DE69723045T2

DE69723045T2 - Connection head for a wire connection device

Info

Publication number: DE69723045T2
Application number: DE1997623045
Authority: DE
Inventors: Farhad Farassat
Original assignee: F&K Delvotec Bondtechnik GmbH
Current assignee: F&K Delvotec Bondtechnik GmbH
Priority date: 1997-02-06
Filing date: 1997-02-06
Publication date: 2004-04-01
Anticipated expiration: 2017-02-07
Also published as: ATE243601T1; DE69723045D1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Kontaktierungskopf für eine Drahtkontaktierungsmaschine gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 (siehe z. B. US-A-5 230 458), die in der Elektronikindustrie bei der Herstellung einer großen Vielfalt an elektronischen Vorrichtungen eingesetzt wird.The present invention relates to a contacting head for a wire contacting machine according to the preamble of claim 1 (see e.g. US-A-5 230 458), which in the electronics industry at Making a big one Variety of electronic devices is used.

Derartige Drahtkontaktierungsmaschinen umfassen im allgemeinen Einrichtungen, um einem Keil einen Aluminium- oder Golddraht zuzuführen. Normalerweise hält eine Kapillare den Draht und führt ihn zu einem Punkt auf dem Substrat des elektronischen Bauteils, an dem eine Kontaktierung erforderlich ist. Die Kapillare ist auch an einen Wandler angeschlossen, um dem Draht durch die Kapillare Ultraschallenergie zur Bewirkung der Kontaktierung zuzuführen. Herkömmlicher Weise ist der Wandler schwenkbeweglich befestigt und zum Substrat hin vorgespannt, wodurch eine vorprogrammierte Kraft erzeugt wird, die durch die Kapillare auf den Draht aufgebracht wird, wenn er in Kontakt mit dem Substrat steht.Such wire bonding machines include generally facilities to an aluminum or a wedge Feed gold wire. Usually holds one Capillary the wire and leads it to a point on the substrate of the electronic component, where contacting is required. The capillary is too connected to a transducer to wire through the capillary To supply ultrasonic energy to effect the contacting. conventional The transducer is pivotally attached and to the substrate pre-stressed, whereby a pre-programmed force is generated, which is applied to the wire through the capillary when it is in contact with the substrate.

Bei solchen herkömmlichen Vorrichtungen kann die vorprogrammierte Kontaktierungskraft nach einer bestimmten Betriebsdauer der Kontaktierungsmaschine den Kalibrierungsbereich verlassen. Der Kontaktierungsvorgang muss unterbrochen und die gewünschte Kontaktierungskraft wieder eingestellt werden.In such conventional devices the pre-programmed contacting force after a certain operating time the contacting machine leave the calibration area. The contacting process must interrupted and the desired one Contacting force can be set again.

In der US-A-5 230 458 ist ein Kontaktierungskopf für eine Drahtkontaktierungsmaschine beschrieben, die eine an Wandlereinrichtungen angeschlossene Führungseinrichtung umfasst, um einen Draht mit Druck und Ultraschallenergie zu beaufschlagen, der in Kontakt mit einer Oberfläche gebracht wird, auf der eine Kontaktierung ausgebildet werden soll. Darüber hinaus sind Einstelleinrichtungen vorgesehen, um ihren Druck automatisch einzustellen.In US-A-5 230 458 there is a contacting head for one Wire contacting machine described, the one on transducer devices connected management facility includes to apply pressure and ultrasonic energy to a wire, who is in contact with a surface is brought on which a contact is to be formed. About that In addition, adjustment devices are provided to automatically adjust their pressure adjust.

Ein ähnlicher Kontaktierungskopf bzw. eine ähnliche Drahtkontaktierungsmaschine ist in der GB-A-2270868 der Anmelderin offenbart.A similar contact head or a similar one Wire bonding machine is in the applicant's GB-A-2270868 disclosed.

