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DE69429213T2 - Ultraschallwandler - Google Patents

Ultraschallwandler

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Publication number
DE69429213T2
DE69429213T2 DE69429213T DE69429213T DE69429213T2 DE 69429213 T2 DE69429213 T2 DE 69429213T2 DE 69429213 T DE69429213 T DE 69429213T DE 69429213 T DE69429213 T DE 69429213T DE 69429213 T2 DE69429213 T2 DE 69429213T2
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DE
Germany
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acoustic matching
matching layer
thickness
piezoelectric element
acoustic
Prior art date
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DE69429213T
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Satoko Kikuchi
Koetsu Saitoh
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0644Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
    • B06B1/0662Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface
    • B06B1/067Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface which is used as, or combined with, an impedance matching layer
    • GPHYSICS
    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/18Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
    • G10K11/26Sound-focusing or directing, e.g. scanning
    • G10K11/32Sound-focusing or directing, e.g. scanning characterised by the shape of the source

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Description

    HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Ultraschalltransducer, der in einem Ultraschalldiagnosegerät zum Senden und Empfangen von Ultraschallwellen verwendet wird.
  • In der Vergangenheit wurden Untersuchungen angestellt, um es zu ermöglichen, daß ein Ultraschalltransducer seine Frequenzcharakteristik über einen breiten Bereich hat und um einen Aufbau unter Verwendung einer akustischen Linse zu verwirklichen. Beispielsweise ist ein in dem "Handbook of Medical Ultrasonic Equipments, Seite 186, 5.3.1. Basic Structure of Ultrasonic Probe", aufgezeigter Aufbau bekannt.
  • Fig. 5 zeigt einen herkömmlichen Ultraschalltransducer dieser Art, der ein piezoelektrisches Element 11 mit gleichmäßiger Dicke, mindestens zwei Ultraschallanpassungsschichten 12, 13, die auf der Sende- und Empfangsseite (Vorderflächenseite) für Ultraschallwellen des piezoelektrischen Elements 11 vorgesehen sind und eine gleichmäßige Dicke einer Viertel Wellenlänge haben, um die durch fehlende Übereinstimmung der akustischen Impedanz zwischen dem piezoelektrischen Element und einem zu erfassenden Objekt verursachte Reflexion abzumildern, um so Ultraschallwellen effektiv abzustrahlen, ein Verstärkungselement 14, das an der hinteren Oberfläche des piezoelektrischen Elements vorgesehen ist, so daß es eine Dämpfungs- und Haltefunktion erfüllt, sowie eine akustische Linse 15 aufweist, die an der vorderen Oberfläche der akustischen Anpassungsschicht 13 vorgesehen ist und aus Silikongummimaterialien zum Konvergieren eines Ultraschallstrahles hergestellt ist.
  • Die vorstehend beschriebene Anordnung kann eine Frequenzcharakteristik mit einem breiten Band haben und kann ferner eine hohe Auflösung verwirklichen, da die Ultraschallwelle dünn konvergiert wird.
  • Die US-A-4659956 beschreibt einen Ultraschalltransducer, der ein piezoelektrisches Element mit einer konkaven Oberfläche hat, an welcher eine akustische Anpassungsschicht mit ungleichmäßiger Dicke angeordnet ist. Die Anpassungsschicht hat ihre kleinste Dicke in ihrer Mitte.
  • Die EP-A-005857 beschreibt einen Ultraschalltransducer, der ein piezoelektrisches Element mit einer konkaven Oberfläche hat, an welcher eine akustische Anpassungsschicht mit ungleichmäßiger Dicke angeordnet ist, wobei die größte Dicke der Anpassungsschicht in ihrer Mitte liegt.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Ultraschalltransducer geschaffen, enthaltend ein piezoelektrisches Element, das eine im wesentlichen gleichmäßige Dicke hat und eine konkave Oberfläche auf einer Seite hat, auf der Ultraschallwellen gesendet und empfangen werden, sowie mindestens eine akustische Anpassungsschicht (3), die auf die konkave Oberfläche des piezoelektrischen Elements gelegt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Anpassungsschicht eine ungleichmäßige Dicke hat, so daß ihre größte Dicke in ihrer Mitte liegt, wobei die größte Dicke eine Viertel Wellenlänge bei 5,0 MHz beträgt.
