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Die vorliegende Erfindung betrifft
ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen Kontrolle eines
Objekts. Die Erfindung ist insbesondere zur optischen Kontrolle
einer Photomaske mit durchsichtigen Flächen und undurchsichtigen Flächen geeignet,
um die Anwesenheit oder das Fehlen von Fehlern sowohl in den durchsichtigen
Flächen
als auch den undurchsichtigen Flächen
zu ermitteln. Daher wird die Erfindung unten bezüglich dieser Anwendung beschrieben,
aber es ist zu erkennen, dass sie auch in vorteilhafter Weise bei
anderen Anwendungen verwendet werden könnte, z. B. zur Kontrolle anderer Objekte,
wie zum Beispiel gedruckte Leiterplatten, Flachbildschirme etc.
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HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
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Eine ist große Anzahl von Verfahren und Systemen
zur optischen Kontrolle von Gegenständen bekannt. Beispielsweise
offenbart US-Patent 5,216,479 von Dotan et al. ein System zur optischen Kontrolle
von Objekten, insbesondere gedruckten Leiterplatten, indem ein Lichtstrahl
auf eine Fläche des
Objekts projiziert und reflektiertes Licht, das von dieser Fläche reflektiert
wird, und fluoreszierendes Licht, das in diese Fläche induziert,
wird erfasst wird, wobei derartiges erfasstes Licht dann verwendet wird,
um Fehler in der entsprechenden Fläche des Objekts anzugeben;
das beschriebene System sendet auch Licht durch das Objekt und erfasst
das transmittierte Licht an der gegenüberliegenden Fläche des
Objekts, um Fehler in plattierten Durchgangslöchern in der gedruckten Leiterplatte
zu ermitteln. Die offengelegte europäische Patentanmeldung 92114182.6
offenbart ebenfalls ein optisches Kontrollverfahren und – system,
die sowohl reflektiertes Licht als auch transmittiertes Licht zum
Ermitteln von Fehlern verwenden. Die Systeme in beiden obigen Patenten
basieren auf einem Abtastverfahren, bei dem der Lichtstrahl, z.
B. ein Laserlichtstrahl, veranlasst wird, das kontrollierte Objekt
abzutasten.
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US
4,952,085 beschreibt ein optisches Photomaskenkontrollverfahren
und eine -vorrichtung, bei denen ein erster Lichtstrahl von einer
Fläche
der Photomaske reflektiert und ein zweiter Lichtstrahl durch die
Photomaske hindurch gesendet wird. Die transmittierten und reflektierten
Lichtstrahlen werden erfasst und die resultierenden elektrischen
Ausgaben werden verarbeitet, um eine Angabe des Zustands der Pho tomaske
bereitzustellen. Somit offenbart
US 4,952,058 ein
Verfahren und eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff der hier
beigefügten,
unabhängigen Ansprüche.
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US
5,235,400 offenbart ein optisches Photomaskenkontrollverfahren
und eine -vorrichtung, die reflektiertes und transmittiertes Licht
verwenden.
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EP 0024586 A offenbart ein optisches Fehlererkennungssystem,
das lediglich auf reflektiertes Licht angewiesen ist.
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US
3,892,492 offenbart eine optoelektronische Vorrichtung,
die zur Überwachung
eines Objekts reflektiertes Licht und transmittiertes Licht verwendet,
um die Lichtabsorptionscharakteristika des Objekts zu überwachen.
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ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht
darin, ein neuartiges Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen
Kontrolle eines Objekts mittels Verwendung sowohl reflektierter
Strahlen als auch transmittierter Strahlen bereitzustellen, die
aber gegenüber
dem in den obigen Veröffentlichungen
beschriebenen Verfahren und System Vorteile aufweisen.
