[go: up one dir, main page]

DE69521203T2 - Flash-EEPROM mit gesteuerter Entladungszeit der Wortleitungs- und Sourcespannungen nach der Löschung - Google Patents

Flash-EEPROM mit gesteuerter Entladungszeit der Wortleitungs- und Sourcespannungen nach der Löschung Download PDF

Info

Publication number
DE69521203T2
DE69521203T2 DE69521203T DE69521203T DE69521203T2 DE 69521203 T2 DE69521203 T2 DE 69521203T2 DE 69521203 T DE69521203 T DE 69521203T DE 69521203 T DE69521203 T DE 69521203T DE 69521203 T2 DE69521203 T2 DE 69521203T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
memory
flash eeprom
sector
circuit
discharge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69521203T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69521203D1 (de
Inventor
Mauro I-20079 S. Angelo Lodigiano Sali
Corrado I-20050 Sovico Villa
Marcello I-24069 Trescore Balneario Carrera
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STMicroelectronics SRL
Original Assignee
STMicroelectronics SRL
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by STMicroelectronics SRL filed Critical STMicroelectronics SRL
Application granted granted Critical
Publication of DE69521203D1 publication Critical patent/DE69521203D1/de
Publication of DE69521203T2 publication Critical patent/DE69521203T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/08Address circuits; Decoders; Word-line control circuits