Darüber hinaus lehrt die US-A-5 156 318 ein Ultraschall-Kontaktierungsgerät, um eine Halbleitervorrichtung mit einem Lötfahnenband zu kontaktieren, sowie ein entsprechendes Kontaktierungsverfahren. In dieser Druckschrift ist eine Anordnung vorgesehen, die einen Linearmotor zur Einstellung der Vorspannkraft einer Federeinrichtung umfasst, die den Wandler zur Bereitstellung eines vorbestimmten Kontaktierungsdrucks vorbelastet.In addition, US-A-5 teaches 156 318 an ultrasonic contacting device to a semiconductor device with a solder tab to contact, as well as a corresponding contacting procedure. In this document an arrangement is provided which one Linear motor for setting the preload force of a spring device includes the transducer to provide a predetermined contact pressure preloaded.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Kontaktierungskopf zu schaffen, bei dem die zuvor erwähnten Probleme der Druckeinstellung vermieden sind. Zusätzlich wäre es wünschenswert, einen Kontaktierungskopf zu schaffen, der zum Kontaktieren von einem Punkt auf dem Substrat zum nächsten mit höherer Geschwindigkeit verfahren werden kann.It is a task of the present Invention to provide a contact head in which the previously mentioned Problems of pressure adjustment are avoided. In addition, it would be desirable to have one To create contact head to contact from one point on the substrate to the next with higher Speed can be moved.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Kontaktierungskopf für eine Drahtkontaktierungsmaschine wie in Anspruch 1 definiert bereitgestellt. Es sind Einrichtungen vorgesehen, um den auf den Draht aufgebrachten Druck (Kontaktierungskraft) auf eine selbstjustierende Art einzustellen.According to the present invention becomes a contact head for a wire bonding machine as defined in claim 1 is provided. Means are provided for around the applied to the wire Set pressure (contact force) in a self-adjusting way.

Vorzugsweise sind die Wandlereinrichtungen durch eine Feder mittels eines linear verschiebbaren Elements, das mit einem Linearmotor verbunden ist, vorgespannt. Durch das Einstellen der Druckkraft der Feder, die auf den Wandler aufgebracht wird, kann die auf den Draht aufgebrachte Kontaktierungskraft auf einen vorbestimmten Wert eingestellt werden. Die Einstelleinrichtungen umfassen darüber hinaus eine Steuereinrichtung mit einem angeschlossenen elektrischen Regelkreis, um den Linearmotor anzusteuern. Wenn bestimmt wird, dass die tatsächliche Kontaktierungskraft von der gewünschten Kontaktierungskraft abweicht, wird der Linearmotor so angesteuert, dass sich die Feder dehnt oder zusammenzieht, wodurch sich die richtige Vorspannkraft auf den Wandler wieder einstellt.The converter devices are preferably through a spring by means of a linearly displaceable element which with is connected to a linear motor, biased. By hiring the compressive force of the spring applied to the transducer the contacting force applied to the wire can be reduced to one predetermined value can be set. The adjustment devices include about it also a control device with a connected electrical Control circuit to control the linear motor. If it is determined that the actual contact force of the desired Contact force deviates, the linear motor is controlled so that the spring stretches or contracts, which makes the right one Prestressing force on the converter again.

Weitere Aufgaben und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsformen in Verbindung mit den Zeichnungen, in denen:Other tasks and advantages of Invention emerge from the following description of embodiments in conjunction with the drawings, in which:

1 eine Seitenansicht eines Kontaktierungskopfes nach einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt; 1 shows a side view of a contacting head according to an embodiment of the present invention;

2 eine Draufsicht des Kontaktierungskopfes von 1 zeigt. 2 a top view of the contacting head of 1 shows.

Wie in der heutigen Technik hinlänglich bekannt ist, gibt es eine große Vielfalt an Kontaktierungsmaschinen. Die Bestandteile der Maschine können je nach Art des zu kontaktierenden Drahtes, beispielsweise Gold oder Aluminium, sowie je nach der Stärke des Drahtes variieren. Außerdem werden je nach Kontaktierungsverfahren, also Kugelkontaktierung, Keilkontaktierung etc., verschiedene Arten von Anordnungen bereitgestellt. Die hier gezeigte Ausführungsform betrifft eine Keilkontaktierung mit einer Kapillare, obwohl die Erfindung nicht auf diese Anordnung beschränkt ist.As is well known in today's technology there is a big one Variety of contacting machines. The components of the machine can each depending on the type of wire to be contacted, for example gold or Aluminum, as well as depending on the strength of the wire vary. Moreover Depending on the contacting method, i.e. ball contacting, Wedge contacting, etc., various types of arrangements are provided. The embodiment shown here relates to a wedge contact with a capillary, although the Invention is not limited to this arrangement.

