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DE69608629T2 - Piezoelektrischer Verbund mit anisotropen 3-3 Zusammenhang - Google Patents

Piezoelektrischer Verbund mit anisotropen 3-3 Zusammenhang

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DE69608629T2
DE69608629T2 DE69608629T DE69608629T DE69608629T2 DE 69608629 T2 DE69608629 T2 DE 69608629T2 DE 69608629 T DE69608629 T DE 69608629T DE 69608629 T DE69608629 T DE 69608629T DE 69608629 T2 DE69608629 T2 DE 69608629T2
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DE
Germany
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composite
composite body
ceramic
titanate
anisotropic
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DE69608629T
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Lowell Scott Smith
Venkat Subraman Venkataramani
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General Electric Co
Original Assignee
General Electric Co
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Publication date
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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf piezoelektrische oder elektrostriktive Verbundkörper. Insbesondere bezieht sie sich auf anisotrope 3-3 Verbindbarkeits-Keramik-Polymer-Verbundkörper, die in elektromechanischen Vorrichtungen verwendet werden.
  • Piezoelektrische Keramik-Polymer-Verbundkörper, die nachfolgend als piezoelektrische Verbundkörper und piezoelektrische Keramik bezeichnet werden, werden in Wandlern für die medizinische Ultraschall-Bildgebung verwendet. Beim medizinischen Ultraschall gibt es einen zunehmenden Bedarf, den Bildgebungsbereich und die Auflösung zu verbessern, wie sie durch die Empfindlichkeit und Bandbreite des Wandlers bestimmt werden. Es gibt auch eine Bewegung in Richtung auf eine Verwendung eines Hochfrequenzwandlers für endoskopische chirurgische Verfahren, wie beispielsweise Laparoskopie und intravaskuläre Bildgebung. Somit schaffen die piezoelektrische Verbundkörperwandler diese medizinischen Verfahren mit besserer axialer und lateraler Auflösung.
  • Drei Hauptvorteile, die sich piezoelektrische Verbundkörper gegenüber piezoelektrischen Keramiken erfreuen, sind verminderte spezifische akustische Impedanz (Z), erhöhte Dickenkopplung (kt) und verringerte planare Kopplung (kp). Es müssen Kompromisse beim Design des piezoelektrischen Verbundkörpers gemacht werden, da diese drei Parameter nicht gleichzeitig optimiert werden können.
  • Gegenwärtig werden piezoelektrische Verbundkörper mit 1-3 Verbindbarkeit am häufigsten in Anwendungen von medizinischen Ultraschallwandlern verwendet. 1-3 Verbindbarkeits- Verbundkörper werden am häufigsten verwendet aufgrund der signifikant verkleinerten planaren Kopplungskonstanten (kp), die gegenüber denjenigen erzielt werden können, die unter Verwendung homogener keramischer oder isotrope 3-3 Verbindbarkeits- Verbundkörper der gleichen Materialien erreicht werden können.
  • Ein 1-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper ist einer, wo die eine Phase, üblicherweise die keramische Phase, in der einen Richtung (z Richtung oder Dickenrichtung) des Verbundkörpers selbstverbunden ist, während die andere Phase, üblicherweise die Infiltrierphase, in drei Richtungen des Verbundkörpers selbstverbunden ist. Ein 1-3 Verbindbarkeits-Verbundkörpers kann dadurch hergestellt werden, dass eine Phase von ausgerichteten Keramikfasern oder -stäben in einer Infiltrierphase eingebettet werden, oder er kann dadurch hergestellt werden, dass in einen monolithischen Keramikblock tiefe Einschnitte geschnitten werden und die leeren Räume mit einer Infiltrierphase gefüllt werden. Die letztgenannte Technik wird als Würfelschneiden und Füllen bezeichnet. In einem 1-3 Verbindbarkeits- Verbundkörper sind die minimalen Abmessungen der keramischen Säulen und der Räume durch eine Messerschneide und die mechanische Festigkeit der Keramik begrenzt. Infolgedessen erfüllen 1- 3 Verbundkörper nicht immer den steigenden Bedarf für einen hochfrequenten Wandlerbetrieb in medizinischen Ultraschallanwendungen.
