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DE69635160T2 - Vorrichtung zur vergrösserung der sensorselektivität - Google Patents

Vorrichtung zur vergrösserung der sensorselektivität Download PDF

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DE69635160T2
DE69635160T2 DE69635160T DE69635160T DE69635160T2 DE 69635160 T2 DE69635160 T2 DE 69635160T2 DE 69635160 T DE69635160 T DE 69635160T DE 69635160 T DE69635160 T DE 69635160T DE 69635160 T2 DE69635160 T2 DE 69635160T2
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DE
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sensors
catalyst
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gas
catalytic
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Ingemar LUNDSTRÖM
Hans Sundgren
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AppliedSensor Sweden AB
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    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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Description

  • Es sind Gassensoren bekannt, die gegenüber unterschiedlichen Molekülen empfindlich sind. Solche Sensoren sind normalerweise nicht gänzlich selektiv, sondern haben unterschiedliche Selektivitätsmuster. Es ist bekannt, solche Sensoren zu kombinieren, um Gasmischungen und Gerüche bzw. Düfte zu analysieren. Durch Vergleichen der erhaltenen Reaktionsmuster mit vorherigen Testergebnissen unter Verwendung eines Computers können bemerkenswert genaue Ergebnisse erhalten werden, bei welchen die Identifikation, die Klassifikation und auch eine Quantifizierung von Gasmischungen und Düften berücksichtigt ist.
  • Die Kombination einer Anzahl von Sensoren und einer Mustererkennungsroutine ist als "elektronische Nase" bekannt [Sensors and Sensory Systems for an Electronic Nose, (J. W. Gardner und P. N. Bartlett, eds.) Nato ASI Series E, vol. 212, Kluwer Academic Publishers, 1992]. Die elektronischen Nasen haben zahlreiche Anwendungen innerhalb der Verfahrens- und Nahrungsmittelindustrie, der medizinischen Diagnose, der Steuerung von Verbrennungsprozessen und bei der Überwachung der Umwelt, um nur einige zu nennen.
  • Moderne Computer haben die Möglichkeit zum Verwenden von Mustererkennungsverfahren verbessert, um das Reaktionsmuster von unterschiedlichen Sensoren auf unterschiedliche Düfte zu identifizieren. Viele unterschiedliche Sensoren sind verfügbar, und in vielen Fällen kann es sein, dass Anzahl von Aufbauten getestet werden muss und sie sogar kombiniert werden müssen, um am Ende eine richtige Analyse zu liefern. Dies insbesondere deshalb, da es nicht nur wünschenswert ist, zu wissen, welche Moleküle in der Mischung vorhanden sind, sondern es in vielen Fällen auch wichtig ist, ihre tatsächlichen Konzentrationen zu kennen. Dieses macht Probleme, da es sein kann, dass die Sensoren somit sehr geringe Mengen an Material oder sehr große Mengen von demselben detektieren müssen. Zu empfindliche Sensoren werden nicht zum richtigen Anzeigen von großen Mengen fähig sein, und zu unempfindliche Sensoren werden überhaupt keine Anzeige von niedrigeren Konzentrationen ergeben. Zum Erhalten einer vielseitigen elektronischen Nase sind Sensoren mit unterschiedlichen Selektivitäten und Empfindlichkeiten nötig. Weiterhin wird die Auswahl der Sensoren von der bestimmten Anwendung abhängen. Als Ergebnis der obigen Schwierigkeiten sind die elektronischen Nasen von heute nicht sehr vielseitig und können in einigen Fällen eine sehr große Anzahl von Sensoren und Datenleistung erfordern, was sie sehr teuer und langsam macht.
  • Aus CH 665 908 ist es bekannt, Gasmischungen mittels eines Gassensors zu analysieren, die dann, wenn sie durch reduzierende oder oxidierende Gase beeinflusst werden, ihre elektrischen Eigenschaften ändern. Der Gassensor weist mehrere Sensorelemente auf, und für jedes Sensorelement wird ein Material oder eine Temperatur zu seinem Einstellen für eine andere Gaskomponente ausgewählt, so dass eine gute Selektivität zwischen den separaten Sensorelementen erhalten wird. Das Sensorelement weist den Katalysator auf.