1 zeigt einen Kontaktierungskopf, der eine Kapillare 2 zur Führung eines Drahtes 1 auf einen Punkt an einem zu kontaktierenden Substrat um fasst. Der Draht 1 wird einer Drahtklemme 11 von einer Zufuhreinrichtung (nicht gezeigt) zugeführt. Die Kapillare 2 führt den Draht auf das Substrat und ist zur Bereitstellung von Ultraschallenergie an einen Wandler 3 angeschlossen. 1 shows a contacting head, the capillary 2 for guiding a wire 1 to a point on a substrate to be contacted. The wire 1 becomes a wire clamp 11 fed from a feeder (not shown). The capillary 2 guides the wire onto the substrate and is used to provide ultrasonic energy to a transducer 3 connected.

Der Wandler 3 ist schwenkbeweglich am Gelenkpunkt 4 angebracht und an einer Wandlerhalterung 7 befestigt, die mit dem Wandler 3 verschwenkt wird. An ihrem oberen Ende ist die Wandlerhalterung 7 an einer Feder 10 angebracht. Die Feder 10 ist an einem Ende an einer Aufnahme 9 befestigt, die am Kontaktierungskopfkörper befestigt ist. Das andere Ende der Feder 10 ist, wie in 2 zu sehen, an einem linear verschiebbaren Element 12 befestigt. Das Element 12 kann durch einen Linearmotor 8 linear verschoben werden. Die Vorspannkraft der die Wandlerhalterung 7 wie in 2 gezeigt nach rechts beaufschlagenden Feder 10 ist somit in ihrer Druckkraft einstellbar.The converter 3 is pivotable at the hinge point 4 attached and on a converter bracket 7 attached with the converter 3 is pivoted. At its upper end is the converter bracket 7 on a spring 10 appropriate. The feather 10 is at one end of a recording 9 attached, which is attached to the contacting head body. The other end of the spring 10 is like in 2 can be seen on a linearly displaceable element 12 attached. The element 12 can by a linear motor 8th be shifted linearly. The preload force of the transducer bracket 7 as in 2 shown to the right acting spring 10 is therefore adjustable in its pressure force.

Unter erneuter Bezugnahme auf 1 stützt sich das dem kapillarseitigen Ende gegenüberliegende Ende 5 des Wandlers 3 an einer Erfassungseinrichtung 6 ab, die auch als Anschlag wirkt. In der in 1 gezeigten Position, in der kein Kontaktieren stattfindet, spannt die Feder 10 das Ende 5 gegen die Erfassungseinrichtungen 6 vor. Die Erfassungseinrichtungen 6 umfassen vorzugsweise ein Piezoelement, das je nach Größe der vom Ende 5 auf den Wandler 3 ausgeübten Kraft ein elektrisches Signal erzeugt. Ein entsprechendes Signal aus dem Piezoelement 6 wird Steuereinrichtungen (nicht gezeigt) zugeführt, in der die momentane Kraft bestimmt wird. Diese Kraft wiederum entspricht der Kontaktierungskraft oder dem Kontaktierungsdruck, mit dem der Draht 1 durch die Kapillare 2 im Moment des Aufsetzens beaufschlagt wird, d. h. wenn der Kontaktierungskopf abgesenkt und der Draht in Kontakt mit dem Substrat gebracht wird.Referring again to 1 the end opposite the capillary end is supported 5 of the converter 3 at a detection device 6 that also acts as a stop. In the in 1 shown position, in which no contact takes place, the spring tensions 10 the end 5 against the detection devices 6 in front. The detection devices 6 preferably comprise a piezo element, depending on the size of the end 5 on the converter 3 applied force generates an electrical signal. A corresponding signal from the piezo element 6 is supplied to control devices (not shown) in which the instantaneous force is determined. This force in turn corresponds to the contacting force or the contacting pressure with which the wire 1 through the capillary 2 is applied at the moment of placement, ie when the contacting head is lowered and the wire is brought into contact with the substrate.