  • Es ist wünschenswert, einen piezoelektrischen Verbundkörper mit einer Struktur aus miteinander verbundenen Lamellen und einem verbundenen Zwischenlamellenbereich zu haben, der zu einem anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper verarbeitet werden kann, der verbesserte elektromechanische Eigenschaften von einem 1-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper hat. Es ist weiterhin wünschenswert, einen piezoelektrischen Verbundkörper zu haben, der in einer elektromechanischen Vorrichtung verwendet werden kann, die eine verringerte planare Kopplung, eine hohe Dicken-Kopplungskonstante und eine verringerte spezifische akustische Impedanz hat. Es ist ferner wünschenswert, einen Verbundkörper und eine daraus resultierende elektromechanische Vorrichtung zu haben, die kosteneffektiv ist, reproduzierbar ist und in eine Fertigungsumgebung angepasst werden kann.
  • Die vorliegende Erfindung ist auf einen anisotropen 3- 3 Verbindbarkeits-Verbundkörper gerichtet, wie er in Anspruch 1 angegeben ist.
  • Ein Vorteil von dem Verbundkörper gemäß der Erfindung ist der, dass er anisotrop mit einer strukturellen 3-3 Verbindbarkeit ist, aber die elektromechanischen Eigenschaften von 1-3 Verbindbarkeits-Verbundkörpern hat. Alle anderen bekannten 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper sind isotrop. Ein anderer Vorteil ist, dass die Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung, die den anisotropen, piezoelektrischen 3-3 Verbindbarkeits- Verbundkörper gemäß der Erfindung verwendet, weniger laterale Verbindbarkeit hat als eine Vorrichtung, die einen isotropen, piezoelektrischen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper verwendet, wodurch die planaren Kopplungsmoden der Vorrichtung verkleinert werden. Die Kombination der Kopplungsmoden, die durch die Vorrichtung gemäß der Erfindung erzielt werden, führt zu verbesserter Auflösung und Bildgebungsbereich in medizinischen Ultraschall-Anwendungen als diejenigen, die durch Vorrichtungen erzielt werden, die aus isotropen, piezoelektrischen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper hergestellt sind. Die anisotrope 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörpervorrichtung gemäß der Erfindung arbeitet wie eine Pseudo-1-3 Verbindbarkeits- Verbundkörpervorrichtung aufgrund der verbesserten Kopplungsmoden. Ferner gestattet die Erfindung die Verwendung von feineren Größen der Lamellen und Zwischenlamellenbereichen als diejenigen, die aus den bekannten Verfahren zum Fertigen von 1-3 Verbundkörpern erhältlich sind. Somit können die Vorrichtungen gemäß der Erfindung bei den hohen Frequenzbereichen betrieben werden, die in medizinischen Ultraschall-Anwendungen erforderlich sind.
  • Es werden nun Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand von Beispielen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, in denen:
  • Fig. 1a und 1b eine Mikrofotografie von einem anisotropen 60 Volumenprozent PZT-5H - 40 Volumenprozent Polyätheraminoepoxid-3-3-Verbindbarkeits-Verbundkörper ist, wobei 1a die verbundenen Lamellen des Verbundkörpers und 1b den verbundenen Zwischenlamellenbereich des Verbundkörpers zeigt.
  • Fig. 2a und 2b sind schematische Darstellungen, die die Ausrichtung der verbundenen Lamellen des anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper gemäß der Erfindung aus einer Seitenansicht (2a) und einer Draufsicht (2b) darstellen.
  • Fig. 3a und 3b sind Mikrofotografien von einem anisotropen 60 Volumenprozent PZT-5H - 40 Volumenprozent anisotropen Polyätheraminoepoxid-3-3-Verbindbarkeits-Verbundkörper und zeigen die Seitenansicht (3a) und Draufsicht (3b) des Verbundkörpers.
  • Fig. 4a ist eine Kurvendarstellung von der elektrischen Impedanz über verschiedenen Frequenzen von einem 100 Volumenprozent PZT-5H Keramikwandler.