  • In einer Ausführungsform der Erfindung sind zwei akustische Anpassungsschichten in dem Ultraschalltransducer vorgesehen, das heißt eine erste akustische Anpassungsschicht, die auf eine Seite an dem piezoelektrischen Element gelegt ist und eine ungleichmäßige Dicke mit ihrer maximalen Dicke von einer Viertel Wellenlänge bei 5,0 MHz hat, und eine zweite Schicht, die auf die Objektseite gelegt ist und eine im wesentlichen gleichmäßige Dicke von etwa einer Viertel Wellenlänge bei 5,0 MHz hat.
  • Ferner kann mindestens eine der akustischen Anpassungsschichten eine gleichmäßige Dicke haben und in eine Richtung gekrümmt sein, in der Ultraschallwellen zu einem zu untersuchenden Objekt gesendet und von diesem empfangen werden, wobei die größte Dicke etwa eine Viertel Wellenlänge bei 5,0 MHz beträgt. In diesem Fall kann die Anpassungsschicht auf der Seite, auf der die Ultraschallwellen zu dem zu untersuchenden Objekt gesendet und von diesem empfangen werden, konkav sein, und die gekrümmte Oberfläche der akustischen Anpassungsschicht auf der von dem piezoelektrischen Element entfernten Seite kann eine Krümmung haben, die größer als die Krümmung des piezoelektrischen Elements ist.
  • Bei dieser Anordnung gemäß vorliegender Erfindung, bei der mindestens eine der akustischen Schichten so gelegt ist, daß Ultraschallwellen effizient abgestrahlt werden, und bei der die akustische Anpassungsschicht eine größte Dicke von etwa einer Viertel Wellenlänge bei 5,0 MHz hat, kann eine Frequenzcharakteristik Gauß'scher Form über ein breites Band erhalten werden, und ferner kann ein Ultraschallstrahl ohne Verwendung einer akustischen Linse in einem beliebigen Abstand auf Grund der Krümmung des piezoelektrischen Elements konvergiert werden, so daß es dadurch möglich ist, die Empfindlichkeit des Ultraschalltransducers zu verbessern. So kann eine impulsartige Antwortwelle mit einer ausgesprochen kurzen Wellenlänge erzielt werden und ferner können die Probleme der Verschlechterung der Frequenzcharakteristik und der Empfindlichkeit (Effizienz) eliminiert werden, die durch die Dämpfung durch eine akustische Linse verursacht werden.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Ultraschalltransducer geschaffen, enthaltend ein piezoelektrisches Element, das eine im wesentlichen gleichmäßige Dicke hat und eine konkave Oberfläche auf einer Seite hat, auf der Ultraschallwellen gesendet und empfangen werden, sowie mindestens eine akustische Anpassungsschicht, die eine ungleichmäßige Dicke in der Weise hat, daß ihre größte Dicke in ihrer Mitte liegt, und die auf die konkave Seite des piezoelektrischen Elements gelegt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Transducer eine erste und eine zweite akustische Anpassungsschicht enthält, welche verschiedene akustische Impedanzen haben, wobei die Anpassungsschichten jeweils eine ungleichmäßige Dicke haben und wobei die erste akustische Anpassungsschicht auf die konkave Oberfläche nahe dem piezoelektrischen Element gelegt ist und eine ungleichmäßige Dicke mit der größten Dicke in ihrer Mitte hat, und die zweite akustische Anpassungsschicht auf eine Seite nahe an einem zu erfassenden Objekt gelegt ist und einen Teil mit einer größten Dicke hat, der an eine Position gesetzt ist, die im wesentlichen einem Teil der ersten akustischen Anpassungsschicht entspricht, welcher die größte Dicke hat.