  • Ein weiteres Problem, auf das getroffen wird, ist der Mangel an Selektivität, das heißt viele Sensoren reagieren auf viele Gase nahezu identisch, was es schwierig macht, sie auseinanderzuhalten, und was zusätzliche Sensoren nötig macht, etc.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht im Erweitern der Analyseleistung von chemischen Sensoranordnungen mit einer genaueren sowie vielseitigeren Vorrichtung für die Überwachung von Gasmischungen und Düften. Gemäß der Erfindung wird dies durch Verwenden eines neuen Erfassungsprinzips basierend auf einer geometrischen Verteilung von Sensoren und Katalysatoren erreicht. Dieser Aufbau er gibt eine Anzahl von Möglichkeiten für die Verbesserung und Steuerung des Signalmusters von einer Sensoranordnung für eine gegebene Gasmischung.
  • Das Gas oder die Gasmischung, das oder die zu analysieren ist, wird dazu gebracht, gleichzeitig mit einer Detektion durch Sensoren einen Katalysator zu durchlaufen. Viele der Gaskomponenten, für die es erwünscht ist, dass sie überwacht werden, reagieren beim Vorhandensein eines Katalysators auf die eine oder die andere Weise. Dies bedeutet, dass sich das Gas, das über den Katalysator läuft, bezüglich seiner Anteile unterschiedlicher Molekülen ändern wird. Dies kann wiederum detektiert werden, da Sensoren, die entlang dem Katalysator platziert sind, unterschiedliche Auslesungen ergeben werden. Da unterschiedliche Moleküle beim Vorhandensein eines spezifischen Katalysators auf unterschiedliche Weisen reagieren, wird ein erkennbares Muster, das für die Mischung spezifisch ist, in der Gasflussrichtung entlang dem Katalysator erhalten werden.
  • Gemäß der Erfindung bilden Katalysatoren und Sensoren den Oberteil und den Boden in einer Gasanalysierdurchflussküvette unter der Voraussetzung, dass die Höhe nicht so groß ist, da die Änderung bezüglich der Zusammensetzung aufgrund von chemischen Reaktionen bei dem Katalysator auch die Sensoren beeinflussen müssen, um das erkennbare Muster zu liefern. Eine solche Messküvette kann mit einem variierenden Aufbau von Katalysatoren oder katalytischen Oberflächen versehen sein, und tatsächlich können mehrere unterschiedliche katalytische Materialien, wie beispielsweise Bänder in der Küvette, verwendet werden, und können auch unterschiedliche Sensoren verwendet werden. Eine Änderung des Aufbaus kann jedoch auch auf andere interessante Arten erhalten werden. Um damit zu beginnen, kann die Dicke der Schichten von katalytischen Materialien entlang dem Strömungspfad variabel sein. Ebenso kann die Temperatur der Sensoren und/oder der katalytischen Materialien entlang dem Strömungspfad oder quer zum Strömungspfad variabel sein, um geeignete erkennbare Muster zu liefern. Die Größe der katalytischen Bereiche und die Temperatur von diesen beeinflussen die Konzentration/Änderung der Gaskomponenten und die Temperatur der Sensoren beeinflusst die Empfindlichkeit der Sensoren. Geeignete katalytische Materialien sind Platin, Palladium, Iridium sowie andere organische oder anorganische Materialien, einschließlich halbleitender Materialien.
  • Das Vorhandensein eines Katalysators kann gleichzeitig Gaskomponenten, die mit den verwendeten Sensoren nicht messbar sind, in Komponenten ändern, die durch die Sensoren gemessen oder erfasst werden können, und gleichzeitig können andere Komponenten, die erfasst werden können, in Komponenten geändert werden, die durch die verwendeten Sensoren nicht erfasst werden.