Die Steuereinrichtungen umfassen eine elektrische Schaltung, welche die tatsächliche, vom Piezoelement erfasste Kraft bestimmen kann. Außerdem ist die Schaltung mit einer Vergleichseinrichtung versehen, um die tatsächliche Kraft mit einer gewünschten, während des Kontaktierens aufzubringenden Kraft zu vergleichen. Falls die tatsächliche Kraft von der gewünschten Kraft um mehr als einen vorbestimmten Wert abweicht, sind die Steuereinrichtungen darüber hinaus dafür ausgelegt, den Linearmotor 8 anzusteuern und die Feder 10 zur Einstellung ihrer Vorspannkraft entsprechend zu dehnen oder zusammenzuziehen. Zu diesem Zweck umfasst die Steuerschaltung einen Regelkreis, der an den elektrischen Antrieb des Linearmotors angeschlossen ist.The control devices comprise an electrical circuit which can determine the actual force detected by the piezo element. In addition, the circuit is provided with a comparison device in order to compare the actual force with a desired force to be exerted during contacting. In addition, if the actual force deviates from the desired force by more than a predetermined value, the control devices are designed for the linear motor 8th to control and the spring 10 stretch or contract accordingly to adjust their preload. For this purpose, the control circuit comprises a control circuit which is connected to the electric drive of the linear motor.

Die Fähigkeit, die Kontaktierungskraft mittels des Regelkreises einzustellen und die lineare Einstellung der Vorspannfeder schafft beim Kontaktierungsvorgang mehrere Vorteile. Über einen Zeitraum hinweg kann die vorbestimmte oder gewünschte Kontaktierung bzw. der Druck nachlassen, zum Beispiel aufgrund von Temperaturänderungen, einer Entstehung von Reibung in einzelnen Bauteilen des Kontaktierungskopfes, oder sogar aufgrund von Schwankungen der Federkonstante bedingt durch Alterung oder Ermüdung der Vorspannfeder. Erfindungsgemäß können solche Abweichungen von dem gewünschten Kontaktierungsdruck automatisch erfasst werden. Wenn die Abweichung zu groß ist, stellen die Steuereinrichtungen den Kontaktierungsdruck durch die entsprechende Steuerung/Einstellung des Linearmotors 8 wieder nach. Eine Unterbrechung des Kontaktierungsvorgangs zur erneuten Kalibrierung der Kontaktierungskraft ist nicht mehr vonnöten.The ability to adjust the contacting force using the control loop and the linear adjustment of the biasing spring create several advantages during the contacting process. Over a period of time, the predetermined or desired contacting or the pressure can decrease, for example due to temperature changes, the occurrence of friction in individual components of the contacting head, or even due to fluctuations in the spring constant due to aging or fatigue of the biasing spring. According to the invention, such deviations from the desired contact pressure can be detected automatically. If the deviation is too large, the control devices set the contacting pressure by the corresponding control / setting of the linear motor 8th again after. An interruption of the contacting process to re-calibrate the contacting force is no longer necessary.

Ein anderer Vorteil der automatischen Einstelleinrichtungen besteht darin, dass der Betrag der Spannung in der Vorspannfeder zu unterschiedlichen Zeitintervallen innerhalb des Kontaktierungsvorgangs eingestellt werden kann. Beispielsweise kann bis nahe vorm Aufsetzen, während der langsamen Abwärtsbewegung des Kontaktierungskopfes, der genaue Kontaktierungsdruck wie oben beschrieben eingestellt werden. Während des Transferintervalls nach dem Aufsetzen und für das nächste Aufsetzen wird der Kontaktierungskopf normalerweise viel schneller bewegt. In dieser Transferperiode kann die Spannung der Feder erhöht werden, wodurch eine unerwünschte Vibration des Wandlers und der Kapillare vermieden wird.Another advantage of automatic Adjustments are that the amount of tension in the preload spring at different time intervals within of the contacting process can be set. For example can until close to touchdown while the slow downward movement of the contact head, the exact contact pressure as above described. During the transfer interval after putting on and for the next The contacting head usually comes on much faster emotional. In this transfer period the tension of the spring can be increased causing an unwanted Vibration of the transducer and the capillary is avoided.