  • Nachfolgend wird die Erfindung im Rahmen eines Beispiels unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben.
  • Fig. 1 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Ultraschalltransducer gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • Fig. 2 ist eine erläuternde Darstellung, die Frequenzcharakteristiken des in Fig. 1 gezeigten Ultraschalltransducers zeigt;
  • Fig. 3 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die eine Anordnung von in Fig. 1 gezeigten Ultraschalltransducern zeigt;
  • Fig. 4 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Ultraschalltransducer gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt; und
  • Fig. 5 ist eine schematische Schnittansicht, die einen herkömmlichen Ultraschalltransducer zeigt.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN Erste Ausführungsform
  • Wie Fig. 1 zeigt, enthält ein Ultraschalltransducer gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ein konkaves piezoelektrisches Element 1 mit einer gleichmäßigen Dicke und einer beliebigen Krümmung in Richtungen, in welche Ultraschallwellen zu einem zu erfassenden Objekt 5 gesendet und von diesem empfangen werden, ein Verstärkungselement 2, das auf eine der entgegengesetzten Oberflächen des piezoelektrischen Elements auf der von dem zu erfassenden Objekt abgewandten Seite gelegt ist, eine erste akustische Anpassungsschicht 3, die auf die andere der entgegengesetzten Oberflächen des piezoelektrischen Elements gelegt ist, bei der es sich um eine konkave Oberfläche auf der Seite handelt, auf welcher Ultraschallwellen zu dem zu erfassenden Objekt gesendet oder von diesem empfangen werden, welche eine flache vordere Oberfläche hat, eine zweite akustische Anpassungsschicht 4, die auf die erste akustische Anpassungsschicht 3 gelegt ist, und Zuleitungsdrähte 6 (siehe Fig. 3), die auf die Seitenoberflächen des Verstärkungselements 2 gelegt sind und von dem piezoelektrischen Element 1 wegführen.
  • Die erste akustische Anpassungsschicht 3 ist in der konkaven Oberfläche der piezoelektrischen Oberfläche 1 (richtig: des piezoelektrischen Elements 1) so geformt, daß sie eine ungleichmäßige Dicke hat, wobei sie einen dicksten Mittelteil aufweist, von dem die Dicke zu ihrem Umfangsteil hin geringer und geringer wird, so daß sie demgemäß einen dünnsten äußersten Teil hat. Die zweite akustische Anpassungsschicht 4 hat eine über ihre Gesamtheit im wesentlichen gleichmäßige, von der ersten akustischen Anpassungsschicht verschiedene Dicke, so daß sie eine Kontaktoberfläche hat, die so ausgelegt ist, daß sie einen Kontakt mit dem zu erfassenden Objekt 5 herstellt und im wesentlichen flach ist.
  • Das piezoelektrische Element 1 ist aus piezoelektrischer Keramik einer PZT-Gruppe, PbTiO&sub3;-Gruppe oder dergleichen hergestellt, und wenn es sich bei dem zu erfassenden Objekt 5 beispielsweise um einen menschlichen Körpers handelt, sind die erste und die zweite akustische Anpassungsschicht 3, 4 aus Materialien hergestellt, die eine akustische Impedanz von 7 bis 15 MRayl bzw. eine akustische Impedanz von etwa 3 MRayl haben. In dieser Ausführungsform werden Materialien verwendet, die diese Impedanzen haben.