  • Fig. 4b ist eine Kurvendarstellung von der elektrischen Impedanz über verschiedenen Frequenzen von einem 60 Volumenprozent PZT-5H - 40 Volumenprozent anisopropen Polyätheraminoepoxid-3-3-Verbindbarkeits-Verbundwandler.
  • Es wurde gefunden, dass ein verbesserter Verbundkörper für elektromechanische Vorrichtungen hergestellt werden kann, der einen anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper aufweist, der aus einer keramischen Phase von miteinander verbundenen Lamellen und einem verbundenen Zwischenlamellenbereich aufgebaut ist, der eine Infiltrierphase enthält. Allgemein ist der Verbundkörper ein piezoelektrischer oder elektrostriktiver Verbundkörper. Durch den Begriff piezoelektrisch sind diejenigen Verbundkörper gemeint, die eine remanente Polarisation und remanente Spannung beibehalten, nachdem ein elektrisches Feld, das an sie angelegt worden war, entfernt wird. In ähnlicher Weise sind durch den Begriff elektrostriktiv diejenigen Materialien gemeint, die eine bemerkbare Polarisation oder Spannung proportional zum Quadrat eines angelegten elektrischen Feldes aufweisen.
  • Bei dieser Erfindung bedeutet der Begriff "miteinander verbundene Lamellen", nachfolgend als Lamellen bezeichnet, den Bereich von dem Verbundkörper, der miteinander verbundene Wände von keramischem Material enthält und mit sich selbst auf drei Ebenen in den x, y und z Richtungen verbunden ist. Fig. 1a gibt diesen Bereich des Verbundkörpers an, das heißt die miteinander verbundenen Lamellen. Es sei darauf hingewiesen, dass die miteinander verbundenen keramischen Lamellen in einem geordneten Feld in einer Vorform angeordnet sind, um den anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper zu bilden. Die keramischen Lamellen sind verdichtet und haben eine Dichte von wenigstens 95%.
  • Der Begriff "verbundener Zwischenlamellenbereich", der nachfolgend als ein Zwischenlamellenbereich oder interlamellarer Bereich bezeichnet wird, bedeutet denjenigen Bereich des Verbundmaterials, der zwischen den verbundenen Lamellen liegt. Dieser Bereich ist auch mit sich selbst auf drei Ebenen verbunden. Der verbundene interlamellare Bereich weist die Infiltrierphase von dem Verbundkörper auf, der ein Polymer, ein Glas oder ein Zement sein kann. Der verbundene Zwischenlamellenbereich bildet ein Skelett, das mit der keramischen Phase, den verbundenen Lamellen des Verbundkörpers, verschlungen ist. Fig. 1b gibt denjenigen Bereich des Verbundkörpers an, der der verbundene Zwischenlamellenbereich ist.
  • Die Vorrichtung gemäß der Erfindung kann eine elektromechanische Vorrichtung sein und wird nachfolgend als die Vorrichtung bezeichnet. Beispiele von Vorrichtungen, die für eine Verwendung in dieser Erfindung gedacht werden können, umfassen, ohne darauf beschränkt zu sein, Wandler, Stellglieder, Sensoren und verschiedene Variationen davon.
  • Wie bereits ausgeführt wurde, kann der Verbundkörper gemäß der Erfindung ein piezoelektrischer Verbundkörper oder ein elektrostriktiver Verbundkörper sein. Dies wird durch die keramische Phase des Verbundkörpers bestimmt. Beispielsweise kann die keramische Phase gemäß der Erfindung ein piezoelektrisches oder ein elektrostriktives Material sein, wie beispielsweise ein Metalltitanat, Metallzirkonat, Metallniobat, Metalltantalat, Metallwolframat, Metallstannat oder eine feste Lösung davon. Zu Darstellungszwecken sei angegeben, dass üblicherweise verwendete Materialien Bleizirkonattitanat, auch als PZT be zeichnet, oder Bleimagnesiumniobat-Bleititanat auch als PMN-PT bezeichnet, sein können. Beispiele von Metalltitanaten, die als die keramische Phase in der vorliegenden Erfindung verwendet werden können, umfassen Bariumtitanat, Bleititanat, Strontiumtitanat und Wismuttitanat. Ein Beispiel von einem Metallzirkonat ist Bleizirkonat. Beispiele von Metallniobaten sind Bleiniobat, Strontiumbariumniobat, Lithiumniobat und Bleimetaniobat. Feste Lösungen umfassen Bleizirkonattitanat, Bleimagnesiumniobat-Bleititanat, Bleizinkniobat-Bleititanat.