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Gemäß einem Aspekt der vorliegenden
Erfindung ist ein Verfahren zur optischen Kontrolle eines Objekts
(PM) bereitgestellt, das obere und untere Flächen aufweist, um den Zustand
des Objekts anzugeben, mit: Reflektieren eines ersten Lichtstrahls
von einer Fläche
des Objekts und Senden eines zweiten Lichtstrahls durch das Objekt
einschließlich
seiner beiden Flächen;
Erfassen der reflektierten und transmittierten Strahlen; Erzeugen
elektrischer Ausgaben entsprechend den erfassten Strahlen; und Verarbeiten
der elektrischen Ausgaben, um eine Angabe für den Zustand des Objekts zu
erhalten; gekennzeichnet durch: periodisches Reflektieren des ersten
Lichtstrahls von dem Objekt, um eine erste Reihe kurzzeitiger, zeitlich
beabstandeter, reflektierter Lichtstrahlen zu erzeugen; periodisches
Senden des zweiten Lichtstrahls durch das Objekt, um eine zweite
Reihe kurzzeitiger, zeitlich beabstandeter, transmittierter Lichtstrahlen
zu erzeugen; und Bewegen des Objekts relativ zu den ersten und zweiten
Lichtstrahlen, so dass die erfassten reflektierten und transmittierten Lichtstrahlen
zwei Bildströme
umfassen, die jeweils zeitlich verschachtelte, nicht verzeichnete
reflektierte Bilder und transmittierte Bilder von jeweils rechteckiger
Fläche
mit einer Verzögerung
von etwa einer halben rechteckigen Fläche zwischen benachbarten reflektierten
und transmittierten Bildern umfassen.
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Gemäß weiterer Merkmale bei den
beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen
der Erfindung werden die reflektierten Strahlen und die transmittierten
Strahlen von einem Flächentyp-Bildsensor erfasst.
Zusätzlich
werden die reflektierten Strahlen und die transmittierten Strahlen
von einer Lichtquelle hoher Intensität erzeugt, die periodisch für Zeiten
von weniger als 1 Millisekunde, vorzugsweise weniger als 100 Mikrosekunden
mit einer Frequenz von mehr als 1 MHz aktiviert wird. Bei den unten
beschriebenen, bevorzugten Ausführungsformen
beträgt
die Dauer jedes Lichtstrahls hoher Intensität etwa 60 Mikrosekunden und
die Frequenz 40 MHz. Eine derartige Anordnung ermöglicht,
wie unten beschrieben, eine optische "on the fly"-Kontrolle des Objekts, während sich
das Objekt kontinuierlich bewegt, ohne das Bild zu verzeichnen.
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Besonders gute Ergebnisse können unter Verwendung
des für
das NASA-Pluto-Programm
entwickelten CCD-Bildsensors erreicht werden. Dieser Sensor ist
ein gekühlter
CCD-Bildsensor mit Hintergrundbeleuchtung und weist im ultravioletten
(UV) Spektralbereich eine verbesserte Quantenausbeute auf. Außerdem weist
er eine sehr hohe Datenrate und sehr geringes Rauschen auf. Durch
Verwendung dieses CCD-Bildsensors
als Bildsensor ist der Sensor in der Lage, in dem geforderten UV-Spektrum abzutasten;
um die Auflösung
zu verbessern. Die Verwendung eines derartigen Sensors erhöht auch
den Durchsatz des Systems und ermöglicht es, das Objekt sowohl
mittels des transmittierten als auch des reflektierten Lichts gleichzeitig
zu kontrollieren. Wenn ein derartiger Bildsensor verwendet wird,
kann die Lichtquelle ein Laser, eine Blitzlampe oder sogar eine Quecksilberdampflampe
mit einem Zerhacker oder Modulator sein, um kurze helle Lichtblitze
zu erzeugen.