  • Als Beispiel wurden das konkave piezoelektrische Element 1 der PbTiO&sub3;-Gruppe mit einer Dicke, mit der die Frequenz auf 5,0 MHz eingestellt wurde, die erste akustische Anpassungsschicht 3, die aus einem Material hergestellt war, das eine akustische Impedanz von 12 MRayl hatte und durch Zugabe eines Füllers in Epoxyharz hergestellt wurde, und die zweite akustische Anpassungsschicht 4, die aus Epoxyharz mit einer akustischen Impedanz von 2,8 MRayl hergestellt war, verwendet. Die Dicke des dicksten Teiles (Mittelteil), das heißt die größte Dicke der ersten akustischen Anpassungsschicht 3 wurde verändert, während die Dicke der zweiten akustischen Anpassungsschicht 4 auf eine gleichmäßige Dicke von etwa einer Viertel Wellenlänge fixiert war, um so eine Vielzahl von Ultraschalltransducern herzustellen. Anschließend wurden die Frequenzcharakteristiken dieser Transducer, welche voneinander verschiedene erste akustische Anpassungsschichten 3 hatten, gemessen, und die Resultate dieser Messungen sind in Fig. 2 dargestellt. In dieser Figur sind a, b, c die Frequenzcharakteristiken, die mit einer ersten akustischen Anpassungsschicht 3 erzielt wurden, die jeweils eine Dicke von einem Sechstel, einem Viertel und zwei Fünftel der Wellenlänge hatte. Sollte die Dicke der ersten akustischen Anpassungsschicht 3 kleiner als ein Sechstel Wellenlänge sein, was die Charakteristik a ergibt, würde die Frequenzcharakteristik verschlechtert, und sollte sie größer als die Dicke sein, welche die Charakteristik c ergibt, würde die Frequenzcharakteristik ähnlich der Charakteristik a verschlechtert. Aus dieser Tatsache wurde festgestellt, daß eine Frequenzcharakteristik des Normalverteilungstyps über ein breites Band erzielt werden kann, wenn die Dicke des Teils mit der größten Dicke der ersten akustischen Anpassungsschicht 3, welche eine ungleichmäßige Dicke hat, auf etwa eine Viertel Wellenlänge eingestellt wird.
  • Nachfolgend wird die Beziehung zwischen der Frequenzcharakteristik und der Auflösung kurz erläutert, um den Grund darzulegen, warum eine Frequenzcharakteristik des Normalverteilungstyps über ein breites Band für Ultraschalltransducer für Ultraschalldiagnosegeräte wünschenswert ist.
  • Unter verschiedenen Auflösungen ist die Distanzauflösung in einer Richtung, in der Ultraschallwellen gesendet oder empfangen werden, die Fähigkeit, wie zwei entfernte Punkte während des Sendens und Empfangens von Impulswellen aufgelöst und dargestellt werden können, das heißt je kürzer die Impulsbreite ist, desto höher ist die Auflösung. Um eine kurze Impulsbreite zu erhalten, gibt es zwei Wege, von welchen einer eine hohe Frequenz verwendet und der andere eine Einzelpeakcharakteristik (Charakteristik Gauß'scher Form) mit einem breiten Band verwendet. Sollte die Frequenzcharakteristik mit einer festgelegten Frequenz verbessert werden, so sollte der zweite Weg, das heißt der Weg, der eine Frequenzcharakteristik des Normalverteilungstyps mit einem breiten Band hat, verwendet werden.
  • Demgemäß versteht sich von selbst, daß die Charakteristik, die die beste Distanzauflösung hat, dadurch erzielt werden kann, daß die akustische Anpassungsschicht eine Dicke einer Viertel Wellenlänge hat, wie durch die Frequenzcharakteristik b angegeben. Ferner ist es wünschenswert, daß die zweite akustische Anpassungsschicht 4 eine Dicke von etwa einer Viertel Wellenlänge hat.
  • Da ferner diese Ausführungsform das konkave piezoelektrische Element 1 mit einer beliebigen Krümmung verwendet, kann ein Ultraschallstrahl gebildet werden, der einen Brennpunkt an einer beliebigen Position hat, auch wenn eine akustische Linse, die aus Silikongummi oder dergleichen hergestellt ist, wie dies herkömmlich der Fall ist, auf eine akustische Anpassungsschicht gelegt wird. Demgemäß ist es selbstverständlich möglich, die Verschlechterung der Frequenzcharakteristik auf Grund einer Dämpfung durch eine wie herkömmlicherweise üblich aus Silikongummi hergestellten akustischen Linse zu verhindern, und es ist ferner möglich, die Empfindlichkeit (Effizienz) zu verbessern. Wenn man die Empfangsspannung vergleicht, das heißt die Empfindlichkeiten (Effizienz) zwischen einer Anordnung, die mit dem herkömmlichen Beispiel vollständig identisch ist, und dieser Ausführungsform im Hinblick auf Frequenz, Apertur und Brennweite, zeigte diese Ausführungsform eine Frequenzcharakteristik, die um etwa 6 dB höher ist als die herkömmliche.