Landscapes

  • Read Only Memory (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Flash-EEPROM mit gesteuerter Entladungszeit der Wortleitungen und Sourcepotentiale nach einem Löschen.
  • Flash-EEPROMs sind durch die Tatsache charakterisiert, daß alle Speicherzellen des Speicherfelds, oder wenigstens große Gruppen von ihnen (Speichersektoren), gleichzeitig elektrisch gelöscht werden können.
  • Gemäß einer bevorzugten Löschtechnik, die beispielsweise im europäischen Patent EP-A-750 314, eingereicht am 19. Juni 1995 im Namen desselben Anmelders, beschrieben ist, wird ein Löschen der Speicherzellen des Speicherfelds oder eines gegebenen Speichersektors durch Vorspannen der Wortleitungen des Speicherfelds oder des Speichersektors mit einer negativen Löschspannung im Bereich von –8 V bis –12 V und durch Anlegen einer positiven Löschspannung von ungefähr 5 V an die Sourceanschlüsse der Speicherzellen durchgeführt.
  • Nach dem Löschen müssen alle Wortleitungen und alle Sourceanschlüsse der Speicherzellen des Speicherfelds oder des Speichersektors auf das Erdungspotential gebracht werden. Dies enthält das Entladen großer Kapazitäten. Tatsächlich werden dann, wenn das Potential der Wortleitungen auf die negative Löschspannung gebracht wird, die Steuergate-Kapazitäten aller an die Wortleitungen angeschlossenen Speicherzellen auf eine Spannung im Bereich von –8 V bis –12 V geladen; gleichermaßen wird dann, wenn das Potential der Sourceanschlüsse der Speicherzelle auf die positive Löschspannung gebracht wird, die Sourcekapazität aller Speicherzellen auf eine Spannung von etwa 5 V geladen. In einem Flash-EEPROM der Größe von einigen Megabits kann die Summe der Steuergate-Kapazitäten sowie die Summe aller Sourcekapazitäten der Speicherzellen in der Größenordnung von einigen hundert Picofarad sein. Das schnelle Entladen von solchen großen Kapazitäten gibt Anllaß zu hohen Strömen, die in den Metallleitungen fließen, die die Leistungsversorgungsspannungen innerhalb der Speichervorrichtung liefern. Zum Verhindern von Problemen einer Elektromigration in solchen Metalleitungen müssen diese mit einem offensichtlichen Erhöhen eines Chipbereichs überdimensioniert werden.
  • Die Patentanmeldung EP 550 751 offenbart ein Speicherzellenfeld, das in eine Vielzahl von Blöcken unterteilt ist. Zum neuen Schreiben von Daten in einem Block (einem ausgewählten Block) wird ein fehlerhaftes Schreiben oder Löschen von Daten durch Anlegen einer Relaxationsspannung bzw. Einschwingvorgangsspannung an den Sourceanschluß oder das Steuergate der Speicherzelle in den anderen Blöcken (die nicht ausgewählt sind) verhindert, um die Spannung zwischen dem schwebenden Gate und dem Sourceanschluß und dem Drainanschluß zu entspannen bzw. einer Relaxationsverarbeitung zu unterziehen. Beim Programmieren wird ein fehlerhaftes Schreiben von Daten durch Ausgleichen des Sourceanschlusses und des Drainanschlusses der Speicherzelle im nicht ausgewählten Block zum Entspannen des elektrischen Feldes zwischen dem Steuergate und dem Sourceanschluß und dem Drainanschluß, so daß kein Kanalstrom fließt, verhindert. Zum Ausführen des Löschsystems mit negativer Spannung wird eine Fehlfunktion einer nicht ausgewählten Zelle durch Ausgleichen der Sourceleitung und der Datenleitung vor einem Einstellen der Sourceleitung und der Wortleitung der Zelle im nicht ausgewählten Block und durch Löschen des ausgeglichenen Zustands, nachdem ein Löschen ausgeführt ist, verhindert.
  • Angesichts des beschriebenen Standes der Technik ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Flash-EEPROM zu schaffen, der durch das oben angegebene Problem nicht beeinträchtigt ist.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine solche Aufgabe mittels eines Flash-EEPROM gemäß Anspruch 1 erreicht.
  • Dank der vorliegenden Erfindung ist es möglich, den Entladungsstrom der Wortleitungskapazitäten nach einem Löschimpuls zu steuern. Auf diese Weise ist es möglich, Elektromigrationsprobleme in den Metalleitungen zu vermeiden, die die Leistungsversorgungsspannungen innerhalb des Flash-EEPROM liefern.
  • Der Flash-EEPROM weist auch eine Source-Umschalteinrichtung auf, die zu dem wenigstens einen Speichersektor gehört, zum Umschalten eines Potentials einer gemeinsamen Sourceleitung, die Sourceelektroden der Speicherzellen des Speichersektors miteinander verbindet, während des Löschimpulses vom Erdungspotential zu einem positiven Potential.
  • Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel weist die Source-Umschalteinrichtung eine Source-Entladungseinrichtung auf, die durch die Steuerschaltung der Einrichtung zum Steuern der Entladungszeit der Zeilen gesteuert wird, um eine Entladungszeit der gemeinsamen Sourceleitung am Ende des Löschimpulses vom positiven Potential zum Erdungspotential zu steuern.
  • Auf diese Weise kann auch der Entladungsstrom der Sourcekapazitäten der Speicherzellen gesteuert werden. Es ist somit möglich, die in den Wortleitungskapazitäten gespeicherte Ladung auszunutzen, um die Sourceleitungskapazitäten zu entladen.
  • Diese und andere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden durch die folgende detaillierte Beschreibung eines bestimmten Ausführungsbeispiels klarer gemacht werden, das als nicht beschränkendes Beispiel in bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben ist, wobei:
  • 1 eine schematische Draufsicht auf einen Flash-EEPROM gemäß der vorliegenden Erfindung ist, die die Hauptaufbaublöcke zeigt;
  • 2 ein Diagramm einer Schaltung zum Steuern der Leistungsversorgung eines Speichersektors des Flash-EEPROM ist;
  • 3 ein Diagramm ist, das einen Halbsektor des Flash-EEPPROM der 1 ist, wobei eine Zeilendecodierschaltung zum Halbsektor gehört und Wortleitungsdioden zu jeder Wortleitung des Halbsektors gehören;
  • 4 ein Diagramm einer Schaltung zum Steuern eines ersten Vorspannungssignals für die Zeilendecodierschaltung der 3 ist;
  • 5 ein Diagramm einer negativen Ladungspumpschaltung ist, die zu einem Sektor des Flash-EEPROM gehört;
  • 6 ein Diagramm einer Schaltung zum Steuern des Potentials der Massenelektrode der Wortleitungsdioden der 3 und der Dioden der negativen Ladungspumpschaltung der 5 ist;
  • 7 bis 10 Diagramme einer Schaltung zum Steuern eines zweiten Vorspannungssignals für die Zeilendecodierschaltungen sind;
  • 11 und 12 Diagramme einer Schaltung zum Steuern des Potentials einer gemeinsamen Sourceleitung eines Halbsektors des Flash-EEPROM sind;
  • 13 ein schematisches Diagramm einer im Flash-EEPROM der 1 enthaltenen Sequentialmaschine zum Steuern seines internen Betriebs ist;
  • 14 ein schematisches Diagramm eines Speicherregisters der Sequentialmaschine der 13 ist;
  • 15 ein schematisches Diagramm eines RAM des sequentiellen Netzwerks der 13 ist;
  • 16 ein Ablaufdiagramm eines durch die Sequentialmaschine der 13 implementierten Löschalgorithmus ist; und
  • 17 ein Zeitdiagramm einiger Signale des Flash-EEPROM am Ende eines Löschimpulses ist.
  • 1 ist eine schematische Draufsicht auf einen Flash-EEPROM, wie beispielsweise einen mit 4 MBit. Die Speichervorrichtung weist acht Speichersektoren S1–S8 auf, von welchen jeder 512 kBits hat. Ein Speichersektor ist der kleinste Teil der Speichervorrichtung, der einzeln gelöscht werden kann.
  • Jeder Sektor S1–S8 ist wiederum in zwei Halbsektoren unterteilt, nämlich einen rechten Halbsektor S1R–S8R und einen linken Halbsektor S1L–S8L. Jeder Halbsektor enthält 256 Zeilen (Wortleitungen) WL0–WL255 und 1024 Spalten (Bitleitungen) BL0–BL1024 für eine Gesamtheit von 256 kBits.
  • Unter der Annahme, daß der Flash-EEPROM acht Ausgangsdatensignale (einen Ausgangsdatenbus mit einer Breite von einem Byte) hat, sind die 2048 Bitleitungen jedes Sektors miteinander in acht Gruppen von 256 Bitleitungen (vier Gruppen von 256 Bitleitungen pro Halbsektor) gruppiert, wobei jede Gruppe mit einer jeweiligen Leseschaltung (nicht gezeigt) verbunden ist, deren Ausgabe eines der acht Ausgangsdatensignale bildet.
  • Zu jedem Halbsektor gehört ein Zeilendecodierer RDR, RDL zum Auswählen einer Wortleitung unter den 256 Wortleitungen WL0–WL256 und eine Source-Umschaltschaltung SWR, SWL zum Umschalten des Potentials einer gemeinsamen Sourceleitung SOR, SOL, mit welcher die Sourceelektroden aller Speicherzellen im jeweiligen Halbsektor verbunden sind (siehe auch 3).
  • Eine negative Ladungspumpschaltung NP1–NP8 gehört zu einem jeweiligen Sektor S1–S8; die detaillierte Struktur einer der acht negativen Ladungspumpschaltungen NP1–NP8 ist in 5 gezeigt. In jedem Sektor erzeugt die jeweilige negative Ladungspumpschaltung eine negative Spannung VP1–VP8, die zu allen Wortleitungen WL0–WL256 der rechten und linken Halbsektoren durch jeweilige Dioden zugeführt wird (die, wie es in 3 gezeigt ist, P-Kanal-MOSFETs in Diodenschaltung sind), die in Reihe zu einer jeweiligen Wortleitung geschaltet sind. Diese Dioden sind in
  • 1 durch zwei Blöcke DR und DL schematisch gezeigt. Ebenso gehört eine Schaltung DW1–DW8 zum Steuern des Potentials der Wanne (der Massenelektrode) der P-Kanal-MOSFETs in Diodenschaltung, die zu den Wortleitungen gehören, zu einem jeweiligen Sektor; die Schaltungen DW1–DW8 steuern auch das Potential der Wanne (der Massenelektrode) der MOSFETs in den letzten Stufen der negativen Ladungspumpschaltungen NP1–NP8 (5).
  • Weiterhin gehört zu jedem Sektor, selbst wenn es in 1 nicht gezeigt ist, eine Schaltung zum Steuern einer Sektoren-Versorgungsspannung VPCXS1–VPCXS8 für den jeweiligen Sektor S1–S8. Eine solche Sektorenversorgungsspannung VPCXS1–VPCXS8 versorgt die Zeilendecodierer RDR, RDL und die Schaltung DW1–DW8.
  • 2 zeigt die detaillierte Struktur einer der acht Schaltungen zum Steuern der Sektorenversorgungsspannung von einem der acht Sektoren S1–S8. Im wesentlichen läßt die Schaltung zu, die Sektorenversorgungsspannung VPCXSi (i = 1... 8) zwischen einer externen Leistungsversorgung VDD der Speichervorrichtung (typischerweise eine 5 V-Leistungsversorgung) und einer internen Leistungsversorgungsspannung VPCX (die ein globales Signal für die gesamte Speichervorrichtung ist) umzuschalten. Die interne Leistungsversorgungsspannung VPCX wird wiederum zwischen der externen Leistungsversorgungsspannung VDD und einer durch eine Gruppe von positiven Ladungspumpschaltungen PP erzeugten positiven Ausgangsspannung V1 umgeschaltet (Schalter S1).