  • Die Infiltrierphase des Verbundkörpers kann Polymere, eine kleine spezifische akustische Impedanz aufweisende Gläser, eine kleine spezifische akustische Impedanz aufweisende Zemente oder Mischungen davon umfassen. Das Polymer kann ein Epoxid, Urethan, Elastomer, Silikon oder Mischungen davon sein. Mit eine kleine spezifische akustische Impedanz aufweisendem Glas und einem eine kleine spezifische akustische Impedanz aufweisendem Zement sind diejenigen Gläser und Zemente mit einer spezifischen akustischen Impedanz von weniger als oder etwa 12 MRayl gemeint.
  • Anisotropische 3-3 Verbindbarkeit bezieht sich auf die Mikrostruktur von dem Verbundkörper gemäß der vorliegenden Erfindung. Mit dem Begriff "anisotrop" ist gemeint, dass die Materialeigenschaften von dem Verbundkörper unterschiedliche Werte aufweisen können, wenn entlang unterschiedlichen Achsen, den x, y und z Achsen, gemessen wird. Die Materialeigenschaften des anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörpers und der resultierenden Vorrichtung, die von besonderem Interesse sind, sind die dielektrische Konstante (K&sub3;&sub3;T), die planare Kopplungskonstante (kp), die spezifische akustische Impedanz (Z) und die Dicken-Kopplungskonstante (kt). Die Phrase "3-3" in einem "anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper" bezeichnet die Anzahl von Richtungen, in der die keramische Phase und die Infiltrierphase des Verbundkörpers selbstverbunden sind. Bei der vorliegenden Erfindung, die eine 3-3 Verbindbarkeit aufweist, hat jede Phase des Verbundkörpers, die keramische und die Infiltrierphase, drei Richtungen der Verbindbarkeit. Die zwei Phasen sind auch in drei Dimensionen miteinander verbunden, wobei verbundene Skeletts der zwei Phasen hervorgerufen werden. (Siehe Fig. 1a und 1b.)
  • Verbundkörper mit 3-3 Verbindbarkeit weisen üblicherweise isotrope Charakteristiken aufgrund der gleichförmigen Struktur in drei Dimensionen auf. Die vorliegende Erfindung weist jedoch, obwohl es ein 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper ist, anisotrope elektromechanische Charakteristiken auf, wo die dielektrische Konstante, die spezifische akustische Impedanz und Kopplungskonstanten betroffen sind. Dies wird der Tatsache zugerechnet, dass die Verbindbarkeit der keramischen Lamellen in der z-Richtung oder Dickenrichtung nicht die gleiche oder gleichförmig ist mit den x und y Richtungen. Mit anderen Worten, die Verbindbarkeit in der x-y Ebene oder in den lateralen Richtungen ist im wesentlichen isotrop, und die Verbindbarkeit in der z Richtung ist größer als die Verbindbarkeit in den Lamellen in den x und y Richtungen, wodurch anisotrope Eigenschaften für den 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper erzielt werden. Die elektromechanischen Eigenschaften des anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper sind ähnlich denjenigen, die von den 1-3 Verbindbarkeits-Verbundkörpern aufgewiesen werden, die gegenwärtig in medizinischen Ultraschall-Anwendungen und Sonarhydrophonen verwendet werden.