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Eine Anzahl Ausführungsformen ist unten beispielshalber
beschrieben. Gemäß einer
beschriebenen Ausführungsform
werden die reflektierten Strahlen und die transmittierten Strahlen
von getrennten Lichtquellen an gegenüberliegenden Seiten des Objekts
erzeugt. Bei einer zweiten beschriebenen Ausführungsform werden sie von einer
gemeinsamen Lichtquelle an einer Seite des Objekts und optischen
Lenkelementen erzeugt, wie z. B. ein Flip-Flop-Spiegel, um den Lichtstrahl
abwechselnd zu den gegenüberliegenden
Seiten des Objekts zu lenken. Bei beiden obigen Ausführungsformen
werden die reflektierten Strahlen und die transmittierten Strahlen
von einem gemeinsamen Bildsensor erfasst.
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Es ist eine weitere Ausführungsform
beschrieben, bei der die reflektierten Strahlen und die transmittierten
Strahlen von einer einzelnen Lichtquelle an einer Seite des Objekts
erzeugt, die reflektierten Strahlen von einem ersten Sensor an einer Seite
des Objekts erfasst und die transmittierten Strahlen von einem zweiten
Sensor an der gegenüberliegenden
Seite des Objekts erfasst werden.
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Die Erfindung stellt auch eine Vorrichtung
zur optischen Kontrolle eines Objekts gemäß dem obigen Verfahren bereit.
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KURZBESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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Weitere Merkmale und Vorteile der
Erfindung werden aus der Beschreibung unten ersichtlich.
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Die Erfindung ist hier lediglich
beispielshalber unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben,
in denen:
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1 ein
optisches Diagramm ist, das eine Form einer gemäß der vorliegenden Erfindung
aufgebauten Vorrichtung veranschaulicht,
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2 und 3 Diagramme sind, die die
Weise veranschaulichen, eine komplette Fläche des Objekts optisch zu
kontrollieren,
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4 ein
Zeitablaufdiagramm ist, das ein Beispiel eines Zeitablaufs der elektrischen
Pulse veranschaulicht, die die transmittierenden und reflektierten
Strahlen in der Vorrichtung von 1 erzeugen,
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5 ein
Blockdiagramm ist, das eine Weise veranschaulicht, die Ausgaben
des Bildsensors elektrisch zu verarbeiten,
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6 ein
Diagramm ist, das eine Modifikation bei der Vorrichtung von 1 veranschaulicht,
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7 ein
Diagramm ist, das eine gemäß der vorliegenden
Erfindung aufgebaute Vorrichtung veranschaulicht, die aber eine
einzelne Lichtquelle verwendet,
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9 ein
Blockdiagramm ist, das eine bevorzugte Anordnung zum elektrischen
Verarbeiten der Ausgabe des Bildsensors veranschaulicht.
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DETAILLIERTE
BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Wie zuvor angegeben, sind das Verfahren und
die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung insbesondere zur optischen
Kontrolle von Photomasken nützlich,
um Fehler sowohl in den durchsichtigen Flächen als auch den undurchsichtigen
Flächen
der Photomaske zu ermitteln.
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Die in 1 veranschaulichte
Vorrichtung umfasst eine Stufe 2, um die optisch zu kontrollierende
Photomaske PM aufzunehmen und zu befördern. Eine an einer Seite
der Photomaske PM angeordnete erste Lichtquelle 4 erzeugt
Lichtblitze, die über
ein optisches System 6, einen Strahlteiler 8 und
eine Objektivlinse 10 zu einer Seite der Photomaske PM
geführt
werden. Eine zweite Lichtquelle 12 an der gegenüberliegenden
Seite der Photomaske PM erzeugt Lichtblitze, die von einem Reflektor 14 und
einem optischen System 16 zu der gegenüberliegenden Seite der Photomaske
geführt
werden. Das Licht von der Lichtquelle 4 wird von einer
Fläche
der Photomaske PM über
eine Weiterleitungslinse 18 zu einem Flächentyp-Bildsensor 20 reflektiert.
Das Licht von der Lichtquelle 12 wird durch die Photomaske
PM hindurch, d. h. durch seine beiden Flächen, und durch eine Weiterleitungslinse 18 zu
dem gleichen Bildsensor 20 gesendet, der das reflektierte
Licht von der Lichtquelle 4 erhält.