Bei einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist die Erfassungseinrichtung 6, vorzugsweise ein Piezoelement, vertikal verschiebbar am Kontaktierungskopf angebracht. Bei dieser Ausführungsform umfassen die Steuereinrichtungen darüber hinaus einen Regelkreis für vertikale Verfahreinrichtungen des Piezoelements. Bei Annäherung des Kontaktierungskopfes an den Aufsetzbereich liegt der Wandler wie in 1 gezeigt im wesentlichen horizontal in Bezug auf das Substrat. Bei Erreichen des Aufsetzbereiches wird das Piezoelement 6 nach unten verfahren, was das kapillarseitige Ende des Wandlers nach oben schwenkt, obwohl es noch nicht in Kontakt mit dem Substrat gelangt ist. Der Kontaktierungskopf fährt mit der Annäherung an das Substrat fort, während das Piezoelement dann umgekehrt nach oben verfahren wird. Dadurch wird der Wandler aus seiner nach oben geneigten Position heraus nach unten zur Horizontalposition verschwenkt und dann in eine nach unten zum Substrat hin geneigte Position. In der nach unten geneigten Position findet der Kontakt der Kapillare mit dem Substrat statt.In another embodiment of the present invention, the detector is 6 , preferably a piezo element, vertically displaceably attached to the contacting head. In this embodiment, the control devices also comprise a control loop for vertical displacement devices of the piezo element. When the contacting head approaches the mounting area, the transducer lies as in 1 shown substantially horizontal with respect to the substrate. When the touchdown area is reached, the piezo element 6 move down, which swings the capillary end of the transducer up, although it has not yet come into contact with the substrate. The contacting head continues to approach the substrate, while the piezo element is then moved upwards in reverse. As a result, the transducer is pivoted downward from its upward inclined position to the horizontal position and then into a position inclined downward toward the substrate. In the downward inclined position, the capillary contacts the substrate.

Somit sind in dieser Ausführungsform die Steuereinrichtungen dafür ausgelegt, den Aufsetzvorgang mittels einer Steuerung der vertikalen Bewegung des Piezoelements 6 zu bewerkstelligen. Die Kontaktierungskraft kann genauer bestimmt werden und die Positionierungsgenauigkeit des Kontaktierungspunkts ist erhöht. Wie in 1 zu sehen ist, ändert sich abhängig von dem Betrag des Verschwenkens des Wandlers, aufgrund des Verschwenkens des Wandlers 3, die lineare Versetzung zwischen der Achse 13 der Wandlerhalterung 7 und der Kapillare. Wenn gemäß der vorliegenden Erfindung der Wandler zuerst nach oben geneigt und dann die Aufsetzbewegung durch das Piezoelement bereitgestellt wird, ist die durch den Schwenkwinkel des Wandlers verursachte Versetzung geringer. Somit kann durch Bewerkstelligen des Aufsetzvorgangs mittels Bewegung des Piezoelements die Genauigkeit beim Ansetzen der Kapillare in Bezug auf die Achse 13 verbessert werden.Thus, in this embodiment, the control devices are designed to control the placement process by controlling the vertical movement of the piezo element 6 to accomplish. The contacting force can be determined more precisely and the positioning accuracy of the contacting point is increased. As in 1 is seen to change depending on the amount of pivoting of the transducer due to the pivoting of the transducer 3 , the linear displacement between the axis 13 the converter bracket 7 and the capillary. According to the present invention, if the transducer is first inclined upward and then the touchdown movement is provided by the piezo element, the displacement caused by the pivoting angle of the transducer is less. Thus, by completing the placement process by moving the piezo element, the accuracy when attaching the capillary with respect to the axis can 13 be improved.

Es sei auch festgehalten, dass die Drahtklemme 11 vorzugsweise eine piezogesteuerte Klemme umfasst. Der Klemmdruck auf den Kontaktierungsdraht kann durch diese Klemme präzise eingestellt werden, so dass sich der Draht nicht verformt. Mit der piezogesteuerten Klemme ist es auch möglich, auf den Draht ausgeübten Druck unter Signalrückführung und mittels eines Computers anzulegen und einzustellen.It should also be noted that the wire clamp 11 preferably comprises a piezo-controlled clamp. The clamping pressure on the contact The wire can be precisely adjusted using this clamp so that the wire does not deform. With the piezo-controlled clamp, it is also possible to apply and adjust the pressure exerted on the wire with signal feedback and by means of a computer.

Durch die oben erwähnten Maßnahmen ist sichergestellt, dass sogar die dünnsten Kontaktierungsdrähte durch die Drahtklemme 11 nicht zerstört werden. 1 zeigt das der Drahtklemme 11 zugeordnete Piezoelement mit der Bezugszahl 14.The measures mentioned above ensure that even the thinnest contact wires through the wire clamp 11 not be destroyed. 1 shows that of the wire clamp 11 assigned piezo element with the reference number 14 ,

Darüber hinaus wird festgehalten, dass der Kugel am Ende des Kontaktierungsdrahtes eine Flammabriß-Elektrode zugeordnet ist, die vor dem Aufsetzen herausgeführt, insbesondere aus dem Kollisionsbereich mit dem Kontaktierungskopf bzw. der Kapillare 2 durch die Vertikalbewegung des Kontaktierungskopfes herausgeschwenkt wird.In addition, it is noted that the ball at the end of the contacting wire is assigned a flame-out electrode, which leads out before it is attached, in particular from the collision area with the contacting head or the capillary 2 is pivoted out by the vertical movement of the contacting head.