  • Gemäß der Erfindung ist die Struktur des Verbundkörpers nicht zufällig in den drei Dimensionen, sondern besteht aus einer keramischen Phase von Lamellen, die im wesentlichen parallel zueinander sind, obwohl sie in drei Ebenen miteinander verbunden sind. Die anisotropen Materialcharakteristiken des Verbundkörpers gemäß der vorliegenden Erfindung treten auf, weil die Lamellen der keramischen Phase des anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörpers im wesentlichen parallel zueinander ausgerichtet sind. Der Begriff "im wesentlichen parallel", wie er hier verwendet wird, bedeutet, dass die Lamellen gemäß der vorliegenden Erfindung eine bestimmte Orientierung relativ zueinander haben, die nicht zufällig ist und die eine Richtung favorisiert, wie es durch Fig. 2 gezeigt ist. Ferner sorgt die dielektrische Konstante des Verbundkörpers für einen Beweis der Ausrichtung der Lamellen in einer favorisierten Richtung. Diese anisotropen Materialcharakteristiken, die von der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung gezeigt werden, machen sie überlegen gegenüber denjenigen Vorrichtungen, die aus isotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörpern aus der gleichen oder ähnlichen chemischen Zusammensetzung gemacht sind. Obwohl also der erfindungsgemäße Verbundkörper 3-3 Verbindbarkeit hat, weist er elektromechanische Eigenschaften auf, die einem 1-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper ähnlicher sind, und somit ist er ein anisotroper 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper.
  • Der anisotrope 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper gemäß der Erfindung wird dadurch hergestellt, dass eine gesinterte keramische Vorform mit im wesentlichen parallelen Lamellen gebildet wird, die später durch eine andere Phase infiltriert wird. Die keramische Vorform wird aus einem Brei von keramischen Teilchen, Wasser, und einem Dispergierungsmittel hergestellt, der durch Gefriertrocknen direktional verfestigt wird. Ein Gel kann ebenfalls verwendeVwerden. Als eine Folge des Gefriertrocknens werden im wesentlichen parallele Lamellen aus festem keramischen Material gebildet. Die somit erhaltene Vorform wird gesintert, um die keramischen Lamellen zu verdichten. Die dichte, offen-strukturierte Keramiklamellen-Vorform wird dann mit einer Infiltrierphase getränkt und kann wärmebehandelt werden, um den Verbundkörper zu bilden.
  • Ein bevorzugte Ausführungsbeispiel der Erfindung ist ein Wandler, der einen anisotropen piezoelektrischen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper aufweist. Der anisotrope, piezoelektrische 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper kann aus irgendeiner wechselseitig kompatiblen Kombination von einer piezoelektrischen Keramik und einem anderen Material hergestellt werden. Der Fachmann würde eine Keramik und eine Infiltrierphase wählen, die, wenn sie in Kombination verwendet werden, die gewünschten Materialeigenschaften erzielen, wie beispielsweise Dickenkopplungskonstante, dielektrische Konstante, Dichte und spezifische akustische Impedanz. Zu Darstellungszwecken enthält ein besonders vorteilhafter anisotroper piezoelektrischer 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper zur Verwendung in elektromechanischen Vorrichtungen eine Bleizirkonattitanat (PZT)- Lamellenkeramikphase und eine Urethan-Zwischenlamellen- Infiltrier-Polymerphase.
  • Da der anisotrope piezoelektrische oder elektrostriktive 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper gemäß der Erfindung verbesserte elektromechanische Kopplungskonstanten und spezifische akustische Impendanz gegenüber anderen Vorrichtungen aufweist, die isotrope 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper verwenden, kann der anisotrope 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper in Wandlern für medizinische Ultraschall-Anwendungen benutzt werden, wo ein zunehmender Bedarf für verbesserte Auflösung und Bildgebungsbereich besteht.
  • Der räumliche Maßstab und die chemische Zusammensetzung des anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörpers beeinflussen die Materialeigenschaften der Vorrichtung. Der Begriff "räumlicher Maßstab" bezieht sich auf die Breite des Zwischenlamellenbereiches, welches die Infiltrierphase (siehe Fig. 1b) und auch die Breite von den Lamellen ist, die die keramische Phase bilden (siehe Fig. 1a). Der erzielbare räumliche Maßstab von anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörpern ist feiner als der räumliche Maßstab, der gegenwärtig in 1-3 Verbindbarkeits- Verbundkörpern erzielbar ist, und als solche arbeiten elektromechanische Vorrichtungen, die aus dem anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper gemäß der vorliegenden Erfindung aufgebaut sind, bei höheren Frequenzwerten.