  • Die Schaltung der 2 weist einen Latch L1, einen Inverter I1 und eine Ausgangsstufe OS1 auf. Der Latch L1 weist zwei P-Kanal-MOSFETs M70, M71 in Kreuzschaltung auf; zwei N-Kanal-MOSFETs M72, M73 sind zwischen der Drainelektrode von M70 und Erde parallelgeschaltet; zwei N-Kanal-MOSFETs M74, M75 sind zwischen dem Drainanschluß von M71 und Erde in Reihe geschaltet. Die Ausgangsstufe OS1 weist einen stark leitenden P-Kanal-MOSFET M1 mit einem Sourceanschluß auf, der mit VPCX verbunden ist, und einen N-Kanal-MOSFET M2 mit einem Sourceanschluß, der mit VDD verbunden ist. Das Umschalten von VPCXSi (i = 1... 8) wird durch zwei logische Signale gesteuert, nämlich LSi und VPCXH. LSi ist ein Sektorenauswahlsignal, das die Auswahl des Sektors Si zuläßt. VPCXH ist ein Signal, das die Kommutierung des Schalters S1 steuert; VPCXH wird durch eine in 13 gezeigte Sequentialmaschine erzeugt, die in der Speichervorrichtung zum Steuern ihres internen Betriebs enthalten ist. Die durch die Gruppe von positiven Ladungs pumpschaltungen PP erzeugte Spannung V1 kann drei unterschiedliche Werte annehmen, nämlich 12 V in einem PROGRAMM-Mode, 7 V, während des Schritts zum VERIFIZIEREN EINES PROGRAMMIERTEN BYTES nach jedem Programmierimpuls (im Spielraummode zum Lesen der programmierten Speicherzellen) und 4 V während des Schritts zum VERIFIZIEREN EINES GELÖSCHTEN BYTES, der nach jedem Löschimpuls ausgeführt wird, wie es im folgenden beschrieben wird (für einen Spielraummode zum Lesen der gelöschten Speicherzellen).
  • Wenn VPCXH ="0" gilt, d.h. im LESE-Mode und im LÖSCH-Mode, gilt unabhängig von LSi VPCX = VDD und VPCXSi = VPCX = VDD. Wenn VPCXH ="1" gilt, d.h. im PROGRAMM-Mode, im Mode zum VERIFIZIEREN EINES PROGRAMMIERTEN BYTES und im Mode zum VERIFIZIEREN EINES GELÖSCHTEN BYTES, gilt VPCX = V1. Wenn LSi ="0" gilt (d.h. wenn ein Sektor Si nicht ausgewählt ist), dann ist VPCXSi über M2 mit VDD verbunden; unterschiedlich davon gilt dann, wenn LSi = "1" gilt (d.h. wenn ein Sektor Si ausgewählt ist), VPCXSi = VPCX = V1.
  • 3 zeigt die detaillierte Struktur von einem der sechzehn Halbsektoren der Speichervorrichtung, nämlich eines rechten Halbsektors SiR (i = 1... 8), und der jeweiligen Zeilendecodierschaltung RDR. Die linken Halbsektoren SiL und die zugehörigen Zeilendecodierschaltungen RDL sind in bezug auf ihre Struktur identisch. Die Zeilendecodierschaltung RDR verwendet ein herkömmliches Decodierschema mit zwei Pegeln: die 256 Wortleitungen WL0–WL256 sind zusammen in 32 Gruppen von jeweils acht Wortleitungen gruppiert. Zwei Gruppen von Auswahlsignalen eines ersten Pegels LX... LX', LY... LY' lassen zusammen mit dem Sektorenauswahlsignal LSi die Auswahl einer Gruppe von acht Wortleitungen unter den 32 Gruppen zu. Eine Gruppe von acht Auswahlsignalen des zweiten Pegels P0–P7 läßt die Auswahl einer Wortleitung in der ausgewählten Gruppe von acht Wortleitungen zu. Die Auswahlsignale des ersten Pegels LX... LX', LY... LY' und die Sektorenauswahlsignale LSi steuern jeweilige in Reihe geschaltete N-Kanal-MOSFETs M3–M6, die für eine Gruppe von acht Wortleitungen gemeinsam sind. Innerhalb jeder Gruppe von acht Wortleitungen steuern die Auswahlsignale des zweiten Pegels P0–P7 jeweilige N-Kanal-MOSFETs M3, und zwar einen für jede Wortleitung, welche eine Sourceelektrode haben, die gemeinsam an die Drainelektrode des jeweiligen MOSFET M4 angeschlossen ist, der zu der Gruppe von acht Wortleitungen gehört. Für jede Wortleitung ist ein P-Kanal-MOSFET M7 zwischen der Sektorenversorgungsspannung VPCXSi und dem Drainanschluß des jeweiligen MOSFET M3 angeschlossen. Für eine gege bene Wortleitung bilden die MOSFETs M3–M7 eine NOR-Schaltung (keine vollständige CMOS-Schaltung): M7 ist ein Pull-Up-Transistor und wird durch ein Signal PGi gesteuert, das für den gesamten Sektor Si gemeinsam ist; das Signal PGi wird wiederum durch die Schaltung der 4 gesteuert, die im folgenden beschrieben wird. Für jede Wortleitung versorgt die Ausgabe einer jeweiligen der NOR-Schaltungen einen End-Inverter I9, der eine jeweilige Wortleitung treibt. Der End-Inverter I9 weist einen P-Kanal-MOSFET M8, einen P-Kanal-Abreicherungs-MOSFET M9 und einen N-Kanal-MOSFET M10 auf, die zwischen VPCXSi und Erde in Reihe geschaltet sind; die MOSFETs M8 und M10 werden durch die Ausgabe der jeweiligen NOR-Schaltung M3–M7 gesteuert, die zur jeweiligen Wortleitung gehört, während der MOSFET M9 durch ein Signal VDEP gesteuert wird, das allen Sektoren der Speichervorrichtung gemeinsam ist und das durch die in den 710 gezeigte Schaltung gesteuert wird, die im folgenden beschrieben wird.
  • In 3 sind auch zwei Bitleitungen BL0 und BL1024 gezeigt, und acht Speicherzellen MC, die durch MOS-Transistoren mit schwebendem Gate mit einer Steuergateelektrode gebildet sind, die mit einer jeweiligen Wortleitung verbunden ist, einer Drainelektrode, die mit einer jeweiligen Bitleitung verbunden ist, und einer Sourceelektrode, die mit einer gemeinsamen Sourceleitung SOR verbunden ist, mit welcher auch die Sourceelektroden aller anderen Speicherzellen des Halbsektors verbunden sind. Ebenso sind in 3 vier P-Kanal-MOSFETs DR0, DR7, DR248, DR255 in Diodenschaltung zu sehen, die jeweils zwischen einer jeweiligen Wortleitung WL0, WL7, WL248, WL255 in Reihe geschaltet sind, und die negative Spannung VPi, die durch die jeweilige Ladungspumpschaltung NPi erzeugt wird, die zum Speichersektor Si gehört. Die Wanne (die Massenelektrode) der MOSFETs in Diodenschaltung DR0, DR7, DR248, DR255 wird durch das Signal DWSi gesteuert, das durch die Schaltung DWi (6) erzeugt wird, die zum Speichersektor Si gehört.
  • 4 zeigt die detaillierte Struktur der Schaltung zum Steuern des Signals PGi, das alle Pull-Up-P-Kanal-MOSFETs P2 der Zeilendecodierer RDR, RDL des Sektors Si steuert. Die Schaltung weist zwei P-Kanal-MOSFETs in Kreuzschaltung M76, M77 auf. M76 ist in einem ersten Schaltungszweig enthalten, der zwei in Reihe geschaltete N-Kanal-MOSFETs M78, M79 aufweist, die jeweils durch das Sektorenauswahlsignal LSi und durch das in Zusammenhang mit der Schaltung der 2 erwähnte Signal VPCXH gesteuert werden. M77 gehört zu einem anderen Schaltungszweig, der eine Stromspiegelschaltung 100 aufweist. Die Stromspiegelschaltung 100 weist einen ersten Schaltungszweig auf, der einen P-Kanal-MOSFET M80 und einen P-Kanal-Verarmungs-MOSFET M81 enthält, die in Reihe geschaltet sind, und einen zweiten Schaltungszweig, der einen P-Kanal-MOSFET in Diodenschaltung M82, einen P-Kanal-MOSFET M83 und einen N-Kanal-MOSFET in Diodenschaltung M84 enthält, die in Reihe geschaltet sind. Der Drainanschluß von M82 steuert das Signal PGi. Ebenso mit M77 verbunden sind zwei parallelgeschaltete N-Kanal-MOSFETs M85, M86, die jeweils durch die logischen Komplemente LSiN, VPCXHN der Signale LSi und VPCXH gesteuert werden. Das Signal PGi ist weiterhin über zwei parallelgeschaltete N-Kanal-MOSFETs M11, M87 mit der Erdung gekoppelt, die jeweils durch die Signale VPCXHN, LSiN gesteuert werden.
  • Im LESE-Mode und im LÖSCH-Mode ist dann, wenn VPCXH ="0" gilt, M79 ausgeschaltet und sind M86 und M11 eingeschaltet; die Stromspiegelschaltung 100 ist deaktiviert und PGi ist durch M11 an die Erdung gebunden. Im PROGRAMM-Mode ist dann, wenn VPCXH ="1" gilt, M79 eingeschaltet und ist M11 ausgeschaltet; wenn der Speichersektor Si nicht ausgewählt ist, d.h. LSi ="0", ist M78 ausgeschaltet und sind M85 und M87 eingeschaltet: die Stromspiegelschaltung 100 ist deaktiviert und PGi ist durch M87 an die Erdung gebunden; wenn statt dessen der Speichersektor Si ausgewählt ist, d.h. LSi ="1", ist M78 eingeschaltet, ist M85 ausgeschaltet und ist M87 ausgeschaltet; die Stromspiegelschaltung 100 ist aktiviert; PGi ist somit auf eine Spannung vorgespannt, die in Bezug auf den Absolutwert etwas höher als die Schwellenspannung des Pull-Up-MOSFET M7 in den Zeilendecodierschaltungen ist.
  • 5 zeigt die detaillierte Struktur von einer der acht negativen Ladungspumpschaltungen NP1–NP8. Herkömmlicherweise weist die Schaltung eine Kette von P-Kanal-MOSFETs in Diodenschaltung M12–M15 auf, und bei diesem Beispiel vier. Drei Koppelkondensatoren C1–C3 haben eine Platte, die jeweils an den gemeinsamen Knoten zwischen M12 und M13, M13 und M14 und M14 und M15 angeschlossen ist, und eine weitere Platte, die durch ein jeweiliges von zwei Taktsignalen CK, CKN getrieben wird, die durch einen Taktgenerator TAKT erzeugt werden, der für alle acht negativen Ladungspumpschaltungen NP1–NP8 gemeinsam ist. Die Drainelektrode von M12 ist über einen Freigabe-N-Kanal-MOSFET M16 mit Erde gekoppelt, der durch ein Pump-Freigabesignal ENPi gesteuert wird, das aktiviert wird, wenn die jeweilige negative Ladungspumpschaltung NPi aktiviert werden muß. Die Sourceelektrode von M15 ist die negative Spannung VPi, die zu den Wortleitungen des Sektors Si über die Wortleitungsdioden in den Blöcken DR, DL zugeführt wird. Die Wanne (die Mas senelektrode) der ersten zwei P-Kanal-MOSFETs M12, M13 ist mit der externen Leistungsversorgung VDD verbunden, während die Wanne der letzten zwei P-Kanal-MOSFETs M14, M15 mit dem Signal DWSi verbunden ist, das durch die jeweilige Schaltung DWi erzeugt wird, die zum Speichersektor Si gehört.
  • 6 zeigt die detaillierte Struktur von einer der acht Schaltungen DW1–DW8 zum Steuern des Potentials der Wannen der P-Kanal-MOSFETs in Diodenschaltung DR, DL, die zu den Wortleitungen in einem jeweiligen Sektor gehören, und der P-Kanal-MOSFETs in Diodenschaltung M14, M15 der negativen Ladungspumpschaltung NPi. Die Schaltung steuert auch die Aktivierung des Pump-Freigabesignals ENPi, das die negative Ladungspumpschaltung NPi aktiviert.