  • Obgleich die Beschreibung in der Hinsicht erfolgte, daß das piezoelektrische Element 1 aus piezoelektrischer Keramik hergestellt ist, kann ein piezoelektrisches Verbundelement, das aus einem Verbund aus piezoelektrischer Keramik und einem Polymer, oder ein piezoelektrisches PVDF-Element zum Erzielen einer Frequenzcharakteristik mit Gauß'scher Form verwendet werden. Da in diesem Fall die akustische Impedanz des piezoelektrischen Elements 1 niedriger als bei einem aus piezoelektrischer Keramik hergestelltem wird, müssen die akustischen Impedanzen der erste und der zweiten Anpassungsschicht 3, 4 selbstverständlich klein sein.
  • Obgleich ferner erklärt wurde, daß in dieser Ausführungsform zwei akustische Anpassungsschichten 3, 4 verwendet werden, kann auch ein Ultraschalltransducer, in dem eine akustische Anpassungsschicht oder mehr als drei akustische Anpassungsschichten verwendet werden, eine Frequenzcharakteristik des Normalverteilungstyps über ein breites Band zeigen.
  • Obgleich erläutert wurde, daß die zweite akustische Anpassungsschicht 3 eine gleichmäßige Dicke und eine flache Oberfläche hat, die so ausgelegt ist, daß sie einen Kontakt mit dem zu erfassenden Objekt 5 herstellt, kann ferner eine Anordnung, bei der die zweite akustische Anpassungsschicht 4 eine ungleichmäßige Dicke ähnlich der ersten akustischen Anpassungsschicht 3 hat, bei der der Teil mit der größten Dicke eine Dicke von etwa einer Viertel Wellenlänge hat und die Oberfläche der zweiten akustischen Anpassungsschicht 4, die den Kontakt mit dem zu erfassenden Objekt 5 herstellt, konkav ist, auch eine Frequenzcharakteristik mit Gauß'scher Form über ein breites Band zeigen. Obgleich ferner erläutert wurde, daß das einzelne piezoelektrische Element 1 in dem Ultraschalltransducer gemäß dieser Ausführungsform verwendet wird, kann ein Ultraschalltransducer des sogenannten Array-Typs, bei dem das piezoelektrische Element 1 in mehrere Streifen geteilt ist, die gleichen Effekte zeigen.
  • Zweite Ausführungsform
  • Nachfolgend wird unter Bezug auf die Zeichnungen eine zweite Ausführungsform erläutert. Fig. 4 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Ultraschalltransducer gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt.
  • In dieser Ausführungsform besteht, wie Fig. 4 zeigt, der Ultraschalltransducer aus einem piezoelektrischen Element 1, einem Verstärkungselement 2, einer ersten akustischen Anpassungsschicht 3 und einer zweiten akustischen Anpassungsschicht 4.
  • Der Krümmungsradius R des piezoelektrischen Elements 1 ist im Hinblick auf einen Brennpunkt bestimmt, auf den der Ultraschallstrahl fokusiert wird, und ferner ist die Aperturbreite A des piezoelektrischen Elements in Abhängigkeit von einer Frequenz und einem Ausmaß der Umwandlung des Ultraschallstrahles bestimmt. Demgemäß kann die erste akustische Anpassungsschicht 3, die eine flache Vorderfläche hat, in einem bestimmten Fall nicht auf dem konkaven Oberflächenteil des piezoelektrischen Elements 1 gebildet werden, im Vergleich zu der ersten Ausführungsform, wo dies der Fall ist. Das heißt, daß die Höhe des tiefsten Teiles des konkaven Oberflächenteils des piezoelektrischen Elements, die gleich der größten Dicke der ersten akustischen Anpassungsschicht 3 ist, nicht auf eine Viertel Wellenlänge eingestellt werden kann. Dieses Problem kann jedoch durch die in Fig. 4 gezeigte Anordnung in dieser Ausführungsform gelöst werden.