  • Die Breite des Zwischenlamellenbereiches kann etwa 500 Mikron oder weniger betragen, bevorzugter beträgt die Breite etwa 100 Mikron oder weniger und am vorteilhaftesten ist es, wenn die Breite etwa 10 Mikron oder weniger beträgt. Zusätzlich kann die Breite von den einzelnen verbundenen Lamellen etwa 200 Mikron oder weniger betragen. Es ist bevorzugter, wenn die Breite der verbundenen Lamellen etwa 50 Mikron oder weniger be trägt, und am stärksten bevorzugt ist es, wenn die Breite der verbundenen Lamellen etwa 5 Mikron oder weniger betragen kann.
  • Die Zusammensetzung des anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörpers besteht aus etwa 5 Volumenprozent bis etwa 80 Volumenprozent Keramik und von etwa 20 Volumenprozent bis etwa 95 Volumenprozent Infiltrierphase. Eine bevorzugte Zusammensetzung besteht aus etwa 5 Volumenprozent bis etwa 60 Volumenprozent Keramikmaterial und von etwa 40 Volumenprozent bis etwa 95 Volumenprozent Infiltrierphase. Eine am stärksten bevorzugte Zusammensetzung besteht aus etwa 5 Volumenprozent bis etwa 30 Volumenprozent Keramik und von etwa 70 bis etwa 95 Volumenprozent Infiltrierphase. Der Fachmann wird die Volumenprozente der Keramik und den räumlichen Maßstab wählen, die die in der Anwendung gewünschten Materialeigenschaften erzielen.
  • Die Erfindung kann auch dahingehend beschrieben werden, dass sie eine einen anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper aufweisende elektromechanische Vorrichtung ist, die eine spezifische akustische Impedanz von etwa 20 MRyal oder weniger, eine Dickenkopplungskonstante größer als etwa 0,4 und eine planare Kopplungskonstante kleiner als etwa 0,4 hat. Eine bevorzugte spezifische akustische Impedanz der vorliegenden Erfindung beträgt etwa 15 MRyal oder weniger.
  • Die folgenden Beispiele verdeutlichen die Erfindung weiter.
  • Beispiel 1: Es wurde ein Wandler mit einem anisotropen piezoelektrischen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper mit Abmessungen von 1,4 cm · 2,0 cm · 0,10 cm mit einer chemischen Zusammensetzung von etwa 60 Volumenprozent PZT-5H Keramik und etwa 40 Volumenprozent Polyätheraminoepoxid hergestellt. Die Breite der Lamellen reichte von etwa 10 Mikron bis etwa 80 Mikron, während die Breite von dem Zwischenlamellenbereich von etwa 10 Mikron bis etwa 50 Mikron reichte. Es wurde ein zweiter Wandler aus 100% PZT-5H Keramik ähnlicher Größe hergestellt. Messungen der Materialeigenschaften wurden für beide Wandler durchgeführt. Vergleichsdaten zwischen der Keramik und dem Verbundkörper sind in Tabelle 1 gezeigt.
  • Die Mikrostruktur des PZT-5H Epoxidverbundkörpers ist in den Fig. 3a und 3b gezeigt. Die im wesentlichen parallele Lamellenanordnung der Keramikphase kann aus dem Kantenschnitt in Fig. 3a gesehen werden. Die laterale Verbindbarkeit der keramischen Phase ist vermindert.
  • Die planare Kopplung in dem Wandler, der aus dem PZT- 5H-Epoxidverbundkörper hergestellt ist, ist verkleinert im Vergleich zu der planaren Kopplung in dem Wandler, der aus 100% PZT-5H Keramik hergestellt ist, wie es in Fig. 4 gezeigt ist. Eine Reihe von periodischen Resonanzen ist deutlich sichtbar in dem 100% PZT-5H-Keramikwandler aufgrund der niederfrequenten lateralen Moden, die in dem PZT-5H-Epoxidverbundkörperwandler im wesentlichen fehlen. Tabelle 1
  • Beispiel 2: Es wurden 10 Proben des anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper hergestellt. Die keramische Phase war PZT-5H und die Infiltrierphase war Polyätheraminoepoxid. Es wurden Materialeigenschaften der Proben gemessen, wie es unten in Tabelle 2 angegeben ist.