  • Wie es zu sehen ist, weist die Schaltung ein erstes NAND-Gatter mit zwei Eingängen NAND1 auf, dem das Sektorenauswahlsignal LSi und ein globales logisches Signal HVN zugeführt werden, die durch die in 13 gezeigte Sequentialmaschine erzeugt werden. Das Signal HVN wird im LÖSCH-Mode aktiviert, wenn ein Löschimpuls an die Speicherzellen von einem oder mehreren Sektoren anzulegen ist. Die Ausgabe von NAND1 wird zu einem Inverter I2 zugeführt, dessen Ausgabe das Pump-Freigabesignal ENPi ist, das dann, wenn es aktiviert ist, die jeweilige negative Ladungspumpschaltung NPi freigibt. Das Pump-Freigabesignal ENPi wird auch zu einem zweiten NAND-Gatter mit zwei Eingängen NAND2 geführt, das durch eine Sektorenversorgungsspannung VPCXSi mit Leistung versorgt wird, dessen Ausgabe das Signal DWSi ist, das zur Wanne (Massenelektrode) der P-Kanal-MOSFETs in Diodenschaltung DR, DL zugeführt wird, die zu den Wortleitungen gehören, und der letzten zwei P-Kanal-MOSFETs in Diodenschaltung M14, M15 der jeweiligen negativen Ladungspumpschaltung NPi. Die andere Eingabe von NAND2 ist die Ausgabe eines Inverters I3, der auch durch VPCXSi mit Leistung versorgt wird. Der Eingang von I3 ist durch einen P-Kanal-MOSFET M20 mit einem an den Ausgang von I3 angeschlossenen Gateanschluß mit VPCXSi gekoppelt; ein P-Kanal-MOSFET M19, der durch die Ausgangsspannung VPi der negativen Ladungspumpschaltung NPi gesteuert wird, koppelt den Eingang von I3 mit Erde. Ein Pull-Up-P-Kanal-MOSFET M88, der durch das Signal HVN gesteuert wird, ist zwischen dem Eingang von I3 und VPCXSi angeschlossen.
  • Wenn er nicht im LÖSCH-Mode ist, d.h. wenn HVN ="0", oder wenn der Speichersektor Si selbst dann, wenn er im LÖSCH-Mode ist, nicht zu löschen ist, gilt für das Signal ENPi ="0". Die negative Ladungspumpschaltung NPi, die zum Speichersektor Si gehört, ist somit deaktiviert. Wenn ENPi ="0" gilt, ist das Signal DWSi an die Spannungsversorgung von NAND0 angebunden, d.h. die Sektorenleistungsversorgung VPCXSi: somit gilt DWSi = VPCXSi. Weiterhin ist die Ausgangsspannung VPi der negativen Ladungspumpschaltung NPi an DWSi angebunden, d.h. an VPCXSi, und zwar durch die Tatsache, daß wenigstens einer der P-Kanal-MOSFETs M17 und M18 eingeschaltet ist.
  • Wenn der Sektor Si zu löschen ist, sind die Signale HVN und LSi beide hoch, d.h. ENPi ="1", und die negative Ladungspumpschaltung NPi ist aktiviert. M17 und M18 sind beide ausgeschaltet, VPi geht auf negativ, aber solange es nicht einen Wert von etwa –2,5 V erreicht, ist der Gateanschlußantrieb von M19 nicht ausreichend, um zu veranlassen, daß der Inverter I3 umschaltet; die Ausgabe von I3 ist logisch"1" und DWSi ist an VPCXSi gebunden (was im LÖSCH-Mode gleich der externen Leistungsversorgung Vdd ist). Wenn VPi einen Spannungswert von etwa –2,5 V erreicht, wird M19 ausreichend leitend, um zu veranlassen, daß der Inverter I3 auf"0" umschaltet; dies veranlaßt, daß DWSi an Erde gebunden wird. Auf diese Weise wird dann, wenn die negative Spannung VPi ausreichend negativ wird, das Potential der Wanne der Dioden DR, DL, die zu den Wortleitungen gehören, und der Dioden M14, M15 in der negativen Ladungspumpschaltung NPi von VDD auf Erde umgeschaltet. Dies läßt zu, die elektrische Spannung an den Übergängen der P-Kanal-MOSFETs in Diodenschaltung und den Körpereffekt in bezug auf ihre Schwellenspannung zu reduzieren.
  • Die 7-10 zeigen die detaillierte Struktur einer Schaltung zum Steuern des Signals VDEP, das wiederum die P-Kanal-Verarmungs-MOSFETs M9 in den Zeilendecodierschaltungen RDR, RDL in allen Sektoren S1–S8 des Flash-EEPROM steuern. Die Schaltung weist eine Ladungsschaltung CHC auf, die in 7 gezeigt ist, eine Entladungsschaltung CDHC, die in 8 gezeigt ist, und eine Steuerschaltung CC, die in den 9 und 10 gezeigt ist.
  • Unter Bezugnahme auf 7 weist die Ladungsschaltung CHC einen Operationsverstärker 1 und eine Ausgangsstufe 2 auf. Der Operationsverstärker 1 hat zwei Schaltungszweige 6, 7; der Zweig 6 weist P-Kanal-Lade-MOSFET in Diodenschaltung M40 und einen N-Kanal-MOSFET M42 auf; der Zweig 7 weist einen P-Kanal-Lade-MOSFET M41 und einen N-Kanal-MOSFET M43 auf. Der gemeinsame Sour ceanschluß von M42 und M43 ist über einen N-Kanal-MOSFET M29 und einen N-Kanal-MOSFET M44 mit Erde gekoppelt, die jeweils durch das Signal HVN und durch eine Referenzspannung Vref gesteuert werden. Die Ausgangsstufe weist einen P-Kanal-Pull-Up-MOSFET M31 und zwei P-Kanal-MOSFETs in Diodenschaltung M45, M46 auf. Der Drainanschluß von M31 bildet den Ausgang der Ladeschaltung CHC, der mit der Signalleitung VDEP verbunden ist. Einem Eingang des Operationsverstärkers 1 wird eine Referenzspannung Vref zugeführt, die etwa gleich 2 V ist; die Referenzspannung Vref kann beispielsweise durch einen Bandlücken-Referenzgenerator erzeugt werden, der im Flash-EEPROM integriert ist. Einem weiteren Eingang des Operationsverstärkers 1 wird ein Rückkoppelsignal zugeführt, das proportional zum Ausgangssignal VDEP der Ladungsschaltung CHC ist. Ein P-Kanal-MOSFET M30, der durch das Signal HVN gesteuert wird, ist auch zwischen VDD und der Gateelektrode von M31 vorgesehen.
  • Es ist möglich zu sehen, daß dann, wenn HVN ="0" gilt, die Ladungsschaltung CHC deaktiviert ist und ihr Ausgang in einem Zustand hoher Impedanz ist. Tatsächlich ist dann, wenn HVN ="0" gilt, der N-Kanal-MOSFET M29, der dem Operationsverstärker 1 einen Pfad zur Erdung zur Verfügung stellt, ausgeschaltet, und der P-Kanal-MOSFET M30 treibt die Gatespannung des Pull-Up-P-Kanal-MOSFET M31 in der Ausgangsstufe 2 auf VDD. Wenn HVN zu einer logischen"1" schaltet, d.h. während eines Löschimpulses, wird die Ladungsschaltung CHC aktiviert, um das Signal VDEP auf eine Spannung vorzuspannen, die etwa gleich dem Zweifachen der Spannung Vref ist, d.h. etwa 4 V.
  • Unter Bezugnahme auf 8 weist die Entladungsschaltung DCHC zwei negative Ladungspumpschaltungen 3, 4 auf.
  • Die erste negative Ladungspumpschaltung 3 weist eine Verstärkungsschaltung auf, die einen P-Kanal-MOSFET in Diodenschaltung M21 mit einem mit der Erdung verbundenen Drainanschluß und einem mit einer ersten Platte eines Kondensators C5 mit einer Kapazität von 0,5 pF verbundenen Sourceanschluß aufweist; die zweite Platte von C5 wird durch ein Taktsignal PHI2 betrieben. Der Sourceanschluß von M21 treibt einen Durchlaß-P-Kanal-MOSFET M22 mit einem mit einer ersten Platte eines Kondensators C6 mit einer Kapazität von etwa 1,65 pF verbundenen Drainanschluß; die zweite Platte von C6 wird durch ein Taktsignal PHI2N betrieben, das das logische Komplement von PHI2 ist. Der Drainanschluß von M22 ist auch mit dem Drainanschluß des P-Kanal-MOSFET in Diodenschaltung M23 verbunden, dessen Sourceanschluß mit dem Signal VDEP verbunden ist. Der Sourceanschluß von M22 ist auch über einen Freigabe-N-Kanal-MOSFET M24, der durch ein Signal HVN' gesteuert wird, das das logische Komplement des Signals HVN ist, mit der Erdung verbunden. Das Taktsignal PHI2 ist die Ausgabe eines NAND-Gatters mit drei Eingängen NAND3, dem ein Taktsignal CKP, das Signal HVN' und ein Freigabesignal PMPM, das durch die Steuerschaltung CC (9) aktiviert wird, wie im folgenden beschrieben wird, zugeführt werden.
  • Die negative Ladungspumpschaltung 4 ist identisch zu der zuvor beschriebenen negativen Ladungspumpschaltung 3 und weist eine Verstärkungsschaltung auf, die einen P-Kanal-MOSFET M25 und einen Kondensator C7 mit einer Kapazität von etwa 1 pF aufweist, einen P-Kanal-Durchlaß-MOSFET M26, einen Kondensator C8, der mit dem Drainanschluß von M26 gekoppelt ist und eine Kapazität von etwa 20 pF hat, einen P-Kanal-MOSFET in Diodenschaltung M27 mit einem mit dem Drainanschluß von M26 verbundenen Drainanschluß und einem mit dem Signal VDEP verbundenen Sourceanschluß und einen Freigabe-N-Kanal-MOSFET M28, der durch das Signal HVN' gesteuert wird. Der Kondensator C7 wird durch ein Taktsignal PHI1 betrieben, und der Kondensator C8 wird durch ein weiteres Taktsignal PHI1N, das das logische Komplement von PHI1 ist, betrieben. PHI1 ist die Ausgabe eines NAND-Gatters NAND4, dem das Taktsignal CKP, das Signal HVN' und ein Freigabesignal PMPG, das auch durch die Steuerschaltung CC (10) aktiviert wird, zugeführt werden.
  • Die zwei negativen Ladungspumpschaltungen 3, 4 werden dann aktiviert, wenn HVN ="1" gilt, d.h. wenn HVN ="0" gilt, und wenn das jeweilige Freigabesignal PMPN, PMPG aktiviert wird. Wie es bereits unter Bezugnahme auf 7 angegeben ist, ist die Ladungsschaltung CHC in diesem Zustand deaktiviert, so daß das Signal VDEP durch die negativen Ladungspumpschaltungen betrieben werden kann.
  • Beide negative Ladungspumpschaltungen 3, 4 treiben dann, wenn das Signal VDEP auf eine Spannung von etwa –4 V aktiviert ist. Jedoch hat, wie es aus den Kapazitätswerten in den zwei negativen Ladungspumpschaltungen 3 und 4 verstanden werden kann, die zweite negative Ladungspumpschaltung 4 eine viel höhere Stromkapazität als die erste negative Ladungspumpschaltung 3.
  • Die in den 9 und 10 gezeigte Steuerschaltung CC steuert die Aktivierung der Ladungsschaltung CHC und der Entladungsschaltung DCHC.
  • Wie es in 9 zu sehen ist, weist die Steuerschaltung CC einen Schaltungszweig 5 auf, der zwischen der Signalleitung VDEP und der Erdung angeschlossen ist. Der Schaltungszweig 5 weist einen P-Kanal-Abreicherungs-MOSFET M32 mit einem mit VDEP verbundenen Sourceanschluß und einem mit einem N-Kanal-MOSFET M33 verbundenen Drainanschluß auf, der wiederum über einen N-Kanal-MOSFET M34 mit Erdung verbunden ist. M33 wird durch ein Ausgangssignal DISCH eines NOR-Gatters mit zwei Eingängen NOR1 gesteuert, dem das Signal HVN und ein Signal SOURCE0 zugeführt werden, das im folgenden beschrieben wird. M32 wird durch ein Ausgangssignal eines UND-Gatters mit zwei Eingängen AND1 mit einem mit dem Signal DISCH verbundenen ersten Eingang und einem mit dem Drainanschluß von M32 verbundenen zweiten Eingang gesteuert. M34 wird durch eine Spannung Iref mit einem Wert gesteuert, der dazu geeignet ist, zu veranlassen, daß M34 einen Strom von etwa 80 μA zieht. Das Ausgangssignal des UND-Gatters bildet auch das Freigabesignal PMPM der ersten negativen Ladungspumpschaltung 3 der Entladungsschaltung DCHC der 8.