  • Einer der Hauptvorteile der Erfindung besteht darin, dass die Sensorzellen auf einfache Weise zwischen einer Anzahl von unterschiedlichen Selektivitätsmustern umgeschaltet werden können. Es gibt die Möglichkeit zum Verwenden eines modularen Systems mit ein- oder zweidimensionalen Sensormatrizen oder -feldern und einer katalytischen Oberfläche oder sogar einem Feld oder einer Matrix von Katalysatoren mit Bereichen von unterschiedlichen katalytischen Materialien, die kombiniert werden können, um eine Vorrichtung mit einer großen Anzahl unterschiedlicher Selektivitätsmustern zu ergeben. Der Oberteil und der Boden in einer Analysierdurchflussküvette können kombiniert werden, um die erwünschte Selektivität und Empfindlichkeit zur Verfügung zu stellen, was die Anzahl von Sensorfeldern effizient reduziert, die in einem Lager gehalten werden müssen. Da der Katalysatorteil (beispielsweise das oberste Ende) keine oder nur wenige (Temperatursteuerung) elektrische Verbindungen benötigt, kann ein Austausch auf einfache mechanische Weisen ausgeführt werden.
  • Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung sind aus der folgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele offensichtlich, die in Zusammenhang mit beigefügten Zeichnungen beschrieben sind, wobei in 1 und in 2 gezeigt ist, was dann passiert, wenn ein Gas durch eine katalytische Oberfläche läuft, 3a und b eine Gaserfassungsküvette und ein Beispiel von möglichen Sensorsignalen zeigen, 4 ein oberstes Ende und ein unterstes Ende einer Küvette mit Katalysator- und Sensormustern zeigt, 5 einen Katalysator und Sensoren auf einem gemeinsamen Substrat zeigt, und 6a und c die Signalantwort von einer Vorrichtung zeigen, wie sie in 6b gezeigt ist.
  • Die Erfindung basiert somit auf der Tatsache, dass katalytische Materialien (nicht nur Metalle, sondern auch Halbleiter, Isolatoren, organische Materialien, Zeolithen etc.) durch Reaktionen an der Oberfläche des Materials Moleküle effizient verbrauchen und neue Moleküle herstellen, wie es schematisch in 1 gezeigt ist. Dies bedeutet, dass dann, wenn ein Gasstrom über eine katalytische Oberfläche läuft, die Kon zentrationen von Gaskomponenten A und B reduziert werden, während die Konzentrationen der Reaktionsprodukte AB, nämlich X und Y, größer werden (2). Dieser Effekt wird bei der Erfindung zum Analysieren einer Gasmischung verwendet, da die unterschiedlichen Teile der Mischung entlang der Oberfläche mit unterschiedlichen Raten aufgebracht werden/reagieren. Dies ist in 3 mit zwei Komponenten U, W gezeigt, die dann, wenn sie beim Vorhandensein der katalytischen Oberfläche reagieren, die jeweiligen Produkte S und P ergeben (in 3 sind nur U und W gezeigt). Durch Anordnen der katalytischen Oberfläche beispielsweise am obersten Ende der Durchflussküvette und durch Platzieren von chemischen Sensoren entlang dem untersten Ende der Durchflussküvette, die für U, W, P und/oder S empfindlich sind, kann das Reaktionsmuster gemessen werden, und damit kann die Zusammensetzung der Gasmischung analysiert werden. Diese Möglichkeit ist in 3 schematisch gezeigt. Kompliziertere Muster werden erhalten, wenn auch S und P detektiert werden können.
  • Die Durchflussküvette in der Vorrichtung in 3 sollte so dünn sein, dass der Verbrauch/das Bilden von Molekülen bei der katalytischen Oberfläche auch an der anderen Wand der Durchflussküvette (derjenigen mit den chemischen Sensoren) beobachtet wird. Der Abstand wird beispielsweise durch Durchflussraten und das Reaktionsvermögen der katalytischen Oberfläche und die verfügbaren Druckdifferenzen zwischen Ein- und Auslass der Durchflussküvette bestimmt bzw. geregelt. Dieser Abstand kann jedoch innerhalb weiter Grenzen variabel sein, ist aus praktischen Gründen jedoch zwischen 0,001 und 10 mm. Die Länge der Durchflussküvette wird teilweise durch das Reaktionsvermögen der katalytischen Oberfläche und die Anzahl von chemischen Sensoren, die entlang dem Kanal platziert sind (und den Typ von diesen) bestimmt. Längen zwischen 1–100 mm sind daher wahrscheinlich. Über die Breite der Durchflussküvette wird im Wesentlichen durch die Sensortechnologie entschieden, die verwendet wird, und den gesamten Gasfluss, der unterzubringen ist. Die Breite ist jedoch nicht der kritische Parameter und kann daher innerhalb weiter Grenzen variiert werden. In 3a sind vier Sensorreihen gezeigt, wobei jede Reihe aus Sensoren mit denselben oder unterschiedlichen Selektivitätsmustern in Bezug auf unterschiedliche Typen von Gasen oder Molekülen bestehen kann.