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Die optische Achse zu dem Bildsensor 20 weist
ferner eine Autofokusvorrichtung 22, die die Objektivlinse 10 über einen
Strahlteiler 24 steuert, und ein Betrachtungsokular 26 auf,
das über
einen Strahlteil 28 das Bild zum Betrachten erhält.
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Die zwei Lichtquellen 4 und 12 werden
von einem schematisch als 30 angegebenen Steuersystem gesteuert,
das die zwei Lichtquellen periodisch mit Energie versorgt oder aufblitzen
lässt,
um zu bewirken, dass jede eine Reihe von kurzzeitigen, zeitlich
beabstandeten Lichtstrahlen erzeugt, die miteinander zeitlich verschachtelt
sind. Somit erzeugt die Lichtquelle 4 eine Reihe kurzzeitiger,
zeitlich beabstandeter Lichtstrahlen, die von einer Fläche der Photomaske
PM reflektiert werden, und die Lichtquelle 12 erzeugt eine
Reihe kurzzeitiger, zeitlich beabstandeter Lichtstrahlen, die durch
beide Flächen der
Photomaske PM hindurch gesendet werden und sich mit den reflektierten
Strahlen der Lichtquelle 4 abwechseln. Alle, die reflektierten
Strahlen von der Lichtquelle 4 und die transmittierten
Strahlen von der Lichtquelle 12 werden von dem gemeinsamen Bildsensor 20 empfangen,
der entsprechend den empfangenen reflektierten und transmittierten
Strahlen elektrische Ausgaben erzeugt.
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Die elektrischen Ausgaben des Bildsensors 20 werden
einem Prozessor 32 zugeführt, der diese im Vergleich
mit Referenzdaten verarbeitet, die von dem Prozessor von einer Referenzdatenquelle 34 erhalten
werden. Die Referenzdatenquelle könnte in einer Datenbank gespeichert
oder von einem anderen Objekt oder von einem anderen Teil des gleichen
Objekts erhalten werden, das kontrolliert wird. Der Prozessor 32 erzeugt
somit eine Angabe von Unterschieden zwischen den Referenzdaten und
den von der optischen Kontrolle der Photomaske PM erhaltenen Daten,
die Fehler in der Photomaske angeben. Die Ergebnisse dieser Verarbeitung
werden an eine Ausgabevorrichtung, wie z. B. ein Display 36,
ausgegeben.
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Stufe 2, die die Photomaske
PM aufnimmt, ist eine XY-Stufe, die die Photomaske entlang der X-Achse
und/oder Y-Achse kontinuierlich bewegt. Der Bildsensor 20 ist
ein Flächentyp-Bildsensor,
vorzugsweise eine zweidimensionale Matrix aus CCDs (ladungsgekoppelten
Bauelementen). Ein solcher Sensor nimmt zu einem Zeitpunkt ein vollständiges Flächenbild
auf, auch wenn die XY-Stufe die Photomaske PM mit konstanter Geschwindigkeit
bewegt. Um ein nicht verzeichnetes Bild "on the fly" aufzunehmen, während die Stufe die Photomaske
PM bewegt, sollte die CCD-Integrationszeit
kurz genug sein, so dass sich das aufgenommene Bild während der
Bildaufnahmedauer nicht zu stark bewegt. Dies erfordert, dass die
Integrationszeit des gesamten CCDs kleiner oder gleich der Abtastdauer
eines Pixels sein soll.