  • Die Steuerschaltung CC weist auch einen zweiten Schaltungszweig 8, einen dritten Schaltungszweig 9 und einen vierten Schaltungszweig 10 auf. Der zweite Schaltungszweig 8 weist einen P-Kanal-Abreicherungs-MOSFET M47 und zwei N-Kanal-MOSFETs in Diodenschaltung M48, M49 auf. Der dritte Zweig 9 weist einen P-Kanal-MOSFET in Diodenschaltung M50, einen N-Kanal-MOSFET M51 und einen P-Kanal-MOSFETM52, der durch das Signal VDEP gesteuert wird, auf. Der vierte Zweig 10 weist einen P-Kanal-MOSFET M53, einen N-Kanal-MOSFET M54 und einen P-Kanal-Abreicherungs-MOSFET M55 mit einem an Erdung gebundenen Gateanschluß auf. Die MOSFETs M49, M52 und M55 sind über einen N-Kanal-MOSFET M56 mit der Erdung gekoppelt. Die Drainelektrode von M53 versorgt einen ersten Inverter I8, der wiederum einen zweiten Inverter I4 versorgt. Der Eingang von I8 ist über eine Reihenschaltung aus einem P-Kanal-MOSFET M56 und einem P-Kanal-MOSFET M57 mit VDD gekoppelt. I4 versorgt einen dritten Inverter I5, dessen Ausgang einen vierten Inverter I6 versorgt. Der Ausgang von I6 bildet ein Signal VDEPOK, das im folgenden beschrieben wird. Das Signal VDEPOK steuert einen fünften Inverter I7, der den MOSFET M56 steuert, und der auch einen zwischen dem Eingang von I8 und VDD angeschlossenen Pull-Up-P-Kanal-MOSFET M58 steuert.
  • Die Steuerschaltung CC weist weiterhin zwei Flip-Flops F0, F1 vom Setz-Rücksetz-Typ auf, die in 10 gezeigt sind. Das erste Flip-Flop F0 hat einen Setzeingang, dem das Signal HVN zugeführt wird. Einem Rücksetzeingang wird ein Signal DELAY zugeführt, das durch die Sequentialmaschine aktiviert wird. Der Ausgang von F0 bildet nach einer logischen Inversion das Freigabesignal PMPG der Ladungspumpschaltung 4 der Entladungsschaltung DCHC. Das zweite Flip-Flop F1 hat einen Setzeingang, dem das Signal HVN zugeführt wird; einem Rücksetzeingang wird das Signal VDEPOK zugeführt. Der Ausgang von F1 bildet nach einer logischen Inversion das Signal SOURCE0.
  • Die 11 und 12 zeigen eine der sechzehn Source-Umschaltschaltungen SWR, SWL zum Steuern des Potentials der gemeinsamen Sourceleitung SOR, SOL eines jeweiligen Halbsektors. Gemäß 11 weist die Schaltung eine Stromspiegelschaltung 11 auf, die einen ersten Zweig 12 und einen zweiten Zweig 13 aufweist. Der erste Zweig 12 weist einen P-Kanal-MOSFET in Diodenschaltung M59, einen durch das Signal DISCH gesteuerten N-Kanal-MOSFET M60 (10) und einen durch die Spannung Iref gesteuerten N-Kanal-MOSFET M61 auf. Der zweite Zweig 13 weist einen P-Kanal-MOSFET M62, einen durch das Signal DISCH gesteuerten N-Kanal-MOSFET M63 und einen N-Kanal-MOSFET in Diodenschaltung M64 auf. Der Drainanschluß von M62 bildet ein analoges Ausgangssignal MIR der Stromspiegelschaltung 11. Eben ist in 11 ein Schaltungszweig 14 gezeigt, der einen durch das Signal HVN gesteuerten P-Kanal-MOSFET M66, einen durch das Signal DISCH gesteuerten P-Kanal-MOSFET M65 und einen durch das Signal HVN gesteuerten N-Kanal-MOSFET M67 aufweist.
  • 12 zeigt die Treiberschaltung für die gemeinsame Sourceleitung eines Halbsektors, wie beispielsweise eines rechten Halbsektors SOR. Die Schaltung weist eine Treiberstufe 15 mit einem P-Kanal-MOSFET M68, einen P-Kanal-Abreicherungs-MOSFET M69 und einem N-Kanal-MOSFET M70 auf. Der Drainanschluß von M70 ist mit der gemeinsamen Sourceleitung SOR des Halbsektors verbunden. Ebenso mit der gemeinsamen Sourceleitung SOR sind ein durch das analoge Signal MIR gesteuerter N-Kanal-MOSFET M71 und ein durch das Signal SOURCE0 gesteuerter N-Kanal-MOSFET M72 verbunden. Die MOSFETs M68 und M70 werden durch ein Signal 16 gesteuert, das gleich dem Bool'schen Ausdruck NICHT (LSi UND HVN) ODER SOURCE0 ist.
  • Der Flash-EEPROM enthält auch eine Sequentialmaschine, die in 13 schematisch gezeigt ist. Wie es bekannt ist, weist eine Sequentialmaschine ein Kombinationsnetz COMB und ein Sequentialnetz SEQ auf. Das Kombinationsnetz bzw. kombinatorische Netz hat eine erste Gruppe von Eingängen PIN, die primäre Eingänge genannt werden, die die Eingänge der Sequentialmaschine sind, und eine erste Gruppe von Ausgängen POUT, die primäre Ausgänge genannt werden, die die Ausgänge der Sequentialmaschine sind. Das kombinatorische Netz hat auch eine zweite Gruppe von Eingängen SIN, die sekundäre Eingänge genannt werden, die Ausgänge des Sequentialnetzes SEQ sind, und eine zweite Gruppe von Ausgängen SOUT, die sekundäre Ausgänge genannt werden, die zum Sequentialnetz SEQ zugeführt werden. Die Sequentialmaschine entwickelt sich durch eine Aufeinanderfolge von Zuständen; der aktuelle Zustand der Sequentialmaschine, d.h. der logische Zustand der primären Ausgänge, hängt nicht nur vom aktuellen Zustand der primären Eingänge ab, sondern auch vom Zustand des Sequentialnetzes SEQ, der wiederum von der Vorgeschichte der Zustandsmaschine abhängt. Beispielsweise könnte das Sequentialnetz SEQ ein ROM sein, der Mikrobefehle enthält, die das kombinatorische Netz COMB steuern. Die Sequentialmaschine implementiert den Löschalgorithmus, der hierin nachfolgend beschrieben wird.
  • 16 ist ein Ablaufdiagramm des durch die Sequentialmaschine implementierten Löschalgorithmus. Vor der Ausführung dieses Algorithmus muß die Sequentialmaschine verifizieren, daß alle Speicherzellen, die zu den Sektoren gehören, die gelöscht werden müssen, programmiert sind. Wenn einige Speicherzellen in den Sektoren, die zu löschen sind, nicht programmiert sind, muß die Sequentialmaschine solche Speicherzellen programmieren. Auf diese Weise wird sichergestellt, daß alle Speicherzellen in den Sektoren, die zu löschen sind, von einem gemeinsamen programmierten Zustand starten.
  • Die Sequentialmaschine verwendet ein Acht-Bit-Speicherregister ON-ERASE ( 14) und einen Acht-Byte-RAM (15). Jedes Bit im Speicherregister ON-ERASE entspricht einem jeweiligen der acht Sektoren S1–S8; wenn das Bit i (i = 1 ... 8) im Speicherregister ON-ERASE"1" ist, muß an den entsprechenden Sektor Si ein Löschimpuls angelegt werden. Jedes Byte im RAM entspricht einem jeweiligen der acht Sektoren S1–S8 und wird, wie es im folgenden besser beschrieben wird, durch die Sequentialmaschine zum Speichern der acht signifikantesten Bits der Adresse des ersten Bytes des Sektors verwendet, der während des nach jedem Löschimpuls durchgeführten VERIFIZIEREN EINES GELÖSCHTEN BYTES nicht als gelöschtes Byte gelesen wird.
  • Der erste Schritt im Löschalgorithmus sorgt für ein Anlegen eines Löschimpulses von etwa 10 ms an die Speicherzellen in zu löschenden Sektoren. Bei dem Beispiel sind die zu löschenden Sektoren S3, S5 und S8 (die Bits 3, 5 und 8) im Speicherregister ON-ERASE sind"1"). Um zu bestimmen, an welchen der Sektoren der Löschimpuls anzulegen ist, liest die Sequentialmaschine den Inhalt des Speicherregisters ONERASE, um zu sehen, welche Bits in diesem Speicherregister"1" sind.
  • Um einen Löschimpuls an die zu löschenden Speichersektoren anzulegen, aktiviert die Sequentialmaschine das Signal HVN. In jedem zu löschenden Sektor geht das Pump-Freigabesignal ENPi auf hoch, und die zugehörige negative Ladungspumpschaltung NPi wird aktiviert. Die Zeilendecodierschaltungen RDR, RDL der zu löschenden Sektoren werden durch Halten der Auswahlsignale des ersten Pegels LX LX' oder LY LY' auf niedrig deaktiviert. Die Eingabe der End-Inverter I9, die die Wortleitungen treiben, ist durch die Pull-Up-MOSFETs M7 an VPCXSi gebunden; dies bedeutet, daß alle MOSFETs M8 ausgeschaltet sein werden und alle MOSFETs M10 eingeschaltet sein werden. Die negativen Ladungspumpschaltungen 3, 4 in der Entladungsschaltung DCHC werden deaktiviert (PMPM und PMPG sind"0"), und das Signal VDEP wird durch die Ladungsschaltung CHC auf eine Spannung von etwa 4 V vorgespannt, so daß in den Zeilendecodierschaltungen die Abreicherungs- bzw. Verarmungs-MOSFETs M9 ausgeschaltet sind; die Wortleitungen können somit durch die negative Spannung VPi der jeweiligen negativen Ladungspumpschaltung NPi vorgespannt werden. Die gemeinsamen Sourceleitungen SOR, SOL der zu löschenden Halbsektoren sind mit VDD verbunden (SOURCE0 ="0", LSi = HVN ="1", MIR ="0"), und die Bitleitungen werden schwebend gelassen. Ebenso werden, wie es zuvor in Zusammenhang mit 6 erklärt ist, dann, wenn die Spannung VPi eine Spannung von etwa –2,5 V erreicht, die Wanne (die Massenelektrode) der Wortleitungsdioden in den Blöcken DR, DL und die Wanne der Dioden M14, M15 der letzten Stufen der negativen Ladungspumpschaltung NPi auf die Erdung umgeschaltet, um die Spannung der Übergänge und den Körpereffekt der Dioden zu reduzieren. In den Sektoren, die nicht zu löschen sind, bleibt, während LSi ="0" gilt, selbst dann, wenn HVN ="1" gilt, das Pumpfreigabesignal ENPi auf niedrig, und die jeweilige negative Ladungspumpschaltung NPi wird nicht aktiviert; das Signal VPi ist an das Si gnal DWSi angebunden, welches wiederum gleich VPCXSi (gleich VDD) ist; ebenso sind die gemeinsamen Sourceleitungen über die MOSFETs M72 in 12 mit der Erdung verbunden.
  • Nach etwa 10 ms endet der Löschimpuls: die Sequentialmaschine deaktiviert das Signal HVN. Die detaillierte Erklärung dieser Phase wird im folgenden dieser Beschreibung angegeben.