  • Wenn es erwünscht ist, kann die Zelle auch Wände aufweisen, die den Fluss über unterschiedliche Bereiche von Sensoren trennen, und zwar übereinstimmend mit den Bändern von katalytischen Materialien oder mehr oder weniger quer zu diesen.
  • Eines der einzigartigen Merkmale der Erfindung besteht in den erhöhten Kombinationsmöglichkeiten, die erreicht werden, wenn die Vorrichtung gemäß 3 verwendet wird. Die katalytische Aktivität hängt von einer Auswahl von katalytischem Material und seiner Temperatur ab. Oberflächen mit "Mustern" eines Verbrauchs und einer Erzeugung von Molekülen können daher hergestellt werden. Ebenso haben viele chemische Sensoren (beispielsweise basierend auf halbleitenden Metalloxiden, Feldeffekttransistoren, etc.) eine temperaturabhängige Empfindlichkeit und Selektivität. Durch Variieren der Temperatur entlang der Sensormatrizen und/oder der katalytischen Oberfläche kann daher eine Anzahl von unterschiedlichen Reaktionsmustern mit gegebenen katalytischen Oberflächen und Sensormatrizen erhalten werden.
  • 3b zeigt ein Beispiel, bei welchem ein Temperaturgradient (T1 < T2) entlang der Sensormatrix und der katalytischen Oberfläche existiert und wobei der Verbrauch von U und W an der katalytischen Oberfläche mit der Temperatur erhöht wird und wobei sich die Empfindlichkeit der Sensoren für U und W auch mit der Temperatur erhöht. In diesem Fall werden Maxima der Reaktion auf U und W entlang der Sensormatrix erhalten. Die Positionen der Maxima sind für U und W im Allgemeinen unterschiedlich. Eine interessante Beobachtung besteht darin, dass die Sensoren bei dem Beispiel in 3b für U und W völlig unselektiv sein können. Der katalytische Verbrauch der Moleküle wird jedoch eine Selektivität zur Verfügung stellen.
  • Es ist offensichtlich, dass die Vorrichtung in 3 eine bemerkenswerte analytische Fähigkeit beispielsweise durch Bilden von Bändern von katalytischen Materialien mit unterschiedlicher Selektivität/Aktivität für unterschiedliche Klassen von Molekülen und durch Bilden von Bereichen oder Reihen von chemischen Sensoren mit unterschiedlichen Selektivitätsmustern für unterschiedliche Klassen von Molekülen ergeben kann. 4 stellt diese Möglichkeiten schematisch dar. Die Sensoren können beispielsweise Feldeffekttransistoren mit einer dünnen Platinschicht, einer dicken Palladiumschicht und einer dünnen Iridiumschicht sein. Mischungen von Sensortechnologien können auch verwendet werden, wie beispielsweise zwei Reihen mit Feldeffekttransistoren und eine mit halbleitendem Metalloxid (so genannte Taguchi-Sensoren). Die Bereiche von den Sensoren und den katalytischen Bändern müssen nicht überlappend sein, sondern können getrennt sein. 4 zeigt, dass wir auch unterschiedliche Temperaturgradienten entlang der Sensorbereiche und der katalytischen Oberfläche berücksichtigen können. Weitere Optionen in Bezug auf die Tem peratur bestehen darin, die Gradienten nicht entlang der Bereiche oder der Bänder zu haben, sondern unter einem optionalen Winkel in Bezug zu diesen.