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Wie in 2 gezeigt,
wird die Fläche
der Photomaske PM stückweise
kontrolliert. 2 veranschaulicht
eines der sich vertikal erstreckenden Stücke 40 der Photomaske
PM. Jedes Stück 40 wird in
rechteckige Bereiche 42 unterteilt, die eine Größe aufweisen,
die der Fläche
des CCD-Bildsensors 20 dividiert durch die optische Vergrößerung der
abbildenden Optiken entspricht. Wie in 2 gezeigt, ist jede rechteckige Fläche 42 eines
Bildes des entsprechenden Stücks 40 bei
jeder Aufnahme etwas kleiner als die gesamte von dem CCD-Bildsensor
auf der Maske abgedeckte Fläche 44,
um eine leichte Überlappung 46 an
jeder der vier Seiten zu erzeugen. Dies gewährleistet, ein vollständiges Maskenbild
zu erhalten, wenn die separat nach einander aufgenommenen Bilder
kombiniert werden.
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Es ist somit ersichtlich, dass der CCD-Bildsensor 20 zwei
Bildströme
erhält,
nämlich die
reflektierten Bilder von der Lichtquelle 4 und die transmittierten
Bilder von der Lichtquelle 12. Da sich die Photomaske PM
kontinuierlich bewegt, gibt es eine geringe Verzögerung zwischen den zwei von dem
CCD-Bildsensor empfangenen Bildreihen. 3 veranschaulicht der Klarheit halber
diese Verzögerung
hinsichtlich der ho rizontalen Verschiebung, wobei es ersichtlich
ist, dass die Reihen reflektierter Bilder 50 bezüglich der transmittierten,
von dem CCD-Bildsensor 20 aufgenommenen Bildern 52 verzögert ist.
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Vorzugsweise wird jede der zwei Lichtquellen 4, 12,
für eine
Dauer von weniger als 1 Millisekunde, stärker bevorzugt weniger als
100 Mikrosekunden mit einer Frequenz von mehr als einem MHz pulsartig
betriebenen. Dies erzeugt Lichtblitze hoher Intensität von ausreichend
kurzer Dauer, um ein Verzeichnen der von dem CCD-Bildsensor 20 aufgenommenen
Bilder zu vermeiden.
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4 veranschaulicht
das Zeitablaufdiagramm eines Beispiels des Betriebs des Systems, wobei
jede Lichtquelle für
60 Mikrosekunden pulsartig betrieben wird und die Pulse etwa 26
Millisekunden beabstandet sind, während denen von dem Bildsensor
ein Auslesevorgang durchgeführt
wird. Wird beispielsweise angenommen, dass der Bildsensor eine Matrix
von 1 K × 1
K Pixel aufweist, kann der Bildsensor in zwei Abschnitte unterteilt
sein, wobei das Auslesen jedes Abschnitts mit 20 MHz arbeitet. Somit
würde der
Gesamtdurchsatz bei 40 MHz liegen. Höhere Datenraten können durch
kürzere
Pulse oder größere Sensoren
erreicht werden. Beispielsweise kann eine 80 MHz Datenrate durch
einen 30 Mikrosekundenpuls oder einen 2 K Pixel breiten Sensor erreicht
werden.
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Es ist zu erkennen, dass die transmittierten Lichtblitze
von der Lichtquelle 12 bewirken, dass ein Fehler (z. B.
ein Partikel) auf der durchsichtigen Fläche der Photomaske als Lichtabfall
und ein Fehler (z. B. Loch) auf der undurchsichtigen Fläche der
Photomaske als heller Fleck erscheint. Die transmittierten Lichtblitze
sind nicht in der Lage, einen Fehler (z. B. Partikel) auf der undurchsichtigen
Fläche
zu lokalisieren, aber ein solcher Fehler kann durch die reflektierten
Blitze von der Lichtquelle 4 lokalisiert werden.
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Wenn ein Zeilentyp-CCD-Bildsensor
verwendet wird, müsste
die Schaltrate zwischen den Beleuchtungszuständen innerhalb der Zeilenfrequenz liegen
(z. B. etwa 20 KHz). Indem jedoch, wie oben beschrieben, ein Flächentyp-CCD-Bildsensor
verwendet wird, muss die Schaltrate lediglich innerhalb der auf
einer Datenrate von 20 MHz und 1.000 Pixel pro Zeit basierenden
Bildwechselfrequenz (z. B. etwa 20 Hz) liegen. Diese niedrige Schaltrate
zwischen den Beleuchtungszuständen
ist ein besonders großer
Vorteil des beschriebenen Systems.