  • Nach dem ersten Löschimpuls wird der Zustand der Speicherzellen in den zu löschenden Sektoren verifiziert. Die Sequentialmaschine hat einen internen Adressenzähler ADDCNT (15). Da beim vorliegenden Beispiel jeder Sektor 512 kBits enthält, was bedeutet, daß jeder Sektor 64 kBytes enthält, muß der Adressenzähler ADDCNT ein 16-Bit-Zähler sein. Die Sequentialmaschine verwendet den 16-Bit-Adressenzähler ADDCNT zum internen Erzeugen der Adressen aller Speicherbytes jedes Sektors in Aufeinanderfolge, um zu verifizieren, ob die Speicherzellen tatsächlich gelöscht worden sind (Phase zum VERIFIZIEREN EINES GELÖSCHTEN BYTES). Wie es zuvor angegeben ist, ist die Spannung VPCX in dieser Phase gleich 4 V (Spielraummode-Lesen der gelöschten Speicherzellen). Beim gezeigten Beispiel wählt die Sequentialmaschine anfangs den Sektor S3 aus. Wenn alle Speicherzellen des Sektors S3 gelöscht sind, schreibt die Sequentialmaschine eine"0" in das entsprechende Bit i = 3 des Speicherregisters ON-ERASE. Dann wählt die Sequentialmaschine den nächsten Sektor unter einem Löschen, beim Beispiel den Sektor S5, und wiederum erzeugt die Sequentialmaschine in Aufeinanderfolge die Adressen aller Speicherbytes dieses Sektors. Wenn auch der Sektor S5 vollständig gelöscht worden ist, schreibt die Sequentialmaschine eine"0" in das Bit i = 5 des Speicherregisters ON-ERASE. Dann wählt die Sequentialmaschine den letzten Sektor unter einem Löschen, d.h. S8, aus und führt dieselbe Operation durch. Wenn nach dem ersten Löschimpuls alle Speicherzellen in den Speichersektoren unter einem Löschen gelöscht sind, stoppt der Löschalgorithmus.
  • Wenn andererseits während des Schritts zum VERIFIZIEREN EINES GELÖSCHTEN BYTES nach dem ersten Löschimpuls in eine der Sektoren unter einem Löschen, beispielsweise im Sektor S3, ein Byte angetroffen wird, das nicht gelöscht worden ist, speichert die Sequentialmaschine die Adresse dieses Bytes bei der Stelle LOC = 3 des RAM entsprechend dem Sektor S3 (beim gezeigten Ausführungsbeispiel werden nur die signifikantesten acht Bits der Adresse im RAM gespei chert). Dann unterbricht die Sequentialmaschine die Prozedur zum VERIFIZIEREN EINES GELÖSCHTEN BYTES des Sektors S3, läßt eine"1" im Bit i = 3 des Speicherregisters ON-ERASE entsprechend dem Sektor S3 und beginnt ein Verifizieren des nächsten Sektors S5. Dasselbe erfolgt dann, wenn ein Byte im Sektor S5 angetroffen wird, das nicht gelöscht worden ist.
  • Wenn der letzte Sektor unter einem Löschen verifiziert worden ist, inkrementiert die Sequentialmaschine einen Löschimpuls-Zähler und legt einen zweiten Löschimpuls nur an diejenigen Sektoren an, für welche das entsprechende Bit i im Register ON-ERASE eine"1" ist (d.h. der zweite Löschimpuls wird nur an diejenigen Sektoren angelegt, die Speicherzellen enthalten, die durch den ersten Löschimpuls nicht gelöscht worden sind).
  • Nach dem zweiten Löschimpuls führt die Sequentialmaschine wieder ein VERIFIZIEREN EINES GELÖSCHTEN BYTES nur für diejenigen Sektoren durch, die dem zweiten Löschimpuls unterzogen worden sind; für jeden dieser Sektoren erzeugt die Sequentialmaschine intern in Aufeinanderfolge die Adressen der Speicherbytes der Sektoren, jedoch beginnend ab der bei der Stelle LOC des RAM entsprechend dem Sektor, der gegenwärtig verifiziert wird, gespeicherten Adresse.
  • Die Sequentialmaschine wiederholt alle vorherigen Operationen, bis alle Speicherzellen der Sektoren unter einem Löschen wirklich gelöscht sind (d.h. wenn alle Bits im Speicherregister ON-ERASE"0" sind) oder bis eine maximale Anzahl von Löschimpulsen erreicht ist; im letzteren Fall aktiviert die Sequentialmaschine ein Signal, das den Anwender darüber informiert, daß das Löschen der Speichervorrichtung fehlgeschlagen ist.
  • Während eines Löschimpulses sind die Wortleitungen der Sektoren unter einem Löschen auf VPi minus der Schwellenspannung der Wortleitungsdioden DR, DL (etwa –8 V) vorgespannt und sind die gemeinsamen Sourceleitungen SOR, SOL auf VDD (5 V) vorgespannt. Dies bedeutet, daß die Wortleitungskapazitäten und die gemeinsamen Sourceleitungskapazitäten jeweils auf –8 V und 5 V geladen werden. Die Wortleitungskapazität ist die Summe der Steuergatekapazität aller Speicherzellen, die mit einer gegebenen Wortleitung verbunden sind. Die Steuergatekapazität einer Speicherzelle ist die Koppelkapazität zwischen dem Steuergate und allen anderen Elektroden der Speicherzelle. Im Flash-EEPROM des vorliegenden Beispiels ist der ge messene Wert der Steuergatekapazität 1,2 fF; da beim vorliegenden Beispiel jeder Halbsektor 1024·256 Speicherzellen enthält, ist die gesamte Wortleitungskapazität für einen gegebenen Halbsektor 300 pF. Die gemeinsame Sourceleitungskapazität ist die Summe der Sourcekapazitäten aller Speicherzellen eines gegebenen Halbsektors. Die Sourcekapazität einer Speicherzelle ist die Koppelkapazität zwischen der Sourceelektrode und allen anderen Elektroden der Speicherzelle. Ein gemessener Wert der Sourcekapazität ist 1,5 fF; es folgt daraus, daß für einen gegebenen Halbsektor die gesamte gemeinsame Sourceleitungskapazität etwa 400 pF ist.
  • Am Ende eines Löschimpulses müssen die Wortleitungsspannung und die Spannung der gemeinsamen Sourceleitung zur Erdspannung gebracht werden. In dieser Phase ist es nötig, die Entladung der Wortleitungskapazität und der Kapazität der gemeinsamen Sourceleitung zu steuern, um zu verhindern, daß große Ströme in den metallischen Verbindungsleitungen fließen, die die externen Leistungsversorgungen VDD und die Erdung zu den internen Schaltungen der Speichervorrichtungen liefern. Beispielsweise ist für metallische Leitungen mit einer typischen Dicke von 8000 A der maximale Strom, der in der metallischen Leitung fließen kann, ohne Elektromigrationsprobleme zu verursachen, etwa 8 mA pro Mikron einer Breite der metallischen Leitung; unter der Annahme, daß die metallischen Leitungen von VDD und der Erdung eine Breite von etwa 50 μm haben, ist der maximale Strom, der fließen kann, etwa 40 mA. Berücksichtigt man, daß alle acht Speichersektoren gleichzeitig gelöscht werden können, ist die minimale Entladungszeit der Wortleitungskapazität und der Kapazität der gemeinsamen Sourceleitung eines Halbsektors 1,5 μs.
  • Die Schaltungen der 712 machen es möglich, die Entladungszeit der Wortleitungskapazität und der Kapazität der gemeinsamen Sourceleitung der Halbsektoren zu steuern, die einem Löschimpuls ausgesetzt worden sind.
  • Am Ende eines Löschimpulses treibt die Sequentialmaschine das Signal HVN auf "0". Die negativen Ladepumpschaltungen NP1–NP8 werden somit deaktiviert (ENPi = "0"), die Ladeschaltung CHC des Signals VDEP wird deaktiviert (M29 schaltet aus), das Signal DISCH schaltet auf"1" (das Signal SOURCE0 ging zu Beginn des Löschimpulses auf niedrig, wenn der Übergang von HVN auf"1" das Flip-Flop S0 setzte), das die Stromspiegelschaltung 11 der 11 aktiviert; M33 im Zweig 5 der Steuerschaltung CC wird auch eingeschaltet. Die negativen Ladepumpschaltungen 3, 4 der Entladeschaltung DCHC sind noch deaktiviert, da die Signale PMPM und PMPG noch"0" sind. Das Signal VDEP, das anfangs bei einer Spannung von 4 V ist, beginnt durch den konstanten Strom von 80 μA entladen zu werden, der durch den MOSFET M34 geliefert wird, der durch die Spannung Iref vorgespannt ist. Wenn das Signal VDEP ausreichend kleiner geworden ist, schaltet die Ausgabe PMPM von AND1 auf"1", was M32 ausschaltet: dies stoppt das Entladen mit konstantem Strom von VDEP. Die negative Ladepumpschaltung 3 der Entladeschaltung DCHC wird aktiviert und die Spannung VDEP beginnt, in Richtung zu –4 V gepumpt zu werden. Nach einer gegebenen Zeitverzögerung, die durch die Sequentialmaschine gesteuert wird, wird ein Signal DELAY aktiviert, was das Flip-Flop F0 zum Rücksetzen veranlaßt; das Signal PMPG schaltet auf"1", was die negative Ladepumpschaltung 4 in der Entladungsschaltung DCHC aktiviert; diese zweite negative Ladepumpschaltung 4 liefert eine schnellere Entladung von VDEP in Richtung zu – V. Gemäß 3 sind die Zeilendecodierschaltungen noch durch die Tatsache deaktiviert, daß die Auswahlsignale des ersten Pegels LX... LX' oder LY.. LY' auf niedrig gehalten werden; Jedoch veranlaßt das langsame Entladen des Signals VDEP von 4 V auf –4 V, daß die Abreicherungs-P-Kanal-MOSFETs M9 nach und nach einschalten. Die Wortleitungskapazität, die auf –8 V geladen ist, kann sich durch den Strom, der von der metallischen Erdungsleitung fließt, somit nach und nach auf Null entladen.
  • Gleichzeitig spannt das Signal MIR, sobald der Übergang des Signals DISCH auf"1" die Stromspiegelschaltung 11 aktiviert, den MOSFET M71 in der Schaltung der 12 vor, um einen konstanten Strom von etwa 400 μA aufzunehmen; dies läßt die schrittweise Entladung der gemeinsamen Sourceleitung SOR, SOL der Halbsektoren zu. Nach einer gegebenen Zeitverzögerung, die durch die Steuerschaltung der 9 zur Verfügung gestellt wird, geht das Signal VDEPOK auf"1", wodurch das Flip-Flop F1 rückgesetzt wird. Wenn die Spannung VDEP ausreichend negativ geworden ist, nimmt M52 einen größeren Strom als M55 auf; der Inverter I8 schaltet um und nach einer durch einen Kondensator C10 (9) bestimmten Verzögerung schaltet VDEPOK auf"1". Das Signal SOURCE0 wird somit auf"1" geschaltet, und dies veranlaßt, daß der MOSFET M72 in der Schaltung der 12 (der ein MOSFET mit einem großen Seitenverhältnis ist) einzuschalten. Die Kapazitäten der gemeinsamen Sourceleitung der Halbsektoren werden somit schnell auf Null entladen.
  • 17 ist ein Zeitdiagramm der Signale VPi, VWL, VDEP und der gemeinsamen Sourceleitung SOR (oder SOL). Es ist möglich, zu sehen, daß die Kurve VDEP einen ersten Teil A entsprechend der Entladung mit konstantem Strom durch den Schal tungszweig 5 der 9, einen zweiten Teil B entsprechend der Entladung mittels der negativen Ladepumpschaltung 3 der Entladungsschaltung DCHC und einen dritten Teil C entsprechend der Entladung mittels der zweiten negativen Ladepumpschaltung 4 von DCHC hat. Ebenso kann bemerkt werden, daß die Kurve SOR, SOL einen Teil D entsprechend der Entladung mit konstantem Strom durch den MOSFET M71 der 12 hat, der durch das Signal MIR gesteuert wird. In 17 stellt die Kurve VWL das Potential einer der Wortleitungen der Sektoren dar, die dem Löschimpuls ausgesetzt worden sind.
  • Es ist zu beachten, daß Dank der gesteuerten Entladung der Kapazitäten der Wortleitung und der gemeinsamen Sourceleitung gemäß der vorliegenden Erfindung der Entladestrom der Kapazität der gemeinsamen Sourceleitung zum teilweisen Entladen der Wortleitungskapazität verwendet wird. Der Strom, der tatsächlich in der metallischen Erdungsleitung fließt, die die Erdungsspannung innerhalb der Speichervorrichtung liefert, ist somit die Differenz zwischen den zwei Entladeströmen.