  • Wie Fig. 4 zeigt, ist die Ultraschallwellen sendende und empfangende Oberfläche des konkaven piezoelektrischen Elements, die einen beliebigen Krümmungsradius Rp hat, mit der ersten akustischen Anpassungsschicht 3 überdeckt, mit der Ausnahme des äußeren Umfangsteils derselben, und ferner hat die erste akustische Anpassungsschicht 3 eine konkave Oberflächenform mit einem Krümmungsradius R&sub1;, so daß ihr Teil mit der größten Dicke eine Dicke von etwa einer Viertel Wellenlänge hat. Ferner ist die zweite akustische Anpassungsschicht 4 auf die erste akustische Anpassungsschicht 3 gelegt und hat eine konkave Oberflächenform, die einen Krümmungsradius R&sub2; hat, so daß ihr Teil mit der größten Dicke ähnlich der ersten akustischen Anpassungsschicht eine Dicke von einer Viertel Wellenlänge hat.
  • Beispielsweise ist ähnlich der ersten Ausführungsform das piezoelektrische Element 1 aus piezoelektrischer Keramik mit einer Frequenz von 5,0 MHz hergestellt und die erste und die zweite akustische Anpassungsschicht 2,4 sind jeweils aus Materialien hergestellt, die akustische Impedanzen von 12 MRayl (eine Schallgeschwindigkeit von 2.550 m/s) und 2,8 MRayl (eine Schallgeschwindigkeit von 2.580 m/s) haben. Wenn der Krümmungsradius Rp des piezoelektrischen Elements auf 40 mm eingestellt ist und wenn der Durchmesser der Apertur A auf 10 mm eingestellt ist, wird der Krümmungsradius der ersten und der zweiten akustischen Anpassungsschicht 3 67 mm, so daß die Teile mit der größten Dicke der ersten und der zweiten akustischen Anpassungsschicht eine Dicke von etwa einer Viertel Wellenlänge haben (die für die erste akustische Anpassungsschicht 3 0,128 mm beträgt und die für die zweite akustische Anpassungsschicht 4 0,129 mm beträgt). Ferner wird der Krümmungsradius R&sub2; der zweiten akustischen Anpassungsschicht 4 218 mm. Wenn somit die erste und die zweite akustische Anpassungsschicht 3, 4 Krümmungen haben, die größer sind als diejenigen des piezoelektrischen Elements 1, können ihre Teile mit der größten Dicke eine Dicke von etwa einer Viertel Wellenlänge haben. Ferner sei angemerkt, daß der Teil der zweiten akustischen Anpassungsschicht 4 mit der größten Dicke im wesentlichen mit dem Teil der ersten akustischen Anpassungsschicht 3 mit der größten Dicke fluchtend ausgerichtet ist. Ferner kann ähnlich wie bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform, da das piezoelektrische Element eine konkave Oberflächenform mit einer beliebigen Krümmung hat, ein Ultraschallstrahl auf einen Brennpunkt konvergiert werden, der einen beliebigen Abstand hat, obgleich keine aus Silikongummi oder dergleichen hergestellte akustische Linse auf die akustische Anpassungsschicht gelegt wird, wie das herkömmlicherweise der Fall war. Demgemäß ist es selbstverständlich möglich, die Verschlechterung der Frequenzcharakteristik auf Grund der Dämpfung durch eine akustische Linse wie bei dem Stand der Technik zu vermeiden, und es ist ferner möglich, die Empfindlichkeit (Wirkung) zu verbessern.