  • Der typische Wert der dielektrischen Konstanten (K&sub3;&sub3;T) von einem isotropen 60 Volumenprozent PZT-5H 3-3 Verbindbar keits-Verbundkörper beträgt etwa 600 bis 1000. Für einen isotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper gilt log K&sub3;&sub3;T = log K&sub3;&sub3;V&sub1; + V&sub2; log K&sub3;&sub3;T2 wobei V und K&sub3;&sub3;T die Volumenprozente und die dielektrische Konstante der Phase 1 bzw. 2 sind. Da ein 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper sich Von isotrop nach anisotrop ändert, ändert sich die dielektrische Konstante so, dass K&sub3;&sub3;T = V&sub1; = - K&sub3;&sub3;T&sub1; + VZ K&sub3;&sub3;TZ ist, wenn die am stärksten anisotrope Anordnung der Lamellen und des Zwischenlamellenbereiches auftritt. Somit zeigen die Werte der dielektrischen Konstante (K&sub3;&sub3;T) der Proben, die aus dem anisotropen 3-3 Verbindbarkeits- Verbundkörper gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt sind, wie es in Tabelle 2 gezeigt ist, einen Anstieg in der dielektrischen Konstante des Verbundkörpers, was die im wesentlichen parallele Anordnung der Lamellen anzeigt.
  • Zusätzlich zeigen die Dickenkopplungskonstante (kt) und die spezifische akustische Impedanz (Z) eine verbesserte Leistungsfähigkeit der elektromechanischen Vorrichtungen, die aus dem anisotropen 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper gemäß der Erfindung hergestellt sind. Tabelle 2

Claims (6)

1. Anisotroper 3-3 Verbindbarkeits-Verbundkörper zur Verwendung als eine elektromechanische Vorrichtung, die eine piezoelektrische Keramikphase aufweist, wobei die Keramikphase aus einem Brei hergestellt ist, der Keramikteilchen, Wasser, Binder und Dispersionsmittel aufweist, die gerichtet erstarrt ist durch Gefriertrocknen, um miteinander verbundene Lamellen zu bilden, wobei die Verbindbarkeit der Lamellen in einer z Richtung größer ist als die Verbindbarkeit der Lamellen in einer x und einer y Richtung, wobei die Verbindbarkeit in der x und y Richtung gleich ist, und die Lamellen im wesentlichen parallel zueinander ausgerichtet sind; eine Infiltrierphase, die in Zwischenlamellenbereichen gebildet ist, wobei die Infiltrierphase Polymer, eine kleine spezifische akustische Impedanz aufweisendes Glas oder ein eine kleine spezifische akustische Impedanz aufweisender Zement ist und die spezifische akustische Impedanz von dem Glas oder Zement kleiner als 12 MRayl ist.
2. Verbundkörper nach Anspruch 1, der eine Dicken- Kopplungskonstante größer als 0,4, eine planare Kopplungskonstante von weniger als 0,4 und eine spezifische akustische Impedanz von 20 MRayl oder weniger hat.
3. Verbundkörper nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Lamellen von 5 Volumenprozent bis 80 Volumenprozent des Verbundkörpers bilden und 200 Mikron oder weniger breit sind und wobei die Zwischenlamellenbereiche von 20 Volumenprozent bis 95 Volumenprozent des Verbundkörpers bilden, 500 Mikron oder weniger breit sind, und das Polymer ein Urethan, Elastomer, Silikon oder eine Mischung davon ist.
4. Verbundkörper nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei die Keramik aus einer aus einem Metalltitanat, Metallzirkonat, Metallniobat, Metalltantalat, Metallwolframat, Metallstannat oder einer festen Lösung davon bestehenden Gruppe ausgewählt ist.
5. Verbundkörper nach Anspruch 4, wobei das Metalltitanat aus einer aus einem Bariumtitanat, Bleititanat, Strontiumtitanat und Wismuthtitanat bestehenden Gruppe ausgewählt ist.
6. Verbundkörper nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei die Keramik Bleizirkonattitanat oder Bleimagnesium oder Niobat- Titanat ist.
DE69608629T 1995-09-22 1996-09-20 Piezoelektrischer Verbund mit anisotropen 3-3 Zusammenhang Expired - Lifetime DE69608629T2 (de)

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