Claims (17)

  1. Flash-EEPROM, der folgendes aufweist: wenigstens einen Speichersektor (S1–S8) mit einer Vielzahl von Zeilen (WL0–WL255) und Spalten (BL0–BL1024) von Speicherzellen (MC); wenigstens eine Negativspannungs-Generatoreinrichtung (NP1–NP8) zum Erzeugen einer negativen Spannung (VP1–VP8), die die Vielzahl von Zeilen (WL0–WL255) während eines Löschimpulses zum Löschen der Speicherzellen (MC) des wenigstens einen Speichersektors (S1–S8) gemeinsam auf ein negatives Potential lädt; eine Steuer-Logikeinrichtung (COMB, SEQ), die die Negativspannungs-Generatoreinrichtung (NP1–NP8) zu Beginn des Löschimpulses aktiviert und die Negativspannungs-Generatoreinrichtung (NP1–NP8) am Ende des Löschimpulses deaktiviert; eine Einrichtung (CC, CHC, DCHC) zum Steuern einer Entladungszeit der Zeilen (WL0–WL255) des wenigstens einen Speichersektors (S1–S8) am Ende des Löschimpulses; dadurch gekennzeichnet, daß jeder Zeile ein jeweiliger Entladungs-Transistor (M9) zugeordnet ist und daß die Einrichtung (CC, CHC, DCHC) zum Steuern der Entladungszeit der Zeilen (WL0–WL255) folgendes aufweist: eine erste Vorspannungsschaltung (CHC) zum Vorspannen der den Zeilen (WL0–WL255) zugeordneten Entladungs-Transistoren (M9) in einen nichtleitenden Zustand während des Löschimpulses, wenn die Zeilen (WL0–WL255) auf das negative Potential geladen sind; eine zweite Vorspannungsschaltung (DCHC) zum Vorspannen der den Zeilen (WL0–WL255) zugeordneten Entladungs-Transistoren (M9) in einen fortschreitend leitenderen Zustand am Ende des Löschimpulses, um die Entladungszeit der Zeilen (WL0–WL255) zu steuern; und eine Steuerschaltung (CC) zum Steuern der Aktivierung der ersten und der zweiten Vorspannungsschaltung (CHC, DCHC).
  2. Flash-EEPROM nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladungs-Transistoren (M9) P-Kanal-Verarmungs-MOSFETs sind, die die Zeilen (WL0–WL255) mit einem Erdpotential koppeln, wobei die P- Kanal-Verarmungs-MOSFETs (M9) Gate-Elektroden haben, die gemeinsam an ein gemeinsames Vorspannungssignal (VDEP) gekoppelt sind, und daß: die erste Vorspannungsschaltung (CHC) eine an das gemeinsame Vorspannungssignal (VDEP) angelegte positive Vorspannung (4 V) erzeugt, um die P-Kanal-Verarmungs-MOSFETs (M9) während des Löschimpulses in einem Aus-Zustand zu halten; die Steuerschaltung (CC) einen Konstantstrom-Entladungszweig (5) aufweist, der am Ende des Löschimpulses zum anfänglichen Entladen des gemeinsamen Vorspannungssignals (VDEP) von der positiven Vorspannung aktiviert wird, bis das positive Vorspannungssignal (VDEP) einen ersten Zwischenspannungswert erreicht; die zweite Vorspannungsschaltung (DCHC) eine erste Negativladungspumpe (3) aufweist, die durch die Steuerschaltung (CC) aktiviert wird, wenn das positive Vorspannungssignal (VDEP) den ersten Zwischenspannungswert erreicht hat, um für eine langsamere Entladung des gemeinsamen Vorspannungssignals (VDEP) in Richtung zu einer negativen Vorspannung (–4 V) zu sorgen, um die P-Kanal-Verarmungs-MOSFETs (M9) auf kontrollierte Weise fortschreitend einzuschalten.
  3. Flash-EEPROM nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Vorspannungsschaltung (DCHC) auch eine zweite Negativladungspumpe (4) aufweist, die nach einer vorbestimmten Verzögerung ab dem Ende des Löschimpulses durch die Steuerschaltung (CC) aktiviert wird, um für eine schnelle Entladung des gemeinsamen Vorspannungssignals (VDEP) in Richtung zur negativen Vorspannung (–4 V) zu sorgen.
  4. Flash-EEPROM nach Anspruch 3, der eine dem wenigstens einen Speichersektor (S1–S8) zugeordnete Source-Schaltereinrichtung (SWR, SWL) aufweist, um während des Löschimpulses ein Potential einer gemeinsamen Source-Leitung (SOR, SOL), die Source-Elektroden der Speicherzellen (MC) des Speichersektors (S1–S8) miteinander verbindet, vom Erdpotential zu einem positiven Potential (VDD) umzuschalten, dadurch gekennzeichnet, daß die Source-Schaltereinrichtung (SWR, SWL) eine Source-Entladungseinrichtung (11, M71) aufweist, die durch die Steuereinrichtung (CC) der Einrichtung (CC, CHC, DCHC) zum Steuern der Entladungszeit der Zeilen (WL1–WL255) gesteuert wird, um am Ende des Löschimpulses eine Entladungszeit der gemeinsamen Source-Leitung (SOR, SOL) vom positiven Potential (VDD) zum Erdpotential zu steuern.
  5. Flash-EEPROM nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Source-Entladungseinrichtung (11, M71) einen Source-Entladungstransistor (M71) aufweist, der die gemeinsame Source-Leitung (SOR, SOL) mit dem Erdpotential koppelt, und eine dritte Vorspannungsschaltung (11), die den Source-Entladungstransistor (M71) vorspannt, um einen vorbestimmten konstanten Entladungsstrom zu liefern.
  6. Flash-EEPROM nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die dritte Vorspannungsschaltung (11) durch die Steuerschaltung (CC) der Einrichtung (CC, CHC, DCHC) zum Steuern der Entladungszeit der Zeilen (WL0–WL255) aktiviert wird, wenn das gemeinsame Vorspannungssignal (VDEP) den ersten Zwischenspannungswert erreicht hat.
  7. Flash-EEPROM nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß er eine Vielzahl von Diodeneinrichtungen (DR, DL) aufweist, wobei eine jeweilige Diodeneinrichtung eine jeweilige Zeile (WL0–WL255) mit der durch die Negativspannungs-Generatoreinrichtung (NP1–NP8) erzeugten negativen Spannung (VP1–VP8) koppelt.
  8. Flash-EEPROM nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Diodeneinrichtung einen mit einer Diode verbundenen P-Kanal-MOSFET (DR0–DR255) mit einer mit einer jeweiligen Wortleitung (WL0–WL255) gekoppelten Source-Elektrode und einer mit der negativen Spannung (VP1–VP8) gekoppelten Drain-Elektrode aufweist.
  9. Flash-EEPROM nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß er wenigstens eine Bahnpotential-Umschalteinrichtung (DW1–DW8) zum Umschalten eines Potentials einer Bahn-Elektrode der mit einer Diode verbundenen P-Kanal-MOSFETs (DR0–DR255) von einer positiven Spannung (VPCXS1–VPCXS8) zum Erdpotential, nachdem die durch die Negativspannungs-Generatoreinrichtung erzeugte negative Spannung (VP1–VP8) einen vorgeschriebenen negativen Wert (–2,5 V) erreicht hat, aufweist.
  10. Flash-EEPROM nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Negativspannungs-Generatoreinrichtung (NP1–NP8) eine Negativladungspumpeneinrichtung mit einer Vielzahl von mit einer Diode verbundenen P-Kanal-MOSFETs (M12–M15) und einer Vielzahl von Kopplungskondensatoren (C1–C3) aufweist, wobei die Bahnpotential-Umschalteinrichtung (DW1–DW8) auch ein Potential einer Bahn-Elektrode von wenigstens einem (M14, M15) der mit einer Diode verbundenen P-Kanal-MOSFETs (M12–M15) der Negativladungspumpeneinrichtung von der positiven Spannung (VPCXS1–VPCXS8) zum Erdpotential umschaltet.
  11. Flash-EEPROM nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der wenigstens eine Speichersektor (S1–S8) folgendes aufweist: eine Vielzahl von Speichersektoren (S1–S8); eine Vielzahl von Negativspannungs-Generatoreinrichtungen (NP1–NP8), welchen jeweils ein jeweiliger Speichersektor (S1–S8) zugeordnet ist; eine Vielzahl von Source-Schaltereinrichtungen (SWR, SWL), welchen jeweils ein jeweiliger Speichersektor (S1–S8) zugeordnet ist; und eine Vielzahl von Bahnpotential-Umschalteinrichtungen (DW1–DW8), welchen jeweils ein jeweiliger Speichersektor (S1–S8) zugeordnet ist.
  12. Flash-EEPROM nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Vielzahl von Negativspannungs-Generatoreinrichtungen (NP1–NP8) selektiv aktivierbar ist, um das selektive Anlegen eines Löschimpulses an den zugeordneten Speichersektor (S1–S8) zuzulassen.
  13. Flash-EEPROM nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuer-Logikschaltung (COMB, SEQ) eine sequentielle Maschine aufweist, die eine Löschprozedur des Flash-EEPROM steuert.
  14. Flash-EEPROM nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Löschprozedur die folgenden Schritte aufweist: a) Anlegen eines Löschimpulses an die Speichersektoren (S1–S8), die zu löschen sind; b) Verifizieren des Programmierzustands der Speicherzellen (MC) in den Speichersektoren (S1–S8), die im Schritt a) dem Löschimpuls ausgesetzt worden sind; c) Wiederholung der Schritte a) und b) nur für diejenigen Speichersektoren, in welchen während des Schritts b) nicht gelöschte Speicherzellen (MC) erfaßt wurden.
  15. Flash-EEPROM nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die sequentielle Maschine ein Speicherregister (ON-ERASE) aufweist, wobei jedes Bit des Speicherregisters (ON-ERASE) einem jeweiligen Speichersektor (S1–S8) entspricht, wobei jedes Bit des Speicherregisters (ON-ERASE) zwei zugelassene logische Zustände hat, nämlich einen ersten logischen Zustand ("1"), der der sequentiellen Maschine anzeigt, daß der jeweilige Sektor zu löschen ist, und einen zweiten logischen Zustand ("0"), der der sequentiellen Maschine anzeigt, daß der jeweilige Sektor nicht zu löschen ist.
  16. Flash-EEPROM nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die sequentielle Maschine während des Schritts b) der Löschprozedur den logischen Zustand der Bits des Speicherregisters (ON-ERASE) vom ersten logischen Zustand ("1") zum zweiten logischen Zustand ("0") ändert, wenn alle Speicherzellen (MC) der jeweiligen Speichersektoren (S1–S8) gelöscht sind.
  17. Flash-EEPROM nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die sequentielle Maschine einen RAM aufweist, der eine Anzahl von Stellen (LOC) gleich der Anzahl von Speichersektoren (S1–S8) aufweist, wobei eine jeweilige Stelle (LOC) einem jeweiligen Speichersektor (S1–S8) entspricht und durch die sequentielle Maschine zum Speichern einer Adresse der ersten nicht gelöschten Speicherzelle verwendet wird, die während des Schritts b) der Löschprozedur erfaßt wird.
DE69521203T 1995-07-31 1995-07-31 Flash-EEPROM mit gesteuerter Entladungszeit der Wortleitungs- und Sourcespannungen nach der Löschung Expired - Lifetime DE69521203T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP95830348A EP0757356B1 (de) 1995-07-31 1995-07-31 Flash-EEPROM mit gesteuerter Entladungszeit der Wortleitungs- und Sourcespannungen nach der Löschung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69521203D1 DE69521203D1 (de) 2001-07-12
DE69521203T2 true DE69521203T2 (de) 2006-01-12