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Bei diesem Beispiel beträgt jede
Integrationszeit etwa 60 Mikrosekunden, während denen das gesamte Gesichtsfeld
von 1 K × 1
K von Pixeln des Bildsensors 20 von einem kurzen durchlaufenden Blitz
von der Lichtquelle 12 beleuchtet und von den bildgebenden
Optiken einschließlich
der Objektivlinse 10 und der Weiterleitungslinse 18 auf
dem Flächenbildsensor 20 abgebildet
wird.
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Wie in 5 gezeigt,
erzeugt der Bildsensor zwei Ausgangsströme 25a, 25b zu
zwei Bildprozessoren 32a, 32b, die jeweils bei
20 MHz arbeiten und ihre Inhalte an einem seriellen Kombinierer 33 ausgeben.
Nach etwa 26 Millisekunden (entspricht 10242/2 × 20 × 106) ist der CCD-Bildsensor geleert und für den nächsten Blitz
bereit. Wenn die sich mit konstanter Geschwindigkeit bewegende Photomaske
die halbe Strecke zu dem nächsten
benachbarten Gesichtsfeld der transmittierten Lichtblitze von der
Lichtquelle 12 erreicht, wird zwischenzeitlich von der
Lichtquelle 4 ein kurzer Lichtblitz erzeugt, um einen reflektierten Strahl
hervorzurufen, der eine neue 1 K × 1 K Pixelfläche beleuchtet,
und dessen Bild wird von dem Bildsensor 20 aufgenommen
und über
die zwei Ausgaben 25a, 25b und die Bildprozessoren 31a, 32a zu dem
Ergebniskombinierer 33 übertragen.
Diese Vorgehensweise wird wiederholt, bis die gesamte Maskenfläche zweimal
abgebildet wurde, einmal mit transmittierten Lichtblitzen von der
Lichtquelle 12 und das andere Mal mit reflektierten Lichtblitzen
von der Lichtquelle 4.
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Vorzugsweise ist der Flächentyp-CCD-Bildsensor 20 der
gekühlten
CCD-Bildsensor mit Hintergrundbeleuchtung, der vor kurzem, wie oben
kurz beschrieben, von dem NASA-Pluto-Programm entwickelt wurde.
Dieser Sensor weist im UV-Spektralbereich eine erhöhte Quantenausbeute auf,
lässt eine
sehr hohe Datenrate zu und ist durch sehr geringes Rauschen charakterisiert.
Indem dieser CCD-Sensor als Bildsensor 20 verwendet wird, ist
es möglich,
im geforderten UV-Spektrum abzutasten, um die Auflösung zu
verbessern. Wenn dieser CCD-Bildsensor als Bildsensor 20 verwendet
wird, können
die Lichtquellen gepulste Laser, Blitzlampen oder sogar Quecksilberdampflampen
sein. Diese können
auch Zerhacker oder Modulatoren aufweisen, um die kurzen geeigneten
Lichtblitze zu erzeugen.
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6 veranschaulicht
einen Anordnungsaufbau, der im Wesentlichen der gleiche wie in 1 abgesehen davon ist, dass
das Okular 26 und dessen Strahlteiler 28 weggelassen
sind.
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7 veranschaulicht
eine andere, mit der von 1 vergleichbare
Anordnung. Zusätzlich
zu dem Weglassen des Okulars 26 und dessen Strahlteiler 28 weist
die in
7 veranschaulichte Anordnung
eine einzelne Lichtquelle 12 an der Seite der Photomaske
PM auf, die der des Bildsensors 20 gegenüber liegt.