  • Die Erfindung bildet eine starke Verbesserung gegenüber dem Stand der Technik, da sie die Verwendung von Sensoren zulässt, die nicht selbst einen Unterschied zwischen unterschiedlichen Molekülen finden können, sondern dies zusammen mit der Anordnung eines Katalysators können. Um zu beginnen, werden Moleküle, die beim Vorhanden des Katalysators nicht reagieren oder reagieren, sofort auseinander gezogen werden. Jedoch sogar Moleküle, die bei derselben katalytischen Oberfläche reagieren, werden sich möglicherweise unterscheiden, da das Maximum der Reaktion (des Signals) bei unterschiedlichen Stellen in der Küvette gefunden werden wird, da sie in der Küvette mit unterschiedlichen Raten bzw. Geschwindigkeiten reagieren werden.
  • Die Erfindung bildet auch einen großen Schritt nach vorn in Bezug auf Sensorelemente für elektronische Nasen, da sowohl die katalytischen Oberflächen als auch die Sensorbereiche standardisiert werden können und nur kombiniert werden müssen, um das schließliche Selektivitätsmuster zur Verfügung zu stellen. Bei einer elektronischen Nase ist es erforderlich, dass die Sensoren Signale liefern, von welchen die Muster mit dem Gemisch aus der Mischung von Gasen (Düften) variieren. Die vorgeschlagene Vorrichtung ist hier sehr nützlich. Die Vorrichtung kann auf unterschiedliche Arten aufgebaut sein. Die Sensorbereiche können unter irgendeinem Winkel in Bezug auf die katalytischen Bereiche angeordnet sein, was die Anzahl von möglichen Selektivitätsmustern weiter erhöht. Sensoren mit unterschiedlicher Selektivität müssen nicht in Reihen angeordnet sein, sondern können in irgendeinem zweidimensionalen Muster angeordnet sein. Dies gilt auch für die katalytische Oberfläche. Sensor- und/oder katalytische Bereiche können auf demselben Substrat oder auf separaten Substraten gebildet sein.
  • Katalytische Metalle, wie beispielsweise Palladium, Iridium, Platin, Ruthenium und Legierungen von ihnen wandeln organische Moleküle mit einer Rate um, die durch die Auswahl von Metall und Temperatur geregelt ist. Sensoren existieren auch für die Mehrheit von organischen Molekülen, wie beispielsweise Feldeffekttransistoren mit Gates, die aus katalytischen Metallen hergestellt sind, oder Sensoren, die auf halbleitenden Metalloxiden (SnO2, TiO2) basieren. Solche Sensoren können klein und mit Einfachheit in Reihen hergestellt werden. Es gibt somit auch die Möglichkeit zum Herstellen einer Anzahl von Sensorreihen auf jedem Substrat. Dies kann entweder zum Erhöhen der Anzahl von Selektivitätsmustern (unterschiedliche Sensoren in zwei oder mehreren Reihen) oder zum Erhalten einer Vorrichtung mit Redundanz (Sensoren derselben Art in mehr als einer Reihe) verwendet werden, und daher für eine bessere Genauigkeit und eine langzeitige Stabilität.
  • Es sollte aufgezeigt werden, dass auch andere als die oben beschriebenen Anordnungen möglich sind. Es gibt nichts, was verhindert, dass katalytische Materialien, wie beispielsweise in der Form eines Rohrs oder einer Helix (in einer zylindrischen Durchflussküvette), die Sensoranordnung umgibt.
  • In 5 ist ein einfaches Beispiel gezeigt, das das Verfahren der Erfindung zeigt. Es soll angenommen sein, dass wir zwei Substanzen a und b in dem Gasgemisch haben, die an der katalytischen Oberfläche mit einem Temperaturgradienten "verbraucht" werden. Dies wird in einer Reduktion der Anzahl von Molekülen entlang der Oberfläche des Katalysators in Abhängigkeit von den Eigenschaften der Moleküle resultieren. Die unterschiedlichen Eigenschaften der Moleküle werden unterschiedliche Konzentrationsprofile entlang der katalytischen Oberfläche zur Verfügung stellen. Eine Anzahl von Sensoren ist entlang der Bodenfläche vorgesehen, und die Signale von diesen werden durch die Konzentrationen der Moleküle und die Temperatur der Sensoren geregelt. Dies bedeutet, dass in dem Signalmuster, das von den unterschiedlichen Sensoren erhalten wird, die in 5c gezeigt sind, und das den Kurven entspricht, die in 5a gezeigt sind, wie es berechnet ist, Moleküle unterschiedliche Maxima liefern werden, die zum Erkennen der vorhandenen unterschiedlichen Moleküle verwendet werden können, was veranlasst, dass sonst nicht selektive Sensoren selektiv werden. Natürlich können auf diese Weise mehr als zwei Komponenten auseinander gezogen werden.