Family

ID=8221995

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69521203T Expired - Lifetime DE69521203T2 (de) 1995-07-31 1995-07-31 Flash-EEPROM mit gesteuerter Entladungszeit der Wortleitungs- und Sourcespannungen nach der Löschung

Country Status (3)

Country Link
US (2) US5719807A (de)
EP (1) EP0757356B1 (de)
DE (1) DE69521203T2 (de)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6198339B1 (en) * 1996-09-17 2001-03-06 International Business Machines Corporation CVF current reference with standby mode
EP0935195A2 (de) 1998-02-06 1999-08-11 Analog Devices, Inc. Integrierte Schaltung mit hochauflösendem Analog-Digital-Wandler, einem Mikrokontroller und hochdichtem Speicher und einem Emulator dafür
US6289300B1 (en) 1998-02-06 2001-09-11 Analog Devices, Inc. Integrated circuit with embedded emulator and emulation system for use with such an integrated circuit
US6701395B1 (en) 1998-02-06 2004-03-02 Analog Devices, Inc. Analog-to-digital converter that preseeds memory with channel identifier data and makes conversions at fixed rate with direct memory access
US6385689B1 (en) 1998-02-06 2002-05-07 Analog Devices, Inc. Memory and a data processor including a memory
US6028780A (en) * 1998-03-12 2000-02-22 Eon Silicon Devices, Inc. Two-phase clock charge pump with power regulation
KR100276563B1 (ko) * 1998-04-21 2000-12-15 김영환 출력버퍼회로
KR100314651B1 (ko) * 1998-04-21 2002-08-27 주식회사 하이닉스반도체 반도체메모리장치의전압발생회로
ITMI981564A1 (it) * 1998-07-09 2000-01-09 St Microelectronics Srl Memoria non volatile in grado di eseguire un programma autonomamente
TW446876B (en) 1998-08-27 2001-07-21 Sanyo Electric Co Non-volatile semiconductor memory
JP3920486B2 (ja) 1999-02-23 2007-05-30 株式会社小糸製作所 車両用灯具
JP3497770B2 (ja) * 1999-05-20 2004-02-16 株式会社 沖マイクロデザイン 半導体記憶装置
IT1311314B1 (it) * 1999-12-14 2002-03-12 St Microelectronics Srl Metodo di riprogrammazione ottimizzata per celle di memoria nonvolatile, in particolare di tipo flash eeprom.
US6549467B2 (en) * 2001-03-09 2003-04-15 Micron Technology, Inc. Non-volatile memory device with erase address register
US6438032B1 (en) * 2001-03-27 2002-08-20 Micron Telecommunications, Inc. Non-volatile memory with peak current noise reduction
US6510084B2 (en) * 2001-05-21 2003-01-21 Winbond Electronics Corporation Column decoder with increased immunity to high voltage breakdown
US6707715B2 (en) * 2001-08-02 2004-03-16 Stmicroelectronics, Inc. Reference generator circuit and method for nonvolatile memory devices
US6809986B2 (en) 2002-08-29 2004-10-26 Micron Technology, Inc. System and method for negative word line driver circuit
US6919242B2 (en) * 2003-04-25 2005-07-19 Atmel Corporation Mirror image memory cell transistor pairs featuring poly floating spacers
US6998670B2 (en) * 2003-04-25 2006-02-14 Atmel Corporation Twin EEPROM memory transistors with subsurface stepped floating gates
US6888192B2 (en) * 2003-04-25 2005-05-03 Atmel Corporation Mirror image non-volatile memory cell transistor pairs with single poly layer
ITRM20030338A1 (it) * 2003-07-11 2005-01-12 Micron Technology Inc Circuito di generazione e regolazione di alta tensione
US6975544B2 (en) * 2004-02-17 2005-12-13 Promos Technologites, Inc. Voltage discharge technique for controlling threshold-voltage characteristics of floating-gate transistor in circuitry such as flash EPROM
JP4357351B2 (ja) * 2004-04-23 2009-11-04 株式会社東芝 不揮発性半導体記憶装置
US7151695B2 (en) * 2004-11-18 2006-12-19 Freescale Semiconductor, Inc. Integrated circuit having a non-volatile memory with discharge rate control and method therefor
US7272053B2 (en) 2004-11-18 2007-09-18 Freescale Semiconductor, Inc. Integrated circuit having a non-volatile memory with discharge rate control and method therefor
US7248521B2 (en) * 2005-07-12 2007-07-24 Micron Technology, Inc. Negative voltage discharge scheme to improve snapback in a non-volatile memory
US7791926B2 (en) * 2007-11-22 2010-09-07 Texas Instruments Incorporated SEU hardening circuit and method
US7881122B2 (en) * 2007-12-20 2011-02-01 Samsung Electronics Co., Ltd. Discharge circuit
JP2011014205A (ja) * 2009-07-03 2011-01-20 Renesas Electronics Corp 不揮発性半導体記憶装置
US8638636B2 (en) * 2009-09-21 2014-01-28 Macronix International Co., Ltd. Word line decoder circuit apparatus and method
US8553463B1 (en) * 2011-03-21 2013-10-08 Lattice Semiconductor Corporation Voltage discharge circuit having divided discharge current
KR102760029B1 (ko) 2020-05-19 2025-01-23 양쯔 메모리 테크놀로지스 씨오., 엘티디. 메모리 디바이스 및 그 프로그램 동작
CN114758707A (zh) * 2020-05-19 2022-07-15 长江存储科技有限责任公司 用于存储器的程序暂停和恢复的控制方法与控制器

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4797856A (en) * 1987-04-16 1989-01-10 Intel Corporation Self-limiting erase scheme for EEPROM
JPH0690655B2 (ja) * 1987-12-18 1994-11-14 株式会社東芝 中間電位発生回路
US5077691A (en) * 1989-10-23 1991-12-31 Advanced Micro Devices, Inc. Flash EEPROM array with negative gate voltage erase operation
US5384742A (en) * 1990-09-25 1995-01-24 Kabushiki Kaisha Toshiba Non-volatile semiconductor memory
JP3204666B2 (ja) * 1990-11-21 2001-09-04 株式会社東芝 不揮発性半導体記憶装置
US5452248A (en) * 1991-06-27 1995-09-19 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of operating a nonvolatile semiconductor memory device
EP0562737B1 (de) * 1992-03-26 1998-06-17 Hitachi, Ltd. Flash-Speicher
JP3105109B2 (ja) * 1993-05-19 2000-10-30 株式会社東芝 不揮発性半導体記憶装置
US5357466A (en) * 1993-07-14 1994-10-18 United Microelectronics Corporation Flash cell with self limiting erase and constant cell current
US5416738A (en) * 1994-05-27 1995-05-16 Alliance Semiconductor Corporation Single transistor flash EPROM cell and method of operation
US5485423A (en) * 1994-10-11 1996-01-16 Advanced Micro Devices, Inc. Method for eliminating of cycling-induced electron trapping in the tunneling oxide of 5 volt only flash EEPROMS
US5617357A (en) * 1995-04-07 1997-04-01 Advanced Micro Devices, Inc. Flash EEPROM memory with improved discharge speed using substrate bias and method therefor

Also Published As

Publication number Publication date
EP0757356A1 (de) 1997-02-05
EP0757356B1 (de) 2001-06-06
US5719807A (en) 1998-02-17
DE69521203D1 (de) 2001-07-12
US5999456A (en) 1999-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69521203T2 (de) Flash-EEPROM mit gesteuerter Entladungszeit der Wortleitungs- und Sourcespannungen nach der Löschung
DE69331090T2 (de) Nichtflüchtiger Halbleiterspeicher mit elektrisch und gemeinsam löschbaren Eigenschaften
DE69221773T2 (de) Halbleiterspeicherschaltung mit einer Struktur logischer Schaltung zur Prüfung
DE60224703T2 (de) Leseverstärker für nichtflüchtige integrierte mehrebenen-speicherbausteine
DE69500010T2 (de) Source programmierter nichtflüchtiger Flip-Flop für Speicherredundanzschaltung
DE69417712T2 (de) Nichtflüchtige Halbleiter-Speichereinrichtung
DE69625207T2 (de) Speichersystem mit nicht-flüchtiger datenspeicherstruktur für speichersteuerungsparameter und verfahren dafür
DE69706873T2 (de) Löschverfahren für mehrere-bits-pro-zelle flash -eeprom mit seitenmodus
DE4036973C2 (de) Schaltung zur Erzeugung einer gegenüber einer extern zugeführten Versorgungsspannung erhöhten Lösch- oder Programmierspannung in einer Halbleiter-Speicherschaltung
DE69425930T2 (de) Integrierte Halbleiterschaltung
DE69524913T2 (de) Nichtflüchtige Halbleiter-Speicherzelle mit Korrekturmöglichkeit einer überschriebenen Zelle, und Korrekturverfahren
DE19983565B4 (de) Interner Auffrisch-Modus für eine Flash-Speicherzellenmatrix
DE69500143T2 (de) Schaltung zum Wählen von Redundanzspeicherbauelementen und diese enthaltende FLASH EEPROM
DE69702195T2 (de) Schieberegister-flashseitenpuffer mit mehreren bits pro zelle
DE10138952A1 (de) Halbleiterspeicherbauelement und Wortleitungsauswahlschaltung hierfür
DE69517265T2 (de) Speicheranordnung
DE19520979A1 (de) Spaltenredundanzvorrichtung für einen Halbleiterspeicher
DE3686933T2 (de) Programmierbares halbleiterspeichergeraet.
DE4040492A1 (de) Automatische loeschoptimierschaltung fuer einen elektrisch loesch- und programmierbaren halbleiterspeicher und automatisches loeschoptimierungsverfahren
DE68909959T2 (de) Schaltung zum Abfühlen des Zustandes von Matrixzellen in MOS-EPROM-Speichern.
DE102005063049B4 (de) NAND-Flashspeicherbauelement und Programmierverfahren
DE69828669T2 (de) Nichtflüchtige Halbleiterspeicheranordnung
DE69500009T2 (de) Nichtflüchtiger programmierbarer Flip-Flop mit Verminderung von parasitären Effekten beim Lesen für Speicherredundanzschaltung
DE69629925T2 (de) Spannungsschaltkreis für negative spannungen
DE69326329T2 (de) Speicherzellen-Stromleseverfahren in Mikrosteuergerät

Legal Events

Date Code Title Description
8332 No legal effect for de
8370 Indication related to discontinuation of the patent is to be deleted