Gemäß 1 ist an der Halterung 7 auch ein Dehnungsmessgerät 15 angebracht, mit dem die Verwindung der Halterung 7 und somit der Kontaktierungsdruck während des Aufsetzens auf 0,1 g und darunter gemessen werden kann. Diese Messung wird zur Einstellung und Präzisionseinstellung des Linearmotors 8 verwendet, zur Beaufschlagung und Aufrechterhaltung eines vorbestimmten Kontaktierungsdrucks bzw. -gewichts.According to 1 is on the bracket 7 also a strain gauge 15 attached with which the torsion of the bracket 7 and thus the contact pressure can be measured during the touchdown to 0.1 g and below. This measurement becomes the setting and precision setting of the linear motor 8th used to apply and maintain a predetermined contact pressure or weight.

Claims

A contacting head for a wire contacting machine, comprising: i - a contacting head body, ii - transducer devices ( 3 . 7 ) to apply pressure and ultrasonic energy to a wire ( 1 ), with the transducer devices being pivotally attached to the contacting head body, iii - a guide device ( 2 ), which is connected to the converter devices in order to guide the wire to a point on a surface at which a contact is to be formed, iv - setting devices ( 6 . 8th . 12 ) to adjust the pressure automatically, the adjusting means being a spring means. ( 10 ) with a first and second end, the first end on a holder ( 9 ), which is attached to the contacting head body, and the second end to the transducer device ( 7 ) is attached, the spring device ( 10 ) is adjustably attached to the converter devices ( 3 . 7 ) with the management facility ( 2 ) pushing towards the surface with a variable force, characterized by: v - a control device to adjust the amount of tension of the spring device ( 10 ) within the contacting process with different time intervals in order to reduce the tension of the spring device during a transmission period after the contacting head has been put on 10 ) to increase.

Contacting head according to Claim 1, in which the spring device ( 10 ) at the second end to one of a linear motor ( 8th ) driven, linearly displaceable element ( 12 ) is connected, the linear displacement of the element ( 12 ) a stretching or contraction of the spring device ( 10 ) causes.

Contacting head according to Claim 1 or 2, in which the setting devices ( 6 . 8th . 12 ) a detection device ( 6 ), in particular a piezo sensor, to determine the actual pressure applied to the wire ( 1 ) and a control device to automatically adjust the force applied to the converter devices ( 3 . 7 ) is applied to thereby obtain a predetermined pressure with which the wire ( 1 ) should be applied.

Contacting head according to claims 2 and 3, wherein the control device comprises an electrical control circuit to the linear motor ( 8th ) to drive, the linear motor ( 8th ) is driven so that the spring device ( 10 ) stretches or contracts, whereby its pressure force on the transducer device ( 3 ) is set to obtain the predetermined pressure applied to the wire ( 1 ) should be created.

Contacting head according to claim 3 or 4, wherein the transducer device ( 3 ) around an axis ( 4 ) pivots, one end of the guide device ( 2 ) holds and the other end ( 5 ) at the detection device ( 6 ) attacks.

Contacting head according to one of claims 3, 4 or 5, further comprising a drive device to the detection device ( 6 ) to move vertically, the control device being designed such that it operates the drive device at predetermined time intervals during the movement of the contacting head.

Contacting head according to one of the preceding claims, in which the wire ( 1 ) a wire clamp ( 11 ), which includes a piezo-controlled clamp, so that the clamping pressure, which depends on the thickness of the contact wire ( 1 ) and the material of the contact wire ( 1 ) depends, is adjustable, so that a deformation of the contact wire ( 1 ) is avoided if the wire ( 1 ) is clamped.

Contacting head according to one of the preceding claims, in which a strain gauge ( 15 ) or a similar distortion sensor on the holder ( 7 ) is attached, by means of which the distortion of the holder ( 7 ) and thus the contact pressure is determined, the corresponding signals being used to adjust the setting devices ( 6 . 8th . 12 ) especially the linear motors ( 8th ) to set and adjust.