  • Die verwendeten diskreten Sensoren können in einem geeigneten Muster angeordnet sein, wie beispielsweise in Streifen bzw. Bändern. Gleichzeitig können ein oder mehrere Katalysatoren in einem geeigneten Muster gegenüber den Sensoren angeordnet sein, und zwar in einem Deckel oder einem Dach der Sensorzelle. Dieses Muster kann Streifen bzw. Bänder von unterschiedlichen Katalysatoren enthalten, die dieselben wie diejenigen sein können, die die diskreten Sensoren umgeben, oder unterschiedlich von diesen, oder in einer anderen Reihenfolge. Das Muster kann auch Streifen enthalten, die in einer anderen Richtung als die Sensoren abgewinkelt sind, oder Katalysatorstreifen auf demselben Substrat wie die Sensoren.
  • Der erfundene Weg zum Gewinnen einer Selektivität kann in Kombination mit bekannten Sensoren verwendet werden und kann tatsächlich dazu verwendet werden, bereits hergestellte Vorrichtungen zu verbessern.
  • Die Erfindung ermöglicht eine einfache Adaption an neue Düfte durch Ändern der katalytischen Oberfläche, der Sensoranordnung, der Temperatur und der Temperaturgradienten entlang der katalytischen Oberfläche und der Sensoranordnung.
  • Die Detektion gemäß der Erfindung muss während einer Erfassung nicht statisch sein, sondern kann stattdessen variiert werden, und zwar vorzugsweise periodisch während der Erfassungsprozedur. Dies wird sehr einfach durch Drehen des Oberteils des Katalysators in einer Erfassungsküvette erreicht. Ebenso kann die Temperatur oder können die Temperaturen der Katalysatoren und der Sensoren variieren.
  • Die Erfindung stellt eine Erhöhung bezüglich verfügbarer Selektivitätsmuster zur Verfügung, und der Computer kann seine eigene Beurteilung verwenden, um den besten Aufbau der Detektion der verschiedenen Komponenten herauszupicken.

Claims (7)

  1. Detektionsvorrichtung für ein Gasgemisch, welche folgendes aufweist: – eine Analysierdurchflußküvette mit einem Strömungsweg, welche ein Oberteil und ein Bodenteil hat; – eine Sensoranordnung, welche wenigstens zwei Sensoren aufweist, und – ein oder mehrere Katalysatoren, welche derart angeordnet sind, dass einer der Sensoren das Gasgemisch an einer ersten Stelle in dem Gasströmungsweg analysiert oder erfasst und der zweite Sensor das Gasgemisch nach dem Durchgang durch durch Katalysator oder während des Durchgangs durch den Katalysator analysiert oder erfasst, dadurch gekennzeichnet, daß der Katalysator an einem oberen Teil der Analysierdurchflußküvette angeordnet ist und die Sensoranordnung längs des Bodens der Analysierdurchflußküvette angeordnet ist, oder der Katalysator längs des Bodens der Analysierdurchflußküvette angeordnet ist, und die Sensoranordnung im Oberteil der Analysierdurchflußküvette angeordnet ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ober- oder Bodenteile austauschbar sind.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Katalysator entlang der Sensoren durchgehend angeordnet ist.
  4. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das katalytische Material eine unterschiedliche Dicke hat oder in sich ändernden Mengen in unterschiedlichen Bereichen vorhanden ist.
  5. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Katalysator in Form eines Bandes oder eines Bereiches vorgesehen ist, über die der Gasstrom streichen muß.
  6. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Katalysatoroberteil drehbar ist.
  7. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren und die Katalysatoren einander zugewandt angeordnet sind.
DE69635160T 1995-07-25 1996-07-04 Vorrichtung zur vergrösserung der sensorselektivität Expired - Lifetime DE69635160T2 (de)

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EP (1) EP0840892B1 (de)
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