1998606542 DE69806542T DE69806542T2 DE 69806542 T2 DE69806542 T2 DE 69806542T2 DE 1998606542 DE1998606542 DE 1998606542 DE 69806542 T DE69806542 T DE 69806542T DE 69806542 T2 DE69806542 T2 DE 69806542T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
ferrite
metal plate
metal
layer
magnet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE1998606542
Other languages
German (de)
Other versions
DE69806542D1 (en
Inventor
James N. Humenik
John Ulrich Knickerbocker
Andrew Ramsay Knox
Robert Rosenberg
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US08/854,285 external-priority patent/US5986395A/en
Priority claimed from US08/854,284 external-priority patent/US5857883A/en
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of DE69806542D1 publication Critical patent/DE69806542D1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE69806542T2 publication Critical patent/DE69806542T2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/46Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/58Arrangements for focusing or reflecting ray or beam
    • H01J29/64Magnetic lenses
    • H01J29/68Magnetic lenses using permanent magnets only
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/14Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
    • H01F41/16Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates the magnetic material being applied in the form of particles, e.g. by serigraphy, to form thick magnetic films or precursors therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F7/00Magnets
    • H01F7/02Permanent magnets [PM]
    • H01F7/0273Magnetic circuits with PM for magnetic field generation
    • H01F7/0278Magnetic circuits with PM for magnetic field generation for generating uniform fields, focusing, deflecting electrically charged particles

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Hard Magnetic Materials (AREA)

Description

Gebiet der ErfindungField of the invention

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Metall/Ferrit-Laminatmagnet mit Perforationen sowie auf ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Magnets. Spezieller bezieht sich die vorliegende Erfindung auf einen Magnet mit einer an einem Ferrit angebrachten Metallplatte zur Aufrechterhaltung der Positionsgenauigkeit von Perforationen in dem Laminat sowie auf ein Verfahren zur Herstellung eines großflächigen Laminatmagnets mit einer signifikanten Anzahl von perforierten Löchern, einer oder mehreren integrierten Metallplatten und Elektroden zur Elektronen- und Elektronenstrahlsteuerung.The present invention relates to a metal/ferrite laminate magnet with perforations and to a method of making such a magnet. More particularly, the present invention relates to a magnet having a metal plate attached to a ferrite for maintaining the positional accuracy of perforations in the laminate and to a method of making a large area laminate magnet with a significant number of perforated holes, one or more integrated metal plates and electrodes for electron and electron beam control.

Hintergrund der ErfindungBackground of the invention

Eine magnetische Matrixanzeige ist insbesondere wenngleich nicht ausschließlich nützlich in Anwendungen mit Flachbildschirmanzeigen, wie Fernsehempfängern und visuellen Anzeigeeinheiten für Computer, insbesondere wenngleich nicht ausschließlich tragbare Computer, elektronische persönliche Terminkalender, Kommunikationseinrichtungen und dergleichen.A magnetic matrix display is particularly, though not exclusively, useful in flat panel display applications such as television receivers and visual display units for computers, particularly, though not exclusively, portable computers, electronic personal diaries, communications devices and the like.

Herkömmliche Flachbildschirmanzeigen, wie Flüssigkristallanzeigebildschirme und Feldemissionsanzeigen, sind kompliziert herzustellen, da sie jeweils ein vergleichsweise hohes Niveau an Halbleiterfertigung, schwierige Materialien und hohe Toleranzen beinhalten.Conventional flat panel displays, such as liquid crystal displays and field emission displays, are complicated to manufacture because they each require a comparatively high level of semiconductor manufacturing, difficult materials and high tolerances.

Die UK-Patentanmeldung 2304981 offenbart eine magnetische Matrixanzeige mit einer Kathode zum Emittieren von Elektronen, einem Permanentmagnet mit einem zweidimensionalen Feld von Kanälen, die sich zwischen gegenüberliegenden Polen des Magnets erstrecken, wobei die Richtung der Magnetisierung von der der Kathode zugewandten Oberfläche zu der gegenüberliegenden Oberfläche verläuft. Der Magnet erzeugt in jedem Kanal ein Magnetfeld zur Formung von Elektronen aus den Kathodenmitteln zu einem Elektronenstrahl. Die Anzeige weist außerdem einen Bildschirm zum Empfangen eines Elektronenstrahls von jedem Kanal auf, wobei der Bildschirm eine Phosphorbeschichtung aufweist, die derjenigen Seite des Magnets zugewandt ist, die von der Kathode entfernt liegt, wobei die Phosphorbeschichtung eine Mehrzahl von Pixeln beinhaltet, die jeweils einem anderen Kanal entsprechen. Zwischen den Kathodenmitteln und dem Magnet sind Gitterelektrodenmittel angeordnet, um den Elektronenfluss von den Kathodenmitteln in jeden Kanal zu steuern. Das zweidimensionale Feld von Kanälen ist auf einem xy-Gitter regelmäßig beabstandet. Die Magnetfläche ist groß im Vergleich zu seiner Dicke.UK Patent Application 2304981 discloses a magnetic matrix display comprising a cathode for emitting electrons, a permanent magnet having a two-dimensional array of channels extending between opposite poles of the magnet, the direction of magnetisation being from the surface facing the cathode to the opposite surface. The magnet generates a magnetic field in each channel for forming electrons from the cathode means into an electron beam. The display also comprises a screen for receiving an electron beam from each channel, the screen comprising a phosphor coating facing the side of the magnet remote from the cathode, the phosphor coating comprising a plurality of pixels each corresponding to a different channel. Grid electrode means are arranged between the cathode means and the magnet to control the flow of electrons from the cathode means into each channel. The two-dimensional array of channels is regularly spaced on an xy grid. The magnetic area is large compared to its thickness.

Der Permanentmagnet wird dazu verwendet, im Wesentlichen lineare Felder hoher Intensität in den Kanälen oder magnetischen Aperturen zwecks Kollimierung der durch die Apertur hindurchtretenden Elektronen zu bilden. Der Permanentmagnet ist isolierend oder besitzt eine höchstens geringe Leitfähigkeit, um so einen Feldgradienten entlang der Länge der Apertur zu ermöglichen. Die Platzierung des so gebildeten Strahls auf der Phosphorbeschichtung ist stark von dem physikalischen Ort der Aperturen in dem Permanentmagnet abhängig.The permanent magnet is used to form essentially linear fields of high intensity in the channels or magnetic apertures for the purpose of collimating the electrons passing through the aperture. The permanent magnet is insulating or has a minimal conductivity to allow a field gradient along the length of the aperture. The placement of the so The orientation of the beam formed on the phosphor coating is strongly dependent on the physical location of the apertures in the permanent magnet.

Im Betrieb werden diese Elektronenstrahlen zu einem Phosphorbildschirm geführt, und die Kollision des Elektronenstrahls mit dem Phosphor resultiert in einer Lichtabgabe, wobei die Intensität proportional zu dem einfallenden Strahlstrom ist (für eine feste endgültige Anodenspannung). Für Farbanzeigen werden drei verschiedengefärbte Phosphorelemente verwendet, und die Farbe wird durch selektives Mischen dieser drei Primärfarben erzielt.In operation, these electron beams are directed to a phosphor screen, and collision of the electron beam with the phosphor results in a light output with intensity proportional to the incident beam current (for a fixed final anode voltage). For color displays, three differently colored phosphor elements are used, and the color is achieved by selectively mixing these three primary colors.

Für eine präzise Farbreproduktion ist der Ort der Elektronenstrahlen auf dem Phosphor mit der richtigen Farbe wesentlich. Ein gewisses Fehlerausmaß kann durch Verwenden einer "Schwarzmatrix" ("black matrix") zur Trennung der verschiedenen Phosphorelemente toleriert werden. Dieses Material wirkt dahingehend, einzelne Phosphorfarben abzugrenzen, und steigert außerdem das Kontrastverhältnis der angezeigten Abbildung, indem es bewirkt, dass die Frontplatte der Anzeige dunkler erscheint. Wenn der Elektronenstrahl jedoch relativ zu dem Phosphor falsch positioniert ist, wird anfänglich die Lichtabgabe von dem Phosphor reduziert (aufgrund eines Verlustes an Strahlstrom an die Schwarzmatrix), und dies wird als Luminanz-Ungleichmäßigkeit sichtbar. Wenn der Strahl einem stärkeren Platzierungsfehler unterworfen ist, kann er auf ein andersfarbiges Phosphorelement als jenes streuen, für das er gedacht war, und beginnen, sichtbare Mengen an Lichtabgabe zu erzeugen. Somit erzeugt der falsch positionierte Elektronenstrahl tatsächlich die falsche Farbe der Lichtabgabe. Dies wird als Reinheitsfehler bezeichnet und stellt ein äußerst unerwünschtes Anzeigeartefakt dar. Für ein Pixel von 0,3 mm betragen typische Phosphorbreiten 67 um mit einer Schwarzmatrix von 33 um dazwischen.For accurate color reproduction, the location of the electron beams on the phosphor of the correct color is essential. Some amount of error can be tolerated by using a "black matrix" to separate the various phosphor elements. This material acts to delineate individual phosphor colors, and also increases the contrast ratio of the displayed image by causing the faceplate of the display to appear darker. However, if the electron beam is incorrectly positioned relative to the phosphor, initially the light output from the phosphor is reduced (due to a loss of beam current to the black matrix), and this becomes visible as luminance non-uniformity. If the beam is subject to a greater placement error, it may scatter onto a different colored phosphor element than the one it was intended for, and begin to produce visible amounts of light output. Thus, the incorrectly positioned electron beam actually produces the wrong color of light output. This is called purity error and is a highly undesirable display artifact. For a 0.3 mm pixel, typical phosphor widths are 67 µm with a 33 µm black matrix in between.

Es ist offensichtlich, dass eine sehr präzise Justierung zwischen dem Magneten, der zur Bildung des Elektronenstrahls verwendet wird, und der Glasplatte erforderlich ist, die dazu verwendet wird, die Phosphorelemente zu tragen, welche die Elektronenstrahlen empfangen. Des Weiteren muss diese präzise Justierung über einen Bereich unterschiedlicher Betriebsbedingungen (große und geringe Helligkeit, variable Umgebungstemperatur etc.) aufrechterhalten werden.It is obvious that a very precise alignment is required between the magnet used to form the electron beam and the glass plate used to support the phosphor elements that receive the electron beams. Furthermore, this precise alignment must be maintained over a range of different operating conditions (high and low brightness, variable ambient temperature, etc.).

Ein Anzahl weiterer Magneteigenschaften ist ebenfalls wichtig, wenn eine Anwendung für eine Anzeige ins Auge gefasst wird:A number of other magnetic properties are also important when considering a display application:

1. Es ist allgemein akzeptiert, dass die angezeigte Abbildung durch ein regelmäßiges Feld von Pixeln gebildet wird. Diese Pixel sind üblicherweise auf einem quadratischen oder rechteckigen Gitter angeordnet. Um Kompatibilität mit Graphikadapter zu erhalten, muss der Magnet somit die Elektronenstrahlen auf einem derartigen Feld präsentieren.1. It is generally accepted that the displayed image is formed by a regular array of pixels. These pixels are usually arranged on a square or rectangular grid. Thus, to obtain compatibility with graphics adapters, the magnet must present the electron beams on such an array.