  • Da ein Ultraschalltransducer mit einer Frequenzcharakteristik in Gauß'scher Form über ein breites Band und einem hohen Wirkungsgrad geschaffen werden kann, ist es demgemäß möglich, ein Ultraschallbild zu erhalten, das eine hohe Auflösung und eine hohe Erfassungstiefe hat.
  • Obgleich ein piezoelektrisches Element 1 beschrieben wurde, das aus piezoelektrischer Keramik hergestellt ist, können ein Ultraschalltransducer, der ein piezoelektrisches Verbundelement 1 verwendet, das aus einem Verbundstoff aus piezoelektrischer Keramik und einem Polymer hergestellt ist, und ein piezoelektrisches Element 1, das aus PVDF oder dergleichen hergestellt ist, ebenfalls eine Frequenzcharakteristik mit Gauß'scher Form ergeben. Da in diesem Fall jedoch die akustische Impedanz des piezoelektrischen Elements 1 niedriger als die eines aus piezoelektrischer Keramik hergestellten akustischen Elements wird, sind die erste und die zweite akustische Anpassungsschicht 3, 4 selbstverständlich aus Materialien hergestellt, die niedrige akustische Impedanzen haben.
  • Obgleich ferner gemäß der Erläuterung zwei akustische Anpassungsschichten 3, 4 in dieser Ausführungsform vorgesehen wurden, kann beispielsweise ein Ultraschalltransducer, der eine akustische Anpassungsschicht oder mehr als drei akustische Anpassungsschichten verwendet, ebenfalls eine Frequenzcharakteristik mit Gauß'scher Form zeigen, die ein breites Band hat.
  • Obgleich ferner ein Ultraschalltransducer erläutert wurde, bei dem in dieser Ausführungsform das piezoelektrische Element 1 und die erste und die zweite akustische Anpassungsschicht 3, 4 jeweils nur eine einzelne Krümmung mit einem Mittelpunkt haben, kann beispielsweise ein Ultraschalltransducer, bei dem sie jeweils eine Oberfläche haben, die Krümmungen mit einer Vielzahl von Mittelpunkten hat, ebenfalls eine Frequenzcharakteristik mit Gauß'scher Form zeigen, die ein breites Band hat.
  • Obgleich ferner in dieser Ausführungsform ein Ultraschalltransducer erläutert wurde, bei dem die erste und die zweite akustische Anpassungsschicht 3, 4 jeweils Krümmungen haben, die eine ungleichmäßige Dicke ergeben, kann beispielsweise ein Ultraschalltransducer, bei dem nur die erste akustische Anpassungsschicht 3 so gekrümmt ist, daß sie eine ungleichmäßige Dicke hat, während die zweite akustische Anpassungsschicht 4 eine gleichmäßige Dicke von einer Viertel Wellenlänge hat, ebenfalls eine Frequenzcharakteristik in Gauß'scher Form zeigen.
  • Obgleich in dieser Ausführungsform ferner der Ultraschalltransducer erläutert wurde, bei dem ein einzelnes piezoelektrisches Element 1 verwendet wird, kann ein Ultraschalltransducer des sogenannten Array-Typs, bei dem das piezoelektrische Element 1 in mehrere miteinander angeordnete Stücke geteilt ist, ähnliche Effekte zeigen.
  • Da wie vorstehend erläutert gemäß vorliegender Erfindung mindestens eine akustische Anpassungsschicht auf die Seite der konkaven Oberfläche des piezoelektrischen Elements gelegt wird, das eine konkave Form auf der Seite hat, auf der Ultraschallwellen gesendet und empfangen werden, und eine ungleichmäßige Dicke hat, wobei sie eine größte Dicke von einer Viertel Wellenlänge hat, kann der Ultraschalltransducer eine Frequenzcharakteristik mit Gauß'scher Form über einen breiten Bereich zeigen. Da ferner das piezoelektrische Element selbst so in eine konkave Form gebracht wird, daß es eine beliebige Krümmung hat, kann ein Ultraschallstrahl konvergiert werden, wodurch es möglich ist, eine akustische Linse überflüssig zu machen. Mit dieser Anordnung kann eine zufriedenstellende Frequenzcharakteristik über einen breiten Bereich erzielt werden, während die Empfindlichkeit (Effizienz) verbessert werden kann, so daß es demgemäß möglich ist, ein Ultraschallbild zu erzeugen, das eine hohe Auflösung und eine hohe Erfassungstiefe hat.