Anstelle einer Lichtquelle 4 auf der gleichen Seite der
Photomaske wie der Bildsensor 20 weist das System von 7 einen Spiegel 60 und
ein Lichtlenkbauteil 62 in Form eines Flip-Flop-Spiegels auf,
der das Licht von der Lichtquelle 12 abwechselnd entweder
zu dem Spiegel 60, um die reflektierten Lichtstrahlen zu
erzeugen, oder zu dem Spiegel 14 umlenkt, um die transmittierten
Lichtstrahlen zu erzeugen. In jeglicher anderer Hinsicht ist die
in 7 veranschaulichte
Vorrichtung aufgebaut und arbeitet auf die gleiche Weise, wie oben
unter Bezugnahme auf 1 beschrieben.
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9 veranschaulicht
eine bevorzugte Anordnung zum Verarbeiten der Ausgabe des Bildsensors 20,
um einen relativ hohen Durchsatz mit einer Verarbeitungsschaltkreisanordnung
zu ermöglichen, die
bei relativ geringeren Geschwindigkeiten arbeitet. Beispielsweise
kann die hier beschriebene Vorrichtung zur Transmissions- und Reflexionskontrolle
bei einer äquivalenten
Datenrate von 40 MHz bei Verwendung einer bei 20 MHz arbeitenden
Verarbeitungsschaltkreisanordnung und eines 1 K × 1 K CCD-Bildsensors gemäß dem in 1 veranschaulichten Schaltkreis wie folgt
betrieben werden: Der CCD-Bildsensor 20 ist in vier Ausleseabgriffe
unterteilt, die jeweils bei 20 MHz arbeiten, um die gesamten 1 K × 1 K zu übertragen.
Der durchgelaufene Blitz beleuchtet zuerst das Objekt (Photomaske),
die vier Abgriffe des CCD-Bildsensors 20 übertragen
die Transmissionsdaten zu einem Transmissions-FIFO-Register 31t zu
dem Zeitpunkt, an dem die Stufe sich um die halbe Strecke, d. h.
512 Zeilen, bewegt hat. Das FIFO-Register 31t erhält die Daten
mit 80 MHz und überträgt sie zu
Bildprozessoren IP1 und IP2 mit
jeweils 20 MHz. Zu dem Zeitpunkt, an dem die Stufe die halbe Strecke
erreicht, d. h. Zeile Nr. 512, beleuchtet der reflektierte Blitz
das Objekt (Photomaske) und die vier Abgriffe des CCD-Bildsensors 20 übertragen
erneut die Daten mit einer Gesamtrate von 80 MHz, aber nun zu dem
Reflexions-FIFO-Register 31r. Diese Daten werden mit 40
MHz zu Bildprozessoren IP3 und IP4 übertragen.
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Auf diese Weise können zwei Größen von
1 K × 1
K Pixel von dem CCD-Bildsensor mit einer Datenrate von jeweils 80
MHz ausgelesen werden, wobei die vier Pipelines mit einer Datenrate
von 20 MHz betrieben werden, zwei für die Transmissionsdaten und
zwei für
die Reflexionsdaten. Das Bildverarbeitungsverfahren könnte beispielsweise
das in US-Patentanmeldung 07/801,761 oder in US-Patentanmeldung
07/880,100 beschriebene sein, die beide, wie die vorliegende Anmeldung,
dem gleichen Anmelder übertragen
wurden.
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Obwohl die Erfindung bezüglich verschiedener
bevorzugter Ausführungsformen
einschließlich der
optischen Kontrolle von Photomasken beschrieben wurde, ist es ersichtlich,
dass die Erfindung auch zur optischen Kontrolle anderer Objekte
verwendet werden könnte,
wie z. B. gedruckte Leiterplatten, bei denen die transmittierenden
Lichtblitze verwendet werden, um Fehler in plattierten Durchgangslöchern oder
dergleichen zu ermitteln, wie beispielsweise in dem oben genannten
US-Patent 5,216,479 von Dotan et al. beschrieben.