2. Im Betrieb bestimmt der Abstand zwischen den Gittern, die zur Vorspannung und Modulation des Elektronenstrahls verwendet werden, und der Elektronenquelle den Strom, der von dem Elektronenstrahl geführt wird. Variationen dieses Abstands führen zu Variationen des Strahlstroms und somit zu Änderungen der Lichtabgabe von dem Phosphorbildschirm.2. In operation, the distance between the grids used to bias and modulate the electron beam and the electron source determines the current carried by the electron beam. Variations in this distance result in variations in the beam current and hence in changes in the light output from the phosphor screen.

Somit besteht eine Anforderung darin, dass der Magnet, der als Träger für diese Vorspannungs- und Modulationsgitter verwendet wird, einen bekannten Abstand zu der Elektronenquelle aufrechterhält. Um Konstruktionsschwierigkeiten zu vermeiden, sollte der Magnet flach sein.Thus, one requirement is that the magnet used as a support for these bias and modulation grids maintains a known distance from the electron source. To avoid design difficulties, the magnet should be flat.

3. Die Anzeige ist mechanischen Kräften unterworfen, insbesondere während der Versendung. Der Magnet muss über den möglichen Bereich mechanischer Beanspruchungen, auf die er treffen kann, strukturelle Integrität aufrechtzuerhalten. Ein allgemein akzeptiertes Niveau ist eine Äquivalentbeschleunigung von 30 g (294 ms&supmin;²).3. The indicator is subjected to mechanical forces, particularly during shipment. The magnet must maintain structural integrity over the possible range of mechanical stresses it may encounter. A generally accepted level is an equivalent acceleration of 30 g (294 ms-2).

Eine weitere Anforderung besteht darin, dass der Magnet, da er in der Anzeige, die evakuiert ist, verwendet werden soll, keinerlei organische Komponenten enthalten sollte, die über die Lebensdauer der Anzeige hinweg freigesetzt werden können und so die Qualität des Vakuums herabsetzen oder die Kathode vergiften.Another requirement is that since the magnet is to be used in the display, which is evacuated, it should not contain any organic components that can be released over the life of the display, thus degrading the quality of the vacuum or poisoning the cathode.

Schließlich ist der Magnet in der Richtung der Aperturen magnetisiert, das heißt die Pole entsprechen den Seitenflächen des. Magnets.Finally, the magnet is magnetized in the direction of the apertures, i.e. the poles correspond to the side surfaces of the magnet.

Die Herstellung eines derartigen Magnets, der den vorstehenden Bedingungen genügt, ist durch die Verwendung von bislang bekannten Fertigungsverfahren nicht möglich. Sicherlich ist ein Magnet (zum Beispiel Ferrit) mit der gewünschten Abmessung ohne Aperturen ohne Weiteres erhältlich, das Vorhandensein der Aperturen verursacht jedoch einige Probleme.The manufacture of such a magnet that satisfies the above conditions is not possible using currently known manufacturing processes. Of course, a magnet (for example ferrite) with the desired dimensions without apertures is readily available, but the presence of the apertures causes some problems.

Wenn die Aperturen in dem Magnet zu erzeugen sind, nachdem die Ferritplatte gesintert wurde, kann entweder Laser- oder mechanisches Bohren verwendet werden. Der gesinterte Ferrit ist jedoch ein sehr hartes Material, und ein Erzeugen der Aperturen durch diese Technik ist ein kostenintensiver und langwieriger Prozess - ungeeignet für einen Fertigungsprozess.If the apertures are to be created in the magnet after the ferrite plate has been sintered, either laser or mechanical drilling can be used. However, the sintered ferrite is a very hard material and creating the apertures by this technique is a costly and time-consuming process - unsuitable for a manufacturing process.

Löcher können in dem Ferrit im Rohschichtzustand vor dem Sintern durch bekannte Stanz-/Bohrverfahren erzeugt werden. Während des Sinterns treten jedoch eine Anzahl von Problemen auf:Holes can be created in the ferrite in the green film state before sintering by known punching/drilling techniques. However, a number of problems arise during sintering:

1. Die Magnetplatte ist einer ungleichmäßigen Schrumpfung unterworfen, was dazu führt, dass die Löcher "wandern" - eine ungleichmäßige radiale Verschiebung aus ihren nominellen Positionen.1. The magnetic disk is subject to uneven shrinkage, which causes the holes to "wander" - an uneven radial displacement from their nominal positions.

2. Der Magnet selbst kann sich "krümmen", so dass er einen Abschnitt einer Kugel mit großem Durchmesser bildet.2. The magnet itself can "bend" so that it forms a section of a large diameter sphere.

3. Aufgrund der Aperturen, die als Konzentratoren mechanischer Spannungen wirken, kann leicht eine Rissbildung zwischen benachbarten Aperturen auftreten.3. Due to the apertures acting as concentrators of mechanical stresses, cracking can easily occur between adjacent apertures.

4. Wenn zur Erzielung der gewünschten Aperturlänge mehrere Dünnschichten aufeinandergestapelt werden, kann eine ungleichmäßige Schrumpfung einzelner Schichten dazu führen, dass es keine "Sichtlinie" durch die Aperturen hindurch gibt.4. When multiple thin films are stacked to achieve the desired aperture length, uneven shrinkage of individual films can result in no "line of sight" through the apertures.

Ein weiteres Problem besteht darin, dass Ferrit ein hartes, jedoch kein zähes Material ist und das Vorhandensein der Aperturen die mechanische Festigkeit der Platte signifikant reduziert. Somit ist während der Versendung, wenn starke Stöße auftreten können, ein kompletter mechanischer Ausfall des Magnets durchaus zu befürchten.Another problem is that ferrite is a hard but not tough material and the presence of the Apertures significantly reduce the mechanical strength of the plate. This means that a complete mechanical failure of the magnet is a real risk during shipping, when strong shocks can occur.

Das US-Patent 4 138 236 offenbart ein Verfahren zum Binden von hart- und/oder weichmagnetischen Ferritteilen an ein Oxidglas. Das Oxidglas kann vor oder nach einem Vorbrennen oder Hauptbrennen angebracht werden. Schließlich werden die Ferritteile bei Temperaturen über dem Glaserweichungspunkt verschmolzen.US Patent 4,138,236 discloses a method for bonding hard and/or soft magnetic ferrite parts to an oxide glass. The oxide glass can be applied before or after a pre-firing or main firing. Finally, the ferrite parts are fused at temperatures above the glass softening point.

Das US-Patent 4 540 500 offenbart ein bei geringer Temperatur sinterbares magnetisches Oxidmaterial, das durch Hinzufügen von 0,1 Gewichtsprozent bis 5 Gewichtsprozent Glas zu Ferrit hergestellt wird. In einigen Situationen kann die Sintertemperatur auf etwa 1 000ºC oder weniger reduziert werden.U.S. Patent 4,540,500 discloses a low temperature sinterable magnetic oxide material prepared by adding 0.1% to 5% by weight of glass to ferrite. In some situations, the sintering temperature can be reduced to about 1,000°C or less.

Das US-Patent 4 023 057 offenbart einen zusammengesetzten Magnet für einen Motorstator mit einer laminierten Struktur, die dünne, flexible Magnete, beinhaltet, die aus permanentmagnetisierbaren Partikeln bestehen, wie Bariumferrit, die in einer flexiblen Matrix, wie Gummi, eingebettet sind. Es werden verschiedene laminierte Anordnungen zur Erzeugung intensiverer Magnetfelder ins Auge gefasst, und dünne Metallabstandshalter werden in den meisten laminierten Strukturen verwendet, um jeweilige Felder der flexiblen magnetischen Komponenten zusammenbrechen zu lassen, um dadurch die Flussdichte an den resultierenden Polen zu erhöhen und die Permanentmagnetfelder in dem magnetischen Schaltkreis des Motors zu orientieren.U.S. Patent 4,023,057 discloses a composite magnet for a motor stator having a laminated structure that includes thin, flexible magnets made of permanently magnetizable particles such as barium ferrite embedded in a flexible matrix such as rubber. Various laminated arrangements are envisaged for producing more intense magnetic fields, and thin metal spacers are used in most laminated structures to collapse respective fields of the flexible magnetic components, thereby increasing the flux density at the resulting poles and orienting the permanent magnetic fields in the magnetic circuit of the motor.

Die veröffentlichte japanische Patentanmeldung Nr. JP 60093742 offenbart eine Anzeige, die eine Fokuselektrode mit einem leitfähigen magnetischen Körper und einer gesputterten Metallbeschichtung auf einer Oberfläche des Magnetkörpers aufweist. Die Leitfähigkeit ist erforderlich, damit die Fokuselektrode ihre Aufgabe erfüllt. Die Beschichtung wird gesputtert und stellt somit eine dünne Beschichtung dar, die nicht wesentlich zu der mechanischen Struktur des Magnets beiträgt. Jedem der Löcher in dem Magnet ist eine Anzahl von Elektronenstrahlen zugeordnet, die durch selbige hindurchtreten.Published Japanese Patent Application No. JP 60093742 discloses a display having a focus electrode with a conductive magnetic body and a sputtered metal coating on a surface of the magnetic body. The conductivity is required for the focus electrode to perform its function. The coating is sputtered and thus is a thin coating that does not contribute significantly to the mechanical structure of the magnet. Each of the holes in the magnet is associated with a number of electron beams that pass through it.

Die OK-Patentanmeldung 2315266 offenbart ein magnetphotosensitives Glaskomposit und ein Verfahren für selbiges.OK Patent Application 2315266 discloses a magnetophotosensitive glass composite and a method for the same.

Der Stand der Technik offenbart oder lehrt jedoch nicht den Metall/Ferrit-Laminatmagnet und Verfahren für denselben der vorliegenden Erfindung.However, the prior art does not disclose or teach the metal/ferrite laminate magnet and methods for the same of the present invention.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Demgemäß schafft die Erfindung einen Metall/Ferrit- Laminatmagnet mit: einer ersten Ferritschicht, die eine erste Oberfläche und eine zweite Oberfläche aufweist; einer ersten Metallplatte, die eine erste Oberfläche und eine zweite Oberfläche aufweist, wobei die erste Oberfläche an der ersten Ferritschicht über im Wesentlichen der gesamten ersten Oberfläche der ersten Ferritschicht angebracht ist, wobei die erste Metallplatte und die erste Ferritschicht jeweils eine Mehrzahl von darin ausgebildeten Aperturen aufweisen, die sich von den ersten Oberflächen zu den zweiten Oberflächen erstrecken, und wobei die Aperturen der ersten Ferritschicht und der ersten Metallplatte im Wesentlichen ausgerichtet sind; einer zweiten Ferritschicht, die eine erste Oberfläche und eine zweite Oberfläche aufweist; einer zweiten Metallplatte, die eine erste Oberfläche und eine zweite Oberfläche aufweist, wobei die erste Oberfläche an der zweiten Ferritschicht über im Wesentlichen der gesamten ersten Oberfläche der zweiten Ferritschicht angebracht ist, wobei die zweite Metallplatte und die zweite Ferritschicht jeweils eine Mehrzahl von darin ausgebildeten Aperturen aufweisen, die sich von den ersten Oberflächen zu den zweiten Oberflächen erstrecken, wobei die Aperturen der zweiten Ferritschicht und der zweiten Metallplatte im Wesentlichen ausgerichtet sind; und wobei die erste Metallplatte und die erste Ferritschicht mit der an der zweiten Ferritschicht angebrachten zweiten Metallplatte derart verbunden sind, dass die zweiten Oberflächen der ersten und der zweiten Ferritschicht aneinanderliegen, und derart, dass die Aperturen in der ersten und der zweiten Ferritschicht im Wesentlichen ausgerichtet sind.Accordingly, the invention provides a metal/ferrite laminate magnet comprising: a first ferrite layer having a first surface and a second surface; a first metal plate having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the first ferrite layer over substantially the entire first surface of the first ferrite layer, the first metal plate and the first ferrite layer each having a plurality of apertures formed therein extending from the first surfaces to the second surfaces extend, and wherein the apertures of the first ferrite layer and the first metal plate are substantially aligned; a second ferrite layer having a first surface and a second surface; a second metal plate having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the second ferrite layer over substantially the entire first surface of the second ferrite layer, the second metal plate and the second ferrite layer each having a plurality of apertures formed therein extending from the first surfaces to the second surfaces, the apertures of the second ferrite layer and the second metal plate being substantially aligned; and wherein the first metal plate and the first ferrite layer are bonded to the second metal plate attached to the second ferrite layer such that the second surfaces of the first and second ferrite layers abut one another and such that the apertures in the first and second ferrite layers are substantially aligned.

In einer bevorzugten Ausführungsform, bei der Ablenkanoden auf einer der Außenseiten des Magnets vorgesehen sind, beinhaltet der Metall/Ferrit-Laminatmagnet des Weiteren eine erste isolierende Schicht mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche über im Wesentlichen der gesamten zweiten Oberfläche der ersten Metallplatte an der zweiten Metallplatte angebracht ist; eine erste leitfähige Schicht, die einen Satz von Ablenkanoden bildet, mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die zweite Oberfläche über im Wesentlichen der gesamten zweiten Oberfläche der ersten isolierenden Schicht an der ersten isolierenden Schicht angebracht ist; und wobei die erste isolierende Schicht und die erste leitfähige Schicht jeweils eine Mehrzahl jeweiliger darin ausgebildeter Aperturen aufweisen, wobei jede Apertur einer jeweiligen Apertur in der ersten Metallplatte entspricht und zu dieser ausgerichtet ist.In a preferred embodiment, wherein deflection anodes are provided on one of the outer surfaces of the magnet, the metal/ferrite laminate magnet further includes a first insulating layer having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the second metal plate over substantially the entire second surface of the first metal plate; a first conductive layer forming a set of deflection anodes having a first surface and a second surface, the second surface being attached to the first insulating layer over substantially the entire second surface of the first insulating layer; and wherein the first insulating layer and the first conductive layer each have a plurality of respective apertures formed therein, each aperture corresponding to and aligned with a respective aperture in the first metal plate.

In noch einer weiteren bevorzugten Ausführungsform, in der zwei Sätze von Steuergittern auf der Außenseite des Magnets gegenüberliegend zu den Ablenkanoden vorgesehen sind, beinhaltet der Metall/Ferrit-Laminatmagnet des Weiteren: eine zweite isolierende Schicht mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche im Wesentlichen über der gesamten zweiten Oberfläche der zweiten Metallplatte an der zweiten Metallplatte angebracht ist; eine zweite leitfähige Schicht, die einen Satz von Steuerelektroden bildet, mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche über im Wesentlichen der gesamten zweiten Oberfläche der zweiten isolierenden Schicht an der zweiten isolierenden Schicht angebracht ist; eine dritte isolierende Schicht mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche über im Wesentlichen der gesamten zweiten Oberfläche der zweiten leitfähigen Schicht an der zweiten leitfähigen Schicht angebracht ist; eine dritte leitfähige Schicht, die einen Satz von Steuerelektroden bildet, mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche über im Wesentlichen der gesamten ersten Oberfläche der dritten isolierenden Schicht an der dritten isolierenden Schicht angebracht ist; und wobei die zweite isolierende Schicht, die zweite leitfähige Schicht, die dritte isolierende Schicht und die dritte leitfähige Schicht jeweils eine Mehrzahl jeweiliger darin ausgebildeter Aperturen aufweisen, wobei jede Apertur einer jeweiligen Apertur in der zweiten Metallplatte entspricht und zu dieser ausgerichtet ist.In yet another preferred embodiment in which two sets of control grids are provided on the outside of the magnet opposite the deflection anodes, the metal/ferrite laminate magnet further includes: a second insulating layer having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the second metal plate over substantially the entire second surface of the second metal plate; a second conductive layer forming a set of control electrodes, having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the second insulating layer over substantially the entire second surface of the second insulating layer; a third insulating layer having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the second conductive layer over substantially the entire second surface of the second conductive layer; a third conductive layer forming a set of control electrodes, having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the third insulating layer over substantially the entire first surface of the third insulating layer; and wherein the second insulating layer, the second conductive layer, the third insulating layer and the third conductive layer each have a plurality of respective apertures formed therein, each aperture corresponds to and is aligned with a respective aperture in the second metal plate.

Um im Wesentlichen lineare Felder hoher Intensität in den Aperturen zwecks Kollimierung der Elektronen bereitzustellen, die durch die Apertur hindurchtreten, sind die erste und die zweite Ferritschicht in der Richtung der Aperturen derart magnetisiert, dass die ersten Oberflächen der ersten und der zweiten Ferritschicht die gegenüberliegenden Pole des Magnets bilden.In order to provide substantially linear high intensity fields in the apertures for collimating electrons passing through the aperture, the first and second ferrite layers are magnetized in the direction of the apertures such that the first surfaces of the first and second ferrite layers form the opposite poles of the magnet.

Die Mehrzahl der in den Metallschichten und den Ferritschichten ausgebildeten Aperturen ist vorzugsweise als regelmäßiges Feld angeordnet, um eine Kompatibilität mit existierenden Graphikadaptern zu erhalten.The majority of apertures formed in the metal layers and the ferrite layers are preferably arranged as a regular array to maintain compatibility with existing graphics adapters.

Des Weiteren entspricht der thermische Ausdehnungskoeffizient der Ferritschichten zur Reduzierung mechanischer Spannungen in dem Magnet im Wesentlichen jenem der Metallplatten.Furthermore, the thermal expansion coefficient of the ferrite layers for reducing mechanical stresses in the magnet is essentially the same as that of the metal plates.

In einer bevorzugten Ausführungsform des Magnets bestehen die Metallplatten aus Edelstahl, das magnetisch transparent ist und so das gewünschte Flussmuster von dem Magnet nicht stört. In einer alternativen Ausführungsform bestehen die Metallplatten aus Weicheisen mit hoher Permeabilität, was den Effekt hat, das Magnetfeld außerhalb des Magnetaufbaus kurzzuschließen, womit der Kollimationseffekt des Magnetfelds allein auf die Aperturen beschränkt wird. In einer weiteren alternativen Ausführungsform besteht die zweite Metallplatte aus Edelstahl und ist magnetisch transparent, und die erste Metallplatte besteht aus Weicheisen und schließt das Magnetfeld außerhalb des Magnetaufbaus kurz. Dies hat den Effekt, dass die Feldlinien innerhalb der Aperturen an dem Ende, das der ersten Metallplatte am nächsten liegt, zu einem Verlauf senkrecht zu der Oberfläche der Metallplatte gezwungen werden, anstatt sich zu den äußeren Kanten des Magnets hin zu krümmen.In a preferred embodiment of the magnet, the metal plates are made of stainless steel, which is magnetically transparent and thus does not disturb the desired flux pattern from the magnet. In an alternative embodiment, the metal plates are made of soft iron with high permeability, which has the effect of short-circuiting the magnetic field outside the magnet structure, thus limiting the collimating effect of the magnetic field to the apertures alone. In a further alternative embodiment, the second metal plate is made of stainless steel and is magnetically transparent, and the first metal plate is made of soft iron and short-circuits the magnetic field outside the magnet structure. This has the Effect that the field lines within the apertures at the end closest to the first metal plate are forced to run perpendicular to the surface of the metal plate, instead of curving toward the outer edges of the magnet.

In noch einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist die Ferritschicht einen elektrischen Volumenwiderstand zwischen 10&sup7; Ω/ und 10&sup9; Ω/ auf. Dieser hohe, jedoch endliche Wiederstand schafft einen Leckpfad für die Ladung, die durch Kollisionen von Elektronen und positiven Ionen mit den Aperturwänden verbleibt.In yet another preferred embodiment, the ferrite layer has a volume electrical resistance between 10⁷ Ω/ and 10⁹ Ω/. This high but finite resistance creates a leakage path for the charge remaining from collisions of electrons and positive ions with the aperture walls.

Die Erfindung stellt außerdem ein Verfahren zur Erzeugung eines Metall/Ferrit-Laminatmagnets bereit, das die Schritte umfasst:The invention also provides a method for producing a metal/ferrite laminate magnet comprising the steps of:

(a) Erzeugen wenigstens einer Öffnung in einer Metallschicht mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche,(a) creating at least one opening in a metal layer having a first surface and a second surface,

(b) Anbringen wenigstens einer Ferritschicht an der ersten Oberfläche der Metallschicht,(b) applying at least one ferrite layer to the first surface of the metal layer,

(c) Anbringen wenigstens einer dielektrischen Schicht an der zweiten Oberfläche der Metallschicht,(c) applying at least one dielectric layer to the second surface of the metal layer,

(d) Erzeugen einer Öffnung durch die Ferritschicht und die dielektrische Schicht hindurch derart, dass wenigstens ein Teil der Öffnung mit einem Teil der Öffnung in der Metallschicht überlappt, und dadurch Bilden des Metall/Ferrit-Laminatmagnets.(d) creating an opening through the ferrite layer and the dielectric layer such that at least a portion of the opening overlaps with a portion of the opening in the metal layer, thereby forming the metal/ferrite laminate magnet.

Kurzbeschreibung der ZeichnungenShort description of the drawings

Die Erfindung wird nun lediglich beispielhaft unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben, in denen:The invention will now be described by way of example only with reference to the accompanying drawings in which:

Fig. 1 einen Magnet gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt, der ein Paar von Metallschichten mit zwei Ferritschichten dazwischen auf weist;Fig. 1 shows a magnet according to a first embodiment of the present invention, comprising a pair of metal layers with two ferrite layers therebetween;

Fig. 2 einen Magnet gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt, der ein Paar von Metallschichten mit einer Ferritschicht dazwischen aufweist;Fig. 2 shows a magnet according to a second embodiment of the present invention, comprising a pair of metal layers with a ferrite layer therebetween;

Fig. 3 einen Magnet gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt, der darauf ausgebildete Ablenkanoden und Steuerelektroden aufweist;Fig. 3 shows a magnet according to a first embodiment of the present invention having deflection anodes and control electrodes formed thereon;

Fig. 4 einen Magnet gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt, der eine einzelne Metallschicht aufweist, die an einer Ferritschicht angebracht ist;Fig. 4 shows a magnet according to a third embodiment of the present invention having a single metal layer attached to a ferrite layer;

Fig. 5 einen Magnet gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt, bei dem die einzelne Metallschicht den ankommenden Elektronenstrahlen zugewandt ist; undFig. 5 shows a magnet according to a third embodiment of the present invention, in which the single metal layer faces the incoming electron beams; and

Fig. 6 bis 12 ein Verfahren zur Herstellung der bevorzugten Ausführungsform dieser Erfindung darstellt, speziell des Metall/Ferrit-Laminatmagnets.Figures 6 to 12 illustrate a method of manufacturing the preferred embodiment of this invention, specifically the metal/ferrite laminate magnet.

Detaillierte Beschreibung der bevorzugten AusführungsformenDetailed description of the preferred embodiments

Fig. 1 zeigt einen Magnet 100, der aus einem magnetischen Material 120, 115 besteht und mit zwei Metallplatten 105, 110 aufgebaut ist, zwischen die das magnetische Material 120, 115 geschichtet ist. In den Schichten 120, 115 aus magnetischem Material und in den Metallplatten 105, 110 sind Aperturen 125 ausgebildet. Die Metallplatten können aus magnetisch transparentem Material, wie Edelstahl, bestehen, oder sie können aus einem Metall mit einer hohen Permeabilität bestehen, wie Weicheisen.Fig. 1 shows a magnet 100 consisting of a magnetic material 120, 115 and with two metal plates 105, 110 between which the magnetic material 120, 115 is layered. Apertures 125 are formed in the layers 120, 115 of magnetic material and in the metal plates 105, 110. The metal plates can be made of magnetically transparent material, such as stainless steel, or they can be made of a metal with a high permeability, such as soft iron.

In jeder der Fig. 1 bis 5 sind die Schichten zur Verdeutlichung mit einem kleinen Abstand dazwischen gezeigt, die Schichten sind jedoch tatsächlich im Wesentlichen ohne Zwischenräume in Kontakt zueinander.In each of Figures 1 to 5, the layers are shown with a small gap between them for clarity, but the layers are actually in contact with each other with essentially no gaps.

Das Verfahren zur Bildung des bevorzugten Magneten besteht aus:The process for forming the preferred magnet consists of:

Schritt 1 - Zuschneiden der Metallplatte 105 auf die gewünschte Abmessung. Alternativ kann die Platte 105 durch einen Walzvorgang gebildet werden;Step 1 - Cut the metal plate 105 to the desired dimensions. Alternatively, the plate 105 can be formed by a rolling process;

Schritt 2 - Ätzen der Aperturen 125 in die Metallplatte;Step 2 - Etching the apertures 125 into the metal plate;

Schritt 3 - Anbringen des magnetischen Materials 115 (das in Form einer Ferrit-Rohschicht vorliegt) an einer Seite der geätzten Metallplatte 105;Step 3 - Applying the magnetic material 115 (which is in the form of a ferrite green sheet) to one side of the etched metal plate 105;

Schritt 4 - Stanzen von Aperturen 125 in das magnetische Material 115 unter Verwendung der geätzten Löcher in der Metallplatte 105 als Führungen;Step 4 - punching apertures 125 in the magnetic material 115 using the etched holes in the metal plate 105 as guides;

Schritt 5 - Wiederholen der Schritte 1 bis 4 für eine zweite Metallplatte 110 und eine Ferrit-Rohschicht 120;Step 5 - Repeat steps 1 through 4 for a second metal plate 110 and a ferrite green sheet 120;

Schritt 6 - Justieren des in Schritt 4 erzeugten Aufbaus bezüglich jenem, der in Schritt S erzeugt wurde;Step 6 - adjusting the structure produced in step 4 with respect to that produced in step 5;

Schritt 7 - Sintern des Sandwichs 100 einschließlich des magnetischen Materials 115, 120 unter Verwendung eines herkömmlichen Sinterverfahrens; undStep 7 - sintering the sandwich 100 including the magnetic material 115, 120 using a conventional sintering process; and

Schritt 8 - Justieren des Magnetfelds senkrecht zu der Oberfläche des Magneten 100, um den Magnetaufbau zu magnetisieren.Step 8 - Adjust the magnetic field perpendicular to the surface of the magnet 100 to magnetize the magnet assembly.

Die vorstehende Struktur liefert einen Stahl/Ferrit- Laminatmagnet mit den gewünschten mechanischen Eigenschaften. Für jede Hälfte der Struktur liegt die Aperturlänge typischerweise im Bereich 2,0 · bis 4,0 · dem Durchmesser, wobei die Dicke des Stahlsubstrats in der Größenordnung von 50 um liegt. Für einen Magnet mit Aperturen mit einem Durchmesser von 100 um beträgt die Aperturlänge ungefähr 400 um, was eine Magnetdicke von 500 um ergibt, und für Aperturen mit einem Durchmesser von 200 um kann sich die Aperturlänge auf 1,2 mm erhöhen, was eine Magnetdicke von 1,3 mm ergibt. Man beachte, dass diese Angaben das maximale Apertur-Aspektverhältnis repräsentieren und dass dies für eine zufriedenstellende Strahlkollimation nicht notwendigerweise erforderlich ist.The above structure provides a steel/ferrite laminate magnet with the desired mechanical properties. For each half of the structure, the aperture length is typically in the range 2.0 to 4.0 diameter, with the thickness of the steel substrate being on the order of 50 µm. For a magnet with 100 µm diameter apertures, the aperture length is approximately 400 µm, giving a magnet thickness of 500 µm, and for 200 µm diameter apertures, the aperture length can increase to 1.2 mm, giving a magnet thickness of 1.3 mm. Note that these figures represent the maximum aperture aspect ratio and that this is not necessarily required for satisfactory beam collimation.

Die auf den Außenseiten des Magnets verwendeten Edelstahlplatten sind magnetisch "transparent", um das gewünschte Flussmuster von dem Magnet nicht zu stören. Die Platten dienen außerdem dazu, die Ebenheit des Magnets unter mechanischen Belastungen aufrechtzuerhalten, die durch den Aufbau, thermische Zyklen oder durch Betrieb einer heißen Kathode verursacht werden, wobei Temperaturvariationen durch das thermisch leitfähige Metall neutralisiert werden können.The stainless steel plates used on the outside of the magnet are magnetically "transparent" so as not to disturb the desired flux pattern from the magnet. The plates also serve to maintain the flatness of the magnet under mechanical stresses imposed by the Construction, thermal cycling or operation of a hot cathode, whereby temperature variations can be neutralized by the thermally conductive metal.

Es ist möglich, Metallplatten hoher Permeabilität zu verwenden, z. B. Weicheisen. Diese haben den Effekt, das Magnetfeld außerhalb des Magnetaufbaus "kurzzuschließen", wodurch der Kollimationseffekt des Magnetfelds allein auf die Aperturen beschränkt wird. Außerhalb der Aperturen wird der Elektronenstrahl dann nur durch elektrostatische Felder beeinflusst, die mit dem normalen Anzeigebetrieb verknüpft sind. Der Elektronenstrahl wird weiterhin durch Magnetfelder beeinflusst, die außerhalb der Anzeige erzeugt werden. Die permeable Metallplatte korrigiert hohe externe Felder nicht, liefert jedoch eine gewisse Korrektur.It is possible to use metal plates of high permeability, such as soft iron. These have the effect of "short-circuiting" the magnetic field outside the magnet assembly, thus limiting the collimating effect of the magnetic field to the apertures alone. Outside the apertures, the electron beam is then only affected by electrostatic fields associated with normal display operation. The electron beam is still affected by magnetic fields generated outside the display. The permeable metal plate does not correct for high external fields, but does provide some correction.

Der Magnet ist mit Elektronenstrahlen zu verwenden, welche die Aperturen durchlaufen. Trotz des Kollimationseffekts des Magnetfelds gibt es zwangsläufig gewisse Kollisionen von Streuelektronen und positiv geladenen Ionen mit den Aperturwänden. Wenn das magnetische Material ein perfekter Isolator wäre, würden die Elektronenkollisionen zur Deposition einer negativen Ladung auf den Aperturwänden führen, und Kollisionen mit positiven Ionen würden zur Deposition einer positiven Ladung auf den Aperturwänden führen. Dies würde wiederum zu einer Reduktion des Potentials an den Wänden führen, wodurch das elektrostatische Feldmuster und folglich der Elektronenstrahl gestört würde. Im äußersten Fall würde, wenn ausreichend Ladung aufgebracht würde, das Potential so stark abfallen, dass jegliche weitere Elektronen daran gehindert würden, in die Apertur zu gelangen, und die Anzeige würde aufhören zu funktionieren, bis diese Ladung entfernt wäre.The magnet is to be used with electron beams passing through the apertures. Despite the collimating effect of the magnetic field, there are inevitably some collisions of stray electrons and positively charged ions with the aperture walls. If the magnetic material were a perfect insulator, the electron collisions would result in the deposition of a negative charge on the aperture walls, and collisions with positive ions would result in the deposition of a positive charge on the aperture walls. This in turn would result in a reduction of the potential at the walls, thereby disturbing the electrostatic field pattern and consequently the electron beam. In the extreme case, if sufficient charge were applied, the potential would drop so much that any further electrons would be prevented from entering the aperture and the display would stop functioning until this charge was removed.

Um dieses Problem zu umgehen, weist das magnetische Material ein Additiv auf, das einen hohen, jedoch endlichen Widerstand bereitstellt, typischerweise im Bereich von 10&sup7; Ω/ bis 10&sup9; Ω/ . Somit gibt es einen Leckpfad für die Ladung, die durch irgendwelche Kollisionen von Elektronen oder irgendwelche Kollisionen von positiven Ionen mit den Aperturwänden zurückgelassen wird. Der Widerstand ist jedoch ausreichend hoch, um den korrekten Potentialgradienten über die Apertur hinweg ohne Dissipation übermäßiger Leistung zu ermöglichen, was zu möglichen thermischen Problemen innerhalb des Magnets selbst führen würde.To circumvent this problem, the magnetic material has an additive that provides a high but finite resistance, typically in the range of 107 Ω/ to 109 Ω/ . Thus, there is a leakage path for the charge left behind by any collisions of electrons or any collisions of positive ions with the aperture walls. However, the resistance is sufficiently high to allow the correct potential gradient across the aperture without dissipating excessive power, which would lead to possible thermal problems within the magnet itself.

Andere keramische Materialien (insbesondere Glas) werden zu dem Basisferrit hinzugefügt, um als Bindemittel zu wirken und den thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Ferrit/Glas- Laminats für eine enge Anpassung an die Metallplatte(n) zu modifizieren. In ähnlicher Weise sollten dielektrische und Elektrodenmaterialien thermische Ausdehnungskoeffizienten aufweisen, die nahe jenem der Metallplatten liegen oder mit jenem übereinstimmen. Für das Ferrit/Glas-Komposit verringert eine Erhöhung des Prozentsatzes an Glas pro Volumen die endgültige erzielbare Magnetfeldstärke. Eine Berechnung legt nahe, dass bis zu einem Drittel des Ferrits ersetzt werden kann, bevor die Kollimationswirkung des Feldes so weit degradiert ist, dass dies ein Problem beim Betrieb der Anzeige verursacht. Dies entspricht einer Magnetfeldstärke von etwa 2 000 Gauß. Bei der herkömmlichen Verwendung ist dieser Prozentsatz von Bindemitteln etc. nicht erforderlich. Eine Erhöhung der erforderlichen Magnetfeldstärke kann bei Bedarf mit alternativen Materialien erreicht werden, wie eine der seltenen Erden. Ein geeignetes Material der seltenen Erden ist Samarium-Kobalt.Other ceramic materials (particularly glass) are added to the base ferrite to act as binders and modify the thermal expansion coefficient of the ferrite/glass laminate for close conformance to the metal plate(s). Similarly, dielectric and electrode materials should have thermal expansion coefficients close to or matching those of the metal plates. For the ferrite/glass composite, increasing the percentage of glass per volume reduces the final achievable magnetic field strength. Calculations suggest that up to one third of the ferrite can be replaced before the collimating effect of the field is degraded to the point where it causes a problem in the operation of the display. This corresponds to a magnetic field strength of about 2,000 gauss. In conventional use, this percentage of binders etc. is not required. Increasing the required magnetic field strength can be achieved if necessary with alternative materials, such as one of the rare earths. A suitable rare earth material is samarium cobalt.

Ein weiterer Vorteil der Laminatstruktur besteht darin, dass die Stahlplatten auf der Außenseite des Magnets elektrisch hoch leitfähig sind. Sie bilden somit Äquipotentialflächen auf jeder Seite der Magnetaperturen. Dadurch ist ein äußerst gleichmäßiges Feld über die Anzeige hinweg zu erwarten. Abgesehen von der Gleichmäßigkeit des Feldes "schirmen" die geätzten Löcher in der Stahlplatte außerdem die Magnetaperturwände vor der Kollision von Streuelektronen ab.Another advantage of the laminate structure is that the steel plates on the outside of the magnet are highly electrically conductive. They thus form equipotential surfaces on each side of the magnetic apertures. This means that a very uniform field can be expected across the display. Apart from the uniformity of the field, the etched holes in the steel plate also "shield" the magnetic aperture walls from the collision of stray electrons.

Computersimulationen zeigen, dass der wahrscheinlichste Ort für das Auftreten einer Kollision am Eingang der Apertur liegt, bevor der vollständige Kollimationseffekt des Magnetfelds seinen Einfluss ausgeübt hat. In diesem Bereich durchlaufen die Elektronen die Stahlschicht und somit sind, da sie ein Leiter ist, Kollisionen kein Problem, die sich als vernachlässigbar kleiner, in der Bodenplatte fließender Strom erweisen.Computer simulations show that the most likely place for a collision to occur is at the entrance of the aperture, before the full collimating effect of the magnetic field has taken effect. In this region, the electrons pass through the steel layer and, as it is a conductor, collisions are not a problem, proving to be a negligible current flowing in the base plate.

Fig. 2 zeigt eine zweite Ausführungsform 200 der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführungsform wird eine einzelne Ferritschicht 120 zusammen mit einer oberen Metallplatte 110 und einer unteren Metallplatte 105 verwendet. In diesem Zusammenhang bedeutet untere diejenige Oberfläche des Magnets, die der Kathode oder Elektronenquelle zugewandt ist, und obere bedeutet diejenige Oberfläche des Magnets, die dem Phosphorbildschirm zugewandt ist. Diese Ausführungsform ermöglicht keine Bildung von Aperturen mit derartig hohem Aspektverhältnis, aber sie ermöglicht einen kostengünstigeren und einfacheren Aufbau. Die Vorteile der Aufrechterhaltung der Positionsgenauigkeit der Aperturen während der Herstellung werden weiterhin erzielt.Fig. 2 shows a second embodiment 200 of the present invention. In this embodiment, a single ferrite layer 120 is used together with an upper metal plate 110 and a lower metal plate 105. In this context, lower means the surface of the magnet facing the cathode or electron source, and upper means the surface of the magnet facing the phosphor screen. This embodiment does not allow the formation of apertures with such high aspect ratio, but it allows for a more cost-effective and simpler construction. The benefits of maintaining the positional accuracy of the apertures during manufacturing are still achieved.

Eines der unterscheidenden Merkmale einer Anzeige mit magnetischer Matrix ist die mechanische Einfachheit des Anzeigenaufbaus. Ein Hauptbeitrag zu dieser Einfachheit besteht in der Verwendung des Magnets als Träger für die Gitterelektroden, die zum Betreiben der Anzeige verwendet werden.One of the distinguishing features of a magnetic matrix display is the mechanical simplicity of the display structure. A major contributor to this simplicity is the use of the magnet as a support for the grid electrodes used to drive the display.

Fig. 3 zeigt einen Laminatmagnet gemäß der vorliegenden Erfindung. Die Magnetstruktur 100 entspricht jener von Fig. 1. Da die Außenseiten der Magnetaufbaus aus hoch leitfähigen Stahlplatten bestehen, ist außerdem eine dünne isolierende Schicht 310, die typischerweise 50 um dick ist, zwischen der. Stahlplatte 110 und der Ablenkelektrode 305 vorhanden. Die Ablenkelektrode 305 ist eine Ablenkelektrode, wie sie in der UK-Patentanmeldung 2304981 beschrieben ist, auf die weiter oben in dieser Beschreibung Bezug genommen wurde.Fig. 3 shows a laminate magnet according to the present invention. The magnet structure 100 corresponds to that of Fig. 1. In addition, since the outer sides of the magnet assembly are made of highly conductive steel plates, a thin insulating layer 310, typically 50 µm thick, is present between the steel plate 110 and the deflection electrode 305. The deflection electrode 305 is a deflection electrode as described in UK patent application 2304981, referred to earlier in this specification.

In ähnlicher Weise befinden sich Steuerelektroden 320 und 330 auf einer Stahlplatte 105, die von der Stahlplatte 105 durch eine isolierende Schicht 315 und voneinander durch eine weitere isolierende Schicht 325 getrennt sind. Jede der isolierenden Schichten 315, 325 ist typischerweise 50 um dick.Similarly, control electrodes 320 and 330 are located on a steel plate 105, separated from the steel plate 105 by an insulating layer 315 and from each other by another insulating layer 325. Each of the insulating layers 315, 325 is typically 50 µm thick.

Fig. 4 zeigt eine dritte Ausführungsform 400 der vorliegenden Erfindung. In dieser Ausführungsform wird lediglich eine einzige Metallplatte 110 verwendet, was die Gesamtfestigkeit im Vergleich zu der in den Fig. 1 beziehungsweise 2 beschriebenen ersten und zweiten Ausführungsform verringert, die Kosten und die Komplexität der Fertigung werden jedoch reduziert. Die Kathode oder Elektronenquelle befindet sich unterhalb des Magnets, und die Elektronen treten in der durch Pfeile 405 gezeigten Richtung in die Aperturen 125 ein.Fig. 4 shows a third embodiment 400 of the present invention. In this embodiment, only a single metal plate 110 is used, which increases the overall strength compared to the first and second embodiments described in Figs. 1 and 2, respectively, but the cost and complexity of manufacturing are reduced. The cathode or electron source is located below the magnet and the electrons enter the apertures 125 in the direction shown by arrows 405.

Fig. 5 zeigt eine Variation 500 der in Fig. 4 gezeigten dritten Ausführungsform, bei der sich die einzelne Metallplatte 105 auf der anderen Seite des Ferrits befindet, das heißt die Platte befindet sich auf der Seite, die der Kathode oder Elektronenquelle zugewandt ist. Die Elektronen treten in der durch Pfeile 505 gezeigten Richtung in die Aperturen 125 ein.Fig. 5 shows a variation 500 of the third embodiment shown in Fig. 4, in which the single metal plate 105 is on the other side of the ferrite, i.e. the plate is on the side facing the cathode or electron source. The electrons enter the apertures 125 in the direction shown by arrows 505.

Die Fig. 6 bis 12 veranschaulichen ein Verfahren zur Herstellung des Metall/Ferrit-Laminatmagnets 100 dieser Erfindung. Fig. 6 zeigt eine gewalzte Metallschicht 605, die vorzugsweise in der Lage ist, oxidierenden Atmosphären von bis zu etwa 1 000ºC standzuhalten. Auf dieser Metallschicht 605 wird ein Photoresist 606 angebracht, das belichtet und entwickelt wird, um eine Struktur von Löchern 607 in dem Resist 606 zu erzeugen. Die Metallschicht 605 und das entwickelte Photoresist 606 werden dann in einem Ätzmittel platziert, welches das Metall lediglich in dem Gebiet angreift, das nicht durch das Resist 606 geschützt ist. Dies erzeugt das gewünschte Feld von Löchern 125 in der Metallschicht 605, was die perforierte Metallschicht 705 erzeugt, wie aus Fig. 7 klar ersichtlich.Figures 6 through 12 illustrate a method of manufacturing the metal/ferrite laminate magnet 100 of this invention. Figure 6 shows a rolled metal layer 605, preferably capable of withstanding oxidizing atmospheres of up to about 1000°C. On this metal layer 605 is applied a photoresist 606 which is exposed and developed to create a pattern of holes 607 in the resist 606. The metal layer 605 and the developed photoresist 606 are then placed in an etchant which attacks the metal only in the area not protected by the resist 606. This creates the desired array of holes 125 in the metal layer 605, which creates the perforated metal layer 705, as clearly seen in Figure 7.

Das Photoresist 606 wird dann von der Metallschicht 705 abgelöst. Die geätzte Metallschicht 705 kann nun geprüft werden, um sicherzustellen, dass alle Löcher 125 vorhanden sind und dass die Abmessungs- und Positionstoleranzen der Löcher erfüllt sind.The photoresist 606 is then removed from the metal layer 705. The etched metal layer 705 can now be tested to ensure that all holes 125 are present and that the dimensional and position tolerances of the holes are met.

Für einige Anwendungen kann es sein, dass die Metallschicht 705 so zu präparieren ist, dass die Haftung zwischen ihr und der nachfolgenden Ferritschicht und/oder dielektrischen Schicht verbessert wird. Dies kann durch die Deposition oder Bildung von ausgewählten, die Haftung steigernden Metallen oder Oxiden auf einer oder beiden Oberflächen der Metallschicht 705 erreicht werden. Man kann jedoch auch ein geeignetes Klebemittel verwenden, um die Ferritschicht und/oder dielektrische Schicht an der Metallschicht 705 zu befestigen.For some applications, the metal layer 705 may need to be prepared to improve the adhesion between it and the subsequent ferrite layer and/or dielectric layer. This may be accomplished by the deposition or formation of selected adhesion-enhancing metals or oxides on one or both surfaces of the metal layer 705. However, a suitable adhesive may also be used to attach the ferrite layer and/or dielectric layer to the metal layer 705.

Eine Ferritschicht 815 wird erzeugt, indem Ferritmaterial mit einem Glaspulver, organischen Bindemitteln, Lösungsmitteln und Trägerstoffen kombiniert wird, um eine Emulsion zu erzeugen, die in dünne Ferritschichten gegossen werden kann. Die zur Erzeugung dieser dünnen Ferritschichten 815 verwendete Technologie ist ähnlich jener, die zur Herstellung herkömmlicher keramischer Mehrschicht-Rohschichten verwendet wird. Nach dem Trocknen werden die gegossenen Schichten auf die richtige Größe geschnitten, um eine Ferritschicht 815 zu bilden, die für den weiteren Prozessablauf zu verwenden ist.A ferrite layer 815 is created by combining ferrite material with a glass powder, organic binders, solvents and carriers to create an emulsion that can be cast into thin ferrite layers. The technology used to create these thin ferrite layers 815 is similar to that used to create conventional multilayer ceramic green sheets. After drying, the cast layers are cut to the correct size to form a ferrite layer 815 to be used in the further processing.

In ähnlicher Weise wird eine dielektrische Schicht 813 gebildet, indem dielektrisches Material oder dielektrische Materialien zu einer Emulsion verarbeitet und gegossen werden, um dünne dielektrische Rohschichten 813 zu bilden. Nach dem Trocknen werden diese gegossenen Schichten ebenfalls auf die richtige Größe geschnitten, um dünne dielektrische Rohschichten 813 zu bilden, die für den weiteren Prozessablauf zu verwenden sind. Die dielektrische Schicht 813 kann durch alternative Techniken erzeugt werden, wie zum Beispiel Oxidation der Oberfläche der Metallschicht 705.Similarly, a dielectric layer 813 is formed by processing dielectric material or materials into an emulsion and casting to form thin dielectric green layers 813. After drying, these cast layers are also cut to the correct size to form thin dielectric to form green layers 813 to be used for the further process flow. The dielectric layer 813 can be created by alternative techniques, such as oxidation of the surface of the metal layer 705.

Wie in Fig. 8 gezeigt, wird eine Laminatstruktur durch Kombinieren der geätzten Metallschicht 705 mit der dünnen dielektrischen Rohschicht 813 auf einer Seife und der dünnen Ferrit-Rohschicht 815 auf der anderen Seite erzeugt, um eine primäre "Roh"-Laminatstruktur 809 zu bilden. Es ist bevorzugt, dass die Laminatstruktur 809 derart fixiert ist, dass es keine Bewegung zwischen den verschiedenen Schichten gibt. Diese Fixierung kann durch die gleichzeitige Anwendung von Wärme und/oder Druck auf alle drei Komponenten oder Schichten der Laminatstruktur 809 oder durch klebendes Binden der Schichten an die Metallschicht 705 bewerkstelligt werden.As shown in Figure 8, a laminate structure is created by combining the etched metal layer 705 with the thin dielectric green layer 813 on one side and the thin ferrite green layer 815 on the other side to form a primary "green" laminate structure 809. It is preferred that the laminate structure 809 be fixed such that there is no movement between the various layers. This fixation can be accomplished by the simultaneous application of heat and/or pressure to all three components or layers of the laminate structure 809 or by adhesively bonding the layers to the metal layer 705.

Nach der Erzeugung der primären "Roh"-Laminatstruktur 809 werden unter Verwendung der schon existierenden geätzten Löcher 125 in der Metallschicht 705 als Führung Löcher in der Ferrit-Rohschicht 815 und der dielektrischen Rohschicht 813 erzeugt. Die in den Rohschichtkomponenten der Laminatstruktur 809 gebildeten Löcher können durch unzählige mechanische, Laser- oder Elektronenstrahltechniken erzeugt werden, die dem Fachmann bekannt sind. Dies ist in Fig. 9 gezeigt, wo eine primäre "Roh"-Laminatstruktur 809 mit Löchern 125 perforiert wurde, die in der Ferrit-Rohschicht 815 und der dielektrischen Rohschicht 813 erzeugt worden waren, was eine gelochte Ferrit- Rohschicht 915 und eine gelochte dielektrische Rohschicht 913 erzeugt, die mit der Metallschicht 905 kombiniert werden, um ein perforiertes primäres Rohlaminat 919 zu bilden.After the primary "green" laminate structure 809 is created, holes are created in the ferrite green layer 815 and the dielectric green layer 813 using the pre-existing etched holes 125 in the metal layer 705 as a guide. The holes formed in the green layer components of the laminate structure 809 can be created by a myriad of mechanical, laser, or electron beam techniques known to those skilled in the art. This is shown in Figure 9, where a primary "green" laminate structure 809 has been perforated with holes 125 created in the ferrite green layer 815 and the dielectric green layer 813, creating a perforated ferrite green layer 915 and a perforated dielectric green layer 913 that are combined with the metal layer 905 to form a perforated primary green laminate 919.

Eine Mehrzahl von perforierten ersten "Roh"-Laminatstrukturen 919 können zu einer sekundären "Roh"-Laminatstruktur 1029 kombiniert werden. Dies wird durch die erneute Anwendung von Wärme und/oder Druck auf die Komponenten oder durch die Verwendung eines organischen Klebemittels erreicht. In diesem Schritt muss darauf geachtet werden, die Justierung der Löcher 125 in den verschiedenen Unterstrukturen sicherzustellen.A plurality of perforated first "raw" laminate structures 919 may be combined into a secondary "raw" laminate structure 1029. This is accomplished by re-applying heat and/or pressure to the components or by using an organic adhesive. Care must be taken in this step to ensure alignment of the holes 125 in the various substructures.

Die sekundäre "Roh"-Laminatstruktur 1029 wird in einer Weise thermisch bearbeitet, dass die organischen Bestandteile, die möglicherweise in der Struktur 1029 vorhanden sind, ausgetrieben oder zersetzt werden. Dieser thermische Prozess lässt außerdem die Partikel zusammenwachsen, die zur Herstellung der Ferrit- und dielektrischen Schichten verwendet werden, er bindet die Ferritschicht 915 und die dielektrische Schicht 913 an die Metallschicht 905 und bindet die Ferritschichten 915 aneinander, wie aus Fig. 10 klarer ersichtlich. Man beachte, dass zwecks Klarheit Durchgangslöcher 125 in der Laminatstruktur 1029 von Fig. 10 nicht gezeigt wurden.The "green" secondary laminate structure 1029 is thermally processed in a manner to drive out or decompose the organic components that may be present in the structure 1029. This thermal process also coalesces the particles used to make the ferrite and dielectric layers, bonds the ferrite layer 915 and dielectric layer 913 to the metal layer 905, and bonds the ferrite layers 915 to one another, as more clearly seen in FIG. 10. Note that for clarity, through holes 125 have not been shown in the laminate structure 1029 of FIG. 10.

Die thermische Bearbeitung des sekundären "Roh"-Laminats 1029 wird vorzugsweise bei einer Temperatur durchgeführt, die niedriger als jene ist, die eine permanente Deformation der Metallschicht 905 verursacht. Die Glasphase, die zu dem Ferritpulver hinzugefügt wird, verbessert das Sintern der Struktur.The thermal processing of the secondary "green" laminate 1029 is preferably carried out at a temperature lower than that which causes permanent deformation of the metal layer 905. The glass phase added to the ferrite powder enhances the sintering of the structure.

Eine alternative Weise zur Herstellung der gesinterten Laminatstruktur 1029 ist in Fig. 11 dargestellt, bei der die Struktur 809, wie sie in Fig. 8 gezeigt ist, gestapelt wird, um eine Struktur 1159 zu erzeugen. Die gestapelte und laminierte Struktur 1159 ist der Laminatstruktur 1029 ähnlich, mit der Ausnahme, dass nur in der Metallschicht 905 Löcher 125 gebildet wurden und dass es in der Ferritschicht 915 oder der dielektrischen Schicht 913 keine Löcher 125 gibt. Diese Struktur 1159 wird dann partiell gesintert, um eine Struktur 1159 zu erzeugen, die im Wesentlichen frei von jeglichem organischem Material ist und außerdem partiell verdichtet ist. Diese partielle Verdichtung der Laminatstruktur 1159 sollte derart sein, dass ein mechanisches Mittel verwendet werden kann, um Löcher durch die dielektrische Schicht 913 und die Ferritschicht 915 hindurch zu erzeugen. Eine Weise zur Erzeugung der Löcher 125 besteht in der Verwendung eines Medienstrahls oder eines unter Druck gesetzten auftreffenden Mediums 1156. Es sollte darauf geachtet werden, dass die Laminatstruktur 1159 in keinerlei Weise beschädigt wird. Eine Weise, um jegliche Beschädigung an der Laminatstruktur 1159 zu vermeiden, besteht darin, ein Metall oder eine beschichtete, metallartige Platte 1151 mit Öffnungen 1155, die den Öffnungen 125 entsprechen, an der Seite der Laminatstruktur 1159 zu befestigen, die von dem auftreffenden Medium 1156 getroffen wird. Die metallartige Platte 1151 kann auch eine Polymer- oder Gummirückseite 1153 mit Öffnungen 1155 aufweisen. Partikel von dem Medienstrahl 1156, welche die Öffnungen 1155 durchlaufen, treffen die Partikel in der Nähe der Öffnungen 125, und dies führt zu der Entfernung von Partikeln 1157, wodurch Öffnungen 125 sowohl in der dielektrischen Schicht 913 als auch der Ferritschicht 915 erzeugt werden, was in einer Laminatstruktur 1029 resultiert, die Durchgangsöffnungen 125 aufweist. Die Laminatstruktur 1029 mit Durchgangsöffnungen 125 kann nun vollständig gesintert werden, wenn dies noch nicht durchgeführt wurde.An alternative way of making the sintered laminate structure 1029 is shown in Fig. 11, in which the structure 809 as shown in Fig. 8 is stacked to produce a structure 1159. The stacked and Laminated structure 1159 is similar to laminate structure 1029, except that holes 125 have been formed only in metal layer 905, and there are no holes 125 in ferrite layer 915 or dielectric layer 913. This structure 1159 is then partially sintered to produce a structure 1159 that is substantially free of any organic material and is also partially densified. This partial densification of laminate structure 1159 should be such that a mechanical means can be used to create holes through dielectric layer 913 and ferrite layer 915. One way to create holes 125 is to use a media jet or pressurized impinging media 1156. Care should be taken not to damage laminate structure 1159 in any way. One way to avoid any damage to the laminate structure 1159 is to attach a metal or coated metal-like plate 1151 with openings 1155 corresponding to the openings 125 to the side of the laminate structure 1159 that is struck by the impinging media 1156. The metal-like plate 1151 may also have a polymer or rubber backing 1153 with openings 1155. Particles from the media jet 1156 passing through the openings 1155 strike the particles near the openings 125 and this results in the removal of particles 1157, creating openings 125 in both the dielectric layer 913 and the ferrite layer 915, resulting in a laminate structure 1029 having through openings 125. The laminate structure 1029 with through holes 125 can now be fully sintered if this has not already been done.

Nach der Erzeugung der gesinterten Laminatstruktur 1159 werden die Ablenkelektrode 305 und die Steuerelektroden 320 und 330 an der Struktur angebracht oder gebildet, wie in Fig. 12 deutlich gezeigt.After the sintered laminate structure 1159 is formed, the deflection electrode 305 and the control electrodes 320 and 330 are attached or formed to the structure, as clearly shown in Fig. 12.

Diese elektrisch leitfähigen Metallstrukturen, wie die Metallstrukturen 320, 330 und 305, können durch eine beliebige einer Anzahl von Techniken angebracht werden, welche das Siebdrucken von Metallpasten, die Photo- oder mechanische Strukturierung von angebrachten Metallschichten oder die Anbringung eines vorstrukturierten Metallabziehbilds umfassen. In Abhängigkeit von den zur Anbringung der Metallstrukturen verwendeten Techniken kann eine nachfolgende Wärmebehandlung der Laminatstruktur erforderlich sein.These electrically conductive metal structures, such as metal structures 320, 330, and 305, may be applied by any of a number of techniques including screen printing metal pastes, photo- or mechanical patterning of applied metal layers, or application of a pre-patterned metal decal. Depending on the techniques used to apply the metal structures, subsequent heat treatment of the laminate structure may be required.

Um die Metallstrukturen 320 und 330 zu bilden, ist es bevorzugt, dass nach der Anbringung der anfänglichen Metallstruktur, zum Beispiel 320, an der Oberfläche der gesinterten Laminatstruktur 1159 ein zweiter Satz von Steuergitterelektroden 330 orthogonal zu dem ersten Satz 320 oder 330 angebracht werden kann, da es keinen Unterschied macht, ob die Gitterelektrode 320 zuerst gebildet wird oder die Gitterelektrode 330 zuerst gebildet wird. Vor der Anbringung des zweiten Satzes von Steuergitterelektroden kann jedoch eine dielektrische Schicht 315 auf dem ersten Satz von Elektroden, zum Beispiel der Elektrode 320, angebracht werden, um die eine Elektrode von der anderen Elektrode zu isolieren. Diese dielektrische Schicht 315 kann in Form einer klebend gebundenen Rohschicht angebracht werden, sie kann als eine Emulsion hergestellt werden, die auf die Oberfläche gesprüht wird, oder sie kann unter Verwendung von herkömmlichen Dünnfilmdepositionstechniken angebracht werden, die auf dem Fachgebiet allgemein bekannt sind.To form the metal structures 320 and 330, it is preferred that after the initial metal structure, e.g., 320, is attached to the surface of the sintered laminate structure 1159, a second set of control grid electrodes 330 may be attached orthogonally to the first set 320 or 330, as it makes no difference whether the grid electrode 320 is formed first or the grid electrode 330 is formed first. However, prior to attaching the second set of control grid electrodes, a dielectric layer 315 may be attached to the first set of electrodes, e.g., electrode 320, to isolate one electrode from the other electrode. This dielectric layer 315 may be attached in the form of an adhesively bonded green sheet, it may be prepared as an emulsion that is sprayed onto the surface, or it may be applied using conventional Thin film deposition techniques that are well known in the art.

In Abhängigkeit von der zur Anbringung der dielektrischen Schicht 315 verwendeten Technik ist es möglich, dass das gesinterte Laminat 1159 einer weiteren Wärmebehandlung zu unterziehen ist, um die Pulver der dielektrischen Schicht zusammenwachsen zu lassen. Bestimmend in diesem Schritt ist, dass die Löcher 1241, 1243 und 125, die das Pixelloch 1270 bilden, in der Struktur durch die Anbringung der dielektrischen Schicht 315 nicht verändert werden dürfen. Nach der Anbringung der dielektrischen Schicht 315 an der Oberfläche des gesinterten Laminats über dem ersten Satz von Steuergitterelektroden kann der zweite Satz von Steuergitterelektroden orthogonal zu dem ersten angebracht werden.Depending on the technique used to apply the dielectric layer 315, the sintered laminate 1159 may need to be subjected to further heat treatment to allow the dielectric layer powders to grow together. What is crucial in this step is that the holes 1241, 1243 and 125 that form the pixel hole 1270 must not be altered in structure by the application of the dielectric layer 315. After the dielectric layer 315 is applied to the surface of the sintered laminate over the first set of control grid electrodes, the second set of control grid electrodes may be applied orthogonally to the first.

Die Anbringung dieser Metallelemente setzt irgendeine der zuvor für die Anbringung einer Oberflächenmetallisierung beschriebenen Techniken ein.The application of these metal elements uses any of the techniques previously described for the application of surface metallization.

Es ist jedoch zu erwähnen, dass alle Metall- und dielektrischen Elemente in einer nicht gesinterten, vorstrukturierten Form an dem gesinterten Laminat angebracht werden können. Ein zweites Sintern bindet dann diese Elemente an die anfängliche Laminatstruktur.However, it is worth noting that all metal and dielectric elements can be attached to the sintered laminate in a non-sintered, pre-structured form. A second sintering then bonds these elements to the initial laminate structure.

Nach der Erzeugung des endgültigen gesinterten Laminats wird es einem elektrischen Test, einer physikalischen Prüfung und schließlich der Polarisierung der Ferritschichten 915 unterzogen, um das notwendige Magnetfeld zu erzeugen. Es sollte ersichtlich sein, dass eine Polarisierung der Ferritschichten 915 vor oder nach dem Einbau des Laminatmagnets in einem Bauelement stattfinden kann. Des Weiteren kann die Polarisierung der Ferritschichten 915 auch bei erhöhten Temperaturen stattfinden.After the final sintered laminate is produced, it is subjected to an electrical test, a physical test and finally the polarization of the ferrite layers 915 to generate the necessary magnetic field. It should be apparent that polarization of the Ferrite layers 915 can take place before or after the laminate magnet is installed in a component. Furthermore, the polarization of the ferrite layers 915 can also take place at elevated temperatures.

Ein Vorteil des Laminatmagnets der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass die Öffnungen 125 oder die Pixelmulden 1270 nicht perfekt justiert sein müssen, damit ein Elektronenstrahl die Pixelmulden 1270 durchläuft.An advantage of the laminate magnet of the present invention is that the apertures 125 or the pixel wells 1270 do not have to be perfectly aligned for an electron beam to pass through the pixel wells 1270.

Die Metallplatte(n) 905, die Teil des Laminatmagnets ist. (sind), stellt (stellen) zahlreiche Vorteile bereit. Zum Beispiel vermeidet die Metallplatte eine Aufladung und wirkt als Streuelektronensenke. Sie verleiht dem Laminatmagnet mechanische Festigkeit. Sie liefert eine Reduktion des Gradienten der thermischen Spannung. Die Metallplatte (n) stellt (stellen) Abmessungsstabilität bereit. Sie werden für die Lagegenauigkeit des Prozesses bei der Löcherbildung verwendet. Für einige Anwendungen kann (können) die Metallplatte(n) 905 auch als Maske für die Bildung von Phosphorelementen auf der Glasplatte verwendet werden.The metal plate(s) 905 that are part of the laminate magnet provide numerous advantages. For example, the metal plate avoids charging and acts as a stray electron sink. It provides mechanical strength to the laminate magnet. It provides a reduction in the thermal stress gradient. The metal plate(s) provide dimensional stability. They are used for the location accuracy of the hole formation process. For some applications, the metal plate(s) 905 can also be used as a mask for the formation of phosphor elements on the glass plate.

Claims (30)

1. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) mit:1. Metal/ferrite laminate magnet (100) with: einer ersten Ferritschicht (115) mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche;a first ferrite layer (115) having a first surface and a second surface; einer ersten Metallplatte (105) mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche an der ersten Ferritschicht über im Wesentlichen der gesamten ersten Oberfläche der ersten Ferritschicht angebracht ist;a first metal plate (105) having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the first ferrite layer over substantially the entire first surface of the first ferrite layer; wobei die erste Metallplatte und die erste Ferritschicht jeweils eine Mehrzahl von darin ausgebildeten Aperturen (125) aufweisen, die sich von den ersten Oberflächen zu den zweiten Oberflächen erstrecken, wobei die Aperturen der ersten Ferritschicht und der ersten Metallplatte im Wesentlichen ausgerichtet sind;wherein the first metal plate and the first ferrite layer each have a plurality of apertures (125) formed therein extending from the first surfaces to the second surfaces, the apertures of the first ferrite layer and the first metal plate being substantially aligned; einer zweiten Ferritschicht (120) mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche;a second ferrite layer (120) having a first surface and a second surface; einer zweiten Metallplatte (110) mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche an der zweiten Ferritschicht über im Wesentlichen der gesamten ersten Oberfläche der zweiten Ferritschicht angebracht ist;a second metal plate (110) having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the second ferrite layer over substantially the entire first surface of the second ferrite layer; wobei die zweite Metallplatte und die zweite Ferritschicht jeweils eine Mehrzahl von darin ausgebildeten Aperturen (125) aufweisen, die sich von den ersten Oberflächen zu den zweiten Oberflächen erstrecken, wobei die Aperturen der "zweiten Ferritschicht und der zweiten Metallplatte im Wesentlichen ausgerichtet sind; undwherein the second metal plate and the second ferrite layer each have a plurality of apertures formed therein (125) extending from the first surfaces to the second surfaces, wherein the apertures of the "second ferrite layer and the second metal plate are substantially aligned; and wobei die erste Metallplatte und die erste Ferritschicht mit der an der zweiten Ferritschicht angebrachten zweiten Metallplatte derart verbunden sind, dass die zweiten Oberflächen der ersten und der zweiten Ferritschicht aneinander liegen, und derart, dass die Aperturen in der ersten und der zweiten Ferritschicht im Wesentlichen ausgerichtet sind.wherein the first metal plate and the first ferrite layer are bonded to the second metal plate attached to the second ferrite layer such that the second surfaces of the first and second ferrite layers are in abutment with one another and such that the apertures in the first and second ferrite layers are substantially aligned. 2. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) gemäß Anspruch 1, der des Weiteren beinhaltet:2. Metal/ferrite laminate magnet (100) according to claim 1, further comprising: eine erste isolierende Schicht (310) mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche über im Wesentlichen der gesamten zweiten Oberfläche der ersten Metallplatte an der zweiten Metallplatte (110) angebracht ist;a first insulating layer (310) having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the second metal plate (110) over substantially the entire second surface of the first metal plate; eine erste leitfähige Schicht (305), die einen Satz von Ablenkungsanoden bildet, mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die zweite Oberfläche über im Wesentlichen der gesamten zweiten Oberfläche der ersten isolierenden Schicht an der ersten isolierenden Schicht angebracht ist; unda first conductive layer (305) forming a set of deflection anodes, having a first surface and a second surface, the second surface being attached to the first insulating layer over substantially the entire second surface of the first insulating layer; and wobei die erste isolierende Schicht und die erste leitfähige Schicht jeweils eine Mehrzahl darin ausgebildeter Aperturen (125) aufweisen, wobei jede Apertur einer jeweiligen Apertur in der ersten Metallplatte entspricht und zu dieser ausgerichtet ist.wherein the first insulating layer and the first conductive layer each have a plurality of apertures (125) formed therein, each Aperture corresponds to and is aligned with a respective aperture in the first metal plate. 3. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) gemäß Anspruch 2, der des Weiteren beinhaltet:3. A metal/ferrite laminate magnet (100) according to claim 2, further comprising: eine zweite isolierende Schicht (315) mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche über im Wesentlichen der gesamten zweiten Oberfläche der ersten Metallplatte an der ersten Metallplatte (105) angebracht ist;a second insulating layer (315) having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the first metal plate (105) over substantially the entire second surface of the first metal plate; eine zweite leitfähige Schicht (320), die einen Satz von Steuerelektroden bildet, mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche über im Wesentlichen der gesamten zweiten Oberfläche der zweiten isolierenden Schicht an der zweiten isolierenden Schicht angebracht ist;a second conductive layer (320) forming a set of control electrodes, having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the second insulating layer over substantially the entire second surface of the second insulating layer; eine dritte isolierende Schicht (325) mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche über im Wesentlichen der gesamten zweiten Oberfläche der zweiten leitfähigen Schicht an der zweiten leitfähigen Schicht angebracht ist;a third insulating layer (325) having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the second conductive layer over substantially the entire second surface of the second conductive layer; eine dritte leitfähige Schicht (330), die einen Satz von Steuerelektroden bildet, mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, wobei die erste Oberfläche über im Wesentlichen der gesamten ersten Oberfläche der dritten isolierenden Schicht an der dritten isolierenden Schicht angebracht ist; und wobeia third conductive layer (330) forming a set of control electrodes, having a first surface and a second surface, the first surface being attached to the third insulating layer over substantially the entire first surface of the third insulating layer; and wherein die zweite isolierende Schicht, die zweite leitfähige Schicht, die dritte isolierende Schicht und die dritte leitfähige Schicht jeweils eine Mehrzahl darin ausgebildeter Aperturen aufweisen, wobei jede Apertur (125) einer jeweiligen Apertur in der zweiten Metallplatte entspricht und zu dieser ausgerichtet ist.the second insulating layer, the second conductive layer, the third insulating layer and the third conductive layer each have a plurality of apertures formed therein, each aperture (125) corresponding to and aligned with a respective aperture in the second metal plate. 4. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei die erste (115) und die zweite (120) Ferritschicht in der Richtung der Aperturen (125) magnetisiert sind, so dass die ersten Oberflächen die Pole des Magnets bilden.4. A metal/ferrite laminate magnet (100) according to any preceding claim, wherein the first (115) and second (120) ferrite layers are magnetized in the direction of the apertures (125) so that the first surfaces form the poles of the magnet. 5. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei die Mehrzahl von in der ersten Metallplatte (105) und der ersten Ferritschicht (115) ausgebildeten Aperturen (125) als regelmäßiges Feld angeordnet sind.5. A metal/ferrite laminate magnet (100) according to any preceding claim, wherein the plurality of apertures (125) formed in the first metal plate (105) and the first ferrite layer (115) are arranged as a regular array. 6. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei das regelmäßige Feld ein quadratisches Feld ist.6. A metal/ferrite laminate magnet (100) according to any preceding claim, wherein the regular field is a square field. 7. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei das regelmäßige Feld ein rechteckiges Feld ist.7. A metal/ferrite laminate magnet (100) according to any preceding claim, wherein the regular array is a rectangular array. 8. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei der thermische Ausdehnungskoeffizient der ersten (115) und der zweiten (120) Ferritschicht im Wesentlichen jenem der ersten (105) und der zweiten (110) Metallplatte entspricht.8. A metal/ferrite laminate magnet (100) according to any preceding claim, wherein the thermal expansion coefficient of the first (115) and second (120) ferrite layers is substantially equal to that of the first (105) and second (110) metal plates. 9. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei die erste (105) und die zweite (110) Metallplatte aus Edelstahl bestehen.9. A metal/ferrite laminate magnet (100) according to any preceding claim, wherein the first (105) and second (110) metal plates are made of stainless steel. 10. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei die erste (105) und die zweite (110) Metallplatte aus Weicheisen bestehen.10. A metal/ferrite laminate magnet (100) according to any preceding claim, wherein the first (105) and second (110) metal plates are made of soft iron. 11. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei die erste Metallplatte (105) aus Weicheisen und die zweite Metallplatte (110) aus Edelstahl besteht.11. A metal/ferrite laminate magnet (100) according to any preceding claim, wherein the first metal plate (105) is made of soft iron and the second metal plate (110) is made of stainless steel. 12. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei der Durchmesser der Aperturen (125) ungefähr 100 um beträgt, die Dicke der ersten (105) und der zweiten (110) Metallplatte jeweils ungefähr 50 um beträgt und die Dicke der ersten (115) und der zweiten (120) Ferritschicht jeweils ungefähr 200 um beträgt.12. A metal/ferrite laminate magnet (100) according to any preceding claim, wherein the diameter of the apertures (125) is approximately 100 µm, the thickness of the first (105) and second (110) metal plates is each approximately 50 µm, and the thickness of the first (115) and second (120) ferrite layers is each approximately 200 µm. 13. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei der Durchmesser der Aperturen (125) ungefähr 200 um beträgt, die Dicke der ersten (105) und der zweiten (110) Metallplatte jeweils ungefähr 50 um beträgt und die Dicke der ersten (115) und der zweiten (120) Ferritschicht jeweils ungefähr 600 um beträgt.13. A metal/ferrite laminate magnet (100) according to any preceding claim, wherein the diameter of the apertures (125) is approximately 200 µm, the thickness of the first (105) and second (110) metal plates is each approximately 50 µm, and the thickness of the first (115) and second (120) ferrite layers is each approximately 600 µm. 14. Metall/Ferrit-Laminatmagnet (100) gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei die Ferritschicht einen elektrischen Volumenwiderstand zwischen 10&sup7; Ω/ und 10&sup9; Ω/ aufweist.14. A metal/ferrite laminate magnet (100) according to any preceding claim, wherein the ferrite layer has a volume electrical resistivity between 10⁷ Ω/ and 10⁹ Ω/ . 15. Verfahren zur Herstellung eines Metall/Ferrit- Laminatmagnets (100), das die Schritte umfasst:15. A method of manufacturing a metal/ferrite laminate magnet (100), comprising the steps of: (a) Bilden von wenigstens einer Apertur (125) in einer Metallplatte (105) mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche,(a) forming at least one aperture (125) in a metal plate (105) having a first surface and a second surface, (b) Anbringen wenigstens einer Ferritschicht (115) an der ersten Oberfläche der Metallplatte,(b) applying at least one ferrite layer (115) to the first surface of the metal plate, (c) Anbringen wenigstens einer dielektrischen Schicht (310) an der zweiten Oberfläche der Metallplatte,(c) applying at least one dielectric layer (310) to the second surface of the metal plate, (d) Erzeugen einer Öffnung durch die Ferritschicht und die dielektrische Schicht hindurch derart, dass wenigstens ein Bereich der Öffnung mit einem Bereich der Öffnung in der Metallplatte überlappt, und dadurch Bilden des Metall/Ferrit-Laminatmagnets.(d) creating an opening through the ferrite layer and the dielectric layer such that at least a portion of the opening overlaps with a portion of the opening in the metal plate, thereby forming the metal/ferrite laminate magnet. 16. Verfahren nach Anspruch 15, wobei die wenigstens eine Apertur (125) in der Metallplatte (105) durch die Anwendung von wenigstens einem Photoresist (606) auf der Metallplatte, Belichten und Entwickeln des Photoresists zur Bildung einer Struktur von Aperturen und nachfolgendes Ätzen der Metallplatte erzeugt wird, um die wenigstens eine Apertur in der Metallplatte zu bilden.16. The method of claim 15, wherein the at least one aperture (125) in the metal plate (105) is created by applying at least one photoresist (606) to the metal plate, exposing and developing the photoresist to form a pattern of apertures, and subsequently etching the metal plate to form the at least one aperture in the metal plate. 17. Verfahren nach Anspruch 15, wobei die wenigstens eine Apertur (125) in der Metallplatte (105) durch einen Laserstrahl, einen Elektronenstrahl oder mechanische Mittel erzeugt wird.17. The method of claim 15, wherein the at least one aperture (125) in the metal plate (105) is formed by a laser beam, an electron beam or mechanical means. 18. Verfahren nach Anspruch 15, das des Weiteren ein Mischen von Ferritmaterial mit Glaspartikeln, organischen Bindemitteln und Lösungsmitteln zur Bildung einer Ferritemulsion; Mischen, Gießen und Trocknen der Ferritemulsion zu einer Roh-Ferritschicht; und Zuschneiden der Roh-Ferritschicht zu der wenigstens einen Ferritschicht beinhaltet.18. The method of claim 15, further comprising mixing ferrite material with glass particles, organic binders and solvents to form a ferrite emulsion; mixing, pouring and drying the ferrite emulsion into a raw ferrite layer; and cutting the raw ferrite layer into the at least one ferrite layer. 19. Verfahren nach Anspruch 15, das des Weiteren ein Mischen von dielektrischem Material zur Bildung einer dielektrischen Emulsion; Mischen, Gießen und Trocknen der dielektrischen Emulsion zu einer dielektrischen Rohschicht; und Zuschneiden der dielektrischen Rohschicht zu der wenigstens einen dielektrischen Schicht beinhaltet.19. The method of claim 15, further comprising mixing dielectric material to form a dielectric emulsion; mixing, casting and drying the dielectric emulsion into a dielectric green sheet; and cutting the dielectric green sheet into the at least one dielectric layer. 20. Verfahren nach Anspruch 15, wobei das wenigstens eine elektrisch leitfähige Metall angrenzend an die Apertur (125) angebracht ist.20. The method of claim 15, wherein the at least one electrically conductive metal is disposed adjacent to the aperture (125). 21. Verfahren nach Anspruch 15, das des Weiteren ein Anbringen von wenigstens einem Anodenmittel (305) auf der perforierten Seite des Magnets (100) beinhaltet.21. The method of claim 15, further comprising applying at least one anode means (305) to the perforated side of the magnet (100). 22. Verfahren nach Anspruch 15, das des Weiteren ein Anbringen von wenigstens einem Steuerelektrodenmittel (320, 330) auf der Seite des Magnets (100) beinhaltet, die von der ein Anodenmittei (305) tragenden Seite entfernt liegt.22. The method of claim 15, further comprising attaching at least one control electrode means (320, 330) to the side of the magnet (100) remote from the side carrying an anode means (305). 23. Verfahren nach Anspruch 15, wobei die Apertur in der Ferritschicht (115) durch partielles Sintern der Ferritschicht und Verwenden eines unter Druck gesetzten, auftreffenden Mediums (1156) zur Öffnung wenigstens eines Loches erzeugt wird.23. The method of claim 15, wherein the aperture in the ferrite layer (115) is created by partially sintering the ferrite layer and using a pressurized, impinging medium (1156) to open at least one hole. 24. Verfahren nach Anspruch 15, wobei zwei der Metall/Ferrit- Laminatmagnete derart aneinander angebracht werden, dass die Metallplatte (105) mit dem Ferritmaterial (115) eine Sandwichschichtung bildet und sich das dielektrische Material auf den gegenüberliegenden Seiten befindet.24. The method of claim 15, wherein two of the metal/ferrite laminate magnets are attached to each other such that the metal plate (105) forms a sandwich with the ferrite material (115) and the dielectric material is on the opposite sides. 25. Verfahren nach Anspruch 15, das des Weiteren ein Mischen von Ferritmaterial mit Glaspartikeln, organischen Bindemitteln und Lösungsmitteln zur Bildung einer Ferritemulsion beinhaltet, wobei die Ferritemulsion unter Verwendung wenigstens eines Sprays auf der Metallplatte (105) aufgebracht wird.25. The method of claim 15, further comprising mixing ferrite material with glass particles, organic binders and solvents to form a ferrite emulsion, wherein the ferrite emulsion is applied to the metal plate (105) using at least one spray. 26. Verfahren nach Anspruch 15, das des Weiteren ein Mischen von dielektrischem Material zur Bildung einer dielektrischen Emulsion beinhaltet, wobei die dielektrische Emulsion unter Verwendung wenigstens eines Sprays auf die Metallplatte (105) aufgebracht wird.26. The method of claim 15, further comprising mixing dielectric material to form a dielectric emulsion, wherein the dielectric emulsion is applied to the metal plate (105) using at least one spray. 27. Verfahren nach Anspruch 15, das des Weiteren eine Erwärmung der Metallplatte (105) auf wenigstens 300ºC und ein Aufbringen von trockenem Ferritpulvermaterial auf die erwärmte Metallplatte beinhaltet, bis wenigstens eine Beschichtung aus Ferritmaterial (115) auf der Metallplatte gebildet ist.27. The method of claim 15, further comprising heating the metal plate (105) to at least 300°C and applying dry ferrite powder material to the heated metal plate until at least one coating of ferrite material (115) is formed on the metal plate. 28. Verfahren nach Anspruch 15, das des Weiteren eine Erwärmung der Metallplatte (105) auf wenigstens 300ºC und ein Aufbringen von trockenem dielektrischem Pulvermaterial auf die erwärmte Metallplatte beinhaltet, bis wenigstens eine Beschichtung aus dem dielektrischen Material auf der Metallplatte gebildet ist.28. The method of claim 15, further comprising heating the metal plate (105) to at least 300°C and applying dry dielectric powder material to the heated metal plate until at least a coating of the dielectric material is formed on the metal plate. 29. Verfahren nach Anspruch 15, wobei wenigstens eine Oberfläche der Metallplatte (105) oxidiert wird, um wenigstens eine dielektrische Schicht zu bilden.29. The method of claim 15, wherein at least one surface of the metal plate (105) is oxidized to form at least one dielectric layer. 30. Verfahren nach Anspruch 15, wobei die Apertur (125) in der Metallplatte (105) dazu verwendet wird, entsprechende Löcher in nachfolgenden Komponenten des Laminatmagnets (100) zu bilden, und wobei alle entsprechend gebildeten Löcher in Ausrichtung zu dem Loch in der Metallplatte gehalten werden.30. The method of claim 15, wherein the aperture (125) in the metal plate (105) is used to form corresponding holes in subsequent components of the laminate magnet (100), and wherein all correspondingly formed holes are maintained in alignment with the hole in the metal plate.
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