Claims (6)

1. Ultraschalltransducer, enthaltend ein piezoelektrisches Element (1), das eine im wesentlichen gleichmäßige Dicke hat und ein konkave Oberfläche auf einer Seite hat, auf der Ultraschallwellen gesendet und empfangen werden, sowie mindestens eine akustische Anpassungsschicht (3), die auf die konkave Oberfläche des piezoelektrischen Elements gelegt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Anpassungsschicht (3) eine ungleichmäßige Dicke hat, so daß ihre größte Dicke in ihrer Mitte liegt, wobei die größte Dicke eine Viertel Wellenlänge bei 5,0 MHz beträgt.
2. Ultraschalltransducer nach Anspruch 1, bei welchem zwei akustische Anpassungsschichten (3, 4) vorgesehen sind, wobei die erste akustische Anpassungsschicht (3) auf eine Seite nahe an dem piezoelektrischen Element gelegt ist und eine ungleichmäßige Dicke mit einer größten Dicke von einer Viertel Wellenlänge bei 5,0 MHz in ihrer Mitte hat, und die zweite akustische Anpassungsschicht (4) auf eine Seite nahe an einem zu erfassenden Objekt gelegt ist und eine gleichmäßige Dicke von einer Viertel Wellenlänge bei 5,0 MHz hat.
3. Ultraschalltransducer nach Anspruch 1, bei welchem die mindestens eine akustische Anpassungsschicht (3) eine ungleichmäßige Dicke hat und eine gekrümmte Form in der Richtung hat, in der Ultraschallwellen gesendet und empfangen werden.
4. Ultraschalltransducer nach Anspruch 3, bei welchem die akustische Anpassungsschicht (3) eine konkave Form auf der Seite hat, auf der Ultraschallwellen gesendet und empfangen werden.
5. Ultraschalltransducer nach Anspruch 3 oder Anspruch 4, bei welchem die Oberfläche der akustischen Anpassungsschicht (3) auf der Seite nahe an dem zu erfassenden Objekt einen Krümmungsradius hat, der größer ist als der des piezoelektrischen Elements (1), welcher bis zu einem Wert beträgt, bei dem die Oberfläche flach ist.
6. Ultraschalltransducer, enthaltend ein piezoelektrisches Element (1), das eine im wesentlichen gleichmäßige Dicke hat und ein konkave Oberfläche auf einer Seite hat, auf der Ultraschallwellen gesendet und empfangen werden, sowie mindestens eine akustische Anpassungsschicht, die eine ungleichmäßige Dicke in der Weise hat, daß ihre größte Dicke in ihrer Mitte liegt, und die auf die konkave Seite des piezoelektrischen Elements gelegt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Transducer eine erste und eine zweite akustische Anpassungsschicht enthält, die eine unterschiedliche akustische Impedanz haben, wobei die Anpassungsschichten jeweils eine ungleichmäßige Dicke haben und wobei die erste akustische Anpassungsschicht (3) auf die konkave Oberfläche nahe an dem piezoelektrischen Element (1) gelegt ist und eine ungleichmäßige Dicke mit der größten Dicke in ihrer Mitte hat, und die zweite akustische Anpassungsschicht (4) auf eine Seite nahe an einem zu erfassenden Objekt gelegt ist und einen Abschnitt größter Dicke hat, der an eine Position gesetzt ist, die im wesentlichen einem Teil der ersten akustischen Anpassungsschicht entspricht, welcher die größte Dicke